JP7492448B2 - 試験装置の検査方法、及び、試験装置 - Google Patents

Description

本発明は、チップの強度を測定するための試験装置の検査方法及び試験装置に関する。

研削砥石を用いた裏面研削工程により板状の半導体ウェーハを薄化し、次いで、切削ブレードを用いたダイシング工程によりチップに分割する加工方法が知られている。

裏面研削工程ではその研削面に研削歪みが生成され、ダイシング工程ではその切削面（チップの側面）に切削歪が生成される。

このような加工歪が生じたチップの強度（抗折強度（曲げ強度））を測定する手法として、一般的にはＳＥＭＩ規格Ｇ８６－０３０３で既定される３点曲げが広く利用されている。例えば、特許文献１では、ＪＩＣ値と称される破壊靭性値を正確に測定するための試験装置を開示している。

この種の試験装置では、荷重計測器としてのロードセルを備え、チップを破壊した際の荷重計測値をもとにチップの抗折強度が測定される。

特開２００５－０１７０５４号公報

ロードセルはユーザー側で定期的に試験装置から取り外され、試験装置メーカーで校正された後、校正済みのロードセルをユーザー側で試験装置に組み込むことが行われている。

しかし、定期的にロードセルを試験装置から取り外し試験装置メーカーに校正を依頼するとなると、その校正中はユーザーは試験装置が使用できないため改善が切望されている。

また、ユーザー側でのロードセルの取り付けが適切でない場合は、ロードセルに問題がなくても正しい値が計測できず、問題となる。

以上に鑑み、本願発明は、荷重計測器（ロードセル）自体の異常や、圧子の取り付け不良に起因する異常を試験装置上で検出可能な検査方法、及び、試験装置を提供するものである。

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。

本発明の一態様によれば、
試験片を支持する一対の支持部を有した支持ユニットと、
該支持部より上方且つ該一対の支持部の間に配置され、該支持ユニットで支持された試験片を押圧する圧子と、
該圧子を該支持ユニットで支持された試験片に対して近接移動させるように駆動される移動ユニットと、
該圧子が該支持ユニットで支持された試験片を押圧する荷重を計測する荷重計測器と、
を備えた試験装置の検査方法であって、
該試験装置に異常がない状態において、該圧子で押圧されても変形しない硬質材片を該圧子で押圧した際の該荷重計測器の計測値と、該圧子による硬質材片の被押圧量と、の相関関係を基準データとして取得する基準データ取得ステップと、
該基準データ取得ステップを実施した後、任意のタイミングで、該圧子で押圧されても変形しない硬質材片を該支持ユニットで支持する支持ステップと、
該支持ステップを実施した後、該圧子で該硬質材片を押圧した際の該荷重計測器の計測値と、該圧子による硬質材片の被押圧量と、を取得する計測ステップと、
該計測ステップで取得した該計測値を該基準データと比較し該試験装置に異常があるか否かを判定する判定ステップと、を備えた検査方法とする。

また、本発明の一態様によれば、
該判定ステップで異常と判定された場合に警報を発する警報発信ステップを更に備えた、こととする。

また、本発明の一態様によれば、
試験片を支持する一対の支持部を有した支持ユニットと、
該支持部より上方且つ該一対の支持部の間に配置され、該支持ユニットで支持された試験片を押圧する圧子と、
該圧子を該支持ユニットで支持された試験片に対して近接移動させるように駆動される移動ユニットと、
該圧子が該支持ユニットで支持された試験片を押圧する荷重を計測する荷重計測器と、
少なくとも該移動ユニットを制御するコントローラと、を備える試験装置であって、
該コントローラは、
該試験装置に異常がない状態において、該圧子で押圧されても変形しない硬質材片を該圧子で押圧した際の該荷重計測器の計測値と、該圧子による硬質材片の被押圧量と、の相関関係を基準データとして記憶する基準データ記憶部と、
該圧子で押圧されても変形しない硬質材片を該圧子で押圧することで得られた該荷重計測器の計測値と、そのときの該圧子による硬質材片の被押圧量と、を該基準データと比較し該試験装置に異常があるか否かを判定する判定部と、を有する、試験装置とする。

また、本発明の一態様によれば、
該判定部で異常と判定された場合に警報を発する警報発信ユニットを更に備える、こととする。

本発明の一態様によれば、試験装置に異常がない状態における圧子による硬質材片の被押圧量と荷重の相対関係を基準データとして記憶し、所定のタイミングで硬質材片を用いて基準データと比較することで、試験装置の異常の有無を判定できる。これにより、荷重計測器を試験装置から取り外さずに、ユーザー側で荷重計測器の異常や、圧子の取付不良などを検出することができ、ひいては信頼性の高い試験が行われることを保証することができる。

試験装置を示す斜視図である。 支持ユニットについて示す斜視図である。 押圧ユニットについて示す斜視図である。 上部容器等の構成について示す図である。 コントローラの構成例について示す図である。 検査を行うためのフローチャートについて示す図である。 （Ａ）は基準データ取得ステップでの荷重の測定について説明する図。（Ｂ）はより大きな被押圧量が設定された状態について示す図である。 圧子による硬質材片の被押圧量と計測値の相関関係を示す基準データについて説明する図である。 計測ステップについて説明する図である。 判定ステップにおける基準データと計測値の比較について説明する図である。

以下、図面を参照し、本発明の実施例について説明する。
図１及び図２に示すように、本発明の一実施形態に係る試験装置２は、試験片１１を支持する一対の支持部８ｂを有した支持ユニット６と、支持部８ｂより上方且つ一対の支持部８ｂの間に配置され、支持ユニット６で支持された試験片１１を押圧する圧子３８と、圧子３８を支持ユニット６で支持された試験片１１に対して近接移動させるように駆動される移動ユニット２８と、圧子３８が支持ユニット６で支持された試験片１１を押圧する荷重を計測する荷重計測器３２と、を有して構成される。

以下詳細に説明すると、図１に示すように、試験装置２は、直方体状に形成された箱型の下部容器（収容部）４を備える。下部容器４には、下部容器４の上面４ａ側で上方に向かって開口する直方体状の開口部４ｂが形成されている。この開口部４ｂの内部には、試験装置２によって強度が測定される試験片を支持する支持ユニット６が設けられている。

図２は、支持ユニット６を示す斜視図である。支持ユニット６は、試験片１１を支持する一対の支持台８を備える。一対の支持台８はそれぞれ直方体状に形成され、一対の支持台８の間に隙間１０が設けられるように互いに離隔された状態で配置されている。また、一対の支持台８は、その上面８ａの長手方向が第１水平方向（Ｙ軸方向、前後方向）に沿うように配置されている。この一対の支持台８上に、強度が測定される試験片１１（チップ）が配置される。

一対の支持台８の上面８ａ側には、それぞれ、上面８ａから上方に突出する凸条を成す支持部８ｂが形成されている。支持部８ｂは、例えばステンレス鋼材等の金属でなり、その長さ方向がＹ軸方向に沿うように隙間１０に隣接して配置されている。一対の支持部８ｂは、隙間１０を挟んで互いに離隔した状態で配置されており、試験片１１の下面側を支持する。なお、図２では、上面が曲面状に形成された支持部８ｂが示されている。

また、一対の支持台８の上面８ａ側にはそれぞれ、支持部８ｂよりも柔軟な材質（ゴムスポンジ等）でなる板状の接触部材１２が設けられている。一対の接触部材１２は、平面視で矩形状に形成され、一対の支持部８ｂの両側に設けられている。即ち、接触部材１２はそれぞれ支持部８ｂの隙間１０とは反対側に配置されており、一対の支持部８ｂは一対の接触部材１２の間に配置されている。

接触部材１２の上面は、試験片１１と接触して試験片１１を支持する接触面１２ａを構成する。なお、接触部材１２は、その接触面１２ａが支持部８ｂの上端よりも上方（例えば、支持部８ｂの上端から１ｍｍ程度上方）に配置されるように設けられている。そのため、試験片１１を一対の支持台８上に配置すると、試験片１１の下面側は支持部８ｂとは接触せず、接触部材１２の接触面１２ａと接触する。

以上のように接触部材１２を設けることで、試験片１１が載置される際の支持部８ｂとの接触が防がれ、局所的な衝撃発生による試験片１１のダメージ発生を防ぐことができ、また、試験片１１がズレて擦れることで微細な損傷が生じることも防止できる。なお、接触部材１２は省略することとしてもよい。

一対の支持台８の後方側には、一対の支持台８をそれぞれ第１水平方向と垂直な第２水平方向（Ｘ軸方向、左右方向）に沿って移動させる支持部移動機構１４が設けられている。支持部移動機構１４は、直方体状の支持構造１６を備え、支持構造１６の前面側（表面側）には一対のガイドレール１８がＸ軸方向に沿って所定の間隔で固定されている。

一対のガイドレール１８の間には、一対のガイドレール１８と概ね平行に配置された一対のボールネジ２０が設けられている。一対のボールネジ２０の一端部にはそれぞれ、ボールネジ２０を回転させるパルスモータ２２が連結されている。

さらに、支持部移動機構１４は、一対の支持台８の後面側にそれぞれ固定される一対の移動プレート２４を備える。移動プレート２４はそれぞれ、支持構造１６の前面側に設けられた一対のガイドレール１８にスライド可能に装着されている。

また、一対の移動プレート２４の後面側（裏面側）にはそれぞれ、ナット部（不図示）が設けられている。一対の移動プレート２４の一方に設けられたナット部は一対のボールネジ２０の一方に螺合され、一対の移動プレート２４の他方に設けられたナット部は一対のボールネジ２０の他方に螺合されている。

パルスモータ２２によってボールネジ２０を回転させると、ボールネジ２０に螺合された移動プレート２４がガイドレール１８に沿ってＸ軸方向に移動する。これにより、一対の支持台８それぞれのＸ軸方向における位置と、隙間１０の幅とが制御される。

図１に示すように、下部容器４の上方には、押圧ユニット２６が設けられている。押圧ユニット２６は、支持ユニット６によって支持された試験片を押圧するとともに、試験片の押圧時に押圧ユニット２６にかかる荷重を測定する。

図３は、押圧ユニット２６を示す斜視図である。押圧ユニット２６は、駆動機構４０により上下方向に移動するように駆動される移動ユニット２８を備える。移動ユニット２８の下面側には、移動ユニット２８の下面から下方に向かって配置された円筒状の第１支持部材３０が接続されており、第１支持部材３０の下端側には、ロードセル等でなる荷重計測器３２が固定されている。

荷重計測器３２の下側には、円筒状の第２支持部材３４を介して挟持部材３６が接続されている。挟持部材３６は、正面視で略門型形状に形成されており、互いに対向する一対の挟持面３６ａを備える。この一対の挟持面３６ａの間には、支持ユニット６によって支持された試験片を押圧する圧子３８が固定されている。

圧子３８の先端（下端部）は、下方に向かって幅が狭くなる先細りの略Ｖ字形状に形成されている。即ち、圧子３８の先端の両側面は鉛直方向に対して傾斜している。また、圧子３８の先端（下端）は丸みを帯びた形状（Ｒ形状）に形成されている（図４参照）。ただし、圧子３８の形状は上記に限定されない。

また、圧子３８は、その下端がＹ軸方向に沿うように挟持部材３６によって支持されている。これにより、圧子３８の下端と、支持ユニット６が備える一対の支持部８ｂ（図２参照）とは、互いに概ね平行に配置されるようにしている。この圧子３８の下端が伸びる方向、即ち、図３におけるＹ軸方向が圧子３８の奥行き方向として定義される。

図３に示すように、押圧ユニット２６の後方側（裏面側）には、押圧ユニット２６を鉛直方向（Ｚ軸方向、上下方向）に沿って移動させる駆動機構４０が設けられている。駆動機構４０は、直方体状の支持構造４２を備え、支持構造４２の前面側（表面側）には一対のガイドレール４４がＺ軸方向に沿って所定の間隔で固定されている。

一対のガイドレール４４の間には、一対のガイドレール４４と概ね平行に配置されたボールネジ４６が設けられている。ボールネジ４６の一端部には、ボールネジ４６を回転させるパルスモータ４８が連結されている。

押圧ユニット２６の移動ユニット２８の後面側（裏面側）は、一対のガイドレール４４にスライド可能に装着される。また、移動ユニット２８の後面側には連結部２８ａが設けられており、この連結部２８ａはボールネジ４６に螺合される。

パルスモータ４８によってボールネジ４６を回転させると、移動ユニット２８がガイドレール４４に沿ってＺ軸方向に移動し、圧子３８が支持ユニット６に対して相対的に接近及び離隔する。

移動ユニット２８には、移動ユニット２８のＺ軸方向における高さ位置を検出するためのスケール読取部２８ｂが設けられる。スケール読取部２８ｂは、支持構造４２にＺ軸方向に延在するスケールＳの目盛を反射光にて読み取る光学式のものであり、移動ユニット２８のＺ軸方向における高さ位置を検出する。なお、コントローラ２００の圧子位置検出部２０１（図５）では、スケール読取部２８ｂで読み取られる移動ユニット２８の高さ位置が、圧子３８の先端の高さ位置として利用される。

また、図１に示すように、移動ユニット２８の両側面には、板状に形成された一対の接続部材５０が固定されている。接続部材５０は、移動ユニット２８の側面から下方に向かって設けられ、接続部材５０の下端は挟持部材３６の下端よりも下方に配置されている。

一対の接続部材５０の下端部には、圧子３８側に向かって突出する一対の上部容器支持部５０ａが形成されている。この一対の上部容器支持部５０ａの間には、圧子３８の先端を覆う直方体状の上部容器５２（カバー）が固定されている。上部容器５２は、下部容器４の上方に配置されており、両側面が一対の上部容器支持部５０ａによって支持されている。

図４に示すように、上部容器５２は、例えば透明な材質（ガラス、プラスチック等）でなり、箱型に形成されている。上部容器５２には、上部容器５２の下面５２ａ（図１）側で下方に向かって開口する直方体状の開口部５２ｂが形成されている。また、上部容器５２の上面５２ｃ側には圧子挿入穴５２ｄが形成されており、この圧子挿入穴５２ｄには圧子３８の先端が挿入され、圧子３８の先端は上部容器５２内に配置される。なお、図１では、上部容器５２内に挿入された圧子３８の一部を破線で表している。

図１に示すように、上部容器５２は、下部容器４の開口部４ｂに挿入可能な大きさに形成されており、平面視で下部容器４の開口部４ｂの内側に配置されている。また、上部容器５２の開口部５２ｂ（図４）は、支持ユニット６を収容可能な大きさに形成されている。そのため、駆動機構４０によって押圧ユニット２６を下方に移動させると、上部容器５２が下部容器４の開口部４ｂに挿入され、支持ユニット６の上側が上部容器５２によって覆われる。

図１に示すように、上部容器５２の側壁５２ｅには、気体供給管挿入穴５２ｆが設けられている。図４に示すように、この気体供給管挿入穴５２ｆには、圧子３８の側面、及び、周囲に気体噴射してエアブローを行うための供給するための気体供給管５６が挿通される。気体供給管５６は可撓性のある樹脂製のチューブにて構成することができ、気体供給ユニット５４のバルブ５８を介して気体供給源６０と接続される。

図１に示すように、下部容器４の底部には、下部容器４の開口部４ｂの底から下部容器４の下面（底面）４ｃに貫通する破片排出口４ｄが形成されている。この破片排出口４ｄには、下部容器４の内部に存在する試験片の破片を排出する破片排出ユニット６２が接続されている。

図１に示すように、破片排出ユニット６２は、試験片の破片を排出するための経路を構成する破片排出路６４を備える。破片排出路６４の一端側は破片排出口４ｄに接続され、破片排出路６４の他端側はバルブ６６を介して吸引源６８に接続されている。

図１に示すように、破片排出路６４中には、試験片の破片を回収する破片回収部７０が設けられている。破片回収部７０は、フィルター等によって構成されており、破片排出路６４を通過する試験片の破片を捕獲する。バルブ６６を開くと、下部容器４の開口部４ｂの内部に散乱する試験片の破片が破片排出口４ｄから吸引され、破片回収部７０で回収される。

図１に示すように、下部容器４の後方側には撮像カメラ７２が設けられており、下部容器４の前方側には撮像カメラ７２に向かって光を照射する光源７４が設けられている。撮像カメラ７２及び光源７４の位置は、支持ユニット６によって支持された試験片や圧子３８の先端等を撮像カメラ７２によって撮像可能となるように調整される。

光源７４から光を照射しつつ撮像カメラ７２で圧子３８の先端を撮影することにより、試験片が圧子３８で押圧されている様子や、圧子３８の先端の状態（異物の付着の有無、欠けの有無等）を観察できる。ただし、撮像カメラ７２による撮像が十分に明るい環境下で行われる場合には、光源７４を省略してもよい。また、後述する基準データ取得ステップや押圧ステップの前には、撮像カメラ７２で硬質材片Ｃ（図７）を撮像し、硬質材片Ｃに異常がないかを確認することが行われる。

図１に示すように、試験装置２にはタッチパネルにより構成される表示モニタ３０２が設けられ、各種情報の表示や、オペレーターの入力操作がなされる。なお、入力操作を行うための操作部が表示モニタと独立して設けられ、表示モニタには表示のみが行われることとしてもよい。

図１に示すように、試験装置２にはスピーカー３０３が設けられ、異常が確認された場合に、警報として警告音が発信される。

図１に示すように、試験装置２を構成する各構成要素は、試験装置２の動作を制御するコントローラ２００と接続されている。このコントローラ２００により、支持部移動機構１４、荷重計測器３２、駆動機構４０、気体供給ユニット５４、破片排出ユニット６２、撮像カメラ７２、光源７４等の動作が制御される。

また、図５に示すように、コントローラ２００は、実際に試験片や硬質材片を押圧して荷重値が変わったときのスケール読取部２８ｂからの入力に基づき、圧子３８の先端の高さ位置を検出する圧子位置検出部２０１を備える。なお、圧子３８の先端を撮像することで、先端の位置を検出される構成としてもよい。

さらに、コントローラ２００は、圧子３８による硬質材片Ｃの被押圧量（距離）を設定する被押圧量設定部２０２と、荷重計測器３２での計測値と、被押圧量設定部２０２で設定された被押圧量との相関関係を基準データとして記憶する基準データ記憶部２０３と、検査の際に計測される荷重計測器３２での計測値と被押圧量設定部２０２で設定された被押圧量とを、基準データと比較し、試験装置に異常があるか否かを判定する判定部２０４と、圧子３８を上下に移動させる駆動機構４０の動作制御をする圧子移動ユニット制御部２０５と、異常判定された際に警報を発信するための警報発信部２０６と、を備える。

以上のように試験装置２を構成することで、試験片の抗折強度が測定される。即ち、圧子３８を下降させ試験片を押圧して荷重計測器３２にて荷重を計測することとし、試験片が破断した際の荷重が抗折強度として測定される。

次に、試験装置２の異常の有無を判定するための検査方法について説明する。図６は、加工方法の一実施形態のフローを示すフローチャートである。以下順に各ステップについて説明する。

＜基準データ取得ステップ＞
図７（Ａ）に示すように、試験装置２に異常がない状態において、圧子３８で押圧されても変形しない硬質材片Ｃを圧子３８で押圧した際の荷重計測器３２の計測値と、圧子３８による硬質材片Ｃの被押圧量Ｈ１，Ｈ２と、の相関関係を基準データとして取得するステップである。

この基準データ取得ステップは、例えば、定期検査のタイミングや、試験装置２が出荷され納入先で設置された際に行われる。試験装置２に異常がない状態とは、試験装置２が設置され初期設定が完了した状態に対応するものであり、抗折強度を正確に測定できる状態を意味するものである。

硬質材片Ｃは、圧子３８で押圧されても変形しないような素材、寸法で設計されるものであり、例えば、超硬合金、ジルコニアセラミクス等により構成することができる。

基準データの取得の際には、まず、図７（Ａ）に示すように、圧子３８による硬質材片Ｃの被押圧量を設定する被押圧量設定部２０２により、被押圧量Ｈ１が圧子移動ユニット制御部２０５へと出力され、パルスモータ４８は圧子移動ユニット制御部２０５の指令に従って動作を遂行する。

ここで、実際には、圧子３８が硬質材片Ｃに接触した以降は、圧子３８は移動できないことになり、設定された被押圧量Ｈ１に通りには移動しないこととなる。このように、被押圧量Ｈ１は、ソフトウエア上で設定される圧子３８によって硬質材片Ｃが押圧される量であり、いわば、圧子３８が移動すると過程した場合のみなし移動量（距離）である。被押圧量は、例えば、１０μｍ、２０μｍ、３０μｍなどとすることができ、荷重計測器３２の測定範囲に応じ適宜設定されることができる。なお、被押圧量は、圧子３８のみなし移動量（距離）とする他、圧子３８が硬質材片Ｃを押圧する時間としてもよい。

そして圧子３８に上方向に生じる荷重Ｆ１（反力）が荷重計測器３２により測定され、その計測値Ｆ１が被押圧量Ｈ１とともに基準データ記憶部２０３（図５）に記憶される。

次いで、図７（Ｂ）に示すように、被押圧量Ｈ１よりも大きい被押圧量Ｈ２が設定され、その際に圧子３８に上方向に生じる荷重Ｆ２（反力）が荷重計測器３２により測定される。この計測値Ｆ２と被押圧量Ｈ２が基準データ記憶部２０３（図５）に記憶される。

以上のように複数設定される被押圧量Ｈ１，Ｈ２に対応する荷重が計測され、図８に示すように、被押圧量Ｈ１，Ｈ２と計測値の相関関係が基準データＤとして基準データ記憶部２０３（図５）に記憶される。この基準データＤは、圧子３８で硬質材片Ｃを押圧する際の被押圧量Ｈ１，Ｈ２と、荷重の計測値の相関関係でもある。なお、図８は、横軸を圧子３８による硬質材片Ｃの被押圧量とし、縦軸を荷重として、相関関係をグラフで示したものである。

図８の例では、圧子３８の被押圧量Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３が大きくなるのに比例（圧子３８により押圧される量が増加するのに比例）して、荷重（Ｎ）の計測値が増加する比例関係が成立する場合を示しており、各被押圧量Ｈ１～Ｈ３での各計測値Ｆ１～Ｆ３をプロットした３点を結んでなる比例直線Ｌが基準データＤとして記憶される。なお、基準データＤを取得するために、異なる３点の被押圧量で荷重を計測する他、２点で計測することや、４点以上で計測することとしてもよく、特に限定するものではない。

＜支持ステップ＞
図９に示すように、基準データ取得ステップを実施した後、任意のタイミングで、圧子３８で押圧されても変形しない硬質材片Ｃを支持ユニット６で支持するステップである。

任意のタイミングとは、所定回数の抗折強度を終えたタイミング、摩耗した圧子３８を交換したタイミング、装置の定期点検のタイミングなどである。

硬質材片Ｃは、基準データ取得ステップで用いられたものと同じものとする他、強度や寸法が同程度のものであって、変形が生じないものであれば同一素材からなる別のもの、あるいは、別素材からなる別のものを用いることとしてもよい。

＜計測ステップ＞
図９に示すように、支持ステップを実施した後、圧子３８で硬質材片Ｃを押圧した際の荷重計測器３２の計測値Ｆ４と、圧子３８による硬質材片Ｃの被押圧量Ｈ４と、を取得するステップである。

この計測ステップでは、１点の被押圧量で荷重を計測する他、複数の被押圧量を設定し、複数点で荷重を計測することとしてもよい。

＜判定ステップ＞
図１０に示すように、計測ステップで取得した計測値Ｆ４を基準データＤと比較し試験装置に異常があるか否かを判定するステップである。

具体的には、基準データＤのマップＭ上に、被押圧量Ｈ４と計測値Ｆ４に対応する点Ｐ４をプロットし、基準データＤの比例直線Ｌの上に乗るか否かを判定する。この例では比例直線Ｌに乗っており、異常なしと判定される。このようにして、荷重計測器３２の異常や、圧子３８の取付不良などがないことが確認され、以降の抗折強度の測定において、試験装置が信頼性の高い測定を行えるものと判断することができる。

他方、点Ｐ５、Ｐ６のようにプロットされた場合には、基準データＤの比例直線Ｌに乗らないとして、異常ありと判定される。この場合には、荷重計測器３２の異常や、圧子３８の取付不良などが生じており、計測値が正確でなく信頼性に欠けるものであることが確認できる。

なお、比例直線Ｌに対し、許容範囲Ｒを設定することとし、許容範囲Ｒにプロットされた場合（点Ｐ７）には異常なしと判定することとしてもよい。また、計測ステップにおいて複数点で荷重を計測し、複数点をプロットして計測直線を引き、当該計測直線の傾きと、比例直線Ｌの傾きを比較して判定をすることとしてもよい。

＜警報発信ステップ＞
判定ステップで異常と判定された場合に警報を発するステップである。オペレーターは、この警報に応じて適宜必要な対応をすることが可能となる。

図５に示すように、コントローラ２００の警報発信部２０６は、判定部２０４において異常が発生した場合には、異常信号を生成するとともに表示モニタ３０２、スピーカー３０３、表示灯３０４に出力する。表示モニタ３０２では、異常信号に基づいて警告を表示し、スピーカー３０３では警告音が発せられ、表示灯３０４では警告を表す色で発光がされる。警報発信部２０６は異常信号を発信する発信部として機能し、表示モニタ３０２、スピーカー３０３、表示灯３０４は異常の状況を知らせる出力部として機能し、これらを合わせて警告発信ユニットが構成される。

以上の実施形態によれば、試験装置に異常がない状態における圧子による被押圧量と荷重の相対関係を基準データとして記憶し、所定のタイミングで硬質材片を用いて基準データと比較することで、試験装置の異常の有無を判定できる。これにより、荷重計測器を試験装置から取り外さずに、ユーザー側で荷重計測器の異常や、圧子の取付不良などを検出することができ、ひいては信頼性の高い試験が行われることを保証することができる。

なお、図３に示すように、試験装置２において、検査用に使用する硬質材片Ｃを保管しておく保管スペース８２を設けるとともに、保管スペース８２から硬質材片Ｃを搬送する搬送機構８４を設けることで、所定のタイミングで自動で搬送機構８４を制御して硬質材片Ｃを支持ユニット６に移動させるとともに、検査を実施することとしてもよい。この構成によれば、定期的に自動で検査を実施することができ、早期に異常を発見することが可能となる。また、このように硬質材片Ｃのための保管スペース８２と搬送機構８４を設けることとする他、実際の検査対象となる試験片１１（図２）の搬送経路に保管スペースを設け、試験片１１（図２）を搬送する搬送装置によって硬質材片が指示ユニットにセットされることとしてもよい。

２ 試験装置
６ 支持ユニット
１１ 試験片
２６ 押圧ユニット
２８ 移動ユニット
２８ａ 連結部
２８ｂ スケール読取部
３２ 荷重計測器
３６ 挟持部材
３８ 圧子
４０ 駆動機構
２００ コントローラ
２０１ 圧子位置検出部
２０２ 被押圧量設定部
２０３ 基準データ記憶部
２０４ 判定部
２０５ 圧子移動ユニット制御部
２０６ 警報発信部
３０２ 表示モニタ
３０３ スピーカー
３０４ 表示灯
Ｃ 硬質材片
Ｄ 基準データ
Ｆ１ 計測値
Ｆ２ 計測値
Ｆ４ 計測値
Ｈ１ 被押圧量
Ｈ２ 被押圧量
Ｈ４ 被押圧量Ｌ 比例直線
Ｍ マップ
Ｒ 許容範囲

Claims (4)

1. 試験片を支持する一対の支持部を有した支持ユニットと、
   該支持部より上方且つ該一対の支持部の間に配置され、該支持ユニットで支持された試験片を押圧する圧子と、
   該圧子を該支持ユニットで支持された試験片に対して近接移動させるように駆動される移動ユニットと、
   該圧子が該支持ユニットで支持された試験片を押圧する荷重を計測する荷重計測器と、
   を備えた試験装置の検査方法であって、
   該試験装置に異常がない状態において、該圧子で押圧されても変形しない硬質材片を該圧子で押圧した際の該荷重計測器の計測値と、該圧子による硬質材片の被押圧量と、の相関関係を基準データとして取得する基準データ取得ステップと、
   該基準データ取得ステップを実施した後、任意のタイミングで、該圧子で押圧されても変形しない硬質材片を該支持ユニットで支持する支持ステップと、
   該支持ステップを実施した後、該圧子で該硬質材片を押圧した際の該荷重計測器の計測値と、該圧子による硬質材片の被押圧量と、を取得する計測ステップと、
   該計測ステップで取得した該計測値を該基準データと比較し該試験装置に異常があるか否かを判定する判定ステップと、を備えた試験装置の検査方法。
2. 該判定ステップで異常と判定された場合に警報を発する警報発信ステップを更に備えた、ことを特徴とする請求項１に記載の試験装置の検査方法。
3. 試験片を支持する一対の支持部を有した支持ユニットと、
   該支持部より上方且つ該一対の支持部の間に配置され、該支持ユニットで支持された試験片を押圧する圧子と、
   該圧子を該支持ユニットで支持された試験片に対して近接移動させるように駆動される移動ユニットと、
   該圧子が該支持ユニットで支持された試験片を押圧する荷重を計測する荷重計測器と、
   少なくとも該移動ユニットを制御するコントローラと、を備える試験装置であって、
   該コントローラは、
   該試験装置に異常がない状態において、該圧子で押圧されても変形しない硬質材片を該圧子で押圧した際の該荷重計測器の計測値と、該圧子による硬質材片の被押圧量と、の相関関係を基準データとして記憶する基準データ記憶部と、
   該圧子で押圧されても変形しない硬質材片を該圧子で押圧することで得られた該荷重計測器の計測値と、そのときの該圧子による硬質材片の被押圧量と、を該基準データと比較し該試験装置に異常があるか否かを判定する判定部と、を有する、試験装置。
4. 該判定部で異常と判定された場合に警報を発する警報発信ユニットを更に備える、ことを特徴とする請求項３に記載の試験装置。