JP7389767B2 - センサ及び電子装置 - Google Patents
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Description
図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚さと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図1は、第1実施形態に係るセンサを例示する模式的平面図である。
図1に示すように、実施形態に係るセンサ110は、センサ部10Uを含む。センサ110は、回路部70を含んでも良い。センサ部10Uは、支持部18及び可動部38を含む。
図2に示すように、実施形態に係るセンサ111も、センサ部10Uを含む。センサ110は、回路部70を含んでも良い。センサ部10Uは、支持部18及び可動部38を含む。センサ111において、センサ部10Uは、複数の調整電極(例えば第1~第8調整電極13a~13hなど)を含む。センサ部10Uは、複数の抵抗(例えば第1~第8抵抗R1~R8など)を含む。可動部材38Mは、複数の調整対向部(例えば第1~第8調整対向部33a~33hなど)を含む。センサ111におけるこれ以外の構成は、センサ110の構成と同様で良い。
図4に示すように、実施形態に係るセンサ120は、センサ部10Uを含む。センサ110は、回路部70を含んでも良い。センサ120においても、センサ部10Uは、支持部18及び可動部38を含む。
図5に示すように、実施形態に係るセンサ130は、センサ部10Uを含む。センサ110は、回路部70を含んでも良い。センサ130においても、センサ部10Uは、支持部18及び可動部38を含む。
第2実施形態は、電子装置に係る。
図6は、第2実施形態に係る電子装置を例示する模式図である。
図6に示すように、実施形態に係る電子装置310は、実施形態に係るセンサと、回路制御部170と、を含む。図6の例では、センサとして、センサ110(またはセンサ装置210)が描かれている。回路制御部170は、センサから得られる信号S1に基づいて回路180を制御可能である。回路180は、例えば駆動装置185の制御回路などである。実施形態によれば、高精度の検出結果に基づいて、駆動装置185を制御するための回路180などを高精度で制御できる。
図7(a)に示すように、電子装置310は、ロボットの少なくとも一部でも良い。図7(b)に示すように、電子装置310は、製造工場などに設けられる工作ロボットの少なくとも一部でも良い。図7(c)に示すように、電子装置310は、工場内などの自動搬送車の少なくとも一部でも良い。図7(d)に示すように、電子装置310は、ドローン(無人航空機)の少なくとも一部でも良い。図7(e)に示すように、電子装置310は、飛行機の少なくとも一部でも良い。図7(f)に示すように、電子装置310は、船舶の少なくとも一部でも良い。図7(g)に示すように、電子装置310は、潜水艦の少なくとも一部でも良い。図7(h)に示すように、電子装置310は、自動車の少なくとも一部でも良い。電子装置310は、例えば、ロボット及び移動体の少なくともいずれかを含んでも良い。
(構成1)
センサ部を備え、
前記センサ部は、支持部及び可動部を含み、
前記可動部は、
第1平面において前記支持部の周りに設けられた可動部材と、
前記支持部と前記可動部材との間に設けられ前記可動部材を前記支持部と接続する折れ曲がり状の複数の構造部材と、
を含み、
前記可動部材は振動可能であり、
前記可動部は、前記支持部を中心とする回転対称であり、
前記可動部は、複数の鏡映面を有し、
前記複数の鏡映面は、前記回転対称の中心を通り前記第1平面と交差する、センサ。
前記複数の鏡映面の数は、3以上6以下である、構成1記載のセンサ。
前記複数の構造部材の数は、6以上である、構成1または2に記載のセンサ。
前記可動部は、n回回転対称であり、前記nは、3、4または6である、構成1~3のいずれか1つに記載のセンサ。
前記センサ部は、前記支持部が固定される基体を含み、
前記基体は、n角形、または、2n角形である、構成4記載のセンサ。
前記センサ部は、第1電極及び第2電極をさらに含み、
前記回転対称の前記中心から前記第1電極への方向は、前記第1平面に沿う第1方向に沿い、
前記回転対称の前記中心から前記第2電極への方向は、前記第1平面に沿う第2方向に沿い、前記第2方向は、前記第1方向と交差した、構成1~5のいずれか1つに記載のセンサ。
前記複数の構造部材の1つは、前記支持部と前記第1電極との間にあり、
前記複数の構造部材の前記1つは、前記第1方向を軸にして非対称である、構成6記載のセンサ。
前記第1電極は、前記可動部材の振動の前記第1方向に沿う成分を検出可能であり、
前記第2電極は、前記可動部材の前記振動の前記第2方向に沿う成分を検出可能である、構成6または7に記載のセンサ。
前記第1電極から得られる第1信号は、前記可動部材に加わる回転角速度に応じ、
前記第2電極から得られる第2信号は、前記回転角速度に応じる、構成6または7に記載のセンサ。
前記第1電極から得られる第1信号は、前記第1方向と交差する方向に沿って振動する前記可動部材に生じる前記第1方向の振動の振幅に応じ、
前記第2電極から得られる第2信号は、前記第2方向と交差する方向に沿って振動する前記可動部材に生じる前記第2方向の振動の振幅に応じる、構成6または7に記載のセンサ。
前記可動部材は、第1対向部及び第2対向部を含み、
前記第1対向部は、前記第1電極と対向し、
前記第1対向部及び前記第1電極は、櫛歯状にかみ合い、
前記第2対向部は、前記第2電極と対向し、
前記第2対向部及び前記第2電極は、櫛歯状にかみ合う、構成6~10のいずれか1つに記載のセンサ。
前記センサ部は、第3電極及び第4電極をさらに含み、
前記支持部は、前記第1方向において、前記第3電極と前記第1電極との間にあり、
前記支持部は、前記第2方向において、前記第4電極と前記第2電極との間にあり、
前記第3電極に印加される電圧に応じて、前記可動部材は、前記第1方向に沿って振動可能であり、
前記第4電極に印加される電圧に応じて、前記可動部材は、前記第2方向に沿って振動可能である、構成6~11のいずれか1つに記載のセンサ。
前記可動部材は、第3対向部及び第4対向部を含み、
前記第3対向部は、前記第3電極と対向し、
前記第3対向部及び前記第3電極は、櫛歯状にかみ合い、
前記第4対向部は、前記第4電極と対向し、
前記第4対向部及び前記第4電極は、櫛歯状にかみ合う、構成12記載のセンサ。
前記センサ部は、第1調整電極と、前記第1調整電極と電気的に接続された第1抵抗と、をさらに含み、
前記支持部から前記第1調整電極への向きは、前記第1平面に沿い、
前記第1調整電極及び前記第1抵抗に印加された電圧に応じて、前記可動部材の振動状態が変化可能である、構成1~13のいずれか1つに記載のセンサ。
前記可動部材は、前記第1調整電極と対向する第1調整対向部を含み、
前記第1調整電極及び前記第1調整対向部は、櫛歯状にかみ合う、構成13記載のセンサ。
前記センサ部は、固定部をさらに含み、
前記可動部材は、前記固定部に対向する固定対向部をさらに含み、
前記固定部及び前記固定対向部の少なくともいずれかは、突起部を含む、構成1~15のいずれか1つに記載のセンサ。
前記固定対向部は、前記固定部の周りに設けられた、構成16記載のセンサ。
前記第1電極及び前記第2電極と電気的に接続された回路部をさらに備え、
前記回路部は、前記第1電極から得られる信号、及び、前記第2電極から得られる信号に基づく情報を出力可能である、構成1~17のいずれか1つに記載のセンサ。
構成1~18のいずれか1つに記載のセンサと、
前記センサから得られる信号に基づいて回路を制御可能な回路制御部と、
を備えた電子装置。
前記電子装置は、ロボット及び移動体の少なくともいずれかを含む、構成19記載の電子装置。
Claims (9)
- センサ部を備え、
前記センサ部は、支持部及び可動部を含み、
前記可動部は、
第1平面において前記支持部の周りに設けられた可動部材と、
前記支持部と前記可動部材との間に設けられ前記可動部材を前記支持部と接続する折れ曲がり状の複数の構造部材と、
を含み、
前記可動部材は振動可能であり、
前記可動部は、前記支持部を中心とする回転対称であり、
前記可動部は、複数の鏡映面を有し、
前記複数の鏡映面は、前記回転対称の中心を通り前記第1平面と交差し、
前記センサ部は、第1電極及び第2電極をさらに含み、
前記回転対称の前記中心から前記第1電極への方向は、前記第1平面に沿う第1方向に沿い、
前記回転対称の前記中心から前記第2電極への方向は、前記第1平面に沿う第2方向に沿い、前記第2方向は、前記第1方向と交差する、センサ。 - 前記複数の構造部材の1つは、前記支持部と前記第1電極との間にあり、
前記複数の構造部材の前記1つは、前記第1方向を軸にして非対称である、請求項1に記載のセンサ。 - 前記可動部材は、第1対向部及び第2対向部を含み、
前記第1対向部は、前記第1電極と対向し、
前記第1対向部及び前記第1電極は、櫛歯状にかみ合い、
前記第2対向部は、前記第2電極と対向し、
前記第2対向部及び前記第2電極は、櫛歯状にかみ合う、請求項1または2に記載のセンサ。 - 前記センサ部は、第3電極及び第4電極をさらに含み、
前記支持部は、前記第1方向において、前記第3電極と前記第1電極との間にあり、
前記支持部は、前記第2方向において、前記第4電極と前記第2電極との間にあり、
前記第3電極に印加される電圧に応じて、前記可動部材は、前記第1方向に沿って振動可能であり、
前記第4電極に印加される電圧に応じて、前記可動部材は、前記第2方向に沿って振動可能である、請求項1~3のいずれか1つに記載のセンサ。 - 前記可動部は、n回回転対称であり、前記nは、3、4または6である、請求項1~4のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記センサ部は、前記支持部が固定される基体を含み、
前記基体は、n角形、または、2n角形である、請求項5に記載のセンサ。 - 前記第1電極及び前記第2電極と電気的に接続された回路部をさらに備え、
前記回路部は、前記第1電極から得られる信号、及び、前記第2電極から得られる信号に基づく情報を出力可能である、請求項1~6のいずれか1つに記載のセンサ。 - 請求項1~7のいずれか1つに記載のセンサと、
前記センサから得られる信号に基づいて回路を制御可能な回路制御部と、
を備えた電子装置。 - 前記電子装置は、ロボット及び移動体の少なくともいずれかを含む、請求項8に記載の電子装置。
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