JP7379118B2 - 液体吐出装置、インプリント装置、および物品の製造方法 - Google Patents
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims description 171
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 11
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 claims description 56
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 36
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 9
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 17
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 description 13
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 5
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 2
- 239000005871 repellent Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
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- Coating Apparatus (AREA)
- Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
第1実施形態では、吐出口から液体(レジスト)を基板に吐出する液体吐出装置を説明する。本実施形態の液体吐出装置は、インプリント装置に用いられる。また、液体吐出装置は、インクジェット方式で液体(液滴)を吐出する。本実施形態では、液体吐出パターンに対応させた駆動パルスを吐出ヘッドの吐出口内に配された圧電素子に供給し、圧電素子を変形させることで液体を吐出させる。形成するパターンに応じた多数の液滴が複数の吐出口から基板に吐出されることにより、基板上に所望のドットパターンが形成される。吐出ヘッドは、ドットパターン形成時に基板と非接触であるので、基板を汚損させることがなく、安定したインプリントが行われる。
図4は、本実施形態の液体吐出装置1を示す断面図である。本実施形態の液体吐出装置1は、第1実施形態の液体吐出装置1と比較して、吸収体16を吸引口12に設けた点が異なる。また、本実施形態の吸引口12は、昇降機構によって吸収体16を上昇させたり下降させたりすることが可能である。その他の構成は、第1実施形態と同様であるため説明を省略する。
図5は、本実施形態のインプリント装置51の構成を示す断面図である。第1実施形態および第2実施形態の液体吐出装置1もまた、インプリント装置に用いられ得る装置であるが、本実施形態では、インプリント装置のより詳細な構成も説明する。また、本実施形態のインプリント装置51は、ヘッドユニット7(吐出ヘッド)を搬送するヘッド搬送ユニットを支持する支持部に、吸引ユニット15を支持する吸引ユニット支持部を設ける例を説明する。
移動させた状態の図である。ヘッド搬送ユニット支持部63に吸引ユニット支持部60を取り付けて、吸引ユニット支持部60に吸引ユニット15を設置することで、ヘッドユニット7と吸引ユニット15との間の位置関係のずれを小さくすることが可能となる。即ち、吸引ユニット15とヘッドユニット7とは、同じ支持部を通じて移動可能に構成されている。これにより、吐出口面4におけるレジスト残滴をより確実に除去可能となる。その他の構成は、第1実施形態にて図1および図2(a)から図2(d)を用いて行なったものと同様であるので省略する。
図7は、本実施形態の液体吐出装置1の構成を示す断面図である。尚、図7では示していないが、前述の実施形態で説明したように、吸引ユニット15を備える構成としてよい。本実施形態では、吐出時の場合、または、待機時にヘッドユニット7が基板9の真上に位置している場合を想定する。
以上説明した液体吐出装置1またはインプリント装置51を用いて物品を製造することができる。物品としてデバイスを製造することができる。デバイス(半導体集積回路素子、液晶表示素子等)製造方法は、上述した液体吐出装置1またはインプリント装置51を用いて、基板(ウェハー、ガラスプレート、フィルム状基板)にパターンを形成する工程を含む。さらに、該デバイス製造方法は、パターンを形成された基板をエッチングする工程を含みうる。なお、パターンドメディア(記録媒体)または光学素子などの他の物品を製造する場合には、該製造方法は、エッチングの代わりに、パターンを形成された基板を加工する他の処理を含みうる。本実施形態の物品製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも一つで有利である。
2 吐出ヘッド
4 吐出口面
9 基板
15 吸引ユニット
16 吸収体
Claims (15)
- 液体を吐出する吐出口が設けられた吐出口面を有する吐出ヘッドと、
吸引口を有し、前記吸引口を前記吐出口面から離間した状態で吸引を行う吸引ユニットと、
前記吸引ユニットに前記状態で吸引をさせながら、前記吸引口が前記吐出口に対向した位置を通過するように、前記吸引ユニットを移動させる制御を行う制御手段と、
を有する液体吐出装置であって、
前記吸引ユニットは、液体を吸収する吸収体を有し、
前記制御手段は、前記吸収体を前記吐出口面から離間した状態で前記吸引ユニットを移動させる前記制御を行った後に、前記吸収体を前記吐出口面に当接させることを特徴とする液体吐出装置。 - 前記吐出口面は、撥液性を有しており、
前記吸収体は、親液性を有していることを特徴とする、請求項1に記載の液体吐出装置。 - 前記吸収体は、多孔質体で構成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の液体吐出装置。
- 前記吸収体は、櫛歯状部材により構成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の液体吐出装置。
- 前記吸収体は、前記吸引口とは異なる位置に配されていることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の液体吐出装置。
- 前記吸収体は、前記吸引口に配されていることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の液体吐出装置。
- 前記吸引ユニットは、前記吸収体を昇降させる昇降機構を有することを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の液体吐出装置。
- 前記制御手段は、吸引を停止したときの前記吸引口の位置に対応する前記吐出口面の位置に、前記吸収体を当接させることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の液体吐出装置。
- 前記吸引ユニットは、前記吐出口から加圧排出された液体を受ける液体受け部をさらに有し、
前記制御手段は、前記液体受け部で液体を回収した後に、前記状態で吸引を行っている前記吸引ユニットを移動させ、前記吸引ユニットが吸引を停止した後に、前記吸収体を前記吐出口面に当接させることを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載の液体吐出装置。 - 前記液体受け部は、加圧排出させた液体を回収するための第二の吸引口を有することを特徴とする請求項9に記載の液体吐出装置。
- 前記吸引ユニットと前記吐出ヘッドとは、同じ支持部を通じて移動可能に構成されていることを特徴とする請求項1から10のいずれか一項に記載の液体吐出装置。
- 前記吐出口面の外周部に親液性の膜が設けられていることを特徴とする請求項1から11のいずれか一項に記載の液体吐出装置。
- 液体が吐出される基板と前記吐出口面との距離は、500um以下であることを特徴とする請求項12に記載の液体吐出装置。
- 請求項1から13のいずれか一項に記載の液体吐出装置を用いて、液体としてレジストを基板上に塗布し、
凹凸パターンが形成されたモールドを前記基板上に塗布されたレジストに接触させ、レジストを硬化させて凹凸パターンを形成することを特徴とするインプリント装置。 - 物品を製造する物品の製造方法であって、請求項14に記載のインプリント装置を用いてインプリントを行う工程と、インプリントがなされた基板を処理する工程と、を含むことを特徴とする物品の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019215215A JP7379118B2 (ja) | 2019-11-28 | 2019-11-28 | 液体吐出装置、インプリント装置、および物品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019215215A JP7379118B2 (ja) | 2019-11-28 | 2019-11-28 | 液体吐出装置、インプリント装置、および物品の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021086936A JP2021086936A (ja) | 2021-06-03 |
JP7379118B2 true JP7379118B2 (ja) | 2023-11-14 |
Family
ID=76088429
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019215215A Active JP7379118B2 (ja) | 2019-11-28 | 2019-11-28 | 液体吐出装置、インプリント装置、および物品の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7379118B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7484814B2 (ja) | 2021-05-24 | 2024-05-16 | 株式会社デンソー | 車両用電子制御装置及び更新プログラム |
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JP2016215544A (ja) | 2015-05-22 | 2016-12-22 | キヤノン株式会社 | 液体吐出装置、インプリント装置および部品の製造方法 |
JP2019102735A (ja) | 2017-12-06 | 2019-06-24 | キヤノン株式会社 | インプリント方法、インプリント装置及び物品の製造方法 |
-
2019
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Patent Citations (8)
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---|---|---|---|---|
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JP2019102735A (ja) | 2017-12-06 | 2019-06-24 | キヤノン株式会社 | インプリント方法、インプリント装置及び物品の製造方法 |
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