JP7486322B2 - 荷電粒子顕微鏡用の試料ホルダー - Google Patents
荷電粒子顕微鏡用の試料ホルダー Download PDFInfo
- Publication number
- JP7486322B2 JP7486322B2 JP2020023907A JP2020023907A JP7486322B2 JP 7486322 B2 JP7486322 B2 JP 7486322B2 JP 2020023907 A JP2020023907 A JP 2020023907A JP 2020023907 A JP2020023907 A JP 2020023907A JP 7486322 B2 JP7486322 B2 JP 7486322B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- holder
- clamping member
- recess
- sample holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 19
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 13
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 5
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 5
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 8
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 5
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 5
- 241001272720 Medialuna californiensis Species 0.000 description 4
- 238000002149 energy-dispersive X-ray emission spectroscopy Methods 0.000 description 4
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000002591 computed tomography Methods 0.000 description 3
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000011066 ex-situ storage Methods 0.000 description 2
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 2
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 2
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 241000252073 Anguilliformes Species 0.000 description 1
- 238000005136 cathodoluminescence Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005430 electron energy loss spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 239000011163 secondary particle Substances 0.000 description 1
- 238000003325 tomography Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/20—Means for supporting or positioning the objects or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/261—Details
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/20—Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/20—Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
- H01J2237/2007—Holding mechanisms
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Description
-荷電粒子源、および荷電粒子源から放射された荷電粒子のビームを試料上に向けるための照明装置を含む光学カラムと、
-試料をその中に含む試料キャリアを保持するための、照明装置の下流に位置決めされた上述のような本開示による試料ホルダーと、
-荷電粒子源から放射された荷電粒子の入射に応答して、試料から生じる放射物を検出するための検出デバイスと、
-荷電粒子顕微鏡の操作を実行するための制御ユニットと、を備える、荷電粒子顕微鏡が提供される。
-クランプ部材を開位置に移動させる工程と、
-試料キャリアを試料ホルダーの凹部内に載置する工程と、
-クランプ部材を閉位置に移動させる工程と、を含む、方法が提供される。
-TEMカメラ30。カメラ30の位置に、電子束は、静止画像(または、フーリエ変換図形)を形成することができ、静止画像は、コントローラ/またはプロセッサ20により処理することができ、例えばフラットパネルディスプレイのような表示デバイス(図示せず)に表示することができる。必要ではない場合、カメラ30は、後退/回収(矢印30´で概略に示すように)されて、カメラを軸線B´から外れるようにすることができる。
-STEMカメラ32。カメラ32からの出力は、試料S上のビームBの(X、Y)走査位置の関数として記録することができ、X、Yの関数としてのカメラ32からの出力の「マップ(map)」である画像を構築することができる。カメラ32は、カメラ30に特徴的に存在する画素行列とは異なり、例えば直径が20mmの1個の画素を含むことができる。さらに、カメラ32は、一般的に、カメラ30(例えば、102画像/秒)よりも非常に高い取得速度(例えば、106ポイント/秒)を有することになる。この場合も同じく、必要でない場合、カメラ32は、(矢印32´で概略に示すように)後退/回収されて、カメラを軸線B´から外れるようにすることができる(このような後退は、例えばドーナツ形の環状暗視野カメラ32の場合には必要とされないが、このようなカメラでは、中心孔により、カメラが使用されていなかった場合に電子束を通過させることができる)。
-カメラ30または32を使用して撮像を行うことの代替として、例えば、EELSモジュールとすることができる分光装置34を呼び出すこともできる。
Claims (13)
- 荷電粒子顕微鏡用の試料ホルダーであって、
-試料をその中に含む試料キャリアを解放可能に受け入れるための凹部を有するホルダー本体と、
-前記試料キャリアを前記ホルダー本体の前記凹部内に固定するための、前記ホルダー本体に接続可能な少なくとも1つの固定要素と、を備え、
前記固定要素が、前記ホルダー本体に移動可能に接続されたクランプ部材を備えることを特徴とし、前記クランプ部材が、閉位置と開位置との間で移動可能であり、前記開位置では、前記試料キャリアが前記凹部に載置され得、前記閉位置では、前記試料キャリアが前記凹部にロックされ得、
前記クランプ部材は、アクチュエータ部材によって作動させることができ、
前記アクチュエータ部材が、前記クランプ部材を前記開位置に向かって押すように、前記開位置に向かう方向と平行な、前記アクチュエータ部材と前記ホルダー本体との間の相対的移動を生じさせるように、配置されている、試料ホルダー。 - 前記クランプ部材が、前記開位置と前記閉位置との間で旋回可能である、請求項1に記載の試料ホルダー。
- 前記クランプ部材がバネ要素を含む、請求項1または2に記載の試料ホルダー。
- 前記バネ要素が、前記クランプ部材を前記閉位置に向かって付勢するように配置されている、請求項3に記載の試料ホルダー。
- 前記クランプ部材が、前記閉位置で前記試料キャリアと直接係合するように配置されている、請求項1~4のいずれか一項に記載の試料ホルダー。
- 前記試料キャリアを前記ホルダー本体の前記凹部内に固定するための少なくとも1つのさらなる固定要素を備える、請求項1~5のいずれか一項に記載の試料ホルダー。
- 前記さらなる固定要素が、請求項1~5のいずれか一項に規定されるクランプ部材として具現化される、請求項6に記載の試料ホルダー。
- 前記さらなる固定要素および前記クランプ部材が、前記凹部の両側に実質的に設けられている、請求項6または7に記載の試料ホルダー。
- 試料を検査するための荷電粒子顕微鏡であって、
-荷電粒子源、および前記荷電粒子源から放射された荷電粒子のビームを試料上に向けるための照明装置を含む光学カラムと、
-前記試料をその中に含む試料キャリアを保持するための、前記照明装置の下流に位置決めされた請求項1~8のいずれか一項に記載の試料ホルダーと、
-前記荷電粒子源から放射された荷電粒子の入射に応答して、前記試料から生じる放射物を検出するための検出デバイスと、
-荷電粒子顕微鏡の操作を実行するための制御ユニットと、を備える、荷電粒子顕微鏡。 - 前記クランプ部材を作動させるためのアクチュエータ部材をさらに備える、請求項9に記載の荷電粒子顕微鏡。
- 請求項1~8のうちのいずれか一項に規定される試料ホルダー内に試料キャリアを載置する方法であって、前記方法が、
-前記クランプ部材を前記開位置に移動させる工程と、
-前記試料キャリアを前記試料ホルダーの前記凹部内に載置する工程と、
-前記クランプ部材を前記閉位置に移動させる工程と、を含む、方法。 - 前記クランプ部材を前記開位置に移動させるためにアクチュエータ部材が使用される、請求項11に記載の方法。
- 前記アクチュエータ部材と前記試料ホルダーとの間の相対移動が使用される、請求項12に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
EP19158550.4A EP3699948A1 (en) | 2019-02-21 | 2019-02-21 | Sample holder for a charged particle microscope |
EP19158550.4 | 2019-02-21 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020136275A JP2020136275A (ja) | 2020-08-31 |
JP7486322B2 true JP7486322B2 (ja) | 2024-05-17 |
Family
ID=65520140
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020023907A Active JP7486322B2 (ja) | 2019-02-21 | 2020-02-17 | 荷電粒子顕微鏡用の試料ホルダー |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11251014B2 (ja) |
EP (1) | EP3699948A1 (ja) |
JP (1) | JP7486322B2 (ja) |
CN (1) | CN111599662A (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6995098B2 (ja) * | 2019-09-30 | 2022-01-14 | 日本電子株式会社 | 試料チップ作業台及びリテーナ |
EP4047632B1 (en) * | 2021-02-23 | 2023-08-09 | Bruker AXS GmbH | Tool for tem grid applications |
EP4068333A1 (en) | 2021-03-31 | 2022-10-05 | FEI Company | Sample carrier for use in a charged particle microscope, and a method of using such a sample carrier in a charged particle microscope |
CN117727711B (zh) * | 2024-02-07 | 2024-05-10 | 厦门超新芯科技有限公司 | 一种高倾角的原位加热芯片 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005522833A (ja) | 2002-04-08 | 2005-07-28 | イー エイ フィシオネ インストルメンツ インコーポレーテッド | 試料保持装置 |
JP2010199014A (ja) | 2009-02-27 | 2010-09-09 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置の試料支持装置 |
WO2015122260A1 (ja) | 2014-02-14 | 2015-08-20 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子装置 |
JP2017500722A (ja) | 2013-11-11 | 2017-01-05 | ハワード ヒューズ メディカル インスティチュート | ワークピース搬送および配置装置 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6148647A (ja) | 1984-08-10 | 1986-03-10 | Toyota Motor Corp | 副変速機の切替確認装置 |
JPH0310603Y2 (ja) * | 1984-08-31 | 1991-03-15 | ||
JP3663056B2 (ja) * | 1998-07-23 | 2005-06-22 | 株式会社日立製作所 | 電子顕微鏡用試料加熱ホルダ及び試料観察方法 |
JP3892360B2 (ja) * | 2002-07-30 | 2007-03-14 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | イオンビーム装置 |
DE602004031073D1 (de) * | 2003-06-13 | 2011-03-03 | Fei Co | Verfahren und Vorrichtung zum Manipulieren von mikroskopischen Proben |
EP1863066A1 (en) * | 2006-05-29 | 2007-12-05 | FEI Company | Sample carrier and sample holder |
JP5250470B2 (ja) * | 2009-04-22 | 2013-07-31 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 試料ホールダ,該試料ホールダの使用法、及び荷電粒子装置 |
EP2824448B1 (en) * | 2013-07-08 | 2016-12-14 | Bruker Nano GmbH | Sample holder for transmission Kikuchi diffraction in SEM |
EP3249676B1 (en) * | 2016-05-27 | 2018-10-03 | FEI Company | Dual-beam charged-particle microscope with in situ deposition functionality |
-
2019
- 2019-02-21 EP EP19158550.4A patent/EP3699948A1/en active Pending
-
2020
- 2020-02-05 US US16/782,784 patent/US11251014B2/en active Active
- 2020-02-07 CN CN202010082673.1A patent/CN111599662A/zh active Pending
- 2020-02-17 JP JP2020023907A patent/JP7486322B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005522833A (ja) | 2002-04-08 | 2005-07-28 | イー エイ フィシオネ インストルメンツ インコーポレーテッド | 試料保持装置 |
JP2010199014A (ja) | 2009-02-27 | 2010-09-09 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置の試料支持装置 |
JP2017500722A (ja) | 2013-11-11 | 2017-01-05 | ハワード ヒューズ メディカル インスティチュート | ワークピース搬送および配置装置 |
WO2015122260A1 (ja) | 2014-02-14 | 2015-08-20 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020136275A (ja) | 2020-08-31 |
US20200273659A1 (en) | 2020-08-27 |
CN111599662A (zh) | 2020-08-28 |
US11251014B2 (en) | 2022-02-15 |
EP3699948A1 (en) | 2020-08-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7486322B2 (ja) | 荷電粒子顕微鏡用の試料ホルダー | |
CN105529235B (zh) | 具有特殊孔隙板的带电粒子显微镜 | |
EP1953792B1 (en) | Apparatus for observing a sample with a particle beam and an optical microscope | |
KR102599645B1 (ko) | 이중 빔 하전 입자 현미경에서의 시료 준비 및 검사 | |
US9991087B2 (en) | Spectroscopy in a transmission charged-particle microscope | |
CN105405734B (zh) | 在透射带电粒子显微镜中执行光谱术的方法 | |
JP6400283B2 (ja) | 設定可能な荷電粒子装置 | |
US20150214004A1 (en) | Method for preparing and analyzing an object as well as particle beam device for performing the method | |
CN104067369B (zh) | 带电粒子束显微镜、带电粒子束显微镜用样品支座以及带电粒子束显微方法 | |
US10224174B1 (en) | Transmission charged particle microscope with imaging beam rotation | |
CN109411320B (zh) | 透射带电粒子显微镜中的衍射图案检测 | |
KR20180007695A (ko) | 프티코그래피를 이용한 시료 이미징 방법 | |
JP7278983B2 (ja) | マルチビーム走査透過荷電粒子顕微鏡 | |
CN111243928A (zh) | 用于检查标本的带电粒子显微镜和确定所述带电粒子显微镜的像差的方法 | |
US11810751B2 (en) | Method of imaging a specimen using a transmission charged particle microscope | |
EP3226279A1 (en) | Sample holder and focused ion beam apparatus | |
US10651007B2 (en) | Cryogenic cell for mounting a specimen in a charged particle microscope | |
US20240047172A1 (en) | Clamping mechanism | |
US20240161999A1 (en) | Laser Thermal Epitaxy in a Charged Particle Microscope | |
JP2011129343A (ja) | 荷電粒子線装置の試料ホルダ | |
CN111189857B (zh) | 带电粒子显微镜中的共焦成像的方法和*** | |
EP3147929A1 (en) | Charged particle microscope with improved spectroscopic functionality | |
JP2023138935A (ja) | 透過電子顕微鏡などの荷電粒子装置における研究のために試料を取り扱うためのシステム及び方法 | |
JP2006194907A (ja) | 電子線を用いた試料観察装置および方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230206 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20231225 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20231226 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240325 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240409 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240507 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7486322 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |