JP7489133B2 - 毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置 - Google Patents

毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置 Download PDF

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Description

本発明は毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置に関するものであり、より詳しくは、ガスタンクに設置されたバルブの不良によって人体に有害な毒性または可燃性半導体特殊ガスが遺失する場合、指定のスクラバーが位置する場所までガスタンクを移送するうちにキャップ装置を設置することで、特殊ガスの遺失を防止することができ、特殊ガスが遺失してキャップ装置の内部圧力が設定値以上に上昇すれば、キャップ装置の一側に窒素ガスを供給し、キャップ装置の他側を開放することで、窒素ガスと反応してから排出される特殊ガスが携帯用スクラバーを通過してから大気中に排出されるようにすることにより、特殊ガスの流出による安全事故を予防することができ、窒素ガスの供給のために連結される補助タンクとキャップ装置とをクイックコネクタを介して速かに連結することができるので、ガス流出が始まる初期に安全事故防止のためのゴールデンタイムを確保することができる毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置に関するものである。
一般に、半導体製造分野などに使われているＮＦ３、ＮＨ３、Ｃｌ２、Ｂ２Ｈ６、ＣＦ４、ＨＣｌ、ＣＯ２、Ｆ２、ＰＨ３、ＤＣＳのような特殊ガスは常温で液体状態（液化ガス状態）でガスタンクの内部に貯蔵されており、これらのガスがガスタンクの内部で安全に維持管理される状態でガス供給ラインを通して半導体製造工程のプロセスチャンバーに供給される。
この際、前記のように半導体製造工程で使われる特殊ガスを混合するために、従来では、特殊ガスが混合されたガスタンクを別途の混合タンクで一日ほどの時間の間に自然放置する方法を用いた。
しかし、このような方法はガスを混合するために多大な時間がかかり、このように無意味に経つ時間の間にガスを正常に受けることができなければ、半導体生産に莫大な差し支えを引き起こす。
このような問題点のため、最近では、ガスタンクを回転させてガスタンクの内部の特殊ガスを混合する装置が開発されたが、この混合装置は、一定の高さに形成された回転バー上にガスタンクを横たえて回転バーを回転させることで、ガスタンクも一緒に回転させる方式を取っている。
本発明の背景技術は韓国登録特許第１０－０８７３２１８号公報（２００８年１２月１０日公告、発明の名称：半導体特殊ガス混合機）に開示されている。
韓国登録特許第１０－０８７３２１８号公報
従来技術による特殊ガス用ガスタンクは、特殊ガスが遺失する事故が発生する場合、ガスタンクのバルブから遺失する特殊ガスが大気中に拡散することを防止することができる別途の技術構成を備えていないので、人命被害または財産被害を防止しにくく、ガスタンクのバルブにキャップ装置を設置する場合にも、キャップ装置の内部圧力が上昇してキャップ装置が破損することにより特殊ガスが大気中に拡散することがある問題点がある。
したがって、これを改善する必要性がある。
本発明はガスタンクに設置されたバルブの不良及びガスタンクとバルブとの組立不良によって人体に有害な毒性または可燃性半導体特殊ガスが遺失する場合、指定のスクラバーが位置する場所までガスタンクを移送するうちにキャップ装置を設置することで、特殊ガスの遺失を防止することができ、特殊ガスが遺失してキャップ装置の内部圧力が設定値以上に上昇すれば、キャップ装置の一側に窒素ガスを供給し、キャップ装置の他側を開放することで、窒素ガスと反応してから排出される特殊ガスが携帯用スクラバーを通過してから大気中に排出されるようにすることにより、特殊ガス流出による安全事故を予防することができ、窒素ガス供給のために連結される補助タンクとキャップ装置とをクイックコネクタを介して速かに連結することができるので、ガス流出が始まる初期に安全事故防止のためのゴールデンタイムを確保することができる毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置を提供することにその目的がある。
本発明は、複数のガスタンクが着座することができる着座プレートを備え、前記着座プレートを支持するフレーム部材を作業者が取って移送することができるように足車部材を備える移送台車と、前記ガスタンクのバルブを取り囲むように設置され、前記バルブから特殊ガスが流出すれば、特殊ガスが大気中に拡散することを防止するキャップ装置と、前記キャップ装置の内部に窒素ガスを供給することができるように前記着座プレートに着座し、窒素ガスが充填される補助タンクと、前記キャップ装置の内部に遺失して前記キャップ装置の内部圧力を上昇させる特殊ガスを前記キャップ装置の外部に排出させながら、特殊ガスの内部に含まれた有害成分を吸着して浄化するスクラバーと、前記キャップ装置と前記補助タンクとを連結し、前記キャップ装置と前記スクラバーとを連結する連結部とを含むことを特徴とする。
また、本発明の前記連結部は、前記ガスタンクと前記キャップ部材との間に設けられる注入管と、前記補助タンクと前記キャップ部材との間に設けられる排出管と、前記注入管または前記排出管の両端部に備えられ、前記ガスタンク、前記補助タンク及び前記キャップ部材と前記注入管または前記排出管とを連結するクイックカップラーとを含むことを特徴とする。
また、本発明の前記着座プレートまたは前記フレーム部材は、前記ガスタンクまたは前記補助タンクに密着して前記ガスタンクまたは前記補助タンクを支持するガイドパネルを備え、前記ガイドパネルは、前記ガスタンク及び前記補助タンクを同時に締結して前記ガスタンク及び前記補助タンクが遊動することを防止する拘束部材と連結される係合突起を備えることを特徴とする。
また、本発明の前記スクラバーは、前記キャップ装置から延びる前記排出管が連結されるキャップ部材と、活性炭を収納し、活性炭の間の間隔を通過して排出される特殊ガスが通過するように前記キャップ部材に結合される本体ケースと、前記本体ケースから延び、前記排出管によって前記本体ケースの内部に流入する特殊ガスが活性炭の間の間隔を通過して外部に排出されるように前記キャップ部材から延び、ボールバルブが設けられた複数の排気管とを含むことを特徴とする。
また、本発明は、前記第１キャップを手軽く回転させてガスタンクに速かに結合させることができるようにする第１開閉部と、前記キャップ部材を手軽く回転させてガスタンクに速かに結合させることができるようにする第２開閉部とをさらに含むことを特徴とする。
また、本発明の前記第１開閉部は、前記第１キャップの外壁から側方向に突出し、端部から内側方向に第１着脱溝部が凹設される第１突出部と、前記第１着脱溝部に挿入される第１レバー部材と、を含むことを特徴とする。
また、本発明の前記第２開閉部は、前記キャップ部材の外壁から側方向に突出し、端部から内側方向に第２着脱溝部が形成される第２突出部と、前記第２着脱溝部に挿入される第２レバー部材と、を含むことを特徴とする。
また、本発明は、前記第１キャップの内部と外部との間の圧力差を減らすために、前記第１キャップの内部と外部とを連結または遮断するリーク部をさらに含むことを特徴とする。
本発明による毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置は、特殊ガスタンクを収納して移送する台車に、ガスタンクのキャップ装置の内部に窒素ガスを供給する補助タンクと、キャップ装置から排出される特殊ガス中に含まれる有害物質を除去するスクラバーとを同時に収納するので、特殊ガスタンクを運搬するうちにキャップ装置の内部に窒素ガスを供給しながら、排出される特殊ガスを浄化させることができ、よって漏出事故が発生したガスタンクを安全に移送することができ、特殊ガスタンクの移送中に特殊ガスの漏出が発生しても特殊ガスが大気中に拡散することを防止することができるので、安全事故を予防することができる利点がある。
また、本発明による毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置は、移送台車にガスタンク及び補助タンクを隣接して収納する着座プレート及びガイドパネルを備え、ガスタンク及び補助タンクを拘束する拘束部材を備えるので、ガスタンクの移送中に発生する振動によってガスタンクと補助タンクとが衝突して特殊ガスの漏出が発生することを防止することができる利点がある。
また、本発明による毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置は、スクラバーを成す本体ケースに活性炭の交替周期を確認することができる確認窓を備えるので、作業者が活性炭の交替可否を肉眼で確認して決定することができるので、活性炭の交替を逃すことなしに効果的な浄化作用を遂行することができ、確認窓を開放して活性炭の排出作業または注入作業を遂行することができる利点がある。
また、本発明による毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置は、窒素ガスを供給する補助タンクとキャップ装置とを連結する連結部にワンタッチ方式で注入管または排出管を連結するクイックコネクタまたはクイックカップラーを備えるので、ガス漏洩が発生する初期にガスタンクにキャップ装置を設置し、キャップ装置と補助タンク及びスクラバーとを手軽く連結することができるので、ガスタンクを指定の場所に移すのにかかる時間を減らすことができ、特殊ガスの遺失による安全事故を防止することができるので、ガス流出の初期に安全事故を防止することができるゴールデンタイムを確保することができる利点がある。
本発明の一実施例による毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置を示す正面斜視図である。 本発明の一実施例による毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置を示す背面斜視図である。 本発明の一実施例による毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置を示す正面図である。 本発明の一実施例による毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置を示す側面図である。 本発明の一実施例による毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置を示す平面図である。 本発明の一実施例による毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置のスクラバーを示す図である。 本発明の一実施例による毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置のキャップ装置を示す断面斜視図である。 本発明の一実施例による毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置を示す分解斜視図である。 本発明の一実施例による毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置のリーク部を示す断面図である。 本発明の一実施例による毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置の第２開閉部を示す斜視図である。 本発明の一実施例による毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置の第２開閉部を示す断面図である。 本発明の一実施例による毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置の第１開閉部を示す斜視図である。 本発明の一実施例による毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置の第１開閉部を示す断面図である。 本発明の一実施例による毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置のキャップ装置が４４リットル、４７リットル、及び４９リットルの容量のガスタンクに適用された場合の使用状態図である。 本発明の一実施例による毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置のキャップ装置が４４０リットル及び４６０リットルの容量のガスタンクに適用された場合の使用状態図である。 本発明の他の実施例による毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置のリーク部を示す使用状態図である。
以下、添付図面を参照して本発明による毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置の一実施例を説明する。
以下の説明過程で、図面に示す線の厚さや構成要素の大きさなどは説明の明瞭性及び便宜性のために誇張して示されていることがあり得る。
また、後述する用語は本発明における機能を考慮して定義した用語であり、これは使用者や運用者の意図または慣例によって変わることができる。
したがって、このような用語に対する定義はこの明細書全般にわたる内容に基づいて決定されなければならないであろう。
図１は本発明の一実施例による毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置を示す正面斜視図であり、図２は本発明の一実施例による毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置を示す背面斜視図であり、図３は本発明の一実施例による毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置を示す正面図である。
また、図４は本発明の一実施例による毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置を示す側面図であり、図５は本発明の一実施例による毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置を示す平面図であり、図６は本発明の一実施例による毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置のスクラバーを示す図である。
また、図７は本発明の一実施例による毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置のキャップ装置を示す断面斜視図であり、図８は本発明の一実施例による毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置を示す分解斜視図であり、図９は本発明の一実施例による毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置のリーク部を示す断面図である。
図１～図９を参照すると、本発明の一実施例による毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置は、複数のガスタンク１０が着座することができる着座プレート１１２を備え、着座フレートを支持するフレーム部材１１１を作業者が取って移送することができるように足車部材１１８を備える移送台車１１０と、ガスタンク１０のバルブを取り囲むように設置され、バルブから特殊ガスが流出すれば、特殊ガスが大気中に拡散することを防止するキャップ装置１００と、キャップ装置１００の内部に窒素ガスを供給するように着座プレート１１２に着座し、窒素ガスが充填される補助タンク１３０と、キャップ装置１００の内部に遺失してキャップ装置１００の内部圧力を上昇させる特殊ガスをキャップ装置１００の外部に排出させながら、特殊ガスの内部に含まれる有害成分を吸着して浄化するスクラバー１５０と、キャップ装置１００と補助タンク１３０とを連結し、キャップ装置１００とスクラバー１５０とを連結する連結部１０２、１０４とを含む。
したがって、半導体特殊ガスが充填されるガスタンク１０を運搬するときには、移送台車１１０の着座プレート１１２にガスタンク１０及び補助タンク１３０を着座させ、ガスタンク１０及び補助タンク１３０が遊動しないようにチェーンまたはベルトからなる拘束部材１１４ｂをガイドパネル１１４の係合突起１１４ａに係合し、拘束部材１１４ｂを締め付けることで、ガスタンク１０と補助タンク１３０とを密着した状態で固定させる。
ここで、拘束部材１１４ｂの端部が互いに対向する部位にターンバックルを設けることで、拘束部材１１４ｂを引っ張ってガスタンク１０及び補助タンク１３０を拘束させることができる。
また、本実施例の移送台車１１０は、キャップ装置保管ボックス１１６ａを着座させて保管することができる収納台１１６を含み、収納台１１６はフレーム部材１１１の下端から後方に延びる支持部を備えてキャップ装置保管ボックス１１６ａを収納することができ、フレーム部材１１１の下端及び収納台１１６の端部には足車部材１１８が取り付けられることで、作業者がフレーム部材１１１の上端に設けられた取っ手部を握って移送台車１１０を押しながら歩いてガスタンク１０を安全に移送することができる。
着座プレート１１２またはフレーム部材１１１は、ガスタンク１０または補助タンク１３０に密着してガスタンク１０または補助タンク１３０を支持するガイドパネル１１４を備え、ガイドパネル１１４は、ガスタンク１０及び補助タンク１３０を同時に締結してガスタンク１０及び補助タンク１３０が遊動することを防止する拘束部材１１４ｂと連結される係合突起１１４ａを備える。
したがって、ガスタンク１０及び補助タンク１３０を移送台車１１０に収納するとき、ガスタンク１０及び補助タンク１３０の下端及び外周面をガイドパネル１１４に密着させることで、ガスタンク１０及び補助タンク１３０を遊動なしに安全に収納することができ、ガイドパネル１１４の端部に形成された係合突起１１４ａに拘束部材１１４ｂを連結し
ターンバックルのような工具で拘束部材１１４ｂを引っ張れば、ガスタンク１０及び補助タンク１３０の外周面に拘束部材１１４ｂが密着してガスタンク１０及び補助タンク１３０を移送台車１１０に密着させる。
本実施例のキャップ装置１００は、ガスタンク１０の開閉バルブ１２を取り囲むようにガスタンク１０に結合される第１キャップ３０と、第１キャップ３０を取り囲むようにガスタンク１０に着座する第２キャップ５０と、第２キャップ５０を第１キャップ３０側に押圧することで、ガスタンク１０と第２キャップ５０との間の間隔を通してガスが遺失することを防止する押圧部と、ガスタンク１０から流出し、第１キャップ３０を通過して第２キャップ５０の内部に残存するガスによって第２キャップ５０の内部圧力が設定値を超えて上昇すれば、第２キャップ５０からガスを外部に排出させる排出部５２、９０を含む。
半導体製造用特殊ガスタンク１０は垂直方向に長い圧力容器の形状に形成され、ガスタンク１０の上端には、ガスタンク１０を開閉して特殊ガスを注入または排出させることができる開閉バルブ１２が設けられ、開閉バルブ１２の周辺には第１キャップ３０の開口部が着座する段差部が形成される。
ガスタンク１０の段差部に第１キャップ３０を組み立て、第１キャップ３０を取り囲むように第２キャップ５０をガスタンク１０の上部に装着すると、第２キャップ５０の内部に第１キャップ３０が挿入され、第１キャップ３０とガスタンク１０との間の連結部品も第２キャップ５０の内部に配置される。
したがって、押圧部を操作して第２キャップ５０をガスタンク１０の上部に組み立てれば、開閉バルブ１２から遺失する特殊ガスは第１キャップ３０によって１次シーリングされ、第１キャップ３０とガスタンク１０との間の間隔を通して遺失する特殊ガスは第２キャップ５０によって２次シーリングされる。
ガスタンク１０には第１ネジ山１４が形成され、第１キャップ３０には、第１ネジ山１４と螺合する第２ネジ山３２が形成されるので、第１キャップ３０を段差部に着座させた後、順方向または逆方向に第１キャップ３０を回転させることで、第１キャップ３０とガスタンク１０とを組み立てるかまたは分解することができる。
第１キャップ３０の開口部には第１シーリング部材３４が設けられる。すなわち、第１キャップ３０の開口部とガスタンク１０との間に第１シーリング部材３４が介在されることで、開閉バルブ１２を通して遺失する特殊ガスが第１キャップ３０とガスタンク１０との間の間隔を通して遺失することを防止することができる。
第２キャップ５０の開口部には第２シーリング部材５４が設けられるので、押圧部の作動によって第２キャップ５０がガスタンク１０に密着すれば、第２キャップ５０の開口部とガスタンク１０との間の間隔に第２シーリング部材５４が介在されることで、第１キャップ３０とガスタンク１０との間の間隔を通して遺失した特殊ガスが第２キャップ５０とガスタンク１０との間の間隔を通して遺失することを防止することができる。
押圧部は、第１キャップ３０から延び、第３ネジ山３８が形成され、第２キャップ５０の外側に延びる連結軸３６と、第３ネジ山３８と螺合する第４ネジ山７２が形成され、第２キャップ５０に密着するキャップ部材７０とを含む。
第２キャップ５０の上端には貫通ホール部５６が形成され、貫通ホール部５６と対向する第１キャップ３０の上端には上方に延びる連結軸３６が形成され、連結軸３６には第３ネジ山３８が形成される。
したがって、第１キャップ３０を取り囲むように、ガスタンク１０の上部に第２キャップ５０を装着すると、連結軸３６が貫通ホール部５６を通して第２キャップ５０の上側に突出し、連結軸３６に形成された第３ネジ山３８とキャップ部材７０の開口部に形成された第４ネジ山７２とが螺合することで、キャップ部材７０を第２キャップ５０の上部に密着させる。
第２キャップ５０の上部に密着するキャップ部材７０は第２キャップ５０を下側に押圧することで、ガスタンク１０と第２キャップ５０の開口部とが密着するようにするので、第１キャップ３０とガスタンク１０との間の間隔を通して遺失した特殊ガスが第２キャップ５０とガスタンク１０との間の間隔を通して遺失することを防止することができる。
また、連結軸３６が通過する貫通ホール部５６に遺失する特殊ガス、具体的には連結軸３６と螺合するキャップ部材７０が第２キャップ５０の上部に密着することで、連結軸３６と第２キャップ５０との間の間隔を通して遺失する特殊ガスを防止して３次シーリングを遂行する。
また、本実施例は、第１キャップ３０の内部と外部との間の圧力差を減らすために、第１キャップ３０の内部と外部とを連結または遮断させるリーク部８０をさらに含むので、リーク部８０を操作して第１キャップ３０の内部と外部とが連通する状態を成した後、第１キャップ３０をガスタンク１０に組み立てれば、第１キャップ３０の内部圧力が必要以上に上昇することを防止することができるので、第１キャップ３０の組立を容易に遂行することができる。
第１キャップ３０をガスタンク１０から分離させるとき、第１キャップ３０の内部に形成される真空圧によって第１キャップ３０とガスタンク１０とが容易に分離されない場合があるが、本実施例は、作業者がリーク部８０を操作して第１キャップ３０の内部と外部とを連結すれば、第１キャップ３０の内部の真空圧が外部に排出されることにより、第１キャップ３０とガスタンク１０とが容易に分離されることができるので、第１キャップ３０の分離作業を手軽く遂行することができる。
リーク部８０は、連結軸３６の上端に形成されたホール部に締結されるように第５ネジ山８２ａが形成され、第１キャップ３０の内部と外部とを連結する排出ホール部８２ｂを備えるリーク本体８２と、リーク本体８２に形成された第６ネジ山８２ｃと螺合する第７ネジ山８４ａが形成され、排出ホール部８２ｂを開閉させるキャップ部材８４とを含む。
リーク本体８２は、下部に第５ネジ山８２ａが形成され、上部に第６ネジ山８２ｃが形成されるので、リーク本体８２の下部を第１キャップ３０の側面に形成されたホール部と螺合させ、第６ネジ山８２ｃにキャップ部材８４に形成された第７ネジ山８４ａを螺合させることで、リーク本体８２とキャップ部材８４とを結合させる。
キャップ部材８４の側面上部には、排出ホール部８２ｂと連通するように排気ホール部８４ｂが形成され、作業者がキャップ部材８４を順方向に回転させてキャップ部材８４とリーク本体８２とを結合すれば、排気ホール部８４ｂがリーク本体８２の側面に対向して配置されることで、排出ホール部８２ｂ及び排気ホール部８４ｂが互いに遮断される。
また、キャップ部材８４を反対に回転させれば、キャップ部材８４がリーク本体８２の上端側に移動するのに伴って排気ホール部８４ｂが排出ホール部８２ｂと対向して連結されることで、第１キャップ３０の内部の真空圧が排出ホール部８２ｂ及び排気ホール部８４ｂを通して第２キャップ５０の外部に排出されることで、第１キャップ３０の内部及び外部の間の圧力差が減少するので、第１キャップ３０を容易にガスタンク１０から分離することができる。
また、本実施例による排出部５２、９０は、第２キャップ５０に設けられた供給管に設置される供給バルブ９０と、第２キャップ５０に設けられた排出管に設置されるリークバルブ５２と、第２キャップ５０に設置され、第２キャップ５０の内部圧力を表示する圧力計５２ａとを含む。
したがって、ガスタンク１０から流出するガスが第１キャップ３０を通過して第２キャップ５０の内部に充填される場合、第２キャップ５０の内部圧力が上昇する。ここで、作業者が圧力計５２ａを確認し、第２キャップ５０の内部圧力が設定値を超えれば、リークバルブ５２を開放することで、キャップ装置１００の内部のガスを排出管１０４に沿ってスクラバー１５０に供給するようになる。
ここで、本実施例の連結部は、ガスタンク１０とキャップ部材１５４との間に設けられる注入管１０２と、補助タンク１３０とキャップ部材１５４との間に設けられる排出管１０４と、注入管１０２または排出管１０４の両端部に備えられ、ガスタンク１０、補助タンク１３０及びキャップ部材１５４と注入管１０２または排出管１０４とを連結するクイックコネクタまたはクイックカップラーとを含む。
したがって、特殊ガスが流出し始める初期にガスタンク１０にキャップ装置を設置し、ガスタンク１０及び補助タンク１３０を移送台車に着座させて固定させた後、キャップ装置１００と補助タンク１３０との間に注入管１０２を設置するとき、注入管１０２の両端部に備えられたクイックコネクタまたはクイックカップラーを介して注入管１０２とキャップ装置１００とがワンタッチ方式で一回の押圧作業によって連結され、キャップ装置１００とスクラバー１５０との間に排出管１０４を連結するとき、排出管１０４の両端部に備えられたクイックコネクタまたはクイックカップラーを介して排出管１０４とキャップ装置１００及びスクラバー１５０とが一回の押圧作業によって連結される。
前述したように、注入管１０２及び排出管１０４の連結作業がクイックコネクタまたはクイックカップラーを介してワンタッチ方式でなされるので、ガスタンク１０のバルブの誤作動が発生する初期にキャップ装置１００を設置し、キャップ装置１００と補助タンク１３０及びスクラバー１５０とを短時間内に手軽く連結することができるので、特殊ガスの流出によってキャップ装置１００の内部圧力が設定値以上に上昇することを効果的に防止することができ、キャップ装置１００の内部に充填される特殊ガスを活性炭１５８と接触させて浄化させ、大気中に排出させながらガスタンク１０を移送することができる。
前述したように、ガスの流出が発生する初期にクイックコネクタまたはクイックカップラーを介してキャップ装置１００と補助タンク１３０とを短時間内に連結することで、ガスタンク１０からガスが遺失することを防止しながら移送することができるので、ガスの遺失による安全事故を防止することができるゴールデンタイムを確保することができる。
本実施例のスクラバー１５０は、キャップ装置１００から延びる排出管１０４が連結されるキャップ部材１５４と、活性炭１５８を収納し、特殊ガスが活性炭１５８の間の間隔を通過して排出されるようにキャップ部材１５４に結合される本体ケース１５２と、本体ケース１５２から延び、排出管１０４によって本体ケース１５２の内部に流入する特殊ガスが活性炭１５８の間の間隔を通過して外部に排出されるようにキャップ部材１５４から延び、ボールバルブが設けられた複数の排気管１５９とを含む。
したがって、補助タンク１３０から延びる注入管１０２をクイックカップラーを介してキャップ装置１００に連結し、キャップ装置１００から延びる排出管１０４をクイックカップラーを介してスクラバー１５０に連結した後、注入管１０２の両端部に備えられたバルブを開放すれば、窒素ガスが補助タンク１３０からキャップ装置１００の内部に供給され、キャップ装置１００の内部に窒素ガスが充填された状態で特殊ガスの移送作業を安全に遂行することができる。
その後、ガスタンク１０から特殊ガスが遺失してキャップ装置１００の内部圧力が設定値以上に上昇すれば、作業者は排出管１０４の両端部に設置されたバルブを開放することで、キャップ装置１００の内部に充填された窒素ガス及び特殊ガスを排出管１０４を通してキャップ装置１００の外部に排出させる。
ここで、排出管１０４に沿って排気される窒素ガス及び特殊ガスは本体ケース１５２を通過しながら、本体ケース１５２に収納された活性炭１５８と接触し、よって特殊ガス中に含まれた有害物質が活性炭１５８に吸着されて浄化され、排気管１５９に沿って大気中に排出される。
本実施例の本体ケース１５２は、上部が開放した小型のガスタンク状に形成され、円盤状に形成されたキャップ部材１５４が締結部材によって本体ケース１５２の上端に結合して小型のガスタンク状を成す。
本体ケース１５２は、活性炭１５８の交替周期を確認することができる確認窓１５６を備えることができる。よって、作業者が確認窓１５６を通して本体ケース１５２の内部に収納された活性炭１５８の色相を確認して活性炭１５８の交替時点を決定することができる。
確認窓１５６は透明材からなることで、作業者が本体ケース１５２の内部を確認することができるようにし、確認窓１５６を本体ケース１５２から分離することで、活性炭１５８を注入または排出させる注入ホール部として使うこともできる。
また、本実施例のフレーム部材１１１は、スクラバー１５０を載せて固定させる載置部１７０を備える。載置部１７０はフレーム部材１１１に取り付けられ、本体ケース１５２の外壁に密着するように環状に形成され、スクラバー１５０の下端を支持するように載置部１７０の底面は密閉しているので、スクラバー１５０の下端を載置部１７０に挿入して着座させることによってフレーム部材１１１に固定させることができる。
また、本実施例の排気管１５９は、キャップ部材１５４から上側に延びてから両側方向に延びた後、下方に折り曲げられて延びるので、浄化された特殊ガスを地面側に排出させることができ、それぞれの排気管１５９にはボールバルブ１５９ａが設置されるので、一対の排気管１５９のうちのいずれか一つの排気管１５９が詰まっても他の排気管１５９に設置されたボールバルブ１５９ａを開放することで、浄化された特殊ガスを大気中に排出させることができる。
また、本実施例の補助タンク１３０とキャップ装置１００との間に設けられる注入管１０２には、窒素ガスの供給量を表示する流量計、及び窒素ガスの供給量を一定に維持させるレギュレーターを含んでなる制御部が設けられる。
したがって、キャップ装置１００に窒素ガスを供給するとき、レギュレーターの作動によって一定量の窒素ガスを均一な圧力で提供することができ、レギュレーターの誤作動によって注入管１０２の内部圧力が設定値以上に上昇すれば、作業者が流量計及び圧力計を確認して窒素ガス供給の中断可否を判断することができる。
また、本実施例の排出管１０４にはブローメーター（Ｂｌｏｗ ｍｅｔｅｒ）が設置されることで、キャップ装置１００から排出される排気ガスの圧力及び流量を作業者が肉眼で確認することができるように表示するので、作業者は排気ガスの排出量及び圧力を確認しながら移送作業を遂行することができる。
図１０は本発明の一実施例による毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置の第２開閉部を示す斜視図であり、図１１は本発明の一実施例による毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置の第２開閉部を示す断面図であり、図１２は本発明の一実施例による毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置の第１開閉部を示す斜視図であり、図１３は本発明の一実施例による毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置の第１開閉部を示す断面図である。
図１０～図１３を参照すると、本実施例は、第１キャップ３０を手軽く回転させてガスタンク１０に速かに結合することができるようにする第１開閉部２５０と、キャップ部材７０を手軽く回転させてガスタンク１０に速かに結合することができるようにする第２開閉部３５０とをさらに含む。
したがって、ガスタンク１０の開閉バルブ１２から有害ガスが遺失する場合、作業者はキャップ装置保管ボックス１１６ａに収納された第１開閉部２５０及び第２開閉部３５０を取り出して第１キャップ３０に締結した後、作業者が第１開閉部２５０を取って第１キャップ３０を回転させて速かにガスタンク１０に結合させることができる。
その後、第１キャップ３０を取り囲むように第２キャップ５０を第１キャップ３０の上部に着座させ、第２キャップ５０を貫いて突出する連結軸にキャップ部材７０を着座させた後、第２開閉部３５０をキャップ部材７０に連結して回転させることで、キャップ部材７０を短時間内に連結軸３６と結合させることができる。
前述したように、第１開閉部２５０及び第２開閉部３５０を使って第１キャップ３０及びキャップ部材７０を手軽く短時間内に結合させることができるので、有害ガスをより効果的に遮断することができ、第１キャップ３０及びキャップ部材７０をより効果的に押圧することができるので、第１キャップ３０とガスタンク１０との間の間隔を通して有害ガスが遺失することを効果的に防止することができ、キャップ部材７０と第２キャップ５０との間の間隔を通して有害ガスが遺失することを効果的に防止することができる。
本実施例の第１開閉部２５０は、第１キャップ３０の外壁から側方向に突出し、端部から内側方向に第１着脱溝部２５６が凹設された第１突出部２５２と、第１着脱溝部２５６に挿入される第１レバー部材２５４とを含む。
第１着脱溝部２５６の内側部にはリング形の第１固定溝部２５８が形成され、第１着脱溝部２５６に挿入される第１レバー部材２５４の端部には第１Ｏリング２５４ａが設けられるので、作業者がキャップ装置保管ボックス１１６ａから一対の第１レバー部材２５４を取り出し、第１キャップ３０の外側面に互いに反対方向に形成された一対の第１突出部２５２に押し込めば、弾性材からなる第１Ｏリング２５４ａが圧縮されるのに伴って第１レバー部材２５４の端部が第１着脱溝部２５６の内部に挿入され、第１レバー部材２５４の端部が第１着脱溝部２５６の内側面まで挿入されれば、第１Ｏリング２５４ａが第１固定溝部２５８に着座して第１レバー部材２５４の挿入が完了する。
その後、作業者は一対の第１レバー部材２５４を取って第１キャップ３０を回転させることで、第１キャップ３０とガスタンクとの間の結合を手軽く完了することができる。
本実施例の第２開閉部３５０は、キャップ部材７０の外壁から側方向に突出し、端部から内側方向に第２着脱溝部３５６が形成された第２突出部３５２と、第２着脱溝部３５６に挿入される第２レバー部材３５４とを含む。
第２着脱溝部３５６の内側部にはリング形の第２固定溝部３５８が形成され、第２着脱溝部３５６に挿入される第２レバー部材３５４の端部には第２Ｏリング３５４ａが設けられるので、作業者がキャップ装置保管ボックス１１６ａから一対の第２レバー部材３５４を取り出し、キャップ部材７０の外側面に互いに反対方向に形成された一対の第２突出部３５２に押し込めば、弾性材からなる第２Ｏリング３５４ａが圧縮されるのに伴って第２レバー部材３５４の端部が第２着脱溝部３５６の内部に挿入され、第２レバー部材３５４の端部が第２着脱溝部３５６の内側面まで挿入されれば、第２Ｏリング３５４ａが第２固定溝部３５８に着座して第２レバー部材３５４の挿入が完了する。
その後、作業者は一対の第２レバー部材３５４を取ってキャップ部材７０を回転させることで、キャップ部材７０と第２キャップ５０との間の結合を手軽く完了することができる。
図１４は本発明の一実施例による毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置のキャップ装置が４４リットル、４７リットル、及び４９リットルの容量のガスタンクに適用された場合の使用状態図であり、図１５は本発明の一実施例による毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置のキャップ装置が４４０リットル及び４６０リットルの容量のガスタンクに適用された場合の使用状態図であり、図１６は本発明の他の実施例による毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置のリーク部を示す使用状態図である。
図１４～図１６を参照すると、本実施例のキャップ装置１００は、図１４及び図１５に示すように、第２キャップ５０の直径及び高さを多様に変更して製作することができ、ガスタンク１０の形状または大きさによって多様なガスタンク１０に適用して設置することができる。
また、本実施例のリーク部２８０は、図１６に示すように、第１キャップ３０の連結軸に設置され、中央部に排気ホール部２８２ｂが形成され、外壁に結合ネジ山２８２ａが形成され、排気ホール部２８２ｂの内壁に開閉ネジ山２８２ｃが形成されたバルブ本体２８２と、排気ホール部２８２ｂの内側に挿入または突出可能に締結される開閉部材２８４とを含む。
排気ホール部２８２ｂの内壁には直径の相異なるホール部が段部２８２ｄによって連結される形状に形成され、開閉部材２８４の下部には直径が減少した突起が形成され、突起の側面から形成される排気流路２８４ｂは「Ｔ」形に形成されることで、突起の側面から流入する有害ガスは上側に移動し、開閉部材２８４の上面から排出され、第１キャップ３０及び第２キャップ５０の外部に排出される。
したがって、第１キャップ３０の内部圧力が設定値以上に上昇すれば、作業者はキャップ部材７０を連結軸３６から分離させることでリーク部２８０を外部に露出させた後、開閉部材２８４を回転させながら排気ホール部２８２ｂの外側に突出させれば、開閉部材２８４の下端に形成される突起が段部２８２ｄを通って排気ホール部２８２ｂの外側に移動すれば、排気ホール部２８２ｂが開放し、第１キャップ３０から排気される有害ガスは突起の外周面から排気流路２８４ｂに沿って開閉部材２８４の上端に移動して第１キャップ３０及び第２キャップ５０の外側に少量が排出されることで、第１キャップ３０の内部圧力が設定値以上に上昇することによって発生する安全事故を予防することができる。
本実施例の開閉部材２８４は、外面に締結ネジ山２８４ａが形成されるので、排気ホール部２８２ｂに形成された開閉ネジ山２８２ｃと螺合して順方向または逆方向に回転させれば、排気ホール部２８２ｂの内側または外側方向に挿入または突出させることができる。
したがって、ガスタンクに設置されたバルブの不良によって人体に有害な毒性または可燃性半導体特殊ガスが遺失する場合、指定のスクラバーが位置する場所までガスタンクを移送するうちにキャップ装置を設置することで、特殊ガスの遺失を防止することができ、特殊ガスが遺失してキャップ装置の内部圧力が設定値以上に上昇すれば、キャップ装置の一側に窒素ガスを供給し、キャップ装置の他側を開放することで、窒素ガスと反応してから排出される特殊ガスが携帯用スクラバーの活性炭を通過してから大気中に排出されるようにして、特殊ガス流出による安全事故を予防することができ、窒素ガスの供給のために連結される補助タンク及びキャップ装置をクイックコネクタを介して速かに連結することができるので、ガスが流出し始める初期に安全事故防止のためのゴールデンタイムを確保することができる毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置を提供することができる。
本発明は図面に示した一実施例を参照して説明したが、これは例示的なものに過ぎなく、当該技術が属する分野で通常の知識を有する者であれば、これから多様な変形及び均等な他の実施例が可能であるという点が理解可能であろう。
また、毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置を例として説明したが、これは例示的なものに過ぎなく、毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置ではない他の製品にも本発明の移送装置を使うことができる。
したがって、本発明の真正な技術的保護範囲は以下の特許請求の範囲によって決定されなければならないであろう。
１０ ガスタンク
１２ 開閉バルブ
１４ 第１ネジ山
３０ 第１キャップ
３２ 第２ネジ山
３４ 第１シーリング部材
３６ 連結軸
３８ 第３ネジ山
５０ 第２キャップ
５２ ファジーバルブ
５４ 第２シーリング部材
５６ 貫通ホール部
７０ キャップ部材
７２ 第４ネジ山
８０ リーク部
８２ リーク本体
８２ａ 第５ネジ山
８２ｂ 排出ホール部
８２ｃ 第６ネジ山
８４ キャップ部材
８４ａ 第７ネジ山
８４ｂ 排気ホール部
９０ 供給バルブ
１００ キャップ装置
１０２ 注入管
１０４ 排出管
１１０ 移送台車
１１２ 着座プレート
１１４ ガイドパネル
１１４ａ 係合突起
１１４ｂ 拘束部材
１１６ 収納台
１１８ 足車部材
１３０ 補助タンク
１５０ スクラバー
１５２；本体ケース
１５４ キャップ部材
１５９ 排気管
１５９ａ ボールバルブ
１７０ 載置部

Claims (6)

  1. 複数のガスタンクが着座することができる着座プレートを備え、前記着座プレートを支持するフレーム部材を作業者が取って移送することができるように足車部材を備える移送台車と、
    前記ガスタンクのバルブを取り囲むように設置され、前記バルブから特殊ガスが流出すれば、特殊ガスが大気中に拡散することを防止するキャップ装置と、
    前記キャップ装置の内部に窒素ガスを供給することができるように前記着座プレートに着座し、窒素ガスが充填される補助タンクと、
    前記キャップ装置の内部に遺失して前記キャップ装置の内部圧力を上昇させる特殊ガスを前記キャップ装置の外部に排出させながら、特殊ガスの内部に含まれた有害成分を吸着して浄化するスクラバーと、
    前記キャップ装置と前記補助タンクとを連結し、前記キャップ装置と前記スクラバーとを連結する連結部と、を含み、
    前記キャップ装置は、
    前記ガスタンクの開閉バルブを取り囲むように前記ガスタンクに結合される第１キャップと、 前記第１キャップを取り囲むように前記ガスタンクに着座する第２キャップと、
    前記第２キャップを前記第１キャップ側に押圧することで、前記ガスタンクと前記第２キャップとの間の間隔を通してガスが遺失することを防止する押圧部と、
    前記第１キャップの内部と外部との間の圧力差を減らすために、前記第１キャップの内部と外部とを連結または遮断するリーク部を含み、
    前記押圧部は、
    前記第１キャップから延び、前記第２キャップの外側に延びる連結軸と、
    前記連結軸と結合し、前記第２キャップに密着するキャップ部材を含み、
    前記第１キャップを手軽く回転させてガスタンクに速やかに結合させることができるようにする第１開閉部と、
    前記キャップ部材を手軽く回転させてガスタンクに速やかに結合させることができるようにする第２開閉部と、をさらに含むことを特徴とする、
    毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置。
  2. 前記連結部は、
    前記補助タンクと前記キャップ装置との間に設けられる注入管と、
    前記キャップ装置と前記スクラバーとの間に設けられる排出管と、
    前記注入管または前記排出管の両端部に備えられ、前記キャップ装置、前記補助タンク及び前記スクラバーと前記注入管または前記排出管とを連結するクイックカップラーと、
    を含むことを特徴とする、請求項１に記載の毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置。
  3. 前記着座プレートまたは前記フレーム部材は、前記ガスタンクまたは前記補助タンクに密着して前記ガスタンクまたは前記補助タンクを支持するガイドパネルを備え、前記ガイドパネルは、前記ガスタンク及び前記補助タンクを同時に締結して前記ガスタンク及び前記補助タンクが遊動することを防止する拘束部材と連結される係合突起を備えることを特徴とする、請求項１に記載の毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置。
  4. 前記スクラバーは、
    前記キャップ装置から延びる前記排出管が連結されるキャップ部材と、
    活性炭を収納し、活性炭の間の間隔を通過して排出される特殊ガスが通過するように前記キャップ部材に結合される本体ケースと、
    前記本体ケースから延び、前記排出管によって前記本体ケースの内部に流入する特殊ガスが活性炭の間の間隔を通過して外部に排出されるように前記キャップ部材から延び、ボールバルブが設けられた複数の排気管と、を含むことを特徴とする、請求項２に記載の毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置。
  5. 前記第１開閉部は、
    前記第１キャップの外壁から側方向に突出し、端部から内側方向に第１着脱溝部が凹設される第１突出部と、
    前記第１着脱溝部に挿入される第１レバー部材と、を含むことを特徴とする、請求項１に記載の毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置。
  6. 前記第２開閉部は、
    前記キャップ部材の外壁から側方向に突出し、端部から内側方向に第２着脱溝部が形成される第２突出部と、
    前記第２着脱溝部に挿入される第２レバー部材と、を含むことを特徴とする、請求項１に記載の毒性及び可燃性半導体特殊ガス漏洩防止用移送装置。
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