JP7420525B2 - 位置測定装置および位置測定装置を作動する方法 - Google Patents
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Description
このために、位置測定装置において、
シャフトに回動不能に結合可能な目盛キャリアであって、目盛キャリアが組み立てられた状態でシャフトの回転軸線を中心として半径方向に配置された測定目盛を有する目盛キャリアと、
測定目盛を走査することによって位置信号を生成するための走査ユニットと、
位置信号を絶対デジタル位置値として処理するための位置処理ユニットと、
後続電子機器と通信するためのインターフェイスユニットと
を含み、
さらに位置測定装置は、
機械部品の測定対象を走査することによって、機械部品の位置に依存する測定信号を生成するための少なくとも1つの第2の走査ユニットと、
第2の走査ユニットに関して測定対象の位置および/または位置変化を示す少なくとも1つの測定値として測定信号を処理し、少なくとも1つの測定値をインターフェイスユニットに出力するための評価ユニットとを含む
位置測定装置が提案される。
シャフトに回動不能に結合されており、目盛キャリアが組み立てられた状態でシャフトの回転軸線を中心として半径方向に配置された測定目盛を有する目盛キャリアと、
測定目盛を走査することによって位置信号を生成する走査ユニットと、
位置信号を絶対デジタル位置値として処理する位置処理ユニットと、
後続電子機器と通信するためのインターフェイスユニットとを含み、
さらに位置測定装置は、
機械部品の測定対象を走査することによって機械部品の位置に依存する測定信号を生成する少なくとも1つの第2の走査ユニットと、
第2の走査ユニットに対する測定対象の位置および/または位置変化を示す少なくとも1つの測定値として測定信号を処理し、少なくとも1つの測定値をインターフェイスユニットに出力する評価ユニットとを含む位置測定装置を作動する方法が提案される。
1.内側領域52内で生成され、内側領域52の縁部を越えて外側領域54にまで延在する交流電磁場が、検出されるべき交流電磁場として用いられる。
2.第2の走査ユニット60.1,60.2には、内側領域52の励起コイルと直列に接続された励起コイル64.1,64.2が配置されている。このようにして、電磁場発生回路は外側領域54にまで拡大される。
3.第2の走査ユニット60.1,60.2には、励磁コイル64.1,64.2が配置されており、これらの励磁コイルは、交流電磁場を発生させるための別個の励磁ユニットによって制御される。
12 目盛キャリア
13 測定目盛
14 走査ユニット
15,62,62.1,62.2,162.1,162.2 センサ素子
20 位置処理ユニット
30 インターフェイスユニット
40 ケーシング
50 キャリア要素
60,60.1,60.2,160.1,160.2 第2の走査ユニット
70,70.1,70.2 機械部品
72,72.1,72.2,172.1,172.2 測定対象
76,176 導電性領域
78 キャリア要素
80,180 評価ユニット
182 第1の信号処理ユニット
184 第2の信号処理ユニット
100 後続電子機器
D1,D2 距離
M 測定値
MS 測定信号
P デジタル位置値
PS 位置信号
T ピッチ周期
X 横方向
Z 方向
Claims (7)
- 位置測定装置において、
回動不能にシャフト(5)に結合可能な目盛キャリア(12)であって、該目盛キャリア(12)が組み立てられた状態でシャフト(5)の回転軸線を中心として半径方向に配置された測定目盛(13)を有する目盛キャリア(12)と、
測定目盛(13)を走査することによって位置信号(PS)を生成するための走査ユニット(14)と、
位置信号(PS)を絶対デジタル位置値(P)として処理するための位置処理ユニット(20)と、
後続電子機器(100)と通信するためのインターフェイスユニット(30)と
を含み、
さらに位置測定装置が、
機械部品(70,70.1,70.2)の測定対象(72,72.1,72.2,172.1,172.2)を走査することによって、機械部品(70,70.1,70.2)の位置に依存する測定信号(MS)を生成するための少なくとも1つの第2の走査ユニット(60,60.1,60.2,160.1,160.2)と、
第2の走査ユニット(60,60.1,60.2,160.1,160.2)に関して測定対象(72,72.1,72.2,172.1,172.2)の位置および/または位置変化を示す少なくとも1つの測定値(M)として測定信号(MS)を処理し、少なくとも1つの測定値(M)をインターフェイスユニット(30)に出力するための評価ユニット(80,180)とを含み、
前記評価ユニット(80,180)で決定された前記測定値(M)が、
方向(Z)における前記測定対象(72,72.1,72.2,172.1,172.2)と前記第2の走査ユニット(60,60.1,60.2,160.1,160.2)との間の距離(D1,D2)および/または
横方向(X)における第2の走査ユニット(60,60.1,60.2,160.1,160.2)に対して平行な測定対象(72,72.1,72.2,172.1,172.2)の変位、および/または
第2の走査ユニット(60,60.1,60.2,160.1,160.2)に対する測定対象(72,72.1,72.2,172.1,172.2)の振動のためのパラメータを示す位置測定装置。 - 請求項1に記載の位置測定装置において、
前記走査ユニット(14)、前記第2の走査ユニット(60,60.1,60.2,160.1,160.2)、および電子モジュール、例えば前記位置処理ユニット(20)、前記インターフェイスユニット(30)および前記評価ユニット(80,180)を収容するためにケーシング(40)が設けられている位置測定装置。 - 請求項1又は2に記載の位置測定装置において、
前記走査ユニット(14)および前記第2の走査ユニット(60,60.1,60.2,160.1,160.2)が、共通のキャリア要素(50)に一緒に配置されている位置測定装置。 - 位置測定装置において、
回動不能にシャフト(5)に結合可能な目盛キャリア(12)であって、該目盛キャリア(12)が組み立てられた状態でシャフト(5)の回転軸線を中心として半径方向に配置された測定目盛(13)を有する目盛キャリア(12)と、
測定目盛(13)を走査することによって位置信号(PS)を生成するための走査ユニット(14)と、
位置信号(PS)を絶対デジタル位置値(P)として処理するための位置処理ユニット(20)と、
後続電子機器(100)と通信するためのインターフェイスユニット(30)と
を含み、
さらに位置測定装置が、
機械部品(70,70.1,70.2)の測定対象(72,72.1,72.2,172.1,172.2)を走査することによって、機械部品(70,70.1,70.2)の位置に依存する測定信号(MS)を生成するための少なくとも1つの第2の走査ユニット(60,60.1,60.2,160.1,160.2)と、
第2の走査ユニット(60,60.1,60.2,160.1,160.2)に関して測定対象(72,72.1,72.2,172.1,172.2)の位置および/または位置変化を示す少なくとも1つの測定値(M)として測定信号(MS)を処理し、少なくとも1つの測定値(M)をインターフェイスユニット(30)に出力するための評価ユニット(80,180)とを含み、
前記走査ユニット(14)および前記第2の走査ユニット(60,60.1,60.2,160.1,160.2)が、共通のキャリア要素(50)に一緒に配置されており、
前記走査ユニット(14)および少なくとも1つの前記第2の走査ユニット(60,60.1,60.2,160.1,160.2)が誘導的な測定原理にしたがって構成されており、交流電磁場を検出するための受信コイルの形式のセンサ素子(15,62,62.1,62.2,162.1,162.2)を備え、それぞれの測定対象(72,72.1,72.2,172.1,172.2)が弱め界磁特性を有する位置測定装置。 - 請求項4に記載の位置測定装置において、
前記測定対象(72,72.1,72.2,172.1,172.2)がキャリア要素(78)を含み、該キャリア要素(78)に少なくとも1つの導電性領域(76,176)が配置されている位置測定装置。 - 請求項4に記載の位置測定装置において、
測定対象(172.1,172.2)が測定目盛セグメントとして構成されており、キャリア要素(78)に複数の導電性領域(76,176)がピッチ周期(T)に対応して横方向(X)に配置されており、第2の走査ユニット(160.1,160.2)のセンサ素子(162.1,162.2)がそれぞれ2つの受信コイルを含み、該受信コイルの導体ループが同様にピッチ周期(T)に対応して横方向(X)に配置されており、2つの受信コイルが横方向(X)に4分の1ピッチ周期(T)だけ互いにずらしてして配置されている位置測定装置。 - 位置測定装置を作動する方法であって、
シャフト(5)に回動不能に結合された目盛キャリア(12)であって、該目盛キャリア(12)が組み立てられた状態でシャフト(5)の回転軸線を中心として半径方向に配置された測定目盛(13)を有する目盛キャリア(12)と、
測定目盛(13)を走査することによって位置信号(PS)を生成する走査ユニット(14)と、
位置信号(PS)を絶対デジタル位置値(P)として処理する位置処理ユニット(20)と、
後続電子機器(100)と通信するためのインターフェイスユニット(30)とを含み、
さらに位置測定装置が、
機械部品(70,70.1,70.2)の測定対象(72,72.1,72.2,172.1,172.2)を走査することによって機械部品(70,70.1,70.2)の位置に依存する測定信号(MS)を生成する少なくとも1つの第2の走査ユニット(60,60.1,60.2,160.1,160.2)と、
第2の走査ユニット(60,60.1,60.2,160.1,160.2)に対する測定対象(72,72.1,72.2,172.1,172.2)の位置および/または位置変化を示す少なくとも1つの測定値(M)として測定信号(MS)を処理し、少なくとも1つの測定値(M)をインターフェイスユニット(30)に出力する評価ユニット(80,180)とを含み、
前記評価ユニット(80,180)が前記測定値(M)として
方向(Z)における前記測定対象(72,72.1,72.2,172.1,172.2)と前記第2の走査ユニット(60,60.1,60.2,160.1,160.2)との間の距離(D1,D2)および/または
横方向(X)における第2の走査ユニット(60,60.1,60.2,160.1,160.2)に対して平行な測定対象(72,72.1,72.2,172.1,172.2)の変位、および/または
第2の走査ユニット(60,60.1,60.2,160.1,160.2)に対する測定対象(72,72.1,72.2,172.1,172.2)の振動のためのパラメータを決定する、位置測定装置を作動する方法。
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Family Cites Families (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4294121A (en) * | 1978-06-06 | 1981-10-13 | Inoue-Japax Research Incorporated | Position measuring system |
DE3039483C2 (de) * | 1980-10-18 | 1986-09-11 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Inkrementale Längen- oder Winkelmeßeinrichtung |
DE3437515C2 (de) * | 1984-10-12 | 1986-08-14 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Positionsmeßeinrichtung |
US5198763A (en) * | 1990-02-20 | 1993-03-30 | Nikkiso Co., Ltd. | Apparatus for monitoring the axial and radial wear on a bearing of a rotary shaft |
JP4001989B2 (ja) | 1996-11-29 | 2007-10-31 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 位置測定装置の走査部材 |
JPH1151702A (ja) * | 1997-08-06 | 1999-02-26 | Nikon Corp | 角度検出装置 |
JP2001201362A (ja) * | 2000-01-18 | 2001-07-27 | Ebara Corp | 回転検出装置 |
DE10108732A1 (de) * | 2001-02-23 | 2002-09-05 | Philips Corp Intellectual Pty | Vorrichtung mit einem magnetischen Positionssensor |
GB2383417B (en) * | 2001-12-20 | 2005-10-05 | Weston Aerospace | Sensing method and apparatus |
US7015832B2 (en) * | 2004-05-25 | 2006-03-21 | Bei Sensors & Systems Company, Inc. | Pulse width modulation based digital incremental encoder |
GB0508335D0 (en) * | 2005-04-26 | 2005-06-01 | Renishaw Plc | Encoder error determination |
EP2339173B1 (en) * | 2009-12-22 | 2015-04-01 | Siemens Aktiengesellschaft | Blade deflection measurement with magnetostrictive sensor |
US9046475B2 (en) * | 2011-05-19 | 2015-06-02 | Applied Materials Israel, Ltd. | High electron energy based overlay error measurement methods and systems |
US8965731B2 (en) * | 2011-07-11 | 2015-02-24 | Blackberry Limited | Methods and devices to determine a mobile device housing position |
US9593967B2 (en) * | 2011-07-17 | 2017-03-14 | Bourns, Inc. | High-resolution non-contacting multi-turn sensing systems and methods |
DE102011119073A1 (de) * | 2011-11-15 | 2013-05-16 | Fiagon Gmbh | Registrierverfahren, Positionserfassungssystem und Abtastinstrument |
DE102012216854A1 (de) * | 2012-09-20 | 2014-03-20 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmessgerät und Verfahren zu dessen Betrieb |
DE102013219277A1 (de) * | 2013-09-25 | 2015-03-26 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesseinrichtung und Verfahren zur Überprüfung eines Arbeitstaktsignals |
DE102013222073A1 (de) * | 2013-10-30 | 2015-04-30 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesseinrichtung |
DE102013224375A1 (de) * | 2013-11-28 | 2015-05-28 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Multiturn-Drehgeber |
JP6327874B2 (ja) * | 2014-02-04 | 2018-05-23 | 株式会社ミツトヨ | 誘導型位置測定装置 |
US9347764B2 (en) * | 2014-04-23 | 2016-05-24 | American Axle & Manufacturing, Inc. | Sensor assembly configured to sense target movement in first direction and insensitive to target movement in second and third directions orthogonal to first direction |
US10222234B2 (en) * | 2014-06-17 | 2019-03-05 | Infineon Technologies Ag | Rotation sensor |
WO2016174433A1 (en) * | 2015-04-29 | 2016-11-03 | Renishaw Plc | Method of determining sub-divisional error |
CN110326197B (zh) * | 2016-09-23 | 2021-10-19 | 苏州力特奥维斯保险丝有限公司 | 带有双磁体配置的旋转位置传感器 |
DE102016224012A1 (de) | 2016-12-02 | 2018-06-07 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmesseinrichtung und Verfahren zum Betreiben einer Positionsmesseinrichtung |
DE102017111055B3 (de) * | 2017-05-22 | 2018-09-06 | Helmholtz-Zentrum Dresden - Rossendorf E.V. | Vorrichtung, Anordnung und Verfahren zum Charakterisieren der Torsion, der Rotation und/oder der Positionierung einer Welle |
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