JP7487608B2 - 分光測定装置 - Google Patents
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Description
特定の波長の光のみを選択的に受光する場合、バンドパスフィルタのようなフィルタを介して受光するか、レーザーのような特定の波長の光のみを出射する光源を使用して対象物に光照射してその対象物からの光を受光する構成が考えられる。しかしながら、このような手法であると、選択する波長を変更することが難しい。フィルタを数多く用意して交換することが考えられるが、高コストで構造的にも複雑になる。波長の異なる光源を多数用意して交換しながら光照射することも、コストや構造の点で非現実的である。このようなことから、特許文献1や特許文献2の装置が提案されている。
上記特許文献の他、分散素子としてプリズムを使用したもの(非特許文献1)や、LCOS(Liquid Crystal on Silicon)型の空間光変調器を使用したもの(非特許文献2)が知られている。
本願の発明は、任意波長選択型の分光測定の技術における上記課題を解決するために為されたものであり、環境条件の変化や機構的外乱の影響を受けにくくして高信頼性の任意波長選択型分光測定を安定して行えるようにすることを目的としている。
また、上記課題を解決するため、この分光測定装置において、導波路型の波長分割素子は、アレイ導波路回折格子であり得る。
また、上記課題を解決するため、この分光測定装置において、変調素子は、電気光学変調器、熱光学型変調器、音響光学変調器又は機械式ファイバースイッチであり得る。
また、上記課題を解決するため、この分光測定装置において、光源は、ファイバー光源であり得る。
また、上記課題を解決するため、この分光測定装置において、光源は、スーパーコンティニウム光源であり得る。
また、上記課題を解決するため、この分光測定装置は、導波路型の波長分割素子における各波長の出射端と変調素子とが中継ファイバーで接続されているという構成を持ち得る。
また、上記課題を解決するため、この分光測定装置は、変調制御部は、アダマールマスクの入れ替えに相当するように変調素子を制御することが可能であり、データ処理ユニットは、受光器からの出力を処理してアダマール分光を行うユニットであるという構成を持ち得る。
また、上記課題を解決するため、この分光測定装置において、受光器は、対象物からの光を二次元で受光する二次元アレイ受光器であり得る。
また、上記課題を解決するため、この分光測定装置は、変調素子で変調された光が照射された対象物からの光をさらに分光する分光光学系が設けられており、受光器は、分光光学系が分光した光を受光する受光器であるというという構成を持ち得る。
また、上記課題を解決するため、この分光測定装置は、光源はパルス光源であり、変調素子で変調された光を分割してその一方の対象物に照射する分割素子が設けられており、受光器は、分割された一方の光が照射された対象物において発生した蛍光を受光する蛍光用受光器であり、分割素子で分割された他方の光が対象物を経ることなく入射する位置に配置された同期用受光器が設けられており、データ処理ユニットは、同期用受光器の出力及び蛍光用受光器の出力に従って時間相関単一光子計数法を行うモジュールを含んでいるという構成を持ち得る。
また、上記課題を解決するため、この分光測定装置において、変調制御部は、波長分割素子で分割されて出射する全ての波長の光を同時に対象物に照射する変調を行うことができるものであり得る。
また、波長分割素子がアレイ導波路回折格子である構成では、分割数を多くするのが容易であるので、この点で好適となる。
また、光源がファイバー光源である構成では、波長分割素子との接続についても自由空間を経ないで行うことができるので、この点でより好適となる。
また、光源がスーパーコンティニウム光源である構成では、上記効果を得つつ選択可能波長帯域を広くできるので、この点でより好適となる。
また、波長分割素子における各波長の出射端と変調素子とが中継ファイバーで接続されている構成では、既存の波長分割素子を用いることができるので、この点で実用的となる。
また、アダマールマスクの入れ替えに相当するように変調素子を制御する変調制御部が設けられており、データ処理ユニットが受光器からの出力を処理してアダマール分光を行うユニットであると、極めて簡便な構成にてアダマール分光を行うことができ、また使用環境や外乱の影響を受けにくい。そして、対象物に対して瞬時的に与えられる光エネルギーが小さいので、耐熱性や耐光性の低い対象物についても好適にアダマール分光による分析をすることができる。
また、受光器が対象物からの光を二次元で受光する二次元アレイ受光器である構成では、任意波長選択照射型の分光測定を二次元で行うことができ、特にハイパースペクトル画像を容易に得ることができる。
また、変調素子で変調された光が照射された対象物からの光をさらに分光する分光光学系が設けられており、受光器が分光光学系が分光した光を受光する受光器であると、対象物からの光をさらに分光した結果を測定結果として得ることができ、特に蛍光観察の用途において有益な装置となる。
また、光源がパルス光源であって、分割素子で分割された一方の光が入射した対象物において発生した蛍光を蛍光用受光器が捉え、他方の光が入射する位置に同期用受光器が設けられており、蛍光用受光器及び同期用受光器からの入力に従って時間相関単一光子計数法が行われる構成であると、励起光の波長と蛍光寿命との関係を極めて短時間に調べることができる。
図1は、第一の実施形態に係る分光測定装置の概略図である。この分光測定装置は、複数の異なる波長のうちから一つ又は複数の波長を任意に選択して当該波長の光を対象物Sに照射し、光照射された対象物Sからの光を受光器7で受光する装置である。
ここでの波長は、厳密な意味で考えると波長帯である。即ち、例えば1100nmの波長の光とはいっても、厳密には1095nm~1104nmの波長の光を意味するといった具合に、厳密に表現すれば「波長帯」ということになる。このように厳密には波長帯であるが、煩雑となるので、以下の説明では単に「波長」と表現する。したがって、ある波長を含む帯域とは、その波長の厳密な意味での帯域よりも広い帯域ということになる。
光源1は、対象物Sに照射して光特性を知る必要がある波長を含む帯域(以下、測定可能波長帯域という。)の光を出射する光源である。したがって、対象物Sの種類や知るべき光特性に応じて選定される。この実施形態では、光源1には、ファイバー光源が使用されており、特にスーパーコンティニウム光(以下、SC光と記す。)を出射するスーパーコンティニウム光源が使用されている。この明細書では、出射部がファイバーである光源を広くファイバー光源と呼んでいる。ファイバーレーザーが典型的なファイバー光源であるが、測定可能波長帯域という広い波長帯域の光を出射させる必要があるため、この実施形態では光源1としてSC光源が使用されている。
アレイ導波路回折格子は、光通信用として開発された素子であり、光測定用としての利用は知られていない。図2に示すようにアレイ導波路回折格子は、基板21上に各機能導波路22~26を形成することで構成されている。各機能導波路は、光路長が僅かずつ異なる多数のグレーティング導波路22と、グレーティング導波路22の両端(入射側と出射側)に接続されたスラブ導波路23,24と、入射側スラブ導波路23に光を入射させる入射側導波路25と、出射側スラブ導波路24から各波長の光を取り出す各出射側導波路26となっている。
このようなアレイ導波路回折格子は、例えばシリコン製の基板21を表面処理することで作製することができる。具体的には、シリコン製の基板21の表面に火炎堆積法によりクラッド層(SiO2層)を形成し、コア用のSiO2-GeO2層を同様に火炎堆積法により形成した後、フォトリソグラフィによりSiO2-GeO2層をパターン化して各導波路22~26を形成し、更にオーバークラッド層(SiO2層)を形成することにより作製される。各グレーティング導波路22の線幅は、例えば5~6μm程度である。
形成するグレーティング導波路22の数は、波長分割数にもよるが、例えば1000~1300nm程度の波長帯域幅に亘って10~100個程度の波長帯域に分割する場合、グレーティング導波路の数は30~300本程度であり、光は3~30nmずつ違う波長に分割されて出射される。
変調素子3が行う変調は振幅変調であり、オンオフ(透過、遮断)である。図1に示すように、波長分割素子2と各変調素子3は、中継ファイバー4で接続されている。図2に示すように、各中継ファイバー4の入射端は、波長分割素子2としてのアレイ導波路回折格子の各出射側導波路26に接続されている。各中継ファイバー4の出射端に、各変調素子3が取り付けられている。
図1に示すように、各変調素子3の出射側には、出射ファイバー5が接続されている。出射ファイバー5は終端は一つに束ねられており、そこに出射端素子51が設けられている。出射端素子51としては、例えばアレイ導波路回折格子が使用される。即ち、アレイ導波路回折格子を波長分割素子として使用する場合とは逆向きに光を入射することにより、各出射ファイバー5からの光を1本の導波路に合波することができる。また出射端素子51として、バンドルファイバーやファンイン/ファンアウトデバイスが使用される場合もあり得る。
尚、変調素子は光のオンオフを行うと説明したが、オフの状態は、変調素子3の構成によっては異なる態様を取り得る。光がそこで減衰して強度が実質的にゼロになる場合もあるし、通常とは異なる方向に反射することで出射ファイバー5に入射しなくなる(伝送されなくなる)場合もあり得る。
この例では、対象物Sは受け板6に載置されるようになっており、照射光学系50は受け板6上の対象物Sに照射するための光学系である。この例ではミラーを使用しているが、導光用ファイバーを使用する場合もある。導光用ファイバーを使用する場合、出射端素子51に導光用ファイバーを接続し、その終端にコリメートレンズ52を取り付ける構成が採用され得る。
データ処理ユニット8は、プロセッサ81や記憶部(ハードディスク、メモリ等)82を備えている。記憶部82には、受光器7からのデータを処理して測定結果を得るデータ処理プログラム83やその他の必要なプログラムがインストールされている。尚、受光器7とデータ処理ユニット8との間にはADコンバータ80が設けられており、受光器7の出力はデジタル化されてデータ処理ユニット8に入力されるようになっている。
図1に示すように、データ処理ユニット8は、表示部801や入力部802を備えている。波長選択入力プログラム85は、任意波長を選択する画面を表示部801に表示し、入力部802で入力させるプログラムである。入力により選択された波長の情報(選択波長情報)は、記憶部82に一時的に記憶され、データ処理プログラム83が実行される際に引数として渡されるようになっている。
測定者は、受け板6に対象物Sを載置するとともに入力部802において測定波長の入力をする。そして、入力部802から測定開始の指令を入力すると、データ処理ユニット8にインストールされた測定シーケンス制御プログラム84が実行される。
測定シーケンス制御プログラム84は、光源1を動作させ、SC光を出射させる。出射されたSC光は、波長分割素子2で波長分割され、変調素子3で変調されて出射する。そして、コリメートレンズ52でビームがコリメートされて対象物Sに照射される。この際、測定シーケンス制御プログラム84は、変調制御部30に制御信号を送る。この制御信号は、選択された波長に対応する変調素子3を動作させ、それ以外の変調素子3は動作しないようにする信号である。変調制御部30は、この制御信号に従って各変調制御部30を制御し、選択された波長の変調素子3のみをオンにする。
データ処理ユニット8で実行されるデータ処理プログラム83は、必要なデータ処理を行ってその結果を表示部801に表示する。必要なデータ処理とは、吸収率の測定の場合、対象物Sを受け板6に配置しない状態で測定した参照値のうち当該波長(選択された波長)の参照値と比較して吸収率を算出する処理である。
尚、全波長が順次選択された場合、全波長が対象物Sに照射されてその透過光が受光器7で受光され、それが各参照値と比較されるので、測定結果は測定可能波長帯域の全域についての吸収スペクトルということになる。
尚、分割素子2としてのアレイ導波路回折格子の出力はシングルモードであり、変調素子3もシングルモード動作の場合が多いので、中継ファイバー4はシングルモードファイバーであることが望ましい。
特許文献2や非特許文献3に記載されているように、アダマール分光を行う場合、アダマール行列に基づいてアダマールマスクを作成して使用する。例えば非特許文献3に記載されているように、n次のアダマール行列(H行列)からn-1次のS行列を作成し、このS行例に対応するアダマールマスクを作成する。そして各アダマールマスクを順次入れ替えて測定を行う。特許文献2では、プログラマブルミラーによってアダマールマスクの入れ替えに相当する光の制御を行っている。
実施形態の分光測定装置を用いてアダマール分光を行う場合(アダマール分光測定装置の場合)、上記のように変調制御部30とデータ処理プログラム83の構成が変更されるが、この構成によれば、アダマールマスクの入れ替えが各変調素子3の制御シーケンスで実現されるので、極めて簡便となる。また、引用文献2のようにプログラマブルミラーを使用する必要もないので、使用環境や外乱の影響を受けにくい。
第二の実施形態の分光測定装置は、第一の実施形態と同様、対象物Sに対して任意に選択された波長の光を照射する装置となっている。そして、第二の実施形態では、第一の実施形態と異なり、光照射された対象物Sからの反射光を測定する装置となっている。
コリメートレンズ52は、受け板6に載置された対象物Sに対して斜め上から光照射する姿勢で取り付けられており、その反射光を受光する位置にレンズ71を介して受光器7が設けられている。受光器7は、同様にADコンバータ80を介してデータ処理ユニット8に接続されている。
データ処理ユニット8に実装されたデータ処理プログラム83は、受光器7からの二次元データを処理するプログラムとなっている。データ処理プログラム83は、二次元データ処理の結果を、選択された波長についての対象物Sの表面の二次元の分光測定の結果とする。この場合、選択された波長が単一の波長であれば、当該波長の反射率が対象物Sの表面においてどのように分布しているかの測定結果となる。複数波長が順次選択されている場合、測定結果はいわゆるハイパースペクトル画像となる。全波長を順次選択すると、測定可能波長帯域全域でのハイパースペクトル画像が測定結果として得られる。
尚、反射率の算出に際しては参照値が必要であるので、予め標準反射板を使用して取得しておく。標準反射板は、各波長の反射率が既知である反射板である。標準反射板を使用した際の測定値に対する比率に基づいて対象物Sの表面の反射率が算出される。
さらに、上記手法では、対象物Sに光照射してそこからの光に対してアダマールマスクを適用するのではなく、アダマールマスクに相当するシーケンスで波長を選択して対象物Sに光照射するので、対象物Sに対して瞬時的に与えられる光エネルギーは小さい。このため、耐熱性や耐光性の低い対象物Sについても好適にアダマール分光による分析をすることができる。
また、変調素子3として、音響光学型変調器を使用することもできる。音響光学型変調器は、音響光学結晶の一面に圧電変換器が取り付けられており、高周波信号を圧電変換器に印加することによって結晶内に音響進行波を発生させ、光弾性効果によって特定の波長に対する変調器として動作するよう設計された素子である。このような音響光学型変調器を変調素子3として使用することができる。
変調素子3は、導波路型の波長分割素子2の後段に設けられる素子であるので、上記各変調器も含め、PLC(Planar Lightwave Circuit)型やファイバー型の変調器が一般論として親和性が高く、好適に用いることができる。
光源1としては、この他、ASE(Amplified Spontaneous Emission)光源、SLD(Superluminescent diode)光源等を使用することもできる。さらに、レーザー系の光源である必要はなく、LEDその他のインコヒーレント光源が使用されることもあり得る。これらの光源についても、出射部にファイバーを設けたファイバー光源とすると、同様に使用環境や外乱の影響を受けにくいという効果が得られる。
さらに、対象物Sからの光は、透過光や反射光に限らず、散乱光や蛍光の場合もあり得る。尚、いずれの場合も、対象物Sからの光をさらに分光する分光光学系が設けられる場合があり得る。具体的には、対象物Sからの光をレンズで集光し、集光位置にスリットを設ける。そして、スリットを通過した光をコリメーターレンズで平行光にした後に回折格子で分散させ、一次元のアレイ型受光器で受光する(ポリクロメーター)。このような構成は、蛍光の観察において特に効果的である。即ち、対象物Sに照射する光を各変調素子3の制御でスキャンしながら(順次変えながら)発生蛍光を分光分析することで、励起光の波長と発生蛍光のスペクトルとの関係を極めて短時間に調べることができる。
図4に示すように、TCSPCを行う場合、データ処理ユニット8は、TCSPCモジュール86を含んだ構成とされ、光源1から出射されるパルスに同期した同期信号発生部が設けられる。同期信号発生部については幾つかの構成が考えられるが、ここでは、光の一部を分割して受光器で受光してその出力を同期信号とする構成が採用されている。即ち、図4に示すように、照射光学系50は、コリメートレンズ52の出射側にビームスプリッタのような分割素子54を備えている。そして、分割された一方の光が入射する位置に高速フォトダイオード等の同期用受光器70が配置され、他方の光が入射する位置にレンズ61を介して対象物Sが配置される。
尚、分割素子54を設ける位置は他の位置でも良く、波長分割素子2の入射側や光源1の内部でも良い。さらに、超短パルスレーザ源11内において光を分割して同期用に受光して同期信号を発生させても良く、また超短パルスレーザ源11における駆動用の信号(例えば励起用レーザの駆動信号)を取り出して同期信号としても良い。
2 波長分割素子
3 変調素子
30 変調制御部
4 中継ファイバー
5 出射ファイバー
51 出射端素子
52 ビームエキスパンダ
53 導光用ファイバー
6 受け板
7 受光器
700 蛍光用受光器
8 データ処理ユニット
80 ADコンバータ
86 TCSPCモジュール
S 対象物
Claims (11)
- 選択され得る複数の異なる波長を含む帯域の光を出射する光源と、
光源から出射された光を波長分割する導波路型の波長分割素子と、
波長分割素子で分割された各波長の光のうち特定の波長の光が選択的に対象物に照射されるように光を変調する変調素子と、
変調素子を制御する変調制御部と、
変調素子で変調された光が照射された対象物からの光を受光する受光器と、
変調素子により選択的に照射された光の波長における対象物の光学特性を受光器からの出力を処理することで得るデータ処理ユニットと
を備えており、
変調制御部は、波長分割素子で分割された各波長の光のうち任意の一つの波長のみが選択されるように変調素子を制御することが可能であるとともに任意の複数の波長が選択されるように変調素子を制御することが可能であり、波長の選択を所定の順序で変化させるシーケンス制御プログラムが実装されていることを特徴とする分光測定装置。 - 前記導波路型の波長分割素子は、アレイ導波路回折格子であることを特徴とする請求項1記載の分光測定装置。
- 前記変調素子は、電気光学変調器、熱光学型変調器、音響光学変調器又は機械式ファイバースイッチであることを特徴とする請求項1又は2記載の分光測定装置。
- 前記光源は、ファイバー光源であることを特徴とする請求項1乃至3いずれかに記載の分光測定装置。
- 前記ファイバー光源は、スーパーコンティニウム光源であることを特徴とする請求項4記載の分光測定装置。
- 前記導波路型の波長分割素子における各波長の出射端と前記変調素子とは中継ファイバーで接続されていることを特徴とする請求項1乃至5いずれかに記載の分光測定装置。
- 前記変調制御部は、アダマールマスクの入れ替えに相当するように前記変調素子を制御することが可能となっており、
前記データ処理ユニットは、前記受光器からの出力を処理してアダマール分光を行うユニットであることを特徴とする請求項1乃至6いずれかに記載の分光測定装置。 - 前記受光器は、対象物からの光を二次元で受光する二次元アレイ受光器であることを特徴とする請求項1乃至7いずれかに記載の分光測定装置。
- 前記変調素子で変調された光が照射された対象物からの光をさらに分光する分光光学系が設けられており、前記受光器は、分光光学系が分光した光を受光する受光器であること特徴とする請求項1乃至7いずれかに記載の分光測定装置。
- 前記光源はパルス光源であり、
前記光源が出射させるパルス光に同期した同期信号を発生させる同期信号発生部が設けられており、
前記受光器は、前記変調素子により変調されたパルス光が照射された対象物において発生した蛍光を受光する蛍光用受光器であり、
前記データ処理ユニットは、同期信号発生部が発生させた同期信号と蛍光用受光器の出力とに従って時間相関単一光子計数法を行うモジュールを含んでいることを特徴とする請求項1乃至6いずれかに記載の分光測定装置。 - 前記変調制御部は、前記波長分割素子で分割されて出射する全ての波長の光を同時に対象物に照射する変調を行うことができるものであることを特徴とする請求項1乃至10いずれかに記載の分光測定装置。
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