JP7402141B2 - 処理炉 - Google Patents
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Description
なお、処理室内においては、被処理物を複数の案内ローラに架け渡すために、取付部材の第2の搬送経路の長さは、第1の搬送経路の長さよりも長くされている。このため、取付部材の第2の搬送経路上の位置によっては、隣接する案内ローラに架け渡された被処理物にたわみが生じる。被処理物にたわみが生じた状態で、搬入口ローラから被処理物が送り続けられると、被処理物がたわんだ状態で案内ローラに巻き付けられてしまい、作業をやり直さなければならない。上記の熱処理炉では、取付部材が特定の位置(すなわち、隣接する案内ローラに架け渡された被処理物にたわみが生じる位置)にくると、搬入口ローラが回転を停止し、搬入口ローラから被処理物が送られない。このため、被処理物がたわんだ状態で案内ローラに巻き付けられてしまうことが抑制され、被処理物を案内ローラに適切に架け渡すことができる。
下壁13は、平面視すると矩形状の板材であり、処理室(19a,19b)の下方に配置されている。図1に示すように、下壁13には、x方向に略一定の間隔を空けて複数の排気口13aが設けられている。複数の排気口13aのそれぞれは、排気ファン13bに接続されている。排気ファン13bが運転すると、処理室(19a,19b)内の雰囲気ガスが処理室(19a,19b)外に排気されるようになっている。
上壁14は、下壁13と同一形状の板材であり、処理室(19a,19b)の上方に配置されている。上壁14にも、下壁13と同様に、x方向に略一定の間隔を空けて複数の排気口14aが設けられている。複数の排気口14aのそれぞれは、排気ファン14bに接続されている。排気ファン14bが運転すると、処理室(19a,19b)内の雰囲気ガスが処理室(19a,19b)外に排気されるようになっている。
搬入側壁15には搬入口15aが設けられており、搬出側壁16には搬出口16bが形成されている。搬入口15aと搬出口16bの高さ方向の位置は同一の位置となっており、搬入口15aと搬出口16bは互いに対向している。図1から明らかなように、処理室(19a,19b)は、搬入口15aと搬出口16bとの間に配置されている。
なお、炉体12を構成する各壁13,14,15,16,17,18の内面(すなわち、処理室(19a,19b)側の面)には、鏡面加工が施されている。その結果、これらの面の赤外領域の電磁波(詳細には、後述するヒータ26,28が放射する電磁波)の反射率は50%以上となっている。これによって、ヒータ26,28が放射する電磁波をワークWへ効率的に照射できるようになっている。
搬入口ローラ21にはワークWが巻回されている。搬入口ローラ21に券回されたワークWは、搬入口15aから処理室(19a,19b)を通って搬出口16aまで架け渡されている。具体的には、ワークWは、搬入口ローラ21から搬入口15aを通って案内ローラ(22a,22b,22c,24)に架け渡され、さらに案内ローラ(22a,22b,22c,24)から搬出口16aを介して搬出口ローラ25に架け渡されている。搬入口ローラ21には搬入口モータ21a(図1では図示を省略(ただし、図5に図示))が接続されている。搬入口モータ21aにより搬入口ローラ21が回転すると、搬入口ローラ21に券回されたワークWが処理室(19a,19b)に送り出される。なお、搬入口ローラ21と搬入口15aの間には、テンションローラ(46a,46b)(図1では図示を省略。ただし、図7に図示)が配置されている。テンションローラ(46a,46b)は、上側テンションローラ46aと下側テンションローラ46bとから構成される。搬入口ローラ21から送り出されたワークWは、テンションローラ(46a,46b)を通って搬入口15aに送り出される。ワークWが上側テンションローラ46aと下側テンションローラ46bに挟まれることで、ワークWに張力が付与される。なお、ワークWに張力を付与する構成としては、公知の種々の構成を採ることができ、例えば、サクションロールを用いてもよい。
搬出口ローラ25は、処理室(19a,19b)から搬出されるワークWを巻き取るローラである。搬出口ローラ25には図示しない駆動装置が接続されており、駆動装置により搬出口ローラ25が回転駆動される。搬入口ローラ21から送り出されたワークWは、案内ローラ(22a,22b,22c,24)に案内されて処理室(19a,19b)内の所定の搬送経路を移動し、搬出口16aから処理室(19a,19b)外に送り出され、回転駆動される搬出口ローラ25に巻き取られる。すなわち、案内ローラ(22a,22b,22c,24)は、処理室(19a,19b)内のワークWの搬送経路を規定している。
上部案内ローラ(22a,22b,22c)(請求項でいう第1の案内ローラの一例)は、x方向に一定の間隔を空けて配置されている。具体的には、上部案内ローラ22aは搬入口15aに隣接して配置され、上部案内ローラ22cは搬出口16aに隣接して配置されている。複数の案内ローラ22bは、上部案内ローラ22aと上部案内ローラ22cの間に等間隔で配置されている。上部案内ローラ(22a,22b,22c)のそれぞれの高さ方向の位置は同一となっている。上部案内ローラ(22a,22b,22c)のそれぞれには、上部モータ23a(図5に図示)が接続されている。上部モータ23aを駆動することで、上部案内ローラ(22a,22b,22c)が回転するようになっている。なお、上部モータ23aの回転軸には、トルクセンサ23b(図5に図示)が取り付けられている。トルクセンサ23bは、コントローラ44に接続されており、上部モータ23aの回転軸(すなわち、上部案内ローラ(22a,22b,22c))に作用するトルクを検出する。後述するように、通し装置がワークWをセットする際は、コントローラ44は、トルクセンサ23bで検出されるトルクが一定となるように上部モータ23aを回転駆動する。
複数の下部案内ローラ24(請求項でいう第2の搬送ローラの一例)のそれぞれは、上部案内ローラ(22a,22b,22c)と同様、x方向に一定の間隔を空けて配置されている。隣接する下部案内ローラ24のx方向の間隔は、上部案内ローラ(22a,22b,22c)のx方向の間隔と同一となっている。複数の下部案内ローラ24のx方向の位置は、隣接する上部案内(22a,22b,22c)の中央位置となっている。複数の下部案内ローラ24の高さ方向の位置は同一となっている。下部案内ローラ24のそれぞれには、下部モータ27a(図5に図示)が接続されている。下部モータ27aを駆動することで、下部案内ローラ24が回転するようになっている。なお、下部モータ27aの回転軸には、エンコーダ27b(図5に図示)が取り付けられている。エンコーダ27bは、コントローラ44に接続されており、下部モータ27aの回転軸(すなわち、下部案内ローラ24)の回転数を検出する。後述するように、通し装置がワークWをセットする際は、コントローラ44は、エンコーダ27bで検出される回転数が一定となるように下部モータ27aを回転駆動する。
図3に示すように、第2ヒータ28は、フィラメント30と、フィラメント30を収容する内管32と、内管32を収容する外管34を備えている。フィラメント30は、例えば、タングステン製の発熱体であり、図示しない外部電源から電力が供給されるようになっている。フィラメント30に電力が供給されて所定温度(例えば、1200~1700℃)となると、フィラメント30から赤外線を含む電磁波が放射される。内管32は、フィラメント30から放射される電磁波のうち特定の波長領域(本実施例では、赤外領域)の電磁波のみを透過する赤外線透過材料によって形成されている。内管32を形成する赤外線透過材料を適宜選択することで、フィラメント30から内管32の外部に放射される電磁波の波長を所望の波長に調整することができる。外管34も、内管32と同一の赤外線透過材料によって形成されている。したがって、内管32を透過した電磁波は、外管34を透過して外部に放射される。内管32と外管34の間の空間36は、冷媒(例えば、空気)が流れる冷媒流路となっている。空間36(すなわち、冷媒流路)に冷媒が供給されることで、外管34の温度が高温となり過ぎることが防止されている。これによって、ワークWの過熱が防止される。なお、赤外領域の電磁波を放射する波長制御可能なヒータについては、例えば、特許4790092号に詳細に開示されている。
図1に示すように、ローラチェーン42a,42bは、案内ローラ(22a,22b,22c,24)に架け渡されたワークWと同様に、搬入口15aから上下方向に向きを変えながら搬出口16aまで伸び、搬出口16aから処理室(19a,19b)の外側を通って搬入口15aに戻っている。より詳細には、ローラチェーン42a,42bは、搬入口15aからx方向(上部案内ローラ22aの方向)に向かって伸び、上部案内ローラ22aの外側を回って下部案内ローラ24に向かって方向を変え、次いで、下部案内ローラ24の外側を回って上部案内ローラ22bに向かって方向を変え、以下、同様に、上部案内ローラ22bと下部案内ローラ24を順に経由し、上部案内ローラ22cの外側を回って搬出口16aから炉外に伸びている。搬出口16aから炉外に伸びるローラチェーン42a,42bは、180度反転して炉体12の上方を-x方向に伸び、搬入口15aまで戻っている。ワークWを案内ローラ(22a,22b,22c,24)に架け渡す必要があるため、ローラチェーン42a,42bの軌道(第2の搬送経路の一例)は、案内ローラ(22a,22b,22c,24)の外側を大回りしている。このため、ローラチェーン42a,42bの軌道は、処理室19内においては、案内ローラ(22a,22b,22c,24)によって規定されるワークWの搬送経路(第1の搬送経路の一例)よりも長くなり、また、ワークWの搬送経路の複数個所(すなわち、上下方向(z方向)に伸びる各経路部分の中央)で交差している。
なお、図7に示すように、ローラチェーン42a,42bの軌道上の一ヵ所には、取付棒43を検出するための検出センサ29が配置されている。より詳細には、検出センサ29は、搬入口14aの近傍であって、ローラチェーン42a,42bに取付けられた取付棒43が所定の位置にきたときに当該取付棒43と近接する位置に配置されている。検出センサ29は、取付棒43がローラチェーン42a,42bの軌道(第2の搬送経路)上の所定の位置を通過したことを検知する。検出センサ29から出力される信号は、コントローラ44に入力されるようになっている。なお、検出センサ29には、発光部と受光部から構成される光学式センサや、近接センサ等を用いることができる。
また、上記の実施例では、上部モータ23aは、トルクが目標値未満の状態では回転を停止し、トルクが目標値以上となると、トルクが目標値となるように回転駆動され、下部モータ27aは予め設定された速度で定速駆動されたが、このような例に限られない。例えば、上部モータ23a及び下部モータ27aのそれぞれが、トルクが目標値未満の状態では回転を停止し、トルクが目標値以上となると、トルクが目標値となるように回転駆動されてもよい。
12 炉体
22 上部案内ローラ
24 下部案内ローラ
26 第1ヒータ
28 第2ヒータ
38 給気管
Claims (8)
- 搬入口と、搬出口と、前記搬入口と前記搬出口との間に配置された処理室と、を備える炉体と、
前記炉体の外側であって前記搬入口の近傍に配置され、被処理物が巻回された搬入口ローラと、
前記処理室内に配置されており、前記被処理物を案内する複数の案内ローラと、
前記炉体の外側であって前記搬出口の近傍に配置され、前記処理室内を搬送された前記被処理物を巻き取る搬出口ローラと、
前記搬入口ローラに巻回された前記被処理物を、前記搬入口から前記複数の案内ローラを介して前記搬出口まで架け渡す通し装置と、
前記搬入口ローラの回転を制御する制御装置と、
を備えており、
前記搬入口ローラに巻回された前記被処理物の先端が前記搬出口ローラに取付けられた状態では、前記被処理物は、前記複数の案内ローラによって規定される第1の搬送経路を通って前記搬入口から前記搬出口まで搬送され、
前記通し装置は、
前記搬入口ローラに巻回された前記被処理物の先端が着脱可能に取付けられる取付部材と、
前記取付部材を予め設定された第2の搬送経路に沿って移動させる移動装置と、
を備えており、
前記第2の搬送経路は、前記取付部材に取付けられた前記被処理物が前記複数の案内ローラに架け渡されるように、前記第1の搬送経路に沿って設定されており、
前記処理室内においては、前記第2の搬送経路の長さは、前記第1の搬送経路の長さよりも長くされており、
前記制御装置は、前記移動装置により前記取付部材を前記第2の搬送経路に沿って移動させて前記搬入口ローラに巻回された前記被処理物を前記複数の案内ローラに架け渡す場合において、前記取付部材の前記第2の搬送経路上の位置が隣接する前記案内ローラに架け渡された前記被処理物にたわみが生じる位置にあるときは、前記搬入口ローラから前記被処理物が送られないように前記搬入口ローラの回転を停止させ、
前記制御装置は、前記複数の案内ローラの回転をさらに制御し、
前記炉体は、前記搬入口と前記搬出口とを結ぶ第1方向に対して平行に配置された第1の壁と、前記第1方向に対して平行に配置されると共に前記第1の壁と対向する第2の壁を備えており、
前記複数の案内ローラは、
前記処理室の中心から見て前記第1の壁側となる位置において、前記第1方向に間隔を空けて配置される1又は複数の第1の案内ローラと、
前記処理室の中心から見て前記第2の壁側となる位置において、前記第1方向に間隔を空けて配置される1又は複数の第2の案内ローラと、
を備えており、
前記搬入口から搬送される前記被処理物は、前記第1の案内ローラと前記第2の案内ローラの一方に最初に架け渡された後、前記第1の案内ローラと前記第2の案内ローラとに交互に架け渡されて前記搬出口まで架け渡されており、
前記移動装置により前記取付部材を前記第2の搬送経路に沿って移動させて前記搬入口ローラに巻回された前記被処理物を前記複数の案内ローラに架け渡す場合において、前記制御装置は、前記第1の案内ローラと前記第2の案内ローラの一方に発生するトルクが一定となるように回転を制御し、前記第1の案内ローラと前記第2の案内ローラの他方は等速度で回転するように制御する、処理炉。 - 前記制御装置は、前記移動装置により前記取付部材を前記第2の搬送経路に沿って移動させて前記搬入口ローラに巻回された前記被処理物を前記複数の案内ローラに架け渡す場合において、前記取付部材の前記第2の搬送経路上の位置が隣接する前記案内ローラに架け渡された前記被処理物に生じたたわみが解消される位置にあるときは、前記搬入口ローラから前記被処理物が送られるように前記搬入口ローラを回転させる、請求項1に記載の処理炉。
- 前記移動装置は、
前記取付部材が着脱可能に取付けられ、前記第2の搬送経路に沿って設けられ、前記搬入口から前記処理室を通って前記搬出口まで伸びると共に、前記炉体の外部または内部を通って前記搬出口から前記搬入口まで戻るローラチェーンと、
前記ローラチェーンを駆動する駆動モータと、を備えている、請求項1又は2に記載の処理炉。 - 前記処理室内であって前記第1の搬送経路に沿って配置され、前記搬入口ローラと前記複数の案内ローラと前記搬出口ローラによって搬送される前記被処理物を加熱する複数のヒータをさらに備えており、
前記複数のヒータによって前記処理室内が所定の加熱雰囲気とされている状態において、前記通し装置は、前記搬入口ローラに巻回された前記被処理物を、前記搬入口から前記複数の案内ローラを介して前記搬出口まで架け渡すことが可能となっている、請求項1~3のいずれか一項に記載の処理炉。 - 前記所定の加熱雰囲気においては、前記処理室内の温度が0~400℃以下となっている、請求項4に記載の処理炉。
- 前記処理室内に気体を供給する給気装置と、前記処理室内の前記気体を排気する排気装置と、をさらに備えており、
前記給気装置及び前記排気装置によって前記処理室内が所定の雰囲気とされている状態において、前記通し装置は、前記搬入口ローラに巻回された前記被処理物を、前記搬入口から前記複数の案内ローラを介して前記搬出口まで架け渡すことが可能となっている、請求項1~5のいずれか一項に記載の処理炉。 - 前記所定の雰囲気においては、前記処理室内の酸素濃度が10%以下となっている、請求項4に記載の処理炉。
- 前記所定の雰囲気においては、前記処理室内の露点が0℃以下となっている、請求項4に記載の処理炉。
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---|---|---|---|---|
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WO2014163175A1 (ja) | 2013-04-04 | 2014-10-09 | 日本碍子株式会社 | 脱水装置 |
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