JP7432526B2 - オートサンプラーのコンテナの識別と汚染の監視 - Google Patents
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Description
研究室の環境において、多くの場合、多数のサンプルが分析される。オートサンプラーは、組成をテストするサンプルを収集して導入するためによく使用される。オートサンプラーを使用すると、通常、手動の準備方法と比較して、より多くのサンプルや他の溶液を準備してテストすることができる。サンプル準備プロセス中、サンプルの準備、標準の準備(例えば、1つ以上の検量線の作成)、サンプルへの標準スパイクの導入、さまざまな試薬の保持、サンプルの保持などに複数のコンテナが使用される。サンプル中の微量元素の濃度または量の測定により、サンプルの純度、または試薬、反応性成分などとして用いるためのサンプルの許容性の指標を提供することができる。例えば、特定の製造プロセス(例えば、鉱業、冶金、半導体製造、製薬処理など)では、不純物の許容範囲が非常に厳しく、例えば、10億分の1程度である。例えば、半導体プロセスでは、ウエハ洗浄用の超純水(UPW)、ウエハ乾燥用のイソプロピルアルコール(IPA)、過酸化水素(H2O2)、アンモニア溶液(NH4OH)などを含むが、これらに限定されない、プロセス化学物質中の不純物の検出下限を非常に低くすることが必要になる場合がある。そのようなプロセス化学物質中の超低濃度の不純物を検出できないと、そのような不純物を溶液からウエハ上に沈殿させるなどして、半導体ウエハを損なう可能性がある(例えば、溶液から不純物を沈殿させたり、不純物の濃縮器表面として機能するウエハなどのように、金属不純物または他の導電性有害物をウエハに堆積させること)。
図1は、本開示の例示的実施形態に係る自動サンプリング装置100を示す。自動サンプリング装置100は、テーブルトップ102およびサンプルアームアセンブリ104を含む。さらに、複数のサンプル容器108を保持するサンプルホルダー106が、サンプル検定(アッセイ)の準備をしてテーブルトップ102上に存在する。自動サンプリング装置100は、試験条件に応じて、与えられた時間内に1から数百のサンプル(例えば、図示の例示的実施形態では1200を超えるサンプル)を検定することができることを理解されたい。分析されるべきサンプルのサンプル識別の検証は、図20~図29Bを参照して説明する。
Claims (12)
- 自動化されたサンプリングまたは分注装置の識別システム用のコンテナであって、
流体を保持するように構成されたコンテナ本体と、
コンテナ本体内またはコンテナ本体の少なくとも一方に配置された、レーザマーキングされたコンテナ識別子と、
前記コンテナ本体によって画定される開口部を覆うように構成されたキャップと、
を備え、
前記コンテナ本体は、ペルフルオロアルコキシアルカン(PFA)で構成され、
前記コンテナ本体は、レーザマーキングされたコンテナ識別子を導入するための識別子受容領域を提供するように構成された処理済み部分を画定し、
前記処理済み部分は、前記識別子受容領域内の前記コンテナからある量の材料を除去することによって形成され、
前記キャップは、前記コンテナ本体内または前記コンテナ本体上の少なくとも一方に配置されたレーザマーキングされたコンテナ識別子とは異なる第2のレーザマーキングされたコンテナ識別子を含む、
コンテナ。 - 前記レーザマーキングされたコンテナ識別子は、バーコードまたはQRコードの少なくとも1つを含む、
請求項1に記載のコンテナ。 - 前記レーザマーキングされたコンテナ識別子は、紫外線レーザマーキングによって形成される、
請求項1に記載のコンテナ。 - 自動化されたサンプリングまたは分注装置の識別システムであって、
流体を保持するように構成されたコンテナ本体と、前記コンテナ本体内または前記コンテナ本体上の少なくとも一方に配置された、レーザマーキングされたコンテナ識別子と、前記コンテナ本体によって画定される開口部を覆うように構成されたキャップと、を含む、コンテナと、
レーザマーキングされたコンテナ識別子を検出し、それに応答して、前記コンテナの固有の識別情報に対応するデータ信号を生成するように構成された少なくとも1つの識別子取得装置と、
を備え、
前記コンテナ本体は、ペルフルオロアルコキシアルカン(PFA)で構成され、
前記コンテナは、レーザマーキングされたコンテナ識別子を導入するための識別子受容領域を提供するように構成された処理済み部分を画定し、
前記処理済み部分は、前記識別子受容領域内の前記コンテナからある量の材料を除去することによって形成され、
前記キャップは、前記コンテナ本体内または前記コンテナ本体上の少なくとも一方に配置されたレーザマーキングされたコンテナ識別子とは異なる第2のレーザマーキングされたコンテナ識別子を含む、
識別システム。 - 前記少なくとも1つの識別子取得装置は、偏光レンズを含む、
請求項4に記載の識別システム。 - 前記少なくとも1つの識別子取得装置は、撮像装置および光源を含む、
請求項4に記載の識別システム。 - 前記レーザマーキングされたコンテナ識別子は、紫外線レーザマーキングによって形成される、
請求項4に記載の識別システム。 - 前記レーザマーキングされたコンテナ識別子は、バーコードまたはQRコードの少なくとも1つを含む、
請求項4に記載の識別システム。 - 流体を保持するように構成されたコンテナ本体と、前記コンテナ本体内または前記コンテナ本体上の少なくとも一方に配置された、レーザマーキングされたコンテナ識別子と、前記コンテナ本体によって画定される開口部を覆うように構成されたキャップと、を含む、コンテナと、
リンス液を前記コンテナに導入するように構成されたリンスチャンバと、
前記リンス液の少なくとも一部を受け取り、前記リンス液の汚染レベルを測定するように構成された分析システムと、を備え、
前記分析システムは、汚染レベルを前記レーザマーキングされたコンテナ識別子に関連付けるように構成され、
前記コンテナ本体は、ペルフルオロアルコキシアルカン(PFA)で構成され、
前記キャップは、前記コンテナ本体内または前記コンテナ本体上の少なくとも一方に配置されたレーザマーキングされたコンテナ識別子とは異なる第2のレーザマーキングされたコンテナ識別子を含み、
前記リンスチャンバは、前記キャップに起因する第2リンス液で前記キャップを個別に洗浄するように構成され、
前記分析システムは、前記第2リンス液の少なくとも一部を受け取り、前記第2リンス液中の汚染レベルを測定するように構成され、
前記分析システムは、汚染レベルを第2のレーザマーキングされたコンテナ識別子に関連付けるように構成されている、
自動洗浄システム。 - 前記分析システムは、最初に実行された第1の微量元素分析の結果の第1セットを、2回目に実行された第2の微量元素分析の結果の第2セットと比較して、コンテナに関連する汚染レベルを経時的に追跡するように構成されている、
請求項9に記載の自動洗浄システム。 - 前記分析システムは、汚染レベル閾値を超えたときに警告を生成するように構成されている、
請求項9に記載の自動洗浄システム。 - 前記レーザマーキングされたコンテナ識別子は、バーコードまたはQRコードの少なくとも1つを含む、
請求項9に記載の自動洗浄システム。
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