JP7475185B2 - 計測方法、インプリント装置及び物品の製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1実施形態におけるインプリント装置101の構成を示す概略図である。インプリント装置101は、物品としての半導体素子、液晶表示素子、磁気記憶媒体などのデバイスの製造工程であるリソグラフィ工程に採用され、基板にパターンを形成するリソグラフィ装置である。インプリント装置101は、基板上に供給された未硬化のインプリント材と型とを接触させ、インプリント材に硬化用のエネルギーを与えることにより、型のパターンが転写された硬化物のパターンを形成する。
図8は、本発明の第2実施形態におけるインプリント装置102の構成を示す概略図である。インプリント装置102は、基板上に供給された未硬化のインプリント材と型とを接触させ、インプリント材に硬化用のエネルギーを与えることにより、型のパターンが転写された硬化物のパターンを形成する。
図12は、本発明の第3実施形態におけるインプリント装置103の構成を示す概略図である。インプリント装置103は、基板上に供給された未硬化のインプリント材と型とを接触させ、インプリント材に硬化用のエネルギーを与えることにより、型のパターンが転写された硬化物のパターンを形成する。
インプリント装置101、102又は103を用いて形成した硬化物のパターンは、各種物品の少なくとも一部に恒久的に、或いは、各種物品を製造する際に一時的に、用いられる。物品とは、電気回路素子、光学素子、MEMS、記録素子、センサ、或いは、型などである。電気回路素子としては、DRAM、SRAM、フラッシュメモリ、MRAMなどの揮発性又は不揮発性の半導体メモリや、LSI、CCD、イメージセンサ、FPGAなどの半導体素子などが挙げられる。型としては、インプリント用のモールドなどが挙げられる。
Claims (20)
- 基板を保持する保持面を含む保持部を浮上した状態で駆動する駆動部によって、前記基板の表面の被計測領域を計測部に対して第1方向に駆動しながら、前記第1方向に平行な互いに異なる複数の第1計測ラインのそれぞれを前記計測部で計測して各計測ラインにおける前記被計測領域の高さを表す第1計測情報を取得する第1工程と、
前記駆動部によって、前記被計測領域を前記計測部に対して前記複数の第1計測ラインの全てに交差する第2方向に駆動しながら、前記第2方向に平行な1つの第2計測ラインを前記計測部で計測して前記第2計測ラインにおける前記被計測領域の高さを表す第2計測情報を取得する第2工程と、
前記第1計測情報及び前記第2計測情報に基づいて、前記被計測領域の高さの分布を表す第1分布情報を生成する第3工程と、
を有し、
前記第3工程では、前記第2計測情報を基準として用いて前記第1計測情報を補正することで前記第1分布情報を生成することを特徴とする計測方法。 - 前記複数の第1計測ラインのそれぞれには、前記計測部で計測すべき複数の第1計測点が設定され、
前記第2計測ラインには、前記計測部で計測すべき複数の第2計測点が設定され、
前記複数の第1計測ラインのそれぞれについて、前記複数の第1計測点のうちの1つの計測点と前記複数の第2計測点のうちの1つの計測点とが重なるように、前記複数の第1計測点及び前記複数の第2計測点が設定されていることを特徴とする請求項1に記載の計測方法。 - 前記第1方向と前記第2方向とは、直交していることを特徴とする請求項1又は2に記載の計測方法。
- 前記駆動部は、互いに直交する2つの方向に平行な2つのガイドを含み、
前記第1方向は、前記2つのガイドのうちの一方のガイドと平行な方向であり、
前記第2方向とは、前記2つのガイドのうちの他方のガイドと平行な方向であることを特徴とする請求項3に記載の計測方法。 - 前記保持面における前記基板の角度を第1角度に設定した状態において前記第1工程及び前記第2工程のそれぞれで取得される前記第1計測情報及び前記第2計測情報と、前記保持面における前記基板の角度を前記第1角度とは異なる第2角度に設定した状態において前記第1工程及び前記第2工程のそれぞれで取得される前記第1計測情報及び前記第2計測情報とに基づいて、前記保持面の高さの分布を表す第2分布情報を生成する第4工程を更に有することを特徴とする請求項1乃至4のうちいずれか1項に記載の計測方法。
- 前記第1角度と前記第2角度との角度差は、90度又は180度であることを特徴とする請求項5に記載の計測方法。
- 前記被計測領域は、前記基板の表面の全域であることを特徴とする請求項1乃至6のうちいずれか1項に記載の計測方法。
- 前記被計測領域は、前記基板の表面の一部の領域であることを特徴とする請求項1乃至6のうちいずれか1項に記載の計測方法。
- 計測部を保持する保持部を浮上した状態で駆動する駆動部によって、前記計測部を型のパターン面に対して第1方向に駆動しながら、前記第1方向に平行な互いに異なる複数の第1計測ラインのそれぞれを前記計測部で計測して各計測ラインのそれぞれにおける前記型のパターン面の高さを表す第1計測情報を取得する第1工程と、
前記駆動部によって、前記計測部を前記型のパターン面に対して前記複数の第1計測ラインの全てに交差する第2方向に駆動しながら、前記第2方向に平行な1つの第2計測ラインを前記計測部で計測して前記第2計測ラインにおける前記型のパターン面の高さを表す第2計測情報を取得する第2工程と、
前記第1計測情報及び前記第2計測情報に基づいて、前記型のパターン面の高さの分布を表す第1分布情報を生成する第3工程と、
を有することを特徴とする計測方法。 - 前記複数の第1計測ラインのそれぞれには、前記計測部で計測すべき複数の第1計測点が設定され、
前記第2計測ラインには、前記計測部で計測すべき複数の第2計測点が設定され、
前記複数の第1計測ラインのそれぞれについて、前記複数の第1計測点のうちの1つの計測点と前記複数の第2計測点のうちの1つの計測点とが重なるように、前記複数の第1計測点及び前記複数の第2計測点が設定されていることを特徴とする請求項9に記載の計測方法。 - 前記第1方向と前記第2方向とは、直交していることを特徴とする請求項9又は10に記載の計測方法。
- 前記駆動部は、互いに直交する2つの方向に平行な2つのガイドを含み、
前記第1方向は、前記2つのガイドのうちの一方のガイドと平行な方向であり、
前記第2方向とは、前記2つのガイドのうちの他方のガイドと平行な方向であることを特徴とする請求項11に記載の計測方法。 - 前記第3工程では、前記第2計測情報を基準として用いて前記第1計測情報を補正することで前記第1分布情報を生成することを特徴とする請求項9乃至12のうちいずれか1項に記載の計測方法。
- 前記型を保持する保持面における前記型の角度を第1角度に設定した状態において前記第1工程及び前記第2工程のそれぞれで取得される前記第1計測情報及び前記第2計測情報と、前記保持面における前記型の角度を前記第1角度とは異なる第2角度に設定した状態において前記第1工程及び前記第2工程のそれぞれで取得される前記第1計測情報及び前記第2計測情報とに基づいて、前記保持面の高さの分布を表す第2分布情報を生成する第4工程を更に有することを特徴とする請求項9乃至13のうちいずれか1項に記載の計測方法。
- 前記第1角度と前記第2角度との角度差は、90度又は180度であることを特徴とする請求項14に記載の計測方法。
- 前記第1分布情報は、前記型のパターン面の全域の高さの分布を表すことを特徴とする請求項9乃至15のうちいずれか1項に記載の計測方法。
- 基板を保持する保持面を含む保持部を浮上した状態で駆動する駆動部によって、前記基板の表面の被計測領域を計測部に対して第1方向に駆動しながら、前記第1方向に平行な互いに異なる複数の第1計測ラインのそれぞれを前記計測部で計測して各計測ラインにおける前記被計測領域の高さを表す第1計測情報を取得する第1工程と、
前記駆動部によって、前記被計測領域を前記計測部に対して前記複数の第1計測ラインの全てに交差する第2方向に駆動しながら、前記第2方向に平行な1つの第2計測ラインを前記計測部で計測して前記第2計測ラインにおける前記被計測領域の高さを表す第2計測情報を取得する第2工程と、
前記保持面における前記基板の角度を第1角度に設定した状態において前記第1工程及び前記第2工程のそれぞれで取得される前記第1計測情報及び前記第2計測情報と、前記保持面における前記基板の角度を前記第1角度とは異なる第2角度に設定した状態において前記第1工程及び前記第2工程のそれぞれで取得される前記第1計測情報及び前記第2計測情報とに基づいて、前記保持面の高さの分布を表す分布情報を生成する第3工程と、
を有することを特徴とする計測方法。 - 型を用いて基板上にインプリント材のパターンを形成するインプリント装置であって、
前記基板を保持する保持面を含む保持部と、
前記保持部を浮上した状態で駆動する駆動部と、
前記保持面に保持された前記基板の高さを計測する計測部と、
前記型のパターン面と前記基板の表面とが平行となるように、前記型及び前記基板の少なくとも一方の姿勢を制御する処理を行う制御部と、
を有し、
前記処理は、
前記駆動部によって、前記基板の表面の被計測領域を前記計測部に対して第1方向に駆動しながら、前記第1方向に平行な互いに異なる複数の第1計測ラインのそれぞれを前記計測部で計測して各計測ラインにおける前記被計測領域の高さを表す第1計測情報を取得する第1工程と、
前記駆動部によって、前記被計測領域を前記計測部に対して前記複数の第1計測ラインの全てに交差する第2方向に駆動しながら、前記第2方向に平行な1つの第2計測ラインを前記計測部で計測して前記第2計測ラインにおける前記被計測領域の高さを表す第2計測情報を取得する第2工程と、
前記第1計測情報及び前記第2計測情報に基づいて、前記被計測領域の高さの分布を表す分布情報を生成する第3工程と、
を含むことを特徴とするインプリント装置。 - 型を用いて基板上にインプリント材のパターンを形成するインプリント装置であって、
前記基板を保持する保持面を含む保持部と、
前記保持部を浮上した状態で駆動する駆動部と、
前記駆動部に設けられ、前記型のパターン面の高さを計測する計測部と、
前記型のパターン面と前記基板の表面とが平行となるように、前記型及び前記基板の少なくとも一方の姿勢を制御する処理を行う制御部と、
を有し、
前記処理は、
前記駆動部によって、前記計測部を前記型のパターン面に対して第1方向に駆動しながら、前記第1方向に平行な互いに異なる複数の第1計測ラインのそれぞれを前記計測部で計測して各計測ラインのそれぞれにおける前記型のパターン面の高さを表す第1計測情報を取得する第1工程と、
前記駆動部によって、前記計測部を前記型のパターン面に対して前記複数の第1計測ラインの全てに交差する第2方向に駆動しながら、前記第2方向に平行な1つの第2計測ラインを前記計測部で計測して前記第2計測ラインにおける前記型のパターン面の高さを表す第2計測情報を取得する第2工程と、
前記第1計測情報及び前記第2計測情報に基づいて、前記型のパターン面の高さの分布を表す分布情報を生成する第3工程と、
を含むことを特徴とするインプリント装置。 - 請求項18又は19に記載のインプリント装置を用いてパターンを基板に形成する工程と、
前記工程で前記パターンが形成された前記基板を処理する工程と、
処理された前記基板から物品を製造する工程と、
を有することを特徴とする物品の製造方法。
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