JP7397796B2 - 移動がより長い線形圧電モータ - Google Patents

移動がより長い線形圧電モータ Download PDF

Info

Publication number
JP7397796B2
JP7397796B2 JP2020542294A JP2020542294A JP7397796B2 JP 7397796 B2 JP7397796 B2 JP 7397796B2 JP 2020542294 A JP2020542294 A JP 2020542294A JP 2020542294 A JP2020542294 A JP 2020542294A JP 7397796 B2 JP7397796 B2 JP 7397796B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
passive element
arms
free ends
resonator
piezoelectric motor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2020542294A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2021513829A (ja
Inventor
ラゴルゲット,パスカル
メイエ,パスカル
Original Assignee
ウーテーアー・エス・アー・マニファクチュール・オロロジェール・スイス
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ウーテーアー・エス・アー・マニファクチュール・オロロジェール・スイス filed Critical ウーテーアー・エス・アー・マニファクチュール・オロロジェール・スイス
Publication of JP2021513829A publication Critical patent/JP2021513829A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7397796B2 publication Critical patent/JP7397796B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/04Constructional details
    • H02N2/043Mechanical transmission means, e.g. for stroke amplification
    • H02N2/046Mechanical transmission means, e.g. for stroke amplification for conversion into rotary motion
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/0005Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
    • H02N2/001Driving devices, e.g. vibrators
    • GPHYSICS
    • G04HOROLOGY
    • G04BMECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES; MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL; TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS
    • G04B13/00Gearwork
    • G04B13/02Wheels; Pinions; Spindles; Pivots
    • GPHYSICS
    • G04HOROLOGY
    • G04CELECTROMECHANICAL CLOCKS OR WATCHES
    • G04C3/00Electromechanical clocks or watches independent of other time-pieces and in which the movement is maintained by electric means
    • G04C3/08Electromechanical clocks or watches independent of other time-pieces and in which the movement is maintained by electric means wherein movement is regulated by a mechanical oscillator other than a pendulum or balance, e.g. by a tuning fork, e.g. electrostatically
    • G04C3/12Electromechanical clocks or watches independent of other time-pieces and in which the movement is maintained by electric means wherein movement is regulated by a mechanical oscillator other than a pendulum or balance, e.g. by a tuning fork, e.g. electrostatically driven by piezoelectric means; driven by magneto-strictive means
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/026Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors by pressing one or more vibrators against the driven body

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Description

本発明は、線形圧電モータの技術分野に関する。
線形圧電モータは、従来、受動要素と、圧電効果を使用することによって受動要素を線形移動させることができるアクチュエータとを含む。図1を参照すると、線形圧電モータ10に関して、受動要素は細長い要素20(例えば長方形の断面を有するバー)であり、また、圧電アクチュエータは、接続ゾーン33で互いに接続された一対のアーム31、32によって形成された、実質的に音叉すなわちU字の形がとりわけ知られている共振器30を含む。アクチュエータは、それぞれアーム31、32のうちの1つに取り付けられた、アームを励起してその上に振動を課すための手段として作用する2つの圧電素子(図示せず)をさらに含む。さらに、受動要素20は、共振器30のアーム31、32の間を実質的に平行になるように延びており、その軸方向の案内は、共振器から一定の距離を隔てて位置している案内手段50によって保証されている。また、受動要素20は、共振器30のアーム31、32の自由端310、320と局所接触しており、したがって受動要素20は、接触領域上のアーム31、32の自由端310、320の摩擦によって軸方向に動かされる。したがって受動要素20は、自由端310、320の間を移動する。
とりわけ時計学の分野においては、圧電モータの容積を小さくすることが重要である使用中においては、共振器30のアーム31、32は、受動要素20の最大線形移動を制限する短い長さを有していなければならない。接続ゾーン33の方向における受動要素20の軸方向の並進は、停止として作用する前記接続ゾーン33の存在によって制限され、また、他の方向における受動要素20の軸方向のムーブメントは、アーム31、32の長さによって制限される。この制限された移動は、それにより車60の回転が限定されるため、とりわけ受動要素20が例えばトラメル・システム70を介して車60とかみ合う場合、特定の状況においては問題である。例えば受動要素20の移動が約1ミリメートルに制限される場合、移動中に車60が完全な回転を実施することができるようにするためには、車60の直径は最大約0.3ミリメートルでなければならない。この寸法は、技術的に実行可能であるためには短すぎる。
ピニオンを技術的に実行可能であるようにするためには、受動要素の少なくとも3ミリメートルの線形移動が必要であり、このような移動の場合、完全な回転を実施するためにはピニオンの直径は約1ミリメートルでなければならない。
したがって本発明の目的は、受動要素の最大線形移動を長くすることである。
この目的のために、第1の態様によれば、本発明は、
- 細長い形を有する受動要素と、
- 一対のアームであって、接続ゾーンでそれらの端部のうちの一方で接続され、2つの他の端部が自由と呼ばれる、一対のアームを備える共振器を含む圧電アクチュエータと
を備え、
受動要素および共振器が90度未満の非ゼロ角度によって互いに対して傾斜が付けられ、受動要素が受動要素に対する自由端の摩擦によって自由端の間を線形的に移動することができる線形圧電モータに関している。
共振器に対して受動要素を傾斜させることにより、アーム間の接続部分によって停止されている受動要素の軸方向のムーブメントを回避することができる。当然、受動要素が共振器のアームの交点のゾーンによって停止され得るのを回避するためには、傾斜の角度を十分に大きくしなければならない。
好ましい実施形態では、傾斜の角度は5度と25度の間である。
角度が大きくなるにつれて総容積が小さくなり、また、受動要素と共振器の間の界面における性能損失が大きくなるため、傾斜の角度は小さいことが好ましい。
第2の態様によれば、本発明は、
- 細長い形を有する受動要素と、
- 一対のアームであって、接続ゾーンでそれらの端部のうちの一方で接続され、2つの他の端部が自由と呼ばれる、一対のアームを備え、受動要素が受動要素に対する自由端の摩擦によって自由端の間を線形的に移動することができる共振器を含む圧電アクチュエータと
を備え、
個々のアームは、コネクタ・ゾーンによって自由端に接続された主分岐を備え、コネクタ・ゾーンは、自由端が主分岐の高さとは異なる高さにもたらされるように配置される線形圧電モータに関している。
したがって共振器は、主として2つの高さに存在しており、第1の高さには主分岐が存在し、第2の高さには自由端が存在し、また、コネクタ・ゾーンを使用して2つの高さが接続される。したがって受動要素は、主分岐に対して持ち上げられ、受動要素がアームの接続ゾーンに対して停止される危険を低減し、さらには除去する(受動要素に与えられた傾斜に応じて)。
一実施形態では、受動要素は主分岐に対して実質的に平行に延びている。
この実施形態は、自由端と受動要素の間に傾斜が存在しないため、受動要素と共振器の間の界面における性能損失がより小さい点で、本発明の第1の態様に対して有利である。
また、本発明は、上で詳細に説明した圧電モータを含む時計に関している。
非制限の実施形態では、時計は、受動要素の歯とかみ合うピニオンを含み、ピニオンは、時計のハンドと共に回転するように強制される。
他の特徴および利点は、添付の図面を参照して以下でなされる、情報目的のための、また、何ら制限することのない説明から明らかになるであろう。
既に説明した、従来技術による線形圧電モータを示す略図である。 本発明の第1の実施形態による線形圧電モータを示す略図である。 本発明の第2の実施形態による線形圧電モータを示す略図である。 図3の圧電モータの圧電アクチュエータを示す略図である。
図2は、車60を回転させるためのデバイス100を示したものであり、前記デバイスは、本発明の第1の実施形態による圧電モータを備えており、また、図3は、本発明の第2の実施形態による圧電モータを備える、前記車60を回転させるためのデバイス101を示したものである。いずれの場合においても、圧電モータは、細長い形を有する受動要素20、および圧電効果を使用することによって受動要素20を並進(すなわち線形的に/軸方向に移動)させることができる圧電アクチュエータを備えている。受動要素20は、図2および図3では円筒状の形で示されているが、総合的に別の輪郭(例えば長方形)を有することも可能であることに留意されたい。また、回転デバイス100、101は、受動要素20を軸方向に案内して、その並進中、その配向の維持を許容するための手段50を同じく含む。案内手段50は、圧電アクチュエータから一定の距離を隔てて置かれている。これらは例えばレールである。さらに、回転デバイス100、101は、受動要素20の端部に配置された、車60の歯とかみ合う歯70を含む。回転R1の第1の方向における車60の回転は、受動要素20がムーブメントT1の第1の方向に並進されると、歯70を介して可能である。回転R1の第1の方向とは逆である回転R2の第2の方向における車60の回転は、受動要素20がムーブメントT1の第1の方向とは逆であるムーブメントT2の第2の方向に並進されると、歯70を介して可能である。
図2に示されている第1の実施形態では、圧電アクチュエータは、図には示されていない圧電励起手段、および発振することができる2つのアーム31、32を備える共振器30を含む。励起手段は、それぞれ異なるアームに取り付けられた2つの部品からなっていることが有利である。しかしながら励起手段の他の実施形態も可能であり、それらは、例えばアーム間の継目に配置された単一の部品からなっていてもよい。適合された電圧を励起手段に印可している間、励起手段が変形し、機械的応力がアーム31、32に伝達され、したがってアーム31、32は発振を開始する。励起手段を適切に設計し、かつ、それらをアームの上に適切に取り付けることにより、所望の形状を有する多次元発振を達成することができる。
アーム31、32は接続ゾーン33で接続されており、また、前記接続ゾーン33から互いに実質的に平行に延びている。したがって共振器30は、通常、音叉の形すなわちU字の形を有している。しかしながらこの形は非制限である。接続ゾーン33で接続されていないアームの端部は、自由端310、320と呼ばれている。アーム31、32の発振の振幅は、これらの端部310、320で最大である。受動要素20は、前記アーム31、32の自由端310、320の間を通っている。したがってアーム31、32の自由端310、320の多次元発振は、受動要素20に対する前記端部310、320の摩擦による受動要素20上への軸方向の並進を強制することができる。したがって受動要素20は、自由端310、320の間を線形的に移動することができる。
しかしながら受動要素は、アーム31、32に対して平行に延びていない。受動要素20の軸は、90度未満の非ゼロの傾斜角αを有するアーム31、32の軸を含む平面に対して延びている。角度が大きくなるにつれて圧電モータの容積が大きくなり、また、共振器/受動要素界面における性能損失が大きくなる。したがって傾斜の角度αを制限することが重要である。しかしながら傾斜の角度αは十分に大きくしなければならず、すなわち共振器30は、接続ゾーン33によって邪魔されないような受動要素20の移動のためには、受動要素20に対して十分に傾斜していなければならない。
図3に示されている第2の実施形態では、圧電アクチュエータは、第1の実施形態の共振器30の形とは異なる形を有する共振器30’を含む。共振器30’は、2つのアーム31’、32’を備えている。前記アーム31’、32’は接続ゾーン33’で接続されている。個々のアーム31’、32’は、主分岐311’、321’、自由端310’、320’、および主分岐311’、321’と自由端310’、320’を接続することができるコネクタ・ゾーン312’、322’を備えている。
主分岐311’、321’は、前記接続ゾーン33’から互いに実質的に平行に延びている。接続ゾーン33’および2つの主分岐311’、321’は同じ高さに存在しており、すなわち接続ゾーン33’の軸および2つの主分岐311’、321’の軸は同じ平面内に含まれている。
一方、自由端310’、320’は異なる高さで延びており、自由端310’、320’の軸を含む平面は、上の段落で言及した主分岐311’、321’の平面に対して平行である。図3に示されている実施形態では、コネクタ・ゾーン312’、322’は、それぞれ主分岐311’、321’に対して直角に延びている部分を備えており、したがって自由端310’、320’を主分岐311’、321’の高さとは異なる高さにもたらしている。しかしながらコネクタ・ゾーン312’、322’は、実際、別の形を有することも可能であり、重要なことは、共振器が2つの段を備えていることである。
自由端310’、320’は、互いに逆方向に延びて互いに対向しており、また、受動要素20は、前記自由端310’、320’の間を主分岐311’、321’に対して平行に通っている。圧電アクチュエータは、図には示されていない圧電励起手段を含む。励起手段は、それぞれ自由端310’、320’のうちの一方に取り付けられた2つの部品からなっていることが有利である。適合された電圧を励起手段に印可している間、励起手段が変形し、機械的応力が自由端310’、320’に伝達され、したがって自由端310’、320’は発振を開始する。励起手段を適切に設計し、かつ、それらをアームの上に適切に取り付けることにより、所望の形状を有する多次元発振を達成することができる。アーム31’、32’の自由端310’、320’の多次元発振は、受動要素20に対する前記端部310’、320’の摩擦による受動要素20上への軸方向の並進を強制することができる。したがって受動要素20は、自由端310’、320’の間を線形的に移動することができる。
2つの高さを有するこのような共振器によれば、受動要素20の移動が接続ゾーン33’によって邪魔されるのを回避することができる。第2の実施形態では、受動要素20は必ずしも主分岐311’、321’に対して平行に延びている必要はなく、主分岐311’、321’の軸を含む平面に対してわずかに傾斜していてもよいことに留意されたい。しかしながら共振器/受動要素界面における性能は、そのために低下することになる。さらに、傾斜が大きすぎる場合、受動要素20は接続ゾーン33’で停止することになり得る。
第1の実施形態に対する第2の実施形態の1つの利点は、自由端が受動要素に対して傾斜していないため、共振器/受動要素界面における性能損失が小さいことであることに留意されたい。しかしながら第1の実施形態の共振器の製造は、第2の実施形態の共振器の製造より単純である。
本発明の実施形態のうちの1つによる回転デバイス100、101は、腕時計タイプの時計、とりわけ、車60と同軸で、かつ、車60と共に回転するように強制されるハンド40を備える時計に絶対的に統合することができる。しかしながら本発明の実施形態のうちの1つによる回転デバイスは、ハンドではなく、ディスク(例えば時刻ディスクまたは月相ディスク)、車または回転リングを駆動するために使用することができる。
また、本発明は、上の段落で説明した時計のハンド(またはディスク、車、リング、等々)を動作させるための方法に同じく関しており、方法は、
- 圧電モータの受動要素を第1の方向に並進させるステップであって、それによりピニオン、延いてはハンドを完全に回転させるステップと、
- 受動要素を第1の方向とは逆の第2の方向に、目によって検出されないようなそのムーブメントのために十分に速い速度で並進させるステップと
を含むことを理解されたい。
上で開示された本発明の様々な実施形態のために、添付の特許請求の範囲によって定義されている本発明の文脈を越えることなく、当業者には明らかである様々な修正および/または改善および/または組合せを提供することができることを理解されたい。
10 線形圧電モータ
20 受動要素
30 共振器
30’ 共振器
31 アーム
31’ アーム
32 アーム
32’ アーム
33 接続ゾーン
33’ 接続ゾーン
40 ハンド
50 案内手段
60 車
70 トラメル・システム(歯)
100 車60を回転させるためのデバイス(回転デバイス)
101 車60を回転させるためのデバイス(回転デバイス)
310 自由端
310’ 自由端
311’ 主分岐
312’ コネクタ・ゾーン
320 自由端
320’ 自由端
321’ 主分岐
322’ コネクタ・ゾーン

Claims (6)

  1. 線形圧電モータであって、
    細長い形を有する受動要素(20)と、
    互いに平行な一対のアーム(31、32)であって、接続ゾーン(33)でそれらの端部のうちの一方で接続され、2つの他の端部(310、320)は自由端である、一対のアーム(31、32)を備え、前記受動要素(20)は、前記受動要素(20)に対する前記自由端(310、320)の摩擦によって前記自由端(310、320)の間で線形的に移動することができる音叉形の共振器(30)を含む圧電アクチュエータと
    を備え、前記受動要素(20)の移動方向軸と、前記共振器(30)の前記一対のアーム(31、32)の両方の長手方向軸を含む平面とは、前記受動要素(20)の前記移動方向軸に沿った移動が、前記接続ゾーン(33)によって停止されないように、90度未満の非ゼロ角度(α)によって互いに対して傾斜が付けられる、線形圧電モータ。
  2. 前記傾斜の角度は5度と25度の間である、請求項1に記載の圧電モータ。
  3. 線形圧電モータであって、
    細長い形を有する受動要素(20)と、
    互いに平行な一対のアーム(31’、32’)であって、接続ゾーン(33’)でそれらの端部のうちの一方で接続され、2つの他の端部(310’、320’)は自由端である、一対のアーム(31’、32’)を備え、前記受動要素(20)は、前記受動要素(20)に対する前記自由端(310’、320’)の摩擦によって前記自由端(310’、320’)の間を線形的に移動することができる共振器(30’)を含む圧電アクチュエータと
    を備え、個々のアーム(31’、32’)は、コネクタ・ゾーン(312’、322’)によって前記自由端(310’、320’)に接続された主分岐(311’;321’)を備え、2つの前記主分岐(311’;321’)は互いに平行であり、前記コネクタ・ゾーン(312’、322’)は、前記自由端(310’、320’)が前記主分岐(311、321)の高さとは異なる高さにもたらされるように配置され、前記受動要素(20)は、前記受動要素(20)の移動方向軸に沿った移動が、前記接続ゾーン(33’)によって停止されないように、両方の前記主分岐の前記高さに対して上側に持ち上げられて配置されている、線形圧電モータ。
  4. 前記受動要素(20)は、前記主分岐(311、321)に対して実質的に平行に延びる、請求項3に記載の圧電モータ(10)。
  5. 請求項1~4のいずれか一項に記載の圧電モータ(10)を含む時計。
  6. 前記受動要素の歯とかみ合うピニオンを含み、前記ピニオンは、前記時計のハンドと共に回転するように強制される、請求項5に記載の時計。
JP2020542294A 2018-03-09 2019-02-14 移動がより長い線形圧電モータ Active JP7397796B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP18160982.7 2018-03-09
EP18160982.7A EP3537595A1 (fr) 2018-03-09 2018-03-09 Moteur piezoélectrique linéaire à course allongée
PCT/EP2019/053706 WO2019170385A1 (fr) 2018-03-09 2019-02-14 Moteur piezoélectrique linéaire à course allongée

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2021513829A JP2021513829A (ja) 2021-05-27
JP7397796B2 true JP7397796B2 (ja) 2023-12-13

Family

ID=61626926

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020542294A Active JP7397796B2 (ja) 2018-03-09 2019-02-14 移動がより長い線形圧電モータ

Country Status (6)

Country Link
US (1) US11581826B2 (ja)
EP (2) EP3537595A1 (ja)
JP (1) JP7397796B2 (ja)
KR (1) KR102559146B1 (ja)
CN (1) CN111837328B (ja)
WO (1) WO2019170385A1 (ja)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020038987A1 (en) 2000-03-23 2002-04-04 Seimens Aktiengessellschaft Vibratory motors and methods of making and using same
JP2008503995A (ja) 2004-06-24 2008-02-07 ミニスイス・ソシエテ・アノニム 駆動装置
JP4265671B2 (ja) 2007-03-26 2009-05-20 ブラザー工業株式会社 画像記録装置
WO2011058889A1 (ja) 2009-11-10 2011-05-19 コニカミノルタオプト株式会社 姿勢制御装置
JP2003516100A5 (ja) 2000-11-29 2011-07-07
JP2013158242A (ja) 2012-01-31 2013-08-15 Samsung Electronics Co Ltd スリップ・スティック方式の圧電駆動装置
JP6026476B2 (ja) 2014-09-26 2016-11-16 株式会社藤商事 遊技機

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6026476A (ja) 1983-07-25 1985-02-09 Hitachi Maxell Ltd 圧電体モ−タ
JPH06101941B2 (ja) * 1986-05-09 1994-12-12 株式会社村田製作所 リニア駆動モ−タ
JPS63294278A (ja) * 1987-05-25 1988-11-30 Hiroshi Shimizu 圧電駆動装置
US5369627A (en) * 1987-07-21 1994-11-29 Seiko Epson Corporation Improvements in bearing and frame structure of a timepiece
JPH0246180A (ja) * 1988-08-04 1990-02-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd 超音波リニアモータ
JP2701093B2 (ja) 1991-02-16 1998-01-21 株式会社村上開明堂 超音波リニアスライド機構
WO2001041228A1 (de) 1999-11-29 2001-06-07 Creaholic Sa Piezoelektrischer antrieb
DE60115220T2 (de) * 2000-03-23 2006-08-17 Elliptec Resonant Actuator Ag Vibrationsantrieb und herstellungsverfahren sowie verwendung desselben
DE10146703A1 (de) * 2001-09-21 2003-04-10 Elliptec Resonant Actuator Ag Piezomotor mit Führung
CN100570283C (zh) * 2005-06-29 2009-12-16 精工爱普生株式会社 压电致动器的驱动量检测装置及电子设备
JP4586754B2 (ja) * 2005-06-29 2010-11-24 セイコーエプソン株式会社 圧電アクチュエータの駆動量検出装置および電子機器
CN203457073U (zh) * 2013-08-26 2014-02-26 苏州科技学院 双向驱动直线超声电机
CN104617811A (zh) * 2015-01-16 2015-05-13 上海大学 单对致动器驱动的摩擦式双向直线运动微马达及制备方法
JP6576214B2 (ja) * 2015-11-06 2019-09-18 キヤノン株式会社 振動型アクチュエータ、レンズ鏡筒、撮像装置及びステージ装置
EP3185089B1 (fr) * 2015-12-21 2019-03-06 ETA SA Manufacture Horlogère Suisse Module moteur pour montre

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020038987A1 (en) 2000-03-23 2002-04-04 Seimens Aktiengessellschaft Vibratory motors and methods of making and using same
JP2003516100A5 (ja) 2000-11-29 2011-07-07
JP2008503995A (ja) 2004-06-24 2008-02-07 ミニスイス・ソシエテ・アノニム 駆動装置
JP4265671B2 (ja) 2007-03-26 2009-05-20 ブラザー工業株式会社 画像記録装置
WO2011058889A1 (ja) 2009-11-10 2011-05-19 コニカミノルタオプト株式会社 姿勢制御装置
JP2013158242A (ja) 2012-01-31 2013-08-15 Samsung Electronics Co Ltd スリップ・スティック方式の圧電駆動装置
JP6026476B2 (ja) 2014-09-26 2016-11-16 株式会社藤商事 遊技機

Also Published As

Publication number Publication date
CN111837328A (zh) 2020-10-27
WO2019170385A1 (fr) 2019-09-12
US20210058009A1 (en) 2021-02-25
CN111837328B (zh) 2024-05-03
KR20200111260A (ko) 2020-09-28
KR102559146B1 (ko) 2023-07-24
EP3537595A1 (fr) 2019-09-11
JP2021513829A (ja) 2021-05-27
EP3763030A1 (fr) 2021-01-13
US11581826B2 (en) 2023-02-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102510955B1 (ko) 섬유 스캐닝 시스템을 개선하기 위한 기술들
JP6501487B2 (ja) 超音波モータ及び超音波モータを用いた駆動装置
JP4034296B2 (ja) 回転型櫛歯駆動アクチュエータ及びこれを用いた可変光減衰器
WO2020045152A1 (ja) 光学反射素子
JP2018503078A (ja) 時計調速機、時計ムーブメント及びこのような調速機を有する時計
JP7397796B2 (ja) 移動がより長い線形圧電モータ
US11428298B2 (en) Device for rotating a toothed wheel
JP4199967B2 (ja) 圧電モータ
KR20040097173A (ko) 압전 모터 및 그 구동방법
JP2012070572A (ja) 圧電モータ
JP6792008B2 (ja) 半径方向のプリロードがある自己回転式圧電モーター
JPH0965674A (ja) 振動アクチュエータ
US11283371B2 (en) Rotating piezoelectric motor for discs
CN114200812B (zh) 指针装置以及钟表
JP2019162018A (ja) 軸方向のプリロードがある自己回転式圧電モーター
JP2014075955A (ja) 駆動装置、ロボット装置及び露光装置
WO2010032624A1 (ja) 圧電アクチュエータ
CN112444962A (zh) 一种光纤结构、光纤扫描器
JP2018189614A (ja) 緩急針、ムーブメント、及び時計
JP2018136394A (ja) 駆動装置及び駆動装置を用いた光学装置
JP2008215575A (ja) 自在継手およびその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20200903

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20200804

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20210921

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20211221

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20220118

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20220415

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20220517

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20220920

C60 Trial request (containing other claim documents, opposition documents)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60

Effective date: 20220920

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20220929

C21 Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C21

Effective date: 20221011

A912 Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912

Effective date: 20221021

C211 Notice of termination of reconsideration by examiners before appeal proceedings

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C211

Effective date: 20221101

C22 Notice of designation (change) of administrative judge

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22

Effective date: 20230418

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230727

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20231201

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7397796

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150