JP7415741B2 - 高周波誘電加熱装置及び記録装置 - Google Patents

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Description

本発明は、高周波誘電加熱装置及び記録装置に関する。
様々な種類の記録装置が開発されている。また記録装置のみならず、記録装置が備える構成についてもそれぞれ検討が為されている。例えば、記録媒体に付着したインクを早期に乾燥させる機構が検討されている。例えば特許文献1には、媒体に交流電界を印加して付着したインクを誘電加熱することで乾燥させる高周波誘電加熱装置が開示されている。
特開2018-010842号公報
しかしながら、乾燥の対象である液体は、高周波誘電加熱装置のヒーター(アンテナ)の一部として作用する結果、液体の形状や組成に依存して、高周波誘電加熱装置の加熱の効率が変化する。
また、小型高周波誘電加熱装置のヒーター(アンテナ)を記録装置に用いる場合、記録媒体に対してヒーターを移動させつつ加熱する必要があり、記録速度の高速化に伴い、記録媒体と高周波誘電加熱装置との相対的な移動速度が上昇する。これにより、高周波誘電加熱装置の加熱の効率が、高速かつ複雑に変化する。
高周波誘電加熱装置の加熱の効率は、加熱の対象となる液体の形状や組成の変化でヒーターのインピーダンスが変化し、これにより高周波信号源からヒーターへの信号伝送量が変化し変動してしまう。このため液体の形状や組成に追従させてヒーターのインピーダンスを変更することにより加熱の効率を常に最大にすることができるが、液体の形状や組成の変化が高速であると、インピーダンスを調整する整合器とそのコントロールに大きな負荷を生じるおそれがあった。
本発明に係る高周波誘電加熱装置の一態様は、
高周波電圧を発生させる高周波電源と、
前記高周波電源と電気的に接続され、前記高周波電圧に基づく第1共振電圧を出力する第1共振回路と、
第1電極と第2電極とを含むコンデンサーと、コイルとを有し、前記第1共振回路と電気的に接続され、前記第1共振電圧が供給されるアンテナと、
を備え、
前記コイルの一端は、前記第1電極と電気的に接続され、他端は、前記第1共振回路と電気的に直列に接続され、
前記第1共振回路は、静電容量が固定されたコンデンサーを含み、
前記第1共振回路の共振周波数は、前記アンテナの共振周波数とは異なり、
前記第1共振回路のリターンロスが0.1dB以下となる周波数帯域と、前記アンテナのリターンロスが0.1dB以下となる周波数帯域と、が重なり、
前記高周波電圧の周波数は、前記第1共振回路のリターンロスが0.1dB以下となる周波数帯域に存在する。
本発明に係る記録装置の一態様は、
上記態様の高周波誘電加熱装置と、
キャリッジと、
液体吐出ヘッドと、
を備え、
前記キャリッジは、前記高周波誘電加熱装置のうち少なくともヒーター、及び前記液体吐出ヘッドを搭載し、
前記液体吐出ヘッドから吐出され、記録媒体に付着した液体の薄膜を前記高周波誘電加熱装置により乾燥させる。
実施形態に係る高周波誘電加熱装置の電極付近の模式図。 実施形態に係る高周波誘電加熱装置の等価回路図。 実施形態に係る高周波誘電加熱装置の電極付近の模式図。 実施形態に係る高周波誘電加熱装置の等価回路図。 実施形態に係る記録装置の要部の模式図。 アンテナのリターンロスの周波数特性を示すグラフ。 共振回路のリターンロスの周波数特性を示すグラフ。 高周波誘電加熱装置のリターンロスの周波数特性を示すグラフ。 高周波誘電加熱装置のリターンロスの周波数特性を示すグラフ。 アンテナの電磁界シミュレーションのグラフ。 共振回路の電磁界シミュレーションのグラフ。 高周波誘電加熱装置の電磁界シミュレーションのグラフ。 アンテナのインピーダンスのスミスチャート。 アンテナのリターンロスの周波数特性のグラフ。 実験例に係る高周波誘電加熱装置の等価回路図。 実験例に係る高周波電源から加熱物へのエネルギー伝送特性(C1=1.5pF)。 実験例に係る高周波電源から加熱物へのエネルギー伝送特性(C1=0.5pF)。
以下に本発明の実施形態について説明する。以下に説明する実施形態は、本発明の例を説明するものである。本発明は以下の実施形態になんら限定されるものではなく、本発明の要旨を変更しない範囲において実施される各種の変形形態も含む。なお以下で説明される構成の全てが本発明の必須の構成であるとは限らない。
1.高周波誘電加熱装置
本実施形態に係る高周波誘電加熱装置は、高周波電源と、第1共振回路と、アンテナと、を備える。図1は、本実施形態に係る高周波誘電加熱装置の一例としての高周波誘電加熱装置100の模式図である。図2は、高周波誘電加熱装置100の等価回路図である。高周波誘電加熱装置100は、第1電極10、第2電極20及びコイル30を含む電磁波発生部、並びに第1共振回路を構成する第1共振部40を備える。
1.1.高周波電源
本実施形態の高周波誘電加熱装置100は、高周波電源を備える。高周波電源は、高周波電圧発生回路Bを含む。高周波電源は、アンテナに印加される高周波電圧を発生する。図1では、高周波電源は、図示を省略しているが、例えば、水晶発振器、PLL(Phase Locked Loop)回路、パワーアンプにより構成される。高周波電源により発生された高周波電圧は、例えば同軸ケーブルを介して第1共振部4に対して給電される。
本実施形態の高周波誘電加熱装置100の高周波電源の基本的な周辺回路構成は、PLLで発生した高周波信号をパワーアンプで増幅してアンテナに対して給電する構成である。アンテナ50において、第1電極10及び第2電極20の組を多数使用する場合には、例えば、1つの組に対してパワーアンプを1つ用い、PLLの出力を分割してパワーアンプに送ることで、個別に電磁波を発生させてもよい。またアンテナとパワーアンプの組を複数用いる場合には、より容易に各アンテナの高周波出力を個別にコントロールすることができる。
1.2.アンテナ
本実施形態に係る高周波誘電加熱装置100は、アンテナ50を有する。アンテナ50は、第1電極10と第2電極20とを含むコンデンサーC1と、コイル30とを有し、第1共振部40と電気的に接続されている。そして、コイル30の一端は、第1電極10又は第2電極20と電気的に接続され、他端は、第1共振部40と電気的に直列に接続される。
1.2.1.第1電極及び第2電極
高周波誘電加熱装置100は、第1電極10及び第2電極20を備える。第1電極10及び第2電極20は、導電性を有する。第1電極10及び第2電極20は、コンデンサーC1を構成している。第1電極10又は第2電極20の一方には、基準電位が印加される。第1電極10又は第2電極20の他方には高周波電圧が印加される。第1電極10及び第2電極20の選び方は任意であり、2つの電極の一方に対して基準電位が、他方に対して高周波電圧が印加される。本明細書では、基準電位が印加される電極を「基準電位電極」ということがあり、高周波電圧が印加される電極を「高周波電極」ということがある。
基準電位とは、高周波電圧の基準となる定電位であり、例えば接地電位であってもよい。特殊な例としては、高周波誘電加熱装置100に入力する高周波電圧を発生する高周波電圧発生回路の出力が差動回路であれば第1電極10と第2電極20の区別は無くなる。またコイル30は必ずしも第1共振回路に接続するわけではなく基準電位に接続することも可能である。この場合、コイルが接続されるのは第1電極とし、第2電極を第1共振回路へ接続する必要がある。高周波の周波数としては、周波数が1MHz以上であれば加熱効果はあるが20GHz付近で加熱物が水であればその誘電正接が最大になるため誘電正接に起因する加熱効率も最大になる。特に、インクを加熱する観点からは周波数が例えばISMバンドの一つである40.68MHzのように低くても良好な加熱効率を得ることができる。40.68MHzではインク中の水の誘電正接は非常に低くなるものの、インクの電気抵抗に流れる渦電流による抵抗損失で大きな発熱が得られるためである。また、高周波電圧は高い程、液体に供給される熱量は大きくなるが、通常50Ωの伝送線路で高周波誘電加熱装置100へ伝送されるため、高周波誘電加熱装置100の高周波電圧入力においては「高周波電力=V^2/R=V^2/50」で表される電圧となる。さらに、高周波誘電加熱装置100の寄生抵抗で発生する熱量を抑えかつコロナ放電発生を抑制するため、1つの高周波誘電加熱装置100あたりの電力は数百W程度とし、高周波誘電加熱装置100を複数個使用して液体の乾燥に必要な電力を確保することが好ましい。また液体は第1電極10と第2電極20との間に生じる電界による誘電加熱によって加熱される。このときの電界は1×10^6V/m程度の非常に大きな値になる。これは第1電極10と第2電極20の間の電界は、コイル30の昇電圧効果や電極間の容量の効果による。
高周波電圧を印加するとは、第1電極10又は第2電極20における液体に対向する面と反対側の面の中心部を給電点とし、この給電点に対して上記の高周波電圧の電力を供給することをいう。
図示の例では第1電極10及び第2電極20は、平板状の形状を有する。第1電極10及び第2電極20の平面的な形状は任意であり、例えば、正方形、長方形、円形、それらの形状を組み合わせた形状とすることができる。また、図示の例では、平面視において、第1電極10を第2電極20が取り囲むように配置されている。ここで言う平面視とは、図1のz方向に沿う方向からみた状態を指す。このように第1電極が第2電極を取り囲み、第1電極10と第2電極との間隔が使用周波数の電磁波の波長に比べて小さいことで遠方電磁界の放射を極めて小さく抑えることができる。これにより1kW程度の高周波を放射した場合でも電磁シールドを用いることなく、周囲の人の暴露を安全なレベルに保つことが可能である。
高周波誘電加熱装置100の第1電極10は、平面視において細長い矩形形状を有している。高周波誘電加熱装置100では、第2電極2は、第1電極10を第2電極2が平面視において取り囲むように、中抜きの正方形形状で形成されている。図示はしないが、第1電極10を平面視において円形形状とし、第2電極20を平面視において円環形状としてもよいし、外周が六角形の形状としてもよい。基本的な特性としては、第1電極10の矩形の角の部分には強い電界が集中しここに有害なコロナ放電を誘発する可能性が高まるため、尖った角の少ない形状にすることが望ましい。
さらに、図示しないが、第1電極10及び第2電極20は、いずれも平面視で任意の形状として、隣り合うように配置されてもよい。この場合、第1電極1及び第2電極2の平面的な大きさは、一方の電極で、平面視における面積として、0.01cm以上100.0cm以下、好ましくは0.1cm以上10.0cm以下、より好ましくは0.5cm以上2.0cm以下、さらに好ましくは0.5cm以上1.0cm以下である。以上記した面積は、周波数2.45GHzを用いた場合であり、使用周波数を下げると増大する方向となる。また第1電極1及び第2電極2の平面視における面積は、同じでも異なってもよい。
高周波誘電加熱装置100では、平面視において中心部に配置された矩形の第1電極10と、第1電極10を包囲する中抜きの矩形形状(額縁状)の第2電極20に、それぞれ高周波電位と基準電位が給電される。コイル30は第1電極10と同軸ケーブルの内部導体4aとの間に挿入され、第1電極10に極力近くに位置してある。
高周波誘電加熱装置100において、第2電極20を平面視で中抜きの矩形形状とする場合には、外周の一辺の長さは、例えば、0.1cm以上10.0cm以下、好ましくは0.3cm以上5.0cm以下、より好ましくは0.4cm以上1.0cm以下である。また、この場合、第2電極20の平面視における幅は、1.0mm以上2.0mm以下、好ましくは1.4mm以上1.6mm以下、より好ましくは1.5mm程度である。以上記した外周の一辺の長さは、周波数2.45GHzを用いた場合であり、使用周波数を下げると増大する方向となる。
第1電極10及び第2電極20は、平面視において重複しないように配置されることが好ましい。また図示の例では、第1電極10及び第2電極20は、同一平面に並列して配置されている。このような配置とすることで、効率よく所定の電磁波を発生させることができる。
第1電極10及び第2電極20は、導電体で形成される。導電体としては、金属、合金、導電性酸化物等を例示できる。第1電極10及び第2電極20は、互いに同じ材質であっても異なる材質であってもよい。第1電極10及び第2電極20は、自立できるように厚さや強度を選択して適宜構成されてもよいし、その強度保持が困難な場合は、電磁波を透過する図示せぬ誘電正接の低い材料で構成された基板等の表面に形成することもできる。第1電極10及び第2電極20は、図1の例では、それぞれ同軸ケーブル(図示せず)の内部導体4a及び外部導体4bを介して高周波電源に電気的に接続される。
また、第1電極10に同軸ケーブルの内部導体4aが電気的に接続し、第2電極20に外部導体4bが接続される場合には、第1電極10に第1共振電圧が印加され、第2電極20に基準電位が印加されるようにすることが好ましい。このようにすれば、ノイズ等の外乱に対して高周波電圧が影響を受けにくくなるので、より安定してアンテナ50に電力を印加することができる。
1.2.2.電極の間隔
第1電極10と第2電極20との間の最小離間距離は、高周波誘電加熱装置100から出力される電磁波の波長の1/10以下であることが好ましい。例えば、高周波誘電加熱装置100から出力される電磁波の周波数が2.45GHzである場合には、高周波の波長は約12.2cmであるので、この場合には、第1電極10と第2電極20との間の最小離間距離は、約1.22cm以下であることが好ましい。
第1電極10と第2電極20との間の最小離間距離を、出力される電磁波の波長の1/10以下とすることにより、高周波電圧が印加された際に発生する電磁波のほとんどを第1電極10及び第2電極20の近傍で減衰させることができる。これにより、第1電極10及び第2電極20から遠方に到達する電磁波の強度を小さくできる。
すなわち、高周波誘電加熱装置100から放射される電磁波は、第1電極10及び第2電極20の近傍で非常に強く、遠方では非常に弱くなる。本明細書では、高周波誘電加熱装置100によって第1電極10及び第2電極20の近傍に発生する電磁界を「近傍電磁界」ということがある。また、本明細書では、電磁波を遠方まで伝達させることを目的とするような一般的なアンテナ(空中線)によって発生する電磁界を「遠方電磁界」ということがある。なお、近傍と遠方の境界は、高周波誘電加熱装置100から、発生する電磁波の波長の1/6程度離れた位置である。
高周波誘電加熱装置100は、テレビジョンや携帯電話などの用途で用いられ、m単位の間隔で電磁波を伝達させるのではなく、発生する電磁波の電界密度が、その波長の1/6の距離を伝達する間に第1電極10と第2電極20との間の電界密度の30%以下まで減衰する。すなわち高周波誘電加熱装置100は、通信用としては不向きである。さらに、高周波誘電加熱装置100によって発生する電磁波は、減衰率が高いことから電界の範囲が抑制される。そのため、発生する電磁波の波長程度の距離よりも装置から離れた領域に、不要な輻射が生じにくい。そのため、電波法等による規制への対応が不要又は容易であり、対応すべき場合でも簡易な電磁波シールド等により電磁波が高周波誘電加熱装置100の周囲へ飛散することを低減できる。高周波誘電加熱装置100のこのような性質は、電極のサイズが小さいこと、電極間の距離が近いこと、第1電極を第2電極が取り囲む形状にしていることなどに起因している。
さらに換言すると、本実施形態の高周波誘電加熱装置100は、ダイポールアンテナのような遠方電磁界を発生させるための装置ではなく、ダイポールアンテナに対してネガポジが反転するスロットアンテナにてスロット幅を波長に対して十分小さくして遠方電磁界を発生し難くしたものに相当するといえる。本構造は、コンデンサーのように電界を発生するのみで、この電界は副次的に磁界を発生することがない。このため電界と磁界が連鎖的に発生して電磁波が遠方に伝わるいわゆる遠方電磁界は発生しない。
1.2.3.コイル
高周波誘電加熱装置100は、コイル30を備え、コイル30が電線(図示せず)を介して第1電極10又は第2電極20に直列に接続されている。第1電極10又は第2電極20は、高周波電圧の印加される経路にコイル30を介して接続される。図示の例では、コイル30の一端は、第1電極10と電気的に接続され、他端は、第1共振部40と電気的に直列に接続される。
コイル30は、同じインダクタンスでもその直列挿入位置により液体の加熱エネルギー効率が大きく異なり、できるだけ電極に近い箇所に設置するのが望ましい。コイル30は第1電極10、もしくは第2電極20をメアンダ形状にするなどの方法で電極自体にインダクタンスを持たせることでコイル30を省略することもできる。
高周波誘電加熱装置100のアンテナ50がコイル30を有することにより、第1共振回路とアンテナ50とのインピーダンスのマッチング、電極間で発生する電界の増大、電極間で発生する電界にコイル30で発生する電界を追加して強化する、といった効果を期待できる。以下、コイル30の主な機能、効果について述べる。
コイルの役割(1):マッチング
一般にアンテナへ印加される電圧は、同軸ケーブル(例えば、特性インピーダンス50Ω)でアンテナまで伝送される。アンテナのインピーダンスは、高周波電圧の発生回路や当該回路からアンテナまで伝送する同軸ケーブルのインピーダンスに一致させることが好ましい。アンテナのインピーダンスをケーブル等のインピーダンスに、一致させるか近づけることにより、エネルギーの伝送効率が向上する。逆に、アンテナに正弦波の高周波電圧を入力して、アンテナと高周波電圧発生回路とのインピーダンスがマッチしない場合、インピーダンスの不連続箇所で信号の反射が生じアンテナに信号が入力されにくい。そのため、インピーダンスの不連続が生じ易い同軸ケーブルとアンテナの接続箇所にて、同軸ケーブルの内部導体とアンテナの電極間、若しくは外部導体とアンテナの電極間に、コイルとコンデンサーから成るマッチング回路を挿入してアンテナのインピーダンスを調節して、エネルギーの伝送効率を向上させることが行われる。同軸ケーブルは通常50Ωであり、アンテナも50Ωになるようマッチング回路を調整する。仮に同軸ケーブルが虚数のインピーダンスの場合、アンテナはこれと共役な虚数のインピーダンスになるよう調整する。かかるコイルは、いわゆるマッチングコイルと呼ばれる。
コイルの役割(2):電極間電界密度の増大
図2は、高周波誘電加熱装置100の等価回路である。アンテナ50のコンデンサーC1は、第1電極10及び第2電極20の対に相当し、アンテナ50の抵抗R1は、放射される電磁波の放射抵抗に相当する。高周波電源が、高周波電圧発生回路Bに相当し高周波電圧発生回路Bの抵抗R2は高周波電圧源の内部抵抗である。高周波電圧発生回路Bとアンテナ50のコイルL1が、第1電極10又は第2電極20に直列に接続されたコイル30に相当する。
このように、アンテナ50にコンデンサーC1が含まれることから、かかるコンデンサーC1に直列となるようにコイルLを接続することで、特定の共振周波数を得ることができる。また、コイルL1のインダクタンスを大きくし、コンデンサーC1のキャパシタンスをできるだけ小さくすれば、第1電極と第2電極との間に発生する電界を強くすることができ、その結果加熱効率が向上する。コイルL1のインダクタンスやコンデンサーC1の容量は、適宜に設計される。
放射抵抗は、同軸ケーブルのインピーダンス(例えば50Ω)に比較して小さく(例えば、7Ω程度)、第1電極10及び第2電極20により見かけ上形成されるコンデンサーC1の容量は、例えば0.5pF程度である。
高周波誘電加熱装置100において、第1電極10及び第2電極20の平面形状を5mm×5mmの正方形とし、最小離間距離を5mmとし、10nHのコイルLを第2電極20に直列に接続した場合であって、図2に示すような高周波電圧発生回路Bから1Vの電圧を発生させた場合、アンテナ端子にかかる電圧(コンデンサーC1のコイルL1側の点とGNDとの間にかかる電圧)は、約2Vとなることがシミュレーションから分かっている。ここで抵抗R1はアンテナの放射抵抗を示す。また、コイルL1のインダクタンスが高くなるにつれ、アンテナ50に、より高い電圧がかかることが分かっている。このように第1電極10及び第2電極20、並びに、コイルL1を含み、コイル1が同軸ケーブルと直列に挿入されたアンテナ50とすれば、アンテナ50の電極間の電圧を高めることができる。これにより第1電極10と第2電極20との間の電界が強くなる。これにより加熱の対象となる液体に印加される電界が強くなり液体が非常に効率良く加熱されることになる。ここで、コイルの第1電極10接続端子側には高電圧が発生するため、コイルと第1電極10の間、もしくはコイルL1と第1電極10を接続する電線と第2電極の間に強い電界が発生する可能性がある。このような電界は加熱には寄与できないため、コイルと第1電極は最短距離で接続する必要がある。
コイルの役割(3):電極間で発生する電界にコイルで発生する電界を追加して強化
コイル30は、銅等の金属の長さのある電線の巻線として通常構成され、これはインダクタンス成分と共に寄生抵抗を持つ。例えばインダクタンス成分が30nH程度の時、寄生抵抗は通常概略3Ω程度となる。インダクタンスと内部抵抗により、コイル30の両端に電位差が発生し、電位差のある箇所には電界が発生する。図1に示すように、第1電極10の直近にコイル30を設置した場合、上記「コイルの役割(2)」で示した高められた電圧が、すべて第1電極10に印加され、第1電極10付近に強い電界が発生する。さらに、コイル30の電界と第1電極10と第2電極20との間に発生する電界の向きが一致している場合、コイル30に発生する電界が第1電極10と第2電極20の間に発生する電界と重なり、第1電極10付近の電界をより強くできる場合がある。このように、コイル30を第1電極10のできるだけ近くに配置することがより有効である。この目的のため、第1電極10の形状を例えばメアンダ状にしてインダクタンスを持たせ、第1電極10自体にコイルと同様の作用を持たせれば、コイル30を配置することなく、アンテナ50にコイルを含むこととなり、しかも第1電極10に非常に近い位置にコイルを配置したものとできる。
1.3.第1共振回路
第1共振回路は、高周波電源と電気的に接続され、高周波電源から入力される高周波電圧に基づく第1共振電圧を出力する。第1共振回路は、第1共振部40により構成される。第1共振部40は、図1に示すように、円筒状の筒状導電体42、円環状の環状導電体44、筒状導電体42と環状導電体44とを電気的に接続する柱状導電体46、筒状導電体42及び環状導電体44を貫通するように配置された内部導体4a、並びに、筒状導電体42と内部導体4aとの間に設置された絶縁体47から構成されている。
筒状導電体42は、第2電極20の接続部22、及び、柱状導電体46に電気的に接続する。環状導電体44は、柱状導電体44、及び、外部導体4bに電気的に接続する。第1共振部40は、第1共振電圧を生成し、かかる第1共振電圧が、アンテナ50に対して供給される。なお、柱状導電体46と内部導体4aとの間に、絶縁体が配置されても構わない。
図2に示す等価回路では、第1共振回路P1は、コンデンサーC2、コンデンサーC3、コイルL2、及び、抵抗R3が含まれる。コンデンサーC2は、内部導体4a及び筒状導電体42の間に設置する絶縁体47を表し、コンデンサーC3は、内部導体4a及び環状導電体44の間に設置する絶縁体48を表す。また、コイルL2は、内部導体4aにて等価的に発生するインダクタンス(図示せず)を表す。
筒状導電体42及び環状導電体44を貫通する内部導体4aは、筒状導電体42及び環状導電体44に対して樹脂等により支持され、筒又は環の中心に保持される。樹脂等は、誘電体としての性質を有することから、コンデンサーC2及びコンデンサーC3の追加成分が構成される。さらにこれにより、誘電正接として等価ロスを生じる。かかる等価ロスは、図2の等価回路において、抵抗R3で示されている。したがって抵抗R3は、図1では物体としては表現されない。
詳細は実施例において述べるが、図2の等価回路の抵抗R1は、アンテナ全体のリターンロスに関して以下のような意義を有している。アンテナ50に対して第1共振回路P1から第1共振電圧を給電する際のリターンロスは、高周波電源の周波数に依存する。リターンロスは、例えば、第1共振回路及び/又はアンテナ50の共振周波数付近で最小となるが、抵抗R1が存在しないと、アンテナのインピーダンスは虚数成分だけとなりかかる最小となる周波数は生じ得ない。また抵抗R3は高周波電源から出力された電気エネルギーがインク等の加熱物で熱エネルギーになるまでのロスとなり、極力小さくなるよう使用材料の誘電正接やその形状を調整する必要がある。
第1共振回路P1におけるコンデンサーC2及びコンデンサーC3は、いずれも静電容量が固定されている。本実施形態の高周波誘電加熱装置100では、コンデンサーC2及びコンデンサーC3の容量を可変とする必要がない。これにより例えば製造コストを削減できる。また、コンデンサーC2及びコンデンサーC3の容量が固定されていても、後述するリターンロスの関係を満たす限り、アンテナ50を十分に効率よく駆動することができる。
また、第1共振回路P1は、コイルL2とコンデンサーC2及びコンデンサーC3をπ型に接続して構成されている。上記構成により様々なアンテナ50のインピーダンスに対応できる共振回路をえることができる。
1.4.各構成の共振周波数及びリターンロスの相互の関係
本実施形態の高周波誘電加熱装置100では、第1共振回路P1すなわち第1共振部40の共振周波数が、アンテナ50の共振周波数とは異なり、高周波電源から見た高周波誘電加熱装置100のリターンロスにて前記2つの周波数ピークを得ることができる。ここでは両者の共振周波数が互いに異なるように、上述した各構成の寸法や材質や容量が選択される。そして通常であれば高周波電源の共振周波数をアンテナの共振周波数として供給すべきところを、高周波電源の共振周波数を第1共振回路P1の共振周波数として供給する。アンテナ50の共振周波数は加熱物の形状や組成で大きく変動する。対して、第1共振回路P1の共振周波数は、共振回路内の固定定数に大きく依存するため、アンテナの共振周波数と比較して安定する。また抵抗R3が小さい場合、高周波電源の共振周波数はアンテナ50の共振周波数または第1共振回路P1の共振周波数として供給することができる。これにより第1共振回路P1の共振周波数でアンテナ50が駆動され、加熱物の変化に伴う共振周波数の変動が少ない状態で安定して加熱をすることができる。
また、第1共振回路P1のリターンロスが0.1dB以下となる周波数帯域と、アンテナ50のリターンロスが0.1dB以下となる周波数帯域と、が重なるように設計される。そして、高周波電源から供給される高周波電圧の周波数が、第1共振回路P1のリターンロスが0.1dB以下となる周波数帯域に存在するように設計される。
1.5.多段の構成
高周波誘電加熱装置100は、高周波電源すなわち高周波電圧発生回路Bと第1共振回路P1との間に電気的に接続され、高周波電源の高周波電圧に基づく第2共振電圧を出力する第2共振回路P2を含んでもよい。同様に図示はしないが第3あるいはそれ以上の数の共振回路を含むことも可能である。
図3は、本実施形態に係る高周波誘電加熱装置の一例としての高周波誘電加熱装置120の模式図である。図4は、高周波誘電加熱装置120の等価回路図である。高周波誘電加熱装置120は、第1電極10、第2電極20及びコイル30を含む電磁波発生部、並びに第1共振回路を構成する第1共振部40を備え、さらに、高周波電源と第1共振部40との間に電気的に接続され、高周波電源の高周波電圧に基づく第2共振電圧を出力する第2共振回路を構成する第2共振部60を含む。
高周波誘電加熱装置120の高周波電源、アンテナについては、上述の高周波誘電加熱装置100と同様であるので、同様の符号を付して説明を省略する。高周波誘電加熱装置120は、第2共振回路P2を構成する第2共振部60を含む点で、上述の高周波誘電加熱装置100と相違する。
第2共振回路P2は、高周波電源すなわち高周波電圧発生回路Bと上述の第1共振回路P1との間に電気的に接続され、高周波電源から入力される高周波電圧に基づく第2共振電圧を出力する。第2共振回路P2は、第2共振部60により構成される。第2共振部60は、図3に示すように、円環状の環状導電体64、環状導電体44と環状導電体64を電気的に接続する柱状導電体66、環状導電体44及び環状導電体64を貫通するように配置された内部導体4a並びに、内部導体4a及び環状導電体44との間に設置された絶縁体48から構成されている。
環状導電体64は、柱状導電体66、及び、外部導体4bに電気的に接続する。第2共振部60は、第2共振電圧を生成し、かかる第2共振電圧が、第1共振部40に対して供給される。そして、第1共振回路P1を構成する第1共振部40が、第2共振電圧に基づいて上述した第1共振電圧を出力し、アンテナ50が第1共振電圧によって駆動される。なお、柱状導電体66と内部導体4aとの間に、絶縁体が配置されても構わない。
図4に示す等価回路では、第2共振回路P2は、コンデンサーC4及びコイルL3が含まれる。コンデンサーC4は、図3の絶縁体67を表す。また、コイルL3は、内部導体4aに寄生的に発生するインダクタンスを表す。
第2共振回路P2におけるコンデンサーC4は、静電容量が固定されている。本実施形態の高周波誘電加熱装置120では、コンデンサーC4の容量を可変とする必要がない。これにより例えば製造コストを削減できる。また、コンデンサーC4の容量が固定されていても、後述するリターンロスの関係を満たす限り、アンテナ50を十分に効率よく駆動することができる。
また、第2共振回路P2のコイルL3とコンデンサーC4と、第1共振回路P1のコンデンサーC3をπ型に接続して構成されている。上記構成により様々なアンテナ50のインピーダンスに対応できる共振回路を得ることができる。
本実施形態の高周波誘電加熱装置120では、第2共振回路P2すなわち第2共振部60の共振周波数が、第1共振回路P1の共振周波数とは異なる。両者の共振周波数が互いに異なるように、上述した各構成の寸法や材質、容量が選択される。これにより第2共振回路P2及び第1共振回路P1の共振周波数でアンテナ50が駆動され、アンテナ50の共振周波数を第2共振回路P2及び第1共振回路P1によって支配的に決定することができる。
また、第2共振回路P2のリターンロスが0.1dB以下となる周波数帯域と、第1共振回路P1のリターンロスが0.1dB以下となる周波数帯域と、が重なるように設計される。そして、高周波電源から供給される高周波電圧の周波数が、第2共振回路P2のリターンロスが0.1dB以下となる周波数帯域に存在するように設計される。
高周波誘電加熱装置120では、共振回路を2つ備えている。このように共振回路をアンテナ50に対して並列に接続することで、アンテナ50の共振周波数の変動やインピーダンスの変動の影響をより受け難くなる。また、共振回路を複数並列に接続することにより、高周波誘電加熱装置120の共振回路の共振周波数がより固定定数に依存することになりアンテナ50の変動定数への依存度が下がり安定する。これにより並列共振回路の共振周波数でアンテナ50が駆動され、加熱物の変化に伴う共振周波数の変動が少ない状態で安定して加熱をすることができる。
2.記録装置
本実施形態の記録装置は、上述の高周波誘電加熱装置と、キャリッジと、液体吐出ヘッドと、を備える。そして、キャリッジは、高周波誘電加熱装置及び液体吐出ヘッドを搭載し、液体吐出ヘッドから吐出され、記録媒体に付着したインクのインク薄膜を高周波誘電加熱装置により乾燥させる。以下、キャリッジ、液体吐出ヘッドの順に説明する。
図5は、本実施形態の記録装置200の要部の模式図である。図5は、キャリッジ150及び記録媒体Mを示している。記録装置200は、高周波誘電加熱装置100と、液体吐出ヘッド160と、キャリッジ150と、を備える。
記録装置200は、キャリッジ150に液体吐出ヘッド160と、複数の高周波誘電加熱装置100とを備えている。キャリッジ150には高周波誘電加熱装置100及び液体吐出ヘッド160が搭載される。図示しないが、記録装置200は、各高周波誘電加熱装置100を駆動する高周波電源を備えている。また、図示しないが、複数の高周波誘電加熱装置100は、記録媒体Mの移動方向SSにおいて、液体吐出ヘッド160のノズル列の長さ以上の領域をカバーするように配置されている。記録装置200は、シリアル型のプリンターであり、記録媒体Mを移動させる機構と、キャリッジ150を往復動作させる機構とを有している。
記録装置200は、記録媒体Mを移動させて所定位置に配置すること、及び、キャリッジ150を記録媒体Mの移動方向SSと交差する方向に走査しながら液体吐出ヘッド160からインクを吐出して記録媒体Mの所定位置に所定量で付着させること、を複数回繰り返して、記録媒体M上に所定の画像を形成する。
高周波誘電加熱装置100は、キャリッジ150内で、キャリッジ150の走査方向MSにおいて、液体吐出ヘッド160の片側又は両側に配置される。図示の例では液体吐出ヘッド160の走査方向MSの両側にそれぞれ複数の高周波誘電加熱装置100が配置されている。このように配置することにより、液体吐出ヘッド160から吐出され、記録媒体Mに付着して薄膜となった液体を、キャリッジ150の移動速度及び液体吐出ヘッド160のノズルから高周波誘電加熱装置100までの走査方向MSにおける距離等に応じた時間経過後、早期に短時間で乾燥させることができる。
図5にては高周波誘電加熱装置100は、キャリッジ150の走査方向MSにおいて、液体吐出ヘッド160の両側にそれぞれ4列配置されている。これはインク薄膜乾燥に高周波誘電加熱装置100に9Wの高周波電力を入力するという条件にて、1/20秒必要なのに対して5mmの高周波誘電加熱装置100が1m/sで特定の座標を通過する時間は1/200秒であり、1/20秒に対して不足するためである。5mmの高周波誘電加熱装置100のインク加熱範囲をここでは12.5mm×12.5mmとし、これを4個並べることで同時に50mm×50mmの範囲を加熱できるようにしている。50mmの高周波誘電加熱装置10が特定の座標を通過するのに1/20秒かかることで乾燥に必要な時間を確保できる。
図5にては高周波誘電加熱装置100は、キャリッジ150の走査方向MSと垂直な方向に5列並べられている。これはインクヘッド60のノズル列には長さがあり5mm×5mmの高周波誘電加熱装置100が1つではその長さをカバーできないためである。ここではノズル列の長さを70mmとし、5個の高周波誘電加熱装置100を並べることでその長さをカバーしている。
本実施形態の記録装置200は、記録媒体Mが、フィルム等、インク等の液体がしみ込まない又はほとんどしみ込まない材質である場合に特に有効である。しかし、紙等の液体を吸収する記録媒体Mであっても、乾燥効果は十分に得られる。
3.実験例
以下、本発明を実験例によってより具体的に説明するが、本発明はこれらの実験例に限定されるものではない。
3.1.高周波誘電加熱装置の各要素の周波数特性
図6に、アンテナの等価回路のリターンロスのシミュレーション結果を示す。図6中、m1及びm2とあるのは、以下のことを表している。
m2:記録媒体も液体も無い状態であって、アンテナ50が等価的に約0.5pFのコンデンサーである場合。
m1:記録媒体(ポリエチレンテレフタレート)の上に21μm厚さの液体の塗膜が損際する状態であって、アンテナ50が等価的に約1.0pFのコンデンサーである場合。
アンテナは、図1及び図2に示すアンテナ50と同様にした。図7には、第1共振回路のリターンロスのシミュレーション結果を示す。第1共振回路は、図1及び図2に示す第1共振回路P1と同様にした。図8は、第1共振回路を有する高周波誘電加熱装置のリターンロスのシミュレーション結果を示す。高周波誘電加熱装置は、図1及び図2に示す高周波誘電加熱装置100と同様にした。
まず図7の第1共振回路P1の結果をみると、アンテナのリターンロスのグラフにおいて、1.5GHz付近でリターンロスは最小になっているが、抵抗R1(図1、図2を参照)が無いと、この最小点は存在できない。しかし抵抗R1があることにより、共振周波数でS11が実部抵抗値を持つことになるので、谷形状のグラフとなる。
図6~8をみると、第1共振回路P1は、単体で共振周波数を持ち、当該周波数で入力インピーダンスが50Ωとなる。また、第1共振回路P1にアンテナ50を接続し、アンテナ50の共振周波数を、第1共振回路P1の共振周波数から敢えてずらし、第1共振回路P1の共振周波数で高周波誘電加熱装置100を駆動することにより、加熱物の状況で変動の大きいアンテナ50の共振周波数ではなくより共振周波数が安定する第1共振回路P1の共振周波数で加熱を行えるようになる。これにより固定周波数にて安定に加熱をすることが可能になり、抵抗R3が小さくなるよう設計すれば加熱効率も第1共振回路の共振周波数もアンテナ50の共振周波数も変わらず高効率の加熱が可能になる。
複数の共振回路をアンテナ50に対して並列に接続したシミュレーションを行った。複数の共振回路を並列に接続することにより、液体の状態に起因するアンテナ50の共振周波数の変動を抑制することができる。図9には、第1共振回路P1及び第2共振回路P2を有する高周波誘電加熱装置120についてのリターンロスのシミュレーション結果を示す。高周波誘電加熱装置は、図3及び図4に示す高周波誘電加熱装置120と同様にした。
図9をみると、共振回路1段から2段にすることで加熱の対象となる液体の状態に起因したアンテナ50の共振周波数の変動が抑制できることが分かった。ここで高周波誘電加熱装置120の等価回路では、第1電極10及び第2電極20は、コンデンサーC1に置き換えて考えることができる。またコンデンサーC1の容量が、液体の状態に起因して変動する様子は、HFSSシミュレーションを行ったところ、次のようなものであると考えられる。
図8及び図9を参照する。図8及び図9中、m1及びm2とあるのは、以下のことを表している。
m1:記録媒体も液体も無い状態であって、アンテナ50が等価的に約0.5pFのコンデンサーである場合。
m2:記録媒体(ポリエチレンテレフタレート)の上に21μm厚さの液体の塗膜が存在する状態であって、アンテナ50が等価的に約1.0pFのコンデンサーである場合。
図8をみると、1段の共振回路を実装したときの等価回路のリターンロスのシミュレーションの結果、記録媒体と液体の有無によって、88MHzの周波数差(記録媒体及び液体がある場合には88MHz小さくなる)があることが分かった。これに対して図9に示すように、2段の共振回路を実装したときの等価回路のリターンロスのシミュレーションの結果では、記録媒体と液体の有無によって、27MHzの周波数差(記録媒体及び液体がある場合には27MHz小さくなる)となり、周波数の差が縮小することが分かる。このことは、高周波誘電加熱装置に2段の共振回路を設ければ、加熱の対象の形状や組成の変動が大きい場合でも、複雑な制御を行うことなく、変動に追従して加熱の効率を良好にすることができること、すなわち、アンテナの周波数特性やインピーダンスが変動しても、第1共振回路及び第2共振回路を介することで、安定してアンテナに高周波電力を給電することができることを示している。
なお、1段の共振回路を実装したときの等価回路のリターンロスのシミュレーションの結果、記録媒体と液体の有無によって、88MHzの周波数差となっているが、図6のように共振回路を有しない場合よりも周波数の差は十分に小さく、1段の共振回路でも実装することで顕著な効果が得られている。
3.2.等価回路の特性とシミュレーション結果の相似性
高周波誘電加熱装置の等価回路が、電磁界シミュレーション(HFSS)で計算した特性と相似であることを以下に示す。ここではアンテナ50、第1共振回路P1、高周波誘電加熱装置100の3つについてそれぞれ検証を行った。図10は、アンテナ50、図11は、第1共振回路P1、図12は、高周波誘電加熱装置100のそれぞれの等価回路の電磁界シミュレーション結果(HFSS)である。
図10及び図6、図11及び図7、図12及び図8をそれぞれ見比べると、電磁界シミュレーション(HFSS)のグラフ形状と、リターンロスの周波数特性のグラフ形状は、互いに概ね一致しており、本明細書で用いた等価回路が、高周波誘電加熱装置の等価回路として妥当なものであることが分かった。また、アンテナの帯域は、共振回路が接続されることで1.5倍程に広がることも分かった。このような挙動も、加熱の対象となる液体の状態が変動した場合に、高周波誘電加熱装置の共振周波数が帯域内に留まりやすくする作用を示すものと考えられる。
図13は、アンテナ50のインピーダンスのスミスチャートである。図14は、アンテナ50のリターンロスの周波数特性のグラフである。
図13のスミスチャートに外周に内接している実線の円が、インピーダンスが虚数成分のみで実部がなく、50Ω線路から決して信号を入力できないことを示す。また図13のスミスチャートの外周に接することなく内側に描かれた点線の円は、リターンロスが0.1dB、すなわちリターンが-0.1dBとなる境界である。一方、図14の周波数特性の0dBのベースラインの下に点線で描かれた直線は、図13のスミスチャート中の点線の円と同義であり、リターンロスが0.1dB、すなわちリターンが-0.1dBとなる境界である。
スミスチャートの外周では、50Ωの給電線から入力された高周波がアンテナで全反射されることを表す。しかし、わずかでもスミスチャートの外周よりも内側にあれば原理的にはマッチング回路の定数を調整すれば反射をゼロにすることができる。本発明の高周波誘電加熱装置は、図13のスミスチャートの内側の点線よりも内側、すなわち図14の周波数特性のグラフの点線よりも下(矢印参照)となる周波数であれば使用可能ということができる。
なお、図13のスミスチャートの外周は、図14の周波数特性のグラフの0dBを表し、図13のスミスチャートの中心は、図14のリターンロスの周波数特性で-∞dBとなる。ここで、図13のスミスチャートに実線で示した円は、スミスチャートの中心を通っていないので、図14のリターンロスのグラフの谷の先端が-11dBとなっている。
図15は、上述した高周波誘電加熱装置100の高周波発生回路Bと第1共振回路P1との間に直列にコンデンサーC5を挿入した高周波誘電加熱装置140の等価回路である。例えば、図15に示すような等価回路の構成とすることにより、上述した第2共振回路P2と類似した効果を有する第2共振回路P2’とすることができ、第1共振回路P1と第2共振回路P2’のリターンロスのピークを重ねることができることを確認した。この回路構成の場合には、共振回路の共振勢力がより強くなり、共振回路の共振周波数での液体の加熱効率がより良くなった。
図15に示す等価回路について高周波発生回路Bからインク等への加熱物へのエネルギー伝送量が本発明により改善する様子を説明する。ここではインクのパターン等によるアンテナ特性の変動としC1が基準値1pFから1.5pFに増加、あるいは0.5pFに減少したとし、そのときの上記エネルギー伝送量の周波数特性をそれぞれ図16と図17に示す。実機ではこれほど大きな容量変動は発生しないが、本発明の効果を明確に示すため±0.5pF変動させている。
ここでアンテナ50にマッチング回路としてコンデンサーを1つだけを並列接続し本発明による並列共振回路を用いなかったときの伝送利得の変動は1.5pFで23dB減少、0.5pFで32dB減少である。また図16、図17にて各グラフ中に2つあるピークのうち左側が並列共振回路に起因するピーク、右側がアンテナ50に起因するピークである。図16の場合、並列共振回路のピークは+0.5pFだけC1が変動することで9dB伝送利得は減少し、アンテナ50のピークは12dB減少している。共に並列共振回路を用いない場合の23dB減少に対して改善しているが、並列共振回路のピークはアンテナ50のピークより3dB(=12dB-9dB)だけ減衰量が緩和されていることが分かる。同様に図17の場合、並列共振回路のピークは-0.5pFだけC1が変動することで29dB伝送利得は減少し、アンテナ50のピークは38dB減少している。アンテナ50のピーク38dB、共振回路を用いない場合の32dB減少に対して劣化しているものの、並列共振回路のピークは29dB減少でありアンテナ50のピークより9dB(=38dB-29dB)、並列共振回路が無いときより3dB(=32dB-29dB)だけ減衰量が緩和されていることが分かる。
上述した実施形態及び変形例は一例であって、これらに限定されるわけではない。例えば、各実施形態及び各変形例を適宜組み合わせることも可能である。
本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成、例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
上述した実施形態及び変形例から以下の内容が導き出される。
高周波誘電加熱装置の一態様は、
高周波電圧を発生させる高周波電源と、
前記高周波電源と電気的に接続され、前記高周波電圧に基づく第1共振電圧を出力する第1共振回路と、
第1電極と第2電極とを含むコンデンサーと、コイルとを有し、前記第1共振回路と電気的に接続され、前記第1共振電圧が供給されるアンテナと、
を備え、
前記コイルの一端は、前記第1電極と電気的に接続され、他端は、前記第1共振回路と電気的に直列に接続され、
前記第1共振回路は、静電容量が固定されたコンデンサーを含み、
前記第1共振回路の共振周波数は、前記アンテナの共振周波数とは異なり、
前記第1共振回路のリターンロスが0.1dB以下となる周波数帯域と、前記アンテナのリターンロスが0.1dB以下となる周波数帯域と、が重なり、
前記高周波電圧の周波数は、前記第1共振回路のリターンロスが0.1dB以下となる周波数帯域に存在する。
この高周波誘電加熱装置によれば、加熱の対象の形状や組成の変動が大きい場合でも、回路定数を都度調整するような複雑な制御を行うことなく、変動に対して安定して加熱の効率を良好に維持することができる。すなわち、アンテナの周波数特性やインピーダンスが変動しても、第1共振回路を介することで、安定してアンテナに高周波電力を給電することができる。
上記高周波誘電加熱装置の態様において、
前記第1電極と前記第2電極との間の最小離間距離は、前記アンテナから放射される電磁波の波長の1/10以下であってもよい。
この高周波誘電加熱装置によれば、アンテナから放射される電磁波の強度を、第1電極1及び第2電極2の近傍で非常に強くすることができる。
上記高周波誘電加熱装置の態様において、
前記第1電極に前記第1共振電圧が印加され、前記第2電極に基準電位が印加されてもよい。
この高周波誘電加熱装置によれば、加熱物の形状の変動等による外乱に対する耐性をより良好にできる。
上記高周波誘電加熱装置の態様において、
前記高周波電源と前記第1共振回路との間に電気的に接続され、前記高周波電圧に基づく第2共振電圧を出力する第2共振回路を含み、
前記第1共振回路は、前記第2共振電圧に基づいて第1共振電圧を出力し、
前記第2共振回路は静電容量が固定されたコンデンサーを含み、
前記第2共振回路の共振周波数は、前記第1共振回路の共振周波数とは異なり、
前記第2共振回路のリターンロスが0.1dB以下となる周波数帯域と、前記第1共振回路のリターンロスが0.1dB以下となる周波数帯域と、が重なり、
前記高周波電源の周波数は、前記第2共振回路のリターンロスが0.1dB以下となる周波数帯域に存在してもよい。
この高周波誘電加熱装置によれば、加熱の対象の形状や組成の変動が大きい場合でも、複雑な制御を行うことなく、変動に追従して加熱の効率をさらに良好にすることができる。すなわち、アンテナの周波数特性やインピーダンスが変動しても、第2共振回路及び第1共振回路の2段の回路を介することで、さらに安定してアンテナに高周波電力を給電することができる。
上記高周波誘電加熱装置の態様において、
前記第1共振回路は、コイルとコンデンサーをπ型に接続して構成されてもよい。
この高周波誘電加熱装置によれば、第1共振回路の特性がより良好となり、加熱の効率がさらに向上する。
上記高周波誘電加熱装置の態様において、
前記第2共振回路は、コイルとコンデンサーをπ型に接続して構成されてもよい。
この高周波誘電加熱装置によれば、第2共振回路の特性がより良好となり、加熱の効率がさらに向上する。
上記高周波誘電加熱装置の態様において、
前記コイルの一端は、前記第1電極と電気的に接続され、他端は、基準電位に接続され、
前記第2電極は、前記第1共振回路と電気的に直列に接続されてもよい。
記録装置の一態様は、
上記態様の高周波誘電加熱装置と、
キャリッジと、
液体吐出ヘッドと、
を備え、
前記キャリッジは、前記高周波誘電加熱装置のうち少なくともヒーター、及び前記液体吐出ヘッドを搭載し、
前記液体吐出ヘッドから吐出され、記録媒体に付着した液体の薄膜を前記高周波誘電加熱装置により乾燥させる。
この記録装置によれば、加熱の対象である液体の形状や組成の変動が大きい場合でも、複雑な制御を行うことなく、変動に追従して加熱の効率を良好にすることができる。すなわち、アンテナの周波数特性やインピーダンスが変動しても、第1共振回路を介することで、安定してアンテナに高周波電力を給電することができる。これにより、記録媒体に付着された液体を効率よく乾燥させることができる。
4a…内部導体、4b…外部導体、10…第1電極、20…第2電極、22…接続部、30…コイル、40…第1共振部、42…筒状導電体、44,64…環状導電体、46,66…柱状導電体、47,48,67…絶縁体、50…アンテナ、60…第2共振部、100,120,140…高周波誘電加熱装置、150…キャリッジ、160…液体吐出ヘッド、200…記録装置、B…高周波電圧発生回路、M…記録媒体、L1~L3…コイル、C1~C5…コンデンサー、MS…走査方向、SS…移動方向、R1~R3…抵抗

Claims (8)

  1. 高周波電圧を発生させる高周波電源と、
    前記高周波電源と電気的に接続され、前記高周波電圧に基づく第1共振電圧を出力する第1共振回路と、
    第1電極と第2電極とを含むコンデンサーと、コイルとを有し、前記第1共振回路と電気的に接続され、前記第1共振電圧が供給されるアンテナと、
    を備え、
    前記コイルの一端は、前記第1電極と電気的に接続され、他端は、前記第1共振回路と電気的に直列に接続され、
    前記第1共振回路は、静電容量が固定されたコンデンサーを含み、
    前記第1共振回路の共振周波数は、前記アンテナの共振周波数とは異なり、
    前記第1共振回路のリターンロスが0.1dB以下となる周波数帯域と、前記アンテナのリターンロスが0.1dB以下となる周波数帯域と、が重なり、
    前記高周波電圧の周波数は、前記第1共振回路のリターンロスが0.1dB以下となる周波数帯域に存在する、高周波誘電加熱装置。
  2. 請求項1において、
    前記第1電極と前記第2電極との間の最小離間距離は、前記アンテナから放射される電磁波の波長の1/10以下である、高周波誘電加熱装置。
  3. 請求項1又は請求項2において、
    前記第1電極に前記第1共振電圧が印加され、前記第2電極に基準電位が印加される、高周波誘電加熱装置。
  4. 請求項1ないし請求項3のいずれか一項において、
    前記高周波電源と前記第1共振回路との間に電気的に接続され、前記高周波電圧に基づく第2共振電圧を出力する第2共振回路を含み、
    前記第1共振回路は、前記第2共振電圧に基づいて第1共振電圧を出力し、
    前記第2共振回路は静電容量が固定されたコンデンサーを含み、
    前記第2共振回路の共振周波数は、前記第1共振回路の共振周波数とは異なり、
    前記第2共振回路のリターンロスが0.1dB以下となる周波数帯域と、前記第1共振回路のリターンロスが0.1dB以下となる周波数帯域と、が重なり、
    前記高周波電源の周波数は、前記第2共振回路のリターンロスが0.1dB以下となる周波数帯域に存在する、高周波誘電加熱装置。
  5. 請求項1ないし請求項4のいずれか一項において、
    前記第1共振回路は、コイルとコンデンサーをπ型に接続して構成される、
    高周波誘電加熱装置。
  6. 請求項4において
    前記第2共振回路は、コイルとコンデンサーをπ型に接続して構成される、
    高周波誘電加熱装置。
  7. 請求項1ないし請求項に記載の高周波誘電加熱装置と、
    キャリッジと、
    液体吐出ヘッドと、を備え、
    前記キャリッジは、前記高周波誘電加熱装置のうち少なくともヒーター、及び前記液体吐出ヘッドを搭載し、
    前記液体吐出ヘッドから吐出され、記録媒体に付着した液体の薄膜を前記高周波誘電加熱装置により乾燥させる、記録装置。
  8. 高周波電圧を発生させる高周波電源と、
    前記高周波電源と電気的に接続され、前記高周波電圧に基づく第1共振電圧を出力する第1共振回路と、
    第1電極と第2電極とを含むコンデンサーと、コイルとを有し、前記第1共振回路と電気的に接続され、前記第1共振電圧が供給されるアンテナと、
    を備え、
    前記コイルの一端は、前記第1電極と電気的に接続され、他端は基準電位に接続され、
    前記第2電極は、前記第1共振回路と電気的に直列に接続され、
    前記第1共振回路は、静電容量が固定されたコンデンサーを含み、
    前記第1共振回路の共振周波数は、前記アンテナの共振周波数とは異なり、
    前記第1共振回路のリターンロスが0.1dB以下となる周波数帯域と、前記アンテナのリターンロスが0.1dB以下となる周波数帯域と、が重なり、
    前記高周波電圧の周波数は、前記第1共振回路のリターンロスが0.1dB以下となる周波数帯域に存在する、高周波誘電加熱装置。
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