JP7380981B2 - Torque detection sensor and power transmission device - Google Patents

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Description

本発明は、トルク検出センサおよび動力伝達装置に関する。 The present invention relates to a torque detection sensor and a power transmission device.

近年、例えばロボットの関節などに搭載される減速機の出力歯車において、トルクを精度よく検出することが求められている。斯かる用途に用いられるトルク検出装置は、例えば特開2004-198400号公報に記載されている。
特開2004-198400号公報
In recent years, there has been a demand for highly accurate detection of torque in output gears of reduction gears mounted on, for example, joints of robots. A torque detection device used for such purposes is described in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 2004-198400.
Japanese Patent Application Publication No. 2004-198400

特開2004-198400号公報に記載されたトルク検出装置は、減速機の可撓性外歯歯車の表面に貼り付けられる歪みゲージユニットを有する。特開2004-198400号公報の歪みゲージユニットは、360度の円弧形状をした検出セグメントが形成された歪みゲージパターンを備える。上記検出セグメントは、一定の間隔で抵抗線を配列したグリッドパターンが所定形状となるように形成されたものである。斯かるトルク検出装置によれば、可撓性外歯歯車の全周に掛かるトルクを、精度よく検出することができると考えられる。 The torque detection device described in Japanese Patent Application Publication No. 2004-198400 has a strain gauge unit that is attached to the surface of a flexible external gear of a speed reducer. The strain gauge unit disclosed in Japanese Unexamined Patent Publication No. 2004-198400 includes a strain gauge pattern in which a detection segment having a 360-degree arc shape is formed. The detection segment is formed such that a grid pattern in which resistance wires are arranged at regular intervals has a predetermined shape. It is believed that such a torque detection device can accurately detect the torque applied to the entire circumference of the flexible external gear.

しかしながら、特開2004-198400号公報に記載されたトルク検出装置では、歪みゲージパターンの一部に応力が集中しやすいと考えられる。とりわけ、隣り合う抵抗線同士を繋ぐ接続箇所には、位置的に応力が集中しやすく、歪みゲージパターンの断線を招いてしまう虞もあった。 However, in the torque detection device described in Japanese Patent Application Laid-open No. 2004-198400, it is considered that stress tends to concentrate on a portion of the strain gauge pattern. In particular, stress tends to be concentrated at the connection points where adjacent resistance wires are connected, and there is a risk that the strain gauge pattern may break.

本発明の目的は、円形体に掛かるトルクを精度よく検出することができ、しかも断線が生じ難いトルク検出センサおよび動力伝達装置を提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a torque detection sensor and a power transmission device that can accurately detect torque applied to a circular body and are less likely to break.

本願の観点では、円形体に掛かるトルクを検出するトルク検出センサであって、基板と、固着層とを備えるトルク検出センサが提供される。前記基板は、導体層を有する。前記固着層は、前記基板と前記円形体との間に位置する。前記導体層は、円弧状または円環状の抵抗線パターンを含む。前記抵抗線パターンは、前記円形体の半径方向に対して周方向一方側に一定角度傾斜した複数の抵抗線と、前記複数の抵抗線の端部同士を接続する複数の折り返し部位と、を含む。前記複数の抵抗線は、周方向に等間隔に配列されて、前記周方向に隣り合う前記抵抗線の端部同士が、前記半径方向の両側で交互に前記折り返し部位により接続されて、全体として直列に接続される。前記円形体を軸方向に見たときに、前記固着層は、前記折り返し部位を避けた領域に位置する。 In view of the present application, there is provided a torque detection sensor that detects torque applied to a circular body and includes a substrate and a fixing layer. The substrate has a conductor layer. The fixing layer is located between the substrate and the circular body. The conductor layer includes an arcuate or annular resistance wire pattern. The resistance wire pattern includes a plurality of resistance wires inclined at a certain angle to one side in the circumferential direction with respect to the radial direction of the circular body, and a plurality of folded parts connecting the ends of the plurality of resistance wires. . The plurality of resistance wires are arranged at equal intervals in the circumferential direction, and end portions of the resistance wires adjacent to each other in the circumferential direction are alternately connected by the folded portions on both sides in the radial direction, so that the plurality of resistance wires as a whole connected in series. When the circular body is viewed in the axial direction, the fixed layer is located in a region avoiding the folded portion.

本願の観点によれば、円形体に掛かるトルクを精度よく検出することができ、しかも断線が生じ難いトルク検出センサおよび動力伝達装置が提供される。 According to the aspect of the present application, there is provided a torque detection sensor and a power transmission device that can accurately detect the torque applied to a circular body and are less likely to be disconnected.

図1は、第1実施形態に係る動力伝達装置の縦断面図である。FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a power transmission device according to a first embodiment. 図2は、第1実施形態に係る動力伝達装置の横断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of the power transmission device according to the first embodiment. 図3は、第1実施形態に係るトルク検出センサの平面図である。FIG. 3 is a plan view of the torque detection sensor according to the first embodiment. 図4は、第1実施形態に係るホイートストンブリッジ回路の回路図である。FIG. 4 is a circuit diagram of the Wheatstone bridge circuit according to the first embodiment. 図5は、第1実施形態に係るトルク検出センサの断面図である。FIG. 5 is a sectional view of the torque detection sensor according to the first embodiment. 図6は、第2実施形態に係るトルク検出センサの断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view of the torque detection sensor according to the second embodiment. 図7は、第3実施形態に係るトルク検出センサの断面図である。FIG. 7 is a sectional view of a torque detection sensor according to a third embodiment. 図8は、変形例に係るトルク検出センサの断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view of a torque detection sensor according to a modification.

以下、本願の例示的な実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、本願では、動力伝達装置の中心軸と平行な方向を「軸方向」、動力伝達装置の中心軸に直交する方向を「半径方向」、動力伝達装置の中心軸を中心とする円弧に沿う方向を「周方向」、とそれぞれ称する。ただし、上記の「平行な方向」は、略平行な方向も含む。また、上記の「直交する方向」は、略直交する方向も含む。 Hereinafter, exemplary embodiments of the present application will be described with reference to the drawings. In this application, the direction parallel to the central axis of the power transmission device is referred to as the "axial direction," the direction perpendicular to the central axis of the power transmission device is referred to as the "radial direction," and the direction along the circular arc centered on the central axis of the power transmission device is referred to as the "radial direction." The directions are respectively referred to as "circumferential directions." However, the above-mentioned "parallel direction" also includes substantially parallel directions. Moreover, the above-mentioned "orthogonal directions" include substantially orthogonal directions.

<1.第1実施形態>
<1-1.動力伝達装置の構成>
図1は、第1実施形態に係る動力伝達装置1の縦断面図である。図2は、図1のA-A位置から見た動力伝達装置1の横断面図である。この動力伝達装置1は、モータから得られる第1回転数の回転運動を、第1回転数よりも低い第2回転数に減速させつつ後段へ伝達する装置である。動力伝達装置1は、例えば、ロボットの関節に、モータとともに組み込まれて使用される。ただし、本発明の動力伝達装置は、アシストスーツ、無人運搬車などの他の装置に用いられるものであってもよい。
<1. First embodiment>
<1-1. Configuration of power transmission device>
FIG. 1 is a longitudinal cross-sectional view of a power transmission device 1 according to a first embodiment. FIG. 2 is a cross-sectional view of the power transmission device 1 seen from the AA position in FIG. This power transmission device 1 is a device that transmits rotational motion of a first rotation speed obtained from a motor to a subsequent stage while decelerating it to a second rotation speed lower than the first rotation speed. The power transmission device 1 is used, for example, by being incorporated into a joint of a robot together with a motor. However, the power transmission device of the present invention may be used in other devices such as assist suits and unmanned carriers.

図1および図2に示すように、本実施形態の動力伝達装置1は、インタナルギア10、フレックスギア20、波動発生器30、およびトルク検出センサ40を備えている。 As shown in FIGS. 1 and 2, the power transmission device 1 of this embodiment includes an internal gear 10, a flex gear 20, a wave generator 30, and a torque detection sensor 40.

インタナルギア10は、内周面に複数の内歯11を有する円環状のギアである。インタナルギア10は、動力伝達装置1が搭載される装置の枠体に、例えばねじ止めで固定される。インタナルギア10は、中心軸9と同軸に配置される。また、インタナルギア10は、フレックスギア20の後述する筒状部21の半径方向外側に位置する。インタナルギア10の剛性は、フレックスギア20の筒状部21の剛性よりも、はるかに高い。このため、インタナルギア10は、実質的に剛体とみなすことができる。インタナルギア10は、円筒状の内周面を有する。複数の内歯11は、当該内周面において、周方向に一定のピッチで配列されている。各内歯11は、半径方向内側へ向けて突出する。 The internal gear 10 is an annular gear having a plurality of internal teeth 11 on its inner peripheral surface. The internal gear 10 is fixed to the frame of the device on which the power transmission device 1 is mounted, for example, by screwing. Internal gear 10 is arranged coaxially with central axis 9 . Further, the internal gear 10 is located on the radially outer side of a cylindrical portion 21 of the flex gear 20, which will be described later. The rigidity of the internal gear 10 is much higher than the rigidity of the cylindrical portion 21 of the flex gear 20. Therefore, the internal gear 10 can be considered as a substantially rigid body. Internal gear 10 has a cylindrical inner peripheral surface. The plurality of internal teeth 11 are arranged at a constant pitch in the circumferential direction on the inner circumferential surface. Each internal tooth 11 protrudes radially inward.

フレックスギア20は、可撓性を有する円環状のギアである。フレックスギア20は、中心軸9を中心として回転可能に支持される。フレックスギア20は、本発明における「円形体」の一例である。 The flex gear 20 is a flexible annular gear. The flex gear 20 is rotatably supported around the central axis 9. The flex gear 20 is an example of a "circular body" in the present invention.

本実施形態のフレックスギア20は、筒状部21と平板部22とを有する。筒状部21は、中心軸9の周囲において、軸方向に筒状に延びる。筒状部21の軸方向の先端は、波動発生器30の半径方向外側、かつ、インタナルギア10の半径方向内側に位置する。筒状部21は、可撓性を有するため、半径方向に変形可能である。特に、インタナルギア10の半径方向内側に位置する筒状部21の先端部は、自由端であるため、他の部分よりも大きく半径方向に変位可能である。 The flex gear 20 of this embodiment has a cylindrical portion 21 and a flat plate portion 22. The cylindrical portion 21 extends in the axial direction around the central axis 9 in a cylindrical shape. An axial tip of the cylindrical portion 21 is located on the radial outer side of the wave generator 30 and on the radial inner side of the internal gear 10 . Since the cylindrical portion 21 has flexibility, it can be deformed in the radial direction. In particular, since the tip of the cylindrical portion 21 located on the radially inner side of the internal gear 10 is a free end, it can be displaced in the radial direction to a greater extent than other portions.

フレックスギア20は、複数の外歯23を有する。複数の外歯23は、筒状部21の軸方向の先端部付近の外周面において、周方向に一定のピッチで配列されている。各外歯23は、半径方向外側へ向けて突出する。上述したインタナルギア10が有する内歯11の数と、フレックスギア20が有する外歯23の数とは、僅かに相違する。 The flex gear 20 has a plurality of external teeth 23. The plurality of external teeth 23 are arranged at a constant pitch in the circumferential direction on the outer circumferential surface near the axial tip of the cylindrical portion 21 . Each external tooth 23 projects radially outward. The number of internal teeth 11 that the internal gear 10 described above has and the number of external teeth 23 that the flex gear 20 has are slightly different.

平板部22は、ダイヤフラム部221と肉厚部222とを有する。ダイヤフラム部221は、筒状部21の軸方向の基端部から、半径方向外側へ向けて平板状に広がり、かつ、中心軸9を中心として円環状に広がる。ダイヤフラム部221は、軸方向に僅かに撓み変形可能である。肉厚部222は、ダイヤフラム部221の半径方向外側に位置する、円環状の部分である。肉厚部222の軸方向の厚みは、ダイヤフラム部221の軸方向の厚みよりも、厚い。肉厚部222は、動力伝達装置1が搭載される装置の、駆動対象となる部品に、例えばねじ止めで固定される。 The flat plate portion 22 has a diaphragm portion 221 and a thick portion 222 . The diaphragm portion 221 spreads outward in the radial direction from the base end in the axial direction of the cylindrical portion 21 in a flat plate shape, and spreads in an annular shape around the central axis 9 . The diaphragm portion 221 can be slightly bent and deformed in the axial direction. The thick portion 222 is an annular portion located outside the diaphragm portion 221 in the radial direction. The thickness of the thick portion 222 in the axial direction is thicker than the thickness of the diaphragm portion 221 in the axial direction. The thick portion 222 is fixed to a driven component of a device on which the power transmission device 1 is mounted, for example, by screwing.

波動発生器30は、フレックスギア20の筒状部21に、周期的な撓み変形を発生させる機構である。波動発生器30は、カム31と可撓性軸受32とを有する。カム31は、中心軸9を中心として回転可能に支持される。カム31は、軸方向に見たときに楕円形の外周面を有する。可撓性軸受32は、カム31の外周面と、フレックスギア20の筒状部21の内周面との間に介在する。したがって、カム31と筒状部21とは、異なる回転数で回転できる。 The wave generator 30 is a mechanism that generates periodic bending deformation in the cylindrical portion 21 of the flex gear 20. The wave generator 30 has a cam 31 and a flexible bearing 32. The cam 31 is rotatably supported around the central axis 9. The cam 31 has an elliptical outer peripheral surface when viewed in the axial direction. The flexible bearing 32 is interposed between the outer peripheral surface of the cam 31 and the inner peripheral surface of the cylindrical portion 21 of the flex gear 20. Therefore, the cam 31 and the cylindrical portion 21 can rotate at different rotational speeds.

可撓性軸受32の内輪は、カム31の外周面に接触する。可撓性軸受32の外輪は、フレックスギア20の内周面に接触する。このため、フレックスギア20の筒状部21は、カム31の外周面に沿った楕円形状に変形する。その結果、当該楕円の長軸の両端に相当する2箇所において、フレックスギア20の外歯23と、インタナルギア10の内歯11とが噛み合う。周方向の他の位置においては、外歯23と内歯11とが噛み合わない。 The inner ring of the flexible bearing 32 contacts the outer peripheral surface of the cam 31. The outer ring of the flexible bearing 32 contacts the inner peripheral surface of the flex gear 20. Therefore, the cylindrical portion 21 of the flex gear 20 is deformed into an elliptical shape along the outer peripheral surface of the cam 31. As a result, the external teeth 23 of the flex gear 20 and the internal teeth 11 of the internal gear 10 mesh at two locations corresponding to both ends of the long axis of the ellipse. At other positions in the circumferential direction, the outer teeth 23 and the inner teeth 11 do not mesh with each other.

カム31は、直接または他の動力伝達機構を介して、モータに接続される。モータを駆動させると、カム31は、中心軸9を中心として第1回転数で回転する。これにより、フレックスギア20の上述した楕円の長軸も、第1回転数で回転する。そうすると、外歯23と内歯11との噛み合い位置も、周方向に第1回転数で変化する。また、上述の通り、インタナルギア10の内歯11の数と、フレックスギア20の外歯23の数とは、僅かに相違する。この歯数の差によって、カム31の1回転ごとに、外歯23と内歯11との噛み合い位置が、周方向に僅かに変化する。その結果、インタナルギア10に対してフレックスギア20が、中心軸9を中心として、第1回転数よりも低い第2回転数で回転する。したがって、フレックスギア20から、減速された第2回転数の回転運動を取り出すことができる。 The cam 31 is connected to the motor, either directly or via other power transmission mechanism. When the motor is driven, the cam 31 rotates around the central shaft 9 at a first rotation speed. Thereby, the long axis of the ellipse mentioned above of the flex gear 20 also rotates at the first rotation speed. Then, the meshing position between the external teeth 23 and the internal teeth 11 also changes in the circumferential direction at the first rotation speed. Further, as described above, the number of internal teeth 11 of internal gear 10 and the number of external teeth 23 of flex gear 20 are slightly different. Due to this difference in the number of teeth, the meshing position between the external teeth 23 and the internal teeth 11 changes slightly in the circumferential direction each time the cam 31 rotates once. As a result, the flex gear 20 rotates with respect to the internal gear 10 around the central axis 9 at a second rotation speed lower than the first rotation speed. Therefore, rotational motion at the reduced second rotational speed can be extracted from the flex gear 20.

<1-2.トルク検出センサについて>
トルク検出センサ40は、フレックスギア20に掛かる周方向のトルクを検出するセンサである。図1に示すように、本実施形態では、円板状のダイヤフラム部221の円形の表面に、トルク検出センサ40の裏面が固定されている。
<1-2. About torque detection sensor>
The torque detection sensor 40 is a sensor that detects circumferential torque applied to the flex gear 20. As shown in FIG. 1, in this embodiment, the back surface of the torque detection sensor 40 is fixed to the circular surface of the disk-shaped diaphragm portion 221.

図3は、トルク検出センサ40を軸方向に見た平面図である。図3に示すように、トルク検出センサ40は、基板41を備える。本実施形態の基板41は、柔軟に変形可能なフレキシブル基板である。基板41は、中心軸9を中心とする円環状の本体部411と、本体部411から半径方向外側へ向けて突出したフラップ部412とを有する。基板41は、導体層L1を有する。本実施形態の導体層L1は、基板41の軸方向における一方側の端面(表面)に位置する。 FIG. 3 is a plan view of the torque detection sensor 40 viewed in the axial direction. As shown in FIG. 3, the torque detection sensor 40 includes a substrate 41. As shown in FIG. The substrate 41 of this embodiment is a flexible substrate that can be flexibly deformed. The substrate 41 has an annular body portion 411 centered on the central axis 9 and a flap portion 412 that protrudes radially outward from the body portion 411 . The substrate 41 has a conductor layer L1. The conductor layer L1 of this embodiment is located on one end surface (surface) of the substrate 41 in the axial direction.

図3に示すように、導体層L1は、第1抵抗線パターンR1および第2抵抗線パターンR2を含む。後述するように、第1抵抗線パターンR1および第2抵抗線パターンR2は、ホイートストンブリッジ回路42に組み込まれる。別の言い方をすれば、本体部411の表面にホイートストンブリッジ回路42が実装されている。また、信号処理回路43が、フラップ部412に実装されている。 As shown in FIG. 3, the conductor layer L1 includes a first resistance line pattern R1 and a second resistance line pattern R2. As described later, the first resistance line pattern R1 and the second resistance line pattern R2 are incorporated into the Wheatstone bridge circuit 42. In other words, the Wheatstone bridge circuit 42 is mounted on the surface of the main body 411. Further, a signal processing circuit 43 is mounted on the flap section 412.

第1抵抗線パターンR1は、1本の導体が曲折しながら周方向に延びる、全体として円弧状または円環状のパターンである。本実施形態では、中心軸9の周囲の約360°の範囲に、第1抵抗線パターンR1が設けられている。第1抵抗線パターンR1の材料には、例えば、銅または銅を含む合金が用いられる。第1抵抗線パターンR1には、複数の直線状の第1抵抗線r1と、複数の折り返し部位r11とが含まれる。複数の第1抵抗線r1は、互いに略平行な姿勢で、周方向に等間隔に配列される。第1抵抗線パターンR1においては、周方向に隣り合う第1抵抗線r1同士が、半径方向の一方側と他方側とで折り返し部位r11により交互に接続されて、全体として直列に接続されている。各第1抵抗線r1は、基板41の軸方向における一方側から見たときに、フレックスギア20の半径方向に対して、周方向一方側に傾斜している。半径方向に対する第1抵抗線r1の傾斜角度は、例えば45°とされる。 The first resistance wire pattern R1 is an arc-shaped or annular-shaped pattern as a whole, in which one conductor extends in the circumferential direction while bending. In this embodiment, the first resistance line pattern R1 is provided in a range of about 360° around the central axis 9. For example, copper or an alloy containing copper is used as the material of the first resistance line pattern R1. The first resistance line pattern R1 includes a plurality of linear first resistance lines r1 and a plurality of folded portions r11. The plurality of first resistance lines r1 are arranged substantially parallel to each other at equal intervals in the circumferential direction. In the first resistance wire pattern R1, the first resistance wires r1 that are adjacent to each other in the circumferential direction are connected alternately by folded portions r11 on one side and the other side in the radial direction, and are connected in series as a whole. . Each first resistance line r1 is inclined toward one side in the circumferential direction with respect to the radial direction of the flex gear 20 when viewed from one side in the axial direction of the substrate 41. The inclination angle of the first resistance line r1 with respect to the radial direction is, for example, 45°.

第2抵抗線パターンR2は、1本の導体が曲折しながら周方向に延びる、全体として円弧状または円環状のパターンである。本実施形態では、中心軸9の周囲の約360°の範囲に、第2抵抗線パターンR2が設けられている。第2抵抗線パターンR2の材料には、例えば、銅または銅を含む合金が用いられる。第2抵抗線パターンR2は、第1抵抗線パターンR1よりも、半径方向内側に位置する。すなわち、第1抵抗線パターンR1と第2抵抗線パターンR2とは、互いに重ならない位置に配置される。第2抵抗線パターンR2には、複数の直線状の第2抵抗線r2と、複数の折り返し部位r12とが含まれる。複数の第2抵抗線r2は、互いに略平行な姿勢で、周方向に等間隔に配列される。第2抵抗線パターンR2においては、周方向に隣り合う第2抵抗線r2同士が、半径方向の一方側と他方側とで折り返し部位r12により交互に接続されて、全体として直列に接続されている。各第2抵抗線r2は、基板41の軸方向における一方側から見たときに、フレックスギア20の半径方向に対して、周方向他方側に傾斜している。半径方向に対する第2抵抗線r2の傾斜角度は、例えば-45°とされる。 The second resistance wire pattern R2 is an arc-shaped or annular pattern as a whole, in which one conductor extends in the circumferential direction while bending. In this embodiment, the second resistance line pattern R2 is provided in a range of about 360° around the central axis 9. For example, copper or an alloy containing copper is used as the material of the second resistance line pattern R2. The second resistance line pattern R2 is located radially inner than the first resistance line pattern R1. That is, the first resistance line pattern R1 and the second resistance line pattern R2 are arranged at positions that do not overlap with each other. The second resistance line pattern R2 includes a plurality of linear second resistance lines r2 and a plurality of folded portions r12. The plurality of second resistance lines r2 are arranged substantially parallel to each other at equal intervals in the circumferential direction. In the second resistance wire pattern R2, the second resistance wires r2 that are adjacent to each other in the circumferential direction are connected alternately by folded portions r12 on one side and the other side in the radial direction, and are connected in series as a whole. . Each second resistance line r2 is inclined toward the other side in the circumferential direction with respect to the radial direction of the flex gear 20 when viewed from one side in the axial direction of the substrate 41. The inclination angle of the second resistance line r2 with respect to the radial direction is, for example, −45°.

図4は、第1抵抗線パターンR1および第2抵抗線パターンR2を含むホイートストンブリッジ回路42の回路図である。図4に示すように、本実施形態のホイートストンブリッジ回路42は、第1抵抗線パターンR1、第2抵抗線パターンR2、第1固定抵抗Ra、および第2固定抵抗Rbを含む。第1抵抗線パターンR1と第2抵抗線パターンR2とは、直列に接続される。第1固定抵抗Raと第2固定抵抗Rbとは、直列に接続される。そして、電源電圧の+極と-極との間において、2つの抵抗線パターンR1,R2の列と、2つの固定抵抗Ra,Rbの列とが、並列に接続される。また、第1抵抗線パターンR1および第2抵抗線パターンR2の中点M1と、第1固定抵抗Raおよび第2固定抵抗Rbの中点M2とが、電圧計Vに接続される。 FIG. 4 is a circuit diagram of a Wheatstone bridge circuit 42 including a first resistance line pattern R1 and a second resistance line pattern R2. As shown in FIG. 4, the Wheatstone bridge circuit 42 of this embodiment includes a first resistance line pattern R1, a second resistance line pattern R2, a first fixed resistance Ra, and a second fixed resistance Rb. The first resistance line pattern R1 and the second resistance line pattern R2 are connected in series. The first fixed resistance Ra and the second fixed resistance Rb are connected in series. Between the + and -poles of the power supply voltage, two rows of resistance line patterns R1 and R2 and two rows of fixed resistors Ra and Rb are connected in parallel. Further, a midpoint M1 of the first resistance line pattern R1 and the second resistance line pattern R2 and a midpoint M2 of the first fixed resistance Ra and the second fixed resistance Rb are connected to a voltmeter V.

第1抵抗線パターンR1および第2抵抗線パターンR2の各抵抗値は、フレックスギア20に掛かるトルクに応じて変化する。例えば、フレックスギア20に、軸方向の一方側から見たときに、中心軸9を中心として周方向の一方側へ向かうトルクが掛かると、第1抵抗線パターンR1の抵抗値が低下し、第2抵抗線パターンR2の抵抗値が増加する。一方、フレックスギア20に、軸方向の一方側から見たときに、中心軸9を中心として周方向の他方側へ向かうトルクが掛かると、第1抵抗線パターンR1の抵抗値が増加し、第2抵抗線パターンR2の抵抗値が低下する。このように、第1抵抗線パターンR1と第2抵抗線パターンR2とは、トルクに対して互いに逆向きの抵抗値変化を示す。 Each resistance value of the first resistance line pattern R1 and the second resistance line pattern R2 changes depending on the torque applied to the flex gear 20. For example, when the flex gear 20 is subjected to a torque directed toward one side in the circumferential direction around the central axis 9 when viewed from one side in the axial direction, the resistance value of the first resistance line pattern R1 decreases, and the resistance value of the first resistance line pattern R1 decreases. The resistance value of the two resistance line pattern R2 increases. On the other hand, when the flex gear 20 is subjected to a torque directed toward the other side in the circumferential direction around the center axis 9 when viewed from one side in the axial direction, the resistance value of the first resistance line pattern R1 increases, and the resistance value of the first resistance line pattern R1 increases. The resistance value of the two-resistance line pattern R2 decreases. In this way, the first resistance line pattern R1 and the second resistance line pattern R2 exhibit resistance value changes in opposite directions with respect to torque.

そして、第1抵抗線パターンR1および第2抵抗線パターンR2の各抵抗値が変化すると、第1抵抗線パターンR1および第2抵抗線パターンR2の中点M1と、第1固定抵抗Raおよび第2固定抵抗Rbの中点M2との間の電位差が変化するので、電圧計Vの計測値が変化する。したがって、この電圧計Vの計測値に基づいて、フレックスギア20に掛かるトルクの向きおよび大きさを検出することができる。 Then, when the respective resistance values of the first resistance line pattern R1 and the second resistance line pattern R2 change, the midpoint M1 of the first resistance line pattern R1 and the second resistance line pattern R2 and the first fixed resistance Ra and the second resistance line pattern R2 change. Since the potential difference between the fixed resistor Rb and the midpoint M2 changes, the measured value of the voltmeter V changes. Therefore, based on the measured value of this voltmeter V, the direction and magnitude of the torque applied to the flex gear 20 can be detected.

信号処理回路43は、電圧計Vにより計測される中点M1,M2の間の電位差信号に基づいて、フレックスギア20に掛かるトルクを検出するための回路である。別の言い方をすれば、信号処理回路43は、ホイートストンブリッジ回路42の出力信号に基づいて、フレックスギア20に掛かるトルクを検出する。第1抵抗線パターンR1および第2抵抗線パターンR2を含むホイートストンブリッジ回路42は、信号処理回路43と電気的に接続されている。信号処理回路43には、例えば、中点M1,M2の間の電位差を増幅する増幅器や、増幅後の電気信号に基づいて、トルクの向きおよび大きさを算出するための回路が含まれる。検出されたトルクは、有線または無線により信号処理回路43に接続された外部の装置へ出力される。 The signal processing circuit 43 is a circuit for detecting the torque applied to the flex gear 20 based on the potential difference signal between the midpoints M1 and M2 measured by the voltmeter V. In other words, the signal processing circuit 43 detects the torque applied to the flex gear 20 based on the output signal of the Wheatstone bridge circuit 42. The Wheatstone bridge circuit 42 including the first resistance line pattern R1 and the second resistance line pattern R2 is electrically connected to the signal processing circuit 43. The signal processing circuit 43 includes, for example, an amplifier that amplifies the potential difference between midpoints M1 and M2, and a circuit that calculates the direction and magnitude of torque based on the amplified electrical signal. The detected torque is output to an external device connected to the signal processing circuit 43 by wire or wirelessly.

以上のような構成の動力伝達装置1において、フレックスギア20の回転に伴ってダイヤフラム部221は撓み変形を繰り返す。特に、フレックスギア20のダイヤフラム部221の径方向外側の端部、およびダイヤフラム部221の径方向内側の端部において、ダイヤフラム部221は大きく撓む。そのため、仮に、基板41のうち、第1抵抗線パターンR1の半径方向外側の折り返し部位r11、および第2抵抗線パターンR2の半径方向内側の折り返し部位r12を含む部分を、ダイヤフラム部221に完全に固着させた場合、これらの折り返し部位r11,r12にダイレクトにダイヤフラム部221の歪みが伝わり、応力が集中し易い。そのため、当該折り返し部位r11,r12において、断線が生じる虞がある。この点、本実施形態では、折り返し部位r11,r12の断線を防ぐために、トルク検出センサ40をフレックスギア20のダイヤフラム部221に対して、特有の方法で固定している。 In the power transmission device 1 configured as described above, the diaphragm portion 221 repeatedly undergoes bending deformation as the flex gear 20 rotates. In particular, the diaphragm part 221 is largely bent at the radially outer end of the diaphragm part 221 of the flex gear 20 and the radially inner end of the diaphragm part 221. Therefore, it is assumed that the portion of the substrate 41 including the radially outer folded portion r11 of the first resistance wire pattern R1 and the radially inner folded portion r12 of the second resistance wire pattern R2 is completely attached to the diaphragm portion 221. If it is fixed, the strain of the diaphragm portion 221 is directly transmitted to these folded portions r11 and r12, and stress tends to be concentrated thereon. Therefore, there is a possibility that wire breakage may occur at the folding portions r11 and r12. In this regard, in this embodiment, the torque detection sensor 40 is fixed to the diaphragm portion 221 of the flex gear 20 using a unique method in order to prevent disconnection of the folded portions r11 and r12.

<1-3.トルク検出センサのフレックスギアへの固定について>
具体的には、トルク検出センサ40は、固着層45により、フレックスギア20のダイヤフラム部221に固定されている。以下では、この固着層45について詳細に説明する。
<1-3. Regarding fixing the torque detection sensor to the flex gear>
Specifically, the torque detection sensor 40 is fixed to the diaphragm portion 221 of the flex gear 20 by a fixed layer 45. This fixed layer 45 will be explained in detail below.

図5は、第1実施形態に係るトルク検出センサ40の断面図である。図5に示すように、トルク検出センサ40は、固着層45を有する。固着層45は、基板41の本体部411とダイヤフラム部221との間に位置する。本実施形態では、固着層45は、基板41の本体部411の裏面に位置する。固着層45は、軸方向に一定の厚みを有する。本実施形態の固着層45は、両面接着テープである。両面接着テープは、接着力を有する材料がテープ状に成形されて、形状を維持できる程度に硬化されたものである。 FIG. 5 is a sectional view of the torque detection sensor 40 according to the first embodiment. As shown in FIG. 5, the torque detection sensor 40 has a fixed layer 45. As shown in FIG. The fixing layer 45 is located between the main body portion 411 and the diaphragm portion 221 of the substrate 41 . In this embodiment, the fixing layer 45 is located on the back surface of the main body portion 411 of the substrate 41. The fixed layer 45 has a constant thickness in the axial direction. The fixing layer 45 in this embodiment is a double-sided adhesive tape. Double-sided adhesive tape is made of adhesive material that is molded into a tape shape and cured to the extent that it can maintain its shape.

図5に示すように、固着層45は、フレックスギア20を軸方向に見たときに、第1抵抗線パターンR1の径方向外側の折り返し部位r11と、第2抵抗線パターンR2の径方向内側の折り返し部位r12とを避けた領域に位置する。別の言い方をすれば、固着層45は、ダイヤフラム部221の裏面のうち、第1抵抗線パターンR1の径方向外側の折り返し部位r11に対向する領域と、第2抵抗線パターンR2の径方向内側の折り返し部位r12に対向する領域とを除いた全ての領域に位置する。このような構成によれば、第1抵抗線パターンR1の径方向外側の折り返し部位r11と、第2抵抗線パターンR2の径方向内側の折り返し部位r12とに、ダイヤフラム部221の歪みが伝わることを抑制できる。よって、第1抵抗線パターンR1の径方向外側の折り返し部位r11と、第2抵抗線パターンR2の径方向内側の折り返し部位r12とに掛かる応力を低減することができ、抵抗線パターンR1,R2の断線を抑制できる。 As shown in FIG. 5, when the flex gear 20 is viewed in the axial direction, the fixed layer 45 is formed at a folded portion r11 on the radially outer side of the first resistance wire pattern R1 and on the radially inner side of the second resistance wire pattern R2. It is located in an area avoiding the folding part r12. In other words, the fixing layer 45 is formed on the back surface of the diaphragm portion 221 in a region facing the folded portion r11 on the radially outer side of the first resistance wire pattern R1 and on the radially inner side of the second resistance wire pattern R2. It is located in all the areas except the area facing the folding part r12. According to such a configuration, it is possible to prevent the strain of the diaphragm portion 221 from being transmitted to the radially outer folded portion r11 of the first resistance wire pattern R1 and the radially inner folded portion r12 of the second resistance wire pattern R2. It can be suppressed. Therefore, the stress applied to the radially outer folded portion r11 of the first resistance wire pattern R1 and the radially inner folded portion r12 of the second resistance wire pattern R2 can be reduced, and the Disconnection can be suppressed.

一方で、基板41の本体部411のうち、第1抵抗線r1および第2抵抗線r2に対向する領域は、固着層45を介在させてダイヤフラム部221に固定されているため、ダイヤフラム部221の歪みは、第1抵抗線r1および第2抵抗線r2には良好に伝わる。よって、円形体の全周に掛かるトルクを精度よく検出することができる。 On the other hand, the region of the main body portion 411 of the substrate 41 that faces the first resistance wire r1 and the second resistance wire r2 is fixed to the diaphragm portion 221 with the fixing layer 45 interposed therebetween. The strain is well transmitted to the first resistance line r1 and the second resistance line r2. Therefore, the torque applied to the entire circumference of the circular body can be detected with high accuracy.

<1-4.まとめ>
以上に示したように、本実施形態に係るトルク検出センサ40は、基板41と、固着層45とを備える。固着層45は、基板41の本体部411とフレックスギア20との間に位置する。フレックスギア20を軸方向に見たときに、固着層45は、折り返し部位r11,r12を避けた領域に位置する。これにより、抵抗線パターンR1,R2の折り返し部位r11,r12にフレックスギア20の歪みが伝わることを抑制できる。したがって、抵抗線パターンR1,R2の断線を抑制できる。
<1-4. Summary>
As shown above, the torque detection sensor 40 according to this embodiment includes the substrate 41 and the fixed layer 45. The fixed layer 45 is located between the main body portion 411 of the substrate 41 and the flex gear 20. When the flex gear 20 is viewed in the axial direction, the fixed layer 45 is located in a region avoiding the folded portions r11 and r12. Thereby, it is possible to suppress the distortion of the flex gear 20 from being transmitted to the folded portions r11 and r12 of the resistance line patterns R1 and R2. Therefore, disconnection of the resistance wire patterns R1 and R2 can be suppressed.

また、本実施形態に係るトルク検出センサ40においては、固着層45は、軸方向に厚みを有する。これにより、抵抗線パターンR1,R2の折り返し部位r11,r12が、例えば間に空気を介在させてフレックスギア20と対面する。よって、折り返し部位r11,r12にフレックスギア20の歪みが伝わることを抑制できる。その結果、抵抗線パターンR1,R2の断線を抑制できる。 Furthermore, in the torque detection sensor 40 according to this embodiment, the fixed layer 45 has a thickness in the axial direction. As a result, the folded portions r11 and r12 of the resistance wire patterns R1 and R2 face the flex gear 20 with, for example, air interposed therebetween. Therefore, it is possible to suppress the distortion of the flex gear 20 from being transmitted to the folded portions r11 and r12. As a result, disconnection of the resistance wire patterns R1 and R2 can be suppressed.

また、本実施形態に係るトルク検出センサ40においては、固着層45は、両面接着テープである。これにより、容易にフレックスギア20にトルク検出センサ40の基板41を取り付けることができる。 Furthermore, in the torque detection sensor 40 according to this embodiment, the fixing layer 45 is a double-sided adhesive tape. Thereby, the board 41 of the torque detection sensor 40 can be easily attached to the flex gear 20.

また、本実施形態に係るトルク検出センサ40においては、抵抗線パターンR1,R2は、ホイートストンブリッジ回路42に組み込まれる。これにより、ホイートストンブリッジ回路42を用いて、フレックスギア20に掛かるトルクを検出することができる。 Furthermore, in the torque detection sensor 40 according to this embodiment, the resistance wire patterns R1 and R2 are incorporated into the Wheatstone bridge circuit 42. Thereby, the torque applied to the flex gear 20 can be detected using the Wheatstone bridge circuit 42.

さらに、本実施形態に係る動力伝達装置1においては、基板41は、フレックスギア20のダイヤフラム部221に固定される。これにより、フレックスギア20のダイヤフラム部221に掛かるトルクを検出することができる。 Furthermore, in the power transmission device 1 according to the present embodiment, the substrate 41 is fixed to the diaphragm portion 221 of the flex gear 20. Thereby, the torque applied to the diaphragm portion 221 of the flex gear 20 can be detected.

<2.第2実施形態>
以下では、第2実施形態に係る動力伝達装置1について、図6を参照しながら説明する。なお、以下の説明においては、上述した実施形態で示したのと同様の構成・機能の部材については、上述の実施形態で付したのと同一の符号を付し、重複説明を省略する。
<2. Second embodiment>
Below, a power transmission device 1 according to a second embodiment will be described with reference to FIG. 6. In the following description, members having the same configurations and functions as those shown in the above-mentioned embodiment will be denoted by the same reference numerals as in the above-mentioned embodiment, and redundant explanation will be omitted.

図6は、第2実施形態に係るトルク検出センサ240の断面図である。図6に示すように、トルク検出センサ240は、導体層L1を有する基板41と、固着層45と、スペーサ46とを有する。固着層45は、基板41の本体部411とダイヤフラム部221との間に位置する。固着層45は、基板41の裏面に位置する。固着層45は、軸方向に一定の厚みを有する。本実施形態においても、固着層45は、両面接着テープである。 FIG. 6 is a cross-sectional view of the torque detection sensor 240 according to the second embodiment. As shown in FIG. 6, the torque detection sensor 240 includes a substrate 41 having a conductor layer L1, a fixed layer 45, and a spacer 46. The fixing layer 45 is located between the main body portion 411 and the diaphragm portion 221 of the substrate 41 . The fixed layer 45 is located on the back surface of the substrate 41. The fixed layer 45 has a constant thickness in the axial direction. Also in this embodiment, the fixing layer 45 is a double-sided adhesive tape.

スペーサ46は、フレックスギア20を軸方向に見たときに、固着層45が位置しない領域に位置する。詳細には、スペーサ46は、基板41の裏面の、第1抵抗線パターンR1の径方向外側の折り返し部位r11と、第2抵抗線パターンR2の径方向内側の折り返し部位r12とに対向する領域に位置する。スペーサ46は、固着層45の材料よりも低摩擦の材料でできている。スペーサ46は、基板41の裏面に対して固着されていない。 The spacer 46 is located in a region where the fixed layer 45 is not located when the flex gear 20 is viewed in the axial direction. Specifically, the spacer 46 is located in a region of the back surface of the substrate 41 that faces the radially outer folded portion r11 of the first resistance wire pattern R1 and the radially inner folded portion r12 of the second resistance wire pattern R2. To position. The spacer 46 is made of a material with lower friction than the material of the fixed layer 45. The spacer 46 is not fixed to the back surface of the substrate 41.

以上に示したように、本実施形態に係るトルク検出センサ240は、スペーサ46を有する。これにより、基板41のうち、抵抗線パターンR1,R2の折り返し部位r11,r12を含む部分が、例えばスペーサ46に接触する。スペーサ46は、基板41の裏面に対して固着されていない。これにより、フレックスギア20が歪んでも、抵抗線パターンR1,R2の折り返し部位r11,r12は歪み難くなる。よって、折り返し部位r11,r12に無理な応力が掛かることを抑制でき、抵抗線パターンR1,R2の断線を抑制できる。 As shown above, the torque detection sensor 240 according to this embodiment includes the spacer 46. As a result, a portion of the substrate 41 including the folded portions r11 and r12 of the resistance wire patterns R1 and R2 comes into contact with the spacer 46, for example. The spacer 46 is not fixed to the back surface of the substrate 41. Thereby, even if the flex gear 20 is distorted, the folded portions r11 and r12 of the resistance line patterns R1 and R2 are less likely to be distorted. Therefore, it is possible to suppress application of unreasonable stress to the folded parts r11 and r12, and to suppress disconnection of the resistance wire patterns R1 and R2.

<3.第3実施形態>
以下では、第3実施形態に係る動力伝達装置1について、図7を参照しながら説明する。
<3. Third embodiment>
Below, a power transmission device 1 according to a third embodiment will be described with reference to FIG. 7.

図7は、第3実施形態に係るトルク検出センサ340の断面図である。図7に示すように、トルク検出センサ340は、導体層L1を有する基板41と、固着層45と、第2固着層48とを有する。固着層45は、基板41の本体部411とダイヤフラム部221との間に位置する。固着層45は、基板41の本体部411の裏面に位置する。固着層45は、軸方向に一定の厚みを有する。本実施形態の固着層45は、第2固着層48の材料よりも流動性の低い材料でできている。 FIG. 7 is a cross-sectional view of a torque detection sensor 340 according to the third embodiment. As shown in FIG. 7, the torque detection sensor 340 includes a substrate 41 having a conductor layer L1, a fixed layer 45, and a second fixed layer 48. The fixing layer 45 is located between the main body portion 411 and the diaphragm portion 221 of the substrate 41 . The fixing layer 45 is located on the back surface of the main body portion 411 of the substrate 41. The fixed layer 45 has a constant thickness in the axial direction. The fixed layer 45 of this embodiment is made of a material with lower fluidity than the material of the second fixed layer 48.

第2固着層48は、フレックスギア20を軸方向に見たときに、固着層45が位置しない領域に位置する。詳細には、第2固着層48は、基板41の裏面の、第1抵抗線パターンR1の径方向外側の折り返し部位r11と、第2抵抗線パターンR2の径方向内側の折り返し部位r12とに対向する領域に位置する。第2固着層48は、固着層45の材料よりも流動性の高い材料でできている。 The second fixed layer 48 is located in a region where the fixed layer 45 is not located when the flex gear 20 is viewed in the axial direction. Specifically, the second fixing layer 48 faces a radially outer folded portion r11 of the first resistance wire pattern R1 and a radially inner folded portion r12 of the second resistance wire pattern R2 on the back surface of the substrate 41. located in the area where The second fixed layer 48 is made of a material with higher fluidity than the material of the fixed layer 45.

固着層45に比べて、第2固着層48は、ダイヤフラム部221の歪みを基板41へ伝達しにくい。したがって、本実施形態の構造でも、基板41の裏面の全面に固着層45が存在する場合と比べれば、第1抵抗線パターンR1の径方向外側の折り返し部位r11、および第2抵抗線パターンR2の径方向内側の折り返し部位r12への、応力の集中を抑制できる。よって、抵抗線パターンR1,R2の断線を抑制できる。 Compared to the fixed layer 45 , the second fixed layer 48 is less likely to transmit the strain of the diaphragm portion 221 to the substrate 41 . Therefore, even in the structure of this embodiment, compared to the case where the fixed layer 45 is present on the entire back surface of the substrate 41, the folded portion r11 on the radially outer side of the first resistance line pattern R1 and the folded part r11 of the second resistance line pattern R2 are Concentration of stress on the folded portion r12 on the radially inner side can be suppressed. Therefore, disconnection of the resistance wire patterns R1 and R2 can be suppressed.

<4.変形例>
以下では、変形例に係る動力伝達装置1について、図8を参照しながら説明する。
<4. Modified example>
Hereinafter, a power transmission device 1 according to a modification will be described with reference to FIG. 8.

図8は、変形例に係るトルク検出センサ440の断面図である。図8に示すように、トルク検出センサ440は、導体層L1を有する基板41と、固着層49とを有する。固着層49は、基板41の本体部411とダイヤフラム部221との間に位置する。固着層49は、基板41の本体部411の裏面の一部に位置する。固着層49は、軸方向に一定の厚みを有する。 FIG. 8 is a cross-sectional view of a torque detection sensor 440 according to a modification. As shown in FIG. 8, the torque detection sensor 440 includes a substrate 41 having a conductor layer L1 and a fixed layer 49. The fixed layer 49 is located between the main body portion 411 and the diaphragm portion 221 of the substrate 41 . The fixing layer 49 is located on a part of the back surface of the main body portion 411 of the substrate 41 . The fixed layer 49 has a constant thickness in the axial direction.

固着層49を挟んで基板41の本体部411とは反対側には、フレックスギア20のダイヤフラム部221が位置する。ダイヤフラム部221の半径方向の幅は、固着層49の半径方向の幅と略等しい。一方、導体層L1および本体部411の半径方向の幅は、ダイヤフラム部221および固着層49の半径方向の幅よりも長い。詳細には、基板41の本体部411の裏面には、第1抵抗線パターンR1の半径方向外側の折り返し部位r11に対向する領域と、第2抵抗線パターンR2の半径方向内側の折り返し部位r12に対向する領域とが半径方向にはみ出た状態で、固着層49が接着される。一方で、基板41の本体部411の裏面の、第1抵抗線r1および第2抵抗線r2に対向する領域と、第1抵抗線パターンR1の半径方向内側の折り返し部位r11に対向する領域と、第2抵抗線パターンR2の半径方向外側の折り返し部位r12に対向する領域とには、固着層49が接着される。 The diaphragm portion 221 of the flex gear 20 is located on the opposite side of the substrate 41 from the main body portion 411 with the fixed layer 49 in between. The radial width of the diaphragm portion 221 is approximately equal to the radial width of the fixed layer 49. On the other hand, the radial widths of the conductor layer L1 and the main body portion 411 are longer than the radial widths of the diaphragm portion 221 and the fixed layer 49. Specifically, on the back surface of the main body portion 411 of the substrate 41, there is a region opposite to the radially outer folded portion r11 of the first resistance wire pattern R1, and a region opposite to the radially inner folded portion r12 of the second resistance wire pattern R2. The fixing layer 49 is bonded with the opposing region protruding in the radial direction. On the other hand, a region on the back surface of the main body portion 411 of the substrate 41 that faces the first resistance wire r1 and the second resistance wire r2, and a region that faces the radially inner folded portion r11 of the first resistance wire pattern R1; A fixing layer 49 is bonded to a region of the second resistance line pattern R2 facing the folded portion r12 on the outside in the radial direction.

これにより、導体層L1のうちトルク検出のセンシング部に相当する領域は、本体部411および固着層49を介して、ダイヤフラム部221に固定される。一方、導体層L1のうち、仮にダイヤフラム部221に固着すると応力が集中し易い第1抵抗線パターンR1の半径方向外側の折り返し部位r11と、第2抵抗線パターンR2の半径方向内側の折り返し部位r12とは、ダイヤフラム部221には固定されていない。その結果、第1抵抗線パターンR1の半径方向外側の折り返し部位r11、および、第2抵抗線パターンR2の半径方向内側の折り返し部位r12で、断線が生じてしまうのを抑制することができる。 As a result, a region of the conductor layer L1 corresponding to the sensing section for torque detection is fixed to the diaphragm section 221 via the main body section 411 and the fixing layer 49. On the other hand, in the conductor layer L1, a folded part r11 on the radially outer side of the first resistance line pattern R1 where stress tends to concentrate if it is fixed to the diaphragm part 221, and a folded part r12 on the radially inner side of the second resistance line pattern R2. This means that it is not fixed to the diaphragm portion 221. As a result, it is possible to prevent wire breakage from occurring at the radially outer folded portion r11 of the first resistance wire pattern R1 and the radially inner folded portion r12 of the second resistance wire pattern R2.

<5.その他の変形例>
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、上記の実施形態には限定されない。
<5. Other variations>
Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above embodiments.

上記の実施形態では、固着層45,49は、軸方向に厚みを有していた。しかしながら、これに限らず、固着層が軸方向に厚みを有していなくてもよい。その場合でも、基板の裏面の折り返し部位に対応する領域が、ダイヤフラム部に固定されていなければ、折り返し部位にダイヤフラム部の歪みがダイレクトに伝わることを抑制できる。その結果、抵抗線パターンの断線を抑制できる。 In the embodiments described above, the fixed layers 45 and 49 had a thickness in the axial direction. However, the present invention is not limited to this, and the fixed layer may not have a thickness in the axial direction. Even in that case, if the region corresponding to the folded portion on the back surface of the substrate is not fixed to the diaphragm portion, it is possible to suppress the distortion of the diaphragm portion from being directly transmitted to the folded portion. As a result, disconnection of the resistance wire pattern can be suppressed.

上記の実施形態のフレックスギア20では、ダイヤフラム部221が、筒状部21の基端部から半径方向外側へ向けて広がっていた。しかしながら、ダイヤフラム部221は、筒状部21の基端部から半径方向内側へ向けて広がるものであってもよい。 In the flex gear 20 of the above embodiment, the diaphragm portion 221 spreads outward in the radial direction from the base end of the cylindrical portion 21 . However, the diaphragm portion 221 may widen radially inward from the base end of the cylindrical portion 21.

また、上記の実施形態では、トルク検出の対象物が、フレックスギア20であった。しかしながら、上記実施形態と同等の構造を有するトルク検出センサ40を、フレックスギア20以外の円形体に掛かるトルクを検出するために、用いてもよい。 Further, in the above embodiment, the object of torque detection is the flex gear 20. However, the torque detection sensor 40 having the same structure as the embodiment described above may be used to detect torque applied to a circular body other than the flex gear 20.

上記の実施形態の抵抗線パターンは、全て、円形体のトルクを検出するために用いられる抵抗線パターンである。これらの抵抗線パターンの数や位置は、適宜に設計変更可能である。その他、トルク検出センサおよび動力伝達装置の細部の構成についても、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、適宜に変更してもよい。また、上記の各実施形態および各変型例に登場した要素を、矛盾が生じない範囲で、適宜に組み合わせてもよい。 The resistance wire patterns of the above embodiments are all resistance wire patterns used to detect the torque of a circular body. The number and position of these resistance wire patterns can be changed as appropriate. In addition, the detailed configurations of the torque detection sensor and the power transmission device may be changed as appropriate without departing from the spirit of the present invention. Further, the elements appearing in each of the above-described embodiments and modifications may be combined as appropriate to the extent that no contradiction occurs.

本願は、トルク検出センサおよび動力伝達装置に利用できる。 INDUSTRIAL APPLICATION This application can be utilized for a torque detection sensor and a power transmission device.

1 動力伝達装置
9 中心軸
10 インタナルギア
11 内歯
20 フレックスギア(円形体)
21 筒状部
22 平板部
23 外歯
30 波動発生器
31 カム
32 可撓性軸受
40 トルク検出センサ
41 基板
42 ホイートストンブリッジ回路
43 信号処理回路
45 固着層
221 ダイヤフラム部
222 肉厚部
411 本体部
412 フラップ部
L1 導体層
R1 第1抵抗線パターン
R2 第2抵抗線パターン
r1 抵抗線
r11 折り返し部位
r12 折り返し部位
r2 第2抵抗線

1 Power transmission device 9 Central shaft 10 Internal gear 11 Internal teeth 20 Flex gear (circular body)
21 Cylindrical part 22 Flat plate part 23 External tooth 30 Wave generator 31 Cam 32 Flexible bearing 40 Torque detection sensor 41 Substrate 42 Wheatstone bridge circuit 43 Signal processing circuit 45 Fixed layer 221 Diaphragm part 222 Thick part 411 Main body part 412 Flap Part L1 Conductor layer R1 First resistance wire pattern R2 Second resistance wire pattern r1 Resistance wire r11 Folded portion r12 Folded portion r2 Second resistance wire

Claims (9)

円形体に掛かるトルクを検出するトルク検出センサであって、
導体層を有する基板と、
前記基板と前記円形体との間に位置する固着層と、
を備え、
前記導体層は、円弧状または円環状の第1抵抗線パターンと、円弧状または円環状の第2抵抗線パターンと、を含み、
前記第2抵抗線パターンは前記第1抵抗線パターンよりも半径方向内側に位置し、
前記第1抵抗線パターンおよび前記第2抵抗線パターンは、それぞれ
前記円形体の半径方向に対して周方向一方側に一定角度傾斜した複数の抵抗線と、
前記複数の抵抗線の端部同士を接続する複数の折り返し部位と、
を含み、
前記複数の抵抗線が、周方向に等間隔に配列されて、前記周方向に隣り合う前記抵抗線の端部同士が、前記半径方向の両側で交互に前記折り返し部位により接続されて、全体として直列に接続され、
前記円形体を軸方向に見たときに、前記固着層は、前記第1抵抗線パターンの半径方向外側の前記折り返し部位と、前記第2抵抗線パターンの半径方向内側の前記折り返し部位とを避けた領域に位置する、トルク検出センサ。
A torque detection sensor that detects torque applied to a circular body,
a substrate having a conductor layer;
a fixing layer located between the substrate and the circular body;
Equipped with
The conductor layer includes an arcuate or annular first resistance wire pattern, and an arcuate or annular second resistance wire pattern,
The second resistance line pattern is located radially inner than the first resistance line pattern,
The first resistance wire pattern and the second resistance wire pattern each include a plurality of resistance wires inclined at a certain angle toward one side in the circumferential direction with respect to the radial direction of the circular body;
a plurality of folded parts connecting the ends of the plurality of resistance wires;
including;
The plurality of resistance wires are arranged at equal intervals in the circumferential direction, and the ends of the resistance wires adjacent to each other in the circumferential direction are alternately connected by the folded portions on both sides in the radial direction, and as a whole. connected in series,
When the circular body is viewed in the axial direction, the fixing layer avoids the folded portion on the radially outer side of the first resistance wire pattern and the folded portion on the radially inner side of the second resistance wire pattern. Torque detection sensor located in the area.
請求項1に記載のトルク検出センサであって、
前記固着層は、前記軸方向に厚みを有する、トルク検出センサ。
The torque detection sensor according to claim 1,
In the torque detection sensor, the fixed layer has a thickness in the axial direction.
請求項1または請求項2に記載のトルク検出センサであって、
前記基板と前記円形体との間であって、前記円形体を軸方向にみたときに、前記固着層が位置しない領域に、スペーサが位置し、
前記スペーサは前記基板に対して固着されていない、トルク検出センサ。
The torque detection sensor according to claim 1 or 2,
A spacer is located between the substrate and the circular body in a region where the fixed layer is not located when the circular body is viewed in the axial direction,
A torque detection sensor in which the spacer is not fixed to the substrate.
請求項1から請求項までのいずれか1項に記載のトルク検出センサであって、
前記固着層は、両面接着テープである、トルク検出センサ。
The torque detection sensor according to any one of claims 1 to 3 ,
In the torque detection sensor, the fixing layer is a double-sided adhesive tape.
請求項1から請求項までのいずれか1項に記載のトルク検出センサであって、
前記第1抵抗線パターンおよび前記第2抵抗線パターンは、ホイートストンブリッジ回路に組み込まれる、トルク検出センサ。
The torque detection sensor according to any one of claims 1 to 4 ,
A torque detection sensor in which the first resistance wire pattern and the second resistance wire pattern are incorporated into a Wheatstone bridge circuit.
請求項に記載のトルク検出センサであって、
前記ホイートストンブリッジ回路の出力信号に基づいて、前記円形体に掛かるトルクを検出する信号処理回路
を備える、トルク検出センサ。
The torque detection sensor according to claim 5 ,
A torque detection sensor comprising a signal processing circuit that detects torque applied to the circular body based on an output signal of the Wheatstone bridge circuit.
円形体に掛かるトルクを検出するトルク検出センサであって、
導体層を有する基板と、
前記基板と前記円形体との間に位置する、固着層および第2固着層と、
を備え、
前記導体層は、円弧状または円環状の第1抵抗線パターンと、円弧状または円環状の第2抵抗線パターンと、を含み、
前記第2抵抗線パターンは前記第1抵抗線パターンよりも半径方向内側に位置し、
前記第1抵抗線パターンおよび前記第2抵抗線パターンは、それぞれ
前記円形体の半径方向に対して周方向一方側に一定角度傾斜した複数の抵抗線と、
前記複数の抵抗線の端部同士を接続する複数の折り返し部位と、
を含み、
前記複数の抵抗線が、周方向に等間隔に配列されて、前記周方向に隣り合う前記抵抗線の端部同士が、前記半径方向の両側で交互に前記折り返し部位により接続されて、全体として直列に接続され、
前記円形体を軸方向に見たときに、前記固着層は、前記第1抵抗線パターンの半径方向外側の前記折り返し部位と、前記第2抵抗線パターンの半径方向内側の前記折り返し部位とを避けた領域に位置し、
前記円形体を軸方向に見たときに、前記第2固着層は、前記第1抵抗線パターンの半径方向外側の前記折り返し部位と、前記第2抵抗線パターンの半径方向内側の前記折り返し部位とに対向する領域に位置し、
前記第2固着層は、前記固着層よりも流動性が高い、トルク検出センサ。
A torque detection sensor that detects torque applied to a circular body,
a substrate having a conductor layer;
a fixed layer and a second fixed layer located between the substrate and the circular body;
Equipped with
The conductor layer includes an arcuate or annular first resistance wire pattern, and an arcuate or annular second resistance wire pattern,
The second resistance line pattern is located radially inner than the first resistance line pattern,
The first resistance wire pattern and the second resistance wire pattern each include a plurality of resistance wires inclined at a certain angle toward one side in the circumferential direction with respect to the radial direction of the circular body;
a plurality of folded parts connecting the ends of the plurality of resistance wires;
including;
The plurality of resistance wires are arranged at equal intervals in the circumferential direction, and the ends of the resistance wires adjacent to each other in the circumferential direction are alternately connected by the folded portions on both sides in the radial direction, and as a whole. connected in series,
When the circular body is viewed in the axial direction, the fixing layer avoids the folded portion on the radially outer side of the first resistance wire pattern and the folded portion on the radially inner side of the second resistance wire pattern. located in the area
When the circular body is viewed in the axial direction, the second fixed layer includes the folded portion on the outside in the radial direction of the first resistance wire pattern and the folded portion on the inside in the radial direction of the second resistance wire pattern. Located in an area opposite to
In the torque detection sensor, the second fixed layer has higher fluidity than the fixed layer .
請求項1から請求項7までのいずれか1項に記載のトルク検出センサと、
前記円形体と、
を有する動力伝達装置。
The torque detection sensor according to any one of claims 1 to 7;
the circular body;
A power transmission device with
請求項8に記載の動力伝達装置であって、
前記円形体は、
軸方向に筒状に延びる可撓性の筒状部と、
前記筒状部の外周面に設けられた複数の外歯と、
前記筒状部の軸方向の一方側から半径方向外側または半径方向内側へ向けて広がる平板状のダイヤフラム部と、
を有し、
前記基板は、前記ダイヤフラム部に固定される、動力伝達装置。
The power transmission device according to claim 8,
The circular body is
a flexible cylindrical portion extending in a cylindrical shape in the axial direction;
a plurality of external teeth provided on the outer peripheral surface of the cylindrical part;
a flat diaphragm portion that expands from one axial side of the cylindrical portion toward the radially outer side or the radially inner side;
has
The power transmission device, wherein the substrate is fixed to the diaphragm part.
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