JP7433591B2 - Surface texture measurement method and surface texture measurement device for ball screw thread grooves - Google Patents

Surface texture measurement method and surface texture measurement device for ball screw thread grooves Download PDF

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  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)

Description

本発明は、ボールネジのネジ軸およびナットに螺旋状に形成されたネジ溝の表面性状を測定する方法および装置に関する。 The present invention relates to a method and apparatus for measuring the surface properties of a thread groove formed in a spiral shape on a ball screw shaft and nut.

主に円柱状又は円筒状の部材の外周面や内周面の真円度や表面粗さなどの表面性状を測定するようにした表面性状測定装置が知られている（特許文献１）。このような表面性状測定装置は真円度測定装置とも呼ばれる。表面性状測定装置を使用してボールネジのネジ軸およびナットに螺旋状に形成されたネジ溝の表面性状を測定しようとする試みがなされている。 BACKGROUND ART A surface texture measuring device is known that mainly measures surface properties such as roundness and surface roughness of the outer circumferential surface and inner circumferential surface of a columnar or cylindrical member (Patent Document 1). Such a surface texture measuring device is also called a roundness measuring device. Attempts have been made to use surface texture measuring devices to measure the surface texture of thread grooves spirally formed in the screw shaft and nut of a ball screw.

特開２０１９－４５３１２号公報JP2019-45312A

ネジ溝は、その中を転がるボールがネジ溝に対して所定の角度位置で接触するように形状付けられており、例えばゴシックアーチ形状と呼ばれるような、溝底がやや尖った形状になっていることが多い。また、溝底に小さな溝がさらに形成されていることもある。このようなネジ溝の表面性状を測定する場合には、ボールが接触する位置で測定をすることが要求される。 The thread groove is shaped so that the ball rolling inside it comes into contact with the thread groove at a predetermined angular position; for example, the groove bottom has a slightly pointed shape, such as a Gothic arch shape. There are many things. In addition, a small groove may be further formed at the bottom of the groove. When measuring the surface quality of such thread grooves, it is required to measure at the position where the ball makes contact.

ボールが接触するネジ溝内での位置は、通常、ネジ溝の溝底の中心位置を基準とした位置として設定されている。そのため、表面性状測定装置のスタイラスをボールが接触する位置に正確に接触させるためには、ネジ溝の溝底の中心位置をまず正確に特定する必要がある。しかしながら、上述のようにネジ溝は溝底がやや尖った形状であったり小さな溝がさらに形成された複雑な形状であったりする場合があり、そのような場合にはスタイラスが溝底の最深部にまで適切に届かず、正確に溝底の中心位置を特定できないことがある。レーザー等を利用した非接触式の測定装置を利用すればそのような問題が解決される場合もあるが、一般に非接触式の測定装置は値段が高いという問題がある。 The position within the thread groove where the ball comes into contact is usually set with respect to the center position of the groove bottom of the thread groove. Therefore, in order to accurately bring the stylus of the surface texture measuring device into contact with the position where the ball contacts, it is first necessary to accurately specify the center position of the groove bottom of the thread groove. However, as mentioned above, the thread groove may have a slightly pointed shape at the bottom or a complicated shape with additional small grooves, and in such cases, the stylus may not be able to reach the deepest part of the groove bottom. It may not be possible to accurately identify the center position of the groove bottom. Although such problems may be solved by using a non-contact measuring device that uses a laser or the like, the problem with non-contact measuring devices is that they are generally expensive.

本発明は、上述のような従来技術の問題に鑑み、ネジ溝の溝底にスタイラスを直接接触させることなく溝底の中心位置を特定して、その中心位置を基準とした所望の位置での溝底の表面性状の測定を行うことができるようにした表面性状測定方法、およびそのような測定を可能とする接触式の表面性状測定装置を提供することを目的とする。 In view of the problems of the prior art as described above, the present invention identifies the center position of the groove bottom of a thread groove without directly contacting the stylus with the groove bottom, and locates a desired position based on the center position. It is an object of the present invention to provide a surface texture measuring method that makes it possible to measure the surface texture of a groove bottom, and a contact type surface texture measuring device that makes such a measurement possible.

すなわち本発明は、
スタイラスと、ボールネジのネジ軸またはナットを保持するようにされた保持部と、前記スタイラスと前記保持部とを相対的に移動させるようにされた移動機構部と、を備える表面性状測定装置によって前記ネジ軸またはナットに螺旋状に形成されたネジ溝の表面性状を測定する方法であって、
前記保持部に保持されたネジ軸またはナットの中心長手軸線に沿った縦断面上での前記ネジ溝の溝底に対する前記中心長手軸線の方向での一方の側で前記スタイラスを前記ネジ溝に接触させるステップと、
前記一方の側で前記スタイラスが前記ネジ溝に接触したときの前記保持部に対する前記スタイラスの前記中心長手軸線の方向での位置を第１長手接触位置として取得するステップと、
前記一方の側で前記スタイラスが前記ネジ溝に接触したときの前記保持部に対する前記スタイラスの前記中心長手軸線に垂直な方向での位置と同じ垂直位置で、前記溝底に対して前記一方の側とは反対の他方の側で前記スタイラスを前記ネジ溝に接触させるステップと、
前記他方の側で前記スタイラスが前記ネジ溝に接触したときの前記保持部に対する前記スタイラスの前記中心長手軸線の方向での位置を第２長手接触位置として取得するステップと、
前記第１長手接触位置と前記第２長手接触位置との中点位置を求めるステップと、
前記中点位置を基準として、前記スタイラスによって表面性状を測定する前記ネジ溝の前記縦断面上での測定位置を決定するステップと、
を含む、方法を提供する。 That is, the present invention
A surface texture measuring device comprising a stylus, a holding part configured to hold a screw shaft or a nut of a ball screw, and a moving mechanism part configured to relatively move the stylus and the holding part. A method for measuring the surface quality of a thread groove formed in a spiral shape on a screw shaft or nut, the method comprising:
The stylus is brought into contact with the thread groove on one side in the direction of the center longitudinal axis with respect to the groove bottom of the thread groove on a longitudinal section along the center longitudinal axis of the threaded shaft or nut held by the holding part. the step of
obtaining the position of the stylus in the direction of the central longitudinal axis with respect to the holding part when the stylus contacts the thread groove on the one side as a first longitudinal contact position;
said one side with respect to said groove bottom at the same vertical position as the position of said stylus relative to said holding part in a direction perpendicular to said central longitudinal axis when said stylus contacts said thread groove on said one side; contacting the stylus with the thread on the other side opposite to;
obtaining the position of the stylus in the direction of the central longitudinal axis with respect to the holding part when the stylus contacts the thread groove on the other side as a second longitudinal contact position;
determining a midpoint position between the first longitudinal contact position and the second longitudinal contact position;
determining a measurement position on the longitudinal section of the thread groove at which the surface texture is to be measured using the stylus, with reference to the midpoint position;
Provide a method, including.

当該方法においては、同一な垂直位置におけるネジ溝の溝底に対する一方の側と他方の側での位置（第１長手接触位置と第２長手接触位置）を取得してその中点位置を求めるようにしている。この中点位置はネジ溝の溝底の中心位置に対応する位置となるため、当該方法においてはネジ溝の溝底をスタイラスで直接接触することなく、溝底の中心位置を特定することが可能となる。 In this method, the positions of the thread groove on one side and the other side (the first longitudinal contact position and the second longitudinal contact position) with respect to the groove bottom at the same vertical position are obtained and the midpoint position thereof is determined. I have to. This midpoint position corresponds to the center position of the groove bottom of the thread groove, so in this method, it is possible to specify the center position of the groove bottom without directly touching the groove bottom of the thread groove with the stylus. becomes.

また、前記測定位置を決定するステップが、前記中点位置から前記一方の側または前記他方の側に所定のオフセット距離だけ離れたオフセット長手位置において前記スタイラスを前記中心長手軸線に垂直な方向で前記ネジ溝に向かって移動させたときに前記スタイラスが前記ネジ溝に接触する位置を測定開始位置とするステップを含むようにすることができる。 The step of determining the measurement position may include moving the stylus in a direction perpendicular to the central longitudinal axis at an offset longitudinal position that is a predetermined offset distance away from the midpoint position to the one side or the other side. The method may include the step of setting a position where the stylus contacts the thread groove when the stylus moves toward the thread groove as a measurement start position.

オフセット距離をボールがネジ溝に接触する設計上での位置に対応するものとすることにより、ボールが接触する位置での表面性状測定を行うことが可能となる。 By setting the offset distance to correspond to the designed position where the ball contacts the screw groove, it becomes possible to measure the surface texture at the position where the ball makes contact.

また、前記測定開始位置で前記スタイラスを前記ネジ溝に接触させた状態で、前記保持部を前記中心長手軸線の周りで回転させながら前記スタイラスを前記中心長手軸線の方向に移動させることにより前記スタイラスを前記ネジ溝に沿って移動させて、前記ネジ溝の表面性状を前記ネジ溝に沿って測定するステップをさらに含むようにすることができる。 Further, while the stylus is in contact with the thread groove at the measurement start position, the stylus is moved in the direction of the central longitudinal axis while rotating the holding part around the central longitudinal axis. The method may further include the step of moving the thread groove along the thread groove and measuring the surface texture of the thread groove along the thread groove.

さらに、
前記一方の側で前記スタイラスを前記ネジ溝に接触させるステップが、
前記ネジ溝の前記一方の側で前記ネジ軸の外周面または前記ナットの内周面に前記スタイラスを接触させるステップと、
前記外周面または前記内周面に前記スタイラスを接触させた状態で前記スタイラスを前記他方の側に向かって移動させて、前記ネジ溝の前記一方の側での第１エッジにおいて前記スタイラスを前記ネジ溝に接触させるステップと、
を含み、
前記他方の側で前記スタイラスを前記ネジ溝に接触させるステップが、
前記ネジ溝の前記他方の側で前記ネジ軸の外周面または前記ナットの内周面に前記スタイラスを接触させるステップと、
前記外周面または前記内周面に前記スタイラスを接触させた状態で前記スタイラスを前記一方の側に向かって移動させて、前記ネジ溝の前記他方の側での第２エッジにおいて前記スタイラスを前記ネジ溝に接触させるステップと、
を含み、
前記第１長手接触位置は前記スタイラスが前記第１エッジに接触したときの位置であり、前記第２長手接触位置は前記スタイラスが前記第２エッジに接触したときの位置であるようにすることができる。 moreover,
contacting the stylus with the thread groove on the one side;
bringing the stylus into contact with the outer peripheral surface of the threaded shaft or the inner peripheral surface of the nut on the one side of the thread groove;
The stylus is moved toward the other side while the stylus is in contact with the outer circumferential surface or the inner circumferential surface, and the stylus is moved toward the screw thread at the first edge on the one side of the thread groove. contacting the groove;
including;
contacting the stylus with the thread groove on the other side;
bringing the stylus into contact with the outer peripheral surface of the threaded shaft or the inner peripheral surface of the nut on the other side of the thread groove;
The stylus is moved toward the one side while the stylus is in contact with the outer peripheral surface or the inner peripheral surface, and the stylus is moved toward the second edge of the thread groove on the other side. contacting the groove;
including;
The first longitudinal contact position may be a position when the stylus contacts the first edge, and the second longitudinal contact position may be a position when the stylus contacts the second edge. can.

または、
前記一方の側で前記スタイラスを前記ネジ溝に接触させるステップが、前記ネジ溝の前記溝底と前記ネジ溝の前記一方の側での第１エッジとの間の任意の中間位置において、前記スタイラスを前記ネジ溝に接触させるステップを含み、
前記他方の側で前記スタイラスを前記ネジ溝に接触させるステップが、前記スタイラスを前記中間位置に接触した状態から前記中心長手軸線と平行に前記他方の側に向かって移動させて、前記溝底よりも前記他方の側で前記スタイラスを前記ネジ溝に接触させるステップを含むようにすることができる。 or
The step of contacting the stylus with the thread groove on the one side includes contacting the stylus with the thread groove at any intermediate position between the groove bottom of the thread groove and a first edge of the thread groove on the one side. contacting the thread groove,
The step of bringing the stylus into contact with the thread groove on the other side includes moving the stylus from the state in contact with the intermediate position toward the other side in parallel with the central longitudinal axis, and from the bottom of the groove. The method may also include the step of bringing the stylus into contact with the thread groove on the other side.

本発明はさらに、
ボールネジのネジ軸またはナットに螺旋状に形成されたネジ溝の表面性状を測定するようにされた表面性状測定装置であって、
スタイラスと、
ボールネジのネジ軸またはナットを保持するようにされた保持部と、
前記スタイラスと前記保持部とを相対的に移動させるようにされた移動機構部と、
前記移動機構部を制御して前記スタイラスを前記保持部に保持された前記ネジ軸またはナットのネジ溝に沿って移動させながら、前記スタイラスの変位を検出して前記ネジ溝の表面性状の測定を行うようにする制御部と、
を備え、
前記制御部が、
前記ネジ軸またはナットの中心長手軸線に沿った縦断面上での前記ネジ溝の溝底に対する前記中心長手軸線の方向での一方の側で前記スタイラスを前記ネジ溝に接触させるように前記移動機構部を制御し、
前記一方の側で前記スタイラスが前記ネジ溝に接触したときの前記保持部に対する前記スタイラスの前記中心長手軸線の方向での位置を第１長手接触位置として取得し、
前記一方の側で前記スタイラスが前記ネジ溝に接触したときの前記保持部に対する前記スタイラスの前記中心長手軸線に垂直な方向での位置と同じ垂直位置で、前記溝底に対して前記一方の側とは反対の他方の側で前記スタイラスを前記ネジ溝に接触させるように前記移動機構部を制御し、
前記他方の側で前記スタイラスが前記ネジ溝に接触したときの前記保持部に対する前記スタイラスの前記中心長手軸線の方向での位置を第２長手接触位置として取得し、
前記第１長手接触位置と前記第２長手接触位置との中点位置を求めて、前記中点位置を基準として前記スタイラスによって表面性状を測定する前記ネジ溝の前記縦断面上での測定位置を決定する、
ようにされた、表面性状測定装置を提供する。 The present invention further includes:
A surface texture measuring device adapted to measure the surface texture of a thread groove spirally formed in a ball screw shaft or nut, the device comprising:
A stylus and
a holding part configured to hold a screw shaft or nut of a ball screw;
a moving mechanism portion configured to relatively move the stylus and the holding portion;
While controlling the moving mechanism section to move the stylus along the thread groove of the screw shaft or nut held by the holding section, the displacement of the stylus is detected and the surface quality of the thread groove is measured. a control unit configured to perform the operations;
Equipped with
The control section,
the moving mechanism so as to bring the stylus into contact with the thread groove on one side in the direction of the center longitudinal axis with respect to the groove bottom of the thread groove on a longitudinal section along the center longitudinal axis of the screw shaft or nut; control the department;
obtaining the position of the stylus in the direction of the central longitudinal axis with respect to the holding part when the stylus contacts the thread groove on the one side as a first longitudinal contact position;
said one side with respect to said groove bottom at the same vertical position as the position of said stylus relative to said holding part in a direction perpendicular to said central longitudinal axis when said stylus contacts said thread groove on said one side; controlling the moving mechanism unit to bring the stylus into contact with the thread groove on the other side opposite to;
obtaining the position of the stylus in the direction of the central longitudinal axis with respect to the holding part when the stylus contacts the thread groove on the other side as a second longitudinal contact position;
A midpoint position between the first longitudinal contact position and the second longitudinal contact position is determined, and a measurement position on the longitudinal section of the thread groove at which the surface texture is to be measured with the stylus is determined using the midpoint position as a reference. decide,
To provide a surface texture measuring device which is configured as follows.

この表面性状測定装置においては、
前記移動機構部が、前記保持部に保持された前記ネジ軸またはナットが前記中心長手軸線の周りで回転するように前記保持部を回転駆動する回転機構部と、前記スタイラスを少なくとも前記中心長手軸線の方向と前記中心長手軸線に垂直な方向とに移動させるようにされたスタイラス移動機構部と、を備え、
前記制御部が、
前記中点位置から前記一方の側または前記他方の側に所定のオフセット距離だけ離れたオフセット長手位置において前記スタイラスを前記中心長手軸線に垂直な方向で移動させて前記ネジ溝に接触させるように前記スタイラス移動機構部を制御し、
前記保持部を回転駆動しながら前記スタイラスを前記中心長手軸線に沿って移動させて前記スタイラスを前記ネジ溝に沿って移動させるように前記回転機構部と前記スタイラス移動機構部とを制御して、前記ネジ溝の表面性状を前記ネジ溝に沿って測定する、
ようにすることができる。 In this surface texture measuring device,
The moving mechanism section includes a rotation mechanism section that rotationally drives the holding section so that the screw shaft or nut held by the holding section rotates around the central longitudinal axis, and a rotation mechanism section that rotates the stylus at least around the central longitudinal axis. and a stylus moving mechanism configured to move the stylus in the direction of and in the direction perpendicular to the central longitudinal axis,
The control section,
The stylus is moved in a direction perpendicular to the central longitudinal axis to contact the thread groove at an offset longitudinal position that is a predetermined offset distance away from the midpoint position to the one side or the other side. controls the stylus movement mechanism;
controlling the rotation mechanism section and the stylus movement mechanism section so as to move the stylus along the central longitudinal axis while rotationally driving the holding section to move the stylus along the thread groove; measuring the surface quality of the thread groove along the thread groove;
You can do it like this.

また、前記スタイラスの先端部分が、前記ネジ溝の前記測定位置に接触したときに前記ネジ溝の前記測定位置の表面に対して略垂直な方向となるように延びるようにすることができる。 Further, the tip portion of the stylus may extend in a direction substantially perpendicular to the surface of the thread groove at the measurement position when it comes into contact with the measurement position of the thread groove.

以下、本発明に係る表面性状測定装置、および該表面性状測定装置を使用したボールネジのネジ軸およびナットに螺旋状に形成されたネジ溝の表面性状測定方法の実施形態を添付図面に基づき説明する。 Hereinafter, embodiments of a surface texture measuring device according to the present invention and a method of measuring the surface texture of a screw groove formed in a spiral shape on a screw shaft and a nut of a ball screw using the surface texture measuring device will be described based on the accompanying drawings. .

本発明の一実施形態に係る表面性状測定装置の外観図である。1 is an external view of a surface texture measuring device according to an embodiment of the present invention. ボールネジのネジ軸の縦断面における、ネジ溝の拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view of a thread groove in a longitudinal section of the threaded shaft of the ball screw. 本発明の一実施形態に係る表面性状測定方法を示す第１の図である。FIG. 1 is a first diagram showing a surface texture measuring method according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態に係る表面性状測定方法を示す第２の図である。FIG. 2 is a second diagram showing a surface texture measuring method according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態に係る表面性状測定方法を示す第３の図である。FIG. 3 is a third diagram showing a surface texture measuring method according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態に係る表面性状測定方法を示す第４の図である。FIG. 4 is a fourth diagram showing a surface texture measuring method according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態に係る表面性状測定方法を示す第５の図である。FIG. 5 is a fifth diagram showing a surface texture measuring method according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態に係る表面性状測定方法を示す第６の図である。FIG. 6 is a sixth diagram showing a surface texture measuring method according to an embodiment of the present invention. 本発明の別の実施形態に係る表面性状測定方法を示す第１の図である。FIG. 3 is a first diagram showing a surface texture measuring method according to another embodiment of the present invention. 本発明の別の実施形態に係る表面性状測定方法を示す第２の図である。FIG. 3 is a second diagram showing a surface texture measuring method according to another embodiment of the present invention. 本発明の別の実施形態に係る表面性状測定装置のスタイラスを示す図である。FIG. 7 is a diagram showing a stylus of a surface texture measuring device according to another embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態に係る表面性状測定装置によってボールネジのナットを測定している状態を示す図である。It is a figure showing the state where the nut of the ball screw is being measured by the surface texture measuring device concerning one embodiment of the present invention.

本発明の一実施形態に係る表面性状測定装置１は、図１に示すように、装置本体部２と、被測定物となるボールネジのネジ軸１０またはナット２０（図６）を保持する回転ステージ（保持部）３と、スタイラス４を備えた測定ユニット５と、を備える。図示の例では、回転ステージ３にはネジ軸１０が保持されているが、ナット２０を保持することもできる。表面性状測定装置１は、測定ユニット５のスタイラス４と回転ステージ３とを相対的に移動させるための移動機構部として、回転ステージ３を回転させる回転機構部６と、スタイラス４を３軸方向に直線移動させる直動機構部（スタイラス移動機構部）７とをさらに備える。装置本体部２内には、測定ユニット５、回転機構部６、および直動機構部７を含む当該表面性状測定装置１が備える各種機器を制御するための制御部８が配置されている。 As shown in FIG. 1, a surface texture measuring device 1 according to an embodiment of the present invention includes a device main body 2 and a rotation stage that holds a screw shaft 10 or a nut 20 (FIG. 6) of a ball screw to be measured. (holding part) 3 and a measuring unit 5 equipped with a stylus 4. In the illustrated example, the rotary stage 3 holds the screw shaft 10, but it can also hold the nut 20. The surface texture measuring device 1 includes a rotation mechanism section 6 for rotating the rotation stage 3 and a rotation mechanism section 6 for relatively moving the stylus 4 of the measurement unit 5 and the rotation stage 3, and a rotation mechanism section 6 for moving the stylus 4 in three axial directions. It further includes a linear motion mechanism section (stylus movement mechanism section) 7 for linear movement. A control section 8 for controlling various devices included in the surface texture measuring apparatus 1 including the measurement unit 5, the rotation mechanism section 6, and the linear motion mechanism section 7 is arranged within the apparatus main body section 2.

当該実施形態において回転ステージ３上に保持されているネジ軸１０は、中心長手軸線Ｌに沿って延びていて、その外周面１２に螺旋状に形成されたネジ溝１４を有する。ネジ溝１４は、図２に示すように、そこに配置されるボール１６よりも大きな曲率半径を有する下側の面１４ａおよび上側の面１４ｂと、溝底１４ｃに形成された小さな溝１４ｄを有する。このネジ溝１４は、溝底１４ｃに対する中心角が４０°の位置でボール１６がネジ溝１４に接触するように設計されている。 In this embodiment, the screw shaft 10 held on the rotation stage 3 extends along the central longitudinal axis L, and has a screw groove 14 spirally formed on its outer peripheral surface 12. As shown in FIG. 2, the screw groove 14 has a lower surface 14a and an upper surface 14b that have a larger radius of curvature than the ball 16 disposed therein, and a small groove 14d formed in the groove bottom 14c. . This thread groove 14 is designed such that the ball 16 comes into contact with the thread groove 14 at a position where the center angle with respect to the groove bottom 14c is 40 degrees.

当該表面性状測定装置１によって、ネジ軸１０の外周面１２に形成されたネジ溝１４の表面性状を測定する際には、図３Ａ－図３Ｄに示すようにして、まずはネジ溝１４の溝底１４ｃの中心位置Ｃを特定する。 When measuring the surface texture of the thread groove 14 formed on the outer circumferential surface 12 of the screw shaft 10 using the surface texture measuring device 1, first, the groove bottom of the thread groove 14 is measured as shown in FIGS. 3A to 3D. The center position C of 14c is specified.

具体的には、中心長手軸線Ｌの方向ＤＹでネジ溝１４よりも下側（一方の側）で、スタイラス４をネジ軸１０の外周面１２に接触させる（図３Ａ）。制御部８は、直動機構部７を制御して、外周面１２にスタイラス４を接触させた状態で、スタイラス４を中心長手軸線Ｌの方向ＤＹでの上側（他方の側）に向かって移動させる。スタイラス４がネジ溝１４の下側の第１エッジ１４ｅに至るとスタイラス４が変位し、それを測定ユニット５が検知する（図３Ｂ）。制御部８は、スタイラス４の変位を検出したとき、すなわちスタイラス４がネジ溝１４の第１エッジ１４ｅにおいてネジ溝１４に接触したときのスタイラス４の中心長手軸線Ｌの方向ＤＹでの位置を第１長手接触位置Ｐ１として取得し記憶する。次に制御部８は、直動機構部７を制御して、スタイラス４を一旦ネジ軸１０から離し、ネジ溝１４よりも上側でネジ軸１０の外周面１２に接触させる（図３Ｃ）。そして、外周面１２にスタイラス４を接触させた状態で、スタイラス４を下側に向かって移動させる。スタイラス４がネジ溝１４の上側の第２エッジ１４ｆに至るとスタイラス４が変位し、それを測定ユニット５が検知する（図３Ｄ）。制御部８は、スタイラス４の変位を検出したとき、すなわちスタイラス４がネジ溝１４の第２エッジ１４ｆにおいてネジ溝１４に接触したときのスタイラス４の中心長手軸線Ｌの方向ＤＹでの位置を第２長手接触位置Ｐ２として取得して記憶する。制御部８はさらに、第１長手接触位置Ｐ１と第２長手接触位置Ｐ２との中点位置Ｍを求め、この中点位置Ｍが中心長手軸線Ｌの方向ＤＹでのネジ溝１４の溝底１４ｃの中心位置Ｃであると判断する。当該表面性状測定装置１は、このようにして、スタイラス４をネジ溝１４の溝底１４ｃに直接接触させることなく、ネジ溝１４の中心位置Ｃを特定する。 Specifically, the stylus 4 is brought into contact with the outer circumferential surface 12 of the screw shaft 10 below (on one side) the screw groove 14 in the direction DY of the central longitudinal axis L (FIG. 3A). The control unit 8 controls the linear motion mechanism unit 7 to move the stylus 4 toward the upper side (the other side) in the direction D Y of the central longitudinal axis L with the stylus 4 in contact with the outer peripheral surface 12. move it. When the stylus 4 reaches the lower first edge 14e of the thread groove 14, the stylus 4 is displaced, which is detected by the measuring unit 5 (FIG. 3B). The control unit 8 determines the position of the central longitudinal axis L of the stylus 4 in the direction DY when the displacement of the stylus 4 is detected, that is, when the stylus 4 contacts the thread groove 14 at the first edge 14e of the thread groove 14. It is acquired and stored as the first longitudinal contact position P1 . Next, the control section 8 controls the linear motion mechanism section 7 to once separate the stylus 4 from the screw shaft 10 and bring it into contact with the outer circumferential surface 12 of the screw shaft 10 above the screw groove 14 (FIG. 3C). Then, with the stylus 4 in contact with the outer peripheral surface 12, the stylus 4 is moved downward. When the stylus 4 reaches the upper second edge 14f of the thread groove 14, the stylus 4 is displaced, which is detected by the measuring unit 5 (FIG. 3D). The control unit 8 determines the position of the central longitudinal axis L of the stylus 4 in the direction DY when the displacement of the stylus 4 is detected, that is, when the stylus 4 contacts the thread groove 14 at the second edge 14f of the thread groove 14. It is acquired and stored as the second longitudinal contact position P2 . The control unit 8 further determines the midpoint position M between the first longitudinal contact position P1 and the second longitudinal contact position P2 , and this midpoint position M is the center point M of the thread groove 14 in the direction DY of the central longitudinal axis L. It is determined that this is the center position C of the groove bottom 14c. In this way, the surface texture measuring device 1 specifies the center position C of the thread groove 14 without bringing the stylus 4 into direct contact with the groove bottom 14c of the thread groove 14.

制御部８はさらに、求めた中点位置Ｍ（中心位置Ｃ）を基準として、スタイラス４によって表面性状を測定するネジ溝１４の縦断面上での測定位置を決定する。具体的には、中点位置Ｍから下側に所定のオフセット距離Ｏだけ離れたオフセット長手位置Ｑ１にまでスタイラス４を移動させ（図３Ｅ）、スタイラス４を中心長手軸線Ｌに垂直な方向ＤＸでネジ溝１４に向かって移動させてネジ溝１４に接触させる（図３Ｆ）。このときにスタイラス４が接触した位置をネジ溝１４の縦断面上での測定開始位置に決定する。なお、上述の所定のオフセット距離Ｏは、ネジ溝１４の中心位置Ｃからボール１６がネジ溝１４に接触する設計上の位置までの中心長手軸線Ｌの方向ＤＹでの距離である。よって測定開始位置はボール１６が接触する位置となる。 The control unit 8 further determines the measurement position on the longitudinal section of the thread groove 14 at which the surface texture is to be measured using the stylus 4, using the determined midpoint position M (center position C) as a reference. Specifically, the stylus 4 is moved downward from the midpoint position M to an offset longitudinal position Q1 that is a predetermined offset distance O (FIG. 3E), and the stylus 4 is moved in a direction D perpendicular to the central longitudinal axis L. Move it toward the thread groove 14 with X to contact the thread groove 14 (FIG. 3F). At this time, the position where the stylus 4 makes contact is determined to be the measurement start position on the longitudinal section of the thread groove 14. Note that the above-mentioned predetermined offset distance O is the distance in the direction DY of the central longitudinal axis L from the center position C of the thread groove 14 to the designed position where the ball 16 contacts the thread groove 14. Therefore, the measurement start position is the position where the ball 16 makes contact.

次に制御部８は、回転機構部６と直動機構部７とを同時に制御して、回転ステージ３を回転させてネジ軸１０を中心長手軸線Ｌの周りで回転させながらスタイラス４を中心長手軸線Ｌに沿って移動させて、スタイラス４が螺旋状のネジ溝１４に沿って移動するようにする。このときスタイラス４は、縦断面上でのネジ溝１４の溝底１４ｃに対する相対的位置を維持しながら、ボール１６が接触する軌道上を移動していく。これにより、スタイラス４によってボール１６が接触する軌道上の表面性状を測定することができる。表面性状測定は、所定の長さ、例えばネジ軸１０の一周分の長さ、に亘って行われる。測定が完了すると、制御部８は測定したデータに基づいてネジ溝１４の表面粗さ、真円度、うねりの周期性などの様々な表面性状を演算して求める。なお、溝底１４ｃの下側での表面性状測定に続いて、中点位置Ｍから上側に所定のオフセット距離Ｏだけ離れた上側のオフセット長手位置Ｑ２（図３Ｆ）におけるネジ溝１４の表面性状測定を同様に行うようにしてもよい。 Next, the control unit 8 simultaneously controls the rotation mechanism unit 6 and the linear motion mechanism unit 7 to rotate the rotation stage 3 and rotate the screw shaft 10 around the center longitudinal axis L while moving the stylus 4 along the center longitudinal axis. The stylus 4 is moved along the axis L so that the stylus 4 moves along the helical thread groove 14. At this time, the stylus 4 moves on the trajectory that the ball 16 contacts while maintaining the relative position of the thread groove 14 with respect to the groove bottom 14c on the longitudinal section. This allows the stylus 4 to measure the surface texture on the trajectory that the ball 16 comes into contact with. The surface texture measurement is performed over a predetermined length, for example, the length of one circumference of the screw shaft 10. When the measurement is completed, the control unit 8 calculates and obtains various surface properties of the thread groove 14, such as surface roughness, roundness, and periodicity of waviness, based on the measured data. In addition, following the surface texture measurement on the lower side of the groove bottom 14c, the surface texture of the thread groove 14 at the upper offset longitudinal position Q 2 (FIG. 3F) that is a predetermined offset distance O upward from the midpoint position M is measured. Measurements may also be performed in a similar manner.

別の実施形態においては、ネジ溝１４の溝底１４ｃの中心位置Ｃを特定するために、まずネジ溝１４の溝底１４ｃとネジ溝１４の第１エッジ１４ｅとの間の適当な任意の中間位置でスタイラス４をネジ溝１４に接触させる（図４Ａ）。制御部８は、このときのスタイラス４の中心長手軸線Ｌの方向ＤＹでの位置を第１長手接触位置Ｐ１として取得し記憶する。次に制御部８は、スタイラス４を第１長手接触位置Ｐ１においてネジ溝に接触している状態から中心長手軸線Ｌと平行に上側に向かって移動させて、第１長手接触位置Ｐ１と同じ垂直位置において溝底１４ｃよりも上側でスタイラス４をネジ溝１４に接触させる（図４Ｂ）。制御部８は、このときのスタイラス４の中心長手軸線Ｌの方向ＤＹでの位置を第２長手接触位置Ｐ２として取得し記憶する。制御部８はさらに、第１長手接触位置Ｐ１と第２長手接触位置Ｐ２との中点位置Ｍを求め、この中点位置Ｍが中心長手軸線Ｌの方向ＤＹでのネジ溝１４の溝底１４ｃの中心位置Ｃであると判断する。この後の表面性状を測定する方法および制御は、上記実施形態において図３Ｅ－３Ｆに基づいて説明したものと同様である。 In another embodiment, in order to identify the center position C of the groove bottom 14c of the thread groove 14, first select an appropriate intermediate point between the groove bottom 14c of the thread groove 14 and the first edge 14e of the thread groove 14. The stylus 4 is brought into contact with the thread groove 14 at the position (FIG. 4A). The control unit 8 acquires and stores the position of the central longitudinal axis L of the stylus 4 in the direction DY at this time as the first longitudinal contact position P1 . Next, the control unit 8 moves the stylus 4 upward in parallel to the central longitudinal axis L from the state where it is in contact with the thread groove at the first longitudinal contact position P1 , and moves the stylus 4 upward from the state where it is in contact with the thread groove at the first longitudinal contact position P1 . At the same vertical position, the stylus 4 is brought into contact with the thread groove 14 above the groove bottom 14c (FIG. 4B). The control unit 8 acquires and stores the position of the central longitudinal axis L of the stylus 4 in the direction DY at this time as a second longitudinal contact position P2 . The control unit 8 further determines the midpoint position M between the first longitudinal contact position P1 and the second longitudinal contact position P2 , and this midpoint position M is the center point M of the thread groove 14 in the direction DY of the central longitudinal axis L. It is determined that this is the center position C of the groove bottom 14c. The method and control for measuring the surface texture thereafter are the same as those described based on FIGS. 3E to 3F in the above embodiment.

別の実施形態に係る表面性状測定装置においては、図５に示すように、スタイラス１０４の先端部分が中心長手軸線Ｌに対して傾いている。この傾きは、スタイラス１０４がネジ溝１４の測定位置Ｒ１に接触したときにその表面に対して略垂直となるように設定されている。スタイラス１０４が測定する表面に対して垂直な方向で接触することにより、より正確な表面性状測定が可能となる。このような傾いたスタイラス１０４を用いる場合には、ネジ溝１４の上側の測定位置Ｒ２における表面性状測定を行う際に、スタイラス１０４の向きを変えるか又は別のスタイラスに交換する必要がある。 In a surface texture measuring device according to another embodiment, the tip portion of the stylus 104 is inclined with respect to the central longitudinal axis L, as shown in FIG. This inclination is set so that when the stylus 104 contacts the measurement position R1 of the thread groove 14, it becomes approximately perpendicular to the surface thereof. By contacting the stylus 104 in a direction perpendicular to the surface to be measured, more accurate surface texture measurements are possible. When using such an inclined stylus 104, it is necessary to change the orientation of the stylus 104 or replace it with another stylus when performing surface texture measurement at the measurement position R2 above the thread groove 14.

上記実施形態においてはボールネジのネジ溝１４の外周面１２に形成されたネジ溝１４の表面性状測定について説明をしたが、図６に示すように、ボールネジのナット２０の内周面２２に形成されたネジ溝２４の表面性状測定も同様に行うことができる。ナット２０のネジ溝２４の表面性状測定は、スタイラス４をナット２０の内側に挿入した状態で行う。ネジ溝２４の表面性状の測定方法は上記実施形態と同様である。 In the above embodiment, the surface quality measurement of the thread groove 14 formed on the outer circumferential surface 12 of the ball screw thread groove 14 was explained, but as shown in FIG. Measurement of the surface properties of the screw grooves 24 can also be performed in the same manner. The surface quality of the thread groove 24 of the nut 20 is measured with the stylus 4 inserted inside the nut 20. The method for measuring the surface quality of the thread groove 24 is the same as in the above embodiment.

以上に本発明の実施形態について説明をしたが、本発明はこれら実施形態に限定されるものではない。例えば、スタイラス移動機構部は、中心長手軸線の方向とそれに直交する方向の２方向にだけ移動するものとしてもよい。また、スタイラスとネジ軸またはナットを保持する保持部とを相対的に移動させるための移動機構部は、一方を固定して他方のみを３次元的に移動させるようなものとしてもよい。そのようなものとしては、例えば、三次元空間上を自在に動くロボットアームが考えられる。なお、上記実施形態の説明における「上」「下」などの方向を示す用語は、実施形態での説明を明確にするために用いたものであり、本発明の構成はこれらの方向に限定されるものではない。 Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to these embodiments. For example, the stylus moving mechanism may move only in two directions: the direction of the central longitudinal axis and the direction perpendicular thereto. Further, the moving mechanism section for relatively moving the stylus and the holding section that holds the screw shaft or nut may be such that one is fixed and only the other is moved three-dimensionally. An example of such a device is a robot arm that moves freely in three-dimensional space. Note that terms indicating directions such as "up" and "down" in the description of the embodiments above are used to clarify the description of the embodiments, and the configuration of the present invention is not limited to these directions. It's not something you can do.

１ 表面性状測定装置
２ 装置本体部
３ 回転ステージ（保持部）
４ スタイラス
５ 測定ユニット
６ 回転機構部
７ 直動機構部（スタイラス移動機構部）
８ 制御部
１０ ネジ軸
１２ 外周面
１４ ネジ溝
１４ａ 下側の面
１４ｂ 上側の面
１４ｃ 溝底
１４ｄ 溝
１４ｅ 第１エッジ
１４ｆ 第２エッジ
１６ ボール
２０ ナット
２２ 内周面
２４ ネジ溝
１０４ スタイラス
Ｃ 中心位置
ＤＸ 中心長手軸線Ｌに垂直な方向
ＤＹ 中心長手軸線Ｌの方向
Ｌ 中心長手軸線
Ｍ 中点位置
Ｏ オフセット距離
Ｐ１ 第１長手接触位置
Ｐ２ 第２長手接触位置
Ｑ１ オフセット長手位置
Ｑ２ オフセット長手位置
Ｒ１ 測定位置
Ｒ２ 測定位置 1 Surface texture measuring device 2 Device main body 3 Rotating stage (holding section)
4 Stylus 5 Measuring unit 6 Rotation mechanism section 7 Linear motion mechanism section (stylus movement mechanism section)
8 Control part 10 Screw shaft 12 Outer surface 14 Thread groove 14a Lower surface 14b Upper surface 14c Groove bottom 14d Groove 14e First edge 14f Second edge 16 Ball 20 Nut 22 Inner surface 24 Thread groove 104 Stylus C Center position D Direction perpendicular to X center longitudinal axis L Direction L of Y center longitudinal axis L Center longitudinal axis M Midpoint position O Offset distance P 1 First longitudinal contact position P 2 Second longitudinal contact position Q 1 Offset longitudinal position Q 2 Offset longitudinal position R 1 measurement position R 2 measurement position

Claims (8)

スタイラスと、ボールネジのネジ軸またはナットを保持するようにされた保持部と、前記スタイラスと前記保持部とを相対的に移動させるようにされた移動機構部と、を備える表面性状測定装置によって前記ネジ軸またはナットに螺旋状に形成されたネジ溝の表面性状を測定する方法であって、
前記保持部に保持されたネジ軸またはナットの中心長手軸線に沿った縦断面上での前記ネジ溝の溝底に対する前記中心長手軸線の方向での一方の側で前記スタイラスを前記ネジ溝に接触させるステップと、
前記一方の側で前記スタイラスが前記ネジ溝に接触したときの前記保持部に対する前記スタイラスの前記中心長手軸線の方向での位置を第１長手接触位置として取得するステップと、
前記一方の側で前記スタイラスが前記ネジ溝に接触したときの前記保持部に対する前記スタイラスの前記中心長手軸線に垂直な方向での位置と同じ垂直位置で、前記溝底に対して前記一方の側とは反対の他方の側で前記スタイラスを前記ネジ溝に接触させるステップと、
前記他方の側で前記スタイラスが前記ネジ溝に接触したときの前記保持部に対する前記スタイラスの前記中心長手軸線の方向での位置を第２長手接触位置として取得するステップと、
前記第１長手接触位置と前記第２長手接触位置との中点位置を求めるステップと、
前記中点位置を基準として、前記スタイラスによって表面性状を測定する前記ネジ溝の前記縦断面上での測定位置を決定するステップと、
を含む、方法。 A surface texture measuring device comprising a stylus, a holding part configured to hold a screw shaft or a nut of a ball screw, and a moving mechanism part configured to relatively move the stylus and the holding part. A method for measuring the surface quality of a thread groove formed in a spiral shape on a screw shaft or nut, the method comprising:
The stylus is brought into contact with the thread groove on one side in the direction of the center longitudinal axis with respect to the groove bottom of the thread groove on a longitudinal section along the center longitudinal axis of the threaded shaft or nut held by the holding part. the step of
obtaining the position of the stylus in the direction of the central longitudinal axis with respect to the holding part when the stylus contacts the thread groove on the one side as a first longitudinal contact position;
said one side with respect to said groove bottom at the same vertical position as the position of said stylus relative to said holding part in a direction perpendicular to said central longitudinal axis when said stylus contacts said thread groove on said one side; contacting the stylus with the thread on the other side opposite to;
obtaining the position of the stylus in the direction of the central longitudinal axis with respect to the holding part when the stylus contacts the thread groove on the other side as a second longitudinal contact position;
determining a midpoint position between the first longitudinal contact position and the second longitudinal contact position;
determining a measurement position on the longitudinal section of the thread groove at which the surface texture is to be measured using the stylus, with reference to the midpoint position;
including methods. 前記測定位置を決定するステップが、前記中点位置から前記一方の側または前記他方の側に所定のオフセット距離だけ離れたオフセット長手位置において前記スタイラスを前記中心長手軸線に垂直な方向で前記ネジ溝に向かって移動させたときに前記スタイラスが前記ネジ溝に接触する位置を測定開始位置とするステップを含む、請求項１に記載の方法。 The step of determining the measurement position includes moving the stylus into the threaded groove in a direction perpendicular to the central longitudinal axis at an offset longitudinal position that is a predetermined offset distance away from the midpoint position to the one side or the other side. The method according to claim 1, further comprising the step of determining a measurement start position at a position where the stylus contacts the thread groove when the stylus is moved toward the thread groove. 前記測定開始位置で前記スタイラスを前記ネジ溝に接触させた状態で、前記保持部を前記中心長手軸線の周りで回転させながら前記スタイラスを前記中心長手軸線の方向に移動させることにより前記スタイラスを前記ネジ溝に沿って移動させて、前記ネジ溝の表面性状を前記ネジ溝に沿って測定するステップをさらに含む、請求項２に記載の方法。 With the stylus in contact with the thread groove at the measurement start position, the stylus is moved in the direction of the central longitudinal axis while rotating the holding part around the central longitudinal axis. The method according to claim 2, further comprising the step of moving along a thread groove and measuring the surface texture of the thread groove along the thread groove. 前記一方の側で前記スタイラスを前記ネジ溝に接触させるステップが、
前記ネジ溝の前記一方の側で前記ネジ軸の外周面または前記ナットの内周面に前記スタイラスを接触させるステップと、
前記外周面または前記内周面に前記スタイラスを接触させた状態で前記スタイラスを前記他方の側に向かって移動させて、前記ネジ溝の前記一方の側での第１エッジにおいて前記スタイラスを前記ネジ溝に接触させるステップと、
を含み、
前記他方の側で前記スタイラスを前記ネジ溝に接触させるステップが、
前記ネジ溝の前記他方の側で前記ネジ軸の外周面または前記ナットの内周面に前記スタイラスを接触させるステップと、
前記外周面または前記内周面に前記スタイラスを接触させた状態で前記スタイラスを前記一方の側に向かって移動させて、前記ネジ溝の前記他方の側での第２エッジにおいて前記スタイラスを前記ネジ溝に接触させるステップと、
を含み、
前記第１長手接触位置は前記スタイラスが前記第１エッジに接触したときの位置であり、前記第２長手接触位置は前記スタイラスが前記第２エッジに接触したときの位置である、
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の方法。 contacting the stylus with the thread groove on the one side;
bringing the stylus into contact with the outer peripheral surface of the threaded shaft or the inner peripheral surface of the nut on the one side of the thread groove;
The stylus is moved toward the other side while the stylus is in contact with the outer circumferential surface or the inner circumferential surface, and the stylus is moved toward the screw thread at the first edge on the one side of the thread groove. contacting the groove;
including;
contacting the stylus with the thread groove on the other side;
bringing the stylus into contact with the outer peripheral surface of the threaded shaft or the inner peripheral surface of the nut on the other side of the thread groove;
The stylus is moved toward the one side while the stylus is in contact with the outer peripheral surface or the inner peripheral surface, and the stylus is moved toward the second edge of the thread groove on the other side. contacting the groove;
including;
The first longitudinal contact position is a position when the stylus contacts the first edge, and the second longitudinal contact position is a position when the stylus contacts the second edge.
A method according to any one of claims 1 to 3. 前記一方の側で前記スタイラスを前記ネジ溝に接触させるステップが、前記ネジ溝の前記溝底と前記ネジ溝の前記一方の側での第１エッジとの間の任意の中間位置において、前記スタイラスを前記ネジ溝に接触させるステップを含み、
前記他方の側で前記スタイラスを前記ネジ溝に接触させるステップが、前記スタイラスを前記中間位置に接触した状態から前記中心長手軸線と平行に前記他方の側に向かって移動させて、前記溝底よりも前記他方の側で前記スタイラスを前記ネジ溝に接触させるステップを含む、
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の方法。 The step of contacting the stylus with the thread groove on the one side includes contacting the stylus with the thread groove at any intermediate position between the groove bottom of the thread groove and a first edge of the thread groove on the one side. contacting the thread groove,
The step of bringing the stylus into contact with the thread groove on the other side includes moving the stylus from the state in contact with the intermediate position toward the other side in parallel with the central longitudinal axis, and from the bottom of the groove. contacting the stylus with the thread on the other side;
A method according to any one of claims 1 to 3. ボールネジのネジ軸またはナットに螺旋状に形成されたネジ溝の表面性状を測定するようにされた表面性状測定装置であって、
スタイラスと、
ボールネジのネジ軸またはナットを保持するようにされた保持部と、
前記スタイラスと前記保持部とを相対的に移動させるようにされた移動機構部と、
前記移動機構部を制御して前記スタイラスを前記保持部に保持された前記ネジ軸またはナットのネジ溝に沿って移動させながら、前記スタイラスの変位を検出して前記ネジ溝の表面性状の測定を行うようにする制御部と、
を備え、
前記制御部が、
前記ネジ軸またはナットの中心長手軸線に沿った縦断面上での前記ネジ溝の溝底に対する前記中心長手軸線の方向での一方の側で前記スタイラスを前記ネジ溝に接触させるように前記移動機構部を制御し、
前記一方の側で前記スタイラスが前記ネジ溝に接触したときの前記保持部に対する前記スタイラスの前記中心長手軸線の方向での位置を第１長手接触位置として取得し、
前記一方の側で前記スタイラスが前記ネジ溝に接触したときの前記保持部に対する前記スタイラスの前記中心長手軸線に垂直な方向での位置と同じ垂直位置で、前記溝底に対して前記一方の側とは反対の他方の側で前記スタイラスを前記ネジ溝に接触させるように前記移動機構部を制御し、
前記他方の側で前記スタイラスが前記ネジ溝に接触したときの前記保持部に対する前記スタイラスの前記中心長手軸線の方向での位置を第２長手接触位置として取得し、
前記第１長手接触位置と前記第２長手接触位置との中点位置を求めて、前記中点位置を基準として前記スタイラスによって表面性状を測定する前記ネジ溝の前記縦断面上での測定位置を決定する、
ようにされた、表面性状測定装置。 A surface texture measuring device adapted to measure the surface texture of a thread groove spirally formed in a ball screw shaft or nut, the device comprising:
A stylus and
a holding part configured to hold a screw shaft or nut of a ball screw;
a moving mechanism portion configured to relatively move the stylus and the holding portion;
While controlling the moving mechanism section to move the stylus along the thread groove of the screw shaft or nut held by the holding section, the displacement of the stylus is detected and the surface quality of the thread groove is measured. a control unit configured to perform the operations;
Equipped with
The control section,
the moving mechanism so as to bring the stylus into contact with the thread groove on one side in the direction of the center longitudinal axis with respect to the groove bottom of the thread groove on a longitudinal section along the center longitudinal axis of the screw shaft or nut; control the department;
obtaining the position of the stylus in the direction of the central longitudinal axis with respect to the holding part when the stylus contacts the thread groove on the one side as a first longitudinal contact position;
said one side with respect to said groove bottom at the same vertical position as the position of said stylus relative to said holding part in a direction perpendicular to said central longitudinal axis when said stylus contacts said thread groove on said one side; controlling the moving mechanism unit to bring the stylus into contact with the thread groove on the other side opposite to;
obtaining the position of the stylus in the direction of the central longitudinal axis with respect to the holding part when the stylus contacts the thread groove on the other side as a second longitudinal contact position;
A midpoint position between the first longitudinal contact position and the second longitudinal contact position is determined, and a measurement position on the longitudinal section of the thread groove at which the surface texture is to be measured with the stylus is determined using the midpoint position as a reference. decide,
This is a surface texture measuring device. 前記移動機構部が、前記保持部に保持された前記ネジ軸またはナットが前記中心長手軸線の周りで回転するように前記保持部を回転駆動する回転機構部と、前記スタイラスを少なくとも前記中心長手軸線の方向と前記中心長手軸線に垂直な方向とに移動させるようにされたスタイラス移動機構部と、を備え、
前記制御部が、
前記中点位置から前記一方の側または前記他方の側に所定のオフセット距離だけ離れたオフセット長手位置において前記スタイラスを前記中心長手軸線に垂直な方向で移動させて前記ネジ溝に接触させるように前記スタイラス移動機構部を制御し、
前記保持部を回転駆動しながら前記スタイラスを前記中心長手軸線に沿って移動させて前記スタイラスを前記ネジ溝に沿って移動させるように前記回転機構部と前記スタイラス移動機構部とを制御して、前記ネジ溝の表面性状を前記ネジ溝に沿って測定する、
ようにされた、請求項６に記載の表面性状測定装置。 The moving mechanism section includes a rotation mechanism section that rotationally drives the holding section so that the screw shaft or nut held by the holding section rotates around the central longitudinal axis, and a rotation mechanism section that rotates the stylus at least around the central longitudinal axis. and a stylus moving mechanism configured to move the stylus in the direction of and in the direction perpendicular to the central longitudinal axis,
The control section,
The stylus is moved in a direction perpendicular to the central longitudinal axis to contact the thread groove at an offset longitudinal position that is a predetermined offset distance away from the midpoint position to the one side or the other side. controls the stylus movement mechanism;
controlling the rotation mechanism section and the stylus movement mechanism section so as to move the stylus along the central longitudinal axis while rotationally driving the holding section to move the stylus along the thread groove; measuring the surface quality of the thread groove along the thread groove;
The surface texture measuring device according to claim 6, wherein the surface texture measuring device is configured as follows. 前記スタイラスの先端部分が、前記ネジ溝の前記測定位置に接触したときに前記ネジ溝の前記測定位置の表面に対して略垂直な方向となるように延びるようにされた、請求項６または７に記載の表面性状測定装置。 Claim 6 or 7, wherein the tip of the stylus extends in a direction substantially perpendicular to the surface of the thread groove at the measurement position when it comes into contact with the measurement position of the thread groove. The surface texture measuring device described in .
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