JP7453314B2 - マルチビーム検査装置 - Google Patents
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Description
[0001] 本願は、2018年12月31日出願の米国出願第62/787,157号の優先権を主張し、その全体が参照により本明細書に組み込まれる。
K=1+2i+n(4+2p)・・・(3)
上式でp、n、及びiは整数であり、i=1、2、・・・pであり、n=0、1、2、・・・∞である。いくつかの実施形態において、装置の光軸(例えば、図3Aの光軸304)から更に離れたマイクロ偏向器は、より多くの高次のオンアクシス成分を減少させるために、光軸に近いマイクロ偏向器よりも多数のポール電極を有するように構成可能である。
1.複数の多極構造を含むマイクロ構造偏向器アレイであって、各多極構造は複数のポール電極を備え、アレイは、
複数の多極構造のうちの第1の多極構造であって、第1の多極構造はアレイの中心軸からの第1の半径シフトを有する、第1の多極構造と、
複数の多極構造のうちの第2の多極構造であって、第2の多極構造はアレイの中心軸からの第2の半径シフトを有する、第2の多極構造と、
を備え、
第1の半径シフトは第2の半径シフトより大きく、また第1の多極構造は第2の多極構造よりも多数のポール電極を備える、
複数の多極構造を含むマイクロ構造偏向器アレイ。
2.第1の多極構造は、複数の多極構造が複数の荷電粒子ビームを偏向させるときの偏向収差を減少させるために、第2の多極構造よりも多数のポール電極を備える、条項1に記載のアレイ。
3.第1の多極構造の複数のポール電極は、第1のドライバによって電気的に接続及び駆動され、また、
第2の多極構造の複数のポール電極は、第2のドライバによって電気的に接続及び駆動される、
条項1及び2のいずれか一項に記載のアレイ。
4.第1のドライバ及び第2のドライバは、第1の多極構造及び第2の多極構造が、複数の荷電粒子ビームを偏向させるために、マルチビーム装置内のイメージ形成要素又は事前屈曲マイクロ偏向器として機能できるように構成される、条項3に記載のアレイ。
5.第1の多極構造が第2の多極構造よりも大きな内径を有する、条項1から4のいずれか一項に記載のアレイ。
6.複数の多極構造を含むマイクロ構造偏向器アレイであって、各多極構造は複数のポール電極を備え、アレイは、
複数の多極構造のうちの第1のグループの多極構造であって、第1のグループの多極構造はアレイの中心軸からの第1のセットの半径シフトを有し、第1のグループの各多極構造は同じ数の対応するポール電極を備える、第1のグループの多極構造と、
複数の多極構造のうちの第2のグループの多極構造であって、第2のグループの多極構造はアレイの中心軸からの第2のセットの半径シフトを有し、第2のグループの各多極構造は同じ数の対応するポール電極を備える、第2のグループの多極構造と、
を備え、
第1のセットの半径シフトのうちの半径シフトの最低値は、第2のセットの半径シフトのうちの半径シフトの最高値よりも大きく、第1のグループの多極構造は、第2のグループの多極構造よりも多数のポール電極を備える、
複数の多極構造を含むマイクロ構造偏向器アレイ。
7.複数の多極構造が複数の荷電粒子ビームを偏向させるときの偏向収差を減少させるために、第1のグループの多極構造は第2のグループの多極構造よりも多数のポール電極を備える、条項6に記載のアレイ。
8.第1のグループ又は第2のグループは1つの多極構造のみを備えることができる、条項6及び7のいずれか一項に記載のアレイ。
9.複数の多極構造のうちの第1のグループの多極構造は、
第1のドライバによって電気的に接続及び駆動される第1のサブグループの多極構造を備え、第1のサブグループの多極構造の半径シフト及び配向角は等しいか又は実質的に等しい、
条項6から8のいずれか一項に記載のアレイ。
10.複数の多極構造のうちの第2のグループの多極構造は、
第2のドライバによって電気的に接続及び駆動される第2のサブグループの多極構造を備え、第2のサブグループの多極構造の半径シフト及び配向角は等しいか又は実質的に等しい、
条項6から9のいずれか一項に記載のアレイ。
11.第1及び第2のドライバのうちの少なくとも1つは、対応する多極構造が、複数の荷電粒子ビームを偏向させるために、マルチビーム装置内のイメージ形成要素又は事前屈曲マイクロ偏向器として機能できるように構成される、条項6から10のいずれか一項に記載のアレイ。
12.第1のグループのうちの1つの多極構造は、第2のグループのうちの1つの多極構造よりも大きな内径を有する、条項6から11のいずれか一項に記載のアレイ。
13.複数の荷電粒子ビームを偏向させるように構成された複数の多極構造を含むマイクロ構造偏向器アレイであって、各多極構造は複数のポール電極を備え、アレイは、
複数の多極構造のうちの多極構造の第1の層であって、第1の層は、アレイの中心軸からの第1の半径シフトを有する第1の多極構造、及び、アレイの中心軸からの第2の半径シフトを有する第2の多極構造を備え、第1の半径シフトは第2の半径シフトより大きく、また第1の多極構造は、第2の多極構造よりも多数のポール電極を備える、多極構造の第1の層と、
複数の多極構造のうちの多極構造の第2の層であって、第2の層は、アレイの中心軸からの第3の半径シフトを有する第3の多極構造を備える、多極構造の第2の層と、
を備える、複数の多極構造を含むマイクロ構造偏向器アレイ。
14.第1の多極構造は、対応する荷電粒子ビームの偏向収差を減少させるために、第2の多極構造よりも多数のポール電極を備える、条項13に記載のアレイ。
15.第3の半径シフトは第1の半径シフトよりも小さい、条項13及び14のいずれか一項に記載のアレイ。
16.第3の半径シフトは第2の半径シフトよりも大きい、条項15に記載のアレイ。
17.第3の多極構造のポール電極の数は第2の多極構造よりも大きいか又は等しい、条項13から16のいずれか一項に記載のアレイ。
18.第3の多極構造のポール電極の数は第1の多極構造よりも小さいか又は等しい、条項13から16のいずれか一項に記載のアレイ。
19.第3の多極構造は第1の多極構造よりも多いか又は等しい数のポール電極を備える、条項13、14、16、及び17のいずれか一項に記載のアレイ。
20.複数の荷電粒子ビームのうちの1つは第1の層の多極構造によって偏向され、複数の荷電粒子ビームのうちの別の1つは第2の層の多極構造によって偏向される、条項13から19のいずれか一項に記載のアレイ。
21.複数の荷電粒子ビームのうちの1つは、第1の層の多極構造及び第2の層の多極構造によって順次偏向され、また第1の層の多極構造及び第2の層の多極構造は互いに位置合わせされる、条項13から19のいずれか一項に記載のアレイ。
22.複数の荷電粒子ビームのうちの第1のビームは、第1の層の多極構造によって偏向され、
複数の荷電粒子ビームのうちの第2のビームは、第2の層の多極構造によって偏向され、また、
複数の荷電粒子ビームのうちの第3のビームは、第1の層の多極構造及び第2の層の多極構造によって順次偏向される、
条項13から19のいずれか一項に記載のアレイ。
23.複数の多極構造のうちの各多極構造は、他の多極構造から電気的に遮蔽されるように電気的遮蔽キャビティ内部に配置される、条項13から22のいずれか一項に記載のアレイ。
24.第1の層の第1の多極構造は、第1の層の第2の多極構造よりも大きい内径を有する、条項13から23のいずれか一項に記載のアレイ。
25.第1の層の多極構造のうちの2つ以上は、
同じ数のポール電極を有し、
半径シフト及び配向角において等しいか又は実質的に等しく、また、
第1のドライバによって電気的に接続及び駆動される、
条項13から24のいずれか一項に記載のアレイ。
26.第2の層の多極構造のうちの2つ以上は、
同じ数のポール電極を有し、
半径シフト及び配向角において等しいか又は実質的に等しく、また、
第2のドライバによって電気的に接続及び駆動される、
条項13から25のいずれか一項に記載のアレイ。
27.条項13から26のいずれか一項に記載のアレイを備える、荷電粒子ビームシステム内のソース変換ユニット。
28.複数の多極構造を含むマイクロ構造偏向器アレイを製造する方法であって、各多極構造は複数のポール電極を備え、方法は、
アレイの中心軸からの第1の半径シフトを有するように、第1の多極構造を形成すること、及び、
アレイの中心軸からの第2の半径シフトを有するように、第2の多極構造を形成することを含み、第1の半径シフトは第2の半径シフトより大きく、また第1の多極構造は第2の多極構造とは異なる数のポール電極を有する、
マイクロ構造偏向器アレイを製造する方法。
29.第1及び第2の多極構造の収差特徴に基づいて、第1の多極構造のポール電極の数及び第2の多極構造のポール電極の数を選択することを更に含む、条項28に記載の方法。
30.第1の多極構造のポール電極の数及び第2の多極構造のポール電極の数を選択することは、それらの電場の高次成分を減少させるために、対応する数のポール電極を選択することを含む、条項29に記載の方法。
31.第1の多極構造のポール電極の数は第2の多極構造よりも大きい、条項28から30のいずれか一項に記載の方法。
32.複数の多極構造を1つ以上の層内に配置することを更に含む、条項28から31のいずれか一項に記載の方法。
33.1つ以上の層のうちの第1の層内の1つの多極構造は、1つ以上の層のうちの第2の層内の1つの多極構造と位置合わせされる、条項32に記載の方法。
34.1つのドライバを共有するために多極構造のサブセットをグループ化することを更に含み、多極構造のサブセットは、
同じ数のポール電極を有し、また、
半径シフト及び配向角において等しいか又は実質的に等しい、
条項28から33のいずれか一項に記載の方法。
35.第1のドライバを共有するために、1つ以上の層のうちの第1の層内の多極構造のサブセットをグループ化することを更に含み、第1の層内の多極構造のサブセットは、
同じ数のポール電極を有し、また、
半径シフト及び配向角において等しいか又は実質的に等しい、
条項32から34のいずれか一項に記載の方法。
36.第2のドライバを共有するために、1つ以上の層のうちの第2の層内の多極構造のサブセットをグループ化することを更に含み、第2の層内の多極構造のサブセットは、同じ数のポール電極を有し、また、半径シフト及び配向角において等しいか又は実質的に等しい、条項32から35のいずれか一項に記載の方法。
37.複数の多極構造を含むマイクロ構造偏向器アレイであって、各多極構造は複数のポール電極を備え、アレイは、
複数の多極構造のうちの第1のグループの多極構造であって、第1のグループの多極構造はアレイの中心軸からの第1のセットの半径シフトを有し、第1のグループの各多極構造は同じ数の対応するポール電極を備える、第1のグループの多極構造と、
複数の多極構造のうちの第2のグループの多極構造であって、第2のグループの多極構造はアレイの中心軸からの第2のセットの半径シフトを有し、第2のグループの各多極構造は同じ数の対応するポール電極を備える、第2のグループの多極構造と、
を備え、
第1のグループの多極構造は、第2のグループの多極構造よりも多数のポール電極を備え、また、第1のグループ及び第2のグループの各々は1つ以上の多極構造を備える、
複数の多極構造を含むマイクロ構造偏向器アレイ。
38.第1のセットの半径シフトのうちの半径シフトの最低値は、第2のセットの半径シフトのうちの半径シフトの最高値よりも大きい、条項37に記載のアレイ。
39.複数の多極構造は、複数の荷電粒子ビームを実質的に同時に偏向させるように構成される、条項37に記載のアレイ。
40.第1のグループの多極構造は、
第1のドライバに電気的に接続され第1のドライバによって駆動される、第1のサブグループの多極構造を備え、第1のサブグループの多極構造の半径シフト及び配向角は実質的に等しい、条項39に記載のアレイ。
41.多極構造の第2のグループは、
第2のドライバに電気的に接続され、第2のドライバによって駆動される、多極構造の第2のサブグループを備え、多極構造の第2のサブグループの半径シフト及び配向角は等しいか又は実質的に等しい、条項40に記載のアレイ。
42.第1及び第2のドライバのうちの1つは、対応する多極構造がマルチビーム装置内の複数の荷電粒子ビームを偏向させることができるように構成され、更に複数の多極構造は、マルチビーム装置内のイメージ形成要素又は事前屈曲マイクロ偏向器として構成される、条項41に記載のアレイ。
43.第1のグループの多極構造は、第2のグループの多極構造よりも大きい内径を有する、条項37に記載のアレイ。
44.第1のグループ及び第2のグループはアレイの第1の層内に配置され、またアレイは、アレイの中心軸からの第3の半径シフトを有する第3のグループの多極構造を備える第2の層を更に備える、条項39に記載のアレイ。
45.第3の半径シフトは、第1のセットの半径シフト又は第2のセットの半径シフトとは異なる、条項44に記載のアレイ。
46.第3の多極構造のポール電極の数は、第1のグループの多極構造のうちの多極構造のポール電極の数とは異なるか又は等しい、条項45に記載のアレイ。
47.複数の荷電粒子ビームのうちの1つは第1の層の多極構造によって偏向され、また複数の荷電粒子ビームのうちの別の1つは第2の層の多極構造によって偏向される、条項45に記載のアレイ。
48.複数の荷電粒子ビームのうちの1つは、第1の層の多極構造及び第2の層の多極構造によって順次偏向され、また第1の層の多極構造及び第2の層の多極構造は互いに位置合わせされる、条項45に記載のアレイ。
49.複数の荷電粒子ビームのうちの第1のビームは、第1の層の多極構造によって偏向され、また第2の層のいずれの多極構造によっても偏向されず、
複数の荷電粒子ビームのうちの第2のビームは、第2の層の多極構造によって偏向され、また第2の層のいずれの多極構造によっても偏向されず、また、
複数の荷電粒子ビームのうちの第3のビームは、第1の層の多極構造及び第2の層の多極構造によって順次偏向される、
条項45に記載のアレイ。
50.荷電粒子ビームシステム内のソース変換ユニットであって、ソース変換ユニットは、複数の多極構造を含むマイクロ構造偏向器アレイを備え、多極構造の各々は複数のポール電極を備え、アレイは、
複数の多極構造のうちの第1のグループの多極構造であって、第1のグループの多極構造はアレイの中心軸からの第1のセットの半径シフトを有し、第1のグループの各多極構造は同じ数のポール電極を備える、第1のグループの多極構造と、
複数の多極構造のうちの第2のグループの多極構造であって、第2のグループの多極構造はアレイの中心軸からの第2のセットの半径シフトを有し、第2のグループの各多極構造は同じ数のポール電極を備える、第2のグループの多極構造と、
を備え、
第1のセットの半径シフトは第2のセットの半径シフトとは異なり、第1のグループの多極構造は第2のグループの多極構造よりも多数のポール電極を備え、また第1のグループ及び第2のグループの各々は1つ以上の多極構造を備える、
荷電粒子ビームシステム内のソース変換ユニット。
51.第1のグループ及び第2のグループはアレイの第1の層内に配置され、アレイは、アレイの中心軸からの第3の半径シフトを有する第3のグループの多極構造を備える第2の層を更に備える、条項50に記載のソース変換ユニット。
52.第1及び第2のドライバのうちの1つのドライバは、複数の荷電粒子ビームを偏向させるために、対応する多極構造がマルチビーム装置内のイメージ形成要素又は事前屈曲マイクロ偏向器として機能できるように構成される、条項6から10のいずれか一項に記載のアレイ。
53.構成される第1及び第2のドライバのうちのドライバは、構成される第1及び第2のドライバのすべてを含む、条項52に記載のアレイ。
Claims (15)
- 複数の多極構造を含むマイクロ構造偏向器アレイであって、各多極構造は複数のポール電極を備え、前記マイクロ構造偏向器アレイは、
複数の多極構造のうちの第1の多極構造であって、前記マイクロ構造偏向器アレイの中心軸からの第1の半径シフトを有する、第1の多極構造と、
複数の多極構造のうちの第2の多極構造であって、前記マイクロ構造偏向器アレイの中心軸からの第2の半径シフトを有する、第2の多極構造と、
を備え、
前記第1の半径シフトは前記第2の半径シフトより大きく、また前記第1の多極構造は前記第2の多極構造よりも多数のポール電極を備える、
複数の多極構造を含むマイクロ構造偏向器アレイ。 - 前記第1の多極構造は、前記複数の多極構造が複数の荷電粒子ビームを偏向させるときの偏向収差を減少させるために、前記第2の多極構造よりも多数のポール電極を備える、
請求項1に記載のアレイ。 - 前記第1の多極構造の前記複数のポール電極は、第1のドライバによって電気的に接続及び駆動され、また、
前記第2の多極構造の前記複数のポール電極は、第2のドライバによって電気的に接続及び駆動される、
請求項1及び2のいずれか一項に記載のアレイ。 - 前記第1のドライバ及び前記第2のドライバは、前記第1の多極構造及び前記第2の多極構造が、複数の荷電粒子ビームを偏向させるために、マルチビーム装置内のイメージ形成要素又は事前屈曲マイクロ偏向器として機能できるように構成される、請求項3に記載のアレイ。
- 前記第1の多極構造が前記第2の多極構造よりも大きな内径を有する、請求項1から4のいずれか一項に記載のアレイ。
- 複数の多極構造を含むマイクロ構造偏向器アレイを製造する方法であって、各多極構造は複数のポール電極を備え、方法は、アレイの中心軸からの第1の半径シフトを有するように、第1の多極構造を形成すること、及び、
アレイの中心軸からの第2の半径シフトを有するように、第2の多極構造を形成することを含み、前記第1の半径シフトは前記第2の半径シフトより大きく、また前記第1の多極構造は前記第2の多極構造よりも多数のポール電極を有する、
マイクロ構造偏向器アレイを製造する方法。 - 前記第1の多極構造及び前記第2の多極構造の収差特徴に基づいて、前記第1の多極構造のポール電極の数及び前記第2の多極構造のポール電極の数を選択することを更に含む、請求項6に記載の方法。
- 前記第1の多極構造のポール電極の数及び前記第2の多極構造のポール電極の数を選択することは、それらの電場の高次成分を減少させるために、対応する数のポール電極を選択することを含む、請求項7に記載の方法。
- 前記第1の多極構造のポール電極の数は前記第2の多極構造よりも大きい、請求項6から8のいずれか一項に記載の方法。
- 前記複数の多極構造を1つ以上の層内に配置することを更に含む、請求項6から9のいずれか一項に記載の方法。
- 前記1つ以上の層のうちの第1の層内の1つの多極構造は、前記1つ以上の層のうちの第2の層内の1つの多極構造と位置合わせされる、請求項10に記載の方法。
- 1つのドライバを共有するために多極構造のサブセットをグループ化することを更に含み、多極構造の前記サブセットは、
同じ数のポール電極を有し、また、
半径シフト及び配向角において等しいか又は実質的に等しい、
請求項6から11のいずれか一項に記載の方法。 - 第1のドライバを共有するために、前記1つ以上の層のうちの第1の層内の多極構造のサブセットをグループ化することを更に含み、前記第1の層内の多極構造のサブセットは、
同じ数のポール電極を有し、また、
半径シフト及び配向角において等しいか又は実質的に等しい、
請求項10から12のいずれか一項に記載の方法。 - 第2のドライバを共有するために、前記1つ以上の層のうちの第2の層内の多極構造のサブセットをグループ化することを更に含み、前記第2の層内の多極構造のサブセットは、同じ数のポール電極を有し、また、半径シフト及び配向角において等しいか又は実質的に等しい、請求項10から13のいずれか一項に記載の方法。
- 複数の荷電粒子ビームを偏向させるように構成された複数の多極構造を含むマイクロ構造偏向器アレイであって、各多極構造は複数のポール電極を備え、前記マイクロ構造偏向器アレイは、
前記複数の多極構造のうちの多極構造の第1の層であって、前記第1の層は、アレイの中心軸からの第1の半径シフトを有する第1の多極構造、及び、アレイの中心軸からの第2の半径シフトを有する第2の多極構造を備え、前記第1の半径シフトは前記第2の半径シフトより大きく、また前記第1の多極構造は、前記第2の多極構造よりも多数のポール電極を備える、多極構造の前記第1の層と、前記複数の多極構造のうちの多極構造の第2の層であって、前記第2の層は、アレイの中心軸からの第3の半径シフトを有する第3の多極構造を備える、多極構造の前記第2の層と、
を備える、前記複数の多極構造を含むマイクロ構造偏向器アレイ。
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