JP7353831B2

JP7353831B2 - Inner diameter measuring device and inner diameter measuring method using the inner diameter measuring device

Info

Publication number: JP7353831B2
Application number: JP2019124074A
Authority: JP
Inventors: 光司松本
Original assignee: Mitutoyo Corp
Current assignee: Mitutoyo Corp
Priority date: 2019-07-02
Filing date: 2019-07-02
Publication date: 2023-10-02
Anticipated expiration: 2039-07-02
Also published as: JP2021009115A

Description

本発明は内径測定装置に関する。 The present invention relates to an inner diameter measuring device.

穴の内径を測定する測定器として、ホールテスト、シリンダーゲージ、ボアマチック（登録商標）等の内径測定器が使用されている（例えば、特許文献１参照）。
ただ、これら内径測定器の使用にあたっては、測定子を進退させたり、内径測定器を穴に挿入した状態である程度求心したりする作業などが必要になるので、どうしても人手による手動測定ということになる。そのため、このような内径測定器で穴の加工精度を確認するためには人手と時間がかかっていた。 As a measuring instrument for measuring the inner diameter of a hole, an inner diameter measuring instrument such as a hole test, a cylinder gauge, or Borematic (registered trademark) is used (see, for example, Patent Document 1).
However, when using these inner diameter measuring instruments, it is necessary to move the probe forward and backward, and to centripetalize the inner diameter measuring instrument to a certain extent while it is inserted into the hole, so manual measurements are inevitably required. . Therefore, it takes manpower and time to check the accuracy of hole machining using such an inner diameter measuring device.

手動測定の代替手段として、生産現場において内径測定を自動化する内径測定装置としては、空気マイクロメータがある（例えば、特許文献２参照）。空気マイクロメータは、穴に差し入れて、空気を吹き出すだけであるから、現在の選択肢のなかでいうと、空気マイクロメータは、内径測定の自動化に適した測定装置であると言える。 As an alternative to manual measurement, there is an air micrometer as an inner diameter measuring device that automates inner diameter measurement at a production site (for example, see Patent Document 2). Since an air micrometer is simply inserted into a hole and blows out air, it can be said that among the current options, an air micrometer is a measuring device suitable for automating internal diameter measurement.

特開２０１０－１９７８３JP2010-19783 特開平８－１４８７１JP 8-14871

しかし、空気マイクロメータには次のようなデメリットもある。
まず、空気マイクロメータは、その仕組み上、非常に高価なものになってしまう。また、エアコンプレッサを用意したり整備したりしなければならない。測定能力の面でも、その仕組み上、空気マイクロメータの繰り返し精度には限界があり、また、測定範囲が極めて短い（数１００マイクロメートル程度）ものとなってしまう。 However, air micrometers also have the following disadvantages.
First, air micrometers are extremely expensive due to their mechanism. Additionally, an air compressor must be prepared and maintained. In terms of measurement ability, due to its mechanism, air micrometers have a limited repeatability, and the measurement range is extremely short (about several hundred micrometers).

本発明の目的は、安価で使い勝手がよく、なおかつ、穴径測定を自動化できる内径測定装置を提供することにある。 An object of the present invention is to provide an inner diameter measuring device that is inexpensive, easy to use, and can automate hole diameter measurement.

本発明の内径測定装置は、
軸方向に進退するロッドと、前記ロッドに連動して前記ロッドとは直交する方向に進退する測定子と、を有し、測定対象である穴の内部に挿入された状態で前記穴の内壁に前記測定子を当接させて穴の内径を測定する内径測定部と、
アクチュエータによって前記ロッドを軸方向に移動させる電動機構部と、
前記内径測定部を測定対象物に対して相対移動させて、前記内径測定部を穴に出し入れさせる移動手段と、を備える
ことを特徴とする。 The inner diameter measuring device of the present invention includes:
It has a rod that moves forward and backward in the axial direction, and a probe that moves forward and backward in a direction perpendicular to the rod in conjunction with the rod, and when inserted into the hole that is the object of measurement, it touches the inner wall of the hole. an inner diameter measuring section that measures the inner diameter of the hole by bringing the measuring probe into contact with it;
an electric mechanism unit that moves the rod in the axial direction by an actuator;
The apparatus is characterized by comprising a moving means for moving the inner diameter measuring part relative to the object to be measured and moving the inner diameter measuring part into and out of the hole.

本発明では、
前記電動機構部は、
前記ロッドの軸線と平行に設けられ、前記アクチュエータによって前記ロッドの軸線と平行に駆動させられるピストンと、
前記ロッドの軸線と平行に設けられたガイドレールにガイドされて、前記ロッドの軸線と平行に移動するスライダと、
前記ロッドの軸線と直交する方向に設けられ、前記ロッドと、前記ピストンと、前記スライダと、に接続された連結バーと、を備える
ことが好ましい。 In the present invention,
The electric mechanism section is
a piston provided parallel to the axis of the rod and driven by the actuator in parallel to the axis of the rod;
a slider that moves parallel to the axis of the rod while being guided by a guide rail provided parallel to the axis of the rod;
It is preferable to include a connection bar provided in a direction perpendicular to the axis of the rod and connected to the rod, the piston, and the slider.

本発明では、
前記移動手段は、多関節ロボットアームであって、前記多関節ロボットアームの先端に前記内径測定部が取り付けられている
ことが好ましい。 In the present invention,
Preferably, the moving means is a multi-joint robot arm, and the inner diameter measuring section is attached to a tip of the multi-joint robot arm.

本発明では、
前記多関節ロボットアームと前記内径測定部との間は継手部によって連結されており、
前記継手部は、前記内径測定部が測定対象である穴の内部に挿入された状態で前記ロッドの軸線に直交する面内での前記多関節ロボットアームの先端部と前記内径測定部との相対変位を許容する
ことが好ましい。 In the present invention,
The multi-joint robot arm and the inner diameter measuring section are connected by a joint section,
The joint portion is configured to adjust the relative position between the tip of the articulated robot arm and the inner diameter measuring portion in a plane perpendicular to the axis of the rod when the inner diameter measuring portion is inserted into the hole to be measured. It is preferable to allow displacement.

内径測定装置の全体外観図である。FIG. 2 is an overall external view of the inner diameter measuring device. 内径測定ユニット部の拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view of the inner diameter measuring unit. 外カバーを外して、内径測定ユニット部の内部構造を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing the internal structure of the inner diameter measuring unit section with the outer cover removed. 内径測定部の内部構造を示すための断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing the internal structure of the inner diameter measuring section. 内径測定装置で穴径を測定する様子を例示した図である。FIG. 3 is a diagram illustrating how a hole diameter is measured with an inner diameter measuring device. フローティング継手（継手部）の構成を例示する図である。It is a figure which illustrates the structure of a floating joint (joint part).

本発明の実施形態を図示するとともに図中の各要素に付した符号を参照して説明する。
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態を説明する。
本実施形態は、測定対象である穴の内径（穴径）の測定を自動化する内径測定装置１００である。
図１は、内径測定装置１００の全体外観図である。
内径測定装置１００は、対象の穴径を自動的に測定する内径測定ユニット部１１０と、内径測定ユニット部１１０を移動させる移動手段としての多関節ロボットアーム部１２０と、を備える。 DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings and reference numerals attached to each element in the drawings.
(First embodiment)
A first embodiment of the present invention will be described.
This embodiment is an inner diameter measuring device 100 that automates the measurement of the inner diameter (hole diameter) of a hole to be measured.
FIG. 1 is an overall external view of the inner diameter measuring device 100.
The inner diameter measuring device 100 includes an inner diameter measuring unit section 110 that automatically measures the diameter of a target hole, and an articulated robot arm section 120 as a moving means for moving the inner diameter measuring unit section 110.

内径測定ユニット部１１０の構成を説明する。
図２は、内径測定ユニット部１１０の拡大図である。
図３は、外カバー１１２を外して、内径測定ユニット部１１０の内部構造を示す図である。 The configuration of the inner diameter measurement unit section 110 will be explained.
FIG. 2 is an enlarged view of the inner diameter measuring unit section 110.
FIG. 3 is a diagram showing the internal structure of the inner diameter measuring unit section 110 with the outer cover 112 removed.

内径測定ユニット部１１０は、内径測定部２００と、支持台座部３００と、直動電動機構部（電動機構部）４００と、フローティング継手（継手部）５００と、外カバー１１２と、を備える。 The inner diameter measurement unit section 110 includes an inner diameter measurement section 200, a support pedestal section 300, a direct drive electric mechanism section (electric mechanism section) 400, a floating joint (joint section) 500, and an outer cover 112.

内径測定部２００の基本的な構成は、既存の内径測定器とほぼ同じであるが、簡単に説明しておく。なお、以下の説明では、図の向きに合わせて、上方向や下方向を規定して説明する。ただし、実際の使用にあたっては、内径測定ユニット部１１０を横に倒して使用してもよい。 The basic configuration of the inner diameter measuring section 200 is almost the same as that of existing inner diameter measuring instruments, but will be briefly explained. In addition, in the following description, the upper direction and the lower direction will be defined in accordance with the orientation of the drawings. However, in actual use, the inner diameter measuring unit section 110 may be used by laying it down.

図４は、内径測定部２００の内部構造を示すための断面図である。
内径測定部２００は、筒ケース部２１０と、ロッド２２０と、測定子２３０と、変位検出部２４０と、表示ユニット部２５０と、を備える。 FIG. 4 is a sectional view showing the internal structure of the inner diameter measuring section 200.
The inner diameter measuring section 200 includes a cylindrical case section 210, a rod 220, a probe 230, a displacement detecting section 240, and a display unit section 250.

筒ケース部２１０は、全体として筒状のケースである。
筒ケース部２１０の内部をロッド２２０が軸方向に進退する。
筒ケース部２１０は、上部パートを構成する上筒ケース部２１１と、中間パートを構成する中間筒ケース部２１２と、下部パートを構成する下筒ケース部２１３と、からなる。上筒ケース部２１１の下端に中間筒ケース部２１２が螺合され、中間筒ケース部２１２の下端に下筒ケース部２１３が螺合されている。 The cylindrical case portion 210 is a cylindrical case as a whole.
A rod 220 moves back and forth in the axial direction inside the cylindrical case portion 210.
The cylinder case part 210 includes an upper cylinder case part 211 that constitutes an upper part, an intermediate cylinder case part 212 that constitutes an intermediate part, and a lower cylinder case part 213 that constitutes a lower part. An intermediate cylinder case part 212 is screwed into the lower end of the upper cylinder case part 211, and a lower cylinder case part 213 is screwed into the lower end of the intermediate cylinder case part 212.

ロッド２２０は、全体としては、長手の棒状体である。
ロッド２２０は、３つのパートからなり、上段ロッド２２１と、中段ロッド２２２と、下段ロッド２２３と、からなる。 The rod 220 is generally a long rod-shaped body.
The rod 220 consists of three parts: an upper rod 221, a middle rod 222, and a lower rod 223.

上段ロッド２２１は、上筒ケース部２１１に配設され、上段ロッド２２１の上端側は上筒ケース部２１１の上端から突き出ている。具体的には、上筒ケース部２１１の上端部にはブッシュ２１４が螺合されており、上段ロッド２２１の上端部はブッシュ２１４を貫通して上方に突き出ている。
上段ロッド２２１の下端部にはバネ受け２２４が固定的に取り付けられている。ブッシュ２１４とバネ受け２２４との間に押しバネ２２５が介装されており、押しバネ２２５は上段ロッド２２１を下方に押している。 The upper rod 221 is disposed in the upper cylinder case part 211 , and the upper end side of the upper rod 221 protrudes from the upper end of the upper cylinder case part 211 . Specifically, a bush 214 is screwed into the upper end of the upper tube case portion 211, and the upper end of the upper rod 221 passes through the bush 214 and projects upward.
A spring receiver 224 is fixedly attached to the lower end of the upper rod 221. A push spring 225 is interposed between the bush 214 and the spring receiver 224, and the push spring 225 pushes the upper rod 221 downward.

中段ロッド２２２は、上段ロッド２２１と下段ロッド２２３との間にあって、中段ロッド２２２の上端が上段ロッド２２１の下端に当接し、中段ロッド２２２の下端が下段ロッド２２３の上端に当接している。中段ロッド２２２は中間筒ケース部２１２を貫通して配設されている。 The middle rod 222 is located between the upper rod 221 and the lower rod 223, with the upper end of the middle rod 222 contacting the lower end of the upper rod 221, and the lower end of the middle rod 222 contacting the upper end of the lower rod 223. The middle rod 222 is disposed to pass through the middle cylindrical case portion 212.

下段ロッド２２３は、下筒ケース部２１３の内部に配設されている。下段ロッド２２３の下端側は円錐形になっている。 The lower rod 223 is disposed inside the lower cylinder case portion 213. The lower end side of the lower rod 223 has a conical shape.

測定子２３０は、下筒ケース部２１３において、ロッド２２０の軸線方向に直交する方向に進退するように設けられている。
測定子２３０は、下筒ケース部２１３において１２０°間隔で３つ配設されている。
各測定子２３０は、その外端に超硬で形成された細い丸軸状の丸軸チップ２３１を有する。各測定子２３０が突出方向に前進したとき、丸軸チップ２３１が測定対象の内壁に当接する（例えば図５参照）。 The measuring element 230 is provided in the lower cylinder case portion 213 so as to move forward and backward in a direction perpendicular to the axial direction of the rod 220.
Three probes 230 are arranged at 120° intervals in the lower tube case portion 213.
Each probe 230 has a thin round shaft tip 231 made of carbide at its outer end. When each measuring element 230 moves forward in the protruding direction, the round shaft tip 231 comes into contact with the inner wall of the object to be measured (for example, see FIG. 5).

各測定子２３０の内端側にはテーパ面２３２が形成されており、このテーパ面２３２は下段ロッド２２３の円錐面２２６に当接するようになっている。下段ロッド２２３の円錐面２２６と測定子２３０のテーパ面２３２とにより、力および変位の方向を直角に方向転換させる変位方向変換手段となっている。 A tapered surface 232 is formed on the inner end side of each measuring element 230, and this tapered surface 232 comes into contact with the conical surface 226 of the lower rod 223. The conical surface 226 of the lower rod 223 and the tapered surface 232 of the measuring element 230 serve as a displacement direction converting means for changing the direction of force and displacement at right angles.

下筒ケース部２１３の内部には各測定子２３０に対応した板バネ２３３が設けられており、各板バネ２３３の一端は下筒ケース部２１３の内壁に固定され、各板バネ２３３の他端は各測定子２３０に固定されている。
板バネ２３３により、各測定子２３０は下筒ケース部２１３の内側に没入する方向に付勢されている。板バネ２３３の付勢力と押しバネ２２５の付勢力とは、変位方向変換手段を間にして、互いに反対向きである。
ただし、板バネ２３３の付勢力は比較的弱く、押しバネ２２５の力よりも弱くなるように設定されている。 A leaf spring 233 corresponding to each probe 230 is provided inside the lower cylinder case part 213, one end of each leaf spring 233 is fixed to the inner wall of the lower cylinder case part 213, and the other end of each leaf spring 233 is fixed to the inner wall of the lower cylinder case part 213. is fixed to each probe 230.
Each probe 230 is biased by a leaf spring 233 in a direction to be retracted into the inner side of the lower cylinder case portion 213 . The biasing force of the leaf spring 233 and the biasing force of the push spring 225 are opposite to each other with the displacement direction converting means in between.
However, the biasing force of the leaf spring 233 is relatively weak and is set to be weaker than the force of the push spring 225.

ロッド２２０が外力で上方に引き上げられると、板バネ２３３の力によって測定子２３０はロッド２２０に追随して下筒ケース部２１３に入る方向に移動する。
ロッド２２０を引き上げる力を解除すると、ロッド２２０は押しバネ２２５の付勢力および自重によって下方に下がる。
このとき、測定子２３０はロッド２２０（下段ロッド２２３の円錐面２２６）に押されて、下筒ケース部２１３から突き出る方向に移動する。下筒ケース部２１３が測定対象である穴の内部に挿入されていれば、測定子２３０の先端の丸軸チップ２３１が穴の内壁に当接する（例えば図５参照。）。 When the rod 220 is pulled upward by an external force, the force of the leaf spring 233 causes the probe 230 to follow the rod 220 and move in the direction of entering the lower case portion 213 .
When the force that pulls up the rod 220 is released, the rod 220 moves downward due to the biasing force of the push spring 225 and its own weight.
At this time, the probe 230 is pushed by the rod 220 (the conical surface 226 of the lower rod 223) and moves in the direction of protruding from the lower tube case portion 213. When the lower tube case portion 213 is inserted into the hole to be measured, the round shaft tip 231 at the tip of the probe 230 comes into contact with the inner wall of the hole (for example, see FIG. 5).

変位検出部２４０は、中間筒ケース部２１２の内部において中段ロッド２２２の変位を検出するように設けられている。
変位検出部２４０は、メインスケール２４１と、検出ヘッド部２４２と、からなる。
メインスケール２４１は、中段ロッド２２２の側面に固定されている。
検出ヘッド部２４２は、検出器２４３と、支持基板２４４と、演算回路部２４５と、を有する。
検出器２４３は、メインスケール２４１に対向するように配置されている。検出器２４３は、支持基板２４４に支持され、支持基板２４４は中間筒ケース部２１２に固定されている。支持基板２４４の背面には、演算回路部２４５が設けられている。 The displacement detection section 240 is provided inside the intermediate cylinder case section 212 to detect the displacement of the middle rod 222.
The displacement detection section 240 includes a main scale 241 and a detection head section 242.
The main scale 241 is fixed to the side surface of the middle rod 222.
The detection head section 242 includes a detector 243, a support substrate 244, and an arithmetic circuit section 245.
Detector 243 is arranged to face main scale 241. The detector 243 is supported by a support substrate 244, and the support substrate 244 is fixed to the intermediate tube case portion 212. An arithmetic circuit section 245 is provided on the back surface of the support substrate 244.

変位検出部２４０の検出方式は特段限定されず、例えば、光電式エンコーダ、静電容量式エンコーダ、電磁誘導式エンコーダ、磁気式エンコーダなどが例として挙げられる。
例えば、光電式エンコーダであれば、検出ヘッド部２４２は、光源と受光素子アレイとで構成され、メインスケール２４１は回折格子である。
演算回路部２４５は、受光素子アレイで光電変換された電気信号からメインスケール２４１と検出器２４３との相対変位量を求める。 The detection method of the displacement detection unit 240 is not particularly limited, and examples include a photoelectric encoder, a capacitance encoder, an electromagnetic induction encoder, and a magnetic encoder.
For example, in the case of a photoelectric encoder, the detection head section 242 includes a light source and a light receiving element array, and the main scale 241 is a diffraction grating.
The arithmetic circuit unit 245 calculates the amount of relative displacement between the main scale 241 and the detector 243 from the electrical signal photoelectrically converted by the light receiving element array.

表示ユニット部２５０は、蓋部２５１と、表示部２５２と、を有する。
蓋部２５１は、中間筒ケース部２１２の側面の開口部に螺合して前記開口部を閉塞する。
表示部２５２は、蓋部２５１の中央領域にはめ込まれたデジタル表示式の表示部２５２（例えば液晶表示パネルや有機ＥＬ表示パネル）である。表示部２５２には、演算回路部２４５で求められた測定値などが表示される。 The display unit section 250 includes a lid section 251 and a display section 252.
The lid portion 251 is screwed into an opening on the side surface of the intermediate cylinder case portion 212 to close the opening.
The display section 252 is a digital display type display section 252 (for example, a liquid crystal display panel or an organic EL display panel) fitted into the central region of the lid section 251. The display section 252 displays the measured values obtained by the arithmetic circuit section 245 and the like.

さらに、蓋部２５１の側面にコネクタが設けられ、演算回路部２４５で求められた測定値を外部出力できるようになっている。
本実施例では、外カバー１１２に無線通信機２５３を付設しており、ケーブル２５４で無線通信機２５３と内径測定部２００とを電気的に繋いでいる。そして、無線通信機２５３から測定値を外部のコンピュータ等に送信できるようになっている。 Further, a connector is provided on the side surface of the lid part 251, so that the measured value obtained by the arithmetic circuit part 245 can be outputted to the outside.
In this embodiment, a wireless communication device 253 is attached to the outer cover 112, and a cable 254 electrically connects the wireless communication device 253 and the inner diameter measuring section 200. The measured values can then be transmitted from the wireless communication device 253 to an external computer or the like.

支持台座部３００は、側方視でＬ字形の部材であり、支持支柱部３１０と、支持脚部３２０と、を有する。鉛直方向の支持支柱部３１０の下端が直角に屈曲して支持脚部３２０に連続している。 The support pedestal section 300 is an L-shaped member when viewed from the side, and includes a support column section 310 and a support leg section 320. The lower end of the vertical support column 310 is bent at a right angle and continues to the support leg 320 .

支持支柱部３１０は、内径測定部２００に隣接して平行にある。
支持支柱部３１０のおもて面側に二つのホールドリング３１１が取り付けられていて、このホールドリング３１１が上筒ケース部２１１に外嵌している。これにより、支持支柱部３１０が内径測定部２００を吊り下げるように保持している。 The support strut section 310 is adjacent to and parallel to the inner diameter measurement section 200 .
Two hold rings 311 are attached to the front side of the support column part 310, and these hold rings 311 are fitted onto the upper cylinder case part 211. Thereby, the support column part 310 holds the inner diameter measuring part 200 so as to suspend it.

支持脚部３２０は、支持支柱部３１０の下端において、内径測定部２００とは反対側であるうら面側に延在している。支持脚部３２０にはフローティング継手（継手部）５００が取り付けられている。 The support leg portion 320 extends toward the back side, which is the side opposite to the inner diameter measuring portion 200, at the lower end of the support column portion 310. A floating joint (joint part) 500 is attached to the support leg part 320.

直動電動機構部４００は、内径測定部２００のロッド２２０を電動（動力）によって軸線方向に進退（上下）させる。
直動電動機構部４００は、リニアアクチュエータ４１０と、連結バー４３０と、を備える。 The linear electric mechanism section 400 moves the rod 220 of the inner diameter measuring section 200 forward and backward (up and down) in the axial direction by electric power (power).
The linear electric mechanism section 400 includes a linear actuator 410 and a connecting bar 430.

リニアアクチュエータ４１０は、動力でピストン４１１を直動させる。
リニアアクチュエータ４１０は、支持支柱部３１０のうら面に取り付けられ、ピストン４１１の移動方向はロッド２２０の軸線方向と平行である。リニアアクチュエータ４１０には、ピストン４１１の移動方向をガイドする案内機構部４２０が付設されている。
リニアアクチュエータ４１０の筐体において、支持支柱部３１０の取り付け面とは反対の面にレール４２１があり、このレール４２１にガイドされるようにスライダ４２２が設けられている。スライダ４２２とピストン４１１とは互いの上端が補助連結バー４２３によって連結されている。 The linear actuator 410 uses power to linearly move the piston 411.
The linear actuator 410 is attached to the back surface of the support column 310, and the moving direction of the piston 411 is parallel to the axial direction of the rod 220. The linear actuator 410 is attached with a guide mechanism section 420 that guides the moving direction of the piston 411.
In the housing of the linear actuator 410, a rail 421 is provided on a surface opposite to the mounting surface of the support column 310, and a slider 422 is provided so as to be guided by this rail 421. The slider 422 and the piston 411 are connected at their upper ends by an auxiliary connection bar 423.

連結バー４３０は、その一端において上段ロッド２２１の上端部と固定的に接続され、連結バー４３０の他端側は補助連結バー４２３に固定的に接続されている。
リニアアクチュエータ４１０のピストン４１１が動力で押し上げられると、連結バー４３０とともに内径測定部２００のロッド２２０が引き上げられる。 The connection bar 430 has one end fixedly connected to the upper end of the upper rod 221, and the other end of the connection bar 430 is fixedly connected to the auxiliary connection bar 423.
When the piston 411 of the linear actuator 410 is pushed up by power, the rod 220 of the inner diameter measuring section 200 is pulled up together with the connecting bar 430.

図６にフローティング継手（継手部）の構成を例示する。
フローティング継手（継手部）５００は、固定板５１０と、接続板５２０と、中間板５３０と、平行バネ５４０、５５０と、を備える。
フローティング継手５００は、釣り合い位置に復帰させる付勢手段を介して固定板５１０と接続板５２０とを連結し、固定板５１０と接続板５２０との相対変位をある程度許容する。 FIG. 6 illustrates the configuration of a floating joint (joint part).
The floating joint (joint portion) 500 includes a fixed plate 510, a connecting plate 520, an intermediate plate 530, and parallel springs 540 and 550.
The floating joint 500 connects the fixed plate 510 and the connecting plate 520 via a biasing means that returns them to the balanced position, and allows relative displacement between the fixed plate 510 and the connecting plate 520 to some extent.

固定板５１０と接続板５２０との間に中間板５３０が配設されている。
固定板５１０と中間板５３０とは、一対の平行バネによって連結されている。固定板５１０と中間板５３０とを連結する平行バネを第１平行バネ５４０とする。
中間板５３０と接続板５２０とは、一対の平板状の平行バネによって連結されている。中間板５３０と接続板５２０とを連結する平行バネを第２平行バネ５５０とする。
第１平行バネ５４０の対向方向と第２平行バネ５５０の対向方向とは平行ではなく、ここでは、平面視したときに互いに直交する方向である。
固定板５１０は、支持脚部３２０に固定的に取り付けられている。 An intermediate plate 530 is disposed between the fixed plate 510 and the connecting plate 520.
The fixed plate 510 and the intermediate plate 530 are connected by a pair of parallel springs. A parallel spring that connects the fixed plate 510 and the intermediate plate 530 is referred to as a first parallel spring 540.
The intermediate plate 530 and the connecting plate 520 are connected by a pair of flat parallel springs. A parallel spring that connects the intermediate plate 530 and the connection plate 520 is referred to as a second parallel spring 550.
The opposing direction of the first parallel spring 540 and the opposing direction of the second parallel spring 550 are not parallel, but are directions that are orthogonal to each other when viewed from above.
The fixed plate 510 is fixedly attached to the support leg 320.

多関節ロボットアーム部１２０は、いわゆる、ロボットアームであり、鉛直方向の回転駆動軸や水平方向の回転駆動軸でアーム部１２０の先端を三次元的に移動させる。アーム部１２０の先端はフローティング継手５００の接続板５２０に接続されている。 The multi-joint robot arm section 120 is a so-called robot arm, and moves the tip of the arm section 120 three-dimensionally using a rotational drive shaft in a vertical direction or a rotational drive shaft in a horizontal direction. The tip of the arm portion 120 is connected to a connecting plate 520 of the floating joint 500.

このように構成された内径測定装置１００は、例えば、加工機械と並んで製造ラインの脇に設置されてもよい。そして、製造ラインを流れてくる被加工物の全てまたは一部を測定対象物とする。
あるいは、内径測定装置１００を加工機械のなかに組み入れてしまい、ワークにバイトで穴をあけたらすぐに内径測定部で内径を測定するようにしてもよい。穴径が設計値より小さいことがわかれば、すぐに穴をもう少し削るなどの微調整もできるようになる。 The inner diameter measuring device 100 configured in this manner may be installed beside a manufacturing line, for example, alongside a processing machine. Then, all or part of the workpiece flowing through the production line is taken as the object to be measured.
Alternatively, the inner diameter measuring device 100 may be incorporated into a processing machine, and the inner diameter may be measured by the inner diameter measuring section immediately after drilling a hole in the workpiece with a cutting tool. If you know that the hole diameter is smaller than the designed value, you can immediately make minor adjustments such as cutting the hole a little more.

内径測定装置１００で測定対象（穴の内径）を測定する一連の動作を説明する。
測定対象である穴を有するワーク（測定対象物）が製造ラインのコンベアベルトやレールによって搬送されてきて、内径測定装置１００の正面の所定位置に運ばれてくる。
まず、リニアアクチュエータ４１０を作動させて、ピストン４１１を上方に持ち上げる。すると、ピストン４１１の上昇とともにロッド２２０が引き上げられ、測定子２３０が下筒ケース部２１３に引き込まれる方向に移動する。 A series of operations for measuring a measurement target (inner diameter of a hole) using the inner diameter measuring device 100 will be described.
A workpiece (object to be measured) having a hole to be measured is conveyed by a conveyor belt or rail on a production line, and is brought to a predetermined position in front of the inner diameter measuring device 100 .
First, the linear actuator 410 is activated to lift the piston 411 upward. Then, as the piston 411 rises, the rod 220 is pulled up, and the probe 230 moves in the direction in which it is drawn into the lower case part 213.

この状態で、多関節ロボットアーム部１２０は、内径測定部２００の下筒ケース部２１３が測定対象である穴の内部に入るように内径測定ユニット部１１０を移動（例えば降下）させる。そして、リニアアクチュエータ４１０は、ピストン４１１を持ち上げている力を解除する。すると、ロッド２２０は、自重と押しバネ２２５の力によって下方に移動する。
ロッド２２０の移動に連動して測定子２３０がロッド２２０（下段ロッド２２３）の円錐面２２６に押され、測定子２３０が下筒ケース部２１３から突出する方向に移動する。
測定子２３０の先端の丸軸チップ２３１が穴の内壁に当接する（例えば図５参照）。 In this state, the articulated robot arm section 120 moves (for example, lowers) the inner diameter measuring unit section 110 so that the lower cylinder case section 213 of the inner diameter measuring section 200 enters the inside of the hole to be measured. The linear actuator 410 then releases the force lifting the piston 411. Then, the rod 220 moves downward due to its own weight and the force of the push spring 225.
In conjunction with the movement of the rod 220, the measuring stylus 230 is pushed by the conical surface 226 of the rod 220 (lower rod 223), and moves in the direction in which the measuring stylus 230 protrudes from the lower case portion 213.
A round shaft tip 231 at the tip of the measuring element 230 comes into contact with the inner wall of the hole (for example, see FIG. 5).

ここで、内径測定部２００が穴の中心からずれていたとしても、押しバネ２２５の付勢力が内壁に当接した測定子２３０をさらに押し続けると、自動的に三つの測定子２３０の突出量が等しくなって、内径測定部２００が穴の中心にくるようになる。
このとき、フローティング継手５００は、ロボットアーム部１２０の先端と支持台座部３００とがある程度相対変位することを許容するので、内径測定部２００が自動求心することを妨げない。さらに、内径測定部２００が穴の中心にきて、三つの測定子２３０が等しく内壁に当たることを確実にするため、ロボットアーム部１２０の先端を微小振動させて、求心を促すようにしてもよい。 Here, even if the inner diameter measuring part 200 is deviated from the center of the hole, if the biasing force of the push spring 225 continues to push the measuring element 230 that is in contact with the inner wall, the protruding amount of the three measuring elements 230 will be automatically adjusted. become equal, and the inner diameter measuring section 200 comes to be located at the center of the hole.
At this time, the floating joint 500 allows a certain degree of relative displacement between the tip of the robot arm section 120 and the support pedestal section 300, so it does not prevent the inner diameter measuring section 200 from automatically centripeting. Furthermore, in order to ensure that the inner diameter measuring section 200 is at the center of the hole and that the three measuring elements 230 hit the inner wall equally, the tip of the robot arm section 120 may be slightly vibrated to promote centripetal movement. .

内径測定部２００が穴の中心にきたところで、変位検出部２４０によりロッド２２０の変位を検出する。ロッド２２０の変位から測定子２３０の変位が求められ、測定値として、表示部２５２に表示されるとともに外部送信される。これで、穴径の測定値が得られた。 When the inner diameter measuring section 200 reaches the center of the hole, the displacement detecting section 240 detects the displacement of the rod 220. The displacement of the probe 230 is determined from the displacement of the rod 220, and is displayed on the display section 252 as a measurement value and is also transmitted to the outside. Now we have a measurement of the hole diameter.

あとは、穴から内径測定部２００を抜きとる。
リニアアクチュエータ４１０を再度作動させてピストン４１１を上昇させる。これにより、測定子２３０を後退させ、内壁と測定子２３０とを離間させる。多関節ロボットアーム部１２０を作動させて（例えば上昇）、内径測定ユニット部１１０を穴から出し、次の測定に備える。 After that, pull out the inner diameter measuring section 200 from the hole.
The linear actuator 410 is operated again to raise the piston 411. As a result, the measuring element 230 is moved backward, and the inner wall and the measuring element 230 are separated from each other. The articulated robot arm section 120 is actuated (for example, raised) to take the inner diameter measurement unit section 110 out of the hole and prepare for the next measurement.

このような構成によれば、従来手動操作していた内径測定器が自動化され、内径測定の全自動化が可能となる。
測定子が内壁に当接するタイプの内径測定器は、比較的安価であるとともに、取り扱いやメンテナンスも容易である。これにより、小規模な加工工場などにも穴径の自動インライン測定を導入することができるようになり、大幅な生産効率の向上が期待できる。 According to such a configuration, the inner diameter measuring device, which was conventionally operated manually, is automated, and it becomes possible to completely automate the inner diameter measurement.
The inner diameter measuring device of the type in which the probe contacts the inner wall is relatively inexpensive and easy to handle and maintain. This makes it possible to introduce automatic in-line measurement of hole diameters even in small-scale processing factories, and is expected to significantly improve production efficiency.

なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。 Note that the present invention is not limited to the above embodiments, and can be modified as appropriate without departing from the spirit.

上記実施形態の説明において、リニアアクチュエータ４１０はロッド２２０を引き上げるときにだけピストン４１１を上昇させる動力を提供し、ロッド２２０を下げるときにはリニアアクチュエータ４１０の動力を使わないで、押しバネ２２５の力とロッド２２０の自重でロッド２２０が降下するようにしていた。これは、ロッド２２０の自重や押しバネ２２５と板バネ２３３の押し合いを考慮したうえで測定圧が一定になるように調整済みであるため、リニアアクチュエータ４１０の動力ではなく、ロッド２２０を自由に落下（降下）させる方が測定精度が高いと考えられるからである。 In the above embodiment, the linear actuator 410 provides the power to raise the piston 411 only when pulling up the rod 220, and when lowering the rod 220, the power of the linear actuator 410 is not used, but the force of the push spring 225 and the rod The rod 220 was made to descend under its own weight. This is because the measurement pressure has been adjusted to be constant by taking into account the weight of the rod 220 and the pressure between the push spring 225 and the leaf spring 233, so the rod 220 is allowed to fall freely instead of being powered by the linear actuator 410. This is because it is considered that the measurement accuracy is higher if the sensor is lowered.

もちろん、ロッド２２０を降下させるにあたってリニアアクチュエータ４１０のピストン４１１を動力で下げるようにしてもよい。リニアアクチュエータ４１０の作動力を調整することによって、測定力を可変にすることもできる。 Of course, in order to lower the rod 220, the piston 411 of the linear actuator 410 may be lowered by power. By adjusting the actuation force of the linear actuator 410, the measurement force can also be made variable.

上記実施形態では、移動手段として多関節ロボットアーム部１２０を例示したが、大がかりな装置でなくとも、例えば上下方向の昇降機構がついた一次元駆動装置であってもよい。
一次元駆動装置は、コラムと、コラムに沿ってスライドするスライダと、スライダを駆動させるモータと、モータとスライダとを繋ぐ動力伝達機構（ボールネジやベルト・プーリなど）と、があればよい。さらに、求心を促すため、振動を促すような例えば振動モータ（偏心モータ）がスライダかフローティング継手（継手部）に付設されているとよい。 In the above embodiment, the articulated robot arm section 120 is used as an example of the moving means, but the moving means does not need to be a large-scale device, and may be, for example, a one-dimensional drive device with an up-and-down mechanism.
The one-dimensional drive device only needs to have a column, a slider that slides along the column, a motor that drives the slider, and a power transmission mechanism (such as a ball screw or belt pulley) that connects the motor and the slider. Further, in order to promote centripetal movement, it is preferable that a vibration motor (eccentric motor) that promotes vibration, for example, be attached to the slider or the floating joint (joint part).

上記実施形態では、内径測定部の先端の構造として、いわゆるホールテスト（ボアマチック（登録商標））を例示したが、ロッドに連動して測定子が進退して内壁に当接する構成の内径測定器であればよい。例えば、シリンダーゲージのヘッド部であれば、一つの進退する測定子を有するとともに、求心のため、測定子と同軸上で反対向きのアンビルと、直交方向の両側にガイドヘッドと、を有する。 In the above embodiment, a so-called hole test (Borematic (registered trademark)) was exemplified as the structure of the tip of the inner diameter measuring part, but this is an inner diameter measuring instrument in which the probe moves forward and backward in conjunction with the rod and comes into contact with the inner wall. Good to have. For example, the head part of a cylinder gauge has one measuring element that moves forward and backward, an anvil that is coaxial with the measuring element and facing in the opposite direction for centripetal control, and guide heads on both sides in the orthogonal direction.

１００…内径測定装置、
１１０…内径測定ユニット部、
１１２…外カバー、
１２０…多関節ロボットアーム部、
２００…内径測定部、
２１０…筒ケース部、
２１１…上筒ケース部、２１２…中間筒ケース部、２１３…下筒ケース部、
２１４…ブッシュ、
２２０…ロッド、
２２１…上段ロッド、２２２…中段ロッド、２２３…下段ロッド、
２２４…バネ受け、２２５…押しバネ、
２２６…円錐面、
２３０…測定子、２３１…丸軸チップ、２３２…テーパ面、２３３…板バネ、
２４０…変位検出部、
２４１…メインスケール、
２４２…検出ヘッド部、
２４３…検出器、２４４…支持基板、２４５…演算回路部、
２５０…表示ユニット部、２５１…蓋部、２５２…表示部、
２５３…無線通信機、２５４…ケーブル、
３００…支持台座部、
３１０…支持支柱部、３１１…ホールドリング、
３２０…支持脚部、
４００…直動電動機構部（電動機構部）、
４１０…リニアアクチュエータ、４１１…ピストン、
４２０…案内機構部、
４２１…レール、４２２…スライダ、４２３…補助連結バー、
４３０…連結バー、
５００…フローティング継手（継手部）、
５１０…固定板、５２０…接続板、５３０…中間板、
５４０…第１平行バネ
５５０…第２平行バネ。 100...inner diameter measuring device,
110...Inner diameter measurement unit section,
112...outer cover,
120...Articulated robot arm section,
200...inner diameter measuring section,
210...Cylinder case part,
211...Upper cylinder case part, 212...Middle cylinder case part, 213...Lower cylinder case part,
214...Bush,
220...rod,
221... Upper rod, 222... Middle rod, 223... Lower rod,
224...Spring receiver, 225...Press spring,
226...conical surface,
230... Measuring element, 231... Round shaft tip, 232... Tapered surface, 233... Leaf spring,
240...displacement detection section,
241...Main scale,
242...detection head section,
243...detector, 244...support substrate, 245...arithmetic circuit section,
250...Display unit part, 251...Lid part, 252...Display part,
253... Wireless communication device, 254... Cable,
300...Support pedestal part,
310...Support strut part, 311...Hold ring,
320...Support leg section,
400... Direct-acting electric mechanism section (electric mechanism section),
410...Linear actuator, 411...Piston,
420...Guidance mechanism section,
421...Rail, 422...Slider, 423...Auxiliary connection bar,
430...Connection bar,
500...Floating joint (joint part),
510...fixing plate, 520...connecting plate, 530...intermediate plate,
540...First parallel spring 550...Second parallel spring.

Claims

軸方向に進退するロッドと、前記ロッドに連動して前記ロッドとは直交する方向に進退する測定子と、を有し、測定対象である穴の内部に挿入された状態で前記穴の内壁に前記測定子を当接させて穴の内径を測定する内径測定部と、
アクチュエータによって前記ロッドを軸方向に移動させる電動機構部と、
前記内径測定部を測定対象物に対して相対移動させて、前記内径測定部を穴に出し入れさせる移動手段と、を備える
ことを特徴とする内径測定装置。 It has a rod that moves forward and backward in the axial direction, and a probe that moves forward and backward in a direction perpendicular to the rod in conjunction with the rod, and when inserted into the hole that is the object of measurement, it touches the inner wall of the hole. an inner diameter measuring section that measures the inner diameter of the hole by bringing the measuring probe into contact with it;
an electric mechanism unit that moves the rod in the axial direction by an actuator;
An inner diameter measuring device comprising: a moving means for moving the inner diameter measuring section relative to the object to be measured to move the inner diameter measuring section in and out of a hole.

請求項1に記載の内径測定装置において、
前記電動機構部は、
前記ロッドの軸線と平行に設けられ、前記アクチュエータによって前記ロッドの軸線と平行に駆動させられるピストンと、
前記ロッドの軸線と平行に設けられたガイドレールにガイドされて、前記ロッドの軸線と平行に移動するスライダと、
前記ロッドの軸線と直交する方向に設けられ、前記ロッドと、前記ピストンと、前記スライダと、に接続された連結バーと、を備える
ことを特徴とする内径測定装置。 The inner diameter measuring device according to claim 1,
The electric mechanism section is
a piston provided parallel to the axis of the rod and driven by the actuator in parallel to the axis of the rod;
a slider that moves parallel to the axis of the rod while being guided by a guide rail provided parallel to the axis of the rod;
An inner diameter measuring device comprising: a connecting bar provided in a direction perpendicular to the axis of the rod and connected to the rod, the piston, and the slider.

請求項1または請求項2に記載の内径測定装置において、
前記移動手段は、多関節ロボットアームであって、前記多関節ロボットアームの先端に前記内径測定部が取り付けられている
ことを特徴とする内径測定装置。 In the inner diameter measuring device according to claim 1 or 2,
The inner diameter measuring device, wherein the moving means is a multi-joint robot arm, and the inner diameter measuring section is attached to a tip of the multi-joint robot arm.

請求項3に記載の内径測定装置において、
前記多関節ロボットアームと前記内径測定部との間は継手部によって連結されており、
前記継手部は、前記内径測定部が測定対象である穴の内部に挿入された状態で前記ロッドの軸線に直交する面内での前記多関節ロボットアームの先端部と前記内径測定部との相対変位を許容する
ことを特徴とする内径測定装置。 The inner diameter measuring device according to claim 3,
The multi-joint robot arm and the inner diameter measuring section are connected by a joint section,
The joint portion is configured to adjust the relative position between the tip of the articulated robot arm and the inner diameter measuring portion in a plane perpendicular to the axis of the rod when the inner diameter measuring portion is inserted into the hole to be measured. An inner diameter measuring device characterized by allowing displacement .

筒ケース部と、
前記筒ケース部の内部にあって、軸方向に進退するロッドと、
前記ロッドに連動して、前記ロッドとは直交する方向で前記筒ケース部から突き出る方向と前記筒ケース部に入る方向とに進退する測定子と、を有し、測定対象である穴の内部に挿入された状態で前記穴の内壁に前記測定子を当接させて穴の内径を測定する内径測定部と、
アクチュエータによって前記ロッドを軸方向に移動させる電動機構部と、
前記内径測定部を測定対象物に対して相対移動させて、前記内径測定部を穴に出し入れさせる移動手段と、を備える
ことを特徴とする内径測定装置。 A cylinder case part,
a rod that is located inside the cylindrical case portion and moves back and forth in the axial direction;
It has a measuring element that moves forward and backward in conjunction with the rod in a direction perpendicular to the rod, protruding from the cylindrical case part and entering the cylindrical case part , and the probe is moved inside the hole to be measured. an inner diameter measuring section that measures the inner diameter of the hole by bringing the probe into contact with the inner wall of the hole in the inserted state;
an electric mechanism unit that moves the rod in the axial direction by an actuator;
A moving means for moving the inner diameter measuring section relative to the object to be measured to move the inner diameter measuring section in and out of the hole.
An inner diameter measuring device characterized by:

筒ケース部と、
前記筒ケース部の内部にあって、軸方向に進退するロッドと、
前記ロッドに連動して前記ロッドとは直交する方向に進退する測定子と、を有する内径測定部と、
アクチュエータによって前記ロッドを軸方向に移動させる電動機構部と、
前記内径測定部を測定対象物に対して相対移動させて、前記内径測定部を穴に出し入れさせる移動手段と、を備え、
前記測定子の内側端は前記筒ケース部の内部にあって変位方向変換手段を介して前記ロッドの一端に連係しており、
前記測定子の外側端は前記筒ケース部の外部にあって、前記外側端に測定チップを有しており、
前記ロッドが軸方向の一方側に変位したときは前記測定子が前記筒ケース部から突出する方向に前進し、前記ロッドが軸方向の他方側に変位したときは前記測定子が前記筒ケース部に入る方向に後退するものであり、
前記移動手段が前記内径測定部を穴の内部に入れるように前記内径測定部を測定対象物に対して相対移動させるときは、前記測定子が前記筒ケース部に入る方向に後退した状態であり、
前記内径測定部が穴の内部に挿入された状態で、前記穴の内壁に前記測定チップを当接させるように前記測定子を筒ケース部から突出する方向に前進させて、前記穴の内壁に前記測定子を当接させて穴の内径を測定し、
前記測定子が前記筒ケース部に入る方向に後退した状態で、前記移動手段により前記内径測定部を穴から抜き出す
ことを特徴とする内径測定装置。 A cylinder case part,
a rod that is located inside the cylindrical case portion and moves back and forth in the axial direction;
an inner diameter measuring section having a measuring element that moves forward and backward in a direction orthogonal to the rod in conjunction with the rod;
an electric mechanism unit that moves the rod in the axial direction by an actuator;
A moving means for moving the inner diameter measuring section relative to the object to be measured to move the inner diameter measuring section in and out of the hole ,
An inner end of the measuring element is located inside the cylindrical case portion and is linked to one end of the rod via a displacement direction converting means,
The outer end of the measuring element is located outside the cylindrical case part, and has a measuring tip at the outer end,
When the rod is displaced to one side in the axial direction, the probe moves forward in a direction in which it protrudes from the cylindrical case portion, and when the rod is displaced to the other side in the axial direction, the probe moves forward in the direction in which it protrudes from the cylindrical case portion. It retreats in the direction of entering the
When the moving means moves the inner diameter measuring part relative to the object to be measured so as to insert the inner diameter measuring part into the inside of the hole, the measuring tip is in a state of retreating in a direction into which it enters the cylindrical case part. ,
With the inner diameter measuring part inserted into the hole, move the measuring tip forward in a direction protruding from the cylindrical case part so that the measuring tip comes into contact with the inner wall of the hole, and touch the inner wall of the hole. Measure the inner diameter of the hole by bringing the measuring head into contact with it,
With the measuring element retracted in the direction of entering the cylindrical case part, the inner diameter measuring part is pulled out from the hole by the moving means.
An inner diameter measuring device characterized by :

筒ケース部と、
前記筒ケース部から突き出る方向と前記筒ケース部に入る方向とに進退する測定子と、
前記測定子をアクチュエータによって移動させる電動機構部と、を有し、
測定対象である穴の内部に挿入された状態で前記穴の内壁に前記測定子を当接させて穴の内径を測定する内径測定ユニット部と、
前記内径測定ユニット部を測定対象物に対して相対移動させて、前記内径測定ユニット部を穴に出し入れさせる移動手段と、を備える
ことを特徴とする内径測定装置。 A cylinder case part,
a measuring element that moves forward and backward in a direction protruding from the cylindrical case part and in a direction entering the cylindrical case part ;
an electric mechanism unit that moves the measuring element using an actuator ;
an inner diameter measuring unit unit that measures the inner diameter of a hole by bringing the probe into contact with the inner wall of the hole while being inserted into the hole to be measured;
A moving means for moving the inner diameter measuring unit relative to the object to be measured to move the inner diameter measuring unit in and out of the hole.
An inner diameter measuring device characterized by:

筒ケース部と、
前記筒ケース部から突き出る方向と前記筒ケース部に入る方向とに進退する測定子と、
前記測定子をアクチュエータによって移動させる電動機構部と、を有する内径測定ユニット部と、
前記内径測定ユニット部を測定対象物に対して相対移動させて、前記内径測定ユニット部を穴に出し入れさせる移動手段と、を備えた内径測定装置を用いた内径測定方法であって
前記測定子が前記筒ケース部に入る方向に後退した状態で、前記移動手段が前記内径測定ユニット部を穴の内部に入れるように前記内径測定ユニット部を測定対象物に対して相対移動させ、
前記穴の内壁に前記測定子を当接させるように前記測定子を筒ケース部から突出する方向に前進させて、前記穴の内壁に前記測定子を当接させて穴の内径を測定し、
前記測定子が前記筒ケース部に入る方向に後退した状態で、前記移動手段により前記内径測定ユニット部を穴から抜き出す
ことを特徴とする内径測定装置を用いた内径測定方法。 A cylinder case part,
a measuring element that moves forward and backward in a direction protruding from the cylindrical case part and in a direction entering the cylindrical case part ;
an inner diameter measuring unit section having an electric mechanism section that moves the measuring element using an actuator ;
An inner diameter measuring method using an inner diameter measuring device , comprising a moving means for moving the inner diameter measuring unit relative to the object to be measured and moving the inner diameter measuring unit into and out of the hole.
In a state in which the measuring element is retracted in a direction in which it enters the cylindrical case part, the moving means moves the inner diameter measuring unit part relative to the object to be measured so that the inner diameter measuring unit part enters the inside of the hole,
advancing the measuring element in a direction protruding from the cylindrical case part so as to bring the measuring element into contact with the inner wall of the hole, and measuring the inner diameter of the hole by bringing the measuring element into contact with the inner wall of the hole;
With the measuring element retracted in the direction of entering the cylindrical case part, the inner diameter measuring unit part is pulled out from the hole by the moving means.
An inner diameter measuring method using an inner diameter measuring device characterized by the following.