JP7479198B2 - 洗浄装置および洗浄用支持部材 - Google Patents
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Description
て直胴状である。
粗さ曲線における2乗平均平方根傾斜(RΔq)とは、JIS B 0601:2001に準拠して測定される、粗さ曲線の基準長さlにおける局部傾斜dZ/dxの2乗平均平方根であり、以下の式:
によって規定されるものである。
2乗平均平方根傾斜(RΔq)の平均値が0.05以上であると、純水や超純水に対する接触角が小さくなるため、親水性となる。外周面が親水性になると、複数の連続的な洗浄工程で用いる場合、前工程から後工程へ純水等の持ち込み量が少なくなるため、純水等の汚染を抑制することができ、その交換寿命を長くすることができる。
2乗平均平方根傾斜(RΔq)の平均値が0.2以下であると、外周面上の凹部が減少するため、凹部内から生じるパーティクルによる汚染のおそれを低減することができる。
透明ないし半透明の第1の洗浄用支持部材と白色系の第2の洗浄用支持部材とは、例えば交互に配置してもよく、あるいは両者の比率を変えて配置してもよい。
ここで、樹脂の成分は、赤外線分光分析装置で吸収スペクトルを測定することによって同定すればよい。
することができるので、信頼性が向上する。枠体9は架台11によって洗浄槽2内の超音波振動子3の上方に配置されている。
2 洗浄槽
3 超音波振動子
4 被覆層
5 洗浄用支持部材
6 超純水導入口
7 排出口
8 ねじ部
9 枠体
10 超純水
11 架台
Claims (10)
- 洗浄用の純水または超純水が入れられた洗浄槽と、
該洗浄槽の底部に設置された超音波振動子と、
該超音波振動子で発生した超音波が照射される領域に被洗浄物を配置するための複数の洗浄用支持部材と、を備え、
前記洗浄用支持部材は、セラミックスまたは金属からなる棒状部と、該棒状部の外周面を囲繞するフッ素系樹脂およびシリコーン系樹脂の少なくともいずれかからなる接液部と、を備え、該接液部は、前記棒状部の軸方向に沿って直胴状であり、
複数の前記洗浄用支持部材は、前記接液部が透明ないし半透明である第1の洗浄用支持部材と、前記接液部が白色系である第2の洗浄用支持部材と、を備え、
複数の前記洗浄用支持部材は、被洗浄物の載置面となるように、前記洗浄槽内に互いに離隔して配置されている、ことを特徴とする洗浄装置。 - 前記接液部は、前記棒状部の外周面を被覆している請求項1に記載の洗浄装置。
- 前記接液部は、軸方向に沿って貫通孔を有する筒状体であって、前記貫通孔の内部に前記棒状部が挿入されてなる請求項1に記載の洗浄装置。
- 前記フッ素系樹脂は、パーフルオロアルコキシアルカンまたはテトラフルオロエチレンである、請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の洗浄装置。
- 前記シリコーン系樹脂は、フッ素化したポリシロキサンを含む化合物またはシリコーンオリゴマーを含む組成物である、請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の洗浄装置。
- 前記棒状部がステンレス鋼からなる請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の洗浄装置。
- 前記接液部の肉厚は、前記棒状部の外径の4%以上50%以下である請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の洗浄装置。
- 前記接液部の外周面の粗さ曲線における2乗平均平方根傾斜(RΔq)の平均値が、0.05以上0.2以下である請求項1乃至請求項7のいずれかに記載の洗浄装置。
- 複数の前記洗浄用支持部材は、その両端が矩形状の枠体に固定されてなる請求項1乃至請求項8のいずれかに記載の洗浄装置。
- 複数の前記洗浄用支持部材および前記枠体は、いずれも円柱状であって、前記枠体の外径は、前記洗浄用支持部材の外径よりも大きい請求項9に記載の洗浄装置。
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