JP7408514B2 - 自動試験装置を使用したマルチレーン光電気デバイス試験 - Google Patents
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Description
以下に本願の出願当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
[C1]
自動試験装置(ATE)システムを使用した光電気被試験デバイス(DUT)の試験のための方法であって、前記方法は、
前記光電気DUTの第1のレーンの光学試験のための第1の構成において、光学試験レーンスイッチセレクタを構成することと、前記光電気DUTは、前記第1のレーンと第2のレーンとを含む複数のトランシーバレーンを備えるマルチレーン光トランシーバであり、前記複数のトランシーバレーンの各レーンが、前記レーンのための光送信機を使用して光を変調し、前記レーンのための光受信機を使用して光を受信し、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光学試験レーンスイッチセレクタにおける光スイッチを使用して、光学試験デバイスに結合されている試験ファイバへの、前記光電気DUTに結合された複数の出力ファイバのうちの1つを選択することによって、前記第1の構成のために構成されており、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光電気DUTに結合されている複数の入力ファイバのうちの1つの上で前記光電気DUTに光を送信するように、前記光学試験レーンスイッチセレクタにおける外部光源をアクティベートすることによって、前記第1の構成においてさらに構成されており、前記複数の出力ファイバのうちの前記1つおよび前記複数の入力ファイバのうちの前記1つは、前記マルチレーン光トランシーバの前記第1のレーンに対応し、
前記光学試験レーンスイッチセレクタが前記第1の構成にある間、前記光電気DUTの前記第1のレーンの1つまたは複数の光学部品を較正することと、前記1つまたは複数の光学部品は、前記第1の構成における前記光スイッチによって前記試験ファイバへと結合された前記光を使用して、前記光学試験デバイスによって生成されるデータに従って較正され、
前記光電気DUTの第2のレーンの光学試験のための第2の構成において、前記光学試験レーンスイッチセレクタを構成することと、ここにおいて、前記第2のレーンは、前記複数のトランシーバレーンのうちの別のレーンであり、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光学試験レーンスイッチセレクタにおける前記光スイッチを使用して、前記光学試験デバイスに結合されている前記試験ファイバへの、前記光電気DUTに結合された前記複数の出力ファイバのうちの別のものを選択することによって、前記第2の構成のために構成されており、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光電気DUTに結合されている前記複数の入力ファイバのうちの別のものの上で前記光電気DUTに光を送信するように、前記光学試験レーンスイッチセレクタの前記外部光源をアクティベートすることによって、前記第2の構成においてさらに構成されており、前記複数の出力ファイバのうちの前記別のものおよび前記複数の入力ファイバのうちの前記別のものは、前記マルチレーン光トランシーバの前記第2のレーンに対応し、
前記光学試験レーンスイッチセレクタが前記第2の構成にある間、前記光電気DUTの前記第2のレーンの1つまたは複数の光学部品を較正することと、前記1つまたは複数の光学部品は、前記第2の構成における前記光学試験レーンスイッチセレクタによって前記試験ファイバに結合された前記光を使用して、前記光学試験デバイスによって生成される追加のデータに従って較正される、
を備える、方法。
[C2]
前記外部光源は、複数の光源を備え、前記第1の構成において、前記複数の光源のうちの第1の光源が、前記第1のレーンのための第1の光を発生させ、前記第2の構成において、前記複数の光源のうちの第2の光源が、前記第2のレーンのための第2の光を発生させる、C1に記載の方法。
[C3]
前記外部光源は、異なる波長にチューニング可能である広帯域光源を備え、前記広帯域光源は、前記第1の構成にある間、第1のレーンのための光を発生させ、前記広帯域光源は、前記第2の構成にある間、前記第2のレーンのための光を発生させる、C1に記載の方法。
[C4]
前記光スイッチは、前記光スイッチの出力ポートへの、前記光スイッチの複数の入力ポートに結合された複数のファイバのうちの1つを選択するように再構成可能である機械スイッチである、C1に記載の方法。
[C5]
前記光電気DUTの第3のレーンの光学試験のための第3の構成において、前記光学試験レーンスイッチセレクタを構成することをさらに備え、ここにおいて、前記第3のレーンは、前記複数のトランシーバレーンのうちの別のレーンであり、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光スイッチを使用して、前記光学試験デバイスに結合されている前記試験ファイバへの、前記光電気DUTに結合された前記複数の出力ファイバのうちの他のもののうちの1つを選択することによって、前記第3の構成のために構成されており、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光電気DUTに結合されている前記複数の前記入力ファイバのうちの他のもののうちの1つに光を送信するように前記外部光源をアクティベートすることによって、前記第3の構成においてさらに構成されており、前記複数の入力ファイバのうちの前記他のもののうちの前記1つにおける前記複数の出力ファイバのうちの前記他のもののうちの前記1つは、前記光電気DUTの第3のレーンに対応する、C1に記載の方法。
[C6]
前記光学試験レーンスイッチセレクタが前記第3の構成にある間、前記光電気DUTの前記第3のレーンの1つまたは複数の光学部品を較正することをさらに備え、前記1つまたは複数の光学部品は、前記第3の構成における前記光学試験レーンスイッチセレクタによって前記試験ファイバへと結合された前記光を使用して、前記光学試験デバイスによって生成されるさらなるデータに従って較正される、C5に記載の方法。
[C7]
前記複数の入力ファイバにおける前記複数の出力ファイバは、前記光電気DUTの光出力および入力経路を、前記複数の入力ファイバにおける前記複数の出力ファイバの各々とアラインするアラインメント機構を備える光相互接続構造を使用して、前記光電気DUTに結合されている、C1に記載の方法。
[C8]
前記光相互接続構造は、前記複数の入力ファイバにおける前記複数の出力ファイバからの前記光を、前記光電気DUTへ向かわせる1つまたは複数のレンズを備える、C7に記載の方法。
[C9]
前記光相互接続構造は、前記光電気DUTに取り付けられたソケットを備え、前記ソケットは、前記アラインメント機構とインタロックする追加のアラインメント機構を備える、C7に記載の方法。
[C10]
前記ソケットは、前記複数の出力ファイバまたは前記複数の入力ファイバから結合される、前記光相互接続構造からの光を伝搬するための回折格子結合器を備える、C9に記載の方法。
[C11]
前記ATEシステムは、前記光電気DUTの電気部品を試験するための1つまたは複数の電気試験モジュールを備える、C1に記載の方法。
[C12]
前記光学試験レーンスイッチセレクタが前記第1の構成にある間、前記光学試験デバイスが前記光電気DUTの前記第1のレーンの前記1つまたは複数の光学部品を較正している間に、前記マルチレーン光トランシーバの前記第1のレーンの第1のセットの電気部品を較正すること
をさらに備える、C11に記載の方法。
[C13]
前記光学試験レーンスイッチセレクタが前記第2の構成にある間、前記光学試験デバイスが前記光電気DUTの前記第2のレーンの前記1つまたは複数の光学部品のための較正データを生成している間に、前記光電気DUTの前記第2のレーンの第2のセットの電気部品を較正すること
をさらに備える、C12に記載の方法。
[C14]
前記光学試験デバイスは、光スペクトラムアナライザである、C1に記載の方法。
[C15]
前記光学試験デバイスは、光パワーメータである、C1に記載の方法。
[C16]
光電気被試験デバイス(DUT)の試験のための自動試験装置(ATE)システムであって、前記ATEシステムは、
前記光電気DUTに結合されている試験ファイバから受信された光を使用して、較正データを生成するための光学試験デバイスと、
第1の構成において、前記光電気DUTの第1のレーンを試験する光学試験レーンスイッチセレクタと、前記光電気DUTは、前記第1のレーンと第2のレーンとを含む複数のトランシーバレーンを備えるマルチレーン光トランシーバであり、前記複数のトランシーバレーンの各レーンが、前記レーンのための光送信機を使用して光を変調し、前記レーンのための光受信機を使用して光を受信し、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光学試験レーンスイッチセレクタにおける光スイッチを使用して、光学試験デバイスに結合されている試験ファイバへの、前記光電気DUTに結合された複数の出力ファイバのうちの1つを選択することによって、前記第1の構成のために構成されており、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光電気DUTに結合されている複数の入力ファイバのうちの1つの上で前記光電気DUTに光を送信するように、前記光学試験レーンスイッチセレクタにおける外部光源をアクティベートすることによって、前記第1の構成においてさらに構成されており、前記複数の出力ファイバのうちの前記1つおよび前記複数の入力ファイバのうちの前記1つは、前記マルチレーン光トランシーバの前記第1のレーンに対応し、ここにおいて、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、第2の構成において、前記光電気DUTの第2のレーンを試験し、ここにおいて、前記第2のレーンは、前記複数のトランシーバレーンのうちの別のレーンであり、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光学試験レーンスイッチセレクタにおける前記光スイッチを使用して、前記光学試験デバイスに結合されている前記試験ファイバへの、前記光電気DUTに結合された前記複数の出力ファイバのうちの別のものを選択することによって、前記第2の構成のために構成されており、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光電気DUTに結合されている前記複数の入力ファイバのうちの別のものの上で前記光電気DUTに光を送信するように、前記光学試験レーンスイッチセレクタの前記外部光源をアクティベートすることによって、前記第2の構成においてさらに構成されており、前記複数の出力ファイバのうちの前記別のものおよび前記複数の入力ファイバのうちの前記別のものは、前記マルチレーン光トランシーバの前記第2のレーンに対応する、
を備える、ATEシステム。
[C17]
前記外部光源は、複数の光源を備え、前記第1の構成において、前記複数の光源のうちの第1の光源が、前記第1のレーンのための第1の光を発生させ、前記第2の構成において、前記複数の光源のうちの第2の光源が、前記第2のレーンのための第2の光を発生させる、C16に記載のATEシステム。
[C18]
前記光スイッチは、前記光スイッチの出力ポートへの、前記光スイッチの複数の入力ポートに結合された複数のファイバのうちの1つを選択するように再構成可能である機械スイッチである、C16に記載のATEシステム。
[C19]
前記複数の入力ファイバにおける前記複数の出力ファイバは、前記光電気DUTの光出力および入力経路を、前記複数の入力ファイバにおける前記複数の出力ファイバの各々とアラインするアラインメント機構を備える光相互接続構造を使用して、前記光電気DUTに結合されている、C16に記載のATEシステム。
[C20]
前記光学試験デバイスは、光スペクトラムアナライザである、C16に記載のATEシステム。
Claims (17)
- 自動試験装置(ATE)システムを使用した光電気被試験デバイス(DUT)の試験のための方法であって、前記方法は、
前記ATEシステムのハンドラを使用して、前記ATEシステムの電気試験モジュールに接続し、前記ATEシステムの光学試験モジュールに接続するために、前記光電気DUTを作動させることと、前記光電気DUTは、前記光電気DUTを保持するソケットにおける電気接続を使用して前記ATEシステムの前記電気試験モジュールに接続され、前記光電気DUTは、前記光電気DUTに光を入力するための入力ファイバおよび前記光電気DUTから光を出力するための出力ファイバを備える光相互接続構造を使用して前記ATEシステムの前記光学試験モジュールに接続され、前記出力ファイバおよび前記入力ファイバの各々は、前記光電気DUTの光出力および入力経路を、前記入力ファイバにおける前記出力ファイバの各々と物理的にアラインさせるために、前記光電気DUTとインタロックする前記光相互接続構造の物理的なインタロック機構を使用して前記光電気DUTに結合されており、
前記光電気DUTの第1のレーンの光学試験のための第1の構成において、光学試験レーンスイッチセレクタを構成することと、前記光電気DUTは、前記第1のレーンと第2のレーンとを含む複数のトランシーバレーンを備えるマルチレーン光トランシーバであり、前記複数のトランシーバレーンの各レーンが、前記レーンのための光送信機を使用して光を変調し、前記レーンのための光受信機を使用して光を受信し、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光学試験レーンスイッチセレクタにおける光スイッチを使用して、光学試験デバイスに結合されている試験ファイバへの、前記光電気DUTに結合された前記出力ファイバのうちの1つを選択することによって、前記第1の構成のために構成されており、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光電気DUTに結合されている前記入力ファイバのうちの1つの上で前記光電気DUTに光を送信するように、前記光学試験レーンスイッチセレクタにおける外部光源をアクティベートすることによって、前記第1の構成においてさらに構成されており、
前記光学試験レーンスイッチセレクタが前記第1の構成にある間および前記光電気DUTの電機部品が前記電気試験モジュールに電気的に接続されている間、前記光学試験モジュールを使用して前記光電気DUTの前記第1のレーンの1つまたは複数の光学部品を較正することと、
前記光電気DUTの第2のレーンの光学試験のための第2の構成において、前記光学試験レーンスイッチセレクタを構成することと、ここにおいて、前記第2のレーンは、前記複数のトランシーバレーンのうちの別のレーンであり、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光学試験レーンスイッチセレクタにおける前記光スイッチを使用して、前記光学試験デバイスに結合されている前記試験ファイバへの、前記光電気DUTに結合された前記出力ファイバのうちの別のものを選択することによって、前記第2の構成のために構成されており、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光電気DUTに結合されている前記入力ファイバのうちの別のものの上で前記光電気DUTに光を送信するように、前記光学試験レーンスイッチセレクタの前記外部光源をアクティベートすることによって、前記第2の構成においてさらに構成されており、
前記光学試験レーンスイッチセレクタが前記第2の構成にある間および前記光電気DUTの電機部品が前記電気試験モジュールに電気的に接続されている間、前記光学試験モジュールを使用して前記光電気DUTの前記第2のレーンの1つまたは複数の光学部品を較正することと、
を備える、方法。 - 前記外部光源は、複数の光源を備え、前記第1の構成において、前記複数の光源のうちの第1の光源が、前記第1のレーンのための第1の光を発生させ、前記第2の構成において、前記複数の光源のうちの第2の光源が、前記第2のレーンのための第2の光を発生させる、請求項1に記載の方法。
- 前記外部光源は、異なる波長にチューニング可能である広帯域光源を備え、前記広帯域光源は、前記第1の構成にある間、第1のレーンのための光を発生させ、前記広帯域光源は、前記第2の構成にある間、前記第2のレーンのための光を発生させる、請求項1に記載の方法。
- 前記光スイッチは、機械スイッチである、請求項1に記載の方法。
- 前記光電気DUTの第3のレーンの光学試験のための第3の構成において、前記光学試験レーンスイッチセレクタを構成することをさらに備え、ここにおいて、前記第3のレーンは、前記複数のトランシーバレーンのうちの別のレーンであり、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光スイッチを使用して、前記光学試験デバイスに結合されている前記試験ファイバへの、前記光電気DUTに結合された前記出力ファイバのうちの別のものを選択することによって、前記第3の構成のために構成されており、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光電気DUTに結合されている前記入力ファイバのうちの別のものに光を送信するように前記外部光源をアクティベートすることによって、前記第3の構成においてさらに構成されている、請求項1に記載の方法。
- 前記光学試験レーンスイッチセレクタが前記第3の構成にある間、前記光電気DUTの第3のレーンの1つまたは複数の光学部品を較正することをさらに備え、前記1つまたは複数の光学部品は、前記第3の構成における前記光学試験レーンスイッチセレクタによって前記試験ファイバへと結合された前記光を使用して、前記光学試験デバイスによって生成されるさらなるデータに従って較正される、請求項5に記載の方法。
- 前記光相互接続構造は、前記入力ファイバにおける前記出力ファイバからの前記光を、前記光電気DUTへ向かわせる1つまたは複数のレンズを備える、請求項1に記載の方法。
- 前記光相互接続構造は、前記光電気DUTに取り付けられた光ソケットを備え、前記光ソケットは、前記物理的なインタロック機構とインタロックする追加のアラインメント機構を備える、請求項1に記載の方法。
- 前記光ソケットは、前記出力ファイバまたは前記入力ファイバから結合される、前記光相互接続構造からの光を伝搬するための回折格子結合器を備える、請求項8に記載の方法。
- 前記光学試験レーンスイッチセレクタが前記第1の構成にある間、前記光学試験デバイスが前記光電気DUTの前記第1のレーンの前記1つまたは複数の光学部品を較正している間に、前記マルチレーン光トランシーバの前記第1のレーンの第1のセットの電気部品を較正すること
をさらに備える、請求項1に記載の方法。 - 前記光学試験レーンスイッチセレクタが前記第2の構成にある間、前記光学試験デバイスが前記光電気DUTの前記第2のレーンの前記1つまたは複数の光学部品のための較正データを生成している間に、前記光電気DUTの前記第2のレーンの第2のセットの電気部品を較正すること
をさらに備える、請求項10に記載の方法。 - 前記光学試験デバイスは、光スペクトラムアナライザである、請求項1に記載の方法。
- 前記光学試験デバイスは、光パワーメータである、請求項1に記載の方法。
- 光電気被試験デバイス(DUT)の試験のための自動試験装置(ATE)システムであって、前記ATEシステムは、
前記光電気DUTを保持するためのソケットと、
前記光電気DUTの電気部品を試験するための電気試験デバイスと、
前記光電気DUTに結合されている試験ファイバから受信された光を使用して、較正データを生成するための光学試験デバイスと、
前記ATEシステムの前記電気試験デバイスに接続し、前記ATEシステムの光学試験デバイスに接続するために、前記光電気DUTを作動させるための前記ATEシステムのハンドラと、前記光電気DUTは、前記光電気DUTを保持する前記ソケットにおける電気接続を使用して前記ATEシステムの前記電気試験デバイスに接続され、前記光電気DUTは、前記光電気DUTに光を入力するための入力ファイバおよび前記光電気DUTから光を出力するための出力ファイバを備える光相互接続構造を使用して前記ATEシステムの前記光学試験デバイスに接続され、前記出力ファイバおよび前記入力ファイバの各々は、前記光電気DUTの光出力および入力経路を、前記入力ファイバにおける前記出力ファイバの各々と物理的にアラインさせるために、前記光電気DUTとインタロックする前記光相互接続構造の物理的なインタロック機構を使用して前記光電気DUTに結合されており、
第1の構成において、前記光電気DUTの第1のレーンを試験する光学試験レーンスイッチセレクタと、前記光電気DUTは、前記第1のレーンと第2のレーンとを含む複数のトランシーバレーンを備えるマルチレーン光トランシーバであり、前記複数のトランシーバレーンの各レーンが、前記レーンのための光送信機を使用して光を変調し、前記レーンのための光受信機を使用して光を受信し、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光学試験レーンスイッチセレクタにおける光スイッチを使用して、光学試験デバイスに結合されている試験ファイバへの、前記光電気DUTに結合された前記出力ファイバのうちの1つを選択することによって、前記第1の構成のために構成されており、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光電気DUTに結合されている入力ファイバのうちの1つの上で前記光電気DUTに光を送信するように、前記光学試験レーンスイッチセレクタにおける外部光源をアクティベートすることによって、前記第1の構成においてさらに構成されており、前記出力ファイバのうちの前記1つおよび前記入力ファイバのうちの前記1つは、前記マルチレーン光トランシーバの前記第1のレーンに対応し、ここにおいて、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、第2の構成において、前記光電気DUTの第2のレーンを試験し、ここにおいて、前記第2のレーンは、前記複数のトランシーバレーンのうちの別のレーンであり、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光学試験レーンスイッチセレクタにおける前記光スイッチを使用して、前記光学試験デバイスに結合されている前記試験ファイバへの、前記光電気DUTに結合された前記出力ファイバのうちの別のものを選択することによって、前記第2の構成のために構成されており、前記光学試験レーンスイッチセレクタは、前記光電気DUTに結合されている前記入力ファイバのうちの別のものの上で前記光電気DUTに光を送信するように、前記光学試験レーンスイッチセレクタの前記外部光源をアクティベートすることによって、前記第2の構成においてさらに構成されており、前記出力ファイバのうちの前記別のものおよび前記入力ファイバのうちの前記別のものは、前記マルチレーン光トランシーバの前記第2のレーンに対応する、
を備える、ATEシステム。 - 前記外部光源は、複数の光源を備え、前記第1の構成において、前記複数の光源のうちの第1の光源が、前記第1のレーンのための第1の光を発生させ、前記第2の構成において、前記複数の光源のうちの第2の光源が、前記第2のレーンのための第2の光を発生させる、請求項14に記載のATEシステム。
- 前記光スイッチは、機械スイッチである、請求項14に記載のATEシステム。
- 前記光学試験デバイスは、光スペクトラムアナライザである、請求項14に記載のATEシステム。
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