JP7386286B2 - イットリウム系基盤の極紫外線露光用ペリクル - Google Patents
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Description
前記キャッピング層の素材は、Y-M-α(Mは、B、Si、OおよびFのうち一つであり、αは、Si、C、B、N、OおよびRuのうち一つ)で表され得る。
図1は、本発明の第1実施形態によるイットリウム系基盤の極紫外線露光用ペリクルを示す図である。また、図2は、図1のA部分の拡大図である。
図4は、本発明の第2実施形態によるイットリウム系基盤の極紫外線露光用ペリクルを示す拡大図である。
図5は、本発明の第3実施形態によるイットリウム系基盤の極紫外線露光用ペリクルを示す拡大図である。
このような本発明によるペリクルの350W以上の極紫外線出力環境での透過率と反射率を確認するために、図6~図11による第1~第6実験例によるペリクルに対するシミュレーションを行った。
図6は、本発明の第1実験例によるイットリウム系基盤の極紫外線露光用ペリクルの透過率および反射率を示すグラフである。
図7は、本発明の第2実験例によるイットリウム系基盤の極紫外線露光用ペリクルの透過率および反射率を示すグラフである。
図8は、本発明の第3実験例によるイットリウム系基盤の極紫外線露光用ペリクルの透過率および反射率を示すグラフである。
図9は、本発明の第4実験例によるイットリウム系基盤の極紫外線露光用ペリクルの透過率および反射率を示すグラフである。
図10は、本発明の第5実験例によるイットリウム系基盤の極紫外線露光用ペリクルの透過率および反射率を示すグラフである。
図11は、本発明の第6実験例によるイットリウム系基盤の極紫外線露光用ペリクルの透過率および反射率を示すグラフである。
13 開放部
20、120、220 ペリクル層
21 コア層
23、25 中間層
23 第1中間層
25 第2中間層
27、29 キャッピング層
27 第1キャッピング層
29 第2キャッピング層
100 極紫外線露光用ペリクル
Claims (12)
- Y-M(Mは、B、Si、OおよびFのうち一つ)で表されるイットリウム基盤素材をコア層として具備するペリクル層を含む極紫外線露光用ペリクルであって、
前記ペリクル層は、
前記コア層と、
前記コア層の一面または両面に形成される中間層と、
前記中間層の上に形成されるキャッピング層と、を含み、
前記中間層および前記キャッピング層の素材は、Y-M-α(Mは、B、Si、OおよびFのうち一つであり、αは、Si、C、B、N、OおよびRuのうち一つ)で表されることを特徴とする極紫外線露光用ペリクル。 - 前記イットリウム基盤素材は、Y-Bx(x≧2)、Y-Six(x≧1)、Y2O3またはYF3を含むことを特徴とする請求項1に記載の極紫外線露光用ペリクル。
- 前記イットリウム基盤素材は、YB2、YB4、YB6、YB12、YB25、YB50またはYB66を含むことを特徴とする請求項1に記載の極紫外線露光用ペリクル。
- 前記イットリウム基盤素材は、YSi2またはY3Si5を含むことを特徴とする請求項1に記載の極紫外線露光用ペリクル。
- 前記ペリクル層は、
前記コア層と、
前記コア層の一面または両面に形成されるキャッピング層と、を含み、
前記キャッピング層の素材は、Y-M-α(Mは、B、Si、OおよびFのうち一つであり、αは、Si、C、B、N、OおよびRuのうち一つ)で表されることを特徴とする請求項1に記載の極紫外線露光用ペリクル。 - 前記キャッピング層の素材は、YCxSiy(x+y≧1)、YCxBy(x+y≧1)、YSixNy(x+y≧1)、YCx(x≧1)、YSix(x≧1)、YNx(x≧1)、SiNx(x≧1)、SiO2、B4CまたはRuCを含むことを特徴とする請求項5に記載の極紫外線露光用ペリクル。
- 前記中間層およびキャッピング層の素材は、YCxSiy(x+y≧1)、YCxBy(x+y≧1)、YSixNy(x+y≧1)、YCx(x≧1)、YSix(x≧1)、YNx(x≧1)、SiNx(x≧1)、SiO2、B4CまたはRuCを含むことを特徴とする請求項1に記載の極紫外線露光用ペリクル。
- 中心部に開放部が形成された基板と、
前記開放部を覆うように前記基板の上に形成され、Y-M(Mは、B、Si、OおよびFのうち一つ)で表されるイットリウム基盤素材をコア層として具備するペリクル層と、を含む極紫外線露光用ペリクルであって、
前記ペリクル層は、
前記開放部を覆うように前記基板の上に形成される前記コア層と、
前記コア層の一面または両面に形成される中間層と、
前記中間層の上に形成されるキャッピング層と、を含み、
前記中間層および前記キャッピング層の素材は、Y-M-α(Mは、B、Si、OおよびFのうち一つであり、αは、Si、C、B、N、OおよびRuのうち一つ)で表されることを特徴とする極紫外線露光用ペリクル。 - 前記イットリウム基盤素材は、Y-Bx(x≧2)、Y-Six(x≧1)、Y2O3またはYF3を含むことを特徴とする請求項8に記載の極紫外線露光用ペリクル。
- 前記ペリクル層は、
前記開放部を覆うように前記基板の上に形成される前記コア層と、
前記コア層上に形成されるキャッピング層と、を含み、
前記キャッピング層の素材は、Y-M-α(Mは、B、Si、OおよびFのうち一つであり、αは、Si、C、B、N、OおよびRuのうち一つ)で表されることを特徴とする請求項8に記載の極紫外線露光用ペリクル。 - 前記キャッピング層の素材は、YCxSiy(x+y≧1)、YCxBy(x+y≧1)、YSixNy(x+y≧1)、YCx(x≧1)、YSix(x≧1)、YNx(x≧1)、SiNx(x≧1)、SiO2、B4CまたはRuCを含むことを特徴とする請求項10に記載の極紫外線露光用ペリクル。
- 前記中間層およびキャッピング層の素材は、YCxSiy(x+y≧1)、YCxBy(x+y≧1)、YSixNy(x+y≧1)、YCx(x≧1)、YSix(x≧1)、YNx(x≧1)、SiNx(x≧1)、SiO2、B4CまたはRuCを含むことを特徴とする請求項8に記載の極紫外線露光用ペリクル。
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