JP7428950B1 - How to measure the number of particles generated from fluororesin tubes - Google Patents
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Abstract
【課題】フッ素樹脂チューブの内面の清浄度を正確に評価することができるパーティクル数の測定方法を提供すること。【解決手段】フッ素樹脂チューブから溶媒中に放出されるパーティクル数を測定する測定方法であって、前記フッ素樹脂チューブ内に溶媒を流すことにより、前記フッ素樹脂チューブの内面を洗浄し、前記フッ素樹脂チューブ内に前記溶媒を満たし、前記フッ素樹脂チューブ内に前記溶媒を満たした状態で前記フッ素樹脂チューブを放置し、前記フッ素樹脂チューブ内に再び前記溶媒を流し、前記フッ素樹脂チューブから前記溶媒中に放出されるパーティクル数を測定する測定方法を提供する。【選択図】 図1An object of the present invention is to provide a method for measuring the number of particles that can accurately evaluate the cleanliness of the inner surface of a fluororesin tube. [Solution] A measurement method for measuring the number of particles released into a solvent from a fluororesin tube, in which the inner surface of the fluororesin tube is cleaned by flowing a solvent into the fluororesin tube, and the fluororesin Fill the tube with the solvent, leave the fluororesin tube with the fluororesin tube filled with the solvent, flow the solvent into the fluororesin tube again, and pour the solvent from the fluororesin tube into the solvent. A measurement method is provided for measuring the number of particles emitted. [Selection diagram] Figure 1
Description
本開示は、フッ素樹脂チューブから発生するパーティクル数の測定方法に関する。 The present disclosure relates to a method for measuring the number of particles generated from a fluororesin tube.
特許文献1には、ふっ素樹脂またはふっ素樹脂をベースとする樹脂混和物を溶融押し出してチューブ状に成形するふっ素樹脂チューブの製造方法において、チューブ成形後、または成形中クリーンエアをチューブ中に流し、チューブ内のパーティクルをパージ処理することを特徴とするパーティクル低減ふっ素樹脂チューブの製造方法が記載されている。 Patent Document 1 describes a method for manufacturing a fluororesin tube in which a fluororesin or a resin mixture based on a fluororesin is melt-extruded and formed into a tube shape, in which clean air is flowed into the tube after or during tube formation; A method for manufacturing a particle-reduced fluororesin tube is described, which is characterized by carrying out a purging process to remove particles within the tube.
本開示では、フッ素樹脂チューブの内面の清浄度を正確に評価することができるパーティクル数の測定方法を提供することを目的とする。 The present disclosure aims to provide a method for measuring the number of particles that can accurately evaluate the cleanliness of the inner surface of a fluororesin tube.
本開示によれば、フッ素樹脂チューブから溶媒中に放出されるパーティクル数を測定する測定方法であって、前記フッ素樹脂チューブ内に溶媒を流すことにより、前記フッ素樹脂チューブの内面を洗浄し、前記フッ素樹脂チューブ内に前記溶媒を満たし、前記フッ素樹脂チューブ内に前記溶媒を満たした状態で前記フッ素樹脂チューブを放置し、前記フッ素樹脂チューブ内に再び前記溶媒を流し、前記フッ素樹脂チューブから前記溶媒中に放出されるパーティクル数を測定する測定方法が提供される。 According to the present disclosure, there is provided a measuring method for measuring the number of particles released into a solvent from a fluororesin tube, the inner surface of the fluororesin tube being washed by flowing a solvent into the fluororesin tube, and the Fill the fluororesin tube with the solvent, leave the fluororesin tube with the solvent filled in the fluororesin tube, flow the solvent into the fluororesin tube again, and remove the solvent from the fluororesin tube. A measurement method is provided for measuring the number of particles emitted into the air.
本開示によれば、フッ素樹脂チューブの内面の清浄度を正確に評価することができるパーティクル数の測定方法を提供することができる。 According to the present disclosure, it is possible to provide a method for measuring the number of particles that can accurately evaluate the cleanliness of the inner surface of a fluororesin tube.
以下、本開示の具体的な実施形態について詳細に説明するが、本開示は、以下の実施形態に限定されるものではない。 Hereinafter, specific embodiments of the present disclosure will be described in detail, but the present disclosure is not limited to the following embodiments.
フッ素樹脂チューブから溶媒中に放出されるパーティクル数の測定方法として、特許文献1には、超純水を流量3.8l/minで供試体チューブ内に循環させ、その超純水を連続的にパーティクル用カウンターにより測定したことが記載されている。このような従来の方法を用いても、フッ素樹脂チューブの内面の清浄度をある程度は把握することができる。しかしながら、従来の方法で高い清浄度が確認できたチューブを実際に半導体製造設備に設置すると、意外にも、フッ素樹脂チューブから溶媒中にパーティクルが放出されていることが確認されることがあり、半導体製造の歩留まりを低下させることがあった。 As a method for measuring the number of particles released into a solvent from a fluororesin tube, Patent Document 1 describes a method in which ultrapure water is circulated through a specimen tube at a flow rate of 3.8 l/min, and the ultrapure water is continuously It is stated that it was measured using a particle counter. Even by using such a conventional method, it is possible to grasp the cleanliness of the inner surface of the fluororesin tube to some extent. However, when tubes that have been confirmed to have a high level of cleanliness using conventional methods are actually installed in semiconductor manufacturing equipment, unexpected particles may be found to be emitted from the fluororesin tubes into the solvent. The yield rate of semiconductor manufacturing may be lowered.
したがって、半導体製造設備に設置する前に、フッ素樹脂チューブの内面の清浄度を正確に評価することができるパーティクル数の測定方法が求められている。 Therefore, there is a need for a method for measuring the number of particles that can accurately evaluate the cleanliness of the inner surface of a fluororesin tube before it is installed in semiconductor manufacturing equipment.
本開示の測定方法においては、フッ素樹脂チューブから溶媒中に放出されるパーティクル数を測定するために、あらかじめ、フッ素樹脂チューブ内を溶媒で洗浄し、洗浄したチューブ内に溶媒を一定の時間滞留させ、その後にフッ素樹脂チューブから溶媒中に放出されるパーティクル数を測定する。 In the measurement method of the present disclosure, in order to measure the number of particles released into the solvent from the fluororesin tube, the inside of the fluororesin tube is cleaned with a solvent in advance, and the solvent is allowed to stay in the cleaned tube for a certain period of time. Then, the number of particles released from the fluororesin tube into the solvent is measured.
本開示の測定方法は、上記の構成を有することから、従来の測定方法よりも、チューブ内面の清浄度をより正確に把握することができる。したがって、本開示の測定方法を用いることにより、従来の測定方法を用いた場合には清浄度が同等とされる2つのチューブであっても、2つのチューブの清浄度の高低を把握することができることがあり、しかも、清浄度の高低を、半導体製造設備にチューブを設置する前に把握することができるので、半導体製造における歩留まりを高めることができる。 Since the measuring method of the present disclosure has the above-described configuration, it is possible to grasp the cleanliness of the inner surface of the tube more accurately than the conventional measuring method. Therefore, by using the measurement method of the present disclosure, it is possible to understand the level of cleanliness of two tubes, even if the two tubes have the same cleanliness when using a conventional measurement method. In addition, since the level of cleanliness can be determined before installing the tube in semiconductor manufacturing equipment, the yield rate in semiconductor manufacturing can be increased.
次に、本開示の測定方法について、詳細に説明する。 Next, the measurement method of the present disclosure will be explained in detail.
本開示の測定方法は、フッ素樹脂チューブから溶媒中に放出されるパーティクル数を測定する測定方法である。本開示の測定方法は、主に3つの工程を含んでいる。すなわち、本開示の測定方法においては、
フッ素樹脂チューブ内に溶媒を流すことにより、フッ素樹脂チューブの内面を洗浄し(洗浄工程)、
フッ素樹脂チューブ内に溶媒を満たし、フッ素樹脂チューブ内に溶媒を満たした状態でフッ素樹脂チューブを放置し(溶媒滞留工程)、
フッ素樹脂チューブ内に再度溶媒を流し、フッ素樹脂チューブから溶媒中に放出されるパーティクル数を測定する(測定工程)。
The measurement method of the present disclosure is a measurement method that measures the number of particles released from a fluororesin tube into a solvent. The measurement method of the present disclosure mainly includes three steps. That is, in the measurement method of the present disclosure,
By flowing a solvent into the fluororesin tube, the inner surface of the fluororesin tube is cleaned (cleaning process).
Fill the fluororesin tube with a solvent, leave the fluororesin tube with the solvent filled in the fluororesin tube (solvent retention process),
The solvent is poured into the fluororesin tube again, and the number of particles released from the fluororesin tube into the solvent is measured (measurement step).
洗浄工程においては、フッ素樹脂チューブ内に溶媒を流すことにより、フッ素樹脂チューブの内面を洗浄する。 In the cleaning step, the inner surface of the fluororesin tube is cleaned by flowing a solvent into the fluororesin tube.
洗浄工程において、フッ素樹脂チューブの内面を洗浄するために流す溶媒の流速は、好ましくは5~50mL/分であり、より好ましくは10mL/分以上であり、より好ましくは20mL/分以下である。 In the cleaning step, the flow rate of the solvent flowing to clean the inner surface of the fluororesin tube is preferably 5 to 50 mL/min, more preferably 10 mL/min or more, and more preferably 20 mL/min or less.
洗浄工程において、フッ素樹脂チューブの内面を洗浄するために流す溶媒の流量は、フッ素樹脂チューブの内面の全てを十分に洗浄することができ、かつ、フッ素樹脂チューブの内面から放出されるパーティクル数が十分に減少する量であることが好ましい。 In the cleaning process, the flow rate of the solvent flowed to clean the inner surface of the fluororesin tube is such that it can sufficiently clean all of the inner surface of the fluororesin tube, and the number of particles released from the inner surface of the fluororesin tube is reduced. It is preferable that the amount is sufficiently reduced.
洗浄工程の一実施形態においては、フッ素樹脂チューブの内面の洗浄を、溶媒中に放出されるパーティクル数を測定しながら行い、横軸に洗浄時間、縦軸にパーティクル数をプロットしたグラフを描き、測定されるパーティクル数が、グラフの曲線のピーク高さの1/3に相当する高さまで減少した時点より後に、フッ素樹脂チューブの内面の洗浄を終了することができる。また、洗浄工程の一実施形態においては、グラフの曲線がほぼフラットになった後に、すなわち、測定されるパーティクル数の減少がほとんど観測されなくなった後に、フッ素樹脂チューブの内面の洗浄を終了することができる。 In one embodiment of the cleaning process, the inner surface of the fluororesin tube is cleaned while measuring the number of particles released into the solvent, and a graph is drawn in which the cleaning time is plotted on the horizontal axis and the number of particles is plotted on the vertical axis. Cleaning of the inner surface of the fluororesin tube can be completed after the measured number of particles has decreased to a height corresponding to 1/3 of the peak height of the curve in the graph. Further, in one embodiment of the cleaning process, cleaning of the inner surface of the fluororesin tube is finished after the curve of the graph becomes almost flat, that is, after almost no decrease in the number of measured particles is observed. Can be done.
洗浄工程において、フッ素樹脂チューブの内面を洗浄するために流す溶媒の流量は、フッ素樹脂チューブの内容積に対して、好ましくは10~200倍量であり、より好ましくは100倍量以下であり、さらに好ましくは50倍量以下であり、尚さらに好ましくは18倍量以下である。 In the cleaning step, the flow rate of the solvent flowed to clean the inner surface of the fluororesin tube is preferably 10 to 200 times the internal volume of the fluororesin tube, more preferably 100 times or less, More preferably, the amount is 50 times or less, and still more preferably 18 times or less.
フッ素樹脂チューブの内面の洗浄は、常温(たとえば10~30℃)で行うことができる。フッ素樹脂チューブに供給する溶媒の温度は、常温(たとえば10~30℃)であってよい。 The inner surface of the fluororesin tube can be cleaned at room temperature (for example, 10 to 30°C). The temperature of the solvent supplied to the fluororesin tube may be room temperature (for example, 10 to 30°C).
フッ素樹脂チューブの内面の洗浄は、フッ素樹脂チューブ内への溶媒の供給を停止することにより、終了することができる。また、上記の方法により、フッ素樹脂チューブの内面から放出されるパーティクル数が十分に減少したことを確認した後、フッ素樹脂チューブ内への溶媒の供給を停止することなく、次の溶媒滞留工程を実施してもよい。また、フッ素樹脂チューブの内面の洗浄が終了した後、フッ素樹脂チューブ内から溶媒を除去してから、次の溶媒滞留工程を実施してもよいし、溶媒をフッ素樹脂チューブ内に留めた状態で、次の溶媒滞留工程を実施してもよい。 Cleaning of the inner surface of the fluororesin tube can be completed by stopping the supply of the solvent into the fluororesin tube. In addition, after confirming that the number of particles emitted from the inner surface of the fluororesin tube has been sufficiently reduced by the above method, the next solvent retention step can be carried out without stopping the supply of solvent into the fluororesin tube. May be implemented. Furthermore, after cleaning the inner surface of the fluororesin tube, the next solvent retention step may be carried out after removing the solvent from inside the fluororesin tube, or the solvent may be left inside the fluororesin tube. , the following solvent retention step may be performed.
洗浄工程の次に、溶媒滞留工程を実施する。溶媒滞留工程においては、フッ素樹脂チューブ内に溶媒を満たし、フッ素樹脂チューブ内に溶媒を満たした状態でフッ素樹脂チューブを放置する。溶媒滞留工程の一実施形態においては、フッ素樹脂チューブ内の溶媒の流速は、0mL/分である。 Following the washing step, a solvent retention step is performed. In the solvent retention step, the fluororesin tube is filled with a solvent, and the fluororesin tube is left to stand in a state where the fluororesin tube is filled with the solvent. In one embodiment of the solvent residence step, the flow rate of the solvent within the fluororesin tube is 0 mL/min.
フッ素樹脂チューブ内に溶媒を満たす方法は、特に限定されず、フッ素樹脂チューブの内面の全てが溶媒に接するようにフッ素樹脂チューブ内に溶媒が満たされる方法であればよい。一実施形態においては、フッ素樹脂チューブの内面の全てが溶媒に接する流量で、フッ素樹脂チューブの内面の洗浄することにより洗浄工程を実施し、洗浄が終了した後、フッ素樹脂チューブ内への溶媒の供給を停止し、フッ素樹脂チューブ内に溶媒を満たした状態を一定時間保つことにより、溶媒滞留工程を実施する。 The method of filling the fluororesin tube with the solvent is not particularly limited, and any method may be used as long as the fluororesin tube is filled with the solvent so that the entire inner surface of the fluororesin tube is in contact with the solvent. In one embodiment, the cleaning step is performed by cleaning the inside surface of the fluoropolymer tube at a flow rate that brings all of the interior surfaces of the fluoropolymer tube into contact with the solvent, and after the cleaning is completed, the solvent is introduced into the fluoropolymer tube. The solvent retention step is carried out by stopping the supply and keeping the fluororesin tube filled with the solvent for a certain period of time.
測定の精度を高める観点から、溶媒を満たしたフッ素樹脂チューブを放置する時間は、好ましくは10分間以上であり、より好ましくは20分間以上であり、さらに好ましくは2時間以上であり、尚さらに好ましくは4時間以上であり、特に好ましくは6時間以上であり、上限は特に限定されないが、測定の効率を考慮して、24時間以下とすることができる。 From the viewpoint of improving measurement accuracy, the time for which the fluororesin tube filled with the solvent is left is preferably 10 minutes or more, more preferably 20 minutes or more, still more preferably 2 hours or more, and even more preferably is 4 hours or more, particularly preferably 6 hours or more, and although the upper limit is not particularly limited, it can be 24 hours or less in consideration of measurement efficiency.
溶媒を満たしたフッ素樹脂チューブを放置する温度は、常温(たとえば10~30℃)であってよい。フッ素樹脂チューブに滞留させる溶媒の温度は、常温(たとえば10~30℃)であってよい。測定の精度を高める観点から、溶媒を満たしたフッ素樹脂チューブに対して、熱および圧力を負荷することなく、溶媒を満たしたフッ素樹脂チューブを放置することが好ましい。また、測定の精度を高める観点から、溶媒を満たしたフッ素樹脂チューブを振動させることなく、溶媒を満たしたフッ素樹脂チューブを放置することが好ましい。 The temperature at which the fluororesin tube filled with the solvent is left may be room temperature (for example, 10 to 30° C.). The temperature of the solvent retained in the fluororesin tube may be room temperature (for example, 10 to 30°C). From the viewpoint of increasing measurement accuracy, it is preferable to leave the fluororesin tube filled with the solvent without applying heat and pressure to the fluororesin tube filled with the solvent. Further, from the viewpoint of improving measurement accuracy, it is preferable to leave the fluororesin tube filled with the solvent alone without vibrating the fluororesin tube filled with the solvent.
溶媒滞留工程を実施した後、フッ素樹脂チューブ内に再度溶媒を流し、フッ素樹脂チューブから溶媒中に放出されるパーティクル数を測定する(測定工程)。洗浄工程においてフッ素樹脂チューブから溶媒中に放出されるパーティクル数の減少がほとんど観測されなくなったことが確認された場合でも、フッ素樹脂チューブの内面を洗浄した後、フッ素樹脂チューブ内に溶媒を滞留させると、洗浄工程の終了時に確認されたパーティクル数よりも多いパーティクル数が測定されることがある。そして、このようにして測定されるパーティクル数は、従来の方法で測定されるパーティクル数よりも、フッ素樹脂チューブの内面の清浄度を正確に反映したものであることが今や判明した。 After carrying out the solvent retention step, the solvent is flowed into the fluororesin tube again, and the number of particles released from the fluororesin tube into the solvent is measured (measurement step). Even if it is confirmed that the number of particles emitted from the fluororesin tube into the solvent has almost no longer decreased during the cleaning process, the solvent should remain in the fluororesin tube after cleaning the inner surface of the fluororesin tube. In this case, a larger number of particles may be measured than the number of particles observed at the end of the cleaning process. It has now been found that the number of particles measured in this manner more accurately reflects the cleanliness of the inner surface of the fluororesin tube than the number of particles measured using conventional methods.
測定工程において、フッ素樹脂チューブから溶媒中に放出されるパーティクル数を測定するために流す溶媒の流速は、好ましくは10~500mL/分であり、より好ましくは100mL/分以上であり、より好ましくは300mL/分以下である。 In the measurement step, the flow rate of the solvent flowing to measure the number of particles released from the fluororesin tube into the solvent is preferably 10 to 500 mL/min, more preferably 100 mL/min or more, and more preferably It is 300 mL/min or less.
パーティクル数の測定は、常温(たとえば10~30℃)で行うことができる。 The number of particles can be measured at room temperature (for example, 10 to 30° C.).
パーティクル数の測定には、市販のパーティクルカウンターを用いることができる。測定するパーティクルの直径は、50nm以上、30nm以上、または、20nm以上であってよい。 A commercially available particle counter can be used to measure the number of particles. The diameter of the particles to be measured may be 50 nm or more, 30 nm or more, or 20 nm or more.
パーティクル数は、たとえば、パーティクル数の減少がほとんど観測されなくなった時に終了し、終了までに測定されたパーティクル数を積算することにより、算出することができる。測定方法および積算方法を定めておくことによって、2以上のフッ素樹脂チューブの内面の清浄度を正確に比較できるようになる。 The number of particles can be calculated by, for example, ending when a decrease in the number of particles is hardly observed, and adding up the number of particles measured until the end. By determining the measurement method and integration method, it becomes possible to accurately compare the cleanliness of the inner surfaces of two or more fluororesin tubes.
測定方法の一実施形態においては、
パーティクル測定ラインを洗浄した後、パーティクルカウンターの上流側に、測定対象であるフッ素樹脂チューブを設置し、
パーティクルカウンターを用いて、フッ素樹脂チューブの内面の洗浄に用いた溶媒中のパーティクル数を測定しながら、フッ素樹脂チューブ内に溶媒を流すことによりフッ素樹脂チューブの内面を洗浄し、
フッ素樹脂チューブの内面の洗浄に用いた溶媒中のパーティクル数がほとんど減少しなくなったことを確認し、
フッ素樹脂チューブ内への溶媒の供給を停止し、フッ素樹脂チューブ内に溶媒を満たした状態でフッ素樹脂チューブを10分間以上放置し、
フッ素樹脂チューブ内への溶媒の供給を再開し、パーティクルカウンターを用いて、フッ素樹脂チューブ内を通過させた溶媒中のパーティクル数を測定する。
In one embodiment of the measurement method,
After cleaning the particle measurement line, install the fluororesin tube to be measured upstream of the particle counter.
Clean the inner surface of the fluororesin tube by flowing the solvent into the fluororesin tube while measuring the number of particles in the solvent used to clean the inner surface of the fluororesin tube using a particle counter.
We confirmed that the number of particles in the solvent used to clean the inner surface of the fluororesin tube had hardly decreased.
Stop the supply of solvent into the fluororesin tube, leave the fluororesin tube for at least 10 minutes with the solvent filled in the fluororesin tube,
Restart the supply of the solvent into the fluororesin tube, and use a particle counter to measure the number of particles in the solvent that has passed through the fluororesin tube.
本開示の測定方法の各工程において用いる溶媒は、同一であってもよいし、異なっていてもよいが、測定が容易になる観点からは、同一の溶媒を用いることが好ましい。 The solvents used in each step of the measurement method of the present disclosure may be the same or different, but from the viewpoint of facilitating measurement, it is preferable to use the same solvent.
溶媒の溶解度パラメータは、好ましくは14~35(MPa)1/2であり、より好ましくは16(MPa)1/2以上であり、さらに好ましくは17(MPa)1/2以上であり、より好ましくは25(MPa)1/2以下であり、さらに好ましくは20(MPa)1/2以下である。フッ素樹脂チューブの内面に付着するパーティクルには、チューブの製造工程において溶融したフッ素樹脂から発生するポリマーヒュームに由来するパーティクルが含まれると推測される。溶解度パラメータが上記の範囲内にある溶媒は、フッ素樹脂から発生するポリマーヒュームに由来するパーティクルを溶解させにくいので、溶解度パラメータが上記の範囲内にある溶媒を用いることにより、パーティクル数を一層正確に測定できるものと推測される。 The solubility parameter of the solvent is preferably 14 to 35 (MPa) 1/2 , more preferably 16 (MPa) 1/2 or more, still more preferably 17 (MPa) 1/2 or more, and more preferably is 25 (MPa) 1/2 or less, more preferably 20 (MPa) 1/2 or less. It is presumed that the particles adhering to the inner surface of the fluororesin tube include particles derived from polymer fume generated from the molten fluororesin during the tube manufacturing process. Solvents with solubility parameters within the above ranges are difficult to dissolve particles derived from polymer fumes generated from fluororesins, so by using solvents with solubility parameters within the above ranges, the number of particles can be determined more accurately. It is assumed that it can be measured.
溶媒としては、たとえば、n-ヘキサン(14.9)、n-ヘプタン(15.1)、ジエチルエーテル(15.1)、ジイソブチルケトン(16.0)、ジイソプロピルケトン(16.4)、エチルアミルケトン(16.8)、シクロヘキサン(16.8)、酢酸ブチル(17.0)、シクロペンタン(17.8)、イソプロピルアルコール(18.0)、酢酸エチル(18.6)、アセトン(20.3)、ジオキサン(20.5)、アセトアルデヒド(21.1)、アミルアルコール(22.3)、シクロヘキサノール(23.3)、n-プロピルアルコール(24.5)、エチルアルコール(26)、エチレングリコール(29.9)などが挙げられる。括弧内の数値は、溶媒の溶解度パラメータ((MPa)1/2)である。 Examples of the solvent include n-hexane (14.9), n-heptane (15.1), diethyl ether (15.1), diisobutyl ketone (16.0), diisopropyl ketone (16.4), and ethyl amyl. Ketone (16.8), cyclohexane (16.8), butyl acetate (17.0), cyclopentane (17.8), isopropyl alcohol (18.0), ethyl acetate (18.6), acetone (20. 3), dioxane (20.5), acetaldehyde (21.1), amyl alcohol (22.3), cyclohexanol (23.3), n-propyl alcohol (24.5), ethyl alcohol (26), ethylene Examples include glycol (29.9). The numerical value in parentheses is the solubility parameter ((MPa) 1/2 ) of the solvent.
溶解度パラメータについては、次の文献に詳述されている。
中西浩一郎、“溶解度パラメータ”、熱測定、日本熱測定学会、第9巻、第2号、第61-68頁、1982年
溶剤の溶解度パラメータは、たとえば、次のウェブサイトに記載の数値を採用できる。
“プラスチック素材辞典 可塑剤や溶剤の溶解-溶解度パラメータ数値順”、[online]、[令和4年8月30日検索]、インターネット<URL:https://www.plastics-material.com/%E5%8F%AF%E5%A1%91%E5%89%A4%E3%82%84%E6%BA%B6%E5%89%A4%E3%81%AE%E6%BA%B6%E8%A7%A3-%E6%BA%B6%E8%A7%A3%E5%BA%A6%E3%83%91%E3%83%A9%E3%83%A1%E3%83%BC%E3%82%BF%E6%95%B0%E5%80%A4%E9%A0%86/>
The solubility parameters are detailed in the following literature:
Koichiro Nakanishi, “Solubility Parameter”, Heat Measurement, Japanese Society of Thermometry, Vol. 9, No. 2, pp. 61-68, 1982. For the solubility parameter of the solvent, for example, the values listed on the following website are adopted. can.
“Plastic Materials Dictionary Dissolution of Plasticizers and Solvents - Solubility Parameter Numerical Order”, [online], [Retrieved August 30, 2020], Internet <URL: https://www.plastics-material.com/% E5%8F%AF%E5%A1%91%E5%89%A4%E3%82%84%E6%BA%B6%E5%89%A4%E3%81%AE%E6%BA%B6%E8% A7%A3-%E6%BA%B6%E8%A7%A3%E5%BA%A6%E3%83%91%E3%83%A9%E3%83%A1%E3%83%BC%E3%82 %BF%E6%95%B0%E5%80%A4%E9%A0%86/>
溶媒としては、イソプロピルアルコールおよびエチレングリコールからなる群より選択される少なくとも1種が好ましく、イソプロピルアルコールがより好ましい。 The solvent is preferably at least one selected from the group consisting of isopropyl alcohol and ethylene glycol, and isopropyl alcohol is more preferred.
溶媒は、フッ素樹脂チューブに供給する前に、フィルターを用いて濾過しておくことが好ましい。濾過には、たとえば、濾過精度が30nm以下のフィルターを用いることができる。あらかじめ溶媒を濾過しておくことによって、濾過精度以上の直径を有するパーティクルの数を、一層正確に測定することができるようになる。 The solvent is preferably filtered using a filter before being supplied to the fluororesin tube. For example, a filter with a filtration accuracy of 30 nm or less can be used for filtration. By filtering the solvent in advance, it becomes possible to more accurately measure the number of particles having a diameter greater than the filtration accuracy.
本開示の測定方法には、たとえば、10cm~100mの長さを有するフッ素樹脂チューブを用いることができる。フッ素樹脂チューブの内径は、たとえば、2~23mmである。 For example, a fluororesin tube having a length of 10 cm to 100 m can be used in the measurement method of the present disclosure. The inner diameter of the fluororesin tube is, for example, 2 to 23 mm.
本開示の測定方法に用いるチューブは、フッ素樹脂から形成される。フッ素樹脂としては、溶融加工性を有するフッ素樹脂が好ましい。本開示において、溶融加工性とは、押出機および射出成形機などの従来の加工機器を用いて、ポリマーを溶融して加工することが可能であることを意味する。従って、溶融加工性のフッ素樹脂は、後述する測定方法により測定されるメルトフローレートが0.01~500g/10分であることが通常である。 The tube used in the measurement method of the present disclosure is formed from a fluororesin. As the fluororesin, a fluororesin having melt processability is preferred. In this disclosure, melt processable means that the polymer can be melted and processed using conventional processing equipment such as extruders and injection molding machines. Therefore, melt-processable fluororesins usually have a melt flow rate of 0.01 to 500 g/10 minutes as measured by the measuring method described below.
フッ素樹脂のメルトフローレート(MFR)は、好ましくは0.5~100g/10分であり、より好ましくは1~50g/10分であり、さらに好ましくは2~40g/10分である。 The melt flow rate (MFR) of the fluororesin is preferably 0.5 to 100 g/10 minutes, more preferably 1 to 50 g/10 minutes, and still more preferably 2 to 40 g/10 minutes.
MFRは、ASTM D-1238に準拠して、直径2.1mmで長さが8mmのダイにて、荷重5kg、フッ素樹脂の一般的な成形温度である約230~400℃の範囲の任意の温度(たとえば、372℃)で測定する。 MFR is based on ASTM D-1238, using a die with a diameter of 2.1 mm and a length of 8 mm, a load of 5 kg, and any temperature within the range of approximately 230 to 400 °C, which is the general molding temperature for fluororesin. (for example, 372°C).
フッ素樹脂の融点は、特に限定されないが、好ましくは100~324℃であり、より好ましくは220~315℃である。上記融点は、示差走査熱量計〔DSC〕を用いて10℃/分の速度で昇温したときの融解熱曲線における極大値に対応する温度である。 The melting point of the fluororesin is not particularly limited, but is preferably 100 to 324°C, more preferably 220 to 315°C. The above melting point is the temperature corresponding to the maximum value in the heat of fusion curve when the temperature is raised at a rate of 10° C./min using a differential scanning calorimeter (DSC).
フッ素樹脂としては、たとえば、テトラフルオロエチレン/フルオロアルキルビニルエーテル共重合体、テトラフルオロエチレン(TFE)/ヘキサフルオロプロピレン(HFP)共重合体、TFE/エチレン共重合体〔ETFE〕、TFE/エチレン/HFP共重合体、エチレン/クロロトリフルオロエチレン(CTFE)共重合体〔ECTFE〕、ポリクロロトリフルオロエチレン〔PCTFE〕、CTFE/TFE共重合体、ポリビニリデンフルオライド〔PVdF〕、TFE/ビニリデンフルオライド(VdF)共重合体〔VT〕、ポリビニルフルオライド〔PVF〕、TFE/VdF/CTFE共重合体〔VTC〕、TFE/HFP/VdF共重合体などが挙げられる。 Examples of the fluororesin include tetrafluoroethylene/fluoroalkyl vinyl ether copolymer, tetrafluoroethylene (TFE)/hexafluoropropylene (HFP) copolymer, TFE/ethylene copolymer [ETFE], TFE/ethylene/HFP copolymer, ethylene/chlorotrifluoroethylene (CTFE) copolymer [ECTFE], polychlorotrifluoroethylene [PCTFE], CTFE/TFE copolymer, polyvinylidene fluoride [PVdF], TFE/vinylidene fluoride ( VdF) copolymer [VT], polyvinyl fluoride [PVF], TFE/VdF/CTFE copolymer [VTC], TFE/HFP/VdF copolymer, and the like.
フッ素樹脂としては、なかでも、テトラフルオロエチレン/フルオロアルキルビニルエーテル共重合体、および、テトラフルオロエチレン/ヘキサフルオロプロピレン共重合体からなる群より選択される少なくとも1種が好ましい。 As the fluororesin, at least one selected from the group consisting of tetrafluoroethylene/fluoroalkyl vinyl ether copolymer and tetrafluoroethylene/hexafluoropropylene copolymer is particularly preferred.
次に、図面を参照して、本開示の測定方法を実施するためのシステムについて説明する。図1は、本開示のシステムの実施の形態の一例を示す系統図である。図1に示すように、本開示の一実施形態のシステム1は、溶媒容器11、フィルター14、パーティクルカウンター17を備えている。
Next, a system for implementing the measurement method of the present disclosure will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a system diagram showing an example of an embodiment of the system of the present disclosure. As shown in FIG. 1, a system 1 according to an embodiment of the present disclosure includes a
溶媒容器11中には、溶媒が収容されており、ポンプ12、バルブ13およびフィルター14を介して継手15に接続されている。継手15および継手16は、測定対象であるフッ素樹脂チューブ21を接続できるように構成されている。溶媒容器11中の溶媒は、ポンプ12により、フィルター14を通過し、継手15および継手16に接続されたフッ素樹脂チューブ21に供給される。フッ素樹脂チューブ21を通過した溶媒の一部または全部は、パーティクルカウンター17に導入され、溶媒中のパーティクル数が測定される。
A solvent is contained in the
図1に示すシステム1においては、パーティクルカウンター17の下流側に流量計18が設置されており、流量計18(流量調整バルブを備えた流量計)により、パーティクルカウンター17に導入される溶媒の流量が調整される。パーティクルカウンター17に導入されなかった残りの溶媒は、流量計19(流量調整バルブを備えた流量計)により流量が調整され、流量計19を介して外部に排出される。
In the system 1 shown in FIG. 1, a
以上、実施形態を説明したが、特許請求の範囲の趣旨および範囲から逸脱することなく、形態や詳細の多様な変更が可能なことが理解されるであろう。 Although the embodiments have been described above, it will be understood that various changes in form and details can be made without departing from the spirit and scope of the claims.
<1> 本開示の第1の観点によれば、
フッ素樹脂チューブから溶媒中に放出されるパーティクル数を測定する測定方法であって、
前記フッ素樹脂チューブ内に溶媒を流すことにより、前記フッ素樹脂チューブの内面を洗浄し、
前記フッ素樹脂チューブ内に前記溶媒を満たし、前記フッ素樹脂チューブ内に前記溶媒を満たした状態で前記フッ素樹脂チューブを放置し、
前記フッ素樹脂チューブ内に再び前記溶媒を流し、前記フッ素樹脂チューブから前記溶媒中に放出されるパーティクル数を測定する測定方法が提供される。
<2> 本開示の第2の観点によれば、
前記フッ素樹脂チューブの内面を洗浄するために流す前記溶媒の流速が、10~50mL/分である第1の観点による測定方法が提供される。
<3> 本開示の第3の観点によれば、
前記フッ素樹脂チューブの内面の洗浄を、前記溶媒中に放出されるパーティクル数を測定しながら行い、横軸に洗浄時間、縦軸にパーティクル数をプロットしたグラフを描き、測定されるパーティクル数が、グラフの曲線のピーク高さの1/3に相当する高さまで減少した時点より後に、前記フッ素樹脂チューブの内面の洗浄を終了する第1または第2の観点による測定方法が提供される。
<4> 本開示の第4の観点によれば、
前記フッ素樹脂チューブ内に前記溶媒を満たした状態で放置する時間が、4時間以上である第1~第3のいずれかの観点による測定方法が提供される。
<5> 本開示の第5の観点によれば、
前記溶媒を、濾過精度が30nm以下であるフィルターを通過させた後、前記フッ素樹脂チューブ内に供給する第1~第4のいずれかの観点による測定方法が提供される。
<6> 本開示の第6の観点によれば、
前記溶媒の溶解度パラメータが、14~35(MPa)1/2である第1~第5のいずれかの観点による測定方法が提供される。
<7> 本開示の第7の観点によれば、
前記溶媒が、イソプロピルアルコールである第1~第6のいずれかの観点による測定方法が提供される。
<8> 本開示の第8の観点によれば、
前記フッ素樹脂チューブの長さが、100m以下である第1~第7のいずれかの観点による測定方法が提供される。
<9> 本開示の第9の観点によれば、
前記フッ素樹脂チューブの内径が、2~23mmである第1~第8のいずれかの観点による測定方法が提供される。
<10> 本開示の第10の観点によれば、
前記フッ素樹脂チューブが、テトラフルオロエチレン/フルオロアルキルビニルエーテル共重合体、および、テトラフルオロエチレン/ヘキサフルオロプロピレン共重合体からなる群より選択される少なくとも1種のフッ素樹脂から形成される第1~第9のいずれかの観点による測定方法が提供される。
<1> According to the first aspect of the present disclosure,
A measurement method for measuring the number of particles released from a fluororesin tube into a solvent, the method comprising:
cleaning the inner surface of the fluororesin tube by flowing a solvent into the fluororesin tube;
filling the fluororesin tube with the solvent; leaving the fluororesin tube with the solvent filled in the fluororesin tube;
A measurement method is provided in which the solvent is again flowed into the fluororesin tube and the number of particles released from the fluororesin tube into the solvent is measured.
<2> According to the second aspect of the present disclosure,
A measuring method according to the first aspect is provided, wherein the flow rate of the solvent that is flowed to clean the inner surface of the fluororesin tube is 10 to 50 mL/min.
<3> According to the third aspect of the present disclosure,
The inner surface of the fluororesin tube is cleaned while measuring the number of particles released into the solvent, and a graph is plotted with the cleaning time on the horizontal axis and the number of particles on the vertical axis, and the number of particles measured is There is provided a measuring method according to the first or second aspect, in which cleaning of the inner surface of the fluororesin tube is finished after the height has decreased to 1/3 of the peak height of the curve of the graph.
<4> According to the fourth aspect of the present disclosure,
There is provided a measuring method according to any one of the first to third aspects, wherein the fluororesin tube is left filled with the solvent for 4 hours or more.
<5> According to the fifth aspect of the present disclosure,
There is provided a measuring method according to any one of the first to fourth aspects, in which the solvent is passed through a filter having a filtration accuracy of 30 nm or less and then supplied into the fluororesin tube.
<6> According to the sixth aspect of the present disclosure,
There is provided a measuring method according to any one of the first to fifth aspects, wherein the solubility parameter of the solvent is 14 to 35 (MPa) 1/2 .
<7> According to the seventh aspect of the present disclosure,
There is provided a measuring method according to any one of the first to sixth aspects, wherein the solvent is isopropyl alcohol.
<8> According to the eighth aspect of the present disclosure,
There is provided a measuring method according to any one of the first to seventh aspects, wherein the length of the fluororesin tube is 100 m or less.
<9> According to the ninth aspect of the present disclosure,
There is provided a measuring method according to any one of the first to eighth aspects, wherein the fluororesin tube has an inner diameter of 2 to 23 mm.
<10> According to the tenth aspect of the present disclosure,
The first to first fluororesin tubes are formed from at least one fluororesin selected from the group consisting of tetrafluoroethylene/fluoroalkyl vinyl ether copolymer and tetrafluoroethylene/hexafluoropropylene copolymer. A measuring method according to any one of nine aspects is provided.
つぎに本開示の実施形態について実施例をあげて説明するが、本開示はかかる実施例のみに限定されるものではない。 Next, embodiments of the present disclosure will be described using Examples, but the present disclosure is not limited to these Examples.
実施例および比較例では、次のチューブを用いた。
チューブA
テトラフルオロエチレン/パーフルオロ(プロピルビニルエーテル)共重合体から形成されたチューブ。外径6.35mm、内径3.95mm。クリーンルーム内でチューブを製造した後に、チューブ内面をクリーンルーム外の大気に暴露させたもの。
チューブB
テトラフルオロエチレン/パーフルオロ(プロピルビニルエーテル)共重合体から形成されたチューブ。外径6.35mm、内径3.95mm。クリーンルーム内でチューブを製造した後に、チューブ内面をクリーンルーム外の大気に暴露させることなく、クリーンルーム内でチューブの両端をキャップで封止したもの。
チューブC
テトラフルオロエチレン/パーフルオロ(プロピルビニルエーテル)共重合体から形成されたチューブ。外径6.35mm、内径3.95mm。チューブAとは異なる製造条件を用いて、クリーンルーム内でチューブを製造した後に、チューブ内面をクリーンルーム外の大気に暴露させたもの。
In the Examples and Comparative Examples, the following tubes were used.
Tube A
A tube formed from a tetrafluoroethylene/perfluoro(propyl vinyl ether) copolymer. Outer diameter 6.35mm, inner diameter 3.95mm. After the tube is manufactured in a clean room, the inner surface of the tube is exposed to the atmosphere outside the clean room.
Tube B
A tube formed from a tetrafluoroethylene/perfluoro(propyl vinyl ether) copolymer. Outer diameter 6.35mm, inner diameter 3.95mm. After manufacturing the tube in a clean room, both ends of the tube are sealed with caps inside the clean room without exposing the inner surface of the tube to the atmosphere outside the clean room.
Tube C
A tube formed from a tetrafluoroethylene/perfluoro(propyl vinyl ether) copolymer. Outer diameter 6.35mm, inner diameter 3.95mm. A tube manufactured in a clean room using manufacturing conditions different from those for tube A, and then the inner surface of the tube exposed to the atmosphere outside the clean room.
チューブA~Cを形成する共重合体は、いずれも、以下の物性を有している。
組成:テトラフルオロエチレン/パーフルオロ(プロピルビニルエーテル)=94.5/5.5(質量%)
MFR:2g/10分
融点:303℃
The copolymers forming tubes A to C all have the following physical properties.
Composition: Tetrafluoroethylene/perfluoro(propyl vinyl ether) = 94.5/5.5 (mass%)
MFR: 2g/10min Melting point: 303℃
実施例の各数値は以下の方法により測定した。 Each numerical value in Examples was measured by the following method.
(組成)
19F-NMR法により測定した。
(composition)
Measured by 19 F-NMR method.
(メルトフローレート(MFR))
ASTM D1238に従って、メルトインデクサー(安田精機製作所社製)を用いて、372℃、5kg荷重下で、内径2.1mm、長さ8mmのノズルから10分間あたりに流出する共重合体の質量(g/10分)を測定することにより、求めた。
(Melt flow rate (MFR))
According to ASTM D1238, using a melt indexer (manufactured by Yasuda Seiki Seisakusho Co., Ltd.), the mass (g /10 minutes).
(融点)
示差走査熱量計〔DSC〕を用いて、10℃/分の速度で昇温したときの融解熱曲線における極大値に対応する温度として求めた。
(melting point)
Using a differential scanning calorimeter (DSC), the temperature was determined as the temperature corresponding to the maximum value in the heat of fusion curve when the temperature was increased at a rate of 10° C./min.
(パーティクル数)
パーティクルカウンター(リオン社製、光散乱式液中粒子検出器KS-19F)を用いて、直径30nm以上のパーティクルの数を測定した。
(number of particles)
The number of particles with a diameter of 30 nm or more was measured using a particle counter (manufactured by Rion Corporation, light scattering type liquid particle detector KS-19F).
実施例1
クラス100のクリーンブース内で、チューブを0.5mにカットして、チューブAを作製した。
Example 1
Tube A was produced by cutting the tube into 0.5 m in a class 100 clean booth.
測定には、図1に示すシステム1、および、市販の高純度イソプロピルアルコール(IPA)を用いた。フィルター14として、キッツマイクロフィルター社製インラインフィルタ(NHMシリーズ、濾過精度3nm)を用いた。 For the measurement, System 1 shown in FIG. 1 and commercially available high-purity isopropyl alcohol (IPA) were used. As the filter 14, an in-line filter manufactured by Kitz Microfilter (NHM series, filtration accuracy of 3 nm) was used.
測定ラインからIPA中に放出される直径30nm以上のパーティクルの数が、10個/mL以下であることを、パーティクルカウンターを用いて、事前に確認した。 It was confirmed in advance using a particle counter that the number of particles with a diameter of 30 nm or more released into the IPA from the measurement line was 10 particles/mL or less.
図1に示すシステム1の継手15および16に、チューブAを接続した後、流速10mL/分で表1に記載の流量(チューブの内容積に対するIPAの総流量)となるように、チューブA内にIPAを流して、チューブAの内面を洗浄した。
After connecting tube A to
次に、ポンプ12を停止し、IPAがチューブA内に満たされた状態で、チューブAを0.5時間静置した。
Next, the
チューブA内へのIPAの供給を再開し、流速110mL/分でチューブA内にIPAを流した。チューブA内を通過したIPAの一部を、流速10mL/分で光散乱式液中粒子検出器(パーティクルカウンター)に導入し、IPA中のパーティクル数を測定した。10分間以内でパーティクル数が、ブランクレベルまで低下したが、16分間測定を続けた。測定毎の間隔を2秒とし、パーティクル数を合計で15回測定した。15回分の各測定値(個/mL)に110を乗じた上で積算し、積算値をチューブA内面の表面積で除することによって、チューブAからIPA中に放出されるパーティクル数(個/cm2)を算出した。結果を表1に示す。 The supply of IPA into tube A was restarted, and IPA was allowed to flow into tube A at a flow rate of 110 mL/min. A portion of the IPA that had passed through tube A was introduced into a light scattering type liquid particle detector (particle counter) at a flow rate of 10 mL/min, and the number of particles in the IPA was measured. Although the number of particles decreased to the blank level within 10 minutes, measurement was continued for 16 minutes. The number of particles was measured 15 times in total with an interval of 2 seconds between each measurement. The number of particles released from tube A into IPA (particles/cm 2 ) was calculated. The results are shown in Table 1.
実施例2~8
チューブの種類、溶媒の種類、洗浄条件、放置時間等を表1に記載のとおりに変更した以外は、実施例1と同様にして、チューブからIPA中に放出されるパーティクル数(個/cm2)を算出した。結果を表1に示す。
Examples 2-8
The number of particles released from the tube into IPA (particles/cm 2 ) was calculated. The results are shown in Table 1.
比較例1~6
チューブを洗浄せず、かつ、チューブ内にIPAを充満させることなく、パーティクル数を測定した。チューブの種類、溶媒の種類等を表1に記載のとおりに変更した。その他の条件は、実施例1と同様にして、チューブからIPA中に放出されるパーティクル数(個/cm2)を算出した。結果を表1に示す。
Comparative examples 1 to 6
The number of particles was measured without washing the tube and without filling the tube with IPA. The type of tube, type of solvent, etc. were changed as shown in Table 1. Other conditions were the same as in Example 1, and the number of particles (particles/cm 2 ) released from the tube into IPA was calculated. The results are shown in Table 1.
表1の結果が示すとおり、従来の測定方法を用いた比較例1および4では、チューブAおよびチューブBのいずれからも、同程度の数のパーティクルが溶媒中に放出されたことが確認された。
一方、本開示の測定方法を用いた実施例3では、チューブAから多数のパーティクルが溶媒中に放出されたことが確認された。さらに、本開示の測定方法を用いた実施例7では、チューブBからチューブAよりも少数のパーティクルが溶媒中に放出されたことが確認された。
すなわち、従来の測定方法を用いた場合、チューブAおよびチューブBの内面の清浄度が同等と評価されるが、本開示の測定方法を用いた場合、チューブBの内面の清浄度が、チューブAの内面の清浄度よりも高いことが確認できることが分かる。
同様に、比較例5および6の結果と、実施例7および8の結果とを対比すると、従来の測定方法を用いた場合、チューブBおよびチューブCの内面の清浄度が同等と評価されるが、本開示の測定方法を用いた場合、チューブBの内面の清浄度が、チューブCの内面の清浄度よりも高いことが確認できることが分かる。
以上の結果から、本開示の測定方法は、従来の測定方法よりも、チューブ内面の清浄度をより正確に把握することができるデータを提供することが分かる。したがって、本開示の測定方法を用いることにより、たとえば、半導体製造設備にチューブを設置する前に、チューブ内面の清浄度を正確に評価することができるので、半導体製造における歩留まりを高めることができる。
As shown in the results in Table 1, in Comparative Examples 1 and 4 using the conventional measurement method, it was confirmed that the same number of particles were released into the solvent from both tube A and tube B. .
On the other hand, in Example 3 using the measurement method of the present disclosure, it was confirmed that a large number of particles were released from tube A into the solvent. Furthermore, in Example 7 using the measurement method of the present disclosure, it was confirmed that fewer particles were released into the solvent from tube B than from tube A.
That is, when using the conventional measuring method, the cleanliness of the inner surfaces of tube A and tube B are evaluated to be equivalent, but when using the measuring method of the present disclosure, the cleanliness of the inner surface of tube B is evaluated to be the same as that of tube A. It can be seen that the cleanliness level is higher than that of the inner surface.
Similarly, when comparing the results of Comparative Examples 5 and 6 with the results of Examples 7 and 8, the cleanliness of the inner surfaces of tubes B and C is evaluated to be equivalent when using the conventional measurement method. , it can be seen that when the measuring method of the present disclosure is used, it can be confirmed that the cleanliness of the inner surface of tube B is higher than the cleanliness of the inner surface of tube C.
From the above results, it can be seen that the measuring method of the present disclosure provides data that can more accurately grasp the cleanliness of the inner surface of the tube than the conventional measuring method. Therefore, by using the measurement method of the present disclosure, for example, the cleanliness of the inner surface of the tube can be accurately evaluated before installing the tube in semiconductor manufacturing equipment, so that the yield in semiconductor manufacturing can be increased.
1 システム
11 溶媒容器
12 ポンプ
13 バルブ
14 フィルター
15、16 継手
21 フッ素樹脂チューブ
17 パーティクルカウンター
18、19 流量計
1
Claims (9)
前記フッ素樹脂チューブ内に溶解度パラメータが14~35(MPa) 1/2 の範囲内にある溶媒を流すことにより、前記フッ素樹脂チューブの内面を洗浄し、
前記フッ素樹脂チューブ内に前記溶媒を満たし、前記フッ素樹脂チューブ内に前記溶媒を満たした状態で10分間以上前記フッ素樹脂チューブを放置し、
前記フッ素樹脂チューブ内に再び前記溶媒を流し、前記フッ素樹脂チューブから前記溶媒中に放出されるパーティクル数を測定する測定方法。 A measurement method for measuring the number of particles released from a fluororesin tube into a solvent, the method comprising:
Cleaning the inner surface of the fluororesin tube by flowing a solvent having a solubility parameter within the range of 14 to 35 (MPa) 1/2 into the fluororesin tube,
filling the fluororesin tube with the solvent; leaving the fluororesin tube for 10 minutes or more with the solvent filled in the fluororesin tube;
A measurement method comprising flowing the solvent again into the fluororesin tube and measuring the number of particles released from the fluororesin tube into the solvent.
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