JP7397732B2 - 太陽電池の製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態に係る太陽電池を背面側からみた図である。図1に示す太陽電池1は、裏面電極型(バックコンタクト型、裏面接合型ともいう。)の太陽電池である。太陽電池1は、2つの主面を備える半導体基板11を備え、半導体基板11の主面において第1領域7と第2領域8とを有する。
なお、第1導電型半導体層25がn型の半導体層であり、第2導電型半導体層35がp型の半導体層であってもよい。
次に、図3A~図3Dを参照して、第1実施形態に係る太陽電池の製造方法について説明する。図3A~図3Dでは、図2Bの一例、すなわち製造バラツキによりレジストが第1導電型半導体層と第2導電型半導体層との境界からずれて形成される場合の一例について示す。
または、リフトオフ法を用いてパッシベーション層33および第2導電型半導体層35のパターニングを行ってもよい。
以上の工程により、図1および図2B(或いは、図2A)に示す裏面電極型の太陽電池1が得られる。
第1実施形態では、レジストを用いたリフトオフ法を利用した太陽電池の製造方法について説明した。第2実施形態では、レジストを用いたエッチング法を利用した太陽電池の製造方法について説明する。
または、リフトオフ法を用いてパッシベーション層33および第2導電型半導体層35のパターニングを行ってもよい。
以上の工程により、図1および図2B(或いは、図2A)に示す裏面電極型の太陽電池1が得られる。
7 第1領域
7b,8b バスバー部
7f,8f フィンガー部
8 第2領域
11,11X 半導体基板
13 パッシベーション層
15 光学調整層
23,23X パッシベーション層
25,25X 第1導電型半導体層
27,27X 第1電極層
27Z,27ZX 電極層材料膜
33,33X パッシベーション層
35,35X 第2導電型半導体層
37,37X 第2電極層
40 絶縁層
50,50X レジスト
51,51X 第1レジスト
52,52X 第2レジスト
Claims (4)
- 半導体基板と、前記半導体基板の一方主面側に配置された第1導電型半導体層および第2導電型半導体層と、前記第1導電型半導体層に対応する第1電極層と、前記第2導電型半導体層に対応する第2電極層とを備える裏面電極型の太陽電池の製造方法であって、
前記半導体基板の前記一方主面側の一部に前記第1導電型半導体層を形成し、前記半導体基板の前記一方主面側の他の一部に前記第2導電型半導体層を形成する半導体層形成工程と、
前記第1導電型半導体層と前記第2導電型半導体層との境界上にこれらに跨って絶縁層を形成する絶縁層形成工程と、
前記絶縁層の上にレジストを形成するレジスト形成工程と、
前記第1導電型半導体層、前記第2導電型半導体層、前記絶縁層および前記レジストの上にこれらに跨って電極層材料膜を形成する電極層材料膜形成工程と、
リフトオフ法を用いて前記レジストを除去することにより、前記レジストの上の前記電極層材料膜を除去し、前記第1電極層および前記第2電極層を形成する電極層形成工程と、
を含み、
前記絶縁層形成工程では、
前記レジスト形成工程を経て形成されるレジストの幅よりも広い幅の前記絶縁層を形成するとともに、
前記レジスト形成工程を経て形成されるレジストの幅と前記絶縁層の幅の差が、前記レジストの形成位置の製造バラツキに応じた寸法以上となるように、前記絶縁層を形成する、
太陽電池の製造方法。 - 前記レジスト形成工程では、前記第1電極層と前記第2電極層との絶縁距離に応じた幅の前記レジストを形成する、請求項1に記載の太陽電池の製造方法。
- 半導体基板と、前記半導体基板の一方主面側に配置された第1導電型半導体層および第2導電型半導体層と、前記第1導電型半導体層に対応する第1電極層と、前記第2導電型半導体層に対応する第2電極層とを備える裏面電極型の太陽電池の製造方法であって、
前記半導体基板の前記一方主面側の一部に前記第1導電型半導体層を形成し、前記半導体基板の前記一方主面側の他の一部に前記第2導電型半導体層を形成する半導体層形成工程と、
前記第1導電型半導体層と前記第2導電型半導体層との境界上にこれらに跨って絶縁層を形成する絶縁層形成工程と、
前記第1導電型半導体層、前記第2導電型半導体層および前記絶縁層の上にこれらに跨って電極層材料膜を形成する電極層材料膜形成工程と、
前記電極層材料膜の上に、前記第1電極層に対応する第1レジストと前記第2電極層に対応する第2レジストとを形成するレジスト形成工程と、
前記第1レジストおよび前記第2レジストを用いたエッチング法により、前記電極層材料膜の露出部分を除去し、前記第1電極層および前記第2電極層を形成する電極層形成工程と、
を含み、
前記レジスト形成工程では、前記絶縁層の上において離間するように前記第1レジストおよび前記第2レジストを形成し、
前記絶縁層形成工程では、
前記第1レジストと前記第2レジストとの離間間隔よりも広い幅の前記絶縁層を形成するとともに、
前記第1レジストと前記第2レジストとの離間間隔と、前記絶縁層の幅との差が、前記第1レジストと前記第2レジストとの離間部分の形成位置の製造バラツキに応じた寸法以上となるように、前記絶縁層を形成する、
太陽電池の製造方法。 - 前記レジスト形成工程では、前記第1電極層と前記第2電極層との絶縁距離に応じた離間間隔で前記第1レジストおよび前記第2レジストを形成する、請求項3に記載の太陽電池の製造方法。
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