JP7360609B2 - Wiring board and wiring board manufacturing method - Google Patents

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Description

本開示の実施の形態は、配線基板および配線基板の製造方法に関する。 Embodiments of the present disclosure relate to a wiring board and a method for manufacturing the wiring board.

現在、スマートフォン、タブレット等の携帯端末機器の高機能、小型化、薄型化および軽量化が進んでいる。これら携帯端末機器は、複数の通信帯域を使用するため、通信帯域に応じた複数のアンテナが必要とされる。例えば、携帯端末機器には、電話用アンテナ、WiFi(Wireless Fidelity)用アンテナ、3G(Generation)用アンテナ、4G(Generation)用アンテナ、LTE(Long Term Evolution)用アンテナ、Bluetooth(登録商標)用アンテナ、NFC(Near Field Communication)用アンテナ等の複数のアンテナが搭載されている。しかしながら、携帯端末機器の小型化に伴い、アンテナの搭載スペースは限られており、アンテナ設計の自由度は狭まっている。また、限られたスペース内にアンテナを内蔵していることから、電波感度が必ずしも満足できるものではない。 Currently, mobile terminal devices such as smartphones and tablets are becoming more sophisticated, smaller, thinner, and lighter. Since these mobile terminal devices use multiple communication bands, multiple antennas are required depending on the communication bands. For example, mobile terminal devices include telephone antennas, WiFi (Wireless Fidelity) antennas, 3G (Generation) antennas, 4G (Generation) antennas, LTE (Long Term Evolution) antennas, and Bluetooth (registered trademark) antennas. , multiple antennas such as NFC (Near Field Communication) antennas are installed. However, as mobile terminal devices become smaller, the mounting space for antennas is limited, and the degree of freedom in antenna design is narrowed. Furthermore, since the antenna is built into a limited space, the radio wave sensitivity is not necessarily satisfactory.

特開2011-66610号公報JP2011-66610A 特許第5636735号明細書Patent No. 5636735 specification 特許第5695947号明細書Patent No. 5695947 specification

また近年、第5世代通信すなわち5G(Generation)用の携帯端末機器の開発が進められている。この5G用のアンテナ(特にミリ波)は、指向性が高く、携帯端末機器に複数個のアンテナを内蔵させる必要がある。 Furthermore, in recent years, development of mobile terminal devices for fifth generation communication, that is, 5G (Generation), has been progressing. This 5G antenna (particularly millimeter wave) has high directivity and requires a plurality of antennas to be built into the mobile terminal device.

本実施の形態は、表示装置に配置することにより、アンテナメッシュ配線層が送受信する電波の帯域幅を広げるとともに電波の送受信の範囲を広げることが可能な、配線基板および配線基板の製造方法を提供する。 This embodiment provides a wiring board and a method for manufacturing the wiring board, which can widen the bandwidth of radio waves transmitted and received by an antenna mesh wiring layer and expand the range of radio wave transmission and reception by disposing it in a display device. do.

本実施の形態による配線基板は、表示装置用の配線基板であって、透明性を有する基板と、前記基板上に配置され、アンテナとして機能するアンテナメッシュ配線層と、前記アンテナメッシュ配線層に電気的に接続された給電部と、前記基板上であって、前記アンテナメッシュ配線層の周囲に配置された無給電型のアレー型メッシュ配線層と、を備えている。 The wiring board according to the present embodiment is a wiring board for a display device, and includes a transparent board, an antenna mesh wiring layer disposed on the board and functioning as an antenna, and an electrical connection layer to the antenna mesh wiring layer. and a parasitic array type mesh wiring layer disposed on the substrate and around the antenna mesh wiring layer.

本実施の形態による配線基板において、前記アンテナメッシュ配線層は、互いに平行に配置された複数の第1配線と、前記複数の第1配線を連結する複数の第2配線とを含み、前記アレー型メッシュ配線層は、互いに平行に配置された複数の第3配線と、前記複数の第3配線を連結する複数の第4配線とを含んでも良い。 In the wiring board according to the present embodiment, the antenna mesh wiring layer includes a plurality of first wirings arranged parallel to each other and a plurality of second wirings connecting the plurality of first wirings, and the antenna mesh wiring layer includes a plurality of second wirings connecting the plurality of first wirings, and The mesh wiring layer may include a plurality of third wirings arranged in parallel to each other and a plurality of fourth wirings connecting the plurality of third wirings.

本実施の形態による配線基板において、前記アレー型メッシュ配線層の前記第3配線の長さは、前記アンテナメッシュ配線層の前記第2配線の長さの80%以上120%以下であっても良い。 In the wiring board according to the present embodiment, the length of the third wiring of the array type mesh wiring layer may be 80% or more and 120% or less of the length of the second wiring of the antenna mesh wiring layer. .

本実施の形態による配線基板において、前記アンテナメッシュ配線層は、平面視で正方形状であっても良い。 In the wiring board according to this embodiment, the antenna mesh wiring layer may have a square shape in plan view.

本実施の形態による配線基板において、前記給電部は、前記基板の外周縁に位置しても良い。 In the wiring board according to the present embodiment, the power feeding section may be located at an outer peripheral edge of the board.

本実施の形態による配線基板において、前記アンテナメッシュ配線層は、平面視で前記表示装置のディスプレイに重なる位置に設けられていても良い。 In the wiring board according to this embodiment, the antenna mesh wiring layer may be provided at a position overlapping the display of the display device in plan view.

本実施の形態による配線基板において、前記基板上に、前記アンテナメッシュ配線層及び前記前記アレー型メッシュ配線層を覆うように保護層が形成されていても良い。 In the wiring board according to the present embodiment, a protective layer may be formed on the board so as to cover the antenna mesh wiring layer and the array type mesh wiring layer.

本実施の形態による配線基板の製造方法は、配線基板の製造方法であって、透明性を有する基板を準備する工程と、前記基板上に、アンテナとして機能するアンテナメッシュ配線層と、前記アンテナメッシュ配線層に電気的に接続された給電部と、前記基板上であって、前記アンテナメッシュ配線層の周囲に配置された無給電型のアレー型メッシュ配線層とを形成する工程と、を備えている。 The method for manufacturing a wiring board according to the present embodiment is a method for manufacturing a wiring board, which includes a step of preparing a transparent board, an antenna mesh wiring layer functioning as an antenna, and an antenna mesh wiring layer on the board. forming a power feeding section electrically connected to the wiring layer; and a parasitic array mesh wiring layer disposed on the substrate and around the antenna mesh wiring layer. There is.

本開示の実施の形態によると、表示装置に配置することにより、アンテナメッシュ配線層が送受信する電波の帯域幅を広げるとともに電波の送受信の範囲を広げることができる。 According to the embodiments of the present disclosure, by disposing it in a display device, it is possible to widen the bandwidth of radio waves transmitted and received by the antenna mesh wiring layer and expand the range of radio wave transmission and reception.

図1は、一実施の形態による配線基板を示す平面図。FIG. 1 is a plan view showing a wiring board according to one embodiment. 図2は、一実施の形態による配線基板のアンテナメッシュ配線層を示す拡大平面図。FIG. 2 is an enlarged plan view showing an antenna mesh wiring layer of a wiring board according to an embodiment. 図3は、一実施の形態による配線基板を示す断面図(図2のIII-III線断面図)。FIG. 3 is a cross-sectional view (III-III line cross-sectional view in FIG. 2) showing a wiring board according to one embodiment. 図4は、一実施の形態による配線基板を示す断面図(図2のIV-IV線断面図)。FIG. 4 is a cross-sectional view (cross-sectional view taken along the line IV--IV in FIG. 2) showing a wiring board according to one embodiment. 図5は、一実施の形態による配線基板のアレー型メッシュ配線層を示す拡大平面図。FIG. 5 is an enlarged plan view showing an array-type mesh wiring layer of a wiring board according to an embodiment. 図6は、一実施の形態による配線基板の給電部の近傍を示す拡大平面図(図2のVI部拡大図)。FIG. 6 is an enlarged plan view showing the vicinity of the power feeding section of the wiring board according to one embodiment (an enlarged view of the VI section in FIG. 2). 図7(a)-(i)は、一実施の形態による配線基板の製造方法を示す断面図。FIGS. 7(a)-(i) are cross-sectional views showing a method for manufacturing a wiring board according to an embodiment. 図8は、一実施の形態による画像表示装置を示す平面図。FIG. 8 is a plan view showing an image display device according to an embodiment. 図9は、一実施の形態による画像表示装置を示す斜視図。FIG. 9 is a perspective view showing an image display device according to an embodiment. 図10は、一実施の形態による画像表示装置を示す断面図(図8のX-X線断面図)。FIG. 10 is a cross-sectional view (cross-sectional view taken along line XX in FIG. 8) showing an image display device according to an embodiment. 図11は、変形例による配線基板を示す平面図。FIG. 11 is a plan view showing a wiring board according to a modified example.

まず、図1乃至図10により、一実施の形態について説明する。図1乃至図10は本実施の形態を示す図である。 First, one embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 10. 1 to 10 are diagrams showing this embodiment.

以下に示す各図は、模式的に示したものである。そのため、各部の大きさ、形状は理解を容易にするために、適宜誇張している。また、技術思想を逸脱しない範囲において適宜変更して実施することが可能である。なお、以下に示す各図において、同一部分には同一の符号を付しており、一部詳細な説明を省略する場合がある。また、本明細書中に記載する各部材の寸法等の数値および材料名は、実施の形態としての一例であり、これに限定されるものではなく、適宜選択して使用することができる。本明細書において、形状や幾何学的条件を特定する用語、例えば平行や直交、垂直等の用語については、厳密に意味するところに加え、実質的に同じ状態も含むものとする。 Each figure shown below is shown schematically. Therefore, the size and shape of each part are appropriately exaggerated to facilitate understanding. Further, it is possible to implement the invention with appropriate changes within the scope of the technical concept. In each figure shown below, the same parts are given the same reference numerals, and some detailed explanations may be omitted. In addition, the numerical values such as dimensions and material names of each member described in this specification are examples of embodiments, and are not limited to these, and can be appropriately selected and used. In this specification, terms specifying shapes and geometrical conditions, such as terms such as parallel, perpendicular, and perpendicular, are not only meant strictly, but also include substantially the same state.

また、以下の実施の形態において、「X方向」とは、基板の一辺に対して平行な方向である。「Y方向」とは、X方向に垂直かつ基板の他の一辺に対して平行な方向である。「Z方向」とは、X方向およびY方向の両方に垂直かつ配線基板の厚み方向に平行な方向である。また、「表面」とは、Z方向プラス側の面であって、基板に対してアンテナメッシュ配線層及びアレー型メッシュ配線層が設けられた面をいう。「裏面」とは、Z方向マイナス側の面であって、基板に対してアンテナメッシュ配線層及びアレー型メッシュ配線層が設けられた面と反対側の面をいう。 Furthermore, in the following embodiments, the "X direction" is a direction parallel to one side of the substrate. The "Y direction" is a direction perpendicular to the X direction and parallel to the other side of the substrate. The "Z direction" is a direction perpendicular to both the X direction and the Y direction and parallel to the thickness direction of the wiring board. Further, the term "surface" refers to the surface on the positive side in the Z direction, on which the antenna mesh wiring layer and the array type mesh wiring layer are provided with respect to the substrate. The "back surface" refers to a surface on the negative side in the Z direction, which is opposite to the surface on which the antenna mesh wiring layer and the array type mesh wiring layer are provided with respect to the substrate.

[配線基板の構成]
図1乃至図6を参照して、本実施の形態による配線基板の構成について説明する。図1乃至図6は、本実施の形態による配線基板を示す図である。
[Wiring board configuration]
The configuration of the wiring board according to this embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 6. 1 to 6 are diagrams showing a wiring board according to this embodiment.

図1に示すように、本実施の形態による配線基板10は、表示装置に用いられるものであり、例えば画像表示装置のディスプレイ上に配置されるものである。このような配線基板10は、透明性を有する基板11と、基板11上に配置されたアンテナメッシュ配線層20と、基板11上に配置された無給電型のアレー型メッシュ配線層30と、を備えている。また、アンテナメッシュ配線層20には、給電部40が電気的に接続されている。 As shown in FIG. 1, a wiring board 10 according to this embodiment is used for a display device, and is placed, for example, on a display of an image display device. Such a wiring board 10 includes a transparent substrate 11, an antenna mesh wiring layer 20 disposed on the substrate 11, and a parasitic array type mesh wiring layer 30 disposed on the substrate 11. We are prepared. Further, a power feeding section 40 is electrically connected to the antenna mesh wiring layer 20.

このうち基板11は、平面視で略長方形状であり、その長手方向がY方向に平行であり、その短手方向がX方向に平行となっている。基板11は、透明性を有するとともに略平板状であり、その厚みは全体として略均一となっている。基板11の長手方向(Y方向)の長さLは、例えば100mm以上200mm以下の範囲で選択することができ、基板11の短手方向(X方向)の長さLは、例えば50mm以上100mm以下の範囲で選択することができる。 Among them, the substrate 11 has a substantially rectangular shape in plan view, and its longitudinal direction is parallel to the Y direction, and its transversal direction is parallel to the X direction. The substrate 11 is transparent, has a substantially flat plate shape, and has a substantially uniform thickness as a whole. The length L 1 of the substrate 11 in the longitudinal direction (Y direction) can be selected, for example, from 100 mm to 200 mm, and the length L 2 of the substrate 11 in the lateral direction (X direction) is, for example, 50 mm or more. It can be selected within a range of 100 mm or less.

基板11の材料は、可視光線領域での透明性および電気絶縁性を有する材料であればよい。本実施の形態において基板11の材料はポリエチレンテレフタレートであるが、これに限定されない。基板11の材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル系樹脂、ポメチルメタクリレート等のアクリル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリイミド系樹脂、或いは、シクロオレフィン重合体などのポリオレフィン系樹脂、トリアセチルセルロースなどのセルロース系樹脂材料等の有機絶縁性材料を用いることが好ましい。また、基板11の材料としては、用途に応じてガラス、セラミックス等を適宜選択することもできる。なお、基板11は、単一の層によって構成された例を図示したが、これに限定されず、複数の基材又は層が積層された構造であってもよい。また、基板11はフィルム状であっても、板状であってもよい。このため、基板11の厚さは特に制限はなく、用途に応じて適宜選択できるが、一例として、基板11の厚み(Z方向)T(図3参照)は、例えば10μm以上200μm以下の範囲とすることができる。 The material of the substrate 11 may be any material as long as it has transparency in the visible light region and electrical insulation properties. In this embodiment, the material of the substrate 11 is polyethylene terephthalate, but is not limited thereto. Examples of the material for the substrate 11 include polyester resins such as polyethylene terephthalate, acrylic resins such as polymethyl methacrylate, polycarbonate resins, polyimide resins, polyolefin resins such as cycloolefin polymers, triacetyl cellulose, etc. It is preferable to use an organic insulating material such as a cellulose resin material. Further, as the material of the substrate 11, glass, ceramics, etc. can be selected as appropriate depending on the purpose. Although the substrate 11 is illustrated as being composed of a single layer, it is not limited thereto, and may have a structure in which a plurality of base materials or layers are laminated. Further, the substrate 11 may be in the form of a film or a plate. Therefore, the thickness of the substrate 11 is not particularly limited and can be selected as appropriate depending on the application, but as an example, the thickness (Z direction) T 1 (see FIG. 3) of the substrate 11 is, for example, in the range of 10 μm or more and 200 μm or less. It can be done.

本実施の形態において、アンテナメッシュ配線層20は、アンテナとしての機能をもつアンテナパターンからなっている。図1において、アンテナメッシュ配線層20は、基板11上に複数(2つ)形成されており、互いに同一又は異なる周波数帯に対応している。アンテナメッシュ配線層20の大きさは、アンテナメッシュ配線層20が送受信する電波の周波数に対応している。すなわち、アンテナメッシュ配線層20は、平面視で略正方形状であり、その一辺がX方向に平行であり、他の一辺がY方向に平行となっている。アンテナメッシュ配線層20の一辺の長さ(X方向及びY方向の長さ)Lは、アンテナメッシュ配線層20が送受信する電波の周波数の波長の半分に対応した長さ(L=λ/2)となっている。具体的には、アンテナメッシュ配線層20の一辺の長さLは、例えば4mm以上50mm以下の範囲で選択することができる。なお、配線基板10上に1つのアンテナメッシュ配線層20のみが配置されていても良い。各アンテナメッシュ配線層20は、電話用アンテナ、WiFi用アンテナ、3G用アンテナ、4G用アンテナ、5G用アンテナ、LTE用アンテナ、Bluetooth(登録商標)用アンテナ、NFC用アンテナ等のいずれかに対応していても良い。 In this embodiment, the antenna mesh wiring layer 20 consists of an antenna pattern that functions as an antenna. In FIG. 1, a plurality (two) of antenna mesh wiring layers 20 are formed on a substrate 11, and each corresponds to the same or different frequency bands. The size of the antenna mesh wiring layer 20 corresponds to the frequency of radio waves transmitted and received by the antenna mesh wiring layer 20. That is, the antenna mesh wiring layer 20 has a substantially square shape when viewed from above, one side of which is parallel to the X direction, and the other side parallel to the Y direction. The length of one side of the antenna mesh wiring layer 20 (the length in the X direction and the Y direction) La is the length corresponding to half the wavelength of the frequency of the radio waves transmitted and received by the antenna mesh wiring layer 20 ( La = λ/ 2). Specifically, the length L a of one side of the antenna mesh wiring layer 20 can be selected within a range of, for example, 4 mm or more and 50 mm or less. Note that only one antenna mesh wiring layer 20 may be arranged on the wiring board 10. Each antenna mesh wiring layer 20 corresponds to a telephone antenna, a WiFi antenna, a 3G antenna, a 4G antenna, a 5G antenna, an LTE antenna, a Bluetooth (registered trademark) antenna, an NFC antenna, etc. You can leave it there.

図2に示すように、アンテナメッシュ配線層20は、それぞれ金属線が格子形状または網目形状に形成され、X方向およびY方向に繰り返しパターンを有している。すなわちアンテナメッシュ配線層20は、X方向に延びる部分(後述する第2配線22の一部)とY方向に延びる部分(後述する第1配線21の一部)とから構成されるL字状の単位パターン形状20aの繰り返しから構成されている。 As shown in FIG. 2, the antenna mesh wiring layer 20 has metal wires each formed in a lattice shape or a mesh shape, and has a repeating pattern in the X direction and the Y direction. In other words, the antenna mesh wiring layer 20 has an L-shape that includes a portion extending in the X direction (a part of the second wiring 22 described later) and a portion extending in the Y direction (a part of the first wiring 21 described later). It is composed of repeating unit pattern shapes 20a.

図2に示すように、アンテナメッシュ配線層20は、互いに平行に配置された複数の第1配線21と、複数の第1配線21を連結する複数の第2配線22とを含んでいる。具体的には、複数の第1配線21と複数の第2配線22とは、全体として一体となって格子形状または網目形状を形成している。各第1配線21は、アンテナメッシュ配線層20の一辺に平行な方向(Y方向)に延びており、各第2配線22は、第1配線21に直交する方向(X方向)に延びている。第1配線21及び第2配線22は、それぞれ所定の周波数の波長の半分(λ/2)に対応する長さL(上述したアンテナメッシュ配線層20の辺の長さ、図1参照)を有する。 As shown in FIG. 2, the antenna mesh wiring layer 20 includes a plurality of first wirings 21 arranged parallel to each other and a plurality of second wirings 22 connecting the plurality of first wirings 21. Specifically, the plurality of first wirings 21 and the plurality of second wirings 22 are integrated as a whole to form a lattice shape or a mesh shape. Each first wiring 21 extends in a direction parallel to one side of the antenna mesh wiring layer 20 (Y direction), and each second wiring 22 extends in a direction perpendicular to the first wiring 21 (X direction). . The first wiring 21 and the second wiring 22 each have a length L a (the length of the side of the antenna mesh wiring layer 20 described above, see FIG. 1) corresponding to half the wavelength (λ/2) of a predetermined frequency. have

複数の第1配線21は、X方向に互いに等間隔に配置されている。第1配線21のピッチPは、例えば0.05mm以上1mm以下の範囲とすることができる。また、複数の第2配線22は、Y方向に互いに等間隔に配置されている。複数の第2配線22のピッチPは、例えば0.01mm以上1mm以下の範囲とすることができる。 The plurality of first wirings 21 are arranged at equal intervals in the X direction. The pitch P1 of the first wiring 21 can be, for example, in a range of 0.05 mm or more and 1 mm or less. Further, the plurality of second wirings 22 are arranged at equal intervals in the Y direction. The pitch P2 of the plurality of second wirings 22 can be, for example, in a range of 0.01 mm or more and 1 mm or less.

複数の第2配線22のうち、最も給電部40から遠い(最もY方向プラス側の)第2配線22は、主としてアンテナとしての機能を果たす。このアンテナとしての機能を果たす第2配線22を図1に太線で示す。他の第2配線22及び第1配線21は、アンテナとして機能する第2配線22と給電部40とを電気的に接続する役割を果たす。また、第2配線22及び第1配線21は、互いに連結されることにより、第1配線21及び第2配線22の断線を抑える役割を果たす。 Among the plurality of second wirings 22, the second wiring 22 that is farthest from the power feeding unit 40 (furthest on the positive side in the Y direction) mainly functions as an antenna. The second wiring 22 that functions as an antenna is shown in bold lines in FIG. The other second wiring 22 and the first wiring 21 serve to electrically connect the second wiring 22 functioning as an antenna and the power feeding section 40 . Moreover, the second wiring 22 and the first wiring 21 play a role of suppressing disconnection of the first wiring 21 and the second wiring 22 by being connected to each other.

図2に示すように、アンテナメッシュ配線層20においては、互いに隣接する第1配線21と、互いに隣接する第2配線22とに取り囲まれることにより、複数の開口部23が形成されている。各開口部23は、それぞれ平面視略正方形形状となっている。また、各開口部23からは透明性を有する基板11が露出している。このため、各開口部23の面積を広くすることにより、配線基板10全体としての透明性を高めることができる。なお、各第1配線21と各第2配線22とは、互いに直交しているが、これに限らず、互いに鋭角または鈍角に交差していてもよい。また、第1配線21のピッチP及び第2配線22のピッチPは、アンテナメッシュ配線層20内で均一であるが、これに限らずアンテナメッシュ配線層20内で不均一としても良い。 As shown in FIG. 2, in the antenna mesh wiring layer 20, a plurality of openings 23 are formed by being surrounded by first wirings 21 adjacent to each other and second wirings 22 adjacent to each other. Each opening 23 has a substantially square shape in plan view. Furthermore, the transparent substrate 11 is exposed from each opening 23 . Therefore, by increasing the area of each opening 23, the transparency of the wiring board 10 as a whole can be improved. Note that, although each of the first wirings 21 and each of the second wirings 22 are orthogonal to each other, the present invention is not limited thereto, and they may intersect with each other at an acute angle or an obtuse angle. Furthermore, the pitch P 1 of the first wiring 21 and the pitch P 2 of the second wiring 22 are uniform within the antenna mesh wiring layer 20 , but are not limited thereto, and may be non-uniform within the antenna mesh wiring layer 20 .

図3に示すように、各第1配線21は、その長手方向に垂直な断面(X方向断面)が略長方形形状又は略正方形形状となっている。この場合、第1配線21の断面形状は、第1配線21の長手方向(Y方向)に沿って略均一となっている。また、図4に示すように、各第2配線22の長手方向に垂直な断面(Y方向断面)の形状は、略長方形形状又は略正方形形状であり、上述した第1配線21の断面(X方向断面)形状と略同一である。この場合、第2配線22の断面形状は、第2配線22の長手方向(X方向)に沿って略均一となっている。第1配線21と第2配線22の断面形状は、必ずしも略長方形形状又は略正方形形状でなくても良く、例えば表面側(Z方向プラス側)が裏面側(Z方向マイナス側)よりも狭い略台形形状、あるいは、長手方向両側に位置する側面が湾曲した形状であっても良い。 As shown in FIG. 3, each first wiring 21 has a cross section perpendicular to its longitudinal direction (cross section in the X direction) having a substantially rectangular shape or a substantially square shape. In this case, the cross-sectional shape of the first wiring 21 is substantially uniform along the longitudinal direction (Y direction) of the first wiring 21. Further, as shown in FIG. 4, the shape of the cross section perpendicular to the longitudinal direction (Y direction cross section) of each second wiring 22 is approximately rectangular or approximately square, and the cross section (X The shape is almost the same as the direction cross section). In this case, the cross-sectional shape of the second wiring 22 is substantially uniform along the longitudinal direction (X direction) of the second wiring 22. The cross-sectional shapes of the first wiring 21 and the second wiring 22 do not necessarily have to be substantially rectangular or square. For example, the cross-sectional shape of the first wiring 21 and the second wiring 22 may be approximately narrower on the front side (positive side in the Z direction) than on the back side (minus side in the Z direction). It may have a trapezoidal shape or a shape with curved side surfaces located on both sides in the longitudinal direction.

本実施の形態において、第1配線21の線幅W(X方向の長さ、図3参照)および第2配線22の線幅W(Y方向の長さ、図4参照)は、特に限定されず、用途に応じて適宜選択できる。例えば、第1配線21の線幅Wは0.1μm以上5.0μm以下の範囲で選択することができ、第2配線22の線幅Wは、0.1μm以上5.0μm以下の範囲で選択することができる。また、第1配線21の高さH(Z方向の長さ、図3参照)および第2配線22の高さH(Z方向の長さ、図4参照)は特に限定されず、用途に応じて適宜選択することができ、例えば0.1μm以上5.0μm以下の範囲で選択することができる。 In this embodiment, the line width W 1 (length in the X direction, see FIG. 3) of the first wiring 21 and the line width W 2 (length in the Y direction, see FIG. 4) of the second wiring 22 are particularly It is not limited and can be selected as appropriate depending on the purpose. For example, the line width W 1 of the first wiring 21 can be selected in the range of 0.1 μm or more and 5.0 μm or less, and the line width W 2 of the second wiring 22 can be selected in the range of 0.1 μm or more and 5.0 μm or less. can be selected. Further, the height H 1 (length in the Z direction, see FIG. 3) of the first wiring 21 and the height H 2 (length in the Z direction, see FIG. 4) of the second wiring 22 are not particularly limited. It can be selected as appropriate depending on, for example, in the range of 0.1 μm or more and 5.0 μm or less.

第1配線21および第2配線22の材料は、導電性を有する金属材料であればよい。本実施の形態において第1配線21および第2配線22の材料は銅であるが、これに限定されない。第1配線21および第2配線22の材料は、例えば、金、銀、銅、白金、錫、アルミニウム、鉄、ニッケルなどの金属材料(含む合金)を用いることができる。 The first wiring 21 and the second wiring 22 may be made of any metal material as long as it has conductivity. In this embodiment, the material of the first wiring 21 and the second wiring 22 is copper, but the material is not limited thereto. As the material for the first wiring 21 and the second wiring 22, for example, metal materials (including alloys) such as gold, silver, copper, platinum, tin, aluminum, iron, and nickel can be used.

本実施の形態において、アンテナメッシュ配線層20の開口率Atは、例えば87%以上100%未満の範囲とすることができる。アンテナメッシュ配線層20の開口率Atをこの範囲とすることにより、配線基板10の導電性と透明性を確保することができる。なお、開口率とは、所定の領域(例えばアンテナメッシュ配線層20)の単位面積に占める、開口領域(第1配線21、第2配線22等の金属部分が存在せず、基板11が露出する領域)の面積の割合(%)をいう。 In the present embodiment, the aperture ratio At of the antenna mesh wiring layer 20 can be, for example, in a range of 87% or more and less than 100%. By setting the aperture ratio At of the antenna mesh wiring layer 20 within this range, the conductivity and transparency of the wiring board 10 can be ensured. Note that the aperture ratio refers to an open area (metal parts such as the first wiring 21 and second wiring 22 are not present and the substrate 11 is exposed) that occupies a unit area of a predetermined area (for example, the antenna mesh wiring layer 20). area).

図1に示すように、アレー型メッシュ配線層30は、各アンテナメッシュ配線層20の周囲に配置されている。具体的には、アレー型メッシュ配線層30は、アンテナメッシュ配線層20のX方向両側にそれぞれ配置されている。これら一対のアレー型メッシュ配線層30は、互いに同一の形状からなり、アンテナメッシュ配線層20からそれぞれ離間して配置されている。 As shown in FIG. 1, the array type mesh wiring layer 30 is arranged around each antenna mesh wiring layer 20. Specifically, the array type mesh wiring layer 30 is arranged on both sides of the antenna mesh wiring layer 20 in the X direction. These pair of array type mesh wiring layers 30 have the same shape and are spaced apart from the antenna mesh wiring layer 20, respectively.

アレー型メッシュ配線層30の長手方向(Y方向)の長さLは、後述するように、それぞれアンテナメッシュ配線層20の辺の長さLと同一、又は若干異なる長さを有する。また、アレー型メッシュ配線層30の幅方向(X方向)の長さLは、例えば1mm以上10mm以下の範囲で選択することができる。アレー型メッシュ配線層30とアンテナメッシュ配線層20との間隔Pは、アンテナメッシュ配線層20が送受信する電波の周波数の帯域幅に応じて適宜選択することができ、例えば0.3mm以上5mm以下の範囲とすることができる。この場合、一方のアレー型メッシュ配線層30とアンテナメッシュ配線層20との間隔と、他方のアレー型メッシュ配線層30とアンテナメッシュ配線層20との間隔は互いに同一となっているが、互いに異なっていても良い。 The length L b of the array type mesh wiring layer 30 in the longitudinal direction (Y direction) is the same as or slightly different from the side length L a of the antenna mesh wiring layer 20, as described later. Further, the length L c of the array type mesh wiring layer 30 in the width direction (X direction) can be selected within a range of, for example, 1 mm or more and 10 mm or less. The distance P b between the array type mesh wiring layer 30 and the antenna mesh wiring layer 20 can be appropriately selected depending on the frequency band of radio waves transmitted and received by the antenna mesh wiring layer 20, and is, for example, 0.3 mm or more and 5 mm or less. can be in the range of In this case, the spacing between the array type mesh wiring layer 30 and the antenna mesh wiring layer 20 on one side and the spacing between the other array type mesh wiring layer 30 and the antenna mesh wiring layer 20 are the same, but they are different from each other. You can leave it there.

図5に示すように、アレー型メッシュ配線層30は、それぞれ金属線が格子形状または網目形状に形成され、X方向およびY方向に繰り返しパターンを有している。すなわちアレー型メッシュ配線層30は、X方向に延びる部分(後述する第4配線32の一部)とY方向に延びる部分(後述する第3配線31の一部)とから構成されるL字状の単位パターン形状30aの繰り返しから構成されている。 As shown in FIG. 5, the array type mesh wiring layer 30 has metal lines formed in a lattice shape or a mesh shape, and has a repeating pattern in the X direction and the Y direction. In other words, the array-type mesh wiring layer 30 has an L-shape that is composed of a portion extending in the X direction (a portion of the fourth wiring 32 described later) and a portion extending in the Y direction (a portion of the third wiring 31 described later). It is composed of repetitions of unit pattern shapes 30a.

アレー型メッシュ配線層30は、互いに平行に配置された複数の第3配線31と、複数の第3配線31を連結する複数の第4配線32とを含んでいる。具体的には、複数の第3配線31と複数の第4配線32とは、全体として一体となって格子形状または網目形状を形成している。各第3配線31は、アレー型メッシュ配線層30の長手方向に平行な方向(Y方向)に延びており、各第4配線32は、アレー型メッシュ配線層30の幅方向に平行な方向(X方向)に延びている。 The array type mesh wiring layer 30 includes a plurality of third wirings 31 arranged parallel to each other and a plurality of fourth wirings 32 connecting the plurality of third wirings 31. Specifically, the plurality of third wirings 31 and the plurality of fourth wirings 32 are integrated as a whole to form a lattice shape or a mesh shape. Each third wiring 31 extends in a direction (Y direction) parallel to the longitudinal direction of the array type mesh wiring layer 30, and each fourth wiring 32 extends in a direction parallel to the width direction (Y direction) of the array type mesh wiring layer 30. (X direction).

第3配線31の長さ(すなわちアレー型メッシュ配線層30の長さL)は、それぞれアンテナメッシュ配線層20の第2配線22の長さL(アンテナメッシュ配線層20が送受信する電波の周波数の波長の半分(λ/2)に対応する長さ、図1参照)と同一、又は若干異なる長さを有する。具体的には、第3配線31の長さLは、アンテナメッシュ配線層20の第2配線22の長さLの80%以上120%以下の長さを有する(0.8L≦L≦1.2L)。このように、アレー型メッシュ配線層30が設けられていることにより、アンテナメッシュ配線層20が送受信する電波の帯域幅をさらに広げ、かつアンテナメッシュ配線層20の放射パターンを広げることができる。とりわけ、第3配線31の長さLがアンテナメッシュ配線層20の第2配線22の長さLと若干異なることにより、アンテナメッシュ配線層20の共振周波数のピークを調整することができ、アンテナメッシュ配線層20が送受信する電波の帯域幅を広げることができる。一方、第4配線32は、第3配線31同士を連結することにより、第3配線31の断線を抑える役割を果たす。 The length of the third wiring 31 (that is, the length L b of the array type mesh wiring layer 30 ) is the length L a of the second wiring 22 of the antenna mesh wiring layer 20 (the length of the radio waves transmitted and received by the antenna mesh wiring layer 20 ). It has a length that is the same as or slightly different from the length corresponding to half the wavelength of the frequency (λ/2, see FIG. 1). Specifically, the length L b of the third wiring 31 has a length of 80% or more and 120% or less of the length L a of the second wiring 22 of the antenna mesh wiring layer 20 (0.8L a ≦L b ≦1.2L a ). By providing the array-type mesh wiring layer 30 in this way, it is possible to further widen the bandwidth of radio waves transmitted and received by the antenna mesh wiring layer 20 and to widen the radiation pattern of the antenna mesh wiring layer 20. In particular, by making the length L b of the third wiring 31 slightly different from the length L a of the second wiring 22 of the antenna mesh wiring layer 20, the peak of the resonant frequency of the antenna mesh wiring layer 20 can be adjusted. The bandwidth of radio waves transmitted and received by the antenna mesh wiring layer 20 can be expanded. On the other hand, the fourth wiring 32 plays a role of suppressing disconnection of the third wiring 31 by connecting the third wiring 31 to each other.

複数の第3配線31は、アレー型メッシュ配線層30の幅方向(X方向)に互いに等間隔に配置されている。第3配線31のピッチPは、上述した第1配線21のピッチPと同一とすることができる。複数の第4配線32は、アレー型メッシュ配線層30の長手方向(Y方向)に互いに等間隔に配置されている。複数の第4配線32のピッチPは、上述した第2配線22のピッチPと同一とすることができる。 The plurality of third wirings 31 are arranged at equal intervals in the width direction (X direction) of the array type mesh wiring layer 30. The pitch P 3 of the third wiring 31 can be the same as the pitch P 1 of the first wiring 21 described above. The plurality of fourth wirings 32 are arranged at equal intervals in the longitudinal direction (Y direction) of the array type mesh wiring layer 30. The pitch P 4 of the plurality of fourth wirings 32 can be the same as the pitch P 2 of the second wirings 22 described above.

アレー型メッシュ配線層30においては、互いに隣接する第3配線31と、互いに隣接する第4配線32とに取り囲まれることにより、複数の開口部33が形成されている。各開口部33は、それぞれ平面視略正方形形状となっている。また、各開口部33からは、透明性を有する基板11が露出している。このため、各開口部33の面積を広くすることにより、配線基板10全体としての透明性を高めることができる。なお、各第3配線31と各第4配線32とは、互いに直交しているが、これに限らず、互いに鋭角または鈍角に交差していてもよい。また、第3配線31のピッチP及び第4配線32のピッチPは、アレー型メッシュ配線層30内で均一であるが、これに限らずアレー型メッシュ配線層30内で不均一としても良い。 In the array type mesh wiring layer 30, a plurality of openings 33 are formed by being surrounded by third wirings 31 adjacent to each other and fourth wirings 32 adjacent to each other. Each opening 33 has a substantially square shape in plan view. Furthermore, the transparent substrate 11 is exposed from each opening 33 . Therefore, by increasing the area of each opening 33, the transparency of the wiring board 10 as a whole can be improved. Note that each of the third wirings 31 and each of the fourth wirings 32 are orthogonal to each other, but the present invention is not limited thereto, and they may intersect with each other at an acute angle or an obtuse angle. Further, the pitch P 3 of the third wiring 31 and the pitch P 4 of the fourth wiring 32 are uniform within the array type mesh wiring layer 30, but are not limited to this, and may be non-uniform within the array type mesh wiring layer 30. good.

各第3配線31の長手方向に垂直な断面(X方向断面)の形状は、上述した第1配線21の断面形状と同一とすることができる。また、各第4配線32の長手方向に垂直な断面(Y方向断面)の形状は、上述した第2配線22の断面形状と同一とすることができる。また、第3配線31の線幅(X方向の長さ)および第4配線32の線幅(Y方向の長さ)は、それぞれ上述した第1配線21の線幅Wおよび第2配線22の線幅Wと同一とすることができる。さらに、第3配線31の高さ(Z方向の長さ)および第4配線32の高さ(Z方向の長さ)は、上述した第1配線21の高さHおよび第2配線22の高さHと同一とすることができる。 The cross-sectional shape of each third wiring 31 perpendicular to the longitudinal direction (X-direction cross-section) can be the same as the cross-sectional shape of the first wiring 21 described above. Further, the cross-sectional shape of each fourth wiring 32 perpendicular to the longitudinal direction (Y-direction cross-section) can be the same as the cross-sectional shape of the second wiring 22 described above. Further, the line width (length in the X direction) of the third wiring 31 and the line width (length in the Y direction) of the fourth wiring 32 are the line width W 1 of the first wiring 21 and the second wiring 22 described above, respectively. can be made the same as the line width W2 . Furthermore, the height (length in the Z direction) of the third wiring 31 and the height (length in the Z direction) of the fourth wiring 32 are the height H 1 of the first wiring 21 and the height H 1 of the second wiring 22 described above. It can be made equal to the height H2 .

第3配線31および第4配線32の材料についても、上述した第1配線21および第2配線22の材料と同一とすることができる。 The material of the third wiring 31 and the fourth wiring 32 can also be the same as the material of the first wiring 21 and the second wiring 22 described above.

本実施の形態において、アレー型メッシュ配線層30の開口率Asは、例えば87%以上100%未満の範囲とすることができる。アレー型メッシュ配線層30の開口率Asをこの範囲とすることにより、配線基板10の導電性と透明性を確保することができる。 In the present embodiment, the aperture ratio As of the array-type mesh wiring layer 30 can be, for example, in a range of 87% or more and less than 100%. By setting the aperture ratio As of the array-type mesh wiring layer 30 within this range, the conductivity and transparency of the wiring board 10 can be ensured.

本実施の形態において、アレー型メッシュ配線層30は、無給電型であり、給電部40又はアンテナメッシュ配線層20に電気的に接続されることはない。すなわちアレー型メッシュ配線層30の外周縁は、全周にわたって他の金属部分と接続されることがなく、平面視で全周にわたって基板11に取り囲まれている。 In this embodiment, the array type mesh wiring layer 30 is of a passive type and is not electrically connected to the power feeding section 40 or the antenna mesh wiring layer 20. That is, the outer periphery of the array-type mesh wiring layer 30 is not connected to any other metal part over the entire periphery, and is surrounded by the substrate 11 over the entire periphery in plan view.

一方、アンテナメッシュ配線層20は、給電型であり、給電部40に電気的に接続されている。アンテナメッシュ配線層20の外周縁は、給電部40を除き、平面視で全周にわたって基板11に取り囲まれている。なお、これに限らず、アンテナメッシュ配線層20及びアレー型メッシュ配線層30の外周縁(Y方向マイナス側の外周縁)が、平面視で基板11の外周縁(Y方向マイナス側の外周縁)と一致していても良い。 On the other hand, the antenna mesh wiring layer 20 is of a power feeding type and is electrically connected to the power feeding section 40 . The outer periphery of the antenna mesh wiring layer 20 is surrounded by the substrate 11 over the entire circumference in plan view, except for the power feeding section 40. Note that the present invention is not limited to this, and the outer periphery of the antenna mesh wiring layer 20 and the array type mesh wiring layer 30 (the outer periphery on the negative side in the Y direction) is the outer periphery of the substrate 11 (the outer periphery on the negative side in the Y direction) in plan view. It may be the same as

図6に示すように、給電部40は、平面視略長方形状であり、導電性の薄板状部材からなる。この場合、給電部40の長手方向はX方向に平行であり、給電部40の短手方向はY方向に平行である。また、給電部40は、基板11の外周縁(Y方向マイナス側端部)に配置されている。給電部40は、最もY方向マイナス側に位置する第2配線22に接続されている。この場合、給電部40は、最もY方向マイナス側に位置する第2配線22と一体に形成されていても良い。給電部40の材料は、例えば、金、銀、銅、白金、錫、アルミニウム、鉄、ニッケルなどの金属材料(含む合金)を用いることができる。この給電部40は、配線基板10が画像表示装置90(図8乃至図10参照)に組み込まれた際、給電線95を介して画像表示装置90の無線通信用回路94と電気的に接続される。なお、給電部40は、基板11の表面に設けられているが、これに限らず、給電部40の一部又は全部が基板11の外周縁よりも外側に位置していても良い。また、給電部40を柔軟に形成することにより、給電部40が画像表示装置90の側面や裏面に回り込んで、基板11の側面や裏面側で電気的に接続できるようにしても良い。 As shown in FIG. 6, the power supply section 40 has a substantially rectangular shape in plan view and is made of a conductive thin plate member. In this case, the longitudinal direction of the power feeding section 40 is parallel to the X direction, and the lateral direction of the power feeding section 40 is parallel to the Y direction. Further, the power feeding unit 40 is arranged at the outer peripheral edge (the end on the negative side in the Y direction) of the substrate 11. The power feeding unit 40 is connected to the second wiring 22 located furthest on the negative side in the Y direction. In this case, the power feeding section 40 may be formed integrally with the second wiring 22 located furthest on the negative side in the Y direction. As the material of the power supply unit 40, for example, metal materials (including alloys) such as gold, silver, copper, platinum, tin, aluminum, iron, and nickel can be used. This power supply unit 40 is electrically connected to the wireless communication circuit 94 of the image display device 90 via the power supply line 95 when the wiring board 10 is incorporated into the image display device 90 (see FIGS. 8 to 10). Ru. Note that although the power feeding section 40 is provided on the surface of the substrate 11, the present invention is not limited thereto, and part or all of the power feeding section 40 may be located outside the outer peripheral edge of the substrate 11. Further, by forming the power supply section 40 flexibly, the power supply section 40 may wrap around the side surface or the back surface of the image display device 90 and be electrically connected to the side surface or the back surface of the substrate 11.

さらに、図3及び図4に示すように、基板11の表面上には、アンテナメッシュ配線層20及びアレー型メッシュ配線層30を覆うように保護層17が形成されている。保護層17は、アンテナメッシュ配線層20及びアレー型メッシュ配線層30を保護するものであり、基板11の表面の略全域に形成されている。保護層17の材料としては、ポリメチル(メタ)アクリレート、ポリエチル(メタ)アクリレート等のアクリル樹脂とそれらの変性樹脂と共重合体、ポリエステル、ポリビニルアルコール、ポリ酢酸ビニル、ポリビニルアセタール、ポリビニルブチラール等のポリビニル樹脂とそれらの共重合体、ポリウレタン、エポキシ樹脂、ポリアミド、塩素化ポリオレフィン等の無色透明の絶縁性樹脂を用いることができる。また、保護層17の厚みTは、0.3μm以上100μm以下の範囲で選択することができる。なお、保護層17は、基板11のうち少なくともアンテナメッシュ配線層20及びアレー型メッシュ配線層30を覆うように形成されていれば良い。 Furthermore, as shown in FIGS. 3 and 4, a protective layer 17 is formed on the surface of the substrate 11 so as to cover the antenna mesh wiring layer 20 and the array type mesh wiring layer 30. The protective layer 17 protects the antenna mesh wiring layer 20 and the array type mesh wiring layer 30, and is formed over substantially the entire surface of the substrate 11. Materials for the protective layer 17 include acrylic resins such as polymethyl (meth)acrylate and polyethyl (meth)acrylate, modified resins and copolymers thereof, polyvinyl such as polyester, polyvinyl alcohol, polyvinyl acetate, polyvinyl acetal, and polyvinyl butyral. Colorless and transparent insulating resins such as resins and their copolymers, polyurethane, epoxy resins, polyamides, and chlorinated polyolefins can be used. Further, the thickness T 2 of the protective layer 17 can be selected within the range of 0.3 μm or more and 100 μm or less. Note that the protective layer 17 may be formed so as to cover at least the antenna mesh wiring layer 20 and the array type mesh wiring layer 30 of the substrate 11 .

[配線基板の製造方法]
次に、図7(a)-(i)を参照して、本実施の形態による配線基板の製造方法について説明する。図7(a)-(i)は、本実施の形態による配線基板の製造方法を示す断面図である。
[Method for manufacturing wiring board]
Next, a method for manufacturing a wiring board according to this embodiment will be described with reference to FIGS. 7(a) to 7(i). 7(a)-(i) are cross-sectional views showing a method for manufacturing a wiring board according to this embodiment.

まず、図7(a)に示すように、基板11を準備し、この基板11の表面の略全域に導電層51を形成する。本実施の形態において導電層51の厚さは、200nmである。しかしながらこれに限定されず、導電層51の厚さは10nm以上1000nm以下の範囲で適宜選択することができる。本実施の形態において導電層51は、銅を用いてスパッタリング法によって形成する。導電層51を形成する方法としては、プラズマCVD法を用いても良い。 First, as shown in FIG. 7A, a substrate 11 is prepared, and a conductive layer 51 is formed on substantially the entire surface of the substrate 11. In this embodiment, the thickness of conductive layer 51 is 200 nm. However, the thickness of the conductive layer 51 is not limited thereto, and can be appropriately selected within the range of 10 nm or more and 1000 nm or less. In this embodiment, the conductive layer 51 is formed using copper by a sputtering method. As a method for forming the conductive layer 51, a plasma CVD method may be used.

次に、図7(b)に示すように、基板11の表面の略全域に光硬化性絶縁レジスト52を供給する。この光硬化性絶縁レジスト52としては、例えばエポキシ系樹脂等の有機樹脂を挙げることができる。 Next, as shown in FIG. 7(b), a photocurable insulating resist 52 is applied to substantially the entire surface of the substrate 11. As this photocurable insulating resist 52, for example, organic resin such as epoxy resin can be used.

続いて、凸部53aを有する透明なインプリント用のモールド53を準備し(図7(c))、このモールド53と基板11とを近接させて、モールド53と基板11との間に光硬化性絶縁レジスト52を展開する。次いで、モールド53側から光照射を行い、光硬化性絶縁レジスト52を硬化させることにより、絶縁層54を形成する。これにより、絶縁層54の表面に、凸部53aが転写された形状をもつトレンチ54aが形成される。トレンチ54aは、第1配線21、第2配線22、第3配線31及び第4配線32に対応する平面形状パターンを有する。 Next, a transparent mold 53 for imprinting having a convex portion 53a is prepared (FIG. 7(c)), the mold 53 and the substrate 11 are brought close to each other, and photocuring is performed between the mold 53 and the substrate 11. Then, the insulating resist 52 is developed. Next, the insulating layer 54 is formed by irradiating light from the mold 53 side to harden the photocurable insulating resist 52. As a result, a trench 54a having a shape in which the convex portion 53a is transferred is formed on the surface of the insulating layer 54. The trench 54a has a planar pattern corresponding to the first wiring 21, the second wiring 22, the third wiring 31, and the fourth wiring 32.

その後、モールド53を絶縁層54から剥離することにより、図7(d)に示す断面構造の絶縁層54を得る。 Thereafter, the mold 53 is peeled off from the insulating layer 54 to obtain the insulating layer 54 having the cross-sectional structure shown in FIG. 7(d).

このように、絶縁層54の表面に、インプリント法によってトレンチ54aを形成することにより、トレンチ54aの形状を微細なものとすることができる。なお、これに限らず、絶縁層54をフォトリソグラフィ法により形成しても良い。この場合、フォトリソグラフィ法により、第1配線21、第2配線22、第3配線31及び第4配線32に対応する導電層51を露出するようにレジストパターンを形成する。 In this way, by forming the trenches 54a on the surface of the insulating layer 54 by the imprint method, the shape of the trenches 54a can be made fine. Note that the present invention is not limited to this, and the insulating layer 54 may be formed by a photolithography method. In this case, a resist pattern is formed by photolithography to expose the conductive layer 51 corresponding to the first wiring 21, second wiring 22, third wiring 31, and fourth wiring 32.

図7(d)に示すように、絶縁層54のトレンチ54aの底部には、絶縁材料の残渣が残ることがある。このため過マンガン酸塩溶液やN-メチル-2-ピロリドンを用いたウェット処理や、酸素プラズマを用いたドライ処理を行うことによって、絶縁材料の残渣を除去する。このように、絶縁材料の残渣を除去することによって、図7(e)に示すように導電層51を露出したトレンチ54aを形成することができる。 As shown in FIG. 7D, residues of the insulating material may remain at the bottom of the trench 54a of the insulating layer 54. Therefore, the residue of the insulating material is removed by performing a wet treatment using a permanganate solution or N-methyl-2-pyrrolidone, or a dry treatment using oxygen plasma. By removing the residue of the insulating material in this manner, a trench 54a in which the conductive layer 51 is exposed can be formed as shown in FIG. 7(e).

次に、図7(f)に示すように、絶縁層54のトレンチ54aを、導電体55で充填する。本実施の形態において、導電層51をシード層として、電解メッキ法を用いて絶縁層54のトレンチ54aを銅で充填する。 Next, as shown in FIG. 7(f), the trench 54a of the insulating layer 54 is filled with a conductor 55. In this embodiment, trenches 54a of insulating layer 54 are filled with copper using electrolytic plating using conductive layer 51 as a seed layer.

続いて、図7(g)に示すように、絶縁層54を除去する。この場合、過マンガン酸塩溶液やN-メチル-2-ピロリドンを用いたウェット処理や、酸素プラズマを用いたドライ処理を行うことによって、基板11上の絶縁層54を除去する。 Subsequently, as shown in FIG. 7(g), the insulating layer 54 is removed. In this case, the insulating layer 54 on the substrate 11 is removed by wet processing using a permanganate solution or N-methyl-2-pyrrolidone or dry processing using oxygen plasma.

次いで、図7(h)に示すように、基板11の表面上の導電層51を除去する。この際、過酸化水素水を用いたウェット処理を行うことによって、基板11の表面が露出するように導電層51をエッチングする。このようにして、基板11と、基板11上に配置されたアンテナメッシュ配線層20と、アンテナメッシュ配線層20の周囲に配置されたアレー型メッシュ配線層30と、を有する配線基板10が得られる。この場合、アンテナメッシュ配線層20は、第1配線21及び第2配線22を含む。またアレー型メッシュ配線層30は、第3配線31及び第4配線32を含む。このとき、導電体55の一部によって、給電部40が形成される。あるいは、平板状の給電部40を別途準備し、この給電部40をアンテナメッシュ配線層20に電気的に接続しても良い。 Next, as shown in FIG. 7(h), the conductive layer 51 on the surface of the substrate 11 is removed. At this time, the conductive layer 51 is etched by performing a wet process using hydrogen peroxide solution so that the surface of the substrate 11 is exposed. In this way, a wiring board 10 is obtained that includes the substrate 11, the antenna mesh wiring layer 20 disposed on the substrate 11, and the array-type mesh wiring layer 30 disposed around the antenna mesh wiring layer 20. . In this case, the antenna mesh wiring layer 20 includes a first wiring 21 and a second wiring 22. Further, the array type mesh wiring layer 30 includes a third wiring 31 and a fourth wiring 32. At this time, a portion of the conductor 55 forms the power feeding section 40 . Alternatively, a flat power supply section 40 may be prepared separately and this power supply section 40 may be electrically connected to the antenna mesh wiring layer 20.

その後、図7(i)に示すように、基板11上のアンテナメッシュ配線層20及びアレー型メッシュ配線層30を覆うように保護層17を形成する。保護層17を形成する方法としては、ロールコート、グラビアコート、グラビアリバースコート、マイクログラビアコート、スロットダイコート、ダイコート、ナイフコート、インクジェットコート、ディスペンサーコート、キスコート、スプレーコート、スクリーン印刷、オフセット印刷、フレキソ印刷を用いても良い。 Thereafter, as shown in FIG. 7(i), a protective layer 17 is formed to cover the antenna mesh wiring layer 20 and the array type mesh wiring layer 30 on the substrate 11. Methods for forming the protective layer 17 include roll coating, gravure coating, gravure reverse coating, microgravure coating, slot die coating, die coating, knife coating, inkjet coating, dispenser coating, kiss coating, spray coating, screen printing, offset printing, and flexography. Printing may also be used.

[本実施の形態の作用]
次に、このような構成からなる配線基板の作用について述べる。
[Operation of this embodiment]
Next, the operation of the wiring board having such a configuration will be described.

図8乃至図10に示すように、配線基板10は、ディスプレイ91を有する画像表示装置(表示装置)90に組み込まれる。このような画像表示装置90としては、例えばスマートフォン、タブレット等の携帯端末機器を挙げることができる。 As shown in FIGS. 8 to 10, the wiring board 10 is incorporated into an image display device (display device) 90 having a display 91. As shown in FIGS. Examples of such an image display device 90 include mobile terminal devices such as a smartphone and a tablet.

画像表示装置90は、筐体92と、筐体92に収容されたディスプレイ91と、筐体92に収容された無線通信用回路94とを備えている。無線通信用回路94には、給電線95が接続されている。給電線95は、画像表示装置90の側面で厚み方向(Z方向)に延びている(図9参照)。配線基板10は、ディスプレイ91上に配置される。また配線基板10のアンテナメッシュ配線層20は、平面視で少なくとも一部がディスプレイ91に重なる位置に設けられている。アンテナメッシュ配線層20は、給電部40及び給電線95を介して、画像表示装置90の無線通信用回路94に電気的に接続される。このようにして、アンテナメッシュ配線層20を介して、所定の周波数の電波を送受信することができ、画像表示装置90を用いて通信を行うことができる。 The image display device 90 includes a housing 92 , a display 91 housed in the housing 92 , and a wireless communication circuit 94 housed in the housing 92 . A power supply line 95 is connected to the wireless communication circuit 94 . The power supply line 95 extends in the thickness direction (Z direction) on the side surface of the image display device 90 (see FIG. 9). Wiring board 10 is placed on display 91 . Further, the antenna mesh wiring layer 20 of the wiring board 10 is provided at a position where at least a portion thereof overlaps the display 91 in plan view. The antenna mesh wiring layer 20 is electrically connected to the wireless communication circuit 94 of the image display device 90 via the power feeding section 40 and the power feeding line 95. In this way, radio waves of a predetermined frequency can be transmitted and received via the antenna mesh wiring layer 20, and communication can be performed using the image display device 90.

ところで、一般に、アンテナメッシュ配線層20が例えば5Gアンテナ(特にミリ波用アンテナ)である場合、アンテナメッシュ配線層20が送受信する電波の帯域幅が狭く、指向性も強い傾向がある。これに対して本実施の形態においては、基板11上であってアンテナメッシュ配線層20の周囲に、無給電型のアレー型メッシュ配線層30が設けられている。これにより、アンテナメッシュ配線層20が送受信する電波の帯域幅をより広げることができるとともに、アンテナメッシュ配線層20のアンテナの指向性を広げることができる。この場合、アレー型メッシュ配線層30の長さ(Y方向距離)を調整することにより、さらにアンテナメッシュ配線層20が送受信する電波の帯域幅を広げることができる。 By the way, in general, when the antenna mesh wiring layer 20 is, for example, a 5G antenna (particularly a millimeter wave antenna), the bandwidth of radio waves transmitted and received by the antenna mesh wiring layer 20 tends to be narrow and the directivity tends to be strong. In contrast, in this embodiment, a parasitic array type mesh wiring layer 30 is provided on the substrate 11 and around the antenna mesh wiring layer 20. Thereby, the bandwidth of radio waves transmitted and received by the antenna mesh wiring layer 20 can be further expanded, and the directivity of the antenna of the antenna mesh wiring layer 20 can be expanded. In this case, by adjusting the length (Y direction distance) of the array type mesh wiring layer 30, the bandwidth of the radio waves transmitted and received by the antenna mesh wiring layer 20 can be further widened.

また、本実施の形態によれば、配線基板10は、透明性を有する基板11と、基板11上に配置され、アンテナメッシュ配線層20及びアレー型メッシュ配線層30とを備えている。このアンテナメッシュ配線層20及びアレー型メッシュ配線層30は、不透明な導電体層の形成部としての導体部と多数の開口部とによるメッシュ状のパターンを有しているので、配線基板10の透明性が確保されている。これにより、配線基板10がディスプレイ91上に配置されたとき、アンテナメッシュ配線層20の開口部23及びアレー型メッシュ配線層30の開口部33からディスプレイ91を視認することができ、ディスプレイ91の視認性が妨げられることがない。 Further, according to the present embodiment, the wiring board 10 includes a transparent substrate 11, an antenna mesh wiring layer 20, and an array-type mesh wiring layer 30 arranged on the substrate 11. The antenna mesh wiring layer 20 and the array-type mesh wiring layer 30 have a mesh-like pattern consisting of a conductor portion as a forming portion of an opaque conductor layer and a large number of openings, so that the wiring board 10 is transparent. gender is ensured. As a result, when the wiring board 10 is placed on the display 91, the display 91 can be visually recognized through the opening 23 of the antenna mesh wiring layer 20 and the opening 33 of the array type mesh wiring layer 30, and the display 91 can be visually recognized. Sexuality is not hindered.

また、本実施の形態によれば、アンテナメッシュ配線層20は、複数の第1配線21を連結する複数の第2配線22を含み、アレー型メッシュ配線層30は、複数の第3配線31を連結する複数の第4配線32を含む。これにより、第1配線21、第2配線22、第3配線31及び第4配線32を断線しにくくすることができ、アンテナメッシュ配線層20及びアレー型メッシュ配線層30の機能が低下することを抑制することができる。 Further, according to the present embodiment, the antenna mesh wiring layer 20 includes a plurality of second wirings 22 that connect a plurality of first wirings 21, and the array type mesh wiring layer 30 includes a plurality of third wirings 31. It includes a plurality of fourth wirings 32 that are connected. Thereby, the first wiring 21, the second wiring 22, the third wiring 31, and the fourth wiring 32 can be made difficult to disconnect, and the functions of the antenna mesh wiring layer 20 and the array type mesh wiring layer 30 can be prevented from deteriorating. Can be suppressed.

また、本実施の形態によれば、アレー型メッシュ配線層30の第3配線31の長さLは、アンテナメッシュ配線層20の第2配線22の長さLの80%以上120%以下である。これにより、第3配線31の長さLを適宜調整することにより、アンテナメッシュ配線層20の共振周波数のピークを調整することができ、アンテナメッシュ配線層20が送受信する電波の帯域幅を広げることができる。 Further, according to the present embodiment, the length L b of the third wiring 31 of the array type mesh wiring layer 30 is greater than or equal to 80% and less than or equal to 120% of the length L a of the second wiring 22 of the antenna mesh wiring layer 20 . It is. As a result, by appropriately adjusting the length L b of the third wiring 31, the peak of the resonant frequency of the antenna mesh wiring layer 20 can be adjusted, and the bandwidth of radio waves transmitted and received by the antenna mesh wiring layer 20 can be expanded. be able to.

(変形例)
次に、配線基板の変形例について説明する。
(Modified example)
Next, a modification of the wiring board will be described.

図11は、配線基板の一変形例を示している。図11に示す変形例は、アンテナメッシュ配線層20及びアレー型メッシュ配線層30の配置が異なるものであり、他の構成は上述した図1乃至図10に示す実施の形態と略同一である。図11において、図1乃至図10に示す形態と同一部分には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。 FIG. 11 shows a modified example of the wiring board. The modification shown in FIG. 11 differs in the arrangement of the antenna mesh wiring layer 20 and the array type mesh wiring layer 30, and the other configurations are substantially the same as the embodiment shown in FIGS. 1 to 10 described above. In FIG. 11, the same parts as those in the form shown in FIGS. 1 to 10 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

図11に示す配線基板10Aにおいて、基板11上に8個(複数)のアンテナメッシュ配線層20が配置されている。アンテナメッシュ配線層20は、基板11の長手方向(Y方向)辺及び短手方向(X方向)辺にそれぞれ2個(複数)ずつ配置されている。各アンテナメッシュ配線層20の周囲には、それぞれ一対の無給電型のアレー型メッシュ配線層30が配置されている。 In the wiring board 10A shown in FIG. 11, eight (plural) antenna mesh wiring layers 20 are arranged on the board 11. Two (plural) antenna mesh wiring layers 20 are arranged on each of the longitudinal direction (Y direction) side and the transverse direction (X direction) side of the substrate 11 . A pair of parasitic array-type mesh wiring layers 30 is arranged around each antenna mesh wiring layer 20, respectively.

このように、アンテナメッシュ配線層20及びアレー型メッシュ配線層30を基板11の全ての辺に沿って配置することにより、アンテナメッシュ配線層20が送受信する電波の帯域幅及び指向性をより広げることができる。なお、アンテナメッシュ配線層20及びアレー型メッシュ配線層30は、基板11の2つ又は3つの辺に沿って配置されていても良い。 In this way, by arranging the antenna mesh wiring layer 20 and the array type mesh wiring layer 30 along all sides of the substrate 11, the bandwidth and directivity of radio waves transmitted and received by the antenna mesh wiring layer 20 can be further expanded. I can do it. Note that the antenna mesh wiring layer 20 and the array type mesh wiring layer 30 may be arranged along two or three sides of the substrate 11.

上記実施の形態および変形例に開示されている複数の構成要素を必要に応じて適宜組合せることも可能である。あるいは、上記実施の形態および変形例に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。 It is also possible to appropriately combine the plurality of components disclosed in the above embodiments and modifications as necessary. Alternatively, some components may be deleted from all the components shown in the above embodiments and modifications.

10 配線基板
11 基板
17 保護層
20 アンテナメッシュ配線層
21 第1配線
22 第2配線
23 開口部
30 アレー型メッシュ配線層
31 第3配線
32 第4配線
33 開口部
40 給電部
10 Wiring board 11 Substrate 17 Protective layer 20 Antenna mesh wiring layer 21 First wiring 22 Second wiring 23 Opening 30 Array type mesh wiring layer 31 Third wiring 32 Fourth wiring 33 Opening 40 Power feeding part

Claims (8)

表示装置用の配線基板であって、
透明性を有する基板と、
前記基板上に配置され、アンテナとして機能するアンテナメッシュ配線層と、
前記アンテナメッシュ配線層に電気的に接続された給電部と、
前記基板上であって、前記アンテナメッシュ配線層の周囲に配置された無給電型のアレー型メッシュ配線層と、を備え、
前記給電部は、その全体が平面視で前記表示装置のディスプレイに重ならない位置に設けられ
前記アンテナメッシュ配線層の開口率は、87%以上100%未満であり、
前記アンテナメッシュ配線層は、互いに平行に配置された複数の第1配線と、前記複数の第1配線を連結する複数の第2配線とを含み、前記第1配線の線幅は0.1μm以上5.0μm以下であり、前記第2配線の線幅は、0.1μm以上5.0μm以下であり、
前記アレー型メッシュ配線層の開口率は、87%以上100%未満である、配線基板。
A wiring board for a display device,
a transparent substrate;
an antenna mesh wiring layer disposed on the substrate and functioning as an antenna;
a power feeding section electrically connected to the antenna mesh wiring layer;
a parasitic array type mesh wiring layer disposed on the substrate and around the antenna mesh wiring layer,
The power feeding unit is provided at a position where the entirety thereof does not overlap the display of the display device in plan view ,
The antenna mesh wiring layer has an aperture ratio of 87% or more and less than 100%,
The antenna mesh wiring layer includes a plurality of first wirings arranged parallel to each other and a plurality of second wirings connecting the plurality of first wirings, and the line width of the first wiring is 0.1 μm or more. 5.0 μm or less, and the line width of the second wiring is 0.1 μm or more and 5.0 μm or less,
The wiring board , wherein the array type mesh wiring layer has an aperture ratio of 87% or more and less than 100% .
記アレー型メッシュ配線層は、互いに平行に配置された複数の第3配線と、前記複数の第3配線を連結する複数の第4配線とを含む、請求項1に記載の配線基板。 2. The wiring board according to claim 1, wherein the array type mesh wiring layer includes a plurality of third wirings arranged in parallel to each other and a plurality of fourth wirings connecting the plurality of third wirings. 前記アレー型メッシュ配線層の前記第3配線の長さは、前記アンテナメッシュ配線層の前記第2配線の長さの80%以上120%以下である、請求項2に記載の配線基板。 3. The wiring board according to claim 2, wherein the length of the third wiring of the array type mesh wiring layer is 80% or more and 120% or less of the length of the second wiring of the antenna mesh wiring layer. 前記アンテナメッシュ配線層は、平面視で正方形状である、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の配線基板。 The wiring board according to any one of claims 1 to 3, wherein the antenna mesh wiring layer has a square shape in plan view. 前記給電部は、前記基板の外周縁に位置する、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の配線基板。 The wiring board according to any one of claims 1 to 4, wherein the power feeding section is located at an outer peripheral edge of the board. 前記アンテナメッシュ配線層は、平面視で前記表示装置のディスプレイに重なる位置に設けられる、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の配線基板。 The wiring board according to any one of claims 1 to 5, wherein the antenna mesh wiring layer is provided at a position overlapping a display of the display device in plan view. 前記基板上に、前記アンテナメッシュ配線層及び前記前記アレー型メッシュ配線層を覆うように保護層が形成されている、請求項1乃至6のいずれか一項に記載の配線基板。 7. The wiring board according to claim 1, wherein a protective layer is formed on the substrate so as to cover the antenna mesh wiring layer and the array type mesh wiring layer. 配線基板の製造方法であって、
透明性を有する基板を準備する工程と、
前記基板上に、アンテナとして機能するアンテナメッシュ配線層と、前記アンテナメッシュ配線層に電気的に接続された給電部と、前記アンテナメッシュ配線層の周囲に配置された無給電型のアレー型メッシュ配線層とを形成する工程と、を備え、
前記給電部は、その全体が平面視で前記表示装置のディスプレイに重ならない位置に設けられ
前記アンテナメッシュ配線層の開口率は、87%以上100%未満であり、
前記アンテナメッシュ配線層は、互いに平行に配置された複数の第1配線と、前記複数の第1配線を連結する複数の第2配線とを含み、前記第1配線の線幅は0.1μm以上5.0μm以下であり、前記第2配線の線幅は、0.1μm以上5.0μm以下であり、
前記アレー型メッシュ配線層の開口率は、87%以上100%未満である、配線基板の製造方法。
A method for manufacturing a wiring board, the method comprising:
a step of preparing a transparent substrate;
On the substrate, an antenna mesh wiring layer functioning as an antenna, a power feeding part electrically connected to the antenna mesh wiring layer, and a parasitic array type mesh wiring arranged around the antenna mesh wiring layer. a step of forming a layer;
The power feeding unit is provided at a position where the entirety thereof does not overlap the display of the display device in plan view ,
The antenna mesh wiring layer has an aperture ratio of 87% or more and less than 100%,
The antenna mesh wiring layer includes a plurality of first wirings arranged parallel to each other and a plurality of second wirings connecting the plurality of first wirings, and the line width of the first wiring is 0.1 μm or more. 5.0 μm or less, and the line width of the second wiring is 0.1 μm or more and 5.0 μm or less,
The method for manufacturing a wiring board , wherein the array type mesh wiring layer has an aperture ratio of 87% or more and less than 100% .
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