JP7377221B2 - 干渉測定装置のビーム配向ユニットのためのアラインメント方法及びレーザ照射を用いて干渉測定を実施するための測定装置 - Google Patents
干渉測定装置のビーム配向ユニットのためのアラインメント方法及びレーザ照射を用いて干渉測定を実施するための測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7377221B2 JP7377221B2 JP2020569740A JP2020569740A JP7377221B2 JP 7377221 B2 JP7377221 B2 JP 7377221B2 JP 2020569740 A JP2020569740 A JP 2020569740A JP 2020569740 A JP2020569740 A JP 2020569740A JP 7377221 B2 JP7377221 B2 JP 7377221B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measurement
- alignment
- alignment point
- unit
- point
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 title claims description 347
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 247
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 129
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 claims description 21
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 16
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 238000003909 pattern recognition Methods 0.000 claims description 2
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 20
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 7
- 230000006870 function Effects 0.000 description 7
- 238000004422 calculation algorithm Methods 0.000 description 6
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 6
- 230000004807 localization Effects 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 5
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 4
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 4
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 3
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 3
- 229940064452 artec Drugs 0.000 description 2
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 2
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 238000012567 pattern recognition method Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 241000239290 Araneae Species 0.000 description 1
- 108091081062 Repeated sequence (DNA) Proteins 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000007630 basic procedure Methods 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 238000010191 image analysis Methods 0.000 description 1
- 238000003703 image analysis method Methods 0.000 description 1
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000005305 interferometry Methods 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012067 mathematical method Methods 0.000 description 1
- 238000013178 mathematical model Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000010845 search algorithm Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 241000894007 species Species 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000000844 transformation Methods 0.000 description 1
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 1
- 230000014616 translation Effects 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02055—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration
- G01B9/02062—Active error reduction, i.e. varying with time
- G01B9/02067—Active error reduction, i.e. varying with time by electronic control systems, i.e. using feedback acting on optics or light
- G01B9/02068—Auto-alignment of optical elements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H9/00—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by using radiation-sensitive means, e.g. optical means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/16—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge
- G01B11/161—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge by interferometric means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/2441—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures using interferometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C15/00—Surveying instruments or accessories not provided for in groups G01C1/00 - G01C13/00
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/02—Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
- G01S17/50—Systems of measurement based on relative movement of target
- G01S17/58—Velocity or trajectory determination systems; Sense-of-movement determination systems
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/87—Combinations of systems using electromagnetic waves other than radio waves
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/88—Lidar systems specially adapted for specific applications
- G01S17/89—Lidar systems specially adapted for specific applications for mapping or imaging
- G01S17/894—3D imaging with simultaneous measurement of time-of-flight at a 2D array of receiver pixels, e.g. time-of-flight cameras or flash lidar
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
方法ステップAにおいて当該可動式の撮像ユニット6を用いて当該車両4aの後部領域の複数の空間分解画像の撮影が実施される。このためユーザは自動的に複数の空間分解画像が撮影される間、当該車両4aの後部領域の周りで当該可動式の撮像ユニット6を移動させる。前述の通り当該複数の空間分解画像の撮影の間、当該可動式の撮像ユニット6はストライプ投射の原理に従って各ストライプパターンを生成するため、それ自体公知である形で方法ステップBにおいて当該制御ユニット5を用いて写真測量によって少なくとも当該車両4aの後部領域を含む三次元モデルが作成される。当該三次元モデルは、当該領域の構造形状を再現する、各三角形からなる多角形メッシュを有する。
本発明による方法の第二の実施例は、当該各アラインメント点画像及び当該三次元モデルを用いて当該各アラインメント点の当該各位置座標を決定する際のより高い精度を可能にする。出願人の調査により測定アイテムの表面によっては当該固定式の撮像ユニット7の空間分解画像の各画素に各位置座標を割り当てる際にエラーが生じることが判明した。一つの原因としては、当該固定式の撮像ユニット7の画像と当該三次元モデルとの比較を可能にする、視覚的に特色のある構造が不在であることである。特に高低差がわずかである、特有の縁を有しない及び/又は色差を有しないような各表面の場合、当該固定式の撮像ユニット7の各空間分解画像の各画素に対する当該三次元モデルにおける各位置座標の割り当てにおいて誤差が生じ得る。
本発明による方法の第三の実施例は、概ね当該第二の実施例に相当するが、前述の両実施例からは当該固定式の撮像ユニット7の使用が必要ではない点で異なる:
2 ビーム配向ユニット
2a ビーム出口
3 測定ビーム
4、4a 測定対象物
5 制御ユニット
6 可動式の撮像ユニット
7 固定式の撮像ユニット
8 レンズ
9 距離計
10 カラーカメラ
11 白黒カメラ
12 ストライプ投射ユニット
13 偏向ユニット
Claims (23)
- 測定対象物(4)の複数の測定点に対してレーザ光源のレーザビームを配向するための、干渉測定装置のビーム配向ユニット(2)のためのアラインメント方法であって、
以下の方法ステップ
A)異なるパースから前記測定対象物(4)の少なくとも一つの測定面の複数の空間分解画像を撮像するステップ、
B)前記測定面の前記複数の空間分解画像を用いて前記測定対象物(4)の少なくとも前記測定面の三次元モデルを作成するステップ、
C)それぞれのアラインメント点について前記ビーム配向ユニット(2)の各制御パラメータを事前定義することにより前記ビーム配向ユニット(2)を用いて前記測定面上の少なくとも三つの位置が異なるアラインメント点に前記レーザビームを配向するステップ、
D)それぞれの前記アラインメント点が少なくとも一つのアラインメント点画像において取得されるように一つ又は複数の空間分解アラインメント点画像を取得するステップ、
E)前記各アラインメント点画像と前記三次元モデル及び/又は前記三次元モデルの基となる前記各空間分解画像を用いて前記三次元モデルの各位置座標を前記少なくとも三つのアラインメント点のそれぞれに割り当てるステップ、
F)前記各アラインメント点の各位置座標とそれぞれ割り当てられた前記各制御パラメータとに応じて割当規定を決定することにより前記ビーム配向ユニット(2)のアラインメントを実施することで前記割当規定を用いて前記レーザビームが入射可能な前記測定面上の測定点に対応する、前記ビーム配向ユニット(2)のための各制御パラメータを割り当てるステップ、
を含む方法。 - 前記方法ステップDにおいて少なくとも一つのアラインメント点について前記レーザビームが前記アラインメント点に入射する間に少なくとも一つのアラインメント点画像が取得されることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- それぞれの前記アラインメント点についてアラインメント点画像が取得され、前記各アラインメント点画像を取得する際に前記ビーム配向ユニットが前記レーザビームを前記測定対象物の様々な各点へと移動させる請求項2に記載の方法。
- 前記方法ステップEにおいて前記三次元モデルの前記各位置座標の前記少なくとも三つのアラインメント点のそれぞれへの割り当てが少なくとも一つの対応する空間分解アラインメント点画像又は前記測定面の前記三次元モデルにおける、それぞれのアラインメント点の各位置の位置確認によって実施されることを特徴とする、請求項1~3の何れか一項に記載の方法。
- 前記方法ステップFにおいてさらに前記レーザビームが前記測定面上のそれぞれの測定点が入射するそれぞれのビーム方向が決定されることを特徴とする、請求項1から4のいずれか一つに記載の方法。
- 前記方法ステップDにおいてそれぞれのアラインメント点について異なるパースからの少なくとも二つのアラインメント点画像が取得されることを特徴とする、請求項1から5のいずれか一つに記載の方法。
- 前記方法ステップDが前記方法ステップAと一体化されている、請求項6に記載の方法。
- 前記測定対象物(4)に対して同一の位置及び同一のパースから取得される複数のアラインメント点画像が撮影されることを特徴とする、請求項1から7のいずれか一つに記載の方法。
- 前記各アラインメント点画像が前記ビーム配向ユニット(2)に対して固定式に配置された撮像ユニット(7)によって取得される、請求項8に記載の方法。
- 前記各アラインメント点画像と前記三次元モデルに基づいて少なくとも一つのアラインメント点画像の各画素に対する前記三次元モデルの各位置座標の割り当てが実施されることを特徴とする、請求項8に記載の方法。
- 前記方法ステップCにおいて前記測定面における前記少なくとも三つのアラインメント点が事前定義され、前記レーザビームが前記ビーム配向ユニット(2)によって自動的に前記三つのアラインメント点のそれぞれに配向されることを特徴とする、請求項1から10のいずれか一つに記載の方法。
- 前記レーザビームが前記アラインメント点のそれぞれに入射する間に前記アラインメント点のそれぞれについてアラインメント点画像を撮影する、請求項11に記載の方法。
- 前記事前定義は、前記測定面の空間分解画像における選択によって実施されることを特徴とする、請求項11に記載の方法。
- 前記事前定義は、前記一つ又は複数のアラインメント点画像のパースから取得される前記測定面の空間分解画像における手動選択によって実施される、請求項13に記載の方法。
- 前記方法ステップAの前に方法ステップA0において前記測定面上に少なくとも三つの視覚的なアラインメント点印が付与されることを特徴とする、請求項1から14のいずれか一つに記載の方法。
- 前記方法ステップEにおいて前記各アラインメント点への各位置座標の割り当てが自動パターン認識によって実施され、前記方法ステップCにおいて前記アラインメント点のそれぞれについてアラインメント点画像を取得するために前記ビーム配向ユニット(2)によって前記レーザビームが前記三つのアラインメント点のそれぞれに対して自動的に配向される、請求項15に記載の方法。
- 前記測定面上の事前定義された測定点について前記レーザビームの入射角及び/又は入射方向が決定されることを特徴とする、請求項1から16のいずれか一つに記載の方法。
- 前記方法ステップBにおいて前記三次元モデルが写真測量によって作成されることを特徴とする、請求項1から17のいずれか一つに記載の方法。
- 前記レーザビームは、測定ビーム(3)として前記ビーム配向ユニット(2)によって前記測定対象物(4)上の事前定義された測定点へと配向され、前記測定対象物(4)によって反射及び/又は分散された前記測定ビーム(3)は前記ビーム配向ユニット(2)を再び通って光干渉を形成するための基準ビームと重畳されることを特徴とする、請求項1から18のいずれか一つに記載の方法。
- 前記光干渉を評価することによって前記測定対象物(4)の各振動データを演算し、ビーム光源によって元のビームが生成されて前記元のビームがビームスプリッタによって少なくとも前記測定ビームと少なくとも前記基準ビームとに分割される、請求項19に記載の方法。
- 前記各方法ステップC、D及びFは、それぞれレーザ光源とビーム配向ユニット(2)とを有する複数の測定ヘッドについて実施されることを特徴とする、請求項1から20のいずれか一つに記載の方法。
- レーザ照射によって干渉測定を実施するための測定装置であって、
測定ビームとして少なくとも一つのレーザビームと少なくとも基準ビームとを生成するための一つ又は複数のレーザ光源と、検出器と、前記検出器の各測定信号を評価するために前記検出器と連結している評価ユニットと、ビーム配向ユニット(2)とを有し、前記測定装置は、前記測定ビームを前記ビーム配向ユニットによって測定対象物(4)上の複数の位置が異なる測定点に配向し、少なくとも部分的に前記測定対象物によって反射及び/又は分散された前記測定ビームを前記検出器の検出面上において前記基準ビームと重畳することで前記検出器によって前記測定ビームと前記基準ビームとの間の重畳信号又は干渉信号が測定可能になるように形成されている測定装置において、
前記測定装置は、異なるパースから前記測定対象物(4)の少なくとも一つの測定面の複数の空間分解画像を撮影するための少なくとも一つの撮像ユニット(6)を有し、前記測定装置は、制御ユニット(5)を有し、当該制御ユニットは前記測定面の前記複数の空間分解画像によって前記測定対象物(4)の少なくとも前記測定面の三次元モデルを作成し、前記測定面上における前記レーザビームが入射可能である測定点に対応する、前記ビーム配向ユニット(2)のための各制御パラメータを割り当てるために前記三次元モデルによって前記ビーム配向ユニット(2)のアラインメントを実施するように形成されており、特に
前記測定装置は、
A)異なるパースから前記測定対象物(4)の少なくとも一つの測定面の複数の空間分解画像を撮像し、
B)前記測定面の前記複数の空間分解画像を用いて前記測定対象物(4)の少なくとも前記測定面の三次元モデルを作成し、
C)それぞれのアラインメント点について前記ビーム配向ユニット(2)の前記各制御パラメータを事前定義することにより前記ビーム配向ユニット(2)を用いて前記測定面上の少なくとも三つの位置が異なるアラインメント点に前記レーザビームを配向し、
D)それぞれの前記アラインメント点が少なくとも一つのアラインメント点画像において取得されるように一つ又は複数の空間分解アラインメント点画像を取得し、
E)前記各アラインメント点画像と前記三次元モデル及び/又は前記三次元モデルの基となる前記各空間分解画像を用いて前記三次元モデルの各位置座標を前記少なくとも三つのアラインメント点のそれぞれに割り当て、
F)前記各アラインメント点の各位置座標とそれぞれ割り当てられた前記各制御パラメータとに応じて割当規定を決定することにより前記ビーム配向ユニット(2)のアラインメントを実施することで前記割当規定を用いて前記レーザビームが入射可能な前記測定面上の測定点に対応する、前記ビーム配向ユニット(2)のための各制御パラメータを割り当てる、
ように形成されていることを特徴とする測定装置。 - 前記測定装置は、前記測定面の少なくとも一つの空間分解画像を取得するための、前記ビーム配向ユニット(2)に対して固定式の撮像ユニット(7)を有することを特徴とする、請求項22に記載の測定装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102018114480.6 | 2018-06-15 | ||
DE102018114480.6A DE102018114480B3 (de) | 2018-06-15 | 2018-06-15 | Abgleichverfahren für eine Strahlrichteinheit einer interferometrischen Messvorrichtung und Messvorrichtung zur Durchführung einer interferometrischen Messung mittels Laserstrahlung |
PCT/EP2019/064712 WO2019238508A1 (de) | 2018-06-15 | 2019-06-05 | Abgleichverfahren für eine strahlrichteinheit einer interferometrischen messvorrichtung und messvorrichtung zur durchführung einer interferometrischen messung mittels laserstrahlung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021527217A JP2021527217A (ja) | 2021-10-11 |
JP7377221B2 true JP7377221B2 (ja) | 2023-11-09 |
Family
ID=63171235
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020569740A Active JP7377221B2 (ja) | 2018-06-15 | 2019-06-05 | 干渉測定装置のビーム配向ユニットのためのアラインメント方法及びレーザ照射を用いて干渉測定を実施するための測定装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11333485B2 (ja) |
JP (1) | JP7377221B2 (ja) |
DE (2) | DE102018114480B3 (ja) |
WO (1) | WO2019238508A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102019108124A1 (de) * | 2019-03-28 | 2020-10-01 | Polytec Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur interferometrischen Schwingungsmessung an einer Mehrzahl von Messpunkten mittels eines Messlaserstrahls |
CN114440789B (zh) * | 2022-01-21 | 2023-06-06 | 大连海事大学 | 旋转体速度、距离和三维形貌同步干涉测量方法及*** |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004347520A (ja) | 2003-05-23 | 2004-12-09 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 形状計測装置 |
JP2007309899A (ja) | 2006-05-22 | 2007-11-29 | Keisoku Res Consultant:Kk | 非接触式振動・変位計測装置 |
JP2008286797A (ja) | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Polytec Gmbh | 非接触式振動測定方法およびそれを実施する装置 |
JP2016057063A (ja) | 2014-09-05 | 2016-04-21 | 公益財団法人鉄道総合技術研究所 | 測定対象物の非接触検知方法及びその装置 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1993015386A1 (en) * | 1992-01-31 | 1993-08-05 | Virginia Tech Intellectual Properties, Inc. | Laser measurement system for dynamic structural analysis |
US6711293B1 (en) * | 1999-03-08 | 2004-03-23 | The University Of British Columbia | Method and apparatus for identifying scale invariant features in an image and use of same for locating an object in an image |
US8899115B2 (en) | 2011-04-20 | 2014-12-02 | United Technologies Corporation | Method and system for locating a laser vibrometer during non-contact scanning |
EP2618175A1 (de) * | 2012-01-17 | 2013-07-24 | Leica Geosystems AG | Lasertracker mit Funktionalität zur graphischen Zielbereitstellung |
DE102012211549B3 (de) | 2012-07-03 | 2013-07-04 | Polytec Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur interferometrischen Vermessung eines Objekts |
JP2014098690A (ja) | 2012-10-16 | 2014-05-29 | Canon Inc | 校正装置、校正方法及び計測装置 |
US9789462B2 (en) * | 2013-06-25 | 2017-10-17 | The Boeing Company | Apparatuses and methods for accurate structure marking and marking-assisted structure locating |
US10502833B2 (en) * | 2015-01-13 | 2019-12-10 | DSCG Solutions, Inc. | Multiple beam range measurement process |
US10429171B2 (en) * | 2015-07-22 | 2019-10-01 | The University Of Mississippi | Laser multibeam differential interferometric sensor and methods for vibration imaging |
US10648797B2 (en) * | 2017-11-16 | 2020-05-12 | Quality Vision International Inc. | Multiple beam scanning system for measuring machine |
-
2018
- 2018-06-15 DE DE102018114480.6A patent/DE102018114480B3/de active Active
- 2018-07-13 DE DE202018104050.2U patent/DE202018104050U1/de not_active Expired - Lifetime
-
2019
- 2019-06-05 JP JP2020569740A patent/JP7377221B2/ja active Active
- 2019-06-05 US US17/251,353 patent/US11333485B2/en active Active
- 2019-06-05 WO PCT/EP2019/064712 patent/WO2019238508A1/de active Application Filing
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004347520A (ja) | 2003-05-23 | 2004-12-09 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 形状計測装置 |
JP2007309899A (ja) | 2006-05-22 | 2007-11-29 | Keisoku Res Consultant:Kk | 非接触式振動・変位計測装置 |
JP2008286797A (ja) | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Polytec Gmbh | 非接触式振動測定方法およびそれを実施する装置 |
JP2016057063A (ja) | 2014-09-05 | 2016-04-21 | 公益財団法人鉄道総合技術研究所 | 測定対象物の非接触検知方法及びその装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20210278197A1 (en) | 2021-09-09 |
WO2019238508A1 (de) | 2019-12-19 |
US11333485B2 (en) | 2022-05-17 |
DE202018104050U1 (de) | 2018-07-26 |
JP2021527217A (ja) | 2021-10-11 |
DE102018114480B3 (de) | 2019-11-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9443308B2 (en) | Position and orientation determination in 6-DOF | |
US9599455B2 (en) | Device for optically scanning and measuring an environment | |
US9602811B2 (en) | Method for optically measuring three-dimensional coordinates and controlling a three-dimensional measuring device | |
US9170097B2 (en) | Hybrid system | |
US9115986B2 (en) | Device for optically scanning and measuring an environment | |
US9217637B2 (en) | Device for optically scanning and measuring an environment | |
EP2475954B1 (en) | Non-contact object inspection | |
JP5943547B2 (ja) | 非接触測定を行う装置および方法 | |
CN103649674B (zh) | 测量设备以及信息处理设备 | |
US20150015895A1 (en) | Three-dimensional measurement device having three-dimensional overview camera | |
US20210255030A1 (en) | Method for determining the path of a measurement beam of an interferometric measuring device, and measuring device for interferometric measurement of an object under measurement | |
EP3049756B1 (en) | Modeling arrangement and method and system for modeling the topography of a three-dimensional surface | |
US20150085108A1 (en) | Lasergrammetry system and methods | |
US20170026636A1 (en) | Method for the positionally accurate projection of a mark onto an object, and projection apparatus | |
JP7377221B2 (ja) | 干渉測定装置のビーム配向ユニットのためのアラインメント方法及びレーザ照射を用いて干渉測定を実施するための測定装置 | |
US11350077B2 (en) | Handheld three dimensional scanner with an autoaperture | |
JP3638569B2 (ja) | 3次元計測装置 | |
US20210278271A1 (en) | Method for determining the path of a measurement beam of an interferometric measuring device, and measuring device for interferometric measurement of an object under measurement | |
US20240077310A1 (en) | Laser scanner with stereo camera vision for improved selective feature scanning | |
US20240210563A1 (en) | Scanning project planning |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220519 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230216 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230404 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230703 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230725 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230912 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20231003 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20231027 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7377221 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |