JP7485996B1 - 電子線照射装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本開示に係る電子線照射装置1の側面図を示す。電子線照射装置1は、電子線を発生させる電極部(不図示)を収容する筒状の真空チャンバー10と、真空チャンバー10内を排気する真空ポンプ20と、を備える。以下、各部につい説明する。
次に、図3を参照して、本開示に係る他の電子線照射装置100について説明する。図3は、電子線照射装置100の概略側面図である。図1等を参照して説明した内容については、その説明を省略する。
本開示の態様1に係る電子線照射装置は、電子線を発生させる電極部を収容する筒状の真空チャンバーと、前記真空チャンバー内を排気する真空ポンプと、を備え、前記真空ポンプの吸気口が、前記真空チャンバーの排気口に接続される。
10 真空チャンバー
11 チャンバー本体
12 出射窓
13 排気口
14 電極部
20 真空ポンプ
22 吸気口
30 遮蔽部
31 傾斜板
50 X線遮蔽部
70 変換フランジ
S1 中心軸
S2 フランジ軸
Claims (5)
- 電子線を発生させる電極部を収容する筒状の真空チャンバーと、
前記真空チャンバー内を排気する真空ポンプと、を備え、
前記真空ポンプの吸気口が、前記真空チャンバーの排気口に接続され、
前記吸気口は、前記電極部から放射される熱を遮蔽する遮蔽部を介して、前記排気口に接続され、
前記遮蔽部は、前記真空チャンバーの中心軸に対して傾斜する複数の傾斜板を有する、電子線照射装置。 - 前記複数の傾斜板は、前記電極部から前記真空ポンプが視認できない、又は、前記真空チャンバーの出射窓から前記真空ポンプが視認できないように設けられる、請求項1に記載の電子線照射装置。
- 前記吸気口のフランジ軸は、前記真空チャンバーの中心軸と同軸に設けられる、請求項1または2に記載の電子線照射装置。
- 前記吸気口のフランジ軸は、前記真空チャンバーの中心軸を起点として、前記真空チャンバーの出射窓から遠ざかる方向に変位して設けられる、請求項1または2に記載の電子線照射装置。
- 前記吸気口は、口径調整用の変換フランジを介して前記排気口に接続される、請求項4に記載の電子線照射装置。
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