JP7465618B2 - Crystal oscillator - Google Patents

Crystal oscillator Download PDF

Info

Publication number
JP7465618B2
JP7465618B2 JP2020089712A JP2020089712A JP7465618B2 JP 7465618 B2 JP7465618 B2 JP 7465618B2 JP 2020089712 A JP2020089712 A JP 2020089712A JP 2020089712 A JP2020089712 A JP 2020089712A JP 7465618 B2 JP7465618 B2 JP 7465618B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
base
temperature sensor
quartz crystal
opening
pedestal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2020089712A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2021184565A (en
Inventor
浩基 関口
巧 有路
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
Original Assignee
Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nihon Dempa Kogyo Co Ltd filed Critical Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
Priority to JP2020089712A priority Critical patent/JP7465618B2/en
Publication of JP2021184565A publication Critical patent/JP2021184565A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP7465618B2 publication Critical patent/JP7465618B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Description

本発明は、水晶片を、台座を介して容器に実装した構造を有し、かつ、当該容器内に温度センサを備えた、温度センサ付き水晶振動子に関する。 The present invention relates to a quartz crystal unit with a temperature sensor, which has a structure in which a quartz crystal piece is mounted in a container via a base and has a temperature sensor inside the container.

水晶片と温度センサとを、１部屋の容器内に収容した構造の水晶振動子は、１部屋型の温度センサ付き水晶振動子と呼ばれる。 A quartz crystal unit that houses a quartz crystal piece and a temperature sensor in a one-chamber container is called a one-chamber quartz crystal unit with temperature sensor.

１部屋型の温度センサ付き水晶振動子の一例は、例えば特許文献１に開示されている。
この水晶振動子では、セラミック製の容器に備わる凹部内に、水晶片が片持ち構造で実装され、当該凹部の底面に温度センサとしての例えばサーミスタが実装されている（特許文献１の図２）。 An example of a one-chamber type crystal resonator with a temperature sensor is disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-233996.
In this quartz crystal unit, a quartz crystal piece is mounted in a cantilever structure in a recess in a ceramic container, and a thermistor, for example, as a temperature sensor is mounted on the bottom surface of the recess (FIG. 2 of Patent Document 1).

一方、水晶振動子自体の改良型として、水晶片を台座に実装し、そして、この台座を容器本体の凹部の底面に実装する構造の水晶振動子がある（例えば特許文献２等）。台座を用いると水晶片は台座を介して容器に実装されるため、そうでない場合に比べ、外部からの振動の影響を低減できる。その結果、位相雑音特性が向上する等の利点が得られる。 On the other hand, as an improved version of the quartz crystal unit itself, there is a quartz crystal unit that has a structure in which the quartz crystal piece is mounted on a base, and this base is then mounted on the bottom surface of the recess in the container body (for example, Patent Document 2, etc.). When a base is used, the quartz crystal piece is mounted to the container via the base, so the effects of external vibrations can be reduced compared to when not using the base. As a result, advantages such as improved phase noise characteristics are obtained.

特開２００８－２０５９３８号公報JP 2008-205938 A 特開２０１９－２２０９３８号公報JP 2019-220938 A

このような台座を用いた水晶振動子について、温度センサを付加する際の好ましい構造が望まれる。
この出願はこのような点に鑑みなされたものであり、従って、この出願の目的は、台座を用いた水晶振動子に温度センサを付加する際の好ましい構造を有した水晶振動子を提供することにある。 A preferable structure for adding a temperature sensor to a quartz crystal unit using such a pedestal is desired.
This application has been made in consideration of these points, and therefore, an object of this application is to provide a quartz crystal resonator having a preferable structure when a temperature sensor is added to a quartz crystal resonator using a pedestal.

この目的の達成を図るため、この出願の水晶振動子によれば、ベースと、前記ベースに実装された台座と、前記台座の第１面に実装された水晶片と、前記台座の前記第１面とは反対面の第２面に実装された温度センサと、前記ベースに接合され前記ベースと共に前記水晶片を密閉する蓋部材と、を備えたことを特徴とする。 To achieve this objective, the quartz crystal unit of this application is characterized by comprising a base, a pedestal mounted on the base, a quartz crystal piece mounted on a first surface of the pedestal, a temperature sensor mounted on a second surface of the pedestal opposite the first surface, and a lid member that is joined to the base and seals the quartz crystal piece together with the base.

この発明を実施するに当たり、前記台座は、前記温度センサを前記ベースから離すための凸部を有し、かつ、当該凸部の高さが前記台座の厚さより厚い（大きな寸法としてある）ものが好ましい。
このような構成とすれば、温度センサには、べース側からの温度の影響に比べ、台座側の温度の影響すなわち水晶片が在る側の雰囲気の温度の影響が伝わり易くなるので、温度センサは、水晶片の実情に即した温度情報を検出するため、台座が存在しても、水晶振動子の周波数温度特性の補償を良好に行える。 In carrying out this invention, it is preferable that the base has a protrusion for separating the temperature sensor from the base, and that the height of the protrusion is thicker (has a larger dimension) than the thickness of the base.
With this configuration, the temperature sensor is more susceptible to the temperature influence from the base side, i.e., the temperature of the atmosphere on the side where the quartz crystal piece is located, than to the temperature influence from the base side. Therefore, the temperature sensor detects temperature information that corresponds to the actual conditions of the quartz crystal piece, and therefore, even if a base is present, the frequency-temperature characteristics of the quartz crystal unit can be compensated for well.

さらに、この発明を実施するに当たり、前記台座は、前記温度センサの一部分に対応する箇所に、前記第１面から前記第２面に貫通している開口部を備えたものとすることが好ましい。
開口部を備えた構成とすれば、開口部が無い場合に比べて、温度センサに水晶片側の温度雰囲気が伝わり易いので、温度センサは水晶片の実情に即した温度情報を検出するため、台座が存在しても、水晶振動子の周波数温度特性の補償を良好に行える。 Furthermore, in carrying out the present invention, it is preferable that the base has an opening penetrating from the first surface to the second surface at a location corresponding to a part of the temperature sensor.
If an opening is provided, the temperature atmosphere on the side of the quartz piece is more easily transmitted to the temperature sensor than if there was no opening, so the temperature sensor detects temperature information that corresponds to the actual conditions of the quartz piece, and therefore, even if a base is present, the frequency-temperature characteristics of the quartz resonator can be well compensated for.

さらに、この発明を実施するに当たり、前記温度センサを、両端に接続端子を持つチップ部品とし、前記開口部は、前記温度センサの前記接続端子以外の部分を露出する開口部とし、当該台座の当該開口部の脇に、前記接続端子に接続する端子を備えたものとすることが好ましい。
このような構成とすれば、温度センサを台座に所望の通り実装できる。しかも、開口部を介して、温度センサの接続端子以外の部分に、水晶片側の空間の雰囲気が及ぶので、温度センサは、水晶片の実情に即した温度情報を検出するため、台座が存在しても、水晶振動子の周波数温度特性の補償を良好に行える。 Furthermore, in carrying out this invention, it is preferable that the temperature sensor be a chip component having connection terminals on both ends, that the opening be an opening that exposes portions of the temperature sensor other than the connection terminals, and that the base be provided with a terminal to connect to the connection terminals next to the opening.
With this configuration, the temperature sensor can be mounted on the base as desired. Moreover, because the atmosphere in the space on the crystal blank side reaches the parts of the temperature sensor other than the connection terminals through the opening, the temperature sensor detects temperature information that corresponds to the actual conditions of the crystal blank, so that the frequency-temperature characteristics of the crystal unit can be well compensated for even if the base is present.

なお、この発明でいうベースは、典型的には、水晶片を実装する凹部を有したセラミック製容器であることが好ましい。ただし、ベースが平板状のものであって、この平板状のベース上に上記の台座を設け、この台座の第１面に水晶片を設け、かつ、この第１面と対向する第２面に温度センサを設け、そして、当該平板状のべーすをキャップ状の蓋部材で封止した構造も本発明に含まれる（図４参照）。 In addition, the base referred to in this invention is typically preferably a ceramic container having a recess in which the quartz crystal piece is mounted. However, the present invention also includes a structure in which the base is flat, the above-mentioned pedestal is provided on this flat base, the quartz crystal piece is provided on a first surface of the pedestal, and a temperature sensor is provided on a second surface opposite the first surface, and the flat base is sealed with a cap-shaped lid member (see Figure 4).

この発明の水晶振動子によれば、水晶片が実装された台座の裏面側に温度センサが実装された構造であるため、水晶片側の雰囲気温度が台座を介してすぐに温度センサに伝わるので、台座が存在しても、水晶振動子の周波数温度特性の補償を良好に行える。 The quartz crystal unit of this invention has a structure in which a temperature sensor is mounted on the back side of the base on which the quartz crystal piece is mounted, so that the ambient temperature on the side of the quartz crystal piece is immediately transmitted to the temperature sensor via the base, and therefore the frequency-temperature characteristics of the quartz crystal unit can be well compensated for even in the presence of the base.

（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は、実施形態の水晶振動子１０の説明図である。1A, 1B, and 1C are explanatory diagrams of a quartz crystal resonator 10 according to an embodiment. （Ａ）、（Ｂ）は、実施形態の水晶振動子１０の図１に続く説明図である。2A and 2B are explanatory diagrams of the crystal resonator 10 according to the embodiment, continuing from FIG. 1 . （Ａ）、（Ｂ）は、実施形態の水晶振動子１０に用いる台座の好ましい構造例の説明図である。4A and 4B are explanatory diagrams of a preferred example of the structure of a base used in the crystal resonator 10 of the embodiment. 他の実施形態の水晶振動子３０を説明する断面図である。FIG. 11 is a cross-sectional view illustrating a quartz crystal resonator 30 according to another embodiment.

以下、図面を参照して本発明の水晶振動子の実施形態について説明する。なお、説明に用いる各図はこれらの発明を理解できる程度に概略的に示してあるにすぎない。また、説明に用いる各図において、同様な構成成分については同一の番号を付して示し、その説明を省略する場合もある。また、以下の説明中で述べる構造例、使用部材等は、この発明の範囲内の好適例に過ぎない。従って、本発明は以下の実施形態のみに限定されるものではない。 Below, an embodiment of the quartz crystal resonator of the present invention will be described with reference to the drawings. Note that each figure used in the description is merely a schematic view to the extent that these inventions can be understood. In addition, in each figure used in the description, similar components are indicated with the same numbers, and their description may be omitted. Furthermore, the structural examples and materials used, etc. described in the following description are merely preferred examples within the scope of this invention. Therefore, the present invention is not limited to only the following embodiments.

図１は、実施形態の水晶振動子１０を説明する図である。特に、図１（Ａ）は水晶振動子１０の上面図、図１（Ｂ）は図１（Ａ）中のＰ－Ｐ線に沿った断面図、図１（Ｃ）は台座１３に着目した上面図である。ただし、図１（Ａ）では、蓋部材１９を外した状態を示してある。また、図２（Ａ）は、台座１３に対する水晶片１５と温度センサ１７との接続関係を示した平面図である。また、図２（Ｂ）は、水晶片１５と、温度センサ１７と、ベース１１の裏面に設けた外部実装端子１１ｃと、の接続関係を示した平面図である。また、図３（Ａ）、（Ｂ）は、台座１３の好ましい構造例を示した斜視図である。 Figure 1 is a diagram illustrating a quartz crystal resonator 10 according to an embodiment. In particular, Figure 1(A) is a top view of the quartz crystal resonator 10, Figure 1(B) is a cross-sectional view taken along line P-P in Figure 1(A), and Figure 1(C) is a top view focusing on the base 13. However, Figure 1(A) shows a state in which the cover member 19 has been removed. Also, Figure 2(A) is a plan view showing the connection relationship between the quartz crystal piece 15 and the temperature sensor 17 relative to the base 13. Also, Figure 2(B) is a plan view showing the connection relationship between the quartz crystal piece 15, the temperature sensor 17, and the external mounting terminal 11c provided on the back surface of the base 11. Also, Figures 3(A) and (B) are perspective views showing preferred structural examples of the base 13.

この水晶振動子１０は、ベース１１と、台座１３と、水晶片１５と、温度センサ１７と、蓋部材１９と、を備えている。以下、各構成成分の具体的構造について説明する。
ベース１１は、この場合、平面形状が四角形状、具体的には長方形状で、水晶片１５を内包できる凹部１１ａを有したセラミック製パッケージで構成してある。凹部１１ａは、平面形状が四角形状となっている。
また、ベース１１は、凹部１１ａの底面の例えば四隅付近各々に接続パッド１１ｂを備えている。これら４つの接続パッドのうちの２つは水晶片１５と接続するものであり、残りの２つは温度センサ１７と接続するものである。
また、ベース１１は、裏面の四隅各々に、外部実装端子１１ｃを備えている。外部実装端子１１ｃと、上記の接続パッド１１ｂとは、図示しないビア配線又はキャスタレーションによって、電気的に接続されている。
また、この場合のベース１１は、凹部１１ａの周囲の土手部分に、シーム封止用のシールリング１１ｄを備えていて、このシールリング１１ｄに蓋部材１９が溶接されて、蓋部材１９と共に水晶片１５を密閉している。ただし、封止構造は、シーム封止構造に限られず、金錫等のロー材による封止構造、ガラス封止構造等、他の構造でも良い。 This quartz crystal unit 10 includes a base 11, a seat 13, a quartz crystal piece 15, a temperature sensor 17, and a cover member 19. The specific structure of each component will be described below.
In this case, the base 11 is configured as a ceramic package having a quadrangular planar shape, specifically a rectangular shape, and having a recess 11a capable of housing the crystal blank 15. The recess 11a has a quadrangular planar shape.
The base 11 also has connection pads 11b near the four corners of the bottom surface of the recess 11a. Two of these four connection pads are connected to the crystal blank 15, and the remaining two are connected to the temperature sensor 17.
The base 11 also has external mounting terminals 11c at each of the four corners of the back surface of the base 11. The external mounting terminals 11c and the connection pads 11b are electrically connected to each other by via wiring or castellations (not shown).
In this case, the base 11 is provided with a seal ring 11d for sealing the seam on the bank portion around the recess 11a, and the cover member 19 is welded to the seal ring 11d to hermetically seal the crystal piece 15 together with the cover member 19. However, the sealing structure is not limited to a seam sealing structure, and other structures such as a sealing structure using a solder material such as gold-tin, a glass sealing structure, etc. may be used.

台座１３は、水晶片１５を実装するための中間部材としての役割を持つものである。台台座１３は、平面的に見て長方形状のものとしてある。台座１３は、セラミック製、ガラス製、水晶製、出ガスが生じにくい樹脂製等、封止雰囲気を損ねない材料であれば任意のもので良いが、セラミック製、ガラス製、水晶製が好ましい。水晶製台座は、水晶片１５との熱膨張係数が同程度にできるので、応力の影響が低減できるので好ましい。セラミック製台座は、製造が容易であるため好ましい。ガラス製台座は、安価なので好ましい。
台座１３の第１の面１３ａに、水晶片１３を接続するための端子１３ｅが、また、第１の面１３ａと対向する第２の面１３ｂに、温度センサ１７を接続するための端子１３ｅが、それぞれ所定の位置に設けてある。これら端子１３ｅは、台座１３に設けてある側面配線やビア配線（図示を省略）などによって、ベース１１の対応する接続パッド１１ｂに、それぞれ接続されている。
台座１３の第１の面１３ａに、水晶片１５が、第２の面１３ｂに温度センサ１７がそれぞれ実装されている。そして、この台座１３は、ベース１１の凹部１１ａの底面に、接続パッド１１ｂを介して、好適な導電性部材によって実装してある。これら実装構造の詳細については、後に説明する。 The base 13 serves as an intermediate member for mounting the crystal blank 15. The base 13 is rectangular in shape when viewed in plan. The base 13 may be made of any material that does not impair the sealed atmosphere, such as ceramic, glass, crystal, or resin that is less likely to produce gases, but ceramic, glass, or crystal are preferred. A crystal base is preferred because it can have the same thermal expansion coefficient as the crystal blank 15, thereby reducing the effects of stress. A ceramic base is preferred because it is easy to manufacture. A glass base is preferred because it is inexpensive.
Terminals 13e for connecting the crystal blank 13 are provided at predetermined positions on the first surface 13a of the base 13, and terminals 13e for connecting the temperature sensor 17 are provided at predetermined positions on the second surface 13b opposite the first surface 13a. These terminals 13e are connected to corresponding connection pads 11b of the base 11 by side wiring or via wiring (not shown) provided on the base 13.
A crystal blank 15 is mounted on a first surface 13a of the base 13, and a temperature sensor 17 is mounted on a second surface 13b. The base 13 is mounted on the bottom surface of the recess 11a of the base 11 by a suitable conductive member via connection pads 11b. Details of the mounting structure will be described later.

また、台座１３は、この場合、温度センサ１７をベース１１の凹部１１ａの底面から離すための凸部１３ｃを有している。凸部１３ｃの高さｈは、台座の厚さｔより厚く、すなわち大きな寸法にしてある。高さｈは、高すぎては水晶振動子１０の厚さを厚くしてしまうので、このことと温度センサ１７の厚さより厚いことを条件に、設計に応じて設定する。
なお、凸部１３ｃを設ける位置は、設計に応じた任意の位置にできる。凸部１３ｃは、例えば、台座の短辺側の両端に設けても良く（図３（Ａ））、台座の長辺、短辺各々の中央部に設けても良い（図３（Ｂ））。 In this case, the base 13 has a protrusion 13c for separating the temperature sensor 17 from the bottom surface of the recess 11a of the base 11. The height h of the protrusion 13c is thicker than the thickness t of the base, i.e., it is set to a large dimension. If the height h is too high, the thickness of the crystal unit 10 will be too thick, so the height h is set according to the design, with this in mind and the condition that it is thicker than the thickness of the temperature sensor 17.
The protrusions 13c may be provided at any positions according to the design. For example, the protrusions 13c may be provided at both ends of the short sides of the base (FIG. 3A), or at the center of each of the long and short sides of the base (FIG. 3B).

また、台座１３は、この場合、温度センサ１７の一部分に対応する箇所に、第１面１３ａから第２面１３ｂに貫通している開口部１３ｄを備えている。
なお、この実施形態の場合は、温度センサ１７として両端に接続端子１７ａを有したチップ部品を用いていて、従って、開口部１３ｄは、温度センサ１７の接続端子１７ａ以外の部分１７ｂすなわち温度センサ１７の中央部分１７ｂを露出する開口部１３ｄであって、平面形状が四角形状の開口部１３ｄとしてある。台座１３の開口部１３ｄの脇に温度センサ１７に接続する端子１３ｅを設けてある。 In this case, the base 13 has an opening 13d penetrating from the first surface 13a to the second surface 13b at a location corresponding to a part of the temperature sensor 17.
In this embodiment, a chip component having connection terminals 17a on both ends is used as the temperature sensor 17, and therefore the opening 13d is an opening 13d that exposes a portion 17b of the temperature sensor 17 other than the connection terminals 17a, i.e., a central portion 17b of the temperature sensor 17, and has a rectangular planar shape. A terminal 13e that connects to the temperature sensor 17 is provided beside the opening 13d of the base 13.

水晶片１５は、典型的には、ＡＴカットの水晶片である。水晶片１５は、平面形状が長方形状で、表裏の面に励振用電極１５ａと引き出し電極１５ｂとを備えている。この例の場合の引き出し電極１５ｂは、励振用電極１５ａから水晶片１５の一方の短辺側に引き出してある。
水晶片１５は、引き出し電極１５ｂの位置で、台座１３の端子１３ｅに例えばシリコーン系導電性接着剤２１によって実装してある。 The crystal blank 15 is typically an AT-cut crystal blank. The crystal blank 15 has a rectangular shape in plan view, and is provided with an excitation electrode 15a and an extraction electrode 15b on the front and back surfaces. In this example, the extraction electrode 15b is extended from the excitation electrode 15a to one of the short sides of the crystal blank 15.
The crystal blank 15 is mounted on the terminal 13e of the base 13 at the position of the extraction electrode 15b with, for example, a silicone-based conductive adhesive 21.

温度センサ１７は、サーミスタ又はダイオードのＰＮ接合部を利用するもの等で構成できる。この例の場合は、両端に接続端子１７ａを有したチップ部品型のサーミスタ１７を用いている。温度センサ１７は、接続端子１７ａを台座１３の第２面１３ｂに備わる端子１３ｅに、好適な導電性部材例えばハンダ又は導電性接着剤例えば水晶片１５の固定に用いたシリコーン系導電性接着剤によって接続することで、台座１３の第２面１３ｂに実装してある。
蓋部材１９は、封止構造に応じたもので、この場合はシーム封止用の金属製リッドを用いている。 The temperature sensor 17 can be configured using a thermistor or a PN junction of a diode. In this example, a chip-type thermistor 17 having connection terminals 17a at both ends is used. The temperature sensor 17 is mounted on the second surface 13b of the base 13 by connecting the connection terminal 17a to a terminal 13e provided on the second surface 13b of the base 13 with a suitable conductive member, such as solder or a conductive adhesive, such as the silicone-based conductive adhesive used to fix the crystal blank 15.
The cover member 19 corresponds to the sealing structure, and in this case is a metal lid for sealing the seams.

この実施形態の水晶振動子１０では、水晶片１５が台座１７を介してベース１１に実装されていると共に、台座１５の水晶片１５を実装した面の裏側面に温度センサ１７を実装してあるので、温度センサ１７は、水晶片の実情に即した温度情報を検出し易い。しかも、台座１３に開口部１３ｄを設け、凸部１３ｃの高さも所定高さとしてあるため、温度センサ１７は、水晶片の実情に即した温度情報を一層検出し易い。従って、台座が存在しても、水晶振動子の周波数温度特性の補償を良好に行える。 In the quartz crystal resonator 10 of this embodiment, the quartz crystal piece 15 is mounted on the base 11 via the pedestal 17, and the temperature sensor 17 is mounted on the back side of the pedestal 15 on which the quartz crystal piece 15 is mounted, so the temperature sensor 17 can easily detect temperature information that corresponds to the actual condition of the quartz crystal piece. Furthermore, because an opening 13d is provided in the pedestal 13 and the height of the convex portion 13c is also set to a predetermined height, the temperature sensor 17 can detect temperature information that corresponds to the actual condition of the quartz crystal piece even more easily. Therefore, even if a pedestal is present, the frequency-temperature characteristics of the quartz crystal resonator can be well compensated.

図４は、他の実施形態の水晶振動子３０を説明する図であって、図１（Ｂ）と同様な位置での断面で示した図である。
この水晶振動子３０は、ベースとして平板上のセラミック製ベース３１を用い、蓋部材として、台座１３及び振動片１５を内包できるキャップ状の蓋部材３３を用いたものである。平板状のセラミック製ベース３１は、実施形態の水晶振動子１０のベース１１と同様に、接続パッド１１ｂ及び外部接続端子１１ｃを備えている。キャップ状の蓋部材３３は例えば金属製のキャップで構成できる。平板状のベース３１の蓋部材３３が接合される領域には、メタライズ膜（図示せず）設けてある。そして、平板状のベース３１と、キャップ状の蓋部材３３とは、例えば金錫等のロー材（図示を省略）によって、接続してある。 この水晶振動子３０においても、水晶振動子１０で得られる効果と同様の効果が得られる。 FIG. 4 is a diagram for explaining a quartz crystal resonator 30 according to another embodiment, and is a cross-sectional view taken at a position similar to that of FIG. 1(B).
This quartz crystal unit 30 uses a flat ceramic base 31 as the base, and a cap-shaped cover member 33 capable of containing the seat 13 and the vibrating piece 15 as the cover member. The flat ceramic base 31 has connection pads 11b and external connection terminals 11c, similar to the base 11 of the quartz crystal unit 10 of the embodiment. The cap-shaped cover member 33 can be formed of, for example, a metal cap. A metallized film (not shown) is provided on the area of the flat base 31 where the cover member 33 is bonded. The flat base 31 and the cap-shaped cover member 33 are connected by, for example, a solder material (not shown) such as gold-tin. This quartz crystal unit 30 also provides the same effects as those provided by the quartz crystal unit 10.

１０：実施形態の水晶振動子、 １１：ベース、
１１ａ：凹部、 １１ｂ：接続パッド、
１１ｃ：外部実装端子、 １３：台座、
１３ａ：台座の第１面、 １３ｂ：台座の第２面
１３ｃ：凸部、 １３ｄ：開口部
１３ｅ：端子、 １５：水晶片
１５ａ：励振用電極、 １５ｂ：引き出し電極
１７：温度センサ、 １７ａ：温度センサの接続端子、
１７ｂ：温度センサの接続端子以外の部分、
１９：蓋部材、 ２１：導電性接着剤 10: crystal unit according to an embodiment; 11: base;
11a: recess; 11b: connection pad;
11c: external mounting terminal, 13: base,
13a: first surface of base, 13b: second surface of base, 13c: convex portion, 13d: opening, 13e: terminal, 15: crystal piece, 15a: excitation electrode, 15b: extraction electrode, 17: temperature sensor, 17a: connection terminal of temperature sensor,
17b: Part other than the connection terminal of the temperature sensor,
19: Lid member, 21: Conductive adhesive

Claims (2)

ベースと、前記ベースに実装された台座と、前記台座の第１面に実装された水晶片と、前記台座の前記第１面とは反対面の第２面に実装された温度センサと、前記ベースに接合され前記ベースと共に前記水晶片を密閉する蓋部材と、を備え、
前記台座は、前記温度センサを前記ベースから離すため前記温度センサの厚さより大きい高さの凸部を備え、かつ、前記温度センサの一部分に対応する箇所に、前記第１面から前記第２面に貫通している開口部を備えたことを特徴とする水晶振動子。 a base, a pedestal mounted on the base, a crystal piece mounted on a first surface of the pedestal, a temperature sensor mounted on a second surface of the pedestal opposite to the first surface, and a lid member bonded to the base and sealing the crystal piece together with the base,
a quartz crystal unit characterized in that the base has a convex portion having a height greater than a thickness of the temperature sensor in order to separate the temperature sensor from the base, and has an opening penetrating from the first surface to the second surface at a location corresponding to a portion of the temperature sensor . 前記温度センサを、両端に接続端子を持つチップ部品とし、
前記開口部を、前記温度センサの前記接続端子以外の部分を露出する開口部とし、
当該台座の当該開口部の脇に、前記接続端子に接続する端子を備えたことを特徴とする請求項１に記載の水晶振動子。 The temperature sensor is a chip component having connection terminals on both ends,
the opening is an opening that exposes a portion of the temperature sensor other than the connection terminal,
2. The quartz crystal resonator according to claim 1 , further comprising a terminal connected to the connection terminal, the terminal being disposed on a side of the opening of the base.
JP2020089712A 2020-05-22 2020-05-22 Crystal oscillator Active JP7465618B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020089712A JP7465618B2 (en) 2020-05-22 2020-05-22 Crystal oscillator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020089712A JP7465618B2 (en) 2020-05-22 2020-05-22 Crystal oscillator

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2021184565A JP2021184565A (en) 2021-12-02
JP7465618B2 true JP7465618B2 (en) 2024-04-11

Family

ID=78767556

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020089712A Active JP7465618B2 (en) 2020-05-22 2020-05-22 Crystal oscillator

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP7465618B2 (en)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015029201A (en) 2013-07-30 2015-02-12 京セラ株式会社 Piezoelectric vibration element mounting substrate and piezoelectric device
JP2018033062A (en) 2016-08-26 2018-03-01 京セラ株式会社 Piezoelectric device
JP2019114937A (en) 2017-12-25 2019-07-11 セイコーエプソン株式会社 Vibration device, electronic device, and moving body
JP2020010817A (en) 2018-07-18 2020-01-23 東芝ライフスタイル株式会社 Washing and drying machine
JP2020065211A (en) 2018-10-19 2020-04-23 日本電波工業株式会社 Pedestal for vibration element, vibrator, and generator

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015029201A (en) 2013-07-30 2015-02-12 京セラ株式会社 Piezoelectric vibration element mounting substrate and piezoelectric device
JP2018033062A (en) 2016-08-26 2018-03-01 京セラ株式会社 Piezoelectric device
JP2019114937A (en) 2017-12-25 2019-07-11 セイコーエプソン株式会社 Vibration device, electronic device, and moving body
JP2020010817A (en) 2018-07-18 2020-01-23 東芝ライフスタイル株式会社 Washing and drying machine
JP2020065211A (en) 2018-10-19 2020-04-23 日本電波工業株式会社 Pedestal for vibration element, vibrator, and generator

Also Published As

Publication number Publication date
JP2021184565A (en) 2021-12-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5078512B2 (en) Crystal device
US7978016B2 (en) Crystal oscillator
JP2009004900A (en) Surface-mounting crystal oscillator
JPWO2020122179A1 (en) Piezoelectric vibration device
JP2004048592A (en) Surface mount crystal oscillator
JP2009188633A (en) Surface-mount type crystal oscillator
JP7465618B2 (en) Crystal oscillator
JP2008263564A (en) Temperature-compensated piezoelectric oscillator
JP2009295780A (en) Method of manufacturing surface-mounted type electronic component
JP4890914B2 (en) Support structure of quartz crystal resonator element
JP2006054602A (en) Package for electronic part and piezo-electric oscillation device using the same
JP2007235289A (en) Piezoelectric oscillator
JP2007124513A (en) Temperature compensated piezoelectric oscillator
JP2007073652A (en) Piezoelectric oscillating device
JP2001352226A (en) Piezoelectric oscillation device
JP2020104229A (en) MEMS device
JP2008252799A (en) Piezoelectric device
JP2008109430A (en) Piezoelectric device
JP2008193154A (en) Method for manufacturing piezoelectric oscillator
JP2007103994A (en) Piezoelectric oscillator
JP2003273690A (en) Piezoelectric vibration device
WO2023048014A1 (en) Piezoelectric vibration device
JP2009224515A (en) Package for electronic component, and piezoelectric vibration device
JP5337635B2 (en) Electronic devices
JP2007180919A (en) Piezoelectric device and manufacturing method thereof

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20221116

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20230922

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20231017

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20231101

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20240109

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20240116

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20240328

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7465618

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150