JP7408514B2 - 自動試験装置を使用したマルチレーン光電気デバイス試験 - Google Patents

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Description

[0001]本開示は、一般に回路試験に関し、より詳細には、光電気デバイス試験に関する。
[0002]現代の高速集積回路（ＩＣ）は、複雑なアーキテクチャを有し、現代の通信ネットワークによって必要とされるマルチギガビットのデータレートでデータを送信するために協調して動作しなければならない、トランジスタなどの何百万もの構成部品を有する。このようなデバイスを製造する重要なステップのうちの１つが、高速デバイスが後の時点で（製品への統合後に）障害を起こさないことを保証するためのデバイスの試験および較正である。このような高速デバイスの試験および較正に関する１つの問題は、デバイスの様々な構成部品が、「市販（off the shelf）」の構成部品として様々な企業によって設計されている、現代の設計プロセスから生じる。このために、自動試験装置（ＡＴＥ）が、チップおよびウェハレベルで高速設計を効率的に試験するために、デバイスエンジニアによって実装され得る。一般に、ＡＴＥシステムは、最小限の人間の介在で負荷試験を行い、個々の構成部品を分析するために、被試験デバイス（ＤＵＴ）とインターフェースする１つまたは複数のコンピュータ制御の機器またはモジュールを含む。電子デバイスまたは半導体デバイスのために構成されている現在のＡＴＥシステムは、高いデータレートを達成するために電気データおよび光の複数のレーンを処理するマルチレーンギガビット光トランシーバなどの、一部の現代のハイブリッド高速デバイスの迅速な試験および較正を提供するようには構成されていない。
[0003]以下の説明には、本開示の実施形態の実施の例として与えられる例示を有する図の説明が含まれる。図面は、限定としてではなく、例として理解されるべきである。本明細書で使用される場合、１つまたは複数の「実施形態」への参照は、本発明の主題の少なくとも１つの実装形態に含まれる特定の特徴、構造、または特性を説明するものとして理解されるべきである。したがって、本明細書で見られる「一実施形態では」または「代替の実施形態では」などの表現は、本発明の主題の様々な実施形態および実装形態を説明するものであり、必ずしも全てが同じ実施形態を参照するわけではない。しかしながら、それらはまた、必ずしも相互排他的とは限らない。任意の特定の要素または動作の説明を容易に識別するために、参照番号の単数または複数の最上位桁は、その要素または動作が最初に紹介された図（「ＦＩＧ．」）の番号を参照する。
[0004]図１は、いくつかの例となる実施形態による、フォトニックデバイスの再構成可能なマルチレーンハイブリッド試験を実施するための光電気試験システムを示す図である。 [0005]図２は、いくつかの例となる実施形態による、光信号を送受信するための光トランシーバを例示するブロック図である。 [0006]図３は、いくつかの例となる実施形態による、１つまたは複数のフォトニック構造を含む光電気デバイスの例示である。 [0007]図４は、いくつかの例となる実施形態による、光電気ＡＴＥアーキテクチャを表示する。 [0008]図５は、いくつかの例となる実施形態による、例となるマルチレーン光学試験レーンコントローラアーキテクチャを示す。 [0009]図６Ａは、いくつかの例となる実施形態による、光相互接続インターフェースの斜視図を示す図である。 [0010]図６Ｂは、いくつかの例となる実施形態による、光相互接続インターフェースの側断面図を示す図である。 [0011]図７は、いくつかの例となる実施形態による、光電気被試験デバイスのマルチレーンハイブリッドＡＴＥ試験のための方法のフロー図を示す。
[0012]以下で説明される実施形態の一部または全てを示し得る図の説明を含み、ならびに本明細書で提示される本発明の概念の他の潜在的な実施形態または実装形態を説明する、ある特定の詳細および実装形態の説明が以下に続く。本開示の実施形態の概要が以下に提供され、その後に、図面を参照したより詳細な説明が続く。
[0013]以下の説明では、説明を目的として、数多くの特定の詳細が、本発明の主題の様々な実施形態の理解を提供するために示される。しかしながら、本発明の主題の実施形態がこれらの特定の詳細なしに実施され得ることは、当業者には明らかであろう。一般に、周知の命令インスタンス、構造、および技法は、必ずしも詳細に示されない。
[0014]現代のＡＴＥシステムは、複雑な電気モジュールと光モジュールとの両方を含む、マルチレーン光トランシーバ（例えば、４００Ｇ（ギガビット／秒）光トランシーバ）などの、現代のハイブリッド高速デバイスの試験、検証、および較正を迅速に行うようには構成されていない。このために、ＡＴＥシステムの電気試験デバイスとインターフェースするための１つまたは複数の電気インターフェースと、ＡＴＥシステムの光学試験デバイスとインターフェースするための１つまたは複数の光インターフェース（例えば、ファイバ、レンズ、回折格子）とを使用する、ハイブリッド光電気ＡＴＥシステムが実装され得る。いくつかの例となる実施形態では、ハイブリッド光電気ＡＴＥシステムは、１つまたは複数の試験デバイス（例えば、光スペクトラムアナライザ、光パワーメータ）を光電気被試験デバイス（ＤＵＴ）とインターフェースするための光学試験アセンブリで、電気ＡＴＥシステム（例えば、市販の電気ＡＴＥシステム）を増強することによって実装される。光学試験アセンブリは、光相互接続ヘッドのアラインメント機構とアラインする物理的なアラインメント機構を有するソケットを含み得る。光相互接続ヘッドは、光デバイス（例えば、試験モジュール、光源）からの１つまたは複数のファイバを光電気ＤＵＴと相互接続するフェルールアダプタとして実装され得る。いくつかの例となる実施形態では、光電気ＤＵＴは、電気ＡＴＥシステムの電気インターフェースを使用して電気ＡＴＥシステムに電気的に接続され、一方、光接続は、光電気ＤＵＴの反対側（例えば、フリップチップ構成では、光電気ＤＵＴのボトム側、この場合、トップ側は、試験台とＡＴＥ電気インターフェースの電気相互接続の上に置かれている）に光相互接続ヘッドを介して入力される。
[0015]ハイブリッド試験を行うために、光電気ＡＴＥシステムは、光電気ＤＵＴの受信インターフェースへの１つまたは複数の単一モードファイバに光を注入する外部広帯域光源を含み得る。光電気ＤＵＴに光を入力する単一モードファイバの各々は、複数のレーンまたはチャネル（例えば、組み合わされた４００Ｇデータレートのための４つの１００Ｇレーン）を有するマルチレーン光トランシーバＤＵＴの個々のレーンに対応する。光電気ＤＵＴは、各レーンについて複数の受信機／送信機ペアを含み得、各ペアは、（例えば、外部光源から）送信すべき光を受信し、受信された光を変調し、光電気ＤＵＴの共通の出力インターフェース（例えば、４つの出力ポートまたはファイバ）を使用して、異なるネットワーク宛先に変調された光を送信する。
[0016]動作中、光電気ＤＵＴは、４つ全てのレーンを同時に動作させ得、それによって、高速データレートを達成する。しかしながら、マルチレーンＤＵＴを効率的に試験および較正するためには、いくつかの例となる実施形態では、ハイブリッド光電気ＡＴＭシステムは、被試験レーンに光を入力することと、光スイッチ（例えば、１×４光スイッチ、機械スイッチ、熱光学スイッチ、マッハツェンダー干渉計ベースのスイッチ）を使用して、試験デバイスへの被試験レーンからの出力光を選択することとによって、個々に各レーンを試験する。例えば、光電気ＡＴＥシステムは、広帯域光源を使用して、第１の入力ファイバレーンのための光を発生させ、これを光電気ＤＵＴの第１のレーンの構成部品が変調して、第１の出力ファイバ上に出力し、ここで、ＤＵＴからの全ての出力ファイバは、光スイッチに結合されている。光スイッチセレクタは、光学試験デバイスに結合されている試験ファイバ（例えば、単一モードファイバ）に第１の出力ファイバを結合するように構成されている。第１のレーンの構成部品が較正された後、第２の入力ファイバが、変調のための（例えば、広帯域光源からの）光を受信し、変調された光を光スイッチに出力し得る。光スイッチは、第２のレーンについての変調された光を受信し、試験、分析、および較正のための、１つまたは複数の光学試験デバイスによる試験のために、その光を試験ファイバに結合する。このようにして、光電気ＤＵＴの各レーンは、効率的なアプローチにおいて、電気ＡＴＥ試験デバイスおよび光学試験デバイスを使用した電気光同時較正（simultaneous electrical and optical calibration）を受けることができる。
[0017]図１は、いくつかの例となる実施形態による、光電気デバイスの再構成可能なマルチレーンハイブリッド試験を実施するための光電気試験システム１００を示す。例示されるように、ハンドラ１０５（例えば、集積回路（ＩＣ）ハンドラ、チップハンドラ）は、光電気被試験デバイス（ＤＵＴ）１２０を、電気光同時試験および較正のために、所定の位置に正確に移動させ得るロボットシステムである。ＤＵＴ１２０を試験ソケットベース１２５に移動させるために、ワークプレス１１０（例えば、ワークプレスアセンブリ）がハンドラ１０５に取り付けられている。ワークプレス１１０は、いくつかの例となる実施形態によれば、機械式把持デバイス、ソケット、または真空吸引などの異なる手段を使用して、ＤＵＴ１２０に取り付けられ得る。
[0018]試験ソケットベース１２５はさらに、１つまたは複数の光学分析モジュール（例えば、光スペクトラムアナライザ、光パワーメータ）を使用してＤＵＴ１２０の光学試験を提供する光学試験アセンブリ１３０、および１つまたは複数の電気アナライザモジュールを使用して電気自動試験を提供する電気自動試験装置（ＡＴＥ）１４５の上に配置されている。ＤＵＴ１２０は、電気接続１３５（例えば、高速試験ソケットベース１２５）を介して、光学試験アセンブリおよびＡＴＥ１４５に電気的に接続される。さらに、ＤＵＴ１２０は、１つまたは複数の光接続１４０を使用して、光学試験アセンブリと光学的にインターフェースし得る。例えば、光接続１４０は、光学試験アセンブリ１３０からワークプレス１１０へと延び、ＤＵＴ１２０のトップ側（例えば、これはトップ側であるか、あるいは、この「トップ側」がインターポーザまたはホストボードに面しているフリップチップ構成では、「ボトム側」であり得る）に向かって戻る光路として実装され得る。ＡＴＥ１４５は、電気ＤＵＴ試験専用に設計された「市販の」ＡＴＥユニットであり得る。光学試験アセンブリおよび光接続１４０を実装することによって、ＡＴＥユニットの試験能力は、ＤＵＴの効率的かつ正確な電気光同時試験を可能にする光学分析機能で増強される。光学試験アセンブリのさらなる機能的な構成部品および詳細が、以下でさらに詳細に説明される。
[0019]図２は、いくつかの例となる実施形態による、光信号を送受信するための光トランシーバ２００を例示するブロック図である。光トランシーバ２００は、同時のマルチレーン選択可能な試験および較正（simultaneous multi-lane selectable testing and calibration）を受けることができる、例となるハイブリッド光電気デバイスである（例えば、図１のＤＵＴ１２０）。例示されるように、光トランシーバ２００は、電気ハードウェアデバイス２５０などの電気デバイスからの電気データをインターフェースし、電気データを光データに変換し、光デバイス２７５などの１つまたは複数の光デバイスを用いて光データを送受信するために実装され得る。説明の目的から、以下の説明では、電気ハードウェアデバイス２５０は、光スイッチネットワークへのデータを送受信するプラグ着脱可能なデバイスとして光トランシーバ２００を「ホスト」するホストボードであり、ここで、例えば、光デバイス２７５は、光スイッチネットワークの他の構成部品（例えば、外部送信機２７７）であり得る。しかしながら、光トランシーバ２００は、他のタイプの電気デバイスおよび光デバイスとインターフェースするように実装され得ることが理解される。例えば、光トランシーバ２００は、いくつかの例となる実施形態によれば、光からバイナリ電気データに変換された後のデータを処理するオンボード電気チップを相互接続するための光バスとして光ネットワーク（例えば、導波路、ファイバ）を使用するハイブリッド「マザーボード」上のシングルチップとして実装され得る。
[0020]いくつかの例となる実施形態では、ハードウェアデバイス２５０は、光トランシーバ２００の電気インターフェースを収容し（receiving）およびそれと嵌合するための電気インターフェースを含む。光トランシーバ２００は、通信システムまたはデバイス内のバックエンドモジュールとして動作するハードウェアデバイス２５０によって物理的に収容されおよびそれから取り外され得る、取り外し可能なフロントエンドモジュールであり得る。例えば、光トランシーバ２００およびハードウェアデバイス２５０は、異なるタイプのマルチレーン光通信フォーマット（例えば、パラレルシングルファイバ（ＰＳＭ）、例えば、４００ＧＢＡＳＥ－ＦＲ４、４０ＧＢＡＳＥ－ＬＲ４、４０ＧＢＡＳＥ－ＥＲ４を含む、ＩＥＥＥ８０２．３によって定義されるフォーマット）を実装し得る波長分割多重（ＷＤＭ）システムなどの、光通信デバイスまたはシステム（例えば、ネットワークデバイス）の構成部品であり得る。
[0021]光トランシーバ２００のデータ送信機２０５は、電気信号を受信し得、次いで、これは、ＰＩＣ２１０を介して光信号に変換される。次いで、ＰＩＣ２１０は、ＰＩＣ２１０とインターフェースするファイバまたは導波路などの光リンクを介して、光信号を出力し得る。次いで、出力された光データは、ワイドエリアネットワーク（ＷＡＮ）、光スイッチネットワーク、埋込みシステム内の光導波路ネットワークなどのようなネットワークを介して、他の構成部品（例えば、スイッチ、エンドポイントサーバ、単一埋込みシステムの他の埋込みチップ）によって処理され得る。
[0022]光トランシーバ２００は、光デバイス２７５への１つまたは複数の光リンクを介して、高データレートの光信号を受信し得る。光信号は、電気ハードウェアデバイス２５０などの他のデバイスへの出力のために、データをより低いデータレートに復調するなどの、データ受信機２１５によるさらなる処理のために、ＰＩＣ２１０によって光から電気信号に変換される。光トランシーバ２００によって使用される変調は、パルス振幅変調（例えば、ＰＡＭ４）、四位相偏移変調（ＱＰＳＫ）、二位相偏移変調（ＢＰＳＫ）、偏波多重ＢＰＳＫ、Ｍ値直交振幅変調（Ｍ－ＱＡＭ）などを含み得る。
[0023]図３は、本開示の実施形態による、１つまたは複数の光デバイスを含む光電気デバイス３００（例えば、光トランシーバ）の例示である。光電気デバイス３００は、マルチチップ構造として構成された光トランシーバ２００の一例である。この実施形態では、光電気デバイス３００は、プリント回路基板（ＰＣＢ）３０５、有機基板３６０、ＡＳＩＣ３１５、およびフォトニック集積回路（ＰＩＣ）３２０を含む。この実施形態では、ＰＩＣ３２０は、上記で説明された１つまたは複数の光学構造を含み得る。いくつかの例となる実施形態では、ＰＩＣ６２０は、シリコンオンインシュレータ（ＳＯＩ）またはシリコン系（例えば、窒化ケイ素（ＳｉＮ：silicon nitride））デバイスを含むか、またはシリコン材料と非シリコン材料の両方から形成されたデバイスを備え得る。上述の非シリコン材料（「異種材料」とも呼ばれる）は、ＩＩＩ－Ｖ族材料、磁気光学材料、または結晶基板材料のうちの１つを備え得る。ＩＩＩ－Ｖ族半導体は、周期表のＩＩＩ族およびＶ族にある元素（例えば、リン化インジウムガリウムヒ素（ＩｎＧａＡｓＰ：Indium Gallium Arsenide Phosphide）、窒化ガリウムインジウムヒ素（ＧａｉｎＡｓＮ：Gallium Indium Arsenide Nitride））を有する。ＩＩＩ－Ｖ族系材料のキャリア分散効果は、ＩＩＩ－Ｖ族半導体における電子速度がシリコンにおける電子速度よりも格段に速いので、シリコン系材料の場合よりも著しく高くなり得る。加えて、ＩＩＩ－Ｖ族材料は、電気的ポンピングからの光の効率的な生成を可能にする直接バンドギャップを有する。したがって、ＩＩＩ－Ｖ族半導体材料は、光を発生させることおよび光の屈折率を変調することの両方について、シリコンよりも向上した効率でのフォトニック動作を可能にする。したがって、ＩＩＩ－Ｖ族半導体材料は、電気から光を発生させることおよび光を電気に変換し戻すことにおいて向上した効率でのフォトニック動作を可能にする。
[0024]したがって、シリコンの低い光損失および高品質の酸化物が、以下で説明される異種光デバイスにおけるＩＩＩ－Ｖ族半導体の電気光学効率と組み合わされ、本開示の実施形態では、上述の異種デバイスは、デバイスの異種導波路とシリコンのみの導波路との間の、低損失の異種光導波路遷移を利用する。
[0025]磁気光学材料は、異種ＰＩＣが、磁気光学（ＭＯ）効果に基づいて動作することを可能にする。このようなデバイスは、電気信号に関連付けられた磁場が、光ビームを変調して高帯域幅変調を提供し、光アイソレータをイネーブルにする光学モードの電場を回転させるファラデー効果を利用し得る。上述の磁気光学材料は、例えば、鉄、コバルト、またはイットリウム鉄ガーネット（ＹＩＧ：yttrium iron garnet）などの材料を備え得る。さらに、いくつかの例となる実施形態では、結晶基板材料は、異種ＰＩＣに、高電気機械結合、線形電気光学係数、低伝送損失、および安定した物理的および化学的特性を提供する。上述の結晶基板材料は、例えば、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３：lithium niobate）またはタンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ３：lithium tantalate）を備え得る。
[0026]例示される例では、ＰＩＣ３２０は、プリズム３２５を介してファイバ３３０と光を交換し、上述のプリズム３２５は、いくつかの例となる実施形態によれば、光学モードを１つまたは複数の単一モード光ファイバ（例えば、４つの送信ファイバ、４つの受信ファイバ）に結合するために使用されるミスアライメント耐性デバイスである。他の例となる実施形態では、複数のファイバが、様々な光変調フォーマットについてのプリズム３２５からの光を受信するために実装される。
[0027]いくつかの例となる実施形態では、ＰＩＣ３２０の光デバイスは、ＡＳＩＣ３１５に含まれる制御回路によって少なくとも部分的に制御される。ＡＳＩＣ３１５およびＰＩＣ３２０の両方が、有機基板３６０を介してこれらＩＣを通信可能に結合するために使用される銅柱３１４上に配設されて示されている。ＰＣＢ３０５は、ボールグリッドアレイ（ＢＧＡ）相互接続３１６を介して有機基板３６０に結合され、有機基板３６０（したがって、ＡＳＩＣ３１５およびＰＩＣ３２０）を、例えば、相互接続モジュール、電源などの、図示されていない光電気デバイス３００の他の構成部品に相互接続するために使用され得る。
[0028]図４は、いくつかの例となる実施形態による、光電気ＡＴＥアーキテクチャ４００を表示する。光電気ＡＴＥアーキテクチャ４００は、光デバイスの光学試験および較正のための光学試験アセンブリ１３０の例となる実装形態である。上位では（At a high level）、ＡＴＥ４２５は、光電気被試験デバイス４０５およびビット誤り率モジュール４１５（例えば、埋込みＢＥＲテスタ）とインターフェースする。さらに、いくつかの例となる実施形態によれば、ＡＴＥ４２５は、データインターフェース（例えば、ＲＳ－２３２インターフェース）を使用してＤＵＴ４０５と電気的にインターフェースし、および１つまたは複数のファイバならびに光学試験レーンコントローラを介して光学的にインターフェースする小型ＯＳＡ４３０からのデータをインターフェースおよび表示し得る。いくつかの例となる実施形態では、ＤＵＴ４０５は、複数のファイバ４４１（例えば、４つの光注入ファイバのうちの１つ）からの光を受信し、複数のファイバ４４１のうちの１つまたは複数（例えば、出力ファイバ５３０Ａ～５３０Ｄのうちの１つまたは複数）の上へと出力される、異なる変調された光ビームを（例えば、異なる波長において、または異なるチャネル上で）生成する。これらの例となる実施形態では、光学試験レーンコントローラは、ＯＳＡ４３０などの光学試験デバイスに出力するための利用可能な複数のファイバのうちの１つを選択するように動作可能である。
[0029]図５は、いくつかの例となる実施形態による、例となる光学試験レーンコントローラアーキテクチャ５００（例えば、光学試験レーンコントローラ４３５）を示す。いくつかの例となる実施形態では、光学試験レーンコントローラアーキテクチャ５００は、光スイッチ５０３、光源５０５、および光学試験デバイス５１３を備え、これらは、いくつかの例となる実施形態によれば、光学試験アセンブリ１３０に統合され得る。いくつかの例となる実施形態では、光スイッチ５０３、光源５０５、および光学試験デバイス５１３は、電気ケーブルおよびファイバなどの、光接続および電気接続を介して、光学試験アセンブリに接続されている外部モジュールである。
[0030]例示される例では、光学試験アセンブリ１３０は、スイッチ制御経路５１０、パワー経路５１５、およびレーザ制御経路５２０などの電気接続を使用して、スイッチ５０７および光源５０５と接続されている。スイッチ制御経路５１０は、光学試験デバイス５１３に結合された試験ファイバ５３５への結合のために、光スイッチ５０３のどのレーンが選択されるかを制御するように動作可能である。いくつかの例となる実施形態では、光スイッチ５０３は、試験ファイバ５３５への出力のためにファイバ５３０Ａ～５３０Ｄのうちの１つを選択する、１つまたは複数の結合器（例えば、ＭＺＩ）などの、非機械スイッチまたは機械スイッチ（例えば、ＭＥＭＳ光スイッチ）を使用して、試験ファイバ５３５へと結合するためにファイバ５３０Ａ～５３０Ｄのうちの１つを選択する機械スイッチとして実装される。
[0031]いくつかの例となる実施形態では、光源５０５は、複数の外部レーザを備え、ここで、各レーザは、ファイバ５２５Ａ～５２５Ｄのうちの１つのための光を発生させるように構成されている。他の例となる実施形態では、光源５０５は、ファイバ５２５Ａ～５２５Ｄのうちの任意のもののための光を発生させるために、異なる波長およびパワー特性のためにチューニングされ得る広帯域チューナブル光源を備える。
[0032]光源５０５によって発生させた光は、複数の入力ファイバ５２５Ａ～５２５Ｄを使用して、ＤＵＴ１２０（図示せず）へと入力される。いくつかの例となる実施形態では、複数の出力ファイバ５３０Ａ～５３０Ｄおよび複数の入力ファイバ５２５Ａ～５２５Ｄは、光接続１４０としてグループ化され、これらは、図６Ａおよび図６Ｂを参照して以下でさらに詳細に説明される、光相互接続アセンブリを使用してＤＵＴ１２０に入力される。
[0033]ＤＵＴ１２０の同時のハイブリッド試験および較正を行うために、光学試験レーンコントローラアーキテクチャ５００は、順次に一度に１レーンずつアクティベートする。例えば、第１の構成では、光学試験アセンブリ１３０は、出力ファイバ５３０Ａを試験ファイバ５３５に結合するように光スイッチ５０３を構成するために、スイッチ制御経路５１０を使用する。さらに、光学試験アセンブリ１３０は、第１のレーンのための入力ファイバ５２５Ａを使用して、被試験デバイスへと光を送信するように、第１のレーンのための光源５０５をアクティベートするために、レーザ制御経路５２２を使用する。第１の構成にある間、電気部品は、ＡＴＥ１４５を使用して試験され得、一方、光学試験アセンブリ１３０は、第１のレーンの構成部品を試験および較正するために、光学試験デバイス５１３を使用する。例えば、光源５０５は、入力ファイバ５２５Ａを使用して、ＤＵＴへと注入される第１のレーザ光を発生させる。次いで、第１のレーンのためのデータ送信機および光変調器は、変調フォーマット（例えば、ＰＡＭ４）に従って受信された光を変調し、次いで、変調された光は、被試験デバイスによって出力ファイバ５３０Ａ上へと出力される。次いで、光スイッチ５０３は、ファイバ５３０Ａからの変調された光を、第１のレーンの構成部品の分析および較正（例えば、第１のレーンのためのデータ送信機のヒータ設定、第１のレーンのための光変調器についての変調器バイアス設定など）のために、試験ファイバ５３５に結合する。光電気ＡＴＥシステムを使用した被試験デバイスのハイブリッド試験および較正のさらなる詳細は、２０２０年６月２２日に出願された「Optical Transceiver Loopback Eye Scans」と題する出願第１６／９０７，８５７号、および２０２０年５月２９日に出願された「Optical-Electrical Device Testing Using Hybrid Automated Testing Equipment」と題する出願第１６／８８７，６６８号に説明されており、これらは、その全体が参照により本明細書に組み込まれている。
[0034]被試験デバイスの第１のレーンが較正された後、光学試験レーンコントローラアーキテクチャ５００は、他のレーンを試験するために、異なる構成に切り替わり得る。例えば、光学試験レーンコントローラアーキテクチャ５００は、第２のレーン５２５Ｂ上に光を発生させるように光源５０５を構成し、電気試験デバイスおよび光学試験デバイスを使用した試験および較正のために、出力ファイバ５３０Ｂからの光を試験ファイバ５３５に結合するようにスイッチを構成し得る。同様に、ＤＵＴに光を注入するために、入力ファイバ５２５Ａ～５２５Ｄのうちの１つの上へと発生させる光源５０５を順次にアクティベートし、出力ファイバ５３０Ａ～５３０Ｄのうちの１つで受信された変調された光を、試験および較正のために試験ファイバ５３５上へと結合するように光スイッチ５０３を構成するための光学試験レーンコントローラアーキテクチャ５００を使用することによって、追加のレーンが試験され得る。
[0035]図６Ａは、いくつかの例となる実施形態による、光相互接続インターフェース６００の斜視図を示す。光相互接続インターフェース６００は、光接続１４０（例えば、８つの単一モードファイバ）から、ＤＵＴ１２０へと光を入力および出力するように動作可能である。いくつかの例となる実施形態では、光相互接続インターフェース６００は、光相互接続レセプタクル６１０に取り付けられる光相互接続ヘッド６０５（例えば、プラグ、ソケット、フェルール）を備える。レセプタクル６１０は、ＤＵＴ１２０へと光を結合するために、ＤＵＴ１２０に取り付けられ得る。光相互接続ヘッド６０５および光相互接続レセプタクル６１０は、インタロックする（interlock）対応するアラインメント機構６１５を有する。いくつかの例となる実施形態では、光相互接続ヘッド６０５は、ワークプレス１１０に取り付けられている。ワークプレス１１０は、アラインメント機構６１５が、受動的なアライメントプロセスにおいてアラインしおよびインタロックするように、ハンドラ１０５によって所定の位置へと作動される。すなわち、例えば、アラインメント機構６１５を使用して、光相互接続ヘッド６０５を光相互接続レセプタクル６１０にアラインすることによって、光接続１４０における出力ファイバ５３０Ａ～５３０Ｄは、（例えば、変調された光を発生させる）ＤＵＴ１２０の出力回折格子とアラインされ、光接続１４０における入力ファイバ５２５Ａ～５３０Ａは、（例えば、光源５０５からの光を被試験デバイスへと注入するために）ＤＵＴ１２０の入力回折格子とアラインされる。
[0036]図６Ｂは、いくつかの例となる実施形態による、光相互接続インターフェース６００の１つまたは複数の内部構成部品を例示する、光相互接続インターフェース６００の側面図を示す。図６Ｂの例では、光相互接続ヘッド６０５は、光接続１４０からの光がＤＵＴ１２０に結合され得るように、光相互接続レセプタクル６１０とインタロックされている。例示される例では、光相互接続ヘッド６０５内の光接続は、レンズ６５０に反射した光をビーム経路６６５（例えば、内部導波路、ファイバ）に向かって伝送する各単一モードファイバ６５３である。ビーム経路６６５は、光をＤＵＴ１２０の回折格子６６０へ向かわせる１つまたは複数のレンズ６５５（例えば、マイクロレンズアレイ）に向かって光を伝送する。
[0037]図７は、いくつかの例となる実施形態による、光電気被試験デバイスのマルチレーンハイブリッドＡＴＥ試験のための方法７００のフロー図を示す。動作７０５において、光学試験アセンブリ１３０は、被試験デバイスの第１のレーンの光学試験を行うように構成される。例えば、光学試験アセンブリ１３０は、第１のレーンのための光を発生させるように光源５０５を構成し、出力ファイバ５３０Ａからの光を試験ファイバ５３５に結合するように光スイッチ５０３をさらに構成する。
[0038]動作７１０において、光源は、被試験デバイスへの第１のレーンのための光を入力する。例えば、光源５０５からの第１のレーンの光は、上述されたようなアラインメント機構を使用して受動的にアラインされた光相互接続インターフェース６００を使用して、被試験デバイスへと注入される。いくつかの例となる実施形態では、光源は、被試験デバイスに統合され、動作７１０は省略される。例えば、ＤＵＴ１２０内の光源は、試験（例えば、変調、分析）のための光を発生させるためにアクティベートされる。
[0039]動作７１５において、第１のレーンからの第１の変調された光が受信される。例えば、第１の変調された光は、光相互接続インターフェース介してＤＵＴ１２０から出力ファイバ５３０Ａ上へと受信され、それは、試験ファイバ５３５を介して光学試験デバイス５１３に光を送信するように構成されている光スイッチ５０３へと入力される。
[0040]動作７２０において、光学試験アセンブリ１３０は、被試験デバイスの第１のレーンの構成部品を較正する（例えば、光学試験デバイスを使用して第１のレーンの光変調器を較正する、１つまたは複数の電気試験デバイスに従って、第１のレーンの電気ヒータを較正する）。
[0041]動作７２５において、光学試験アセンブリ１３０は、ハイブリッド光電気試験のために、被試験デバイスの次のレーンを構成する。例えば、動作７２５において、光学試験アセンブリ１３０は、出力ファイバ５３０Ｂを試験ファイバ５３５に結合するように光スイッチ５０３を構成し、被試験デバイスの第２のレーンの構成部品への注入のために、入力ファイバ５２５Ｂ上に光を発生させるように光源５０５をさらに構成する。
[0042]動作７３０において、追加のレーン（例えば、第２のレーン）のための光源からの光が、被試験デバイスへと入力される。例えば、ファイバ５２５Ａ上で伝搬する光は、受動的にアラインされた光相互接続インターフェース６００を使用して、ＤＵＴ１２０へと入力される。動作７３５において、追加のレーンからの追加の変調された光が受信される。例えば、第２のレーンの変調された光は、光相互接続インターフェース６００を介して受信され、これは、光を出力ファイバ５３０Ｂ上に、そして光スイッチ５０３および試験ファイバ５３５を介して試験デバイス内へと出力する。いくつかの例となる実施形態では、動作７２０は、方法７００から省略され得る（例えば、ＤＵＴ１２０は、異なるレーンについての埋込み光源を含む）。
[0043]動作７４０において、第２の構成にある間、第２のレーンの光を変調するために使用される１つまたは複数の電気部品または光学部品が、試験および較正され、較正設定が、デバイス上（on-device）に（例えば、ＤＵＴのマイクロコントローラメモリに）記憶される。いくつかの例となる実施形態では、方法７００は、マルチレーンＤＵＴ１２０の追加のレーン（例えば、第３のレーン、第４のレーン）のためにループする。
[0044]下記は、例となる実施形態である。
[0045] ［実施例１］ 自動試験装置（ＡＴＥ）システムを使用した光電気被試験デバイス（ＤＵＴ）の試験のための方法であって、前記方法は、前記光電気ＤＵＴの第１のレーンの光学試験のための第１の構成において、光学試験レーンスイッチセレクタを構成することと、前記光電気ＤＵＴは、前記第１のレーンと第２のレーンとを含む複数のトランシーバレーンを備えるマルチレーン光トランシーバであり、前記複数のトランシーバレーンの各レーンが、前記レーンのための光送信機を使用して光を変調し、前記レーンのための光受信機を使用して光を受信し、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光学試験レーンスイッチセレクタにおける光スイッチを使用して、光学試験デバイスに結合されている試験ファイバへの、前記光電気ＤＵＴに結合された複数の出力ファイバのうちの１つを選択することによって、前記第１の構成のために構成されており、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光電気ＤＵＴに結合されている複数の入力ファイバのうちの１つの上で前記光電気ＤＵＴに光を送信するように、前記光学試験レーンスイッチセレクタにおける外部光源をアクティベートすることによって、前記第１の構成においてさらに構成されており、前記複数の出力ファイバのうちの前記１つおよび前記複数の入力ファイバのうちの前記１つは、前記マルチレーン光トランシーバの前記第１のレーンに対応し、前記光学試験レーンスイッチセレクタが前記第１の構成にある間、前記光電気ＤＵＴの前記第１のレーンの１つまたは複数の光学部品を較正することと、前記１つまたは複数の光学部品は、前記第１の構成における前記光スイッチによって前記試験ファイバへと結合された前記光を使用して、前記光学試験デバイスによって生成されるデータに従って較正され、前記光電気ＤＵＴの第２のレーンの光学試験のための第２の構成において、前記光学試験レーンスイッチセレクタを構成することと、ここにおいて、前記第２のレーンは、前記複数のトランシーバレーンのうちの別のレーンであり、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光学試験レーンスイッチセレクタにおける前記光スイッチを使用して、前記光学試験デバイスに結合されている前記試験ファイバへの、前記光電気ＤＵＴに結合された前記複数の出力ファイバのうちの別のものを選択することによって、前記第２の構成のために構成されており、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光電気ＤＵＴに結合されている前記複数の入力ファイバのうちの別のものの上で前記光電気ＤＵＴに光を送信するように、前記光学試験レーンスイッチセレクタの前記外部光源をアクティベートすることによって、前記第２の構成においてさらに構成されており、前記複数の出力ファイバのうちの前記別のものおよび前記複数の入力ファイバのうちの前記別のものは、前記マルチレーン光トランシーバの前記第２のレーンに対応し、前記光学試験レーンスイッチセレクタが前記第２の構成にある間、前記光電気ＤＵＴの前記第２のレーンの１つまたは複数の光学部品を較正することと、前記１つまたは複数の光学部品は、前記第２の構成における前記光学試験レーンスイッチセレクタによって前記試験ファイバに結合された前記光を使用して、前記光学試験デバイスによって生成される追加のデータに従って較正される、を備える。
[0046] ［実施例２］ 前記外部光源は、複数の光源を備え、前記第１の構成において、前記複数の光源のうちの第１の光源が、前記第１のレーンのための第１の光を発生させ、前記第２の構成において、前記複数の光源のうちの第２の光源が、前記第２のレーンのための第２の光を発生させる、実施例１に記載の方法。
[0047] ［実施例３］ 前記外部光源は、異なる波長にチューニング可能である広帯域光源を備え、前記広帯域光源は、前記第１の構成にある間、第１のレーンのための光を発生させ、前記広帯域光源は、前記第２の構成にある間、前記第２のレーンのための光を発生させる、実施例１または２に記載の方法。
[0048] ［実施例４］ 前記光スイッチは、前記光スイッチの出力ポートへの、前記光スイッチの複数の入力ポートに結合された複数のファイバのうちの１つを選択するように再構成可能である機械スイッチである、実施例１～３のいずれかに記載の方法。
[0049] ［実施例５］ 前記光電気ＤＵＴの第３のレーンの光学試験のための第３の構成において、前記光学試験レーンスイッチセレクタを構成することをさらに備え、ここにおいて、前記第３のレーンは、前記複数のトランシーバレーンのうちの別のレーンであり、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光スイッチを使用して、前記光学試験デバイスに結合されている前記試験ファイバへの、前記光電気ＤＵＴに結合された前記複数の出力ファイバのうちの他のもののうちの１つを選択することによって、前記第３の構成のために構成されており、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光電気ＤＵＴに結合されている前記複数の前記入力ファイバのうちの他のもののうちの１つに光を送信するように前記外部光源をアクティベートすることによって、前記第３の構成においてさらに構成されており、前記複数の入力ファイバのうちの前記他のもののうちの前記１つにおける前記複数の出力ファイバのうちの前記他のもののうちの前記１つは、前記光電気ＤＵＴの第３のレーンに対応する、実施例１～４のいずれかに記載の方法。
[0050] ［実施例６］ 前記光学試験レーンスイッチセレクタが前記第３の構成にある間、前記光電気ＤＵＴの前記第３のレーンの１つまたは複数の光学部品を較正することをさらに備え、前記１つまたは複数の光学部品は、前記第３の構成における前記光学試験レーンスイッチセレクタによって前記試験ファイバへと結合された前記光を使用して、前記光学試験デバイスによって生成されるさらなるデータに従って較正される、実施例１～５のいずれかに記載の方法。
[0051] ［実施例７］ 前記複数の入力ファイバにおける前記複数の出力ファイバは、前記光電気ＤＵＴの光出力および入力経路を、前記複数の入力ファイバにおける前記複数の出力ファイバの各々とアラインするアラインメント機構を備える光相互接続構造を使用して、前記光電気ＤＵＴに結合されている、実施例１～６のいずれかに記載の方法。
[0052] ［実施例８］ 前記光相互接続構造は、前記複数の入力ファイバにおける前記複数の出力ファイバからの前記光を、前記光電気ＤＵＴへ向かわせる１つまたは複数のレンズを備える、実施例１～７のいずれかに記載の方法。
[0053] ［実施例９］ 前記光相互接続構造は、前記光電気ＤＵＴに取り付けられたソケットを備え、前記ソケットは、前記アラインメント機構とインタロックする追加のアラインメント機構を備える、実施例１～８のいずれかに記載の方法。
[0054] ［実施例１０］ 前記ソケットは、前記複数の出力ファイバまたは前記複数の入力ファイバから結合される、前記光相互接続構造からの光を伝搬するための回折格子結合器を備える、実施例１～９のいずれかに記載の方法。
[0055] ［実施例１１］ 前記ＡＴＥシステムは、前記光電気ＤＵＴの電気部品を試験するための１つまたは複数の電気試験モジュールを備える、実施例１～１０のいずれかに記載の方法。
[0056] ［実施例１２］ 前記光学試験レーンスイッチセレクタが前記第１の構成にある間、前記光学試験デバイスが前記光電気ＤＵＴの前記第１のレーンの前記１つまたは複数の光学部品を較正している間に、前記マルチレーン光トランシーバの前記第１のレーンの第１のセットの電気部品を較正することをさらに備える、実施例１～１１のいずれかに記載の方法。
[0057] ［実施例１３］ 前記光学試験レーンスイッチセレクタが前記第２の構成にある間、前記光学試験デバイスが前記光電気ＤＵＴの前記第２のレーンの前記１つまたは複数の光学部品のための較正データを生成している間に、前記光電気ＤＵＴの前記第２のレーンの第２のセットの電気部品を較正することをさらに備える、実施例１～１２のいずれかに記載の方法。
[0058] ［実施例１４］ 前記光学試験デバイスは、光スペクトラムアナライザである、実施例１～１３のいずれかに記載の方法。
[0059] ［実施例１５］ 前記光学試験デバイスは、光パワーメータである、実施例１～１４のいずれかに記載の方法。
[0060] ［実施例１６］ 光電気被試験デバイス（ＤＵＴ）の試験のための自動試験装置（ＡＴＥ）システムであって、前記ＡＴＥシステムは、前記光電気ＤＵＴに結合されている試験ファイバから受信された光を使用して、較正データを生成するための光学試験デバイスと、第１の構成において、前記光電気ＤＵＴの第１のレーンを試験する光学試験レーンスイッチセレクタと、前記光電気ＤＵＴは、前記第１のレーンと第２のレーンとを含む複数のトランシーバレーンを備えるマルチレーン光トランシーバであり、前記複数のトランシーバレーンの各レーンが、前記レーンのための光送信機を使用して光を変調し、前記レーンのための光受信機を使用して光を受信し、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光学試験レーンスイッチセレクタにおける光スイッチを使用して、光学試験デバイスに結合されている試験ファイバへの、前記光電気ＤＵＴに結合された複数の出力ファイバのうちの１つを選択することによって、前記第１の構成のために構成されており、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光電気ＤＵＴに結合されている複数の入力ファイバのうちの１つの上で前記光電気ＤＵＴに光を送信するように、前記光学試験レーンスイッチセレクタにおける外部光源をアクティベートすることによって、前記第１の構成においてさらに構成されており、前記複数の出力ファイバのうちの前記１つおよび前記複数の入力ファイバのうちの前記１つは、前記マルチレーン光トランシーバの前記第１のレーンに対応し、ここにおいて、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、第２の構成において、前記光電気ＤＵＴの第２のレーンを試験し、ここにおいて、前記第２のレーンは、前記複数のトランシーバレーンのうちの別のレーンであり、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光学試験レーンスイッチセレクタにおける前記光スイッチを使用して、前記光学試験デバイスに結合されている前記試験ファイバへの、前記光電気ＤＵＴに結合された前記複数の出力ファイバのうちの別のものを選択することによって、前記第２の構成のために構成されており、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光電気ＤＵＴに結合されている前記複数の入力ファイバのうちの別のものの上で前記光電気ＤＵＴに光を送信するように、前記光学試験レーンスイッチセレクタの前記外部光源をアクティベートすることによって、前記第２の構成においてさらに構成されており、前記複数の出力ファイバのうちの前記別のものおよび前記複数の入力ファイバのうちの前記別のものは、前記マルチレーン光トランシーバの前記第２のレーンに対応する、を備える。
[0061] ［実施例１７］ 前記外部光源は、複数の光源を備え、前記第１の構成において、前記複数の光源のうちの第１の光源が、前記第１のレーンのための第１の光を発生させ、前記第２の構成において、前記複数の光源のうちの第２の光源が、前記第２のレーンのための第２の光を発生させる、実施例１６に記載のＡＴＥシステム。
[0062] ［実施例１８］ 前記光スイッチは、前記光スイッチの出力ポートへの、前記光スイッチの複数の入力ポートに結合された複数のファイバのうちの１つを選択するように再構成可能である機械スイッチである、実施例１６または１７に記載のＡＴＥシステム。
[0063] ［実施例１９］ 前記複数の入力ファイバにおける前記複数の出力ファイバは、前記光電気ＤＵＴの光出力および入力経路を、前記複数の入力ファイバにおける前記複数の出力ファイバの各々とアラインするアラインメント機構を備える光相互接続構造を使用して、前記光電気ＤＵＴに結合されている、実施例１６～１８のいずれかに記載のＡＴＥシステム。
[0064] ［実施例２０］ 前記光学試験デバイスは、光スペクトラムアナライザである、実施例１６～１９のいずれかに記載のＡＴＥシステム。
[0065]前述の詳細な説明では、本発明の主題の方法および装置が、その特定の例示的な実施形態を参照して説明された。しかしながら、様々な修正および変更が、本発明の主題のより広い精神および範囲から逸脱することなく、それらに対して行われ得ることが明らかであろう。したがって、本明細書および図面は、限定的ではなく例示的なものとしてみなされるべきである。
以下に本願の出願当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
［Ｃ１］
自動試験装置（ＡＴＥ）システムを使用した光電気被試験デバイス（ＤＵＴ）の試験のための方法であって、前記方法は、
前記光電気ＤＵＴの第１のレーンの光学試験のための第１の構成において、光学試験レーンスイッチセレクタを構成することと、前記光電気ＤＵＴは、前記第１のレーンと第２のレーンとを含む複数のトランシーバレーンを備えるマルチレーン光トランシーバであり、前記複数のトランシーバレーンの各レーンが、前記レーンのための光送信機を使用して光を変調し、前記レーンのための光受信機を使用して光を受信し、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光学試験レーンスイッチセレクタにおける光スイッチを使用して、光学試験デバイスに結合されている試験ファイバへの、前記光電気ＤＵＴに結合された複数の出力ファイバのうちの１つを選択することによって、前記第１の構成のために構成されており、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光電気ＤＵＴに結合されている複数の入力ファイバのうちの１つの上で前記光電気ＤＵＴに光を送信するように、前記光学試験レーンスイッチセレクタにおける外部光源をアクティベートすることによって、前記第１の構成においてさらに構成されており、前記複数の出力ファイバのうちの前記１つおよび前記複数の入力ファイバのうちの前記１つは、前記マルチレーン光トランシーバの前記第１のレーンに対応し、
前記光学試験レーンスイッチセレクタが前記第１の構成にある間、前記光電気ＤＵＴの前記第１のレーンの１つまたは複数の光学部品を較正することと、前記１つまたは複数の光学部品は、前記第１の構成における前記光スイッチによって前記試験ファイバへと結合された前記光を使用して、前記光学試験デバイスによって生成されるデータに従って較正され、
前記光電気ＤＵＴの第２のレーンの光学試験のための第２の構成において、前記光学試験レーンスイッチセレクタを構成することと、ここにおいて、前記第２のレーンは、前記複数のトランシーバレーンのうちの別のレーンであり、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光学試験レーンスイッチセレクタにおける前記光スイッチを使用して、前記光学試験デバイスに結合されている前記試験ファイバへの、前記光電気ＤＵＴに結合された前記複数の出力ファイバのうちの別のものを選択することによって、前記第２の構成のために構成されており、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光電気ＤＵＴに結合されている前記複数の入力ファイバのうちの別のものの上で前記光電気ＤＵＴに光を送信するように、前記光学試験レーンスイッチセレクタの前記外部光源をアクティベートすることによって、前記第２の構成においてさらに構成されており、前記複数の出力ファイバのうちの前記別のものおよび前記複数の入力ファイバのうちの前記別のものは、前記マルチレーン光トランシーバの前記第２のレーンに対応し、
前記光学試験レーンスイッチセレクタが前記第２の構成にある間、前記光電気ＤＵＴの前記第２のレーンの１つまたは複数の光学部品を較正することと、前記１つまたは複数の光学部品は、前記第２の構成における前記光学試験レーンスイッチセレクタによって前記試験ファイバに結合された前記光を使用して、前記光学試験デバイスによって生成される追加のデータに従って較正される、
を備える、方法。
［Ｃ２］
前記外部光源は、複数の光源を備え、前記第１の構成において、前記複数の光源のうちの第１の光源が、前記第１のレーンのための第１の光を発生させ、前記第２の構成において、前記複数の光源のうちの第２の光源が、前記第２のレーンのための第２の光を発生させる、Ｃ１に記載の方法。
［Ｃ３］
前記外部光源は、異なる波長にチューニング可能である広帯域光源を備え、前記広帯域光源は、前記第１の構成にある間、第１のレーンのための光を発生させ、前記広帯域光源は、前記第２の構成にある間、前記第２のレーンのための光を発生させる、Ｃ１に記載の方法。
［Ｃ４］
前記光スイッチは、前記光スイッチの出力ポートへの、前記光スイッチの複数の入力ポートに結合された複数のファイバのうちの１つを選択するように再構成可能である機械スイッチである、Ｃ１に記載の方法。
［Ｃ５］
前記光電気ＤＵＴの第３のレーンの光学試験のための第３の構成において、前記光学試験レーンスイッチセレクタを構成することをさらに備え、ここにおいて、前記第３のレーンは、前記複数のトランシーバレーンのうちの別のレーンであり、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光スイッチを使用して、前記光学試験デバイスに結合されている前記試験ファイバへの、前記光電気ＤＵＴに結合された前記複数の出力ファイバのうちの他のもののうちの１つを選択することによって、前記第３の構成のために構成されており、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光電気ＤＵＴに結合されている前記複数の前記入力ファイバのうちの他のもののうちの１つに光を送信するように前記外部光源をアクティベートすることによって、前記第３の構成においてさらに構成されており、前記複数の入力ファイバのうちの前記他のもののうちの前記１つにおける前記複数の出力ファイバのうちの前記他のもののうちの前記１つは、前記光電気ＤＵＴの第３のレーンに対応する、Ｃ１に記載の方法。
［Ｃ６］
前記光学試験レーンスイッチセレクタが前記第３の構成にある間、前記光電気ＤＵＴの前記第３のレーンの１つまたは複数の光学部品を較正することをさらに備え、前記１つまたは複数の光学部品は、前記第３の構成における前記光学試験レーンスイッチセレクタによって前記試験ファイバへと結合された前記光を使用して、前記光学試験デバイスによって生成されるさらなるデータに従って較正される、Ｃ５に記載の方法。
［Ｃ７］
前記複数の入力ファイバにおける前記複数の出力ファイバは、前記光電気ＤＵＴの光出力および入力経路を、前記複数の入力ファイバにおける前記複数の出力ファイバの各々とアラインするアラインメント機構を備える光相互接続構造を使用して、前記光電気ＤＵＴに結合されている、Ｃ１に記載の方法。
［Ｃ８］
前記光相互接続構造は、前記複数の入力ファイバにおける前記複数の出力ファイバからの前記光を、前記光電気ＤＵＴへ向かわせる１つまたは複数のレンズを備える、Ｃ７に記載の方法。
［Ｃ９］
前記光相互接続構造は、前記光電気ＤＵＴに取り付けられたソケットを備え、前記ソケットは、前記アラインメント機構とインタロックする追加のアラインメント機構を備える、Ｃ７に記載の方法。
［Ｃ１０］
前記ソケットは、前記複数の出力ファイバまたは前記複数の入力ファイバから結合される、前記光相互接続構造からの光を伝搬するための回折格子結合器を備える、Ｃ９に記載の方法。
［Ｃ１１］
前記ＡＴＥシステムは、前記光電気ＤＵＴの電気部品を試験するための１つまたは複数の電気試験モジュールを備える、Ｃ１に記載の方法。
［Ｃ１２］
前記光学試験レーンスイッチセレクタが前記第１の構成にある間、前記光学試験デバイスが前記光電気ＤＵＴの前記第１のレーンの前記１つまたは複数の光学部品を較正している間に、前記マルチレーン光トランシーバの前記第１のレーンの第１のセットの電気部品を較正すること
をさらに備える、Ｃ１１に記載の方法。
［Ｃ１３］
前記光学試験レーンスイッチセレクタが前記第２の構成にある間、前記光学試験デバイスが前記光電気ＤＵＴの前記第２のレーンの前記１つまたは複数の光学部品のための較正データを生成している間に、前記光電気ＤＵＴの前記第２のレーンの第２のセットの電気部品を較正すること
をさらに備える、Ｃ１２に記載の方法。
［Ｃ１４］
前記光学試験デバイスは、光スペクトラムアナライザである、Ｃ１に記載の方法。
［Ｃ１５］
前記光学試験デバイスは、光パワーメータである、Ｃ１に記載の方法。
［Ｃ１６］
光電気被試験デバイス（ＤＵＴ）の試験のための自動試験装置（ＡＴＥ）システムであって、前記ＡＴＥシステムは、
前記光電気ＤＵＴに結合されている試験ファイバから受信された光を使用して、較正データを生成するための光学試験デバイスと、
第１の構成において、前記光電気ＤＵＴの第１のレーンを試験する光学試験レーンスイッチセレクタと、前記光電気ＤＵＴは、前記第１のレーンと第２のレーンとを含む複数のトランシーバレーンを備えるマルチレーン光トランシーバであり、前記複数のトランシーバレーンの各レーンが、前記レーンのための光送信機を使用して光を変調し、前記レーンのための光受信機を使用して光を受信し、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光学試験レーンスイッチセレクタにおける光スイッチを使用して、光学試験デバイスに結合されている試験ファイバへの、前記光電気ＤＵＴに結合された複数の出力ファイバのうちの１つを選択することによって、前記第１の構成のために構成されており、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光電気ＤＵＴに結合されている複数の入力ファイバのうちの１つの上で前記光電気ＤＵＴに光を送信するように、前記光学試験レーンスイッチセレクタにおける外部光源をアクティベートすることによって、前記第１の構成においてさらに構成されており、前記複数の出力ファイバのうちの前記１つおよび前記複数の入力ファイバのうちの前記１つは、前記マルチレーン光トランシーバの前記第１のレーンに対応し、ここにおいて、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、第２の構成において、前記光電気ＤＵＴの第２のレーンを試験し、ここにおいて、前記第２のレーンは、前記複数のトランシーバレーンのうちの別のレーンであり、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光学試験レーンスイッチセレクタにおける前記光スイッチを使用して、前記光学試験デバイスに結合されている前記試験ファイバへの、前記光電気ＤＵＴに結合された前記複数の出力ファイバのうちの別のものを選択することによって、前記第２の構成のために構成されており、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光電気ＤＵＴに結合されている前記複数の入力ファイバのうちの別のものの上で前記光電気ＤＵＴに光を送信するように、前記光学試験レーンスイッチセレクタの前記外部光源をアクティベートすることによって、前記第２の構成においてさらに構成されており、前記複数の出力ファイバのうちの前記別のものおよび前記複数の入力ファイバのうちの前記別のものは、前記マルチレーン光トランシーバの前記第２のレーンに対応する、
を備える、ＡＴＥシステム。
［Ｃ１７］
前記外部光源は、複数の光源を備え、前記第１の構成において、前記複数の光源のうちの第１の光源が、前記第１のレーンのための第１の光を発生させ、前記第２の構成において、前記複数の光源のうちの第２の光源が、前記第２のレーンのための第２の光を発生させる、Ｃ１６に記載のＡＴＥシステム。
［Ｃ１８］
前記光スイッチは、前記光スイッチの出力ポートへの、前記光スイッチの複数の入力ポートに結合された複数のファイバのうちの１つを選択するように再構成可能である機械スイッチである、Ｃ１６に記載のＡＴＥシステム。
［Ｃ１９］
前記複数の入力ファイバにおける前記複数の出力ファイバは、前記光電気ＤＵＴの光出力および入力経路を、前記複数の入力ファイバにおける前記複数の出力ファイバの各々とアラインするアラインメント機構を備える光相互接続構造を使用して、前記光電気ＤＵＴに結合されている、Ｃ１６に記載のＡＴＥシステム。
［Ｃ２０］
前記光学試験デバイスは、光スペクトラムアナライザである、Ｃ１６に記載のＡＴＥシステム。

Claims (17)

  1. 自動試験装置（ＡＴＥ）システムを使用した光電気被試験デバイス（ＤＵＴ）の試験のための方法であって、前記方法は、
    前記ＡＴＥシステムのハンドラを使用して、前記ＡＴＥシステムの電気試験モジュールに接続し、前記ＡＴＥシステムの光学試験モジュールに接続するために、前記光電気ＤＵＴを作動させることと、前記光電気ＤＵＴは、前記光電気ＤＵＴを保持するソケットにおける電気接続を使用して前記ＡＴＥシステムの前記電気試験モジュールに接続され、前記光電気ＤＵＴは、前記光電気ＤＵＴに光を入力するための入力ファイバおよび前記光電気ＤＵＴから光を出力するための出力ファイバを備える光相互接続構造を使用して前記ＡＴＥシステムの前記光学試験モジュールに接続され、前記出力ファイバおよび前記入力ファイバの各々は、前記光電気ＤＵＴの光出力および入力経路を、前記入力ファイバにおける前記出力ファイバの各々と物理的にアラインさせるために、前記光電気ＤＵＴとインタロックする前記光相互接続構造の物理的なインタロック機構を使用して前記光電気ＤＵＴに結合されており、
    前記光電気ＤＵＴの第１のレーンの光学試験のための第１の構成において、光学試験レーンスイッチセレクタを構成することと、前記光電気ＤＵＴは、前記第１のレーンと第２のレーンとを含む複数のトランシーバレーンを備えるマルチレーン光トランシーバであり、前記複数のトランシーバレーンの各レーンが、前記レーンのための光送信機を使用して光を変調し、前記レーンのための光受信機を使用して光を受信し、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光学試験レーンスイッチセレクタにおける光スイッチを使用して、光学試験デバイスに結合されている試験ファイバへの、前記光電気ＤＵＴに結合された前記出力ファイバのうちの１つを選択することによって、前記第１の構成のために構成されており、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光電気ＤＵＴに結合されている前記入力ファイバのうちの１つの上で前記光電気ＤＵＴに光を送信するように、前記光学試験レーンスイッチセレクタにおける外部光源をアクティベートすることによって、前記第１の構成においてさらに構成されており、
    前記光学試験レーンスイッチセレクタが前記第１の構成にある間および前記光電気ＤＵＴの電機部品が前記電気試験モジュールに電気的に接続されている間、前記光学試験モジュールを使用して前記光電気ＤＵＴの前記第１のレーンの１つまたは複数の光学部品を較正することと、
    前記光電気ＤＵＴの第２のレーンの光学試験のための第２の構成において、前記光学試験レーンスイッチセレクタを構成することと、ここにおいて、前記第２のレーンは、前記複数のトランシーバレーンのうちの別のレーンであり、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光学試験レーンスイッチセレクタにおける前記光スイッチを使用して、前記光学試験デバイスに結合されている前記試験ファイバへの、前記光電気ＤＵＴに結合された前記出力ファイバのうちの別のものを選択することによって、前記第２の構成のために構成されており、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光電気ＤＵＴに結合されている前記入力ファイバのうちの別のものの上で前記光電気ＤＵＴに光を送信するように、前記光学試験レーンスイッチセレクタの前記外部光源をアクティベートすることによって、前記第２の構成においてさらに構成されており、
    前記光学試験レーンスイッチセレクタが前記第２の構成にある間および前記光電気ＤＵＴの電機部品が前記電気試験モジュールに電気的に接続されている間、前記光学試験モジュールを使用して前記光電気ＤＵＴの前記第２のレーンの１つまたは複数の光学部品を較正することと、
    を備える、方法。
  2. 前記外部光源は、複数の光源を備え、前記第１の構成において、前記複数の光源のうちの第１の光源が、前記第１のレーンのための第１の光を発生させ、前記第２の構成において、前記複数の光源のうちの第２の光源が、前記第２のレーンのための第２の光を発生させる、請求項１に記載の方法。
  3. 前記外部光源は、異なる波長にチューニング可能である広帯域光源を備え、前記広帯域光源は、前記第１の構成にある間、第１のレーンのための光を発生させ、前記広帯域光源は、前記第２の構成にある間、前記第２のレーンのための光を発生させる、請求項１に記載の方法。
  4. 前記光スイッチは、機械スイッチである、請求項１に記載の方法。
  5. 前記光電気ＤＵＴの第３のレーンの光学試験のための第３の構成において、前記光学試験レーンスイッチセレクタを構成することをさらに備え、ここにおいて、前記第３のレーンは、前記複数のトランシーバレーンのうちの別のレーンであり、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光スイッチを使用して、前記光学試験デバイスに結合されている前記試験ファイバへの、前記光電気ＤＵＴに結合された前記出力ファイバのうちの別のものを選択することによって、前記第３の構成のために構成されており、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光電気ＤＵＴに結合されている前記入力ファイバのうちの別のものに光を送信するように前記外部光源をアクティベートすることによって、前記第３の構成においてさらに構成されている、請求項１に記載の方法。
  6. 前記光学試験レーンスイッチセレクタが前記第３の構成にある間、前記光電気ＤＵＴの第３のレーンの１つまたは複数の光学部品を較正することをさらに備え、前記１つまたは複数の光学部品は、前記第３の構成における前記光学試験レーンスイッチセレクタによって前記試験ファイバへと結合された前記光を使用して、前記光学試験デバイスによって生成されるさらなるデータに従って較正される、請求項５に記載の方法。
  7. 前記光相互接続構造は、前記入力ファイバにおける前記出力ファイバからの前記光を、前記光電気ＤＵＴへ向かわせる１つまたは複数のレンズを備える、請求項１に記載の方法。
  8. 前記光相互接続構造は、前記光電気ＤＵＴに取り付けられた光ソケットを備え、前記光ソケットは、前記物理的なインタロック機構とインタロックする追加のアラインメント機構を備える、請求項１に記載の方法。
  9. 前記光ソケットは、前記出力ファイバまたは前記入力ファイバから結合される、前記光相互接続構造からの光を伝搬するための回折格子結合器を備える、請求項８に記載の方法。
  10. 前記光学試験レーンスイッチセレクタが前記第１の構成にある間、前記光学試験デバイスが前記光電気ＤＵＴの前記第１のレーンの前記１つまたは複数の光学部品を較正している間に、前記マルチレーン光トランシーバの前記第１のレーンの第１のセットの電気部品を較正すること
    をさらに備える、請求項１に記載の方法。
  11. 前記光学試験レーンスイッチセレクタが前記第２の構成にある間、前記光学試験デバイスが前記光電気ＤＵＴの前記第２のレーンの前記１つまたは複数の光学部品のための較正データを生成している間に、前記光電気ＤＵＴの前記第２のレーンの第２のセットの電気部品を較正すること
    をさらに備える、請求項１０に記載の方法。
  12. 前記光学試験デバイスは、光スペクトラムアナライザである、請求項１に記載の方法。
  13. 前記光学試験デバイスは、光パワーメータである、請求項１に記載の方法。
  14. 光電気被試験デバイス（ＤＵＴ）の試験のための自動試験装置（ＡＴＥ）システムであって、前記ＡＴＥシステムは、
    前記光電気ＤＵＴを保持するためのソケットと、
    前記光電気ＤＵＴの電気部品を試験するための電気試験デバイスと、
    前記光電気ＤＵＴに結合されている試験ファイバから受信された光を使用して、較正データを生成するための光学試験デバイスと、
    前記ＡＴＥシステムの前記電気試験デバイスに接続し、前記ＡＴＥシステムの光学試験デバイスに接続するために、前記光電気ＤＵＴを作動させるための前記ＡＴＥシステムのハンドラと、前記光電気ＤＵＴは、前記光電気ＤＵＴを保持する前記ソケットにおける電気接続を使用して前記ＡＴＥシステムの前記電気試験デバイスに接続され、前記光電気ＤＵＴは、前記光電気ＤＵＴに光を入力するための入力ファイバおよび前記光電気ＤＵＴから光を出力するための出力ファイバを備える光相互接続構造を使用して前記ＡＴＥシステムの前記光学試験デバイスに接続され、前記出力ファイバおよび前記入力ファイバの各々は、前記光電気ＤＵＴの光出力および入力経路を、前記入力ファイバにおける前記出力ファイバの各々と物理的にアラインさせるために、前記光電気ＤＵＴとインタロックする前記光相互接続構造の物理的なインタロック機構を使用して前記光電気ＤＵＴに結合されており、
    第１の構成において、前記光電気ＤＵＴの第１のレーンを試験する光学試験レーンスイッチセレクタと、前記光電気ＤＵＴは、前記第１のレーンと第２のレーンとを含む複数のトランシーバレーンを備えるマルチレーン光トランシーバであり、前記複数のトランシーバレーンの各レーンが、前記レーンのための光送信機を使用して光を変調し、前記レーンのための光受信機を使用して光を受信し、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光学試験レーンスイッチセレクタにおける光スイッチを使用して、光学試験デバイスに結合されている試験ファイバへの、前記光電気ＤＵＴに結合された前記出力ファイバのうちの１つを選択することによって、前記第１の構成のために構成されており、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光電気ＤＵＴに結合されている入力ファイバのうちの１つの上で前記光電気ＤＵＴに光を送信するように、前記光学試験レーンスイッチセレクタにおける外部光源をアクティベートすることによって、前記第１の構成においてさらに構成されており、前記出力ファイバのうちの前記１つおよび前記入力ファイバのうちの前記１つは、前記マルチレーン光トランシーバの前記第１のレーンに対応し、ここにおいて、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、第２の構成において、前記光電気ＤＵＴの第２のレーンを試験し、ここにおいて、前記第２のレーンは、前記複数のトランシーバレーンのうちの別のレーンであり、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光学試験レーンスイッチセレクタにおける前記光スイッチを使用して、前記光学試験デバイスに結合されている前記試験ファイバへの、前記光電気ＤＵＴに結合された前記出力ファイバのうちの別のものを選択することによって、前記第２の構成のために構成されており、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光電気ＤＵＴに結合されている前記入力ファイバのうちの別のものの上で前記光電気ＤＵＴに光を送信するように、前記光学試験レーンスイッチセレクタの前記外部光源をアクティベートすることによって、前記第２の構成においてさらに構成されており、前記出力ファイバのうちの前記別のものおよび前記入力ファイバのうちの前記別のものは、前記マルチレーン光トランシーバの前記第２のレーンに対応する、
    を備える、ＡＴＥシステム。
  15. 前記外部光源は、複数の光源を備え、前記第１の構成において、前記複数の光源のうちの第１の光源が、前記第１のレーンのための第１の光を発生させ、前記第２の構成において、前記複数の光源のうちの第２の光源が、前記第２のレーンのための第２の光を発生させる、請求項１４に記載のＡＴＥシステム。
  16. 前記光スイッチは、機械スイッチである、請求項１４に記載のＡＴＥシステム。
  17. 前記光学試験デバイスは、光スペクトラムアナライザである、請求項１４に記載のＡＴＥシステム。
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