JP7447883B2 - 検査装置および磁気センサの検査方法 - Google Patents

Description

本発明は、磁気センサを検査するための検査装置および磁気センサの検査方法に関する。

近年、種々の用途で、磁気抵抗効果素子を用いた磁気センサが利用されている。磁気センサを含むシステムでは、基板上に設けられた磁気抵抗効果素子によって、基板の面に垂直な方向の磁界（以下、垂直磁界と言う。）を検出したい場合がある。この場合、垂直磁界を基板の面に平行な方向の磁界に変換する軟磁性体を設けたり、磁気抵抗効果素子を基板上に形成された傾斜面上に配置したりすることによって、垂直磁界を検出することができる。

磁気センサを市場に出荷するには、製造時または出荷前に、磁気センサの出力特性を検査する必要がある。磁気センサの検査では、磁気センサの検出対象の磁界を想定した磁界を磁気センサに印加して、磁気センサの出力特性を検査する。垂直磁界を検出することができるように構成された磁気センサの場合、磁気センサの検査において、磁気センサに対して垂直磁界を印加する必要がある。

特許文献１には、対称性を有する２つのコイルを備えた磁気センサの検査装置が開示されている。この検査装置では、リレーを用いて２つのコイルの各々の通電方向を任意に切り替えることによって、Ｚ方向およびＸ方向の２方向に磁界を切り替えて発生させている。

特開２０２１－６７５０３号公報

磁気センサの出力特性には、線形性やヒステリシス等のように、磁界を連続的に変化させたときの磁気センサの出力から得られる特性がある。しかし、特許文献１に開示された検査装置では、磁界を連続的に変化させることができないため、線形性やヒステリシス等のような特性を検査することができなかった。

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、磁界を連続的に変化させることができる検査装置、および磁気センサの検査方法を提供することにある。

本発明の検査装置は、磁気センサに対して磁界を印加して磁気センサの出力を検査する検査装置である。本発明の検査装置は、磁気センサを載置するための載置面を有する載置台と、それぞれ載置面に垂直な方向において載置面に対して所定の間隔を開けて配置された第１の磁界発生器および第２の磁界発生器とを備えている。

第１の磁界発生器は、その姿勢を変化可能であると共に、単独では、磁気センサに対して印加される磁界であって、載置面に垂直な方向に対して傾いた第１の方向の第１の磁界を発生するように構成されている。第２の磁界発生器は、その姿勢を変化可能であると共に、単独では、磁気センサに対して印加される磁界であって、載置面に垂直な方向に対して傾いた第２の方向の第２の磁界を発生するように構成されている。第１の磁界発生器と第２の磁界発生器は、協働して、磁気センサに対して印加される磁界であって、載置面に垂直な仮想の平面に対して平行な方向の成分を含む合成磁界を発生するように構成されている。

本発明の検査装置において、第１の磁界発生器と第２の磁界発生器は、協働して、載置面に平行な一方向に対して合成磁界の方向がなす角度が変化するように、合成磁界の方向を変化させるように構成されていてもよい。

また、本発明の検査装置において、第１の磁界発生器と第２の磁界発生器は、それぞれ、磁気センサに対する相対的な位置を変化可能であってもよい。

また、本発明の検査装置において、第１の磁界発生器と第２の磁界発生器は、それぞれ磁石であってもよい。この場合、磁石のＮ極とＳ極は、載置面に垂直な方向に対して傾いた方向に沿って並んでいてもよい。

また、本発明の検査装置において、磁気センサは、平面からなる主面を有する基板と、磁気検出素子とを備えていてもよい。磁気検出素子は、主面に垂直な方向の成分を含む対象磁界を検出するように構成されていてもよい。磁気センサは、主面が載置面に平行になるように載置面に載置されてもよい。

本発明の磁気センサの検査方法は、載置台の載置面に磁気センサを載置することと、その姿勢を変化可能であると共に、単独では、磁気センサに対して印加される磁界であって、載置面に垂直な方向に対して傾いた第１の方向の第１の磁界を発生するように構成された第１の磁界発生器を、載置面に垂直な方向において載置面に対して所定の間隔を開けて配置することと、その姿勢を変化可能であると共に、単独では、磁気センサに対して印加される磁界であって、載置面に垂直な方向に対して傾いた第２の方向の第２の磁界を発生するように構成された第２の磁界発生器を、載置面に垂直な方向において載置面に対して所定の間隔を開けて配置することと、第１の磁界発生器と第２の磁界発生器を協働させて、磁気センサに対して印加される磁界であって、載置面に垂直な方向の成分を含む合成磁界を発生させることと、磁気センサの出力を検査することとを含む。

本発明の磁気センサの検査方法は、第１の磁界発生器と第２の磁界発生器を協働させて、載置面に平行な一方向に対して合成磁界の方向がなす角度が変化するように、合成磁界の方向を変化させることを含んでいてもよい。

また、本発明の磁気センサの検査方法は、第１の磁界発生器と第２の磁界発生器の各々の磁気センサに対する相対的な位置を変化させることを含んでいてもよい。

また、本発明の磁気センサの検査方法において、第１の磁界発生器と第２の磁界発生器は、それぞれ磁石であってもよい。この場合、本発明の磁気センサの検査方法は、磁石のＮ極とＳ極が、載置面に垂直な方向に対して傾いた方向に沿って並ぶように、第１の磁界発生器と第２の磁界発生器を配置することを含んでいてもよい。

また、本発明の磁気センサの検査方法において、磁気センサは、平面からなる主面を有する基板と、磁気検出素子とを備えていてもよい。磁気検出素子は、主面に垂直な方向の成分を含む対象磁界を検出するように構成されていてもよい。この場合、本発明の磁気センサの検査方法は、主面が載置面に平行になるように、載置面に磁気センサを載置することを含んでいてもよい。

本発明の検査装置では、第１の磁界発生器と第２の磁界発生器は、協働して、合成磁界を発生するように構成されている。第１の磁界発生器と第２の磁界発生器は、それぞれ、その姿勢を変化可能である。これにより、本発明によれば、磁界を連続的に変化させることができる検査装置を実現することが可能になるという効果を奏する。

また、本発明の磁気センサの検査方法では、第１の磁界発生器と第２の磁界発生器を協働させて、合成磁界を発生させている。第１の磁界発生器と第２の磁界発生器は、それぞれ、その姿勢を変化可能である。これにより、本発明によれば、磁界を連続的に変化させることができる検査方法を実現することが可能になるという効果を奏する。

本発明の一実施の形態に係る検査装置の全体の構成を示す説明図である。 本発明の一実施の形態に係る検査装置の要部を示す平面図である。 本発明の一実施の形態に係る検査装置の要部を示す側面図である。 本発明の一実施の形態に係る検査装置の動作を説明するための説明図である。 本発明の一実施の形態に係る検査装置の動作を説明するための説明図である。 本発明の一実施の形態における合成磁界を説明するための説明図である。 本発明の一実施の形態に係る検査装置によって検査される磁気センサの第１の例を示す斜視図である。 本発明の一実施の形態に係る検査装置によって検査される磁気センサの第２の例を示す斜視図である。 本発明の一実施の形態に係る検査方法を示すフローチャートである。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。始めに、図１ないし図３を参照して、本発明の一実施の形態に係る検査装置１の構成について説明する。図１は、検査装置１の全体の構成を示す説明図である。図２は、検査装置１の要部を示す平面図である。図３は、検査装置１の要部を示す側面図である。

本実施の形態に係る検査装置１は、磁気センサに対して磁界を印加して磁気センサの出力を検査する装置である。図１ないし図３に示したように、検査装置１は、載置台２と、第１の磁界発生器３と、第２の磁界発生器４とを備えている。

載置台２は、磁気センサを載置するための載置面２ａを有している。図１ないし図３において、符号１０は、検査対象物を示している。検査対象物１０は、載置面２ａの上に配置される。検査対象物１０は、分割前の複数の磁気センサを含むウェハであってもよいし、磁気センサを個片化したチップであってもよい。

ここで、図１ないし図３に示したように、Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向を定義する。Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向は、互いに直交する。なお、本出願において、「直交」とは、完全に９０°で直交することに加え、ほぼ直交すること、すなわち９０°からわずかにずれて直交することも含む概念であるものとする。本実施の形態では、載置台２の載置面２ａに垂直な一方向（図１では上側に向かう方向）をＺ方向とする。Ｘ方向とＹ方向は、いずれも、載置台２の載置面２ａに対して平行な方向である。また、Ｘ方向とは反対の方向を－Ｘ方向とし、Ｙ方向とは反対の方向を－Ｙ方向とし、Ｚ方向とは反対の方向を－Ｚ方向とする。また、以下、基準の位置に対してＺ方向の先にある位置を「上方」と言い、基準の位置に対して「上方」とは反対側にある位置を「下方」と言う。

第１の磁界発生器３と第２の磁界発生器４は、それぞれＺ方向に平行な方向において載置面２ａに対して所定の間隔を開けて配置されている。本実施の形態では特に、第１の磁界発生器３と第２の磁界発生器４は、それぞれ載置面２ａの上方に配置されている。また、第１の磁界発生器３は、検査対象物１０に対して－Ｘ方向の先に配置されている。第２の磁界発生器４は、検査対象物１０に対してＸ方向の先に配置されている。

第１の磁界発生器３は、単独では、磁気センサすなわち検査対象物１０に対して印加される磁界であって、Ｚ方向に平行な方向に対して傾いた第１の方向の第１の磁界を発生するように構成されている。第２の磁界発生器４は、単独では、磁気センサすなわち検査対象物１０に対して印加される磁界であって、Ｚ方向に平行な方向に対して傾いた第２の方向の第２の磁界を発生するように構成されている。

本実施の形態では特に、第１の磁界発生器３と第２の磁界発生器４は、それぞれ磁石である。磁石は、円柱状の形状を有していてもよい。この場合、第１の磁界発生器３を構成する円柱状の磁石と、第２の磁界発生器４を構成する円柱状の磁石は、検査対象物１０と交差するＹＺ平面を中心として対称な姿勢で配置されている。また、円柱状の磁石は、円柱の中心軸を含む仮想の平面を中心として対称に配置されたＮ極とＳ極とを有している。円柱の中心軸は、Ｚ方向に平行な方向に対して傾いている。円柱状の磁石のＮ極とＳ極は、Ｚ方向に平行な方向に対して傾いた方向に沿って並んでいる。

第１の磁界発生器３と第２の磁界発生器４は、それぞれ、その姿勢を変化させることができるように構成されている。具体的には、検査装置１は、更に、第１の磁界発生器３と第２の磁界発生器４の各々の姿勢を制御する制御装置７を備えている。第１の磁界発生器３と第２の磁界発生器４は、それぞれ、モータ等の図示しない駆動装置に連結された柱状の支持部材５，６に接続されている。制御装置７は、図示しない駆動装置を制御する。これにより、第１の磁界発生器３と第２の磁界発生器４の各々の姿勢が変化する。

「姿勢の変化」には、第１の磁界発生器３と第２の磁界発生器４の各々の検査対象物１０に対する姿勢を変えずに第１の磁界発生器３と第２の磁界発生器４の各々の姿勢を変化させる場合と、第１の磁界発生器３と第２の磁界発生器４の各々の検査対象物１０に対する姿勢を変えながら第１の磁界発生器３と第２の磁界発生器４の各々の姿勢を変化させる場合とが含まれる。例えば、制御装置７によって支持部材５，６をそれぞれ軸周り方向に回転させることによって、第１の磁界発生器３を構成する磁石と第２の磁界発生器４を構成する磁石をそれぞれ回転させた場合、第１の磁界発生器３を構成する磁石と第２の磁界発生器４を構成する磁石の各々の検査対象物１０に対する姿勢は変化しない。また、例えば、制御装置７によって支持部材５，６をそれぞれＹ方向に平行な軸周りに回転させることによって、第１の磁界発生器３を構成する磁石の向きと第２の磁界発生器４を構成する磁石の向きを変えた場合、第１の磁界発生器３と第２の磁界発生器４の各々の検査対象物１０に対する姿勢が変化する。

また、第１の磁界発生器３と第２の磁界発生器４は、それぞれ、磁気センサすなわち検査対象物１０に対する相対的な位置を変化させることが可能である。具体的には、例えば、制御装置７によって支持部材５，６を所定の方向に移動させることによって、上記の相対的な位置を変化させてもよい。所定の方向は、支持部材５，６の各々の軸方向、Ｘ方向に平行な方向、およびＺ方向に平行な方向のうちの少なくとも１つの方向であってもよい。また、載置台２を所定の方向に移動させることによって、上記の相対的な位置を変化させてもよい。

また、第１の磁界発生器３と第２の磁界発生器４は、協働して、磁気センサすなわち検査対象物１０に対して印加される磁界であって、載置面２ａに垂直な仮想の平面に対して平行な方向の成分を含む合成磁界を発生するように構成されている。本実施の形態では特に、上記の仮想の平面は、ＹＺ平面に平行な平面である。

検査装置１は、更に、データ収集装置８を備えている。データ収集装置８は、磁気センサに対して所定の大きさの電源電圧を印加すると共に、磁気センサから出力される検出信号が入力されるように構成されている。磁気センサとデータ収集装置８は、複数の配線を介して互いに電気的に接続されている。

次に、図４ないし図６を参照して、検査装置１の動作と合成磁界について詳しく説明する。図４および図５は、検査装置１の動作を説明するための説明図である。図６は、合成磁界を説明するための説明図である。図４および図５において、符号ＭＦａを付した矢印は第１の磁界を表し、符号ＭＦｂを付した矢印は第２の磁界を表している。図６において、符号Ｐは、検査対象物１０と交差しＹＺ平面に平行な仮想の平面を示している。

図４は、第１の磁界発生器３を構成する磁石のＮ極とＳ極が、Ｚ方向からＸ方向に向かって傾いた方向に沿って並び、第２の磁界発生器４を構成する磁石のＮ極とＳ極が、Ｚ方向から－Ｘ方向に向かって傾いた方向に沿って並んだ状態を示している。この状態では、第１の磁界ＭＦａの方向すなわち第１の方向は、Ｚ方向からＸ方向に向かって傾いた方向になり、第２の磁界ＭＦｂの方向すなわち第２の方向は、Ｚ方向から－Ｘ方向に向かって傾いた方向になる。

第１の磁界ＭＦａは、第１の磁界発生器３単独で発生する磁界であり、第２の磁界ＭＦｂは、第２の磁界発生器４単独で発生する磁界である。図４に示した第１の磁界ＭＦａの方向は、第２の磁界発生器４が存在しないと仮定した場合における方向であり、図４に示した第２の磁界ＭＦｂの方向は、第１の磁界発生器３が存在しないと仮定した場合における方向である。実際には、第１の磁界発生器３と第２の磁界発生器４は、協働して合成磁界ＭＦｃを発生する。合成磁界ＭＦｃは、第１の磁界ＭＦａと第２の磁界ＭＦｂを合成した磁界に相当する。図４では、便宜上、合成磁界ＭＦｃを、第１の磁界ＭＦａと第２の磁界ＭＦｂを合成した磁界として表している。

合成磁界ＭＦｃは、磁気センサすなわち検査対象物１０に対して印加される。合成磁界ＭＦｃは、仮想の平面Ｐに対して平行な方向の成分を含んでいる。仮想の平面Ｐに対して平行な方向の成分は、合成磁界ＭＦｃの主成分であってもよい。あるいは、合成磁界ＭＦｃは、仮想の平面Ｐに垂直な方向の成分を含んでいなくてもよい。以下の説明では、便宜上、合成磁界ＭＦｃは、仮想の平面Ｐに対して平行な方向の成分のみを含み、仮想の平面Ｐに垂直な方向の成分を含んでいないものとする。図４に示した状態では、合成磁界ＭＦｃの方向は、Ｚ方向になる。

図５は、第１の磁界発生器３を構成する磁石と第２の磁界発生器４を構成する磁石を、それぞれ図４に示した状態から１８０°回転させた状態を示している。この状態では、第１の磁界発生器３を構成する磁石のＮ極とＳ極は、－Ｚ方向から－Ｘ方向に向かって傾いた方向に沿って並び、第２の磁界発生器４を構成する磁石のＮ極とＳ極は、－Ｚ方向からＸ方向に向かって傾いた方向に沿って並ぶ。この状態では、第１の磁界ＭＦａの方向すなわち第１の方向は、－Ｚ方向から－Ｘ方向に向かって傾いた方向になり、第２の磁界ＭＦｂの方向すなわち第２の方向は、－Ｚ方向からＸ方向に向かって傾いた方向になる。合成磁界ＭＦｃの方向は、－Ｚ方向になる。

図４および図５に示したように、第１の磁界発生器３と第２の磁界発生器４の各々の姿勢を変化させることによって、合成磁界ＭＦｃの方向が変化する。図６において、記号θは、合成磁界ＭＦｃの方向がＹ方向に対してなす角度を表している。第１の磁界発生器３と第２の磁界発生器４は、協働して、角度θが変化するように、合成磁界ＭＦｃの方向を変化させるように構成されている。本実施の形態では、第１の磁界発生器３を構成する磁石を回転させると、第１の磁界ＭＦａの方向が回転し、第２の磁界発生器４を構成する磁石を回転させると、第２の磁界ＭＦｂの方向が回転する。これにより、合成磁界ＭＦｃの方向が回転する。角度θは、０°以上３６０°以下の範囲内で変化する。方向が回転する合成磁界ＭＦｃは、回転磁界として検査対象物１０に対して印加される。

次に、磁気センサの第１および第２の例について説明する。始めに、図７を参照して、磁気センサの第１の例について説明する。図７に示した磁気センサ２０は、平面からなる主面２１ａを有する基板２１と、磁気検出素子２２とを備えている。

磁気検出素子２２は、磁気センサ２０の検出対象の磁界であって、主面２１ａに垂直な方向の成分を含む対象磁界を検出するように構成されている。第１の例では、基板２１は、更に、主面２１ａにおいて開口する溝部２１ｃを有している。溝部２１ｃは、主面２１ａに対して傾斜した傾斜面２１ｂを含んでいる。傾斜面２１ｂは、平面であってもよいし、曲面であってもよい。磁気検出素子２２は、傾斜面２１ｂに配置されている。

図１ないし図３に示した検査装置１を用いて磁気センサ２０を検査する場合、磁気センサ２０は、主面２１ａが載置面２ａに平行になるように、載置面２ａに載置される。以下、磁気センサ２０についても、図１ないし図３に示したＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向を用いて説明する。主面２１ａは、ＸＹ平面に平行な平面である。対象磁界の主面２１ａに垂直な方向の成分は、Ｚ方向に平行な方向の成分である。

ここで、Ｚ方向から－Ｘ方向に向かってαだけ回転した方向をＵ方向とし、Ｕ方向とは反対の方向を－Ｕ方向とする。傾斜面２１ｂは、ＵＹ平面に平行な平面であってもよい。

磁気検出素子２２は、スピンバルブ型の磁気抵抗効果素子であってもよいし、異方性磁気抵抗効果素子であってもよい。以下、磁気抵抗効果素子をＭＲ素子と記す。図７に示した例では、磁気検出素子２２は、スピンバルブ型のＭＲ素子である。スピンバルブ型のＭＲ素子は、磁化方向が固定された磁化固定層と、磁化の方向が変化する自由層と、磁化固定層と自由層の間に配置された非磁性層とを有している。スピンバルブ型のＭＲ素子は、ＴＭＲ素子でもよいし、ＧＭＲ素子でもよい。ＴＭＲ素子では、非磁性層はトンネルバリア層である。ＧＭＲ素子では、非磁性層は非磁性導電層である。

スピンバルブ型のＭＲ素子では、自由層の磁化の方向が磁化固定層の磁化の方向に対してなす角度に応じて抵抗値が変化し、この角度が０°のときに抵抗値は最小値となり、角度が１８０°のときに抵抗値は最大値となる。図７において、塗りつぶした矢印は、磁化固定層の磁化の方向を表している。図７に示した例では、磁化固定層の磁化の方向は、－Ｕ方向である。

対象磁界は、その方向が、ＹＺ平面に平行な仮想の平面内において回転する磁界であってもよい。この場合、対象磁界は、Ｚ方向に平行な方向の成分に加えて、Ｙ方向に平行な方向の成分を含んでいる。ここで、対象磁界を、ＵＹ平面に平行な成分である面内成分と、ＵＹ平面に垂直な成分である垂直成分とに分ける。面内成分の方向は、対象磁界の方向に応じて変化する。自由層の磁化の方向は、面内成分の方向に応じて変化する。磁気検出素子２２すなわちＭＲ素子の抵抗値は、面内成分の方向に応じて変化する。磁気センサ２０は、ＭＲ素子の抵抗値に対応する信号を検出信号として出力する。

次に、図８を参照して、磁気センサの第２の例について説明する。図８に示した磁気センサ３０は、平面からなる主面を有する図示しない基板と、磁気検出素子３１とを備えている。図１ないし図３に示した検査装置１を用いて磁気センサ３０を検査する場合、磁気センサ３０は、図示しない基板の主面が載置面２ａに平行になるように、載置面２ａに載置される。以下、磁気センサ３０についても、図１ないし図３に示したＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向を用いて説明する。図示しない基板の主面は、ＸＹ平面に平行な平面である。

磁気検出素子３１は、図示しない基板の主面の上方に配置されている。図８に示した例では、磁気検出素子３１は、スピンバルブ型のＭＲ素子である。図８において、塗りつぶした矢印は、スピンバルブ型のＭＲ素子の磁化固定層の磁化の方向を表している。図８に示した例では、磁化固定層の磁化の方向は、Ｘ方向である。自由層は、磁化容易軸方向が、Ｙ方向に平行な方向となる形状異方性を有している。

磁気検出素子３１は、磁気センサ３０の検出対象の磁界であって、図示しない基板の主面に垂直な方向、すなわちＺ方向に平行な方向の成分を含む対象磁界を検出するように構成されている。第２の例では、磁気センサ３０は、更に、下部ヨーク３２と上部ヨーク３３とを備えている。下部ヨーク３２と上部ヨーク３３は、それぞれ軟磁性材料よりなる。下部ヨーク３２と上部ヨーク３３の各々は、Ｚ方向に垂直な方向に長い直方体形状を有している。下部ヨーク３２は、磁気検出素子３１よりも、図示しない基板の主面により近い位置に配置されている。上部ヨーク３３は、磁気検出素子３１よりも、図示しない基板の主面からより遠い位置に配置されている。上方から見たときに、磁気検出素子３１は、下部ヨーク３２と上部ヨーク３３の間に位置している。

下部ヨーク３２と上部ヨーク３３は、対象磁界のＺ方向の成分を受けて、Ｘ方向の出力磁界成分を出力する。また、下部ヨーク３２と上部ヨーク３３は、対象磁界の－Ｚ方向の成分を受けて、－Ｘ方向の出力磁界成分を出力する。磁気検出素子３１すなわちＭＲ素子の抵抗値は、出力磁界成分の強度に応じて変化する。出力磁界成分の強度は、上記Ｚ方向の成分および－Ｚ方向の成分の各々の強度と対応関係を有する。磁気センサ３０は、ＭＲ素子の抵抗値に対応する信号を検出信号として出力する。

次に、図１および図９を参照して、本実施の形態に係る磁気センサの検査方法について説明する。図９は、磁気センサの検査方法を示すフローチャートである。磁気センサの検査方法では、まず、載置台２の載置面２ａに磁気センサすなわち検査対象物１０を載置する（ステップＳ１）。次に、第１の磁界発生器３と第２の磁界発生器４を、それぞれ所定の位置に配置する（ステップＳ２）。具体的には、第１の磁界発生器３を構成する磁石と、第２の磁界発生器４を構成する磁石を、それぞれ所定の位置に配置する。

次に、制御装置７によって第１の磁界発生器３（磁石）と第２の磁界発生器４（磁石）の各々の姿勢と位置を制御して、所定の方向および強度の合成磁界ＭＦｃを発生させる（ステップＳ３）。次に、データ収集装置８によって、磁気センサの出力を検査する（ステップＳ４）。

磁気センサの出力を検査するステップＳ４では、第１の磁界発生器３と第２の磁界発生器４を協働させて、図６に示した角度θが変化するように、合成磁界ＭＦｃの方向を変化させてもよい。角度θは、０°以上３６０°以下の範囲内で連続的に変化させてもよい。なお、合成磁界ＭＦｃの方向は、例えば０°、９０°、１８０°、２７０°等の所定の角度θに固定することもできる。

また、磁気センサの出力を検査するステップＳ４では、合成磁界ＭＦｃの強度を変えながら、磁気センサの出力を検査してもよい。合成磁界ＭＦｃの強度は、第１の磁界発生器３と第２の磁界発生器４の各々の磁気センサすなわち検査対象物１０に対する相対的な位置、または第１の磁界発生器３を構成する磁石の向きと第２の磁界発生器４を構成する磁石の向きを変化させることによって変えることができる。

また、検査対象物１０が分割前の複数の磁気センサを含むウェハである場合、磁気センサの出力を検査するステップＳ４では、複数の磁気センサを同時に検査してもよいし、複数の磁気センサを１つずつ検査してもよい。複数の磁気センサを１つずつ検査する場合、第１の磁界発生器３と第２の磁界発生器４の各々の位置を固定して検査してもよいし、磁気センサ毎に第１の磁界発生器３と第２の磁界発生器４の各々の載置台２に対する相対的な位置を変化させながら検査してもよい。

以上説明したように、本実施の形態に係る検査装置１および磁気センサの検査方法では、姿勢を変化させることができる第１および第２の磁界発生器３，４を用いて、磁気センサに対して印加される合成磁界ＭＦｃを発生させる。これにより、本実施の形態によれば、連続的に合成磁界ＭＦｃを変化させることができる。

なお、本発明は、上記実施の形態に限定されず、種々の変更が可能である。例えば、第１および第２の磁界発生器３，４の各々を構成する磁石の形状は、円柱状に限らず、楕円柱状、角柱状または棒状であってもよい。あるいは、第１および第２の磁界発生器３，４は、磁石に限らず、コイルを含む磁界発生器であってもよい。

１…検査装置、２…載置台、２ａ…載置面、３…第１の磁界発生器、４…第２の磁界発生器、５，６…支持部材、７…制御装置、８…データ収集装置、１０…検査対象物、２０…磁気センサ、２１…基板、２１ａ…主面、２１ｂ…傾斜面、２１ｃ…溝部、２２…磁気検出素子、３０…磁気センサ、３１…磁気検出素子、３２…下部ヨーク、３３…上部ヨーク、ＭＦａ…第１の磁界、ＭＦｂ…第２の磁界、ＭＦｃ…合成磁界。

Claims (11)

1. 磁気センサに対して磁界を印加して前記磁気センサの出力を検査する検査装置であって、
   前記磁気センサを載置するための載置面を有する載置台と、
   それぞれ前記載置面に垂直な方向において前記載置面に対して所定の間隔を開けて配置された第１の磁界発生器および第２の磁界発生器とを備え、
   前記第１の磁界発生器は、その姿勢を変化可能であると共に、単独では、前記磁気センサに対して印加される磁界であって、前記載置面に垂直な方向に対して傾いた第１の磁界を発生するように構成され、
   前記第２の磁界発生器は、その姿勢を変化可能であると共に、単独では、前記磁気センサに対して印加される磁界であって、前記載置面に垂直な方向に対して傾いた第２の磁界を発生するように構成され、
   前記第１の磁界発生器と前記第２の磁界発生器は、協働して、前記磁気センサに対して印加される磁界であって、前記載置面に垂直な仮想の平面に対して平行な方向の成分を含む合成磁界を発生するように構成されていることを特徴とする検査装置。
2. 前記第１の磁界発生器と前記第２の磁界発生器は、協働して、前記載置面に平行な一方向に対して前記合成磁界の方向がなす角度が変化するように、前記合成磁界の方向を変化させるように構成されていることを特徴とする請求項１記載の検査装置。
3. 前記第１の磁界発生器と前記第２の磁界発生器は、それぞれ、前記磁気センサに対する相対的な位置を変化可能であることを特徴とする請求項１または２記載の検査装置。
4. 前記第１の磁界発生器と前記第２の磁界発生器は、それぞれ磁石であることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の検査装置。
5. 前記磁石のＮ極とＳ極は、前記載置面に垂直な方向に対して傾いた方向に沿って並んでいることを特徴とする請求項４記載の検査装置。
6. 前記磁気センサは、平面からなる主面を有する基板と、磁気検出素子とを備え、
   前記磁気検出素子は、前記主面に垂直な方向の成分を含む対象磁界を検出するように構成され、
   前記磁気センサは、前記主面が前記載置面に平行になるように前記載置面に載置されることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の検査装置。
7. 載置台の載置面に磁気センサを載置することと、
   その姿勢を変化可能であると共に、単独では、前記磁気センサに対して印加される磁界であって、前記載置面に垂直な方向に対して傾いた第１の磁界を発生するように構成された第１の磁界発生器を、前記載置面に垂直な方向において前記載置面に対して所定の間隔を開けて配置することと、
   その姿勢を変化可能であると共に、単独では、前記磁気センサに対して印加される磁界であって、前記載置面に垂直な方向に対して傾いた第２の磁界を発生するように構成された第２の磁界発生器を、前記載置面に垂直な方向において前記載置面に対して所定の間隔を開けて配置することと、
   前記第１の磁界発生器と前記第２の磁界発生器を協働させて、前記磁気センサに対して印加される磁界であって、前記載置面に垂直な方向の成分を含む合成磁界を発生させることと、
   前記磁気センサの出力を検査することとを含むことを特徴とする磁気センサの検査方法。
8. 前記第１の磁界発生器と前記第２の磁界発生器を協働させて、前記載置面に平行な一方向に対して前記合成磁界の方向がなす角度が変化するように、前記合成磁界の方向を変化させることを含むことを特徴とする請求項７記載の磁気センサの検査方法。
9. 前記第１の磁界発生器と前記第２の磁界発生器の各々の前記磁気センサに対する相対的な位置を変化させることを含むことを特徴とする請求項７または８記載の磁気センサの検査方法。
10. 前記第１の磁界発生器と前記第２の磁界発生器は、それぞれ磁石であり、
    前記磁石のＮ極とＳ極が、前記載置面に垂直な方向に対して傾いた方向に沿って並ぶように、前記第１の磁界発生器と前記第２の磁界発生器を配置することを含むことを特徴とする請求項７ないし９のいずれかに記載の磁気センサの検査方法。
11. 前記磁気センサは、平面からなる主面を有する基板と、磁気検出素子とを備え、
    前記磁気検出素子は、前記主面に垂直な方向の成分を含む対象磁界を検出するように構成され、
    前記主面が前記載置面に平行になるように、前記載置面に前記磁気センサを載置することを含むことを特徴とする請求項７ないし１０のいずれかに記載の磁気センサの検査方法。

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