JP7463668B2 - 液体吐出ヘッド - Google Patents

Description

本発明は、第１共通流路、第２共通流路、及び、第１共通流路と第２共通流路とを連結する連結流路を備えた液体吐出ヘッドに関する。

特許文献１（図１２、図１３）には、Ｙ方向に延びる共通供給路支流（第１共通流路）と、Ｙ方向に延びる共通排出路支流（第２共通流路）とが、それぞれのＹ方向の一端で連結された構成が示されている。共通供給路支流のＹ方向の他端から一端に向かい、さらに共通排出路支流のＹ方向の一端から他端に向かう経路に沿って、インクが流れる。

特開２００８－２９０２９２号公報

特許文献１では、上記経路に沿って液体が流れる間に、液体の温度が変化し得る。例えば、温められた液体が共通供給路支流に供給されると、上記経路に沿って流れる過程で放熱され、上記経路の下流ほど、液体の温度が低くなり得る。或いは、イジェクタ（個別流路）内の液体に吐出エネルギーを付与するアクチュエータ（圧電体、発熱素子等）の熱により液体の温度が上昇し、上記経路の下流ほど、液体の温度が高くなり得る。

このような温度変化がある場合に、記録品質を維持するため、流路全体における液体の平均温度を温度センサによって検出し、検出結果に基づいて液体の吐出波形を適宜選択することが考えられる。しかしながら、温度センサの位置によっては、流路全体における液体の平均温度を精度よく検出できず、記録品質の維持が困難になり得る。

本発明の目的は、流路全体における液体の平均温度を精度よく検出できる、液体吐出ヘッドを提供することにある。

本発明に係る液体吐出ヘッドは、第１方向に配列された複数の個別流路と、前記第１方向に延び、前記複数の個別流路に連通する第１共通流路と、前記第１方向に延び、前記複数の個別流路に連通する第２共通流路であって、前記第１方向と交差する第２方向に前記第１共通流路と並ぶ第２共通流路と、前記第２方向に延び、前記第１共通流路の前記第１方向の一端と前記第２共通流路の前記第１方向の一端とを連結する連結流路と、前記連結流路と前記第２方向に重なる温度センサと、を備えたことを特徴とする。

本発明の第１実施形態に係るヘッド１を備えたプリンタ１００の平面図である。 ヘッド１の平面図である。 図２のＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿ったヘッド１の断面図である。 図２のＩＶ－ＩＶ線に沿ったヘッド１の断面図である。 本発明の第２実施形態に係るヘッド２０１の平面図である。 本発明の第３実施形態に係るヘッド３０１の平面図である。 本発明の第４実施形態に係るヘッド４０１の平面図である。 図７のＶＩＩＩ－ＶＩＩＩ線に沿ったヘッド４０１の断面図である。

＜第１実施形態＞
先ず、図１を参照し、本発明の第１実施形態に係るヘッド１を備えたプリンタ１００の全体構成について説明する。

プリンタ１００は、４つのヘッド１を含むヘッドユニット１ｘ、プラテン３、搬送機構４及び制御部５を備えている。

プラテン３の上面に、用紙９が載置される。

搬送機構４は、搬送方向にプラテン３を挟んで配置された２つのローラ対４ａ，４ｂを有する。制御部５の制御により搬送モータ（図示略）が駆動されると、ローラ対４ａ，４ｂが用紙９を挟持した状態で回転し、用紙９が搬送方向に搬送される。

ヘッドユニット１ｘは、紙幅方向（搬送方向及び鉛直方向の双方と直交する方向）に長尺であり、位置が固定された状態でノズル２１（図２及び図３参照）から用紙９に対してインクを吐出するライン式である。４つのヘッド１は、それぞれ紙幅方向に長尺であり、紙幅方向に千鳥状に配列されている。

制御部５は、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）及びＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）を有する。ＡＳＩＣは、ＲＯＭに格納されたプログラムに従い、記録処理等を実行する。記録処理において、制御部５は、ＰＣ等の外部装置から入力された記録指令（画像データを含む。）に基づき、各ヘッド１のドライバＩＣ及び搬送モータ（共に図示略）を制御し、用紙９上に画像を記録する。

次いで、図２～図４を参照し、ヘッド１の構成について説明する。

ヘッド１は、図２及び図４に示すように、流路基板１１、アクチュエータ基板１２及び温度センサ５０を有する。

流路基板１１は、図３及び図４に示すように、鉛直方向に積層されかつ互いに接着された１１枚のプレート１１ａ～１１ｋで構成されている。各プレート１１ａ～１１ｋには、流路を構成する貫通孔が形成されている。当該流路は、複数の個別流路２０、供給流路３１、帰還流路３２及び連結流路３３を含む。

流路基板１１には、図２に示すように、紙幅方向（第１方向）に一列に配列された複数の個別流路２０と、これら個別流路２０に連通する供給流路３１、帰還流路３２及び連結流路３３とでそれぞれ構成される、６つの流路組４１～４６が設けられている。

各流路組４１～４６において、供給流路３１及び帰還流路３２は、図３及び図４に示すように、鉛直方向（第２方向：供給流路３１及び帰還流路３２の高さ方向であり、第１方向と交差する方向）に並び、鉛直方向に互いに重なっている。供給流路３１は、本発明の「第１共通流路」に該当する。帰還流路３２は、本発明の「第２共通流路」に該当する。

６つの流路組４１～４６は、搬送方向と平行な方向（第３方向：供給流路３１及び帰還流路３２の幅方向であり、第１方向及び第２方向の双方と直交する方向）に等間隔で並んでいる。

供給流路３１及び帰還流路３２は、それぞれ、第１方向に延びている。供給流路３１及び帰還流路３２は、長さ（第１方向の長さ）、幅（第３方向の長さ）及び高さ（第２方向の長さ）が互いに略同じである。

各流路組４１～４６において、連結流路３３は、図４に示すように、第２方向に延び、供給流路３１の第１方向の一端と帰還流路３２の第１方向の一端とを連結している。

供給流路３１及び帰還流路３２は、それぞれの第１方向の他端（図２の上端）に設けられた供給口３１ｘ及び帰還口３２ｘを介して、サブタンク（図示略）に連通している。供給口３１ｘ及び帰還口３２ｘは、流路基板１１の上面１１ｘに開口している。

各流路組４１～４６において、供給口３１ｘ及び帰還口３２ｘは、第１方向において複数の個別流路２０に対して互いに同じ側にあり、第１方向に並んでいる。第１方向において、複数の個別流路２０と帰還口３２ｘとの間に、供給口３１ｘがある。つまり、帰還口３２ｘと複数の個別流路２０との第１方向の間隔は、供給口３１ｘと複数の個別流路２０との第１方向の間隔よりも大きい。

サブタンクは、インクを貯留するメインタンクに連通し、メインタンクから供給されたインクを貯留する。サブタンク内のインクは、制御部５の制御によりポンプ（図示略）が駆動されることで、供給口３１ｘから供給流路３１に流入する。供給流路３１に流入したインクは、供給流路３１内を第１方向の他端（図２の上端、図４の左端）から一端（図２の下端、図４の右端）に向かって移動しつつ、各個別流路２０に供給される（図３参照）。各個別流路２０から流出したインクは、帰還流路３２に流入する。また、供給流路３１の第１方向の一端（図２の下端、図４の右端）に到達したインクは、連結流路３３を通って帰還流路３２に流入する。帰還流路３２に流入したインクは、帰還流路３２内を第１方向の一端から他端（図２の上端、図４の左端）に向かって移動し、帰還口３２ｘを介してサブタンクに戻される。

図３及び図４に示すように、供給流路３１は、プレート１１ｅに形成された貫通孔で構成されている。帰還流路３２は、プレート１１ｈに形成された貫通孔で構成されている。第２方向において供給流路３１と帰還流路３２との間には、ダンパ室３０が設けられている。ダンパ室３０は、プレート１１ｆに形成された凹部と、プレート１１ｇに形成された凹部とで構成されている。プレート１１ｆにおける凹部の底部は、供給流路３１のダンパ膜３１ｄとして機能する。プレート１１ｇにおける凹部の底部は、帰還流路３２のダンパ膜３２ｄとして機能する。

各個別流路２０は、図３に示すように、ノズル２１と、圧力室２２と、接続流路２３と、流入流路２４と、流出流路２５とを含む。

ノズル２１は、プレート１１ｋに形成された貫通孔で構成され、流路基板１１の下面１１ｙに開口している。

圧力室２２は、プレート１１ａに形成された貫通孔で構成され、流路基板１１の上面１１ｘに開口している。圧力室２２は、第１方向と第３方向とに平行な面（第２方向と直交する面）において、第３方向に長尺な略矩形状である。圧力室２２に対し、第３方向の一端に流入流路２４が接続し、第３方向の他端に接続流路２３が接続している。

ここで、流路基板１１が本発明の「流路部材」に該当し、下面１１ｙが本発明の「ノズル面」に該当し、上面１１ｘが本発明の「反対面」に該当する。下面１１ｙ及び上面１１ｘは、それぞれ、第２方向と交差している。

接続流路２３は、プレート１１ｂ～１１ｊに形成された貫通孔で構成され、第２方向に延びている。接続流路２３は、第２方向においてノズル２１と圧力室２２との間に配置され、ノズル２１と圧力室２２とを互いに接続している。

流入流路２４は、プレート１１ｂ～１１ｄに形成された貫通孔で構成されている。流入流路２４は、圧力室２２に接続する上端と、供給流路３１に接続する下端（個別流路２０の入口２０ａ）とを有する。

流出流路２５は、プレート１１ｉ～１１ｋに形成された貫通孔で構成されている。流出流路２５は、接続流路２３の下端に接続する一端と、帰還流路３２に接続する他端（個別流路２０の出口２０ｂ）とを有する。

流入流路２４及び流出流路２５は、それぞれ、圧力室２２の幅（第１方向の長さ）よりも小さい幅を有し、絞りとして機能する。

供給流路３１から各個別流路２０に供給されたインクは、流入流路２４を通って圧力室２２に流入し、圧力室２２内を略水平に移動して、接続流路２３に流入する。接続流路２３に流入したインクは、下方に移動し、一部がノズル２１から吐出され、残りが流出流路２５を通って帰還流路３２に流入する。

このようにサブタンクと流路基板１１との間でインクを循環させることで、流路基板１１に形成された供給流路３１及び帰還流路３２、さらには個別流路２０における、エアの排出やインクの増粘防止が実現される。また、インクが沈降成分（沈降が生じ得る成分。顔料等）を含む場合、当該成分が攪拌されて沈降が防止される。

アクチュエータ基板１２は、図３に示すように、下から順に、振動板１２ａ、共通電極１２ｂ、複数の圧電体１２ｃ及び複数の個別電極１２ｄを含む。

振動板１２ａ及び共通電極１２ｂは、流路基板１１の上面１１ｘに配置され、プレート１１ａに形成された全ての圧力室２２を覆っている。一方、圧電体１２ｃ及び個別電極１２ｄは、圧力室２２毎に設けられており、圧力室２２のそれぞれと第２方向に重なっている。

共通電極１２ｂ及び複数の個別電極１２ｄは、ドライバＩＣ（図示略）と電気的に接続されている。ドライバＩＣは、共通電極１２ｂの電位をグランド電位に維持する一方、個別電極１２ｄの電位を変化させる。具体的には、ドライバＩＣは、制御部５からの制御信号に基づいて駆動信号を生成し、当該駆動信号を個別電極１２ｄに付与する。これにより、個別電極１２ｄの電位が所定の駆動電位とグランド電位との間で変化する。このとき、振動板１２ａ及び圧電体１２ｃにおいて個別電極１２ｄと圧力室２２とで挟まれた部分（アクチュエータ１２ｘ）が、圧力室２２に向かって凸となるように変形することにより、圧力室２２の容積が変化し、圧力室２２内のインクに圧力が付与され、ノズル２１からインクが吐出される。アクチュエータ基板１２は、圧力室２２のそれぞれに対応する複数のアクチュエータ１２ｘを有する。

温度センサ５０は、本実施形態では、６つの流路組４１～４６のうち、図２で左から２番目の流路組４２に対して設けられている。流路組４２は、６つの流路組４１～４６のうち、第３方向において６つの流路組４１～４６の配置領域の中央Ｏと配置領域の一端Ｅとの中点に、最も近い位置にある。

温度センサ５０は、図４に示すように、流路基板１１の上面１１ｘに配置され、流路組４２の連結流路３３と第２方向に重なっている。例えば、温度センサ５０の幅（第３方向の長さ）は２～３ｍｍ、連結流路３３の幅（第３方向の長さ）は０．５～３．０ｍｍ程度である。また、温度センサ５０は、流路基板１１における第１方向の一端に位置し、複数のアクチュエータ１２ｘから離隔している。

第２方向において温度センサ５０と連結流路３３との間には、プレート１１ａ～１１ｄで構成される介在部１１ｚが介在している。プレート１１ａ～１１ｄは、熱伝導率の高い材料（金属、シリコン、カーボン等）で構成されている。

温度センサ５０は、例えば、温度によって電気抵抗が変化する材料（Ｍｎ，Ｎｉ，Ｃｏ等の複合金属酸化物）からなるＮＴＣサーミスタ（Negative Temperature Coefficient Thermistor）であってよい。温度センサ５０によって検出された温度は、吐出制御（アクチュエータ１２ｘに印加される駆動電圧、駆動パルス幅、パルス数の決定等）に用いられる。

以上に述べたように、本実施形態によれば、温度センサ５０が、供給流路３１と帰還流路３２とを連結する連結流路３３と、第２方向に重なっている（図４参照）。連結流路３３は、供給流路３１及び帰還流路３２を流れるインクの経路において、供給流路３１と帰還流路３２との間にある。したがって、本実施形態（温度センサ５０が連結流路３３と第２方向に重なる場合）では、温度センサ５０が供給流路３１又は帰還流路３２と第２方向に重なる場合に比べ、ヘッド１の流路全体におけるインクの平均温度を精度よく検出できる。

また、連結流路３３は第２方向に延び、連結流路３３におけるインクの流れ方向は第２方向であるため、連結流路３３内では第２方向においてインクの温度変化が生じ易い。仮に、温度センサ５０が連結流路３３と第１方向に重なる場合（例えば、流路基板１１の側面に設けられた場合）、温度センサ５０を設置する際に第２方向の位置ズレが生じ得る。この場合、温度センサ５０の第２方向の位置によって検出温度の変化が大きくなり、平均温度を精度よく検出し難い。これに対し、本実施形態では、温度センサ５０が連結流路３３と第２方向に重なるため、温度センサ５０を設置する際に第２方向の位置ズレは生じず、上記のような検出精度悪化の問題が生じ難い。なお、本実施形態では、温度センサ５０が連結流路３３と第２方向に重なるため、温度センサ５０を設置する際に第１方向又は第３方向の位置ズレは生じ得る。しかしながら、温度センサ５０の第１方向や第３方向の位置による検出温度の変化は、第２方向の位置による検出温度の変化に比べて小さい。特に第３方向は、インクの流れ方向ではなく、連結流路３３における第３方向の一端、他端及び中央におけるインクの温度は互いに同じになる。このため、温度センサ５０の第３方向の位置ズレが生じたとしても、検出精度を維持できる。

温度センサ５０は、流路基板１１の上面１１ｘに配置されている（図４参照）。温度センサ５０が流路基板１１の下面１１ｙに配置されると、下面１１ｙを払拭するワイパが温度センサ５０と接触し、ワイピングを適切に行えない場合があり得る。本実施形態では、当該問題を抑制できる。

温度センサ５０は、複数のアクチュエータ１２ｘから離隔している（図４参照）。この場合、アクチュエータ１２ｘの熱が温度センサ５０に伝わることが抑制され、検出精度を維持できる。

温度センサ５０と連結流路３３との間に、金属、シリコン及びカーボンの少なくともいずれかで構成される介在部１１ｚが介在している（図４参照）。この場合、熱伝導率の高い介在部１１ｚを介して、温度を精度よく検出できる。

各個別流路２０は、供給流路３１に連通する入口２０ａと、帰還流路３２に連通する出口２０ｂとを有する（図２及び図３参照）。この場合、記録中に、供給流路３１の第１方向の他端（図２の上端、図４の左端）から一端（図２の下端、図４の右端）に向かい、連結流路３３を通って、帰還流路３２の第１方向の一端（図２の下端、図４の右端）から他端（図２の上端、図４の左端）に向かうインクの流れと、供給流路３１から各個別流路２０を通って帰還流路３２に向かうインクの流れとが生じる。記録中に上記のようなインクの流れが生じることで、個別流路２０内のエアの排出、インク中の沈降成分の攪拌、流路全体におけるインクの温度の均衡化を実現できる。また、記録中に上記のようなインクの流れが生じる構成において、温度センサ５０によって温度を検出することで、流路全体の平均温度を精度よく検出でき、記録品質を良好に維持できる。

６つの流路組４１～４６が、第３方向に並んでいる（図２参照）。この場合、６つの流路組４１～４６が第２方向に並ぶ場合に比べ、第２方向の小型化を実現できる。

６つの流路組４１～４６の中では、ヘッド１の周囲温度や他の流路組からの温度との関係で、６つの流路組４１～４６の配置領域の第３方向の一端Ｅ（図２参照）や他端に近いものほど温度が低く、６つの流路組４１～４６の配置領域の第３方向の中央Ｏに近いものほど温度が高くなり得る。本実施形態では、温度センサ５０が、流路組４２（６つの流路組４１～４６のうち、第３方向において６つの流路組４１～４６の配置領域の中央Ｏと配置領域の一端Ｅとの中点に最も近い流路組）に対して設けられている。これにより、６つの流路組４１～４６全体の平均温度を精度よく検出できる。

＜第２実施形態＞
続いて、図５を参照し、本発明の第２実施形態に係るヘッド２０１について説明する。

第１実施形態（図２）では、温度センサ４０が、流路組４２（６つの流路組４１～４６のうち、第３方向において６つの流路組４１～４６の配置領域の中央Ｏと配置領域の一端Ｅとの中点に最も近い流路組）に対して設けられているが、本実施形態（図５）では、温度センサ４０が、流路組４３（６つの流路組４１～４６のうち、第３方向において６つの流路組４１～４６の配置領域の中央Ｏに最も近い流路組）に対して設けられている。

本実施形態によれば、第１実施形態と温度センサ５０の位置が異なるものの、第１実施形態と同様の要件を満たすことで、第１実施形態と同様の効果が得られる。

さらに、本実施形態では、温度センサ４０が中央Ｏに最も近い流路組４３に対して設けられたことで、６つの流路組４１～４６全体の最高温度を検出し、当該最高温度に基づいて６つの流路組４１～４６全体の平均温度を算出できる。また、最高温度に基づく制御（最高温度が閾値を超えた場合に記録を停止する等の処理）を行うことができる。

＜第３実施形態＞
続いて、図６を参照し、本発明の第３実施形態に係るヘッド３０１について説明する。

第１実施形態（図２）では、温度センサ４０が、流路組４２（６つの流路組４１～４６のうち、第３方向において６つの流路組４１～４６の配置領域の中央Ｏと配置領域の一端Ｅとの中点に最も近い流路組）に対して設けられているが、本実施形態（図６）では、温度センサ４０が、６つの流路組４１～４６のそれぞれに対して設けられている。

本実施形態によれば、第１実施形態と温度センサ５０の位置が異なるものの、第１実施形態と同様の要件を満たすことで、第１実施形態と同様の効果が得られる。

さらに、本実施形態では、温度センサ４０が６つの流路組４１～４６のそれぞれに対して設けられたことで、６つの流路組４１～４６それぞれの温度を検出し、これらの平均を算出することで、６つの流路組４１～４６全体の平均温度をより一層精度よく検出できる。

＜第４実施形態＞
続いて、図７及び図８を参照し、本発明の第４実施形態に係るヘッド４０１について説明する。

第１実施形態（図２）では、６つの流路組４１～４６が設けられているが、本実施形態（図７）では、２つの流路組４４１，４４２が設けられている。

また、第１実施形態（図２及び図４）では、各流路組４１～４６において供給流路３１と帰還流路３２とが連結流路３３によって連結されているが、本実施形態（図７及び図８）では、第１流路組４４１の供給流路３１と第２流路組４４２の帰還流路３２とが第１連結流路４３３ａによって連結され、第１流路組４４１の帰還流路３２と第２流路組４４２の供給流路３１とが第２連結流路４３３ｂによって連結されている。

各流路組４４１，４４２は、第１方向に一列に配列された複数の個別流路２０と、これら個別流路２０に連通する供給流路３１及び帰還流路３２で構成される。２つの流路組４４１，４４２は、第３方向に並び、連結流路４３３ａ，４３３ｂによって互いに連結されている。

各流路組４４１，４４２における個別流路２０、供給流路３１及び帰還流路３２の構成は、第１実施形態と同様である。ただし、第１実施形態（図２）では、６つの流路組４１～４６において、供給流路３１及び帰還流路３２に対して接続流路２３及びノズル２１が互いに同じ側（図２の右側）に位置するが、本実施形態（図７及び図８）では、２つの流路組４４１，４４２において、供給流路３１及び帰還流路３２に対して接続流路２３及びノズル２１が互いに逆側に位置する。具体的には、第１流路組４４１では、供給流路３１及び帰還流路３２に対して接続流路２３及びノズル２１が第３方向の一方（図７及び図８の左側）に位置する。第２流路組４４２では、供給流路３１及び帰還流路３２に対して接続流路２３及びノズル２１が第３方向の他方（図７及び図８の右側）に位置する。

図８に示すように、各流路組４４１，４４２において、供給流路３１及び帰還流路３２は、第２方向に並び、第２方向に互いに重なっている。第１流路組４４１の供給流路３１と、第２流路組４４２の供給流路３１とは、第３方向に並んでいる。第１流路組４４１の帰還流路３２と、第２流路組４４２の帰還流路３２とは、第３方向に並んでいる。

第１流路組４４１の供給流路３１と、第２流路組４４２の帰還流路３２とは、第２方向に並び、かつ、第３方向に並んでいる（即ち、第２方向及び第３方向の各方向の位置が互いに異なる）。換言すると、第１流路組４４１の供給流路３１と、第２流路組４４２の帰還流路３２とは、第１方向と直交しかつ第２方向及び第３方向の双方と交差する斜め方向に、互いに対向している。

第１流路組４４１の帰還流路３２と、第２流路組４４２の供給流路３１とは、第２方向に並び、かつ、第３方向に並んでいる（即ち、第２方向及び第３方向の各方向の位置が互いに異なる）。換言すると、第１流路組４４１の帰還流路３２と、第２流路組４４２の供給流路３１とは、上記斜め方向に、互いに対向している。

第１連結流路４３３ａは、第２方向に延びる第１部分Ａ１と、第１部分Ａ１の上端から第３方向の一方に延びる第２部分Ａ２と、第１部分Ａ１の下端から第３方向の他方に延びる第３部分Ａ３とを有する。第２連結流路４３３ｂは、第２方向に延びる第１部分Ｂ１と、第１部分Ｂ１の下端から第３方向の一方に延びる第２部分Ｂ２と、第１部分Ｂ１の上端から第３方向の他方に延びる第３部分Ｂ３とを有する。

第１連結流路４３３ａ及び第２連結流路４３３ｂは、図７に示すように、第１方向に並び、第２方向に重なっていない。

温度センサ５０は、第１連結流路４３３ａ及び第２連結流路４３３ｂのそれぞれに対して設けられている。具体的には、温度センサ５０は、第１連結流路４３３ａの第１部分Ａ１と第２方向に重なる位置、及び、第２連結流路４３３ｂの第１部分Ｂ１と第２方向に重なる位置に、それぞれ設けられている。

以上に述べたように、本実施形態によれば、第１実施形態と流路構成が異なるものの、第１実施形態と同様の要件を満たすことで、第１実施形態と同様の効果が得られる。

さらに、本実施形態では、温度センサ４０が２つの連結流路４３３ａ，４３３ｂのそれぞれに対して設けられている（図７参照）。これにより、２つの連結流路４３３ａ，４３３ｂの温度を検出し、これらの平均を算出することで、２つの流路組４４１，４４２全体の平均温度をより一層精度よく検出できる。

また、斜め方向に互いに対向する第１流路組４４１の供給流路３１と第２流路組４４２の帰還流路３２とが第１連結流路４３３ａによって連結され、斜め方向に互いに対向する第１流路組４４１の帰還流路３２と第２流路組４４２の供給流路３１とが第２連結流路４３３ｂによって連結されている（図８参照）。このように、各連結流路４３３ａ，４３３ｂによって連結される供給流路３１と帰還流路３２とが斜め方向に配置されたことで、連結流路４３３ａ，４３３ｂを介して発生する吐出圧力のクロストークを効果的に抑制できる。

＜変形例＞
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。

上述の実施形態では、第１共通流路が供給流路、第２共通流路が帰還流路であるが、これに限定されない。例えば、第１共通流路が帰還流路、第２共通流路が供給流路であってもよい。或いは、第１共通流路及び第２共通流路が共に供給流路であってもよい。つまり、本発明において、第１共通流路及び第２共通流路における液体の流れ方向は特に限定されない。

第１共通流路及び第２共通流路は、各共通流路の幅方向に並んでもよい。即ち、第２方向は鉛直方向に限定されない。

温度センサは、連結流路と第２方向に重なる部分を含めばよく、連結流路と第２方向に重ならない部分を含んでもよい。

温度センサは、共通電極１２ｂの上面（例えば、共通電極１２ｂの上面において、圧電体１２ｃが配置されていない部分）に設けられてもよい。或いは、温度センサは、振動板１２ａの上面（例えば、振動板１２ａの上面において、共通電極１２ｂｃが配置されていない部分）に設けられてもよい。

第１実施形態において、温度センサ５０が流路組４５に対して設けられてもよい。第２実施形態において、温度センサ５０が流路組４４に対して設けられてもよい。

上述の実施形態では、複数の流路組が設けられているが、１つの流路組（複数の個別流路と、これら個別流路に連通する第１共通流路、第２共通流路及び連結流路）が設けられてもよい。

各個別流路は、第２共通流路に連通する出口を有さなくてもよい。つまり、個別流路を介して液体が循環しなくてもよい。例えば、個別流路を介して液体が循環せず、第１共通流路と第２共通流路との間で液体が循環する構成であってよい。この場合、各共通流路におけるエアの排出や液体の増粘防止等の効果が得られる。

なお、個別流路を介して液体が循環する構成の場合は、記録中に当該循環を行うことが一般であるが、個別流路を介して液体が循環せず、第１共通流路と第２共通流路との間で液体が循環する構成の場合は、記録中は当該循環を行わず、ヘッドのメンテナンス中に当該循環を行うことが一般である。前者の場合、記録デューティに応じて流路の温度バラツキが大きくなり得るため、本発明を適用して温度検出の精度向上を図ることがより効果的である。

また、例えば、第１共通流路及び第２共通流路が共に供給流路であって、液体が循環しない構成であってもよい。この場合、第１共通流路を流れる液体と第２共通流路を流れる液体とが連結流路で合流する。

温度センサと連結流路との間に介在する介在部は、金属、シリコン及びカーボン以外の材料からなってもよい。ただし、温度センサによる温度検出の精度を高めるため、介在部は熱伝導性が高い材料からなることが好ましい。

温度センサは、ノズル面に配置されてもよい。例えば、温度センサは、ノズル面における、ノズル形成領域（複数のノズルが形成された領域）の外側に配置されてよい。

各個別流路に属するノズルの数は、上述の実施形態では１つであるが、２つ以上であってもよい。

液体吐出ヘッドは、ライン式に限定されず、シリアル式（紙幅方向と平行な走査方向に移動しつつノズルから吐出対象に対して液体を吐出する方式）であってもよい。

吐出対象は、用紙に限定されず、例えば布、基板等であってもよい。

ノズルから吐出される液体は、インクに限定されず、任意の液体（例えば、インク中の成分を凝集又は析出させる処理液等）であってよい。

本発明は、プリンタに限定されず、ファクシミリ、コピー機、複合機等にも適用可能である。また、本発明は、画像の記録以外の用途で使用される液体吐出装置（例えば、基板に導電性の液体を吐出して導電パターンを形成する液体吐出装置）にも適用可能である。

１；２０１；３０１；４０１ ヘッド（液体吐出ヘッド）
１１ 流路基板（流路部材）
１１ｘ 上面（反対面）
１１ｙ 下面（ノズル面）
１１ｚ 介在部
１２ｘ アクチュエータ
２０ 個別流路
２０ａ 入口
２０ｂ 出口
２１ ノズル
３１ 供給流路（第１共通流路）
３２ 帰還流路（第２共通流路）
３３ 連結流路
４１～４６ 流路組
５０ 温度センサ
１００ プリンタ
４３３ａ 第１連結流路
４３３ｂ 第２連結流路
４４１ 第１流路組
４４２ 第２流路組

Claims (8)

1. 第１方向に配列された複数の個別流路であって、ノズル及び前記ノズルに連通する圧力室をそれぞれ含む複数の個別流路と、
   前記第１方向に延び、前記複数の個別流路に接続する第１共通流路と、
   前記第１方向に延び、前記複数の個別流路に接続する第２共通流路であって、前記第１方向と交差する第２方向に前記第１共通流路と並ぶ第２共通流路と、
   前記第２方向に延び、前記第１共通流路の前記第１方向の一端と前記第２共通流路の前記第１方向の一端とを連結する連結流路と、
   前記連結流路と前記第２方向に重なる温度センサと、を備え、
   前記複数の個別流路、前記第１共通流路、前記第２共通流路及び前記連結流路が形成された流路部材を備え、
   前記流路部材は、
   前記複数の個別流路のそれぞれに含まれる前記ノズルが形成され、前記第２方向と交差するノズル面と、
   前記第２方向において前記ノズル面とは反対側の、前記第２方向と交差する反対面とを有し、
   前記温度センサは、前記反対面に配置され、
   前記流路部材は、前記反対面を構成しかつ前記温度センサと前記連結流路との間に介在する介在部を有し、
   前記介在部は、金属、シリコン及びカーボンの少なくともいずれかで構成されることを特徴とする、液体吐出ヘッド。
2. 前記反対面に、前記複数の個別流路のそれぞれに対応する複数のアクチュエータが配置され、
   前記温度センサは、前記複数のアクチュエータから離隔していることを特徴とする、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 第１方向に配列された複数の個別流路であって、ノズル及び前記ノズルに連通する圧力室をそれぞれ含む複数の個別流路と、
   前記第１方向に延び、前記複数の個別流路に接続する第１共通流路と、
   前記第１方向に延び、前記複数の個別流路に接続する第２共通流路であって、前記第１方向と交差する第２方向に前記第１共通流路と並ぶ第２共通流路と、
   前記第２方向に延び、前記第１共通流路の前記第１方向の一端と前記第２共通流路の前記第１方向の一端とを連結する連結流路と、
   前記連結流路と前記第２方向に重なる温度センサと、を備え、
   前記複数の個別流路は、それぞれ、前記第１共通流路に連通する入口と、前記第２共通流路に連通する出口とを有することを特徴とする、液体吐出ヘッド。
4. 前記複数の個別流路、前記第１共通流路、前記第２共通流路及び前記連結流路でそれぞれ構成される複数の流路組が、前記第１方向及び前記第２方向に交差する第３方向に並ぶことを特徴とする、請求項１～３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記温度センサは、前記複数の流路組のうち、前記第３方向において前記複数の流路組の配置領域の中央と前記配置領域の一端との中点に最も近い流路組に対して設けられたことを特徴とする、請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記温度センサは、前記複数の流路組のうち、前記第３方向において前記複数の流路組の配置領域の中央に最も近い流路組に対して設けられたことを特徴とする、請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
7. 複数の前記温度センサは、前記複数の流路組のそれぞれに対して設けられたことを特徴とする、請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記複数の個別流路、前記第１共通流路及び前記第２共通流路で構成される第１流路組と、
   前記複数の個別流路、前記第１共通流路及び前記第２共通流路で構成される第２流路組と、を備え、
   前記第１流路組の前記第１共通流路と、前記第２流路組の前記第１共通流路とが、前記第１方向及び前記第２方向に交差する第３方向に並び、
   前記第１流路組の前記第２共通流路と、前記第２流路組の前記第２共通流路とが、前記第３方向に並び、
   前記連結流路は、前記第１流路組の前記第１共通流路と前記第２流路組の前記第２共通流路とを連結する第１連結流路と、前記第１流路組の前記第２共通流路と前記第２流路組の前記第１共通流路とを連結する第２連結流路とを含み、
   前記温度センサは、前記第１連結流路及び前記第２連結流路のそれぞれに対して設けられたことを特徴とする、請求項１～３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。

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