JP7434732B2 - 圧電素子 - Google Patents

Description

本開示は、圧電素子に関する。

互いに対向する第１主面及び第２主面を有する圧電素子であって、第１主面を分割するスリットが設けられた圧電素子が知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載された超音波振動子では、超音波により気体や液体の流量や流速の計測が行われる。

特開２００３－３４８６８１号公報

上述のような圧電素子では、スリットにより分割された第１主面側で分極変形が大きくなり、第１主面の平面状態が悪化する。このような第１主面を平板状の振動部材に接合すると、第１主面と振動部材との接合状態が第１主面内においてばらつく。その結果、振動の伝達性が低下する。

本開示の一側面は、振動の伝達性が低下することを抑制可能な圧電素子を提供する。

本開示の一側面に係る圧電素子は、多角形状を呈し、互いに対向する第１主面及び第２主面と、第１主面及び第２主面の対向方向に延びる複数の稜線部と、を有する圧電素子であって、第１主面を分割するスリットが設けられており、複数の稜線部のうちの一つの稜線部は、第１主面側の端部において面取り形状を呈している。

この圧電素子では、スリットにより分割されていない第２主面側よりも、スリットにより分割された第１主面側で分極変形が大きくなる。このため、第１主面の平面状態は、第２主面の平面状態に比べて悪化し易い。したがって、例えば、第１主面を平板状の振動部材に接合すると、第１主面と振動部材との接合状態が第１主面内においてばらつく。特に、第１主面において、稜線部の第１主面側の端部に近い位置ほど、振動部材との間の距離が大きくなる。この圧電素子では、複数の稜線部のうちの一つの稜線部が、第１主面側の端部において面取り部を有している。つまり、第１主面は、最も振動部材との間の距離が大きくなる部分の少なくとも一つを有していない。これにより、第１主面と振動部材との接合状態のばらつきが抑制される。よって、振動の伝達性が低下することを抑制可能となる。

複数の稜線部は、いずれも第１主面側の端部において面取り形状を呈していてもよい。この場合、第１主面は、最も振動部材との間の距離が大きくなる部分をいずれも有していない。よって、振動の伝達性が低下することを更に抑制可能となる。

一つの稜線部は、対向方向の全体にわたって面取り形状を呈していてもよい。この場合においても、振動の伝達性が低下することを抑制可能となる。

複数の稜線部は、いずれも対向方向の全体にわたって面取り形状を呈していてもよい。この場合においても、振動の伝達性が低下することを更に抑制可能となる。

面取り形状は、平面状であってもよい。この場合においても、振動の伝達性が低下することを抑制可能となる。

面取り形状は、曲面状であってもよい。この場合においても、振動の伝達性が低下することを抑制可能となる。

本開示の一側面によれば、振動の伝達性が低下することを抑制可能な圧電素子を提供する。

第１実施形態に係る圧電素子を示す斜視図である。 図１の圧電素子を示す断面図である。 比較例に係る圧電素子を示す斜視図である。 第２実施形態に係る圧電素子を示す斜視図である。 第３実施形態に係る圧電素子を示す斜視図である。 第４実施形態に係る圧電素子を示す斜視図である。

以下、添付図面を参照して、実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。

［第１実施形態］
図１は、第１実施形態に係る圧電素子を示す斜視図である。図２は、図１の圧電素子を示す断面図である。図１及び図２に示される圧電素子１Ａは、例えば、ＳＵＳ（ステンレス鋼）等の金属板からなる振動部材（不図示）に接合されてセンサとして使用される。圧電素子１Ａは、例えば、超音波を送受信して車間距離を検知する車載用センサ、又は複写機のトナーの量を検知する粉体レベルセンサ等のセンサに使用される。

圧電素子１Ａは、例えば、直方体形状を呈している。直方体形状には、角部及び稜線部が面取りされている直方体の形状、及び、角部及び稜線部が丸められている直方体の形状が含まれる。圧電素子１Ａは、その外表面として、互いに対向する第１主面１ａ及び第２主面１ｂと、互いに対向する一対の側面１ｃと、互いに対向する一対の側面１ｄと、を有している。

第１主面１ａ及び第２主面１ｂは、多角形状を呈している。第１主面１ａ及び第２主面１ｂの各内角は、１８０度未満である。第１主面１ａは、第１主面１ａ及び第２主面１ｂが互いに対向する方向Ｄ１から見て、第２主面１ｂと重なっている。本実施形態では、第１主面１ａ及び第２主面１ｂは、矩形状を呈している。第１主面１ａ及び第２主面１ｂの４つの内角は、例えば、それぞれ９０度である。第１主面１ａは、例えば、振動部材に接合される面である。

一対の側面１ｃは、矩形状を呈している。一対の側面１ｃは、互いに同形状を呈している。一対の側面１ｄは、矩形状を呈している。一対の側面１ｄは、互いに同形状を呈している。側面１ｃは、一対の側面１ｄのそれぞれと隣り合っている。側面１ｄは、一対の側面１ｃのそれぞれと隣り合っている。

第１主面１ａ及び第２主面１ｂが互いに対向する方向Ｄ１と、一対の側面１ｃが互いに対向する方向Ｄ２と、一対の側面１ｄが互いに対向する方向Ｄ３とは、互いに交差（例えば、直交）している。圧電素子１Ａの方向Ｄ１の長さは、例えば、３ｍｍであり、圧電素子１Ａの方向Ｄ２の長さは、例えば８ｍｍであり、圧電素子１Ａの方向Ｄ３の長さは、例えば８ｍｍである。

第１主面１ａ及び第２主面１ｂは、一対の側面１ｃの間を連結するように方向Ｄ２に延びている。第１主面１ａ及び第２主面１ｂは、一対の側面１ｄの間を連結するように方向Ｄ３にも延びている。一対の側面１ｃは、第１主面１ａ及び第２主面１ｂの間を連結するように方向Ｄ１に延びている。一対の側面１ｃは、一対の側面１ｄの間を連結するように方向Ｄ３にも延びている。一対の側面１ｄは、第１主面１ａ及び第２主面１ｂの間を連結するように方向Ｄ１に延びている。一対の側面１ｄは、一対の側面１ｃの間を連結するように方向Ｄ２にも延びている。

圧電素子１Ａは、複数（ここでは４つ）の稜線部１ｅと、複数（ここでは４つ）の角部Ａ１と、複数（ここでは４つ）の角部Ａ２と、を有している。稜線部１ｅは、互いに隣り合う側面１ｃと側面１ｄとの間に位置し、第１主面１ａと第２主面１ｂとを連結するように方向Ｄ１に延びている。稜線部１ｅは、第１主面１ａ側の端部１ｆと、第２主面１ｂ側の端部１ｇと、を含んでいる。

複数の角部Ａ１は、複数の稜線部１ｅの各端部１ｆに位置している。複数の角部Ａ１は、互いに隣り合う側面１ｃ及び側面１ｄと、第１主面１ａとの間に位置している。複数の角部Ａ２は、複数の稜線部１ｅの各端部１ｇに位置している。複数の角部Ａ２は、互いに隣り合う側面１ｃ及び側面１ｄと、第２主面１ｂとの間に位置している。

稜線部１ｅは、端部１ｆにおいて面取り形状を呈している。本実施形態では、複数の稜線部１ｅは、いずれも端部１ｆにおいて面取り形状を呈している。面取り形状は、実際に端部１ｆを面取りすることによって形成された形状に限られず、それと同等の形状であればよい。端部１ｆは、側面１ｃを含む仮想的な平面と、側面１ｄを含む仮想的な平面と、第１主面１ａを含む仮想的な平面とが交差してなる仮想的な角部の内側に位置している。本実施形態の面取り形状は、少なくとも後述の圧電体２及び電極３にわたって連続して設けられている形状を指す。

角部Ａ１は、角取り形状を呈している。本実施形態では、複数の角部Ａ１は、いずれも角取り形状を呈している。角取り形状は、実際に角部Ａ１を角取りすることによって形成された形状に限られず、それと同等の形状であればよい。角部Ａ１は、側面１ｃを含む仮想的な平面と、側面１ｄを含む仮想的な平面と、第１主面１ａを含む仮想的な平面とが交差してなる仮想的な角部の内側に位置している。本実施形態の角取り形状は、少なくとも後述の圧電体２及び電極３にわたって連続して設けられている形状を指す。

本実施形態では、端部１ｆの面取り形状（つまり、角部Ａ１の角取り形状）は、方向Ｄ１に対して傾斜した平面状である。端部１ｆの面取り形状（つまり、角部Ａ１の角取り形状）は、側面１ｃ、側面１ｄ、及び第１主面１ａとそれぞれ交差する形状である。端部１ｆの面取り形状（つまり、角部Ａ１の角取り形状）は、側面１ｃ、側面１ｄ、及び第１主面１ａ上にそれぞれ一辺を有する三角形状である。圧電素子１Ａは、互いに隣り合う側面１ｃ及び側面１ｄと、第１主面１ａとの間に、角取り形状を呈している角取り部を有しているとも言える。

圧電素子１Ａには、第１主面１ａを分割する複数（ここでは３つ）のスリット５が設けられている。複数のスリット５は、具体的には、圧電素子１Ａの第１主面１ａ寄りの部分に設けられている。複数のスリット５は、方向Ｄ３において等間隔で並んでいる。スリット５は、方向Ｄ２に延び、圧電素子１Ａの方向Ｄ２の一端から他端に至っている。スリット５は、第２主面１ｂには至っていない。スリット５は、例えば、圧電素子１Ａがセンサに使用される場合に、センシングのための共振周波数及びインピーダンス波形等を調整するために設けられている。

第１主面１ａは、スリット５により分割されている。第１主面１ａは、複数のスリット５により分割された複数（ここでは４つ）の主面部分１ａ１を有している。方向Ｄ３で隣り合う一対の主面部分１ａ１は、スリット５を介して互いに離間している。複数の主面部分１ａ１は、方向Ｄ３において等間隔で並んでいる。複数の主面部分１ａ１は、互いに略同形状の矩形状を呈している。方向Ｄ３の両端の主面部分１ａ１は、角部Ａ１に対応する角部が角取りされた形状を呈している点で、他の主面部分１ａ１と形状が異なる。

スリット５の底面は、方向Ｄ１において第２主面１ｂと対向している。スリット５の底面は、例えば、第１主面１ａ及び第２主面１ｂと平行に設けられている。複数のスリット５の底面と第２主面１ｂとの間隔は、互いに同等である。すなわち、複数のスリット５の方向Ｄ１の長さは、互いに同等である。

スリット５の方向Ｄ１の長さ（スリット５の深さ）は、例えば２．６ｍｍである。スリット５の方向Ｄ２の長さは、圧電体２の方向Ｄ２の長さと一致しており、例えば８ｍｍである。スリット５の方向Ｄ３の長さ（スリット５の幅）は、例えば０．３ｍｍである。方向Ｄ１におけるスリット５と第２主面１ｂとの離間距離は、例えば０．４ｍｍである。

圧電素子１Ａは、複数のスリット５により分割された複数（ここでは４つ）の分割部分１１と、複数の分割部分１１を互いに接続する複数（ここでは３つ）の接続部分１２と、を有している。

複数の分割部分１１は、互いに略同形状を呈している。方向Ｄ３の両端の分割部分１１は、面取り形状を呈している稜線部１ｅを有している点で、他の分割部分１１と形状が異なる。方向Ｄ３で隣り合う一対の分割部分１１は、スリット５を介して互いに離間している。方向Ｄ１から見て、分割部分１１は、スリット５と重なっていない。分割部分１１は、第１主面１ａの一部（主面部分１ａ１）及び第２主面１ｂの一部を含んでいる。分割部分１１は、第１主面１ａから第２主面１ｂに至っている。

複数の接続部分１２は、例えば互いに同形状を呈している。方向Ｄ１から見て、接続部分１２は、スリット５と重なっている。接続部分１２は、スリット５の底面と第２主面１ｂの一部とを含んでいる。接続部分１２は、スリット５の底面から第２主面１ｂに至っている。接続部分１２は、スリット５の底部を構成している。接続部分１２は、方向Ｄ３で隣り合う一対の分割部分１１の間に配置されており、方向Ｄ３で隣り合う一対の分割部分１１を互いに接続している。

圧電素子１Ａは、例えば、圧電体２と、電極３と、電極４と、を備えている。圧電体２は、例えば、直方体形状を呈している。直方体形状には、角部及び稜線部が面取りされている直方体の形状、及び、角部及び稜線部が丸められている直方体の形状が含まれる。圧電体２は、その外表面として、互いに対向する主面２ａ及び主面２ｂを有している。主面２ａは、第１主面１ａと略同形状を呈している。主面２ｂは、第２主面１ｂと同形状を呈している。

主面２ａは、複数のスリット５により分割された複数（ここでは４つ）の主面部分２ａ１を有している。方向Ｄ３で隣り合う一対の主面部分２ａ１は、スリット５を介して互いに離間している。複数の主面部分２ａ１は、方向Ｄ３において等間隔で並んでいる。複数の主面部分２ａ１は、互いに略同形状の矩形状を呈している。方向Ｄ３の両端の主面部分２ａ１は、角部Ａ１に対応する角部が角取りされた形状を呈している点で、他の主面部分２ａ１と形状が異なる。

圧電体２は、圧電材料からなる。本実施形態では、圧電体２は、圧電セラミック材料からなる。圧電セラミック材料としては、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を主成分とし、Ｎｂ、Ｚｎ、Ｎｉ又はＳｒ等の元素が添加されたものが挙げられる。

電極３は、主面２ａに設けられている。電極３は、後述のスリット５の部分を除く主面２ａの全体に設けられている。電極３は、方向Ｄ１において互いに対向する主面３ａ及び主面３ｂを有している。主面３ａは、圧電素子１Ａの第１主面１ａを構成している。よって、電極３は、第１主面１ａを有している。主面３ａは、第１主面１ａと略同形状を呈している。主面３ｂは、方向Ｄ１において圧電体２の主面２ａと対向している。電極３の厚さ（方向Ｄ１の長さ）は、例えば５μｍである。

電極３は、後述の複数のスリット５により分割された複数（ここでは４つ）の電極部分３１を有している。方向Ｄ３で隣り合う一対の電極部分３１は、スリット５を介して互いに離間している。複数の電極部分３１は、複数の主面部分２ａ１にそれぞれ設けられている。複数の電極部分３１は、複数の主面部分２ａ１の全体にそれぞれ設けられている。

電極４は、主面２ｂに設けられている。電極４は、方向Ｄ１において互いに対向する主面４ａ及び主面４ｂを有している。主面４ａは、方向Ｄ１において圧電体２の主面２ｂと対向している。主面４ｂは、圧電素子１Ａの第２主面１ｂを構成している。よって、電極４は、第２主面１ｂを有している。主面４ｂは、第２主面１ｂ及び主面２ｂと同形状を呈している。電極４の厚さ（方向Ｄ１の長さ）は、例えば電極３の厚さと同等である。電極４の厚さは、例えば５μｍである。

圧電素子１Ａの製造方法の一例について説明する。まず、圧電セラミック材料の粉末に、ポリビニール系バインダ及び水等を加え、圧電セラミックスのペーストを形成する。次に、圧電セラミックスのペーストを所定の大きさの金型に充填し、例えば、４０ＭＰａの圧力でプレス成形する。これにより、セラミックグリーンが得られる。続いて、セラミックグリーンに脱バインダ処理を施す。脱バインダ処理は、例えば、４００℃で１２時間かけて行われる。続いて、セラミックグリーンを焼成する。焼成は、例えば、１２５０℃で４時間かけて行われる。これにより、圧電体が得られる。

次に、圧電体をラップ研磨し、例えば、厚さ３．２ｍｍの板状に成形する。続いて、導電性ペーストを圧電体の両主面に付与する。導電性ペーストは、例えば、Ａｇ等の導電性材料の粉末にバインダ、可塑剤及び有機溶剤等を加えることにより形成される。導電性ペーストは、例えばスクリーン印刷により１０μｍの厚さで付与される。続いて、圧電体の外周研削、及び、スリット加工を施す。その後、導電性ペーストの焼き付け処理を行う。焼き付け処理は、例えば、８００℃で２０分間かけて行われる。

次に、稜線部の端部に対し、面取り加工（つまり、角取り加工）を行う。面取り加工は、例えば、グラインダーを用いて行う。面取り加工により、稜線部の端部から、例えば、方向Ｄ１、方向Ｄ２、及び方向Ｄ３に沿う各稜線の長さが３ｍｍである三角錐状の部分が除去される。続いて、分極処理を施す。分極処理は、例えば、１５０℃で、電界強度３．５ｋＶ／ｍｍの電圧を圧電素子の電極に５分間印加することにより行われる。これにより、圧電素子が得られる。

図３は、比較例に係る圧電素子を示す斜視図である。図３に示されるように、比較例に係る圧電素子１００は、稜線部１ｅが面取り形状を呈していない（つまり、角部Ａ１が角取り形状を呈していない）点で、圧電素子１Ａ（図１参照）と相違している。圧電素子１Ａ及び圧電素子１００は、いずれも分極処理により分極変形する。説明のため、図３では、分極変形が強調して示されている。

スリット５により分割されていない第２主面１ｂ側では、分割部分１１（図２参照）同士が接続部分１２（図２参照）により接続されているので、変形が拘束され、自由に変形し難い。これに対し、スリット５により分割された第１主面１ａ側では、分割部分１１同士が互いに離間しているので、自由に変形し易い。よって、第１主面１ａ側では、第２主面１ｂ側に比べて、分極変形が大きくなる。このため、圧電素子１Ａ及び圧電素子１００は、第１主面１ａが湾曲外側、第２主面１ｂが湾曲内側となるように湾曲変形し、第１主面１ａの平面状態は、第２主面１ｂの平面状態に比べて悪化し易い。

このような平面状態の第１主面１ａを平板状の振動部材（不図示）に接合すると、第１主面１ａと振動部材との接合状態が第１主面１ａ内においてばらつく。特に、第１主面１ａにおいて、角部Ａ１に近い位置ほど、振動部材との間の距離が大きくなるので、振動部材との接合状態が低下し易い。接合状態がばらつく結果、圧電素子１００と振動部材との間で振動の伝達性が低下する。

これに対し、圧電素子１Ａでは、稜線部１ｅが面取り形状を呈している。つまり、角部Ａ１が角取り形状を呈している。このため、圧電素子１Ａの第１主面１ａは、圧電素子１００の第１主面１ａにおいて最も振動部材との間の距離が大きくなる部分に対応する部分を有していない。これにより、第１主面１ａと振動部材との接合状態のばらつきが抑制される。よって、振動の伝達性が低下することを抑制可能となる。

圧電素子１Ａでは、複数の稜線部１ｅは、いずれも端部１ｆにおいて面取り形状を呈している。このため、第１主面１ａは、圧電素子１００の第１主面１ａにおいて最も振動部材との間の距離が大きくなる部分に対応する部分をいずれも有していない。よって、振動の伝達性が低下することを更に抑制可能となる。

圧電素子１Ａでは、側面１ｃと第１主面１ａとの間の稜線部、側面１ｄと第１主面１ａとの間の稜線部、側面１ｃと第２主面１ｂとの稜線部、及び、側面１ｄと第２主面１ｂとの間の稜線部は、それぞれ面取り形状を呈していない。これにより、圧電素子１Ａの振動発生領域が減少することが抑制され、所望の振動量を確保できる。

［第２実施形態］
図４は、第２実施形態に係る圧電素子を示す斜視図である。図４に示される圧電素子１Ｂは、主に、稜線部１ｅが方向Ｄ１の全体にわたって面取り形状を呈している点で、図１に示される圧電素子１Ａと相違している。本実施形態では、複数の稜線部１ｅは、いずれも方向Ｄ１の全体にわたって面取り形状を呈している。

面取り形状は、実際に稜線部１ｅを面取りすることによって形成された形状に限られず、それと同等の形状であればよい。稜線部１ｅは、側面１ｃを含む仮想的な平面と、側面１ｄを含む仮想的な平面と、第１主面１ａを含む仮想的な平面とが交差してなる仮想的な稜線部の内側に位置している。

本実施形態では、稜線部１ｅの面取り形状は、方向Ｄ１と平行な平面状である。稜線部１ｅの面取り形状は、側面１ｃ、側面１ｄ、第１主面１ａ及び第２主面１ｂとそれぞれ交差する形状である。稜線部１ｅの面取り形状は、側面１ｃ、側面１ｄ、第１主面１ａ及び第２主面１ｂ上にそれぞれ一辺を有する矩形状である。本実施形態では、稜線部１ｅと第１主面１ａとの間は面取りされていないが、面取りされていてもよい。圧電素子１Ｂは、互いに隣り合う側面１ｃ及び側面１ｄの間に、面取り形状を呈している面取り部を有しているとも言える。圧電素子１Ｂは、稜線部１ｅがいずれも面取りされることにより、実質的に八角柱状を呈しているとも言える。

圧電素子１Ｂにおいても、圧電素子１Ａと同様に、第１主面１ａが、圧電素子１００の第１主面１ａにおいて最も振動部材との間の距離が大きくなる部分に対応する部分を有していない。よって、振動の伝達性が低下することを抑制可能となる。

［第３実施形態］
図５は、第３実施形態に係る圧電素子を示す斜視図である。図５に示される圧電素子１Ｃは、主に、端部１ｆの面取り形状（つまり、角部Ａ１の角取り形状）が曲面状である点で、図１に示される圧電素子１Ａと相違している。端部１ｆ（つまり、角部Ａ１）は、丸められた形状を呈している。本実施形態では、複数の稜線部１ｅは、いずれも端部１ｆにおいて曲面状である面取り形状を呈している。つまり、複数の角部Ａ１は、いずれも曲面状である角取り形状を呈している。

面取り形状は、実際に端部１ｆを曲面状に面取りする（つまり、角部Ａ１を曲面状に角取りする）ことによって形成された形状に限られず、それと同等の形状であればよい。端部１ｆ（つまり、角部Ａ１）は、側面１ｃを含む仮想的な平面と、側面１ｄを含む仮想的な平面と、第１主面１ａを含む仮想的な平面とが交差してなる仮想的な角部の内側に位置し、仮想的な角部に沿って湾曲している。端部１ｆ（つまり、角部Ａ１）は、側面１ｃ、側面１ｄ、及び第１主面１ａを互いに滑らかに接続している。端部１ｆ（つまり、角部Ａ１）は、球面状を呈している。圧電素子１Ｃは、互いに隣り合う側面１ｃ及び側面１ｄと、第１主面１ａとの間に、角取り形状を呈している角取り部を有しているとも言える。

圧電素子１Ｃにおいても、圧電素子１Ａと同様に、第１主面１ａが、圧電素子１００の第１主面１ａにおいて最も振動部材との間の距離が大きくなる部分に対応する部分を有していない。よって、圧電素子１Ｃにおいても、振動部材との間で振動の伝達性が低下することを抑制可能となる。

［第４実施形態］
図６は、第４実施形態に係る圧電素子を示す斜視図である。図６に示される圧電素子１Ｄは、主に、稜線部１ｅが方向Ｄ１の全体にわたって面取り形状を呈している点と、稜線部１ｅが曲面状である点とで、図１に示される圧電素子１Ａと相違している。稜線部１ｅは、丸められた形状を呈している。本実施形態では、複数の稜線部１ｅは、いずれも方向Ｄ１の全体にわたって曲面状である面取り形状を呈している。

面取り形状は、実際に稜線部１ｅを曲面状に面取りすることによって形成された形状に限られず、それと同等の形状であればよい。稜線部１ｅは、側面１ｃを含む仮想的な平面と、側面１ｄを含む仮想的な平面と、第１主面１ａを含む仮想的な平面とが交差してなる仮想的な稜線部の内側に位置し、仮想的な稜線部に沿って湾曲している。稜線部１ｅは、側面１ｃと側面１ｄとを互いに滑らかに接続している。稜線部１ｅは、方向Ｄ１から見て、外方に凸の曲線である。圧電素子１Ｄは、互いに隣り合う側面１ｃ及び側面１ｄの間に、面取り形状を呈している面取り部を有しているとも言える。本実施形態では、稜線部１ｅと第１主面１ａとの間は面取りされていないが、面取りされていてもよい。

圧電素子１Ｄにおいても、圧電素子１Ａと同様に、第１主面１ａが、圧電素子１００の第１主面１ａにおいて最も振動部材との間の距離が大きくなる部分に対応する部分を有していない。よって、圧電素子１Ｄにおいても、振動部材との間で振動の伝達性が低下することを抑制可能となる。

以上、実施形態について説明してきたが、本発明は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。

圧電素子１Ａ、１Ｂ，１Ｃ，１Ｄでは、側面１ｃと第１主面１ａとの間の稜線部、側面１ｄと第１主面１ａとの間の稜線部、側面１ｃと第２主面１ｂとの稜線部、及び、側面１ｄと第２主面１ｂとの間の稜線部は、それぞれ面取り形状を呈していてもよい。

１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ…圧電素子、１ａ…第１主面、１ｂ…第２主面、１ｅ…稜線部、１ｆ…端部、５…スリット。

Claims (7)

1. 矩形状を呈し、互いに対向し、それぞれ電極が設けられた第１主面及び第２主面と、
   前記第１主面及び前記第２主面の対向方法に延び、それぞれ電極が設けられていない複数の側面と、
   前記第１主面及び前記第２主面の対向方向に延び、隣り合う前記側面間に位置する複数の第１稜線部と、
   前記第１主面及び前記複数の側面間に位置する複数の第２稜線部と、
   前記第２主面及び前記複数の側面間に位置する複数の第３稜線部と、を有する圧電素子であって、
   前記圧電素子には前記第１主面を分割し、電極が設けられていない底面を有するスリットが設けられており、
   前記複数の第１稜線部のうちの一つの第１稜線部は、前記第１主面側の端部において面取り形状を呈しており、
   前記複数の第２稜線部及び前記複数の第３稜線部のぞれぞれは、面取り形状を呈していない部分を有している、圧電素子。
2. 前記面取り形状は、曲面状である、請求項１に記載の圧電素子。
3. 矩形状を呈し、互いに対向する第１主面及び第２主面と、
   前記第１主面及び前記第２主面の対向方法に延びる複数の側面と、
   前記第１主面及び前記第２主面の対向方向に延び、隣り合う前記側面間に位置する複数の第１稜線部と、
   前記第１主面及び前記複数の側面間に位置する複数の第２稜線部と、
   前記第２主面及び前記複数の側面間に位置する複数の第３稜線部と、を有する圧電素子であって、
   前記圧電素子には前記第１主面を分割するスリットが設けられており、
   前記複数の第１稜線部のうちの一つの第１稜線部は、前記第１主面側の端部において面取り形状を呈しており、
   前記複数の第２稜線部及び前記複数の第３稜線部のぞれぞれは、面取り形状を呈していない部分を有し、
   前記面取り形状は、平面状である、圧電素子。
4. 前記複数の第１稜線部は、いずれも前記第１主面側の端部において前記面取り形状を呈している、請求項１～３のいずれか一項に記載の圧電素子。
5. 前記一つの第１稜線部は、前記対向方向の全体にわたって前記面取り形状を呈している、請求項１～３のいずれか一項に記載の圧電素子。
6. 前記複数の第１稜線部は、いずれも前記対向方向の全体にわたって前記面取り形状を呈している、請求項５に記載の圧電素子。
7. 前記第２主面には、スリットが設けられていない、請求項１～６のいずれか一項に記載の圧電素子。

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