JP7415020B2 - 着色組成物、光学フィルタの製造方法および固体撮像素子の製造方法 - Google Patents
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- G03F7/2002—Exposure; Apparatus therefor with visible light or UV light, through an original having an opaque pattern on a transparent support, e.g. film printing, projection printing; by reflection of visible or UV light from an original such as a printed image
- G03F7/2004—Exposure; Apparatus therefor with visible light or UV light, through an original having an opaque pattern on a transparent support, e.g. film printing, projection printing; by reflection of visible or UV light from an original such as a printed image characterised by the use of a particular light source, e.g. fluorescent lamps or deep UV light
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
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Description
<1> 顔料と、下記式(1)で表される比吸光度が20以上である分散助剤と、光重合開始剤と、重合性モノマーとを含む着色組成物であり、
上記着色組成物の全固形分中における上記顔料の含有量が60質量%以上である、波長300nm以下の光での露光用の着色組成物;
E1=A1/(c1×l1) ・・・(1)
式(1)中、E1は、波長400~700nmの範囲での最大吸収波長における分散助剤の比吸光度を表し、
A1は、波長400~700nmの範囲での最大吸収波長における分散助剤の吸光度を表し、
l1は、単位がcmで表されるセル長を表し、
c1は、単位がmg/mlで表される、溶液中の分散助剤の濃度を表す。
<2> 上記顔料と上記分散助剤との合計100質量部に対して、上記分散助剤を5~20質量部含む、<1>に記載の着色組成物。
<3> 上記分散助剤は、キノフタロン色素構造、アゾ色素構造、アントラキノン色素構造、ジアントラキノン色素構造、チアジンインジゴ色素構造、キナクリドン色素構造、ベンゾインドール色素構造、ジケトピロロピロール色素構造、フタロシアニン色素構造、イソインドリン色素構造およびジオキサジン色素構造から選ばれる色素構造を有する化合物である、<1>または<2>に記載の着色組成物。
<4> 上記分散助剤は式(B1)で表される化合物である、<1>~<3>のいずれか1つに記載の着色組成物;
<5> 上記分散助剤の分子量が1000以下である、<1>~<4>のいずれか1つに記載の着色組成物。
<6> 上記顔料は赤色顔料を含む、<1>~<5>のいずれか1つに記載の着色組成物。
<7> 上記着色組成物の全固形分中における上記顔料の含有量が60~80質量%である、<1>~<6>のいずれか1つに記載の着色組成物。
<8> 固体撮像素子用である、<1>~<7>のいずれか1つに記載の着色組成物。
<9> <1>~<8>のいずれか1つに記載の着色組成物を用いて支持体上に着色組成物層を形成する工程と、
上記着色組成物層に波長300nm以下の光をパターン状に照射して露光する工程と、
未露光部の上記着色組成物層を現像除去して画素を形成する工程と、
を含む光学フィルタの製造方法。
<10> 上記着色組成物層に照射する波長300nm以下の光は、波長248nmの光である、<9>に記載の光学フィルタの製造方法。
<11> <9>または<10>に記載の光学フィルタの製造方法を含む固体撮像素子の製造方法。
本明細書において、「~」とはその前後に記載される数値を下限値および上限値として含む意味で使用される。
本明細書における基(原子団)の表記において、置換および無置換を記していない表記は、置換基を有さない基(原子団)と共に置換基を有する基(原子団)をも包含する。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基(無置換アルキル基)のみならず、置換基を有するアルキル基(置換アルキル基)をも包含する。
本明細書において、「(メタ)アクリレート」は、アクリレートおよびメタクリレートの双方、または、いずれかを表し、「(メタ)アクリル」は、アクリルおよびメタクリルの双方、または、いずれかを表し、「(メタ)アクリロイル」は、アクリロイルおよびメタクリロイルの双方、または、いずれかを表す。
本明細書において、構造式中のMeはメチル基を表し、Etはエチル基を表し、Buはブチル基を表し、Phはフェニル基を表す。
本明細書において、重量平均分子量および数平均分子量は、GPC(ゲルパーミエーションクロマトグラフィ)法により測定したポリスチレン換算値である。
本明細書において、全固形分とは、組成物の全成分から溶剤を除いた成分の総質量をいう。
本明細書において、顔料とは、溶剤に対して溶解しにくい色材を意味する。例えば、顔料は、23℃の水100gおよび23℃のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート100gに対する溶解度がいずれも0.1g以下であることが好ましく、0.01g以下であることがより好ましい。
本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。
本発明の着色組成物は、顔料と、式(1)で表される比吸光度が20以上である分散助剤と、光重合開始剤と、重合性モノマーとを含む着色組成物であり、
上記着色組成物の全固形分中における上記顔料の含有量が60質量%以上である、波長300nm以下の光での露光用の着色組成物であることを特徴とする。
このため、本発明の着色組成物によれば、全固形分中における顔料の含有量が60質量%以上であるにもかかわらず、支持体との密着性に優れ、矩形性の良い画素を形成することできる。
本発明の着色組成物は顔料を含む。顔料は、無機顔料、有機顔料のいずれでもよいが、有機顔料であることが好ましい。また、顔料には、無機顔料または有機-無機顔料の一部を有機発色団で置換した材料を用いることもできる。無機顔料や有機-無機顔料を有機発色団で置換することで、色相設計をしやすくできる。
(Bk1)赤色顔料と青色顔料とを含有する態様。
(Bk2)赤色顔料と青色顔料と黄色顔料とを含有する態様。
(Bk3)赤色顔料と青色顔料と黄色顔料と紫色顔料とを含有する態様。
(Bk4)赤色顔料と青色顔料と黄色顔料と紫色顔料と緑色顔料とを含有する態様。
(Bk5)赤色顔料と青色顔料と黄色顔料と緑色顔料とを含有する態様。
(Bk6)赤色顔料と青色顔料と緑色顔料とを含有する態様。
(Bk7)黄色顔料と紫色顔料とを含有する態様。
本発明の着色組成物は染料を含んでいてもよい。染料としては特に制限はなく、公知の染料が使用できる。染料としては、有彩色染料、黒色染料、近赤外線吸収染料などが挙げられる。染料としては、公知の染料を用いることができる。また、特開2019-073695号公報に記載のメチン染料、特開2019-073696号公報に記載のメチン染料、特開2019-073697号公報に記載のメチン染料、特開2019-073698号公報に記載のメチン染料等を用いることもできる。また、染料としては、色素多量体を用いることもできる。色素多量体は、一分子中に、色素構造を2以上有するものであり、色素構造を3以上有することが好ましい。上限は、特に限定はないが、100以下とすることもできる。一分子中に有する複数の色素構造は、同一の色素構造であってもよく、異なる色素構造であってもよい。色素多量体の重量平均分子量(Mw)は、2000~50000が好ましい。下限は、3000以上がより好ましく、6000以上がさらに好ましい。上限は、30000以下がより好ましく、20000以下がさらに好ましい。色素多量体は、特開2011-213925号公報、特開2013-041097号公報、特開2015-028144号公報、特開2015-030742号公報、特開2016-102191号公報、国際公開第2016/031442号等に記載されている化合物を用いることもできる。
また、着色組成物中における染料の含有量は、顔料100質量部に対して60質量部以下であることが好ましく、40質量部以下であることがより好ましく、20質量部以下であることが更に好ましい。
本発明の着色組成物は、分散助剤を含む。本明細書において、分散助剤とは、着色組成物中において顔料の分散性を高めるための素材のことであり、例えば、顔料誘導体等が挙げられる。着色組成物が更に分散剤などの樹脂を含む場合には、顔料と分散助剤と樹脂との間でネットワークを形成して顔料の分散性をより向上させることができる。
式(1)中、E1は、波長400~700nmの範囲での最大吸収波長における分散助剤の比吸光度を表し、
A1は、波長400~700nmの範囲での最大吸収波長における分散助剤の吸光度を表し、
l1は、単位がcmで表されるセル長を表し、
c1は、単位がmg/mlで表される、溶液中の分散助剤の濃度を表す。
式(B1)のnは、1または2であることが好ましい。
置換基Tとしては、次の基が挙げられる。ハロゲン原子(例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子)、アルキル基(好ましくは炭素数1~30のアルキル基)、アルケニル基(好ましくは炭素数2~30のアルケニル基)、アルキニル基(好ましくは炭素数2~30のアルキニル基)、アリール基(好ましくは炭素数6~30のアリール基)、ヘテロアリール基(好ましくは炭素数1~30のヘテロアリール基)、アルコキシ基(好ましくは炭素数1~30のアルコキシ基)、アリールオキシ基(好ましくは炭素数6~30のアリールオキシ基)、ヘテロアリールオキシ基(好ましくは炭素数1~30のヘテロアリールオキシ基)、アシル基(好ましくは炭素数2~30のアシル基)、アルコキシカルボニル基(好ましくは炭素数2~30のアルコキシカルボニル基)、アリールオキシカルボニル基(好ましくは炭素数7~30のアリールオキシカルボニル基)、ヘテロアリールオキシカルボニル基(好ましくは炭素数2~30のヘテロアリールオキシカルボニル基)、アシルオキシ基(好ましくは炭素数2~30のアシルオキシ基)、アシルアミノ基(好ましくは炭素数2~30のアシルアミノ基)、アミノカルボニルアミノ基(好ましくは炭素数2~30のアミノカルボニルアミノ基)、アルコキシカルボニルアミノ基(好ましくは炭素数2~30のアルコキシカルボニルアミノ基)、アリールオキシカルボニルアミノ基(好ましくは炭素数7~30のアリールオキシカルボニルアミノ基)、スルファモイル基(好ましくは炭素数0~30のスルファモイル基)、スルファモイルアミノ基(好ましくは炭素数0~30のスルファモイルアミノ基)、カルバモイル基(好ましくは炭素数1~30のカルバモイル基)、アルキルチオ基(好ましくは炭素数1~30のアルキルチオ基)、アリールチオ基(好ましくは炭素数6~30のアリールチオ基)、ヘテロアリールチオ基(好ましくは炭素数1~30のヘテロアリールチオ基)、アルキルスルホニル基(好ましくは炭素数1~30のアルキルスルホニル基)、アルキルスルホニルアミノ基(好ましくは炭素数1~30のアルキルスルホニルアミノ基)、アリールスルホニル基(好ましくは炭素数6~30のアリールスルホニル基)、アリールスルホニルアミノ基(好ましくは炭素数6~30のアリールスルホニルアミノ基)、ヘテロアリールスルホニル基(好ましくは炭素数1~30のヘテロアリールスルホニル基)、ヘテロアリールスルホニルアミノ基(好ましくは炭素数1~30のヘテロアリールスルホニルアミノ基)、アルキルスルフィニル基(好ましくは炭素数1~30のアルキルスルフィニル基)、アリールスルフィニル基(好ましくは炭素数6~30のアリールスルフィニル基)、ヘテロアリールスルフィニル基(好ましくは炭素数1~30のヘテロアリールスルフィニル基)、ウレイド基(好ましくは炭素数1~30のウレイド基)、ヒドロキシ基、ニトロ基、イミド基、メルカプト基、シアノ基、アルキルスルフィノ基、アリールスルフィノ基、アリールアゾ基、ヘテロアリールアゾ基、シリル基、ヒドラジノ基、イミノ基。これらの基は、さらに置換可能な基である場合、さらに置換基を有してもよい。置換基としては、上述した置換基Tで説明した基が挙げられる。
また、顔料と特定分散助剤との合計100質量部に対して、特定分散助剤を5~20質量部含むことが好ましい。下限は、6質量部以上であることがより好ましく、7質量部以上であることが更に好ましい。上限は、15質量部以下であることがより好ましく、12質量部以下であることが更に好ましい。特定分散助剤の上記含有量が上記範囲であれば、より矩形性の良い画素を形成できる。更には、着色組成物中における顔料の分散性が良好であり、着色組成物の保存安定性も向上できる。また、現像後の残渣の発生も抑制することができる。
本発明の着色組成物は、重合性モノマーを含有する。重合性モノマーとしては、ラジカル、酸または熱により架橋可能な公知の化合物を用いることができる。本発明において、重合性モノマーは、例えば、エチレン性不飽和結合含有基を有する化合物であることが好ましい。エチレン性不飽和結合含有基としては、ビニル基、(メタ)アリル基、(メタ)アクリロイル基などが挙げられる。本発明で用いられる重合性モノマーは、ラジカル重合性モノマーであることが好ましい。
本発明の着色組成物は光重合開始剤を含有する。光重合開始剤としては、特に制限はなく、公知の光重合開始剤の中から適宜選択することができる。例えば、紫外線領域から可視領域の光線に対して感光性を有する化合物が好ましい。光重合開始剤は、光ラジカル重合開始剤であることが好ましい。
RX2は、アルキル基、アルケニル基、アルコキシ基、アリール基、アリールオキシ基、複素環基、複素環オキシ基、アルキルスルファニル基、アリールスルファニル基、アルキルスルフィニル基、アリールスルフィニル基、アルキルスルホニル基、アリールスルホニル基、アシルオキシ基またはアミノ基を表し、
RX3~RX14は、それぞれ独立して水素原子または置換基を表す;
ただし、RX10~RX14のうち少なくとも一つは、電子求引性基である。
また、光重合開始剤の含有量は、重合性モノマー100質量部に対して25~400質量部が好ましい。下限は、40質量部以上がより好ましく、60質量部以上が更に好ましい。上限は、250質量部以下がより好ましく、150質量部以下が更に好ましい。
本発明の着色組成物は、樹脂を含有することが好ましい。樹脂は、例えば、顔料を着色組成物中で分散させる用途やバインダーの用途で配合される。なお、主に顔料を分散させるために用いられる樹脂を分散剤ともいう。ただし、樹脂のこのような用途は一例であって、このような用途以外の目的で使用することもできる。
樹脂のC=C価[mmol/g]=(低分子成分(a)の含有量[ppm]/低分子成分(a)の分子量[g/mol])/(樹脂の秤量値[g]×(樹脂の固形分濃度[質量%]/100)×10)
式(Ac-2)中、Ar10は芳香族カルボキシル基を含む基を表し、L11は、-COO-または-CONH-を表し、L12は3価の連結基を表し、P10はポリマー鎖を表す。
式(Ar-12)中、n2は1~8の整数を表し、1~4の整数であることが好ましく、1または2であることがより好ましく、2であることが更に好ましい。
式(Ar-13)中、n3およびn4はそれぞれ独立して0~4の整数を表し、0~2の整数であることが好ましく、1または2であることがより好ましく、1であることが更に好ましい。ただし、n3およびn4の少なくとも一方は1以上の整数である。
式(Ar-13)中、Q1は、単結合、-O-、-CO-、-COOCH2CH2OCO-、-SO2-、-C(CF3)2-、上記式(Q-1)で表される基または上記式(Q-2)で表される基を表す。
式(Ar-11)~(Ar-13)中、*1はL1との結合位置を表す。
上記式において、RP3は、水素原子またはメチル基を表す。
上記式において、LP1は、単結合またはアリーレン基を表し、LP2は、単結合または2価の連結基を表す。LP1は、単結合であることが好ましい。LP2が表す2価の連結基としては、アルキレン基(好ましくは炭素数1~12のアルキレン基)、アリーレン基(好ましくは炭素数6~20のアリーレン基)、-NH-、-SO-、-SO2-、-CO-、-O-、-COO-、-OCO-、-S-、-NHCO-、-CONH-、およびこれらの2以上を組み合わせてなる基が挙げられる。
RP4は、水素原子又は置換基を表す。置換基としては、ヒドロキシ基、カルボキシル基、アルキル基、アリール基、ヘテロアリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基、ヘテロアリールオキシ基、アルキルチオエーテル基、アリールチオエーテル基、ヘテロアリールチオエーテル基、(メタ)アクリロイル基、オキセタニル基、ブロックイソシアネート基等が挙げられる。なお、本明細書におけるブロックイソシアネート基とは、熱によりイソシアネート基を生成することが可能な基であり、例えば、ブロック剤とイソシアネート基とを反応させイソシアネート基を保護した基が好ましく例示できる。ブロック剤としては、オキシム化合物、ラクタム化合物、フェノール化合物、アルコール化合物、アミン化合物、活性メチレン化合物、ピラゾール化合物、メルカプタン化合物、イミダゾール系化合物、イミド系化合物等を挙げることができる。ブロック剤については、特開2017-067930号公報の段落0115~0117に記載された化合物が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。また、ブロックイソシアネート基は、90℃~260℃の熱によりイソシアネート基を生成することが可能な基であることが好ましい。
また、着色組成物に含まれる樹脂中における酸基を有する樹脂の含有量は、10~100質量%であることが好ましい。下限は、20質量%以上がより好ましく、30質量%以上が更に好ましい。上限は、90質量%以下とすることができ、80質量%以下とすることもできる。
また、着色組成物に含まれる樹脂中におけるエチレン性不飽和結合含有基を有する樹脂の含有量は、10~100質量%であることが好ましい。下限は、20質量%以上がより好ましく、30質量%以上が更に好ましい。上限は、80質量%以下とすることができ、60質量%以下とすることもできる。
また、エチレン性不飽和結合含有基を有する樹脂の含有量の含有量は、重合性モノマーの100質量部に対して10~300質量部であることが好ましい。下限は、50質量部以上がより好ましく、100質量部以上が更に好ましい。上限は、250質量部以下がより好ましく、200質量部以下が更に好ましい。
本発明の着色組成物は、ポリアルキレンイミンを含有することもできる。ポリアルキレンイミンとは、アルキレンイミンを開環重合したポリマーであって1級アミノ基と、2級アミノ基と、3級アミノ基とをそれぞれ含む分岐構造を有するポリマーである。アルキレンイミンの炭素数は2~6が好ましく、2~4がより好ましく、2または3であることが更に好ましく、2であることが特に好ましい。
本発明の着色組成物は、環状エーテル基を有する化合物を含有することができる。環状エーテル基としては、エポキシ基、オキセタニル基などが挙げられる。環状エーテル基を有する化合物は、エポキシ基を有する化合物(以下、エポキシ化合物ともいう)であることが好ましい。エポキシ化合物としては、1分子内にエポキシ基を1つ以上有する化合物が挙げられ、エポキシ基を2つ以上有する化合物が好ましい。エポキシ化合物はエポキシ基を1分子内に1~100個有する化合物であることが好ましい。エポキシ化合物に含まれるエポキシ基の上限は、例えば、10個以下とすることもでき、5個以下とすることもできる。エポキシ化合物に含まれるエポキシ基の下限は、2個以上が好ましい。エポキシ化合物としては、特開2013-011869号公報の段落番号0034~0036、特開2014-043556号公報の段落番号0147~0156、特開2014-089408号公報の段落番号0085~0092に記載された化合物、特開2017-179172号公報に記載された化合物を用いることもできる。これらの内容は、本明細書に組み込まれる。
本発明の着色組成物は、硬化促進剤を含んでもよい。硬化促進剤としては、チオール化合物、メチロール化合物、アミン化合物、ホスホニウム塩化合物、アミジン塩化合物、アミド化合物、塩基発生剤、イソシアネート化合物、アルコキシシラン化合物、オニウム塩化合物などが挙げられる。硬化促進剤の具体例としては、国際公開第2018/056189号の段落番号0094~0097に記載の化合物、特開2015-034963号公報の段落番号0246~0253に記載の化合物、特開2013-041165号公報の段落番号0186~0251に記載の化合物、特開2014-055114号公報に記載のイオン性化合物、特開2012-150180号公報の段落番号0071~0080に記載の化合物、特開2011-253054号公報に記載のアルコキシシラン化合物、特許第5765059号公報の段落番号0085~0092に記載の化合物、特開2017-036379号公報に記載のカルボキシル基含有エポキシ硬化剤などが挙げられる。着色組成物の全固形分中における硬化促進剤の含有量は0.3~8.9質量%が好ましく、0.8~6.4質量%がより好ましい。
本発明の着色組成物は、界面活性剤を含有することができる。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用することができる。界面活性剤については、国際公開第2015/166779号の段落番号0238~0245に記載された界面活性剤が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。
本発明の着色組成物は、溶剤を含有することができる。溶剤の種類は、各成分の溶解性や組成物の塗布性を満足すれば基本的には特に制限はない。溶剤は、有機溶剤であることが好ましい。有機溶剤としては、エステル系溶剤、ケトン系溶剤、アルコール系溶剤、アミド系溶剤、エーテル系溶剤、炭化水素系溶剤などが挙げられる。これらの詳細については、国際公開第2015/166779号の段落番号0223を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。また、環状アルキル基が置換したエステル系溶剤、環状アルキル基が置換したケトン系溶剤も好ましく用いることもできる。有機溶剤の具体例としては、ポリエチレングリコールモノメチルエーテル、ジクロロメタン、3-エトキシプロピオン酸メチル、3-エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、3-メトキシプロピオン酸メチル、2-ヘプタノン、3-ペンタノン、4-ヘプタノン、シクロヘキサノン、2-メチルシクロヘキサノン、3-メチルシクロヘキサノン、4-メチルシクロヘキサノン、シクロヘプタノン、シクロオクタノン、酢酸シクロヘキシル、シクロペンタノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3-メトキシ-N,N-ジメチルプロパンアミド、3-ブトキシ-N,N-ジメチルプロパンアミド、プロピレングリコールジアセテート、3-メトキシブタノール、メチルエチルケトン、ガンマブチロラクトン、スルホラン、アニソール、1,4-ジアセトキシブタン、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセタート、二酢酸ブタン-1,3-ジイル、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセタート、ジアセトンアルコールなどが挙げられる。ただし有機溶剤としての芳香族炭化水素類(ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン等)は、環境面等の理由により低減したほうがよい場合がある(例えば、有機溶剤全量に対して、50質量ppm(parts per million)以下とすることもでき、10質量ppm以下とすることもでき、1質量ppm以下とすることもできる)。
本発明の着色組成物は、シランカップリング剤を含有することができる。本明細書において、シランカップリング剤は、加水分解性基とそれ以外の官能基とを有するシラン化合物を意味する。また、加水分解性基とは、ケイ素原子に直結し、加水分解反応及び縮合反応の少なくともいずれかによってシロキサン結合を生じ得る置換基をいう。加水分解性基としては、例えば、ハロゲン原子、アルコキシ基、アシルオキシ基などが挙げられ、アルコキシ基が好ましい。すなわち、シランカップリング剤は、アルコキシシリル基を有する化合物が好ましい。また、加水分解性基以外の官能基としては、例えば、ビニル基、(メタ)アリル基、(メタ)アクリロイル基、メルカプト基、エポキシ基、オキセタニル基、アミノ基、ウレイド基、スルフィド基、イソシアネート基、フェニル基などが挙げられ、アミノ基、(メタ)アクリロイル基およびエポキシ基が好ましい。シランカップリング剤の具体例としては、N-β-アミノエチル-γ-アミノプロピルメチルジメトキシシラン(信越化学工業(株)製、商品名 KBM-602)、N-β-アミノエチル-γ-アミノプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業(株)製、商品名 KBM-603)、N-β-アミノエチル-γ-アミノプロピルトリエトキシシラン(信越化学工業(株)製、商品名 KBE-602)、γ-アミノプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業(株)製、商品名 KBM-903)、γ-アミノプロピルトリエトキシシラン(信越化学工業(株)製、商品名 KBE-903)、3-メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン(信越化学工業(株)製、商品名 KBM-502)、3-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン(信越化学工業(株)製、商品名 KBM-503)等がある。また、シランカップリング剤の具体例については、特開2009-288703号公報の段落番号0018~0036に記載の化合物、特開2009-242604号公報の段落番号0056~0066に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。着色組成物の全固形分中におけるシランカップリング剤の含有量は、0.1~5質量%が好ましい。上限は、3質量%以下がより好ましく、2質量%以下がさらに好ましい。下限は、0.5質量%以上がより好ましく、1質量%以上がさらに好ましい。シランカップリング剤は1種のみを用いてもよく、2種以上を用いてもよい。2種以上を用いる場合は、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。
本発明の着色組成物は紫外線吸収剤を含有することができる。紫外線吸収剤は、共役ジエン化合物、アミノジエン化合物、サリシレート化合物、ベンゾフェノン化合物、ベンゾトリアゾール化合物、アクリロニトリル化合物、ヒドロキシフェニルトリアジン化合物、インドール化合物、トリアジン化合物などを用いることができる。このような化合物としては、特開2009-217221号公報の段落番号0038~0052、特開2012-208374号公報の段落番号0052~0072、特開2013-068814号公報の段落番号0317~0334、特開2016-162946号公報の段落番号0061~0080に記載された化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。紫外線吸収剤の市販品としては、例えば、UV-503(大東化学(株)製)などが挙げられる。また、ベンゾトリアゾール化合物としては、ミヨシ油脂製のMYUAシリーズ(化学工業日報、2016年2月1日)が挙げられる。また、紫外線吸収剤は、特許第6268967号公報の段落番号0049~0059に記載された化合物を用いることもできる。着色組成物の全固形分中における紫外線吸収剤の含有量は、0.01~10質量%が好ましく、0.01~5質量%がより好ましい。紫外線吸収剤は1種のみを用いてもよく、2種以上を用いてもよい。2種以上を用いる場合は、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。
本発明の着色組成物は、酸化防止剤を含有することができる。酸化防止剤としては、フェノール化合物、亜リン酸エステル化合物、チオエーテル化合物などが挙げられる。フェノール化合物としては、フェノール系酸化防止剤として知られる任意のフェノール化合物を使用することができる。好ましいフェノール化合物としては、ヒンダードフェノール化合物が挙げられる。フェノール性ヒドロキシ基に隣接する部位(オルト位)に置換基を有する化合物が好ましい。前述の置換基としては炭素数1~22の置換又は無置換のアルキル基が好ましい。また、酸化防止剤は、同一分子内にフェノール基と亜リン酸エステル基を有する化合物も好ましい。また、酸化防止剤は、リン系酸化防止剤も好適に使用することができる。また、酸化防止剤は、韓国公開特許第10-2019-0059371号公報に記載の化合物を用いることもできる。着色組成物の全固形分中における酸化防止剤の含有量は、0.01~20質量%であることが好ましく、0.3~15質量%であることがより好ましい。酸化防止剤は1種のみを用いてもよく、2種以上を用いてもよい。2種以上を用いる場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
本発明の着色組成物は重合禁止剤を含有することができる。重合禁止剤としては、ハイドロキノン、p-メトキシフェノール、ジ-tert-ブチル-p-クレゾール、ピロガロール、tert-ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4’-チオビス(3-メチル-6-tert-ブチルフェノール)、2,2’-メチレンビス(4-メチル-6-t-ブチルフェノール)、N-ニトロソフェニルヒドロキシアミン塩(アンモニウム塩、第一セリウム塩等)が挙げられる。中でも、p-メトキシフェノールが好ましい。着色組成物の全固形分中における重合禁止剤の含有量は、0.0001~5質量%が好ましい。重合禁止剤は、1種類のみでもよく、2種類以上でもよい。2種類以上の場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。
本発明において、着色組成物は、必要に応じて、増感剤、硬化促進剤、フィラー、熱硬化促進剤、可塑剤及びその他の助剤類(例えば、導電性粒子、充填剤、消泡剤、難燃剤、レベリング剤、剥離促進剤、香料、表面張力調整剤、連鎖移動剤など)を含有してもよい。これらの成分を適宜含有させることにより、膜物性などの性質を調整することができる。これらの成分は、例えば、特開2012-003225号公報の段落番号0183以降(対応する米国特許出願公開第2013/0034812号明細書の段落番号0237)の記載、特開2008-250074号公報の段落番号0101~0104、0107~0109等の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。また、本発明の着色組成物は、必要に応じて、潜在酸化防止剤を含有してもよい。潜在酸化防止剤としては、酸化防止剤として機能する部位が保護基で保護された化合物であって、100~250℃で加熱するか、又は酸/塩基触媒存在下で80~200℃で加熱することにより保護基が脱離して酸化防止剤として機能する化合物が挙げられる。潜在酸化防止剤としては、国際公開第2014/021023号、国際公開第2017/030005号、特開2017-008219号公報に記載された化合物が挙げられる。潜在酸化防止剤の市販品としては、アデカアークルズGPA-5001((株)ADEKA製)等が挙げられる。
着色組成物の収容容器としては、特に限定はなく、公知の収容容器を用いることができる。また、収容容器として、原材料や着色組成物中への不純物混入を抑制することを目的に、容器内壁を6種6層の樹脂で構成する多層ボトルや6種の樹脂を7層構造にしたボトルを使用することも好ましい。このような容器としては例えば特開2015-123351号公報に記載の容器が挙げられる。また、容器内壁は、容器内壁からの金属溶出を防ぎ、着色組成物の保存安定性を高めたり、成分変質を抑制するなど目的で、ガラス製やステンレス製などにすることも好ましい。
本発明の着色組成物は、前述の成分を混合して調製できる。着色組成物の調製に際しては、全成分を同時に溶剤に溶解および/または分散して着色組成物を調製してもよいし、必要に応じて、各成分を適宜2つ以上の溶液または分散液としておいて、使用時(塗布時)にこれらを混合して着色組成物を調製してもよい。
次に、本発明の光学フィルタの製造方法について説明する。光学フィルタの種類としては、カラーフィルタ、近赤外線透過フィルタなどが挙げられる。本発明の光学フィルタの製造方法は、上述した本発明の着色組成物を用いて支持体上に着色組成物層を形成する工程と、上記着色組成物層に波長300nm以下の光をパターン状に照射して露光する工程と、未露光部の上記着色組成物層を現像除去して画素を形成する工程と、を含む。以下、各工程について説明する。
本発明の固体撮像素子の製造方法は、上述した本発明の光学フィルタの製造方法を含む。固体撮像素子の構成としては、光学フィルタを備え、固体撮像素子として機能する構成であれば特に限定はないが、例えば、以下のような構成が挙げられる。
本明細書は、画像表示装置の製造方法を開示する。この製造方法は、上述した本発明の光学フィルタの製造方法を含む。画像表示装置としては、液晶表示装置や有機エレクトロルミネッセンス表示装置などが挙げられる。画像表示装置の定義や各画像表示装置の詳細については、例えば「電子ディスプレイデバイス(佐々木昭夫著、(株)工業調査会、1990年発行)」、「ディスプレイデバイス(伊吹順章著、産業図書(株)平成元年発行)」などに記載されている。また、液晶表示装置については、例えば「次世代液晶ディスプレイ技術(内田龍男編集、(株)工業調査会、1994年発行)」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば、上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。
カラムの種類:TOSOH TSKgel Super HZM-Hと、TOSOH TSKgel Super HZ4000と、TOSOH TSKgel Super HZ2000とを連結したカラム
展開溶媒:テトラヒドロフラン
カラム温度:40℃
流量(サンプル注入量):1.0μL(サンプル濃度:0.1質量%)
装置名:東ソー社製 HLC-8220GPC
検出器:RI(屈折率)検出器
検量線ベース樹脂:ポリスチレン樹脂
顔料と分散助剤とを合計で15.6質量部と、分散剤を固形分換算で3.9質量部と、溶剤を80.5質量部との混合液を、ビーズミル(ジルコニアビーズ0.1mm径)を用いて3時間混合および分散して、分散液を調製した。その後、減圧機構付き高圧分散機NANO-3000-10(日本ビーイーイー(株)製)を用いて、圧力2000kg/cm3および流量500g/minの条件の下、分散処理を行なった。この分散処理を全10回まで繰り返して、分散液を得た。なお、顔料、分散助剤、分散剤および溶剤はそれぞれ下記表に示す素材を用いた。また、下記表中における顔料の混合比率、分散剤の混合比率は固形分換算での値である。
P-1:C.I.Pigment Red177(赤色顔料)
P-2:C.I.Pigment Red254(赤色顔料)
P-3:C.I.Pigment Red264(赤色顔料)
P-4:C.I.Pigment Red269(赤色顔料)
P-5:C.I.Pigment Red272(赤色顔料)
P-9:C.I.Pigment Yellow129(黄色顔料)
P-10:C.I.Pigment Yellow138(黄色顔料)
P-11:C.I.Pigment Yellow139(黄色顔料)
P-12:C.I.Pigment Yellow150(黄色顔料)
P-13:C.I.Pigment Yellow185(黄色顔料)
P-14:C.I.Pigment Yellow215(黄色顔料)
P-15:C.I.Pigment Yellow231(黄色顔料)
P-16:C.I.Pigment Yellow233(黄色顔料)
P-17:C.I.Pigment Green58(緑色顔料)
P-18:C.I.Pigment Blue15:6(青色顔料)
P-19:C.I.Pigment Violet23(紫色顔料)
Syn-1:下記構造の化合物(キノフタロン化合物、極大吸収波長400~450nm)
A:式(1)で表される比吸光度が20以上である。
B:式(1)で表される比吸光度が20未満である。
式(1)中、E1は、波長400~700nmの範囲での最大吸収波長における分散助剤の比吸光度を表し、
A1は、波長400~700nmの範囲での最大吸収波長における分散助剤の吸光度を表し、
l1は、単位がcmで表されるセル長を表し、
c1は、単位がmg/mlで表される、溶液中の分散助剤の濃度を表す。
D-1:以下の方法で合成した樹脂D-1の30質量%プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)溶液。
メチルメタクリレート50質量部、n-ブチルメタクリレート30質量部、t-ブチルメタクリレート20質量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)45.4質量部を反応容器に仕込み、雰囲気ガスを窒素ガスで置換した。反応容器内を70℃に加熱して、3-メルカプト-1,2-プロパンジオール6質量部を添加して、さらにAIBN(アゾビスイソブチロニトリル)0.12質量部を加え、12時間反応させた。固形分測定により95%が反応したことを確認した。次に、ピロメリット酸無水物9.7質量部、PGMEA70.3質量部、触媒としてDBU(1,8-ジアザビシクロ-[5.4.0]-7-ウンデセン)0.20質量部を追加し、120℃で7時間反応させた。酸価の測定で98%以上の酸無水物がハーフエステル化していることを確認し反応を終了して、酸価43mgKOH/g、重量平均分子量(Mw)9000の下記構造の樹脂D-1を得た。
3-メルカプト-1,2-プロパンジオール6.0質量部、ピロメリット酸無水物9.5質量部、PGMEA62質量部、1,8-ジアザビシクロ-[5.4.0]-7-ウンデセン0.2質量部を反応容器に仕込み、雰囲気ガスを窒素ガスで置換した。反応容器内を100℃に加熱して、7時間反応させた。酸価の測定で98%以上の酸無水物がハーフエステル化していることを確認した後、系内の温度を70℃に冷却し、メチルメタクリレート65質量部、エチルアクリレート5.0質量部、t-ブチルアクリレート15質量部、メタクリル酸5.0質量部、ヒドロキシエチルメタクリレート10質量部、2,2’-アゾビスイソブチロニトリル0.1質量部を溶解したPGMEA溶液53.5質量部を添加して、10時間反応させた。固形分測定により重合が95%進行したことを確認し反応を終了して、酸価70.5mgKOH/g、重量平均分子量(Mw)10000の下記構造の樹脂D-2を得た。
樹脂D-1の合成において、t-ブチルメタクリレート20質量部を、(3-エチルオキセタン-3-イル)メチルメタクリレート20質量部に変更した以外は同様にして、酸価43mgKOH/g、重量平均分子量(Mw)9000の下記構造の樹脂D-3を得た。
1-チオグリセロール108質量部、ピロメリット酸無水物174質量部、メトキシプロピルアセテート650質量部、触媒としてモノブチルスズオキシド0.2質量部を反応容器に仕込み、雰囲気ガスを窒素ガスで置換した後、120℃で5時間反応させた(第一工程)。酸価の測定で95%以上の酸無水物がハーフエステル化していることを確認した。次に、第一工程で得られた化合物を固形分換算で160質量部、2-ヒドロキシプロピルメタクリレート200質量部、エチルアクリレート200質量部、t-ブチルアクリレート150質量部、2-メトキシエチルアクリレート200質量部、メチルアクリレート200質量部、メタクリル酸50質量部、PGMEA663質量部を反応容器に仕込み、反応容器内を80℃に加熱して、2,2’-アゾビス(2,4-ジメチルバレロニトリル)1.2質量部を添加し、12時間反応させた(第二工程)。固形分測定により95%が反応したことを確認した。最後に、第二工程で得られた化合物の50質量%PGMEA溶液500質量部、2-メタクリロイルオキシエチルイソシアネート(MOI)27.0質量部、ヒドロキノン0.1質量部を反応容器に仕込み、イソシアネート基に基づく2270cm-1のピークの消失を確認するまで反応を行った(第三工程)。ピーク消失の確認後、反応溶液を冷却して、酸価68mgKOH/g、エチレン性不飽和結合基価0.62mmol/g、重量平均分子量(Mw)13000の下記構造の樹脂D-4を得た。
D-8:BYK LPN-21116(BYKChemie社製、塩基性分散剤)
D-9:ソルスパース20000(日本ルーブリゾール(株)製、塩基性分散剤)
D-10:アジスパーPB821(味の素ファインテクノ(株)製、塩基性分散剤)
S-1:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)
各素材を、以下に示す処方1~7の割合で混合し、孔径0.45μmのナイロン製フィルタ(日本ポール(株)製)でろ過して各着色組成物を製造した。下記表において、着色組成物の全固形分中における顔料の含有量の値を「顔料濃度」の欄に記載する。
下記表に記載の分散液 ・・・78.8質量部
下記表に記載の重合性モノマー ・・・0.6質量部
下記表に記載の樹脂 ・・・5.5質量部(20質量%PGMEA溶液での配合量)
下記表に記載の光重合開始剤 ・・・0.5質量部
下記表に記載の界面活性剤 ・・・0.0001質量部
重合禁止剤 ・・・0.00135質量部
下記表に記載の溶剤 ・・・14.7質量部
下記表に記載の分散液 ・・・78.8質量部
下記表に記載の重合性モノマー ・・・0.6質量部
下記表に記載の樹脂 ・・・4.0質量部(20質量%PGMEA溶液での配合量)
下記表に記載の光重合開始剤 ・・・0.5質量部
下記表に記載の添加剤 ・・・0.3質量部
下記表に記載の界面活性剤 ・・・0.0001質量部
重合禁止剤 ・・・0.00135質量部
下記表に記載の溶剤 ・・・15.9質量部
下記表に記載の分散液 ・・・78.8質量部
下記表に記載の重合性モノマー ・・・0.8質量部
下記表に記載の樹脂 ・・・5.5質量部(20質量%PGMEA溶液での配合量)
下記表に記載の光重合開始剤 ・・・0.3質量部
下記表に記載の界面活性剤 ・・・0.0001質量部
重合禁止剤 ・・・0.00135質量部
下記表に記載の溶剤 ・・・14.7質量部
下記表に記載の分散液 ・・・78.8質量部
下記表に記載の重合性モノマー ・・・0.4質量部
下記表に記載の樹脂 ・・・5.5質量部(20質量%PGMEA溶液での配合量)
下記表に記載の光重合開始剤 ・・・0.7質量部
下記表に記載の界面活性剤 ・・・0.0001質量部
重合禁止剤 ・・・0.00135質量部
下記表に記載の溶剤 ・・・14.7質量部
下記表に記載の分散液 ・・・86.6質量部
下記表に記載の重合性モノマー ・・・0.3質量部
下記表に記載の樹脂 ・・・2.5質量部(20質量%PGMEA溶液での配合量)
下記表に記載の光重合開始剤 ・・・0.2質量部
下記表に記載の界面活性剤 ・・・0.0001質量部
重合禁止剤 ・・・0.00135質量部
下記表に記載の溶剤 ・・・10.4質量部
下記表に記載の分散液 ・・・73.1質量部
下記表に記載の重合性モノマー ・・・1.0質量部
下記表に記載の樹脂 ・・・7.0質量部(20質量%PGMEA溶液での配合量)
下記表に記載の光重合開始剤 ・・・0.8質量部
下記表に記載の界面活性剤 ・・・0.0001質量部
重合禁止剤 ・・・0.00135質量部
下記表に記載の溶剤 ・・・18.1質量部
M-1:下記構造の化合物
M-4:下記構造の化合物
I-1:Irgacure OXE01(BASF社製、オキシム化合物)
I-2:Irgacure OXE02(BASF社製、オキシム化合物)
I-3~I-8:下記構造の化合物
I-10:Omnirad 907(IGM Resins B.V.社製、α-アミノケトン化合物)
B-1:下記構造の樹脂(主鎖に付記した数値はモル比である。酸基を有する樹脂、重量平均分子量11000、酸価69.2mgKOH/g)の20質量%PGMEA溶液
A-1:EHPE3150((株)ダイセル製、2,2’-ビス(ヒドロキシメチル)-1-ブタノールの1,2-エポキシ-4-(2-オキシラニル)シクロヘキサン付加物)
Su-1:下記構造の化合物(重量平均分子量14000)。下記の式中、繰り返し単位の割合を示す%はモル%である。
Su-3:下記構造の化合物
In-1:p-メトキシフェノール
S-1:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)
S-2:プロピレングリコールモノメチルエーテル
S-3:シクロペンタノン
S-4:アニソール
S-5:ジアセトンアルコール
直径8インチ(20.32cm)のシリコンウエハ上に、下地層用組成物(CT-4000、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)を膜厚が0.1μmとなるようにスピンコート法で塗布し、ホットプレートを用いて220℃で1時間加熱して下地層を形成した。この下地層付きシリコンウエハ上に各着色組成物をスピンコート法で塗布し、その後、ホットプレートを用いて100℃で3分間加熱して着色組成物層を形成した。次いで、KrF露光機を用い、0.8μm四方のアイランドパターンを有するマスクを介して、150mJ/cm2の露光量で上記着色組成物層を露光した。次いで水酸化テトラメチルアンモニウム0.3質量%水溶液を用い、23℃で60秒間パドル現像を行った。その後、スピンシャワーによるリンス、純水による水洗を実施し、さらにホットプレートを用いて200℃で5分間加熱して厚さ0.4μm、および0.8μm四方の線幅の画素を形成した。
画素が形成されたシリコンウエハを分割し、走査型電子顕微鏡(SEM)を用いて画素の断面形状を観察して画素のテーパ比を評価した。テーパ比が1に近いほどテーパの発生の抑制に効果があり、画素の矩形性が良いことを意味する。
画素のテーパ比=(画素の上面(空気界面側)の辺の長さ/画素の下面(シリコンウエハ側)の辺の長さ)
-評価基準-
5:テーパ比が0.995以上1.005以下である
4:テーパ比が0.990以上0.995未満であるか、または、1.005を超え1.010以下である
3:テーパ比が0.980以上0.990未満であるか、または、1.010を超え1.020以下である
2:テーパ比が0.970以上0.980未満であるか、または、1.020を超え1.030以下である
1:テーパ比が0.970未満であるか、または、1.030を超える
直径8インチ(20.32cm)のシリコンウエハ上に、下地層用組成物(CT-4000、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)を膜厚が0.1μmとなるようにスピンコート法で塗布し、ホットプレートを用いて220℃で1時間加熱して下地層を形成した。この下地層付きシリコンウエハ上に各着色組成物をスピンコート法で塗布し、その後、ホットプレートを用いて100℃で3分間加熱して着色組成物層を形成した。次いで、KrF露光機を用い、0.8μm四方のアイランドパターンを有するマスクを介して、150mJ/cm2の露光量で上記着色組成物層を露光した。次いで水酸化テトラメチルアンモニウム0.3質量%水溶液を用い、23℃で60秒間パドル現像を行った。その後、スピンシャワーによるリンス、純水による水洗を実施し、さらにホットプレートを用いて200℃で5分間加熱して厚さ0.4μm、および0.8μm四方の線幅の画素を形成した。画素が形成されたシリコンウエハについて、10万個の画素をランダムに選択して剥がれムラ測定機にて観察し、剥がれのある画素の個数(画素剥がれの個数)を測定した。画素剥がれの個数が少ないほど、密着性が良好であることを意味する。
5:画素剥がれの個数が0個
4:画素剥がれの個数が1個~5個
3:画素剥がれの個数が6個~20個
2:画素剥がれの個数が21個~50個
1:画素剥がれの個数が51個以上
シリコンウエハ上に、緑色着色組成物を製膜後の膜厚が0.45μmになるようにスピンコート法で塗布した。次いで、ホットプレートを用いて、100℃で2分間加熱した。次いで、KrFスキャナ露光機を用い、画素(パターン)サイズが0.7μm四方で形成されるベイヤーパターンを有するマスクを介して波長248nmの光(KrF線)を200mJ/cm2の露光量で照射して露光した。次いで、水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)0.3質量%水溶液を用い、23℃で60秒間パドル現像を行った。その後、スピンシャワーにてリンスを行い、さらに純水にて水洗した。次いで、ホットプレートを用い、200℃で5分間加熱することで、緑色画素を形成した。赤色着色組成物、青色着色組成物についても同様のプロセスでパターニングして、赤色画素、青色画素を順次形成して、緑色画素、赤色画素および青色画素を有するカラーフィルタを形成した。このカラーフィルタにおいては、緑色画素がベイヤーパターンで形成されており、その隣接する領域に、赤色画素、青色画素がアイランドパターンで形成されている。得られたカラーフィルタを公知の方法に従い固体撮像素子に組み込んだ。この固体撮像素子は好適な画像認識能を有していた。なお、緑色着色組成物は実施例109の着色組成物を用いた。赤色着色組成物は実施例22の着色組成物を用いた。青色着色組成物は実施例110の着色組成物を用いた。
Claims (8)
- 顔料と、下記式(1)で表される比吸光度が20以上であり、分子量が1000以下である分散助剤と、光重合開始剤と、重合性モノマーとを含む着色組成物であり、
前記分散助剤は、式(B1)で表される化合物であり、
前記着色組成物の全固形分中における前記顔料の含有量が60質量%以上であり、
前記顔料と前記分散助剤との合計100質量部に対して、前記分散助剤を5~12質量部含む、
波長300nm以下の光での露光用の着色組成物;
E1=A1/(c1×l1) ・・・(1)
式(1)中、E1は、波長400~700nmの範囲での最大吸収波長における分散助剤の比吸光度を表し、
A1は、波長400~700nmの範囲での最大吸収波長における分散助剤の吸光度を表し、
l1は、単位がcmで表されるセル長を表し、
c1は、単位がmg/mlで表される、溶液中の分散助剤の濃度を表す;
- 前記式(B1)のPはジケトピロロピロール色素構造である、請求項1に記載の着色組成物。
- 前記顔料は赤色顔料を含む、請求項1または2に記載の着色組成物。
- 前記着色組成物の全固形分中における前記顔料の含有量が60~80質量%である、請求項1~3のいずれか1項に記載の着色組成物。
- 固体撮像素子用である、請求項1~4のいずれか1項に記載の着色組成物。
- 請求項1~5のいずれか1項に記載の着色組成物を用いて支持体上に着色組成物層を形成する工程と、
前記着色組成物層に波長300nm以下の光をパターン状に照射して露光する工程と、
未露光部の前記着色組成物層を現像除去して画素を形成する工程と、
を含む光学フィルタの製造方法。 - 前記着色組成物層に照射する波長300nm以下の光は、波長248nmの光である、請求項6に記載の光学フィルタの製造方法。
- 請求項6または7に記載の光学フィルタの製造方法を含む固体撮像素子の製造方法。
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