JP7479055B2 - 高性能電池アノード材料用のシリコン封止 - Google Patents

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Description

[関連出願の相互参照] 本願は、2018年3月30日出願の米国仮特許出願第62/650576号の優先権を主張し、これは参照により本明細書に組み込まれている。 [政府出資支援の声明] 本発明は、エネルギー省から請け負った契約DE-AC02-76SF00515の下で政府支援を受けて行われた。政府は、本発明において一定の権利を有する。 本発明は、一般に、電池電極に関する。より具体的には、本発明は、グラフェン封入シリコンシェル保護シリコン中空構造の電池電極に関する。
ナノ構造シリコンは、サイクル中のシリコンアノードの体積膨張に対処するのに大きな可能性を示している。しかしながら、過剰な表面積およびクーロン効率の乏しさに関して新たな課題が存在する。ナノユニットを使用して微細構造を構築することにより、これらの問題をある程度解決することができる。残念ながら、クーロン効率は依然として不十分であり、多くの場合、構築された微細構造は機械的安定性が乏しく、カレンダ加工中に容易に崩れるため、高面積容量アノード製造におけるその用途は限定的である。
例えば、過去10年間で、ナノ構造設計による高容量シリコンアノードの研究は、高エネルギー電池に対して刺激的な見通しを生み出した。シリコンアノードの300%の体積変化に関連付けられる多くの困難な問題は、ナノワイヤ、コアシェル、ヨークシェルチューブ、中空球および多孔質球、ザクロ粒子、ならびに新たな結合剤を含む構造によって対処されている。これらの最も有望なナノ構造シリコンアノードの本質的な概念は、電極の損傷を低減するために大きな体積変化を吸収するための予め確保された中空空間である。しかしながら、炭素殻とシリコン微粒子との間の空隙および/またはナノ構造全体などの空所は、電池電極製造のカレンダ加工中の大きな機械的圧力に耐えることができないという課題が残る。
カレンダ加工は電池電極製造の極めて重要な段階であり、電極材料を密に充填して、体積当たりのエネルギー密度を増加させ、粒子間の電気的接触を改善し、粒子と集電体との間の接着を増加させる。カレンダ加工中の機械的圧力は最大で80MPaとなり得、この圧力下ではほとんどの中空ナノ構造が崩壊することになる。これまで、多くのナノ構造の電極加工はカレンダ加工を一切利用しないかまたは緩やかなカレンダ加工のみしか利用することができず、その結果、体積エネルギー密度が低く、電気的接触が乏しく、面積容量負荷が低くなる。
さらなる例において、高容量Siは、大きな体積膨張に起因して容量の衰えが早く、これにより、機械的破砕、電気的接触の損失、および不安定な固体電解質界面(SEI)がもたらされる。ナノ構造は、過去10年間で、これらの課題に対処するのに有効であることが証明されている。しかしながら、加工コストの高さおよびクーロン効率の乏しさの新たな問題は依然として解決されていないままである。
Siは、その天然存在度および市販の黒鉛アノードよりも10倍高い理論的比容量により、エネルギー密度が高くかつサイクル寿命が長い、次世代リチウムイオン電池(LIB)用の最も有望なアノード材料の1つとして幅広く見なされている。しかしながら、Siは、電池動作中の体積膨張が大きい(約300%)によって引き起こされる容量の衰えが早く、これにより、機械的破砕、不安定な固体電解質界面(SEI)、および粒子間電気的接触の損失を誘発する。
Si材料の概念を用いてこれらの懸念に対処するためにいくつかの試みがなされてきた。例えば、ナノスケールまで材料のサイズを減少させると破砕強度が高度に改善されることから、コアシェルSiナノワイヤ、多孔質Si、およびSi/C複合体などの様々なナノ構造が開発されている。加えて、体積膨張を吸収するための内部空所の設計は、中空粒子およびチューブにおいて実証され、ヨークシェルSi@中空@Cおよびザクロ構造でさらに確認された。これらの2つの概念によって達成された著しい改善にもかかわらず、安定したサイクルのためのナノ構造Siの合成のためのコストの高さ、ならびに最初のサイクルおよび/またはその後のサイクルのクーロン効率の乏しさという新たな課題が導かれた。非充填C-Si構造に関する最近の研究は、後のサイクルのクーロン効率の改善を示すが、初期クーロン効率(ICE)が依然として低い。低いICEは、非結晶性炭素コーティングのダングリングボンドによるLiの大きな利用可能な表面積および不可逆的捕捉による、電極/電解質界面の厳しい副反応によって引き起こされている。
必要とされているのは、体積膨張を吸収する空所を提供し、かつクーロン効率を大きく改善しながら、機械的安定性を著しく改善する耐圧シリコン構造である。
当該技術分野における必要性に対処するために、多孔質シリコン微細構造前駆体と、シリコン微細構造前駆体に堆積したシリコンシェルコーティングと、シリコンシェルコーティングに堆積したグラフェンコーティングと、を含む電池電極が提供され、グラフェンコーティングはシリコンシェルコーティングを封入して、グラフェン封入シリコンシェル保護多孔質シリコン微細構造前駆体電池電極を形成する。
本発明の一態様によれば、多孔質シリコン微細構造前駆体は、Siメソ多孔質微粒子、またはSiナノ粒子のクラスタを含む。
本発明の別の態様では、多孔質シリコン微細構造前駆体は、アニールされた多孔質シリコン微細構造前駆体を含む。
本発明のさらなる態様では、シリコンシェルコーティングは、多孔質シリコン微細構造前駆体の密度より高い密度を有する。
本発明のさらに別の態様では、シリコンシェルコーティングは封止構造を有し、封止構造は、電解質が多孔質シリコン微細構造前駆体に拡散することを防止し、かつ多孔質シリコン微細構造前駆体の表面上の固体電解質界面の形成を制限するように構成されている。
本発明の一態様によれば、シリコンシェルコーティングは、カレンダ加工の圧力に耐えるように構成された封止構造を含み、シリコンシェルコーティングは、多孔質シリコン微細構造前駆体の機械的強度よりも大きい機械的強度を有する。
本発明の実施形態による、シェル保護二次シリコンナノ構造の製造および長所を示し、製造プロセスのスキームを含む。 図1Bおよび図1Cは、本発明の実施形態による、シェル保護二次シリコンナノ構造の製造および長所を示し、コーティング無しおよびSiシェルでコーティングされたSi NPクラスタ間のSEI形成およびカレンダ加工試験の比較を含む。図1Bは、コーティング無しのSi NPクラスタを示す。電解質は内部細孔に拡散することができ、それにより過剰なSEI形成がもたらされる。カレンダ加工中に構造は容易に崩れ、それにより電気的接触の損失がもたらされる。 図1Bおよび図1Cは、本発明の実施形態による、シェル保護二次シリコンナノ構造の製造および長所を示し、コーティング無しおよびSiシェルでコーティングされたSi NPクラスタ間のSEI形成およびカレンダ加工試験の比較を含む。図1CはSiシェルコーティング後を示し、電解質が内部空間に漏れることが防止され、それにより、外表面へのSEI形成が制限される。より印象的なことに、構造は高度に耐圧性となり、100MPa未満では無傷のままで維持される。
本発明による、形態および構造の特性評価を示し、Si NPクラスタの概略画像を含む。スケールバーは1μmである。 本発明による、形態および構造の特性評価を示し、Si NPクラスタのSEM画像を含む。スケールバーは2μmである。 本発明による、形態および構造の特性評価を示し、Si NPクラスタのSEM画像を含む。スケールバーは1μmである。 本発明による、形態および構造の特性評価を示し、Si NPクラスタのFIB-SEM画像を含む。スケールバーは1μmである。 本発明による、形態および構造の特性評価を示し、Si NPクラスタのTEM画像を含む。スケールバーは1μmである。 本発明による、形態および構造の特性評価を示し、Si NPクラスタ@Si微粒子の概略画像を含む。スケールバーは1μmである。 本発明による、形態および構造の特性評価を示し、Si NPクラスタ@Si微粒子のSEM画像を含む。スケールバーは2μmである。 本発明による、形態および構造の特性評価を示し、Si NPクラスタ@Si微粒子のSEM画像を含む。スケールバーは1μmである。 本発明による、形態および構造の特性評価を示し、Si NPクラスタ@Si微粒子のFIB-SEM画像を含む。スケールバーは1μmである。 本発明による、形態および構造の特性評価を示し、Si NPクラスタ@Si微粒子のTEM画像を含む。スケールバーは1μmである。 本発明による、形態および構造の特性評価を示し、Si NPクラスタ@Si@G微粒子の概略画像を含む。スケールバーは1μmである。 本発明による、形態および構造の特性評価を示し、Si NPクラスタ@Si@G微粒子のSEM画像を含む。スケールバーは2μmである。 本発明による、形態および構造の特性評価を示し、Si NPクラスタ@Si@G微粒子のSEM画像を含む。スケールバーは1μmである。 本発明による、形態および構造の特性評価を示し、Si NPクラスタ@Si@G微粒子のFIB-SEM画像を含む。スケールバーは1μmである。挿入画像は微粒子の表面を示す1つの単独のSi NPクラスタ@Si@G微粒子のSEM画像であり、スケールバーは500nmである。 本発明による、形態および構造の特性評価を示し、Si NPクラスタ@Si@G微粒子のTEM画像を含む。スケールバーは1μmである。挿入画像はグラフェンケージの多層構造の高解像度TEM画像であり、スケールバーは20nmである。
耐圧特性試験を示し、カレンダ加工後のコーティング無しのSi NPクラスタの概略を含む。 耐圧特性試験を示し、0MPa下で押圧された後のコーティング無しのSi NPクラスタのSEM画像を含む。スケールバーは2μmである。 耐圧特性試験を示し、3MPa下で押圧された後のコーティング無しのSi NPクラスタのSEM画像を含む。スケールバーは2μmである。 耐圧特性試験を示し、15MPa下で押圧された後のコーティング無しのSi NPクラスタのSEM画像を含む。スケールバーは2μmである。 耐圧特性試験を示し、カレンダ加工後の100nmのSiスキンでコーティングされたSi NPクラスタの概略を含む。 耐圧特性試験を示し、0MPa下で押圧された後の100nmのSiスキンでコーティングされたSi NPクラスタのSEM画像を含む。スケールバーは2μmである。 耐圧特性試験を示し、15MPa下で押圧された後の100nmのSiスキンでコーティングされたSi NPクラスタのSEM画像を含む。スケールバーは2μmである。 耐圧特性試験を示し、60MPa下で押圧された後の100nmのSiスキンでコーティングされたSi NPクラスタのSEM画像を含む。スケールバーは2μmである。 耐圧特性試験を示し、カレンダ加工後の200nmのSiスキンでコーティングされたSi NPクラスタの概略を含む。 耐圧特性試験を示し、0MPa下で押圧された後の200nmのSiスキンでコーティングされたSi NPクラスタのSEM画像を含む。スケールバーは2μmである。 耐圧特性試験を示し、60MPa下で押圧された後の200nmのSiスキンでコーティングされたSi NPクラスタのSEM画像を含む。スケールバーは2μmである。 耐圧特性試験を示し、100MPa下で押圧された後の200nmのSiスキンでコーティングされたSi NPクラスタのSEM画像を含む。スケールバーは2μmである。 耐圧特性試験を示し、本発明に従い、加えられた圧力の関数として、押圧された後の破壊されていない球体の比率の図を含む。
電気化学的特性評価を示し、個々の電池の1サイクル目の電圧プロファイルと、対応するクーロン効率とを含む。 電気化学的特性評価を示し、1サイクル目の製造されたままのSi微粒子膜アノードのACインピーダンススペクトルを含む。Si NPクラスタ@Si@G微粒子の電気化学的性能をより良く評価するために、100サイクル目のACインピーダンススペクトルも試験した。 電気化学的特性評価を示し、異なる生成物の半電池脱リチウム容量を含む。Si NPクラスタ@GおよびSi NPクラスタ@Si@Gサンプルについては、導電性添加物を加えなかった。ありのままのSi NPクラスタ@Siサンプルについては、導電性添加物としてスーパーPを加えた。活性材料の質量負荷は、約0.6mg cm-2であった。最初の3サイクルのレートはC/20であり、後のサイクルのレートはC/2であった(1C=4.2A g-1)。Si NPクラスタ@Si@Gのクーロン効率は、二次y軸上にプロットされている。 電気化学的特性評価を示し、その場TEMデバイスの概略を含む。 電気化学的特性評価を示し、Si NPクラスタ@Si微粒子のリチウム化の低速度撮影像を含む(補足映像1も参照されたい)。すべての低速度撮影像のスケールバーは1μmである。 電気化学的特性評価を示し、Si NPクラスタ@Si@G微粒子のリチウム化の低速度撮影像を含む(補足映像2も参照されたい)。すべての低速度撮影像のスケールバーは1μmである。 電気化学的特性評価を示し、グラフェン封入を含むSi NPクラスタ@Siの断面SEM画像を含む。サイクル試験の前(左)および後(右)の電極である。 電気化学的特性評価を示し、グラフェン封入を含まないSi NPクラスタ@Siの断面SEM画像を含む。サイクル試験の前(左)および後(右)の電極である。 電気化学的特性評価を示し、従来のコバルト酸リチウムカソードと対になったSi NPクラスタ@Si@G微粒子の全電池脱リチウム容量を含む。本発明によるSi NPクラスタ@Si@G微粒子のクーロン効率は二次y軸上にプロットされている。すべての比容量は活性材料(Si NPクラスタ@GおよびSi NPクラスタ@Si@G微粒子中のSiおよびC)の全質量に基づいて報告される。
本発明による、Siスキンコーティングのメソ多孔質Si微粒子の設計を示す。Siスキンコーティング無しでは、電解質は内部細孔へと拡散し、内部および外部の両方における過剰なSEI形成と、37.6%の低い初期クーロン効率(ICE)をもたらしている。 本発明による、Siスキンコーティングのメソ多孔質Si微粒子の設計を示す。Siスキンコーティング後には、電解質が内部空間に拡散することが防止され、それにより、外表面へのSEI形成が制限され、87.5%の高度に改善されたICEをもたらした。
製造および特性評価を示し、Mp-Si@Si@G微粒子の製造プロセスの概略である。 製造および特性評価を示し、アニール処理したSiO微粒子のSEM画像である。挿入画像は微粒子の表面を示す拡大SEM画像であり、スケールバーは500nmである。 製造および特性評価を示し、アニール処理したMp-Si微粒子のSEM画像である。挿入画像は微粒子の表面を示す拡大SEM画像であり、スケールバーは500nmである。 製造および特性評価を示し、アニール処理したMp-Si@Si微粒子のSEM画像である。挿入画像は微粒子の表面を示す拡大SEM画像であり、スケールバーは500nmである。 製造および特性評価を示し、アニール処理したMp-Si@Si@G微粒子のSEM画像である。挿入画像は微粒子の表面を示す拡大SEM画像であり、スケールバーは500nmである。 製造および特性評価を示し、アニール処理したSiO微粒子のTEM画像である。 製造および特性評価を示し、アニール処理したMp-Si微粒子のTEM画像である。 製造および特性評価を示し、アニール処理したMp-Si@Si微粒子のTEM画像である。 製造および特性評価を示し、アニール処理したMp-Si@Si@G微粒子のTEM画像である。 製造および特性評価を示し、HFエッチング処理の前後のアニール処理したSiO微粒子のXRDパターンである。 製造および特性評価を示し、Si封止を含むMP-Si微粒子のFIB-SEM特性評価である。 製造および特性評価を示し、Si封止無しのMp-Si微粒子のFIB-SEM特性評価である。 製造および特性評価を示し、本発明による、グラフェンケージの多層構造の高解像度TEM画像である。
本発明による、リチウム化中のその場TEM特性評価を示す。その場TEMデバイスの概略である。 本発明による、リチウム化中のその場TEM特性評価を示す。緻密なSi微粒子(補足映像1を参照されたい)のリチウム化の低速度撮影像であり、緻密なSi微粒子の場合、非常に大きい体積膨張によりSi構造は乱暴に破砕され、破片はランダムに分散し、互いから切り離された。 本発明による、リチウム化中のその場TEM特性評価を示す。その場TEMデバイスの概略である。 本発明による、リチウム化中のその場TEM特性評価を示す。Mp-Si@Si@G微粒子(補足映像2を参照されたい)のリチウム化の低速度撮影像であり、Mp-Si@Si@G微粒子の場合、内部細孔が膨張を吸収するのに十分な空間を提供し得るため、Si構造は良好なまま留まっている。リチウム化プロセスの間中、Si微粒子は、高度に異方性なプロセスを通して無傷のままである機械的に強固なグラフェンケージ内に留まる。
電気化学的特性評価を示し、個々の電池の1サイクル目の電圧プロファイルと、対応するクーロン効率とを含む。 電気化学的特性評価を示し、1サイクル目の製造されたままのSi微粒子電極のACインピーダンススペクトルを含む。Mp-Si@Si@G微粒子の電気化学的性能をより良く評価するために、100サイクル目のACインピーダンススペクトルも試験した。 電気化学的特性評価を示し、異なる表面工学処理をしたMp-Siの半電池脱リチウム容量を含む。Mp-Si@GおよびMp-Si@Si@Gサンプルについては、導電性添加物を加えなかった。ありのままのMp-SiおよびMp-Si@Siサンプルについては、導電性添加物としてスーパーPを加えた。活性材料の質量負荷は、約0.68mg cm-2であった。最初の3サイクルのレートはC/20であり、後のサイクルのレートはC/2であった(1C=4.2A g-1)。Si NPクラスタ@Si@Gのクーロン効率は、二次y軸上にプロットされている。 電気化学的特性評価を示し、サイクル試験の前(左)および後(右)のMp-Si@Si電極の断面SEM画像を含む。 電気化学的特性評価を示し、サイクル試験の前(左)および後(右)のMp-Si@Si@G電極の断面SEM画像を含む。 電気化学的特性評価を示し、従来のコバルト酸リチウムカソードと対になったMp-Si@Si@G微粒子の全電池脱リチウム容量を含む。本発明によるMp-Si@Si@G微粒子のクーロン効率は、二次y軸上にプロットされている。すべての比容量は活性材料(Mp-Si@GおよびMp-Si@Si@G中のSiおよびC)の全質量に基づいて報告される。
当該技術分野における必要性に対処するために、多孔質シリコン微細構造前駆体と、シリコン微細構造前駆体に堆積したシリコンシェルコーティングと、当該シリコンシェルコーティングに堆積したグラフェンコーティングと、を含む電池電極材料が提供され、グラフェンコーティングはシリコンシェルコーティングを封入して、グラフェン封入シリコンシェル保護多孔質シリコン微細構造前駆体電池電極を形成する。一実施形態によれば、シリコン多孔質構造(前駆体)上にシリコンを堆積させることにより耐圧性のシリコン中空構造が提供される。シリコンシェルは機械的安定性を著しく改善させ、多孔質内部構造は、サイクル中の体積膨張を克服するための空所を提供する。そのような中空構造は、高圧に耐えることができ、カレンダ加工後に良好に維持され得る。加えて、シリコンシェルはまた、表面積を減少させるため、初期クーロン効率を大きく高める。
本発明による高性能材料のいくつかの利点は、アクセスできる表面積を減らし、副反応を最小化することである。本発明は、拡張可能かつ適合可能な製造である場合、初期クーロン効率を高め、機械的安定性を高め、さらに、タップ密度および容積密度を高める。本発明は、標準的な器具および手順で組み込むことができ、拡散制御された表面コーティングまたは凝縮コーティング層として使用することができる。シリコンアノードの他の利点としては、シリコン封止が、電池において再充電可能なアノード材料としてシリコンが使用されることを可能にすることが挙げられ、これは、黒鉛のLi金属に対する低い電位(重量測定)よりも10倍以上大きい理論的電荷容量の特徴を有する。
この技術は、黒鉛、スズ、ゲルマニウム、および酸化物などを含む他のアノード材料上へのコーティングに拡張される。シリコンで封止する以外に、多孔質/中空構造はまた、炭素、スズ、ゲルマニウム、および酸化物などでコーティングされてもよい。
本発明の一態様では、緻密なSiスキンを各メソ多孔質Si微粒子の前駆体構造上に堆積させ、さらにそれを共形グラフェンケージで封入する界面工学戦略が提供される。Siスキンは、アクセスできる表面積を減らし、副反応を最小化し、それにより、Siスキンコーティング無しのものの2倍以上高い初期クーロン効率がもたらされる。Si膨張のための内部の十分な空所と組み合わせたグラフェン封入により、構造保全および安定したSEI形成が保証され、したがって、後のサイクルの高いクーロン効率(後のサイクルで99.8~100%)および著しいサイクル安定性が保証される。
当該技術分野で現在知られているデバイスによって提供されるクーロン効率は依然として不十分であり、多くの場合、構築された微細構造は機械的安定性が乏しく、カレンダ加工中に容易に崩れるため、高面積容量アノード製造におけるその用途は限定的である。本発明により、多孔質シリコンナノ構造はCVDプロセスを介してシリコンによって封止され、表面上の凝縮コーティング層をもたらす。この構造は、多孔質内部構造により、サイクルプロセス中の体積膨張を克服し得る。さらに、凝縮コーティング層は、表面積を減らし、副反応を最小化するため、最初のクーロン効率を高める。コーティング層はまた、機械的安定性を高め、100MPaを超える高圧に耐え、カレンダ加工後に良好に維持される。これはアノード製造において重要である。
本発明によれば、各々が多くのシリコンナノ粒子を有する二次マイクロメートル粒子上に緻密なシリコンシェルコーティングを設計することにより、耐圧シリコン構造が提供される。シリコンスキン層は、強固なシェルとして機能して機械的安定性を著しく改善する一方、内部多孔質構造は、体積膨張を吸収するための空所を提供する。そのような構造は、100MPaを超える高圧に耐えることができ、カレンダ加工後に良好に維持され、2,041mAh cm-3の高い容積を実証している。加えて、緻密なシリコンシェルはまた、表面積を減少させるため、初期クーロン効率を大きく高める。さらにグラフェンケージで封入することにより、シリコンコアが電気的接触を保持しながらケージ内で膨張することが可能になり、シリコン中空構造は、90.4%の1サイクル目の高いクーロン効率および99.5%超への後のクーロン効率の急速な上昇、ならびにフルセル電池における優れた安定性を呈する。
次に、シェル保護二次シリコンナノ構造の製造および長所について、そのような構造をどのように合成するかのプロセスフローを図1Aに示す。シリコンナノ粒子からミクロサイズのシリコンクラスタを合成するために、ボトムアップのマイクロエマルジョン法を採用した。次いで、化学蒸着(CVD)法を通して各シリコンクラスタの外表面を緻密なシリコンシェルで封止し、Niテンプレートの無電解堆積を通して高度に共形のグラフェンケージによりさらに封入し、続いてグラフェンのCVD成長を行った。Niテンプレートをエッチングして取り除いた後、グラフェン封入シリコンシェル保護シリコン中空構造が得られた。
そのような新規の設計は複数の利点を有する:(1)シリコンシェルは機械的安定性を著しく改善させ、100MPaの高圧に耐え、かつカレンダ加工を切り抜けることができる構造にし(図1B~1C)、カレンダ加工後に、電気的接触および容積の両方が改善される;(2)シリコンシェルはまた、タップ密度も増加させる。タップ密度は、ナノ粒子をクラスタへと集合させた後に0.14g cm-3から0.47g cm-3に増加し、Siシェルコーティング後に0.79g cm-3へとさらに増加した;(3)緻密なシリコンシェルは、電解質が内部細孔に拡散することを防止し、それにより、副反応およびSEI形成を減少させ、最初のサイクルおよびその後のサイクルの両方のクーロン効率を改善させる(図1B~1C);(4)内部の多孔質構造は、大きな体積膨張を吸収するための空所を提供し、良好なサイクル安定性を可能にする;(5)グラフェンケージ外側コーティングは機械的に強固かつ柔軟であり、電解質を含む安定した界面層を保証し、サイクル中の構造保全を保持する。
形態および構造の特性評価に関して、合成プロセス中の異なるステップで得られた生成物の形態および構造を図2A~2Oに示す。シリコンナノ粒子で構成されたシリコンクラスタ(Si NPクラスタ)は高度に球状であり、直径は1~5μmの範囲であり(図2A~2E)、集束イオンビーム(FIB)走査電子顕微鏡(SEM)および透過型電子顕微鏡(TEM)画像によって明らかに実証されるように、多数の内部細孔を有する。CVD処理によって各クラスタ(Si NPクラスタ@Si)上に緻密なシリコンシェルが堆積される。良好に画定されたシリコンシェルは、シリコンクラスタを十分に封止しながら、依然として内部に空所を維持することができるはずである。低圧下で短時間のコーティング後、クラスタの内部および外部の両方が部分的にコーティングされ、電解質が封止されていない細孔からクラスタの内部に漏れて入ることが可能となり、低い初期クーロン効率(ICE)がもたらされる。しかしながら、低圧下で長時間のコーティング後では、クラスタの内部および外部の両方が十分に封止され、体積膨張を緩衝するための空所を残さず、その結果、サイクル安定性が乏しくなる。高圧下で好適な時間にわたるコーティング後では、クラスタの表面は完全に被覆される一方、内部細孔はほとんど封止されておらず(図2I)、そのため、電解質が内部に漏れることを防止しながら、反復充放電サイクル中に内部細孔が構造の膨張を緩衝することを依然として可能にする。外側シリコンシェルの厚さは約200nmであり、粒子の外層のみを被覆しており、内部の高度に多孔質な性質を維持したままにしている。電気化学的性能をより良く改善するために、Si NPクラスタ@Si微粒子をグラフェンケージによりさらに封入した。最初に各Si NPクラスタ@Si微粒子をNi層でコーティングした。このNi層は、低温でグラフェンの成長を触媒するだけでなく、空所を提供するための犠牲層としても役立つ。FeCl水溶液でNiをエッチングして取り除いた後、グラフェン封入Si NPクラスタ@Si微粒子を最終生成物(Si NPクラスタ@Si@G)として得た(図2K~2O)。本発明のSi NPクラスタ@Si@G微粒子の長所をより良く検証するために、シリコンシェルコーティングを含まず、かつグラフェンケージのみで封入されたSi NPクラスタ(Si NPクラスタ@G)も調製した。グラフェンケージの多層構造は、高解像度TEM(HRTEM)画像を通して明らかに観察することができる(図2Oに挿入された画像を参照されたい)。ラマン分光はまた、炭素殻の高度に黒鉛状の性質を明らかにし、狭帯域幅を有する顕著なDバンドは、シリコンへのLiイオン輸送を促進するのに十分な欠損が存在することを示唆している。熱重量分析(TGA)は、グラフェンケージがSi NPクラスタ@Si@G複合体の全質量の約8%のみ(Si NPクラスタ@G複合体の場合は約11%)を構成していることを明らかにしている。ここで、先行技術と比較してより低い炭素含有量は、グラフェン構造によるLiイオンの不可逆的な捕捉を最小化し、比容量を犠牲にすることなくクーロン効率を改善するものと推定されている。
耐圧特性試験について、上述のように、電池電極製造中のカレンダ加工は極めて重要である。カレンダ加工により、体積エネルギー密度が増加し、電気的接触が改善され、粒子と集電体との間の接着が増加する。残念ながら、ほとんどの以前の中空ナノ構造は機械的安定性の乏しさに苛まれ、カレンダ加工中に容易に崩れ、それにより、低い体積エネルギー密度、電気的接触の損失、乏しいサイクル安定性、および限定的な実践用途がもたらされる。本発明によると、各シリコンクラスタ上に緻密なシリコンシェルを堆積させることにより、粒子の機械的特性は大きく改善される(図3J~3M)。コーティング無しのSi NPクラスタは、3MPaの非常に低い圧力下で部分的に崩壊し(クラスタのうち約20%が崩壊した、図3C)、15MPaの圧力下で完全に崩れた(図3D)。逆に、100nmのシリコンシェルでコーティングした後では、粒子は15MPaの圧力下でほとんど崩壊しないが(図3G)、60MPaの圧力下では約45%が崩れた(図3H)。印象的なことに、200nmのシリコンシェルでコーティングした後では、粒子の構造および形状は、100MPaのはるかに高い圧力下でさえも依然としてほとんど変化しないままである(図3I)。加えて、これらの結果は、Si NPクラスタ@G微粒子およびSi NPクラスタ@Si@G微粒子に対する実践的なカレンダ加工に当てはまる。Si NPクラスタ@Si@G微粒子の構造はカレンダ加工の後に無傷のままであり、一方で、Si NPクラスタ@Gミクロスフェアは完全に崩れた。これは、これらのシェル保護二次シリコンナノ構造の耐圧性の優位性および高容積電極の製造に対するそれらの適切性を明らかに示している。
電気化学的特性評価に関して、本発明のシェル保護耐圧性シリコン中空構造は、半電池および全電池構成の両方において顕著な電気化学的性能を実証している。0.01~1V(半電池)および3.0~4.2V(全電池)のサイクル試験用に2032型コイン電池を構築した。
Si NPクラスタ@Si@G、Si NPクラスタ@Si、およびSi NPクラスタ@G微粒子電極の1サイクル目の電圧プロファイルを図4Aにおいて比較する。それらはすべて、シリコンの典型的な電気化学的特徴を呈した。印象的なことに、Si NPクラスタ@Si@G微粒子電極の90.4%の初期クーロン効率が他の2つの電極の初期クーロン効率よりも優れている。クーロン効率が、電池の性能、特に、Liイオン喪失および電解質消費のほとんどを占める初期のサイクルにおける性能を評価するための最も重要なパラメータの1つであることは留意に値する。驚くべきことに、99%に達するのに通常多くのサイクルを要する他の高性能ナノSiアノードと比較して、Si NPクラスタ@Si@G微粒子のクーロン効率は、8サイクルのみの後で99%を超え(図4C)、その後も高レベル(99.5~100%)で維持される。
初期およびその後のサイクルのクーロン効率の改善に寄与する、耐圧性Si中空構造の2つの特性がある:界面化学は、リチウムを消費しすぎることなく初期SEI形成を可能にし、機械的に安定な電極/電解質界面がさらなるSEI形成を防止する。まず、シリコンシェルは、電解質がアクセスできる表面積を大きく減少させ、それにより、副反応および不可逆的なLi消費の可能性を最小化する。Si NPクラスタ@Siの比表面積は、シリコンナノ粒子の比表面積より約5倍低く(5.6対29.3m/g)(コーティング無しのSi NPクラスタがカレンダ加工後にナノ粒子へと崩れるとすると、コーティング無しのSi NPクラスタ電極と電解質との間の実際の接触領域は、Siナノ粒子と電解質との間の実際の接触領域と同様である)、それにより、より少ないSEIが形成され、より高いICEが達成される。次に、機械的に強固なグラフェンケージでのSi NPクラスタ@Si微粒子の封入は、安定した電極/電解質界面を保証し、さらなるSEI形成を防止する。さらに、Si NPクラスタ@Si@G微粒子電極は、他の電極よりもはるかに速い動力学を呈し、100サイクルの後でさえも非常に良い安定性を示し(図4B、電気化学的インピーダンス分光法試験)、Si NPクラスタ@Si@G微粒子電極のサイクルの間中SEI層が安定したままであり、後のサイクルの高いクーロン効率を可能にしていることを実証している。
比容量およびサイクル安定性は、実践的な電池の評価のための別の2つの非常に重要なパラメータである。図4Cに示すように、Si NPクラスタ@Si@G微粒子電極によって、C/20(1C=4.2A g-1)の電流密度において約3,096mAh g-1の可逆容量を達成した。言及がない場合、報告されるすべての容量は複合体内のSiおよびCの全質量に基づく。シリコンが複合体の質量の92%であることを考慮すると、シリコンについて比容量は、3,365mAh g-1ほどの高さである。容積は2,041mAh cm-3と計算され、これは、黒鉛アノードによって得られる600mAh cm-3より5倍超である。高容量は、活性材料が電気的に良好に接続されており、電気化学リチウム化/脱リチウム化プロセスに十分に関与していることを示す。さらに、C/2の高いレートでの連続した300サイクルの後に約1,388mAh g-1の比容量が維持され、これは、依然として市販の黒鉛アノードの理論上の容量(372mAh g-1)の3倍超であり、Si NPクラスタ@Siの理論上の容量(50サイクル目で373mAh g-1)およびSi NPクラスタ@Gの理論上の容量(300サイクル目で689mAh g-1)を大いに上回っている。
優れた電気化学的安定性は、Si NPクラスタ@Si@G複合体の2つの長所に帰することができる:(1)多孔質内部構造はサイクル中の体積膨張を吸収するための空所を提供し、(2)ディープガルバノスタットサイクル中に機械的に強固で柔軟な緩衝材としての役割を果たすグラフェンシェルは、微粒子が主に内部に向かって膨張することを制限して電気的接触を維持し、それによりサイクル安定性を改善させる。
Siリチウム化の激しい体積膨張に対する本発明のSi NPクラスタ@Si@G構造の適合性を検証するために、Si NPクラスタ@SiおよびSi NPクラスタ@Si@G微粒子を比較するその場TEM研究を実施した。Si NPクラスタ@Si微粒子は、リチウム化プロセス中に内部および外部の両方に向かって明らかに膨張し、ランダムかつ活発な膨張は最終的に構造の破砕を誘発する。Si NPクラスタ@Si@G微粒子について、機械的に強固なグラフェンケージは、内部シリコン粒子が主に内部に向かって膨張することを制限し、リチウム化プロセスの間中、構造の保全性を保証し、それにより良好なサイクル安定性をもたらす。
そのような良好なサイクル安定性の理由をさらに調査するために、サイクル後の断面SEM分析を実行して、充放電後のシリコン電極の形態変化を確認する。図4Gおよび図4H内の挿入画像に示されるように、Si NPクラスタ@Si微粒子の球状の形状はサイクル後に不規則になり、これは、激しい体積膨張および構造亀裂を示す。逆に、Si NPクラスタ@Si@G微粒子は、サイクル後に球状かつ無傷のままであり、これは良好な安定性を示す。さらに、Si NPクラスタ@Si@G微粒子電極の体積膨張は、13.7%のみであると計算された(Si NPクラスタ@Si微粒子では約81.4%)。
Si NPクラスタ@Si@G複合体の耐圧特性および良好なサイクル安定性をより良く特性評価するために、半電池の他に、高い質量負荷および面積容量の全電池を構築した。シリコンアノードおよび従来のコバルト酸リチウム(LCO)カソードの面積容量を最初に一致させた(Li一致)。図4Iに示すように、Si NPクラスタ@Si@G微粒子電極は、1.4mA cm-2の電流密度で安定したサイクル(100サイクルの後に2.1mAh cm-2が残った)および高いクーロン効率(5サイクル目の後に平均99.7%)を呈する。
二次シリコンナノ構造上の多機能シリコンシェルコーティングが本明細書に実証され、これは、100MPaの高圧に耐えて2,041mAh cm-3の優れた容積を達成するようにシリコン構造の機械的安定性を著しく改善させるだけでなく、アクセスできる表面積を減少させて過剰なSEI形成を防止して、大きく増加した初期クーロン効率を達成する。加えて、シリコンシェルはシリコン構造の外表面のみを覆い、サイクル中の体積膨張を緩衝するための空所を提供する多孔質内部構造を保持し、それにより改善されたサイクル安定性がもたらされる。シリコン微粒子が主に内部に向かって膨張することを制限し、かつ電気的接続を維持するグラフェンケージでのさらなる封入の後、これらのシェル保護シリコン二次ナノ構造は、フルセル電池サイクルにおいてさえも高いクーロン効率および良好な安定性を呈する。ミクロサイズシリコンアノード材料のためのこの顕著な高容積およびサイクル安定性は、リチウム電池産業における本発明のシェル保護耐圧性シリコン中空構造の有望な用途を実証している。
次に、クラスタ内へのSiナノ粒子のマイクロエマルジョンに基づく集合に移る。ここで、超音波処理により、10gのSiナノ粒子(SiNP、約80nm、MTI,Inc.)を最初に500mLの水中に分散させた(水中約2重量%のSi)。得られたSiの水分散体(25mL)を、0.6重量%のエマルジョン安定化剤(両親媒性ブロックコポリマー、Hypermer 2524、Croda USA)を含有する100mLの1-オクタデセン(ODE、Aldrich)溶液と混合させ、7000rpmで1分間均質化した。次いで、混合物を95~98℃で4時間加熱した。水が蒸発した後、遠心分離によってSiナノ粒子クラスタを収集し、シクロヘキサンで1回洗浄した。最終粉末をアルゴン中、800℃で2時間焼成して、有機物を除去し、クラスタを安定化させた。
シリコン封止Si NPクラスタ(Si NPクラスタ@Si)微粒子の合成に関して、化学蒸着(CVD)法によってSiナノ粒子クラスタ(Si NPクラスタ)をシリコンで封止した。典型的なプロセスでは、Si NPクラスタを管状炉(Thermo Electron Corporation)に移し、次いで、これを高純度Arガスで浄化した。次いで、50℃/分の加熱速度で管を550℃まで加熱した。その後、純粋なArガスおよびシランガスの両方を管内に導入した。全圧は40~100トルであり、一方、シランの分圧は、0.3トル/ジャンプである。550℃で15~60分間反応させた後、シランガスの供給を断ち、Ar雰囲気下で管を冷却させた。最後に、温度が50℃未満になった後にSi封止メソ多孔質シリコン微粒子を収集した。
グラフェン封入Si NPクラスタ@Si(Si NPクラスタ@Si@G)微粒子の合成について、共形Niコーティングを得るために、Si NPクラスタ@Si微粒子の表面を核形成シード(この場合、Pd)で密にコーティングする必要がある。(3-アミノプロピル)トリエトキシシラン(APTES)を表面接着層として使用して、-NH基でSi表面を増感させ、これにより、その後、溶液からのPd金属シードをSi上に還元した。
1gの調製したままのSi NPクラスタ@Si微粒子を100mlのイソプロパノール中に分散させ、約15分間超音波処理した。1mlのAPTES(純度99%、Sigma-Aldrich)および100ulの蒸留水をイソプロパノール溶液に順次添加し、70℃で1時間撹拌した。その後、Si微粒子の表面において-NH基の非常に薄い層が形成された。遠心分離によりサンプルを収集し、次いで、DI水で3回洗浄した。次いで、30mlの塩化パラジウム水溶液(0.5g/LのPdCl;2.5ml/Lの濃縮HCL;Sigma-Aldrich)中に粒子を浸し、15分間撹拌した。DI水で3回洗浄した後、活性化したSi NPクラスタ@Si微粒子を得た。
一次溶液(20g/Lの硫酸ニッケル六水和物;10g/Lのクエン酸ナトリウム二水和物;5g/Lの乳酸)、および成分濃度が2倍の二次溶液(40g/Lの硫酸ニッケル六水和物;20g/Lのクエン酸ナトリウム二水和物;10g/Lの乳酸)の2つの無電解Ni溶液を調製した。活性化したSi NPクラスタ@Si微粒子をこれらのEN溶液中に順次浸した。
最初の無電解堆積の前に、2gのジメチルアミンボラン(DMAB、Sigma-Aldrich)および2mlの水酸化アンモニウム(NHO、Sigma-Aldrich、28%)を360mlの一次EN溶液に添加した。pH感応DMABは、無電解Ni堆積中に還元剤として役立てられた。次いで、1gの活性化されたSi NPクラスタ@Si微粒子を一次EN溶液に添加し、約30分間穏やかに撹拌した。気泡が出現し始め、緑色のEN溶液は反応が進むにつれて色が明るくなった。堆積が完了した後、Si NPクラスタ@Si@1xNiが底に沈降された。磁石を用いて容器の底にSi NPクラスタ@Si@1xNi粒子を保持しながら、枯渇EN浴を注意深く注いで出した。別個の容器内で、4gのDMABおよび4mlの水酸化アンモニウムを360mlの二次EN溶液に添加した。次いで、これを湿った粒子(Si NPクラスタ@Si@1xNi)に直ぐに添加し、さらに30分間撹拌した。得られたSi NPクラスタ@Si@2xNi粒子をエタノールで2回洗浄した。
グラフェン封入について、Si NPクラスタ@Si@2xNi粒子を150mlのトリエチレングリコール(Santa Cruz Biotechnology)および500mlのNaOH水溶液(50%、w/w)中に分散させた。185℃で8時間撹拌した後、浸炭したSi NPクラスタ@Si@2xNi粒子を遠心分離により収集し、エタノールで3回洗浄した。有機溶剤が分解したときに浸炭工程が生じ、これにより、炭素原子がNi層内に拡散して表面に接着することが可能となる。これは、低温グラフェン成長のためにSi NPクラスタ@Si@2xNi粒子を刺激する。次いで、サンプルを真空オーブン内で50℃で1時間乾燥させた。乾燥した粒子を以下の温度プロファイルで管状炉に置いた:15℃/分で450℃まで加熱、450℃で1時間温度を保持。アニールプロセスを通して、Ar流量を80sccmに維持した。アニールした粒子を1MのFeCl3(2時間)水溶液に浸すことにより、二重目的のNiテンプレートをエッチングして取り除いた。1MのHCL水溶液およびDI水で3回洗浄し、真空オーブン内で60℃で1時間乾燥させた後、グラフェン封入Si NPクラスタ@Si微粒子を得た。
材料の特性評価に関して、Si NPクラスタ@Si@GおよびSi NPクラスタ@G中のSiおよびCの重量パーセントは、5℃/分の加熱速度でTG/DTA器具(Netzsch STA 449)を用いて模擬空気雰囲気(20%O2+80%Ar)下で測定した重量減少曲線から決定した。これらの条件下で、わずかなSi酸化により質量が増加する一方、ガス種への炭素酸化は質量損失をもたらす。これらの2つのプロセスを分離するため、同じ加熱条件でありのままのSi対照サンプルを測定し、Si NPクラスタ@Si@GおよびSi NPクラスタ@G曲線から質量増加を減算した。他の特性評価は、走査電子顕微鏡検査(FEI Sirion、Nova NanoSEM)、透過型電子顕微鏡(FEI Tecnai、Titan)、X線光電子分光法(SSI S-Probe Monochromatized、1486eVのAl Kα放射線)、電気化学的インピーダンス分光法(BioLogic VMP3)、およびラマン分光(Horiba JY)を使用して実行した。
その場TEM特性評価について、ピエゾ制御された電気バイアスTEM-AFMホルダ(Nanofactory Instruments)を使用して、Si NPクラスタ@Si@GおよびSi NPクラスタ@Si微粒子のリチウム化プロセスを観察した。リチウム金属およびシリコン微粒子を0.25mmのWおよびCuのワイヤにそれぞれ分散させた。次いで、ピエゾコントローラによってそれらを接触させた。-3Vの電圧バイアスを加えることにより、LiイオンはLi金属の天然酸化物/窒化物を通って流れて、作用電極においてSiと合金を形成する。リチウム化プロセスの間中、グラフェンケージは無傷のままであった。
電気化学特性評価において、作用電極はすべて従来のスラリー法を使用して調製した。9:1の質量比のSi NPクラスタ@Si@G粉末およびフッ化ポリビニリデン(PVDF、Kynar HSV 900)結合剤をN-メチル-2-ピロリドン(NMP)中に分散させ、12時間撹拌した。それぞれ8:1:1の質量比の活性材料(Si NPクラスタ@GまたはSi NPクラスタ@Si)、カーボンブラック導電性添加物(Super P、TIMCAL、スイス)、およびPVDF結合剤を使用した点を除いて、同じスラリー法を使用して、ありのままのSi NPクラスタ@GまたはSi NPクラスタ@Siを含む対照電極を調製した。15μmの厚さのCuホイル上に流し込み、真空オーブン内で60℃で12時間乾燥させた後、サンプルをカレンダ加工し、0.6~2.0mg cm-2の質量負荷で1cmの円板に切り出した。Ar充填グローブボックスにおいて、これらの作用電極を、対/参照電極(半電池)としてポリマーセパレータ(Celgard 2250)およびLi金属(Alfa Aesar)、またはカソード(全電池)としてコバルト酸リチウム(LCO)を含む2032型コイン電池に組み立てた。作用電極および対電極の両方の表面を完全に湿潤させて、10vol%のフルオロエチレンカーボネートおよび1vol%のビニレンカーボネート(Novolyte Technologies)を含む89vol%の1:1w/w炭酸エチレン/炭酸ジエチル(BASF Selectilyte LP40)中、100μlの1.0M LiPF6を電解質として添加した。コイン電池を電池試験(Land Instruments)に装填し、0.01~1V(半電池)または3.0~4.2V(全電池)でサイクルした。全電池のSiアノードは、半電池実験のために説明したとおりに調製し、全電池に使用される前にいかなる事前サイクルまたは事前リチウム化も受けなかった。グラフェン封入Si NPクラスタ@Si複合体の全質量を使用して、すべての電池の比容量を計算した。充電/放電率は、シリコンの理論上の容量(4,200mAh g-1 Si)を想定して計算した。クーロン効率は、脱リチウム(Cdealloy)容量対リチウム化(Calloy)容量の比(Cdealloy/Calloy×100%)を使用して計算した。作用電極の現場外SEM/TEM特性評価の場合、コイル電池を1Vまで充填して取り外した。次いで、アセトニトリルを用いて作用電極を穏やかにすすいで、残留電解質からLi塩を除去した。
次に、クーロン効率を大きく改善させるための界面工学Siメソ多孔質微粒子を含む、本発明の別の実施形態に移る。メソ多孔質Si微粒子は、SiO微粒子の加熱不均化、およびその次のSiO副生成物の除去によって得られ、次いで、各メソ多孔質Si微粒子はSiシェルによって最初にコーティングされ、次いで、グラフェンケージで封入される。そのような設計により、複数の魅力的な利点がもたらされる:(1)Siシェルは、電解質が内部に拡散することを防止して外表面へのSEI形成を制限し(図5A~5B)、それにより高度に改善された初期クーロン効率をもたらす(表1、Siスキンコーティングの前後で37.6%、87.5%);(2)非充填Siシェルは体積膨張を吸収するための内部空所を保持し、それにより良好なサイクル安定性がもたらされる;(3)グラフェンケージの本質的な高導電性および欠損を通したイオン透過性はSi微粒子に電気化学活性表面を与える;(4)主に機械的に強固で柔軟なグラフェンケージ上にSEIが形成されることが予想され、これは安定したSEI形成を誘発し、後のサイクルの改善されたクーロン効率をもたらす;(5)SiO微粒子は市販されていて安価であるため、アノード材料に費用効果を与え拡張可能にする。
[表1]異なる生成物の比表面積、全細孔容積、およびリチウムイオン電池性能の概要。比表面積は、量子ソフトウェア分析システムを使用して、0.05~0.20からBrunauer-Emmett-Teller(BET)データから計算した。
Figure 0007479055000001
本実施形態の材料の製造および特性評価に関して、図6Aは、界面工学メソ多孔質Si微粒子の合成プロセスを示す。市販のSiO粒子(約325メッシュ)を最初にボールミルして1~6umにサイズを減少させた。次いで、これらのSiO粒子をAr雰囲気下で、950℃で10時間アニールした。アニールプロセス中、SiOの加熱不均化およびその後の相分離が生じて、SiOマトリックス中に埋め込まれた相互接続Si NPが形成される。HF溶液を用いてSiOマトリックスを除去した後、メソ多孔質Si(Mp-Si)微粒子を得た。次いで、化学蒸着(CVD)法によって緻密なSiスキンを各Mp-Si微粒子上に堆積させ、Siスキン封止メソ多孔質Si(Mp-Si@Si)微粒子をもたらした。Niテンプレートの無電解堆積と、それに続くグラフェンのCVD成長を通してこれらのMp-Si@Si微粒子を高度に共形なグラフェンケージによってさらに封入した。Niは、グラフェン成長のための触媒および空所を提供するための犠牲テンプレート層の両方として役立つ。低温(450℃)のアニール処理後、溶解沈殿メカニズムを通してグラフェンはNiコーティングしたMp-Si@Si微粒子上で成長する。最後に、FeCl水溶液を使用してNi触媒をエッチングして取り除き、それによりグラフェンケージ封入Siスキン封止メソ多孔質Si(Mp-Si@Si@G)微粒子がもたらされた。
合成プロセスの異なる段階で得られた生成物の代表的な透過型電子顕微鏡(TEM)および走査電子顕微鏡検査(SEM)画像を図6B~6Mに示す。熱処理したSiO微粒子は、挿入された拡大SEM画像(図6B)に示すように、1~6umのサイズおよび滑らかな表面を有する。SiO2マトリックスに埋め込まれた10nm未満のサイズのSi NPの相互接続特徴は、TEM(図6I)および高解像度TEM(HRTEM)画像から明らかに観察することができる。3.2Å(111)のd間隔を有する別個の格子フリンジはSi NPの結晶性質を示し、隣接する非結晶材料はSiOである。 X線回折(XRD)特性評価は、SiO微粒子がアニール後に約8nm(デバイ・シェラーの式により推定)の平均サイズを有するナノ結晶Si(JCPDSカード番号27-1402)および非結晶SiO2(図6J)に変換されたことをさらに実証し、これはHRTEMの結果と合致している。 X線光電子分光法(XPS)はまた、アニールされたSiO粒子中にSiおよびSiOが共存することを示しており、約99eVで観察されるピークはSi(0)の結合エネルギーに対応し、約103eVを中心とするピークはSiOの存在を示唆している。
HFエッチングによるSiOの除去後、結晶Si骨格を得た(図6C、6J、6K)。XRDパターンは、HFエッチングの幅広いSiO2ピークの著しい抑制を示している一方、XPスペクトルにおける残りの弱いSiO2の***は空中での天然の酸化によって引き起こされている可能性がある。微粒子の表面粗さはエッチング後に大きく増加し(図6C)、TEM(図6G)および集束イオンビームSEM(FIB-SEM)画像(図6K)により、高度に多孔質な構造が明らかに観察される。100nmのSiスキンでの封止後、粒子は再び滑らかになる(図6D)。印象的なことに、高度にメソ多孔質な内部構造は残り、これは、Siスキンが粒子の外層のみを覆うことを示している(図6L)。
電気化学的性能をより良く改善するために、Mp-Si@Si微粒子をグラフェンケージによりさらに封入した(図6E、6I、6M)。さらに、Siスキンを含まないがグラフェンケージで封入したMp-Si微粒子(Mp-Si@G)も調製する。明らかに、グラフェンケージは波状構造を呈し、これはSi微粒子上に堆積したNiの大きな結晶に沿った共形グラフェン成長によるものである。グラフェンケージの高度に黒鉛状の性質は、明らかに観察される多層構造によって実証され(図6M)、ラマン分光によってさらに確認されており、ここで、狭帯域幅を有する顕著なDバンドは、SiへのLiイオン輸送を促進するのに十分な欠損が存在することを示唆している。熱重量分析(TGA)は、グラフェンケージがMp-Si@Si@G複合体の全質量の約8%のみ(Mp-Si@G複合体の場合は約10%)を構成していることを明らかにしている。先行技術と比較してより低い炭素含有量は、グラフェン構造によるLiイオンの不可逆的な捕捉を最小化し、比容量を犠牲にすることなくクーロン効率を改善するものと想定されている。
Mp-Si@Si@G微粒子のその場リチウム化について、Siアノードの構造保全を維持するために十分な内部空所が必要である。Siアノードの激しい体積膨張に対する本発明のMp-Si@Si@G構造の適合性を検証するために、Mp-Si@Si@G微粒子のリチウム化のその場TEM研究を実施し、緻密なSi微粒子のリチウム化と比較した(図7A~7D)。その場TEM研究のための電気化学電池を図7Aおよび図7Cに概略的に示す。Siアノードのその場リチウム化プロセスを録画した映像から特定の間隔で連続した画像を撮って、それらの構造変化を監視した。緻密なSi微粒子の明らかな体積膨張が観察され(図7B)、わずか32秒後にひびが現れ、長い時間と共に広がった。160秒で、緻密なSi微粒子はより小さい粒子へと激しく破砕した。対照的に、Mp-Si@Si@G微粒子の構造保全は、リチウム化プロセスの間中、良好に維持された(図7D)。0秒で(リチウム化前)、周囲のグラフェンシェルは内部Si微粒子の外側に明らかに観察された。Liイオンが外側グラフェンシェルを通って拡散してSiと合金を形成すると、Si微粒子の体積が膨張する。Si微粒子の完全なリチウム化は約168秒で達成され、これは、その時点よりもあとのグラフェンシェルの軽微なTEMコントラスト変化によって示されている通りである。構造全体は完全なリチウム化の後でさえも良好に無傷のままであり、これは、Mp-Si@Si@G微粒子の内部の十分な細孔空間が大きな体積膨張を吸収することができること、およびSiコアが主に内部に膨張することを機械的に強固なグラフェンケージが制限していることから利を得ている。これらの結果は、この良く設計されたメソ多孔質コア@Siスキン@黒鉛ケージ構造は、Siアノードがリチウム化に際して構造崩壊することを効果的に防止することができ、それにより電池のサイクル寿命を改善することができることを示している。
電気化学的性能に関して、半電池および全電池構成の両方における電気化学試験によって本発明のMp-Si@Si@G微粒子の利点をさらに実証した。0.01~1V(半電池、最初の3回の活性化サイクルでは0.01~2.0V)および3.0~4.2V(全電池)のディープガルバノスタットサイクル試験用に2032型コイン電池を構築した。報告されるすべての容量は複合体内のSiおよびCの全質量に基づく。
クーロン効率は、電池の性能、特に、SEI形成中のLiイオン喪失および電解質消費のほとんどを占める初期のサイクルにおける性能を評価するための最も重要なパラメータの1つである。図8Aおよび表1に示すように、Mp-Si@Si@G微粒子の初期クーロン効率は、いかなる他の中間生成物よりも優れており、88.7%に達している。メソ多孔質Si微粒子の乏しいICE(37.6%)は、それらの大きい比表面積(表1に示すように、229m/g)に起因し、これにより、多くの副反応および大量の不可逆的なLi消費が引き起こされる。緻密なSiスキンによって封止した後、比表面積はわずか1.9m/gまで減少し、ICEは87.5%まで大きく改善した。これは、副反応の低減およびSEI形成の減少から利を得ている。グラフェンケージでのさらなる封入後、Mp-Si@Si@G微粒子のICEは88.7%に達し、これは初期Mp-Si微粒子のICEの2倍超の高さである。より興味深いことに、99%超を達するのに通常、多くのサイクルを必要とする他の高性能ナノSiアノードとは異なり、Mp-Si@Si@G微粒子のクーロン効率は、わずか7サイクルの後に99%超に達し(図8C)、その後も高レベルを維持した(99.8%~100%)。
初期および後のサイクルのクーロン効率の改善は2つの要素で説明することができる:界面化学はLiを消費しすぎることなく初期SEI形成を可能にし、機械的に安定な電極/電解質界面はさらなるSEI形成を防止する。まず、Siスキンは、電解質がアクセスできる表面積を大きく低下させ、それにより、副反応および不可逆的なLi消費の可能性を最小化する。これは、サイクリックボルタンメトリーの結果によって検証することができ、Mp-Siサンプルについて、Liと、スラリー調製プロセス中に形成された界面SiOxとの間の不可逆的反応に対応する約1.15Cにおける明らかな還元ピークが観察され、逆に、Mp-Si@Siサンプルについては不可逆的反応の明らかなカソードピークは観察することができなかった。さらに、SiOxのリチウム化に帰される約1.2Vにおける平坦域はMp-Siサンプルの電圧プロファイルについてものみ観察され(図8A)、これは、界面Si封止による不可逆的Li消費が大きく減少したことをさらに示している。
第2に、弾性グラフェンケージでのMp-Si@Siの封入は、安定した電極/電解質界面の形成を保証し、制御されないSEI形成を防止する。電気化学的インピーダンス分光法(EIS)試験から得たナイキストプロット(図8B)は、Mp-Si@Si@G微粒子のはるかに速い動力学、および100サイクルの後でさえも非常に良い安定性を示す。後のサイクルの高いクーロン効率(図8C、99.8~100.0%)と共に、EISデータは、Mp-Si@Si@G微粒子のサイクル中の安定したSEI層の有力な証拠を提供している。
クーロン効率以外には、比容量およびサイクル安定性が、実践的な電池のための別の2つの最も重要なパラメータである。図8Cの半電池のデータは、Mp-Si@Si@G微粒子が、C/20の電流密度(1C=4.2A g-1)で約2834mAh g-1の初期可逆容量に達したことを示す。複合体中のSiの質量比が92%であることを考慮すると、Siに対する比容量は、3080mAh g-1ほどの高さである。高容量は、活性材料が電気的に良好に接続されており、電気化学リチウム化および脱リチウム化プロセスに十分に関与していることを示す。
なお、これはいかなる導電性添加物も使用せずに達成されており、グラフェンケージの非常に良い導電性を示す。さらに、C/2(約1.4mA cm-2)の高いレートでの連続した300サイクルの後に約1,246mAh g-1の比容量が維持され、これは、依然として市販の黒鉛アノードの理論上の容量の3倍超であり、Mp-Siの理論上の容量(10サイクル目で560mAh g-1)、Mp-Si@Gの理論上の容量(300サイクル目で792mAh g-1)、またはMp-Si@Siの理論上の容量(100サイクル目で1047mAh g-1、300サイクル目で534mAh g-1)を大いに上回っている。Mp-Si@Si微粒子のサイクル安定性が緻密なSi微粒子のサイクル安定性(20サイクルで370mAh g-1未満)よりもはるかに良好であり、これはリチウム化プロセス中の体積膨張を緩衝する内部細孔空間から利を得ていることは言及するに値する。それにもかかわらず、Mp-Si@Siの表面におけるSEIは安定ではなく、後のサイクルでの乏しい安定性を誘発する。
優れた電気化学的安定性は、Si-C複合材電極の良く設計されたミクロ/ナノスケールアーキテクチャに帰することができる。加熱不均化およびエッチングプロセス中に自動的に生成される空所は、二次粒子を保持し、体積膨張を緩衝する。以下の化学方程式(1)によれば、
2SiO→Si+SiO (1)
加熱不均化後に、それらの密度(SiO、Si、およびSiOについてそれぞれ、2.1、2.3、および2.6g cm-3)に基づき1cmのSiOは0.30cmのSiおよび0.55cmのSiOが生成され、これは、SiOの除去後に約11:6の大きな空所:Si比が達成されたことを意味する。この大きな体積比は、グラフェンシェルを崩壊させることなくSi材料の自由な体積膨張を可能にする。
そのような良好なサイクル安定性の理由をより良く理解するため、充放電後のSi-C複合電極の形態変化を示すためにサイクル後の断面SEM分析を実行する。リチウム化の前後の電極の厚さに基づき(図8D、8E)、Mp-Si@Si@G微粒子電極の体積膨張はわずか13%であると計算された。これは、Mp-Si@Si微粒子の体積膨張(約86%)および緻密なSi微粒子の体積膨張(150%超)よりもはるかに少なく、サイクル安定性の改善を示す。
Mp-Si@Si@G微粒子は、高いクーロン効率および良好なサイクル安定性を同時に呈する。そのため、高質量負荷および改善されたサイクル性能を有する実践的なフルセル電池を構築することができる。半電池におけるほぼ無限のLi供給とは対照的に、全電池のLi供給は有限であり、したがって、不可逆的Li消費が大きいことを意味する初期サイクルの低いクーロン効率は確実に重度の電池の衰えを引き起こすことになる。結果として、全電池のサイクル安定性のためには初期サイクルの高いクーロン効率を達することが極めて重要である。さらに、高い質量負荷では、電荷移動がより困難になり体積変化が大きくなるため、良好なサイクル安定性を達するのはむしろ困難である。本実施形態の場合において、Mp-Si@Si@G微粒子の良好なサイクル安定性は依然として、質量負荷が約2.0mg cm-2ほどの高さであるときに達成することができ、これは、実践的な全電池の用途に対して非常に有望であることを示す。
図8Fに示すように、従来のコバルト酸リチウム(LCO)カソードと対にしたとき、Mp-Si@Si@G微粒子は、0.8mA cm-2の電流密度で安定したサイクル(100サイクルの後に1.75mAh cm-2が残った)および高いクーロン効率を呈する。さらに、様々なサイクル数での電圧プロファイルは、過電圧の明らかな増加を示さず、これはアノードおよびカソードの両方がサイクル中に安定であることを示している。ミクロスケールのSiアノード材料のこの非常に良い全電池容量および安定性は、今日のLIB産業における既存の課題に対処するために本発明の界面工学手法が非常に有望であることを実証している。
次に、メソ多孔質Si(Mp-Si)微粒子の合成に移る。典型的な加熱不均化プロセスにおいて、市販のSiO粒子(325メッシュ、Sigma-Aldrich)を5℃/分の加熱速度で950℃まで加熱して、Ar雰囲気下で10時間保持した。SiOマトリックスを除去するために、アニールしたサンプルを50℃未満の温度で管から取り出し、室温で2時間、10wt%のHF溶液(HO:イソプロパノール=3:1、v/v)中に浸した。得られたメソ多孔質Siをろ過により収集し、蒸留水およびエタノールで順番に数回洗浄した。 最終生成物を真空オーブン内で60℃で2時間乾燥させ、さらなる使用のためにグローブボックスに保管した。
Si封止MP-Si(Mp-Si@Si)微粒子の合成について、化学蒸着(CVD)法によってメソ多孔質Si微粒子をSiで封止した。典型的なプロセスでは、メソ多孔質Si微粒子を管状炉(Thermo Electron Corporation)に移し、次いで、これを高純度Arガスで浄化した。次いで、50℃/分の加熱速度で管を550℃まで加熱した。その後、純粋なArガスおよびシランガスの両方を管内に導入した。全圧は200トルであり、一方、シランの分圧は100トルである。550℃で30分間反応させた後、シランガスの供給を断ち、Ar雰囲気下で管を冷却させた。最後に、温度が50℃未満になった後にSi封止メソ多孔質Si微粒子を収集した。
グラフェン封入Mp-Si@Si微粒子の合成について、共形Niコーティングを得るために、Mp-Si@Si微粒子の表面を核形成シード(この場合、Pd)で密にコーティングする必要がある。(3-アミノプロピル)トリエトキシシラン(APTES)を表面接着層として使用して、-NH基でSi表面を増感させ、その後、溶液からのPd金属シードをSi上に還元した。
1gの調製したままのMp-Si@Si微粒子を100mlのイソプロパノール中に分散させ、約15分間超音波処理した。1mlのAPTES(純度99%、Sigma-Aldrich)および100ulの蒸留水をイソプロパノール溶液に順次添加し、70℃で1時間撹拌した。これにより、Si微粒子の表面において-NH基の非常に薄い層が形成された。次いで、遠心分離によりサンプルを収集し、DI水で3回洗浄した。最後に、30mlの塩化パラジウム水溶液(0.5g/LのPdCl;2.5ml/Lの濃縮HCL;Sigma-Aldrich)中に粒子を浸し、15分間撹拌した。DI水で3回洗浄した、遠心分離により収集することで、活性化したMp-Si@Si微粒子がもたらされた。
Niコーティングの厚さは、無電解Ni(EN)溶液の濃度を変えること、または堆積反応の数を制御することのいずれかによって調整することができる。一実施例では、両方の手法の組み合わせを使用した。
一次溶液(20g/Lの硫酸ニッケル六水和物;10g/Lのクエン酸ナトリウム二水和物;5g/Lの乳酸)、および成分濃度が2倍の二次溶液(40g/Lの硫酸ニッケル六水和物;20g/Lのクエン酸ナトリウム二水和物;10g/Lの乳酸)の2つの無電解Ni溶液を調製した。活性化したMp-Si@Si微粒子をこれらのEN溶液中に順次浸した。
最初の無電解堆積の前に、2gのジメチルアミンボラン(DMAB、Sigma-Aldrich)および2mlの水酸化アンモニウム(NHO、Sigma-Aldrich、28%)を360mlの一次EN溶液に添加した。pH感応DMABは、無電解Ni堆積中に還元剤として役立てられた。次いで、1gの活性化されたMp-Si@Si微粒子を一次EN溶液に添加し、約30分間穏やかに撹拌した。気泡が出現し始め、緑色のEN溶液は反応が進むにつれて色が薄くなった。堆積が完了した後、Mp-Si@Si@1xNiが底に沈降された。磁石を用いて容器の底にMp-Si@Si@1xNi粒子を保持しながら、枯渇EN浴を注意深く注いで出した。別個の容器内で、4gのDMABおよび4mlの水酸化アンモニウムを360mlの二次EN溶液に添加した。次いで、これを湿った粒子(Mp-Si@Si@1xNi)に直ぐに添加し、さらに30分間撹拌した。得られたMp-Si@Si@2xNiをエタノールで2回洗浄した。
グラフェン封入について、Mp-Si@Si@2xNi粒子を150mlのトリエチレングリコール(Santa Cruz Biotechnology)および500mlのNaOH水溶液(50%、w/w)中に分散させた。185℃で8時間撹拌した後、浸炭したMp-Si@Si@2xNi粒子を遠心分離により収集し、エタノールで3回洗浄した。有機溶剤が分解したときに浸炭工程が生じ、これにより、炭素原子がNi層内に拡散して表面に接着することが可能となる。これは、低温グラフェン成長のためにMp-Si@Si@2xNi粒子を刺激する。次いで、サンプルを真空オーブン内で50℃で1時間乾燥させた。乾燥した粒子を以下の温度プロファイルで管状炉に置いた:15℃/分で450℃まで加熱、450℃で1時間温度を保持。アニールプロセスを通して、Ar流量を80sccmに維持した。アニール中、Brij(登録商標)58は分解され、炭素原子がNi層に拡散し、表面に接着することが可能となった。これは、低温グラフェン成長のためにMp-Si@Si@2xNiを刺激する。アニールされた粒子を1MのFeCl3(2時間)水溶液に浸すことにより、二重目的のNiテンプレートをエッチングした。
1MのHCL水溶液およびDI水で3回洗浄し、真空オーブン内で60℃で1時間乾燥させた後、グラフェン封入Mp-Si@Si微粒子を得た。
次に材料の特性評価について、Mp-Si@Si@G中のSiおよびCの重量パーセントは、5℃/分の加熱速度でTG/DTA器具(Netzsch STA 449)を用いて模擬空気雰囲気(20%O2+80%Ar、いずれもAirgasからの超純度等級のガス)下で測定した重量減少曲線から決定した。これらの条件下で、わずかなSi酸化により質量が増加する一方、ガス種への炭素酸化は質量損失をもたらす。これらの2つのプロセスを分離するため、同じ加熱条件でありのままのSi対照サンプルを測定し、グラフェン封入Mp-Si@Si曲線から質量増加を減算した。他の特性評価は、走査電子顕微鏡検査(FEI Sirion、Nova NanoSEM)、透過型電子顕微鏡(FEI Tecnai、Titan)、X線光電子分光法(SSI S-Probe Monochromatized、1486eVのAl Kα放射線),電気化学的インピーダンス分光法(BioLogic VMP3)、およびラマン分光(Horiba JY)を使用して実行した。
その場TEM特性評価について、ピエゾ制御された電気バイアスTEM-AFMホルダ(Nanofactory Instruments)を使用して、グラフェン封入Mp-Si@Si微粒子の(脱)リチウム化プロセスを観察し、グラフェンケージの電気的特性および機械的特性を測定した。Li金属およびMp-Si@Si@G微粒子を0.25mmのWおよびCuのワイヤにそれぞれ分散させた。次いで、ピエゾコントローラによってそれらを接触させた。-3Vの電圧バイアスを加えることにより、LiイオンはLi金属の天然酸化物/窒化物を通って流れて、作用電極においてSiと合金を形成する。リチウム化プロセスの間中、グラフェンケージは無傷のままであった。
電気化学特性評価に関して、作用電極はすべて従来のスラリー法を使用して調製した。いかなる導電性添加物も不在の下で、9:1の質量比のMp-Si@Si@G粉末およびフッ化ポリビニリデン(PVDF、Kynar HSV 900)結合剤をN-メチル-2-ピロリドン(NMP)中に分散させ、12時間撹拌した。それぞれ8:1:1の質量比の活性材料(Mp-SiまたはMp-Si@Si)、カーボンブラック導電性添加物(Super P、TIMCAL、スイス)、およびPVDF結合剤を使用した点を除いて、同じスラリー法を使用して、ありのままのMp-Si、Mp-Si@G、またはMp-Si@Siを含む対照電極を調製した。15μmの厚さのCuホイル上に流し込み、真空オーブン内で60℃で12時間乾燥させた後、サンプルをカレンダ加工し、0.6~2.0mg cm-2の質量負荷で1cmの円板に切り出した。Ar充填グローブボックスにおいて、これらの作用電極を、対/参照電極(半電池)としてポリマーセパレータ(Celgard 2250)およびLi金属(Alfa Aesar)、またはカソード(全電池)としてコバルト酸リチウム(LCO)を含む2032型コイン電池に組み立てた。作用電極および対電極の両方の表面を完全に湿潤させて、10vol%のフルオロエチレンカーボネートおよび1vol%のビニレンカーボネート(Novolyte Technologies)を含む89vol%の1:1w/w炭酸エチレン/炭酸ジエチル(BASF Selectilyte LP40)中、100μlの1.0M LiPF6を電解質として添加した。コイン電池を電池試験(Land Instruments)に装填し、0.01~1V(半電池、最初の3回の活性化サイクルでは0.01~2.0V)または3.0~4.2V(全電池)でサイクルした。全電池構成におけるMp-Si@Si@G電極の質量負荷は約2.0mg cm-2であり、対電極としてLi金属を使用した場合、0.24mg cm-2の電流密度で約4.7mAh cm-2の面積容量をもたらした。対電極としてLi金属を用いて試験したLCOカソードの面積容量は、0.3mg cm-2の電流密度で約4.1mAh cm-2であり、約1.14の理論上のN/P比をもたらした。全電池のSiアノードは、本発明の半電池実験のために説明したとおりに調製し、全電池に使用される前にいかなる事前サイクルまたは事前リチウム化も受けなかった。グラフェン封入Mp-Si@Si複合体の全質量を使用して、すべての電池の比容量を計算した。充電/放電率は、Siの理論上の容量(4,200mAh g-1 Si)を想定して計算した。クーロン効率は、脱リチウム(Cdealloy)容量対リチウム化(Calloy)容量の比(Cdealloy/Calloy×100%)を使用して計算した。作用電極の現場外SEM/TEM特性評価の場合、コイル電池を1Vまで充填して取り外した。次いで、アセトニトリルを用いて作用電極を穏やかにすすいで、残留電解質からLi塩を除去した。
本発明はいくつかの例示的な実施形態に従い説明されたが、これはすべての側面において限定ではなく例示を意図している。そのため、本発明は、詳細な実装において多くの変形が可能であり、それらは当業者によって本明細書に含まれる説明から引き出され得る。例えば、多孔質シリコン微細構造は、シリコンナノ粒子、ナノフレーク、ナノシート、またはナノロッドなどで構成されてもよい。
そのようなすべての変形例は、以下の特許請求の範囲およびそれらの法的等価物によっ
て定義される本発明の範囲および趣旨の範囲内であると見なされる。
本発明の好ましい実施形態によれば、例えば、以下が提供される。
(項1)
電池電極であって、
a)多孔質シリコン微細構造前駆体と、
b)前記多孔質シリコン微細構造前駆体に堆積したシリコンシェルコーティングと、
c)前記シリコンシェルコーティングに堆積したグラフェンコーティングと、を含み、
前記グラフェンコーティングが前記シリコンシェルコーティングを封入して、グラフェン
封入シリコンシェル保護多孔質シリコン微細構造前駆体電池電極を形成する、
電池電極。
(項2)
前記多孔質シリコン微細構造前駆体が、Siメソ多孔質微粒子と、Siナノ粒子のクラ
スタとからなる群から選択される、上記項1に記載の電池電極。
(項3)
前記多孔質シリコン微細構造前駆体が、アニールされた前記多孔質シリコン微細構造前
駆体を含む、上記項1または2に記載の電池電極。
(項4)
前記シリコンシェルコーティングが、前記多孔質シリコン微細構造前駆体の密度より高
い密度を有する、上記項1から3のいずれか一項に記載の電池電極。
(項5)
前記シリコンシェルコーティングが封止構造を含み、前記封止構造は、前記多孔質シリ
コン微細構造前駆体へ拡散しないように電解質を封止し、かつ前記多孔質シリコン微細構
造前駆体の表面上の固体電解質界面の形成を制限するように構成されている、上記項1か
ら4のいずれか一項に記載の電池電極。
(項6)
前記シリコンシェルコーティングが封止構造を含み、前記封止構造は、カレンダ加工の
圧力に耐えるように構成され、前記シリコンシェルコーティングが、前記多孔質シリコン
微細構造前駆体の機械的強度よりも大きい機械的強度を有する、上記項1から5のいずれ
か一項に記載の電池電極。

Claims (8)

  1. 電池電極であって、
    a)多孔質シリコン微細構造であって、その中に配置された細孔を含み、ここで、前記多孔質シリコン微細構造が、Siメソ多孔質微粒子と、Siナノ粒子のクラスタとからなる群から選択される、多孔質シリコン微細構造と、
    b)前記多孔質シリコン微細構造に堆積したシリコンシェルコーティングと、
    c)前記シリコンシェルコーティングに堆積したグラフェンコーティングと、を含み、前記グラフェンコーティングが前記シリコンシェルコーティングを封入して、グラフェン封入シリコンシェル保護多孔質シリコン微細構造電池電極を形成する、
    電池電極。
  2. 前記シリコンシェルコーティングが、前記多孔質シリコン微細構造へ拡散しないように電解質を封止し、かつ前記多孔質シリコン微細構造の表面上の固体電解質界面の形成を制限するように構成されている、請求項1に記載の電池電極。
  3. 前記シリコンシェルコーティングが、カレンダ加工の圧力に耐えるように構成され、前記シリコンシェルコーティングが、前記多孔質シリコン微細構造の機械的強度よりも大きい機械的強度を有する、請求項1または2に記載の電池電極。
  4. グラフェン封入シリコンシェル保護多孔質シリコン微細構造電池電極が、100MPaを超える圧力に耐える、請求項1から3のいずれか一項に記載の電池電極。
  5. 前記シリコンシェルコーティングが、00nmの厚さを有する、請求項1から4のいずれか一項に記載の電池電極。
  6. 前記シリコンシェルコーティングの表面積が、前記多孔質シリコン微細構造の表面積よりも倍低い、請求項1から5のいずれか一項に記載の電池電極。
  7. 前記Siナノ粒子のクラスタが球体である場合に、前記Siナノ粒子のクラスタが、1μm~5μmの範囲の直径を有する、請求項1から6のいずれか一項に記載の電池電極。
  8. 前記シリコンシェルコーティングが、前記多孔質シリコン微細構造に堆積され、その結果、前記多孔質シリコン微細構造の細孔が充填されないままである、請求項1から7のいずれか一項に記載の電池電極。
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