JP7351441B2 - コイル部品及びコイル部品の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、コイルを備えるコイル部品に関する。

従来のコイル部品に関する発明としては、例えば、特許文献１に記載の多層基板が知られている。この多層基板は、積層体及びコイルを備えている。積層体は、複数の基材層が積層された構造を有している。複数の基材層の材料は熱可塑性樹脂である。コイルは、積層体内に設けられている。コイルは、複数の基材層と共に積層されている複数のコイル導体パターンが層間接続導体により接続された構造を有している。このような多層基板は、熱可塑性樹脂を材料とする複数の基材層が熱圧着によって一体化されることにより、作製される。

特願２０２０－７２１６３号公報

ところで、特許文献１に記載の多層基板において、複数のコイル導体パターンの位置が設計値からずれることを抑制すると共に、コイルの直流抵抗値を低減したいという要望がある。

そこで、本発明の目的は、複数のコイル導体の位置が設計値からずれることを抑制できると共に、コイルの直流抵抗値を低減できるコイル部品及びコイル部品の製造方法を提供することである。

本発明の一形態に係るコイル部品は、
上下方向の一方の方向が第１方向であり、上下方向の他方の方向が第２方向であり、
複数の樹脂層が上下方向に積層された構造を有する積層体と、
上下方向に見て線形状を有する複数のコイル導体を含んでいるコイルであって、上下方向に延びる中心軸線の周囲を周回する螺旋形状を有しているコイルであって、前記複数のコイル導体は、前記第２方向にこの順に並ぶ第１コイル導体、第２コイル導体及び第３コイル導体を含んでいる、コイルと、
を備えており、
前記第１コイル導体は、前記複数のコイル導体の中で最も前記第１方向に位置しており、
上下方向に見て、前記第１コイル導体、前記第２コイル導体及び前記第３コイル導体のそれぞれが延びる方向に直交する方向は、線幅方向であり、
前記第１コイル導体の外縁は、前記第１コイル導体の外縁において最も前記第２方向に位置する平面である第１ボトム部、及び、前記第１コイル導体の外縁において最も前記第１方向に位置する平面である第１トップ部を有しており、
前記第１トップ部の前記線幅方向の幅は、前記第１ボトム部の前記線幅方向の幅より小さく、
前記第２コイル導体の外縁は、前記第２コイル導体の外縁において最も前記第２方向に位置する平面である第２ボトム部、及び、前記第２コイル導体の外縁において最も前記第１方向に位置する平面である第２トップ部を有しており、
前記第２トップ部の前記線幅方向の幅は、前記第２ボトム部の前記線幅方向の幅より小さく、
前記第１トップ部と前記第１ボトム部との最短距離は、前記第２トップ部と前記第２ボトム部との最短距離より長く、
前記第１トップ部の前記線幅方向の幅を前記第１ボトム部の前記線幅方向の幅で割って得られる第１割合は、前記第２トップ部の前記線幅方向の幅を前記第２ボトム部の前記線幅方向の幅で割って得られる第２割合より小さい。

本発明の一形態に係るコイル部品の製造方法は、
上下方向の一方の方向が第１方向であり、上下方向の他方の方向が第２方向であり、
複数の樹脂層が上下方向に積層された構造を有する積層体と、
上下方向に見て線形状を有する複数のコイル導体を含んでいるコイルであって、上下方向に延びる中心軸線の周囲を周回する螺旋形状を有しているコイルであって、前記複数のコイル導体は、前記第２方向にこの順に並ぶ第１コイル導体、第２コイル導体及び第３コイル導体を含んでいる、コイルと、
を備える、
コイル部品の製造方法であって、
前記樹脂層に前記第２コイル導体を形成する第２コイル導体形成工程と、
前記第２コイル導体形成工程の後に、前記複数の樹脂層を熱圧着する熱圧着工程と、
前記熱圧着工程の後に、前記熱圧着工程において熱圧着した前記複数の樹脂層の中で最も前記第１方向に位置する前記樹脂層に位置する前記第１コイル導体の上下方向の厚みを大きくする第１コイル導体形成工程と、
前記熱圧着工程の後に、前記熱圧着工程において熱圧着した前記複数の樹脂層の中で最も前記第２方向に位置する前記樹脂層に位置する前記第３コイル導体の上下方向の厚みを大きくする第３コイル導体形成工程と、
を備えており、
上下方向に見て、前記第１コイル導体、前記第２コイル導体及び前記第３コイル導体のそれぞれが延びる方向に直交する方向は、線幅方向であり、
前記第１コイル導体の外縁は、前記第１コイル導体の外縁において最も前記第２方向に位置する平面である第１ボトム部、及び、前記第１コイル導体の外縁において最も前記第１方向に位置する平面である第１トップ部を有しており、
前記第１トップ部の前記線幅方向の幅は、前記第１ボトム部の前記線幅方向の幅より小さく、
前記第２コイル導体の外縁は、前記第２コイル導体の外縁において最も前記第２方向に位置する平面である第２ボトム部、及び、前記第２コイル導体の外縁において最も前記第１方向に位置する平面である第２トップ部を有しており、
前記第２トップ部の前記線幅方向の幅は、前記第２ボトム部の前記線幅方向の幅より小さく、
前記第１トップ部と前記第１ボトム部との最短距離は、前記第２トップ部と前記第２ボトム部との最短距離より長く、
前記第１トップ部の前記線幅方向の幅を前記第１ボトム部の前記線幅方向の幅で割って得られる第１割合は、前記第２トップ部の前記線幅方向の幅を前記第２ボトム部の前記線幅方向の幅で割って得られる第２割合より小さい。

本発明の一形態に係るコイル部品の製造方法は、
上下方向の一方の方向が第１方向であり、上下方向の他方の方向が第２方向であり、
複数の樹脂層が上下方向に積層された構造を有する積層体と、
上下方向に見て線形状を有する複数のコイル導体を含んでいるコイルであって、上下方向に延びる中心軸線の周囲を周回する螺旋形状を有しているコイルであって、前記複数のコイル導体は、前記第２方向にこの順に並ぶ第１コイル導体、第２コイル導体及び第３コイル導体を含んでいる、コイルと、
を備える、
コイル部品の製造方法であって、
前記樹脂層に前記第２コイル導体を形成する第２コイル導体形成工程と、
前記樹脂層に前記第３コイル導体を形成する第３コイル導体形成工程と、
前記第２コイル導体形成工程及び前記第３コイル導体形成工程の後に、前記第２コイル導体及び前記第３コイル導体が前記第２方向にこの順に並ぶように前記複数の樹脂層を熱圧着する熱圧着工程と、
前記熱圧着工程の後に、前記熱圧着工程において熱圧着した前記複数の樹脂層の中で最も前記第１方向に位置する前記樹脂層に位置する前記第１コイル導体の上下方向の厚みを大きくする第１コイル導体形成工程と、
を備えており、
上下方向に見て、前記第１コイル導体、前記第２コイル導体及び前記第３コイル導体のそれぞれが延びる方向に直交する方向は、線幅方向であり、
前記第１コイル導体の外縁は、前記第１コイル導体の外縁において最も前記第２方向に位置する平面である第１ボトム部、及び、前記第１コイル導体の外縁において最も前記第１方向に位置する平面である第１トップ部を有しており、
前記第１トップ部の前記線幅方向の幅は、前記第１ボトム部の前記線幅方向の幅より小さく、
前記第２コイル導体の外縁は、前記第２コイル導体の外縁において最も前記第２方向に位置する平面である第２ボトム部、及び、前記第２コイル導体の外縁において最も前記第１方向に位置する平面である第２トップ部を有しており、
前記第２トップ部の前記線幅方向の幅は、前記第２ボトム部の前記線幅方向の幅より小さく、
前記第１トップ部と前記第１ボトム部との最短距離は、前記第２トップ部と前記第２ボトム部との最短距離より長く、
前記第１トップ部の前記線幅方向の幅を前記第１ボトム部の前記線幅方向の幅で割って得られる第１割合は、前記第２トップ部の前記線幅方向の幅を前記第２ボトム部の前記線幅方向の幅で割って得られる第２割合より小さい。

本発明に係るコイル部品によれば、複数のコイル導体が設計値からずれることを抑制できると共に、コイルの直流抵抗値を低減できる。

図１は、コイル部品１１を備える駆動モジュール１０の断面図である。 図２は、コイル部品１１の分解斜視図である。 図３は、コイル部品１１の製造工程を示す断面図である。 図４は、コイル部品１１の製造工程を示す断面図である。 図５は、コイル部品１１の製造工程を示す断面図である。 図６は、コイル部品１１ａの断面図である。 図７は、コイル部品１１ａの分解斜視図である。 図８は、コイル部品１１ｂの断面図である。 図９は、コイル部品１１ｂの分解斜視図である。 図１０は、コイル部品１１ｃの断面図である。 図１１は、コイル部品１１ｄの断面図である。 図１２は、コイル部品１１ｄの製造工程を示す断面図である。 図１３は、コイル部品１１ｄの製造工程を示す断面図である。 図１４は、コイル部品１１ｄの製造工程を示す断面図である。 図１５は、コイル部品１１ｅの断面図である。 図１６は、コイル部品１１ｆの断面図である。 図１７は、コイル部品１１ｆの製造工程を示す断面図である。 図１８は、コイル部品１１ｆの製造工程を示す断面図である。 図１９は、コイル部品１１ｆの製造工程を示す断面図である。 図２０は、コイル部品１１ｇの断面図である。

（実施形態）
［駆動モジュールの構造］
以下に、本発明の実施形態に係る駆動モジュール１０の構造について図面を参照しながら説明する。図１は、コイル部品１１を備える駆動モジュール１０の断面図である。図２は、コイル部品１１の分解斜視図である。

本明細書において、方向を以下のように定義する。コイル部品１１の積層体１２の積層方向を上下方向と定義する。上下方向の一方である上方向が第１方向ＤＩＲ１である。上下方向の他方である下方向が第２方向ＤＩＲ２である。また、左右方向及び前後方向は、上下方向に直交している。左右方向は、前後方向に直交している。なお、本実施形態における上下方向、前後方向及び左右方向は、駆動モジュール１０の使用時における上下方向、前後方向及び左右方向と一致していなくてもよい。

以下では、Ｘは、駆動モジュール１０の部品又は部材である。本明細書において、特に断りのない場合には、Ｘの各部について以下のように定義する。Ｘの前部とは、Ｘの前半分を意味する。Ｘの後部とは、Ｘの後半分を意味する。Ｘの左部とは、Ｘの左半分を意味する。Ｘの右部とは、Ｘの右半分を意味する。Ｘの上部とは、Ｘの上半分を意味する。Ｘの下部とは、Ｘの下半分を意味する。Ｘの前端とは、Ｘの前方向の端を意味する。Ｘの後端とは、Ｘの後方向の端を意味する。Ｘの左端とは、Ｘの左方向の端を意味する。Ｘの右端とは、Ｘの右方向の端を意味する。Ｘの上端とは、Ｘの上方向の端を意味する。Ｘの下端とは、Ｘの下方向の端を意味する。Ｘの前端部とは、Ｘの前端及びその近傍を意味する。Ｘの後端部とは、Ｘの後端及びその近傍を意味する。Ｘの左端部とは、Ｘの左端及びその近傍を意味する。Ｘの右端部とは、Ｘの右端及びその近傍を意味する。Ｘの上端部とは、Ｘの上端及びその近傍を意味する。Ｘの下端部とは、Ｘの下端及びその近傍を意味する。

まず、図１を参照しながら、駆動モジュール１０及びコイル部品１１の構造について説明する。駆動モジュール１０は、例えば、スマートフォン等の無線通信端末に用いられる。

駆動モジュール１０は、図１及び図２に示すように、コイル部品１１及び磁石５０を備えている。コイル部品１１は、積層体１２、コイルＬ及び引き出し導体２０ａ，２０ｂを備えている。積層体１２は、樹脂層１５ａ～１５ｆが上下方向に積層された構造を有している。本実施形態では、積層体１２は、樹脂層１５ａ～１５ｆ及び保護層１６ａ，１６ｂを含んでいる。保護層１６ａ、樹脂層１５ａ～１５ｆ及び保護層１６ｂは、上から下へとこの順に並んでいる。

樹脂層１５ａ～１５ｆのそれぞれは、図２に示すように、上下方向に並ぶ上主面及び下主面を有している。樹脂層１５ａ～１５ｆの材料は、熱可塑性樹脂である。熱可塑性樹脂は、例えば、液晶ポリマー、ＰＴＦＥ（ポリテトラフロオロエチレン）等の熱可塑性樹脂である。樹脂層１５ａ～１５ｆの材料は、ポリイミドであってもよい。従って、積層体１２の材料は、非磁性材料である。

保護層１６ａ，１６ｂは、レジスト層である。保護層１６ａは、樹脂層１５ａの上主面に位置している。保護層１６ａは、樹脂層１５ａの上主面に位置するコイル導体１８ａを保護している。保護層１６ｂは、樹脂層１５ｆの下主面に位置している。保護層１６ｂは、樹脂層１５ｆの下主面に位置するコイル導体１８ｆを保護している。保護層１６ａ，１６ｂのそれぞれは、絶縁性のシートが樹脂層１５ａの上主面及び樹脂層１５ｆの下主面に貼り付けられることにより形成されてもよいし、絶縁性の樹脂ペーストが樹脂層１５ａの上主面及び樹脂層１５ｂの下主面に印刷されることにより形成されてもよい。

コイルＬは、積層体１２に設けられている。コイルＬは、図１及び図2に示すように、
上下方向に延びる中心軸線Ａｘ１の周囲を周回する螺旋形状を有している。本実施形態では、コイルＬは、時計回りに周回しながら上方向に進行する螺旋形状を有している。コイルＬは、上下方向に見て線形状を有する複数のコイル導体を含んでいる。複数のコイル導体は、下方向（第２方向ＤＩＲ２）にこの順に並ぶコイル導体１８ａ（第１コイル導体）、コイル導体１８ｂ～１８ｅ（第２コイル導体）及びコイル導体１８ｆ（第３コイル導体）を含んでいる。本実施形態では、コイルＬは、図２に示すように、コイル導体１８ａ～１８ｆ及び層間接続導体ｖ１～ｖ６を含んでいる。

コイル導体１８ａ～１８ｆは、樹脂層１５ａ～１５ｆと共に上下方向に積層されている。より詳細には、コイル導体１８ａ～１８ｅのそれぞれは、樹脂層１５ａ～１５ｅの上主面に位置している。コイル導体１８ｆは、樹脂層１５ｆの下主面に位置している。これにより、コイル導体１８ａ～１８ｆは、上から下へとこの順に並んでいる。また、コイル導体１８ａ（第１コイル導体）は、コイル導体１８ａ～１８ｆの中で最も上（第１方向ＤＩＲ１）に位置している。コイル導体１８ｆ（第３コイル導体）は、コイル導体１８ａ～１８ｆの中で最も下（第２方向ＤＩＲ２）に位置している。

コイル導体１８ａ～１８ｆ（第１コイル導体、第２コイル導体及び第３コイル導体）のそれぞれは、上下方向に見て、中心軸線Ａｘ１を中心に１周以上にわたって周回する渦巻形状を有している。本実施形態では、コイル導体１８ａ，１８ｃ，１８ｅは、下方向に見て、反時計回りに周回しながら中心に近づく渦巻形状を有している。コイル導体１８ｂ，１８ｄ，１８ｆは、下方向に見て、時計回りに周回しながら中心に近づく渦巻形状を有している。以下では、コイル導体１８ａ～１８ｆの外周側の端部を外周端部と呼ぶ。コイル導体１８ａ～１８ｆの内周側の端部を内周端部と呼ぶ。

層間接続導体ｖ１～ｖ６のそれぞれは、樹脂層１５ａ～１５ｆを上下方向に貫通している。層間接続導体ｖ１は、コイル導体１８ａの内周端部とコイル導体１８ｂの内周端部とを電気的に接続している。層間接続導体ｖ２は、コイル導体１８ｂの外周端部とコイル導体１８ｃの外周端部とを電気的に接続している。層間接続導体ｖ３は、コイル導体１８ｃの内周端部とコイル導体１８ｄの内周端部とを電気的に接続している。層間接続導体ｖ４は、コイル導体１８ｄの外周端部とコイル導体１８ｅの外周端部とを電気的に接続している。層間接続導体ｖ５と層間接続導体ｖ６は、直列に接続されている。層間接続導体ｖ５，ｖ６は、コイル導体１８ｅの内周端部とコイル導体１８ｆの内周端部とを電気的に接続している。

引き出し導体２０ａは、樹脂層１５ａの上主面に位置している。引き出し導体２０ａは、コイル導体１８ａの外周端部に接続されている。また、引き出し導体２０ａは、コイル導体１８ａの外周端部から右方向に延びている。これにより、引き出し導体２０ａは、コイル導体１８ａ～１８ｆの周回軌道から離脱することにより、コイルＬから離れている。

引き出し導体２０ｂは、樹脂層１５ｆの下主面に位置している。引き出し導体２０ｂは、コイル導体１８ｆの外周端部に接続されている。また、引き出し導体２０ｂは、コイル導体１８ｆの外周端部から右方向に延びている。これにより、引き出し導体２０ｂは、コイル導体１８ａ～１８ｆの周回軌道から離脱することにより、コイルＬから離れている。

以上のようなコイル導体１８ｂ～１８ｅのそれぞれは、樹脂層１５ｂ～１５ｅの上主面に貼り付けられた金属箔にエッチングが施されることにより形成された導体層である。金属箔は、例えば、銅箔である。コイル導体１８ａ，１８ｆのそれぞれは、樹脂層１５ａの上主面及び樹脂層１５ｂの下主面にメッキが施されることにより形成された導体層である。メッキは、例えば、銅メッキである。また、層間接続導体ｖ１～ｖ６は、樹脂層１５ａ～１５ｅに形成した貫通孔に導電性ペーストを充填し、加熱により導電性ペーストを固化させることにより形成される。導電性ペーストは、例えば、金属粉末と樹脂との混合物である。なお、層間接続導体ｖ１～ｖ６は、樹脂層１５ａ～１５ｅに形成した貫通孔の内周面にメッキを施すことにより形成されてもよい。

ここで、図１に示すように、コイル導体１８ａ（第１コイル導体）の上下方向の厚みＴ１は、コイル導体１８ｂ～１８ｅ（第２コイル導体）の上下方向の厚みＴ２より大きい（長い）（関係１）。厚みＴ１は、後述する第１トップ部Ｓ２と第１ボトム部Ｓ１との最短距離である。厚みＴ２は、後述する第２トップ部Ｓ４と第２ボトム部Ｓ３との最短距離である。また、コイル導体１８ｆ（第３コイル導体）の上下方向の厚みＴ３は、コイル導体１８ｂ～１８ｅ（第２コイル導体）の上下方向の厚みＴ２より大きい（長い）（関係２）。厚みＴ３は、後述する第３トップ部Ｓ６と第３ボトム部Ｓ５との最短距離である。コイル導体１８ｂ～１８ｅ（第２コイル導体）は、コイル導体１８ａ～１８ｆの内の最も上に位置するコイル導体１８ａ及び最も下に位置するコイル導体１８ｆを除いたコイル導体を指している。

また、上記関係１及び関係２は、上下方向に平行なコイル部品１１の複数の断面の内の全ての断面において成立していてもよいし、上下方向に平行なコイル部品１１の複数の断面の内の少なくとも１つの断面において成立していてもよい。また、コイル導体１８ａの上下方向の厚みＴ１は、コイル導体１８ａの上下方向の厚みＴ１の平均値である。なお、厚みＴ２，Ｔ３の定義も、厚みＴ１の定義と同様である。

ところで、上下方向に見て、コイル導体１８ａ～１８ｆ（第１コイル導体、第２コイル導体及び第３コイル導体）のそれぞれが延びる方向に直交する方向は、線幅方向である。コイル導体１８ａ（第１コイル導体）の外縁は、コイル導体１８ａ（第１コイル導体）の外縁において最も下（第２方向）に位置する平面である第１ボトム部Ｓ１、及び、コイル導体１８ａ（第１コイル導体）の外縁において最も上（第１方向）に位置する平面である第１トップ部Ｓ２を有している。第１トップ部Ｓ２は、第１ボトム部Ｓ１より上（第１方向ＤＩＲ１）に位置し、第１ボトム部Ｓ１と平行な法線を有している。本実施形態では、第１トップ部Ｓ２は、平面である。第１ボトム部Ｓ１は、樹脂層１５ａの上主面に固定されている。また、第１ボトム部Ｓ１の表面粗さは、第１トップ部Ｓ２の表面粗さよりも大きい。そして、第１トップ部Ｓ２の線幅方向の幅Ｗ２は、第１ボトム部Ｓ１の線幅方向の幅Ｗ１より小さい。

コイル導体１８ｂ～１８ｅ（第２コイル導体）の外縁のそれぞれは、コイル導体１８ｂ～１８ｅ（第２コイル導体）の外縁において最も下（第２方向）に位置する平面である第２ボトム部Ｓ３、及び、コイル導体１８ｂ～１８ｅ（第２コイル導体）の外縁において最も上（第１方向）に位置する平面である第２トップ部Ｓ４を有している。第２トップ部Ｓ４は、第２ボトム部Ｓ３より上（第１方向ＤＩＲ１）に位置し、第２ボトム部Ｓ３と平行な法線を有している。コイル導体１８ｂ～１８ｅの第２ボトム部Ｓ３のそれぞれは、樹脂層１５ｂ～１５ｅの上主面に固定されている。また、第２ボトム部Ｓ３の表面粗さは、第２トップ部Ｓ４の表面粗さよりも大きい。そして、第２トップ部Ｓ４の線幅方向の幅Ｗ４は、第２ボトム部Ｓ３の線幅方向の幅Ｗ３より小さい。また、本実施形態では、第２ボトム部Ｓ３の線幅方向の幅Ｗ３は、第１ボトム部Ｓ１の線幅方向の幅Ｗ１と等しい。第２トップ部Ｓ４の線幅方向の幅Ｗ４は、第１トップ部Ｓ２の線幅方向の幅Ｗ２より大きい。従って、第１トップ部Ｓ２の線幅方向の幅Ｗ２を第１ボトム部Ｓ１の線幅方向の幅Ｗ１で割って得られる第１割合Ｐ１は、第２トップ部Ｓ４の線幅方向の幅Ｗ４を第２ボトム部Ｓ３の線幅方向の幅Ｗ３で割って得られる第２割合Ｐ２より小さい（関係３）。

コイル導体１８ｆ（第３コイル導体）の外縁は、コイル導体１８ｆ（第３コイル導体）の外縁において最も下（第２方向）に位置する平面である第３ボトム部Ｓ５、及び、コイル導体１８ｆ（第３コイル導体）の外縁において最も上（第１方向）に位置する平面である第３トップ部Ｓ６を有している。第３トップ部Ｓ６は、第３ボトム部Ｓ５より上（第１方向ＤＩＲ１）に位置し、第３ボトム部Ｓ５と平行な法線を有している。第３ボトム部Ｓ５は、樹脂層１５ｆの下主面に固定されている。また、第３ボトム部Ｓ５の表面粗さは、第３トップ部Ｓ６の表面粗さよりも大きい。そして、第３トップ部Ｓ６の線幅方向の幅Ｗ６は、第３ボトム部Ｓ５の線幅方向の幅Ｗ５より小さい。また、本実施形態では、第２ボトム部Ｓ３の線幅方向の幅Ｗ３は、第３ボトム部Ｓ５の線幅方向の幅Ｗ５と等しい。第２トップ部Ｓ４の線幅方向の幅Ｗ４は、第３トップ部Ｓ６の線幅方向の幅Ｗ６より大きい。従って、第３トップ部Ｓ６の線幅方向の幅Ｗ６を第３ボトム部Ｓ５の線幅方向の幅Ｗ５で割って得られる第３割合Ｐ３は、第２割合Ｐ２より小さい（関係４）。

なお、上記関係３及び関係４は、上下方向に平行なコイル部品１１の複数の断面の内の全ての断面において成立していてもよいし、上下方向に平行なコイル部品１１の複数の断面の内の少なくとも１つの断面において成立していてもよい。また、第１ボトム部Ｓ１の線幅方向の幅Ｗ１は、コイル導体１８ａの線幅方向の幅Ｗ１の平均値であってもよい。幅Ｗ２～Ｗ６の定義も、幅Ｗ１の定義と同じである。

磁石５０は、図１に示すように、コイルＬより上（第１方向ＤＩＲ１）に位置している。磁石５０は、上下方向に見て、コイルＬと重なっている。以上のような磁石５０は、左右方向に延びている。磁石５０の左部は、Ｎ極である。磁石５０の右部は、Ｓ極である。

また、駆動モジュール１０は、図示しない磁気センサを更に備えている。磁気センサは、磁石５０の磁力を検知する。磁気センサは、例えば、積層体１２に実装されている。

以上のような駆動モジュール１０は、図示しない制御回路を備えている。磁気センサ及びコイルＬは、制御回路に電気的に接続されている。磁気センサは、磁気センサにより検知された磁力の大きさに応じた出力信号を生成する。制御回路は、磁気センサが生成した出力信号に基づいて、コイルＬに流す電流の大きさを制御する。例えば、下方向に見て、コイルＬに時計回り方向の電流が流れると、コイルＬの左部に位置する導体には前方向に電流が流れ、コイルＬの右部に位置する導体には後方向に電流が流れる。磁石５０では、Ｎ極から磁力線が出ると共に、Ｓ極へと磁力線が入る。従って、コイルＬの左部に位置する導体に前方向に電流が流れると、コイルＬの左部に位置する導体は、左方向にローレンツ力を受ける。コイルＬの右部に位置する導体に後方向に電流が流れると、コイルＬの右部に位置する導体は、左方向にローレンツ力を受ける。すなわち、コイルＬは、磁石５０から左方向に力を受ける。換言すれば、磁石５０は、コイルＬから右方向に力を受ける。その結果、磁石５０は、コイルＬに対して右方向に変位する。ただし、コイルＬが、磁石５０に対して左方向に変位してもよい。

一方、下方向に見て、コイルＬに反時計回り方向の電流が流れると、コイルＬの左部に位置する導体には後方向に電流が流れ、コイルＬの右部に位置する導体には前方向に電流が流れる。コイルＬの左部に位置する導体に後方向に電流が流れると、コイルＬの左部に位置する導体は、右方向にローレンツ力を受ける。コイルＬの右部に位置する導体に前方向に電流が流れると、コイルＬの右部に位置する導体は、右方向にローレンツ力を受ける。すなわち、コイルＬは、磁石５０から右方向に力を受ける。換言すれば、磁石５０は、コイルＬから左方向に力を受ける。その結果、磁石５０は、コイルＬに対して左方向に変位する。以上のように、コイルＬが発生する磁力により、磁石５０のコイルＬに対する位置が変化する。ただし、コイルＬが、磁石５０に対して右方向に変位してもよい。

［コイル部品１１の製造方法］
以下に、コイル部品１１の製造方法について図面を参照しながら説明する。図３ないし図５は、コイル部品１１の製造工程を示す断面図である。

まず、図３に示すように、樹脂層１５ｂ～１５ｅのそれぞれにコイル導体１８ｂ～１８ｅ（第２コイル導体）を形成する（第２コイル導体形成工程）。具体的には、樹脂層１５ｂ～１５ｅの上主面には金属箔が張り付けられている。この金属箔にマスクを形成する。そして、マスクを介してエッチングを施すことにより、コイル導体１８ｂ～１８ｅを形成する。また、樹脂層１５ａの上主面及び樹脂層１５ｆの下主面には金属膜２００ａ，２００ｂが設けられている。金属膜２００ａ，２００ｂは、金属箔に比べて薄い。

更に、樹脂層１５ａ～１５ｆに層間接続導体ｖ１～ｖ６を形成する。具体的には、樹脂層１５ａ～１５ｆのそれぞれにレーザービームを照射して貫通孔を形成する。その後、貫通孔に導電性ペーストを充填する。

図４に示すように、第２コイル導体形成工程の後に、樹脂層１５ａ～１５ｆを熱圧着する（熱圧着工程）。これにより、樹脂層１５ａ～１５ｆが軟化及び流動化する。そして、樹脂層１５ａ～１５ｆが冷却されると、樹脂層１５ａ～１５ｆが一体化される。更に、熱圧着により、貫通孔内の導電性ペーストが固化する。

図５に示すように、熱圧着工程の後に、熱圧着工程において熱圧着した複数の樹脂層１５ａ～１５ｆの中で最も上（第１方向ＤＩＲ１）に位置する樹脂層１５ａに位置するコイル導体１８ａ（第１コイル導体）の上下方向の厚みを大きくする（第１コイル導体形成工程）。更に、熱圧着工程の後に、熱圧着工程において熱圧着した複数の樹脂層１５ａ～１５ｆの中で最も下（第２方向ＤＩＲ２）に位置する樹脂層１５ｆに位置するコイル導体１８ｆ（第３コイル導体）の上下方向の厚みを大きくする（第３コイル導体形成工程）。これにより、コイル導体１８ａ，１８ｆが完成する。コイル導体１８ａ，１８ｆは、例えば、ＭＳＡＰ（Ｍｏｄｉｆｉｅｄ Ｓｅｍｉ Ａｄｄｉｔｉｖｅ Ｐｒｏｃｅｓｓ）により形成される。ＭＳＡＰでは、金属膜２００ａ，２００ｂの上にマスクを形成する。そして、金属膜２００ａ，２００ｂの上にメッキを施すことにより、メッキ層を形成する。その後、マスクを除去する。更に、エッチングにより、マスクと重なっていた不要な金属膜２００ａ，２００ｂを除去する。

最後に、樹脂層１５ａの上主面に保護層１６ａを形成する。樹脂層１５ｆの下主面に保護層１６ｂを形成する。これにより、コイル部品１１が完成する。

［効果］
コイル部品１１によれば、コイル導体１８ａ～１８ｆの位置が設計値からずれることを抑制できると共に、コイルＬの直流抵抗値を低減できる。より詳細には、コイルＬの直流抵抗値を低減するためには、例えば、コイル導体１８ａ～１８ｆの上下方向の厚みを大きくすればよい。これにより、コイル導体１８ａ～１８ｆの断面積が大きくなり、コイル導体１８ａ～１８ｆの直流抵抗値が低減される。しかしながら、コイル導体１８ａ～１８ｆの上下方向の厚みが大きくなると、樹脂層１５ａ～１５ｆの熱圧着の際に、コイル導体１８ａ～１８ｆは、流動化した樹脂層１５ａ～１５ｆから前後方向及び左右方向に大きな力を受けやすい。その結果、コイル導体１８ａ～１８ｆの位置が設計値からずれてしまう。以上のように、コイル導体１８ａ～１８ｆの位置が設計値からずれることを抑制することと、コイルＬの直流抵抗値を低減することとの両立は難しい。

そこで、本願発明者は、創意工夫の結果、以下の関係１及び関係３をコイル部品１１に適用することに思い至った。

関係１：コイル導体１８ａ（第１コイル導体）の上下方向の厚みＴ１は、コイル導体１８ｂ～１８ｅ（第２コイル導体）の上下方向の厚みＴ２より大きい。
関係３：第１トップ部Ｓ２の線幅方向の幅Ｗ２を第１ボトム部Ｓ１の線幅方向の幅Ｗ１で割って得られる第１割合Ｐ１は、第２トップ部Ｓ４の線幅方向の幅Ｗ４を第２ボトム部Ｓ３の線幅方向の幅Ｗ３で割って得られる第２割合Ｐ２より小さい。

関係１が成立することにより、コイル導体１８ａの断面積が大きくなるので、コイル導体１８ａの直流抵抗値が小さくなる。更に、関係１及び関係３が成立することにより、コイル導体１８ｂ～１８ｅの位置が設計値からずれることが抑制される。より詳細には、コイル導体１８ｂ～１８ｅは、熱圧着時に樹脂層１５ａ～１５ｆの内部に位置する。そのため、樹脂層１５ａ～１５ｆが流動化すると、コイル導体１８ｃ～１８ｅの位置が設計値からずれやすい。そこで、関係１及び関係３が成立している。これにより、コイル導体１８ｂの平坦性が向上する。より詳細には、関係１が成立することにより、コイル導体１８ｂの上下方向の厚みＴ２が小さくなる。更に、関係３が成立することにより、コイル導体１８ｂの第２トップ部Ｓ４が広くなる。このように、関係１及び関係３が成立することにより、コイル導体１８ｂが扁平な断面形状を有するようになる。すなわち、コイル導体１８ｂの平坦性が向上する。同じ理由により、コイル導体１８ｃ～１８ｅの平坦性が向上する。このようにコイル導体１８ｂ～１８ｅの平坦性が向上すると、コイル導体１８ｂ～１８ｅは、熱圧着時に流動化した樹脂層１５ａ～１５ｆから前後方向及び左右方向に力を受けにくくなる。その結果、コイル導体１８ａ～１８ｆの位置が設計値からずれることが抑制される。

なお、関係２及び関係４が成立する場合も、関係１及び関係３が成立する場合と同じ理由により、コイル導体１８ａ～１８ｆの位置が設計値からずれることを抑制できると共に、コイルＬの直流抵抗値を低減できる。

金属膜２００ａ，２００ｂは、金属箔に比べて薄い。これにより、ＭＳＡＰにより、コイル導体１８ａ，１８ｆを形成する際に、エッチングにより、マスクと重なっていた不要な金属膜２００ａ，２００ｂを除去することが容易になる。

（第１変形例）
以下に、第１変形例に係るコイル部品１１ａについて図面を参照しながら説明する。図６は、コイル部品１１ａの断面図である。図７は、コイル部品１１ａの分解斜視図である。

コイル部品１１ａは、コイル導体１８ａ，１８ｆの線幅方向の幅がコイル導体１８ｂ～１８ｅの線幅方向の幅より大きい点においてコイル部品１１と相違する。これにより、第１ボトム部Ｓ１の線幅方向の幅Ｗ１は、第２ボトム部Ｓ３の線幅方向の幅Ｗ３より大きい。第３ボトム部Ｓ５の線幅方向の幅Ｗ５は、第２ボトム部Ｓ３の線幅方向の幅Ｗ３より大きい。線幅方向に隣り合うコイル導体１８ａ（第１コイル導体）同士の間隔ｄ１は、線幅方向に隣り合うコイル導体１８ｂ～１８ｅ（第２コイル導体）同士の間隔ｄ２より小さい。同様に、線幅方向に隣り合うコイル導体１８ｆ（第３コイル導体）同士の間隔ｄ３は、線幅方向に隣り合うコイル導体１８ｂ～１８ｅ（第２コイル導体）同士の間隔ｄ２より小さい。これにより、線幅方向に隣り合うコイル導体１８ｂ～１８ｅ（第２コイル導体）同士の間を樹脂層１５ａ～１５ｆが流動しやすくなる。その結果、線幅方向に隣り合うコイル導体１８ｂ～１８ｅ（第２コイル導体）同士の間に空孔が形成されることが抑制される。コイル部品１１ａのその他の構造は、コイル部品１１と同じであるので説明を省略する。コイル部品１１ａは、コイル部品１１と同じ作用効果を奏することができる。

（第２変形例）
以下に、第２変形例に係るコイル部品１１ｂについて図面を参照しながら説明する。図８は、コイル部品１１ｂの断面図である。図９は、コイル部品１１ｂの分解斜視図である。

コイル部品１１ｂは、コイル導体１８ａ，１８ｆの形状においてコイル部品１１と相違する。より詳細には、コイル導体１８ａ，１８ｆのそれぞれの周回数は、コイル導体１８ｂ～１８ｅのそれぞれの周回数より多い。本実施形態では、コイル導体１８ａ，１８ｆのそれぞれの周回数は、コイル導体１８ｂ～１８ｅのそれぞれの周回数の約２倍である。そして、コイル導体１８ａ，１８ｆの線幅方向の幅は、コイル導体１８ｂ～１８ｅの線幅方向の幅より小さい。すなわち、第１ボトム部Ｓ１の線幅方向の幅Ｗ１は、第２ボトム部Ｓ３の線幅方向の幅Ｗ３より小さい。第３ボトム部Ｓ５の線幅方向の幅Ｗ５は、第２ボトム部Ｓ３の線幅方向の幅Ｗ３より小さい。そして、上下方向に見て、コイル導体１８ａの略全体は、コイル導体１８ｂ～１８ｅと重なっている。同様に、コイル導体１８ｆの略全体は、コイル導体１８ｂ～１８ｅと重なっている。

また、コイル部品１１ｂでは、以下の数式（１）及び数式（２）が成立する。

Ｗ１／Ｔ１×２＜Ｗ３／Ｔ２ ・・・（１）
Ｗ５／Ｔ３×２＜Ｗ３／Ｔ２ ・・・（２）
コイル部品１１ｂのその他の構造は、コイル部品１１と同じであるので説明を省略する。コイル部品１１ｂは、コイル部品１１と同じ作用効果を奏することができる。

また、コイル部品１１ｂでは、コイル導体１８ａ，１８ｆのそれぞれの周回数は、コイル導体１８ｂ～１８ｅのそれぞれの周回数より多い。これにより、コイルＬのインダクタンス値が大きくなる。

（第３変形例）
以下に、第３変形例に係るコイル部品１１ｃについて図面を参照しながら説明する。図１０は、コイル部品１１ｃの断面図である。

コイル部品１１ｃは、線幅方向に隣り合うコイル導体１８ａ同士の間隔が均一である点、及び、線幅方向に隣り合うコイル導体１８ｆ同士の間隔が均一である点においてコイル部品１１ｂと相違する。コイル部品１１ｃのその他の構造は、コイル部品１１ｂと同じであるので説明を省略する。コイル部品１１ｃは、コイル部品１１ｂと同じ作用効果を奏することができる。

（第４変形例）
以下に、第４変形例に係るコイル部品１１ｄについて図面を参照しながら説明する。図１１は、コイル部品１１ｄの断面図である。

コイル部品１１ｄは、コイル導体１８ｄ～１８ｆを備えていない点においてコイル部品１１と相違する。コイル導体１８ｂ（第２コイル導体）は、樹脂層１５ａの下主面に位置している。そのため、コイル導体１８ｂでは、第２ボトム部Ｓ３は、第２トップ部Ｓ４より上に位置している。そして、第２ボトム部Ｓ３は、樹脂層１５ａの下主面に固定されている。

また、コイル導体１８ａ（第１コイル導体）の上下方向の厚みＴ１は、コイル導体１８ｃ（第３コイル導体）の上下方向の厚みＴ３より大きい。コイル導体１８ｃ（第３コイル導体）の外縁は、コイル導体１８ｃ（第３コイル導体）の外縁において最も下（第２方向）に位置する平面である第３ボトム部Ｓ５、及び、コイル導体１８ｃ（第３コイル導体）の外縁において最も上（第１方向）に位置する平面である第３トップ部Ｓ６を有している。第３トップ部Ｓ６は、第３ボトム部Ｓ５より上（第１方向ＤＩＲ１）に位置し、第３ボトム部Ｓ５と平行な法線を有している。第３トップ部Ｓ６の線幅方向の幅Ｗ６は、第３ボトム部Ｓ５の線幅方向の幅Ｗ５より小さい。第１割合Ｐ１は、第３トップ部Ｓ６の線幅方向の幅Ｗ６を第３ボトム部Ｓ５の線幅方向の幅Ｗ５で割って得られる第３割合Ｐ３より小さい。

コイル部品１１ｄのその他の構造は、コイル部品１１と同じであるので説明を省略する。コイル部品１１ｄは、コイル部品１１と同じ作用効果を奏することができる。

以下に、コイル部品１１ｄの製造方法について図面を参照しながら説明する。図１２ないし図１４は、コイル部品１１ｄの製造工程を示す断面図である。

まず、図１２に示すように、樹脂層１５ａにコイル導体１８ｂ（第２コイル導体）を形成する（第２コイル導体形成工程）。樹脂層１５ｂにコイル導体１８ｃ（第３コイル導体）を形成する（第３コイル導体形成工程）。具体的には、樹脂層１５ａの上主面及び樹脂層１５ｂの上主面のそれぞれには金属箔が張り付けられている。この金属箔にマスクを形成する。そして、マスクを介してエッチングを施すことにより、コイル導体１８ｂ，１８ｃを形成する。また、樹脂層１５ａの上主面には金属膜２００ａが設けられている。金属膜２００ａは、金属箔に比べて薄い。

更に、樹脂層１５ａ，１５ｂに層間接続導体ｖ１，ｖ２を形成する。具体的には、樹脂層１５ａ，１５ｂのそれぞれにレーザービームを照射して貫通孔を形成する。その後、貫通孔に導電性ペーストを充填する。

図１３に示すように、第２コイル導体形成工程及び第３コイル導体形成工程の後に、コイル導体１８ｂ（第２コイル導体）及びコイル導体１８ｃ（第３コイル導体）が下方向（第２方向ＤＩＲ２）にこの順に並ぶように樹脂層１５ａ～１５ｃを熱圧着する（熱圧着工程）。これにより、樹脂層１５ａ～１５ｃが軟化及び流動化する。そして、樹脂層１５ａ～１５ｃが冷却されると、樹脂層１５ａ～１５ｃが一体化される。更に、熱圧着により、貫通孔内の導電性ペーストが固化する。

図１４に示すように、熱圧着工程の後に、熱圧着工程において熱圧着した複数の樹脂層１５ａ～１５ｃの中で最も上（第１方向ＤＩＲ１）に位置する樹脂層１５ａに位置するコイル導体１８ａ（第１コイル導体）の上下方向の厚みを大きくする（第１コイル導体形成工程）。コイル導体１８ａは、例えば、ＭＳＡＰにより形成される。ＭＳＡＰでは、金属膜２００ａの上にマスクを形成する。そして、金属膜２００ａの上にメッキを施すことにより、メッキ層を形成する。その後、マスクを除去する。更に、エッチングにより、マスクと重なっていた不要な金属膜２００ａを除去する。

最後に、樹脂層１５ａの上主面に保護層１６ａを形成する。これにより、コイル部品１１ｄが完成する。

（第５変形例）
以下に、第５変形例に係るコイル部品１１ｅについて図面を参照しながら説明する。図１５は、コイル部品１１ｅの断面図である。

コイル部品１１ｅは、樹脂層１５ｇ及び層間接続導体ｖ１１を更に備えている点及びコイル導体１８ｂ，１８ｃの位置が異なる点においてコイル部品１１ｄと相違する。より詳細には、樹脂層１５ｇは、樹脂層１５ａと樹脂層１５ｂとの間に位置している。コイル導体１８ｂは、樹脂層１５ｇの下主面に位置している。コイル導体１８ｃは、樹脂層１５ｂの下主面に位置している。そのため、コイル導体１８ｂでは、第３ボトム部Ｓ５は、第３トップ部Ｓ６より上に位置している。そして、第３ボトム部Ｓ５は、樹脂層１５ｇの下主面に固定されている。層間接続導体ｖ１１は、層間接続導体ｖ１と直列に接続されている。層間接続導体ｖ１，ｖ１１は、コイル導体１８ａの内周端部とコイル導体１８ｂの内周端部とを電気的に接続している。コイル部品１１ｅのその他の構造は、コイル部品１１ｄと同じであるので説明を省略する。コイル部品１１ｅは、コイル部品１１ｄと同じ作用効果を奏することができる。

（第６変形例）
以下に、第６変形例に係るコイル部品１１ｆについて図面を参照しながら説明する。図１６は、コイル部品１１ｆの断面図である。

コイル部品１１ｆは、コイル導体１８ａ，１８ｆの構造においてコイル部品１１と相違する。より詳細には、コイル部品１１ｆでは、コイル導体１８ａは、ベース導体１８１ａ及びメッキ層１８２ａを含んでいる。ベース導体１８１ａは、金属箔により作製されている。メッキ層１８２ａは、ベース導体１８１ａを覆っている。コイル導体１８ｆは、ベース導体１８１ｆ及びメッキ層１８２ｆを含んでいる。ベース導体１８１ｆは、金属箔により作製されている。メッキ層１８２ｆは、ベース導体１８１ｆを覆っている。コイル部品１１ｆのその他の構造は、コイル部品１１と同じであるので説明を省略する。コイル部品１１ｆは、コイル部品１１と同じ作用効果を奏することができる。

また、コイル部品１１ｆでは、上下方向に見て、コイル導体１８ａの略全体は、コイル導体１８ｂ～１８ｅと重なっている。同様に、コイル導体１８ｆの略全体は、コイル導体１８ｂ～１８ｅと重なっている。これにより、樹脂層１５ａ～１５ｆの熱圧着時に、コイル導体１８ａ～１８ｆに上下方向に力が加わりやすくなり、コイル導体１８ａ～１８ｆに前後方向及び左右方向に力が加わりにくくなる。その結果、コイル導体１８ａ～１８ｆの位置が設計値からずれることが抑制される。

次に、コイル部品１１ｆの製造方法について図面を参照しながら説明する。図１７ないし図１９は、コイル部品１１ｆの製造工程を示す断面図である。

まず、図１７に示すように、樹脂層１５ｂ～１５ｅのそれぞれにコイル導体１８ｂ～１８ｅ（第２コイル導体）を形成する（第２コイル導体形成工程）。具体的には、樹脂層１５ａ～１５ｆの上主面には金属箔が張り付けられている。この金属箔にマスクを形成する。そして、マスクを介してエッチングを施すことにより、コイル導体１８ｂ～１８ｅを形成する。

また、樹脂層１５ａの上主面及び樹脂層１５ｆの下主面のそれぞれにベース導体１８１ａ，１８１ｆを形成する。具体的には、樹脂層１５ａの上主面及び樹脂層１５ｆの下主面のそれぞれには金属箔が張り付けられている。この金属箔にマスクを形成する。そして、マスクを介してエッチングを施すことにより、ベース導体１８１ａ，１８１ｆを形成する。

更に、樹脂層１５ｂ～１５ｅに層間接続導体ｖ１～ｖ６を形成する。具体的には、樹脂層１５ｂ～１５ｅのそれぞれにレーザービームを照射して貫通孔を形成する。その後、貫通孔に導電性ペーストを充填する。

図１８に示すように、樹脂層１５ａ～１５ｆを熱圧着する（熱圧着工程）。これにより、樹脂層１５ａ～１５ｆが軟化及び流動化する。そして、樹脂層１５ａ～１５ｆが冷却されると、樹脂層１５ａ～１５ｆが一体化される。更に、熱圧着により、貫通孔内の導電性ペーストが固化する。

図１９に示すように、熱圧着工程において熱圧着した複数の樹脂層１５ａ～１５ｆの中で最も上（第１方向ＤＩＲ１）に位置する樹脂層１５ａに位置するコイル導体１８ａ（第１コイル導体）の上下方向の厚みを大きくする（第１コイル導体形成工程）。更に、熱圧着工程の後に、熱圧着工程において熱圧着した複数の樹脂層１５ａ～１５ｆの中で最も下（第２方向ＤＩＲ２）に位置する樹脂層１５ｆに位置するコイル導体１８ｆ（第３コイル導体）の厚みを大きくする（第３コイル導体形成工程）。具体的には、ベース導体１８１ａ，１８１ｆのそれぞれにメッキを施すことにより、メッキ層１８２ａ，１８２ｆを完成させる。

最後に、樹脂層１５ａの上主面に保護層１６ａを形成する。樹脂層１５ｆの下主面に保護層１６ｂを形成する。これにより、コイル部品１１ｆが完成する。

（第７変形例）
以下に、第７変形例に係るコイル部品１１ｇについて図面を参照しながら説明する。図２０は、コイル部品１１ｇの断面図である。

コイル部品１１ｇは、コイル部品１１ｈ，１１ｉを含んでいる。コイル部品１１ｈ，１１ｉのそれぞれは、コイル部品１１と同じ構造を有している。コイル部品１１ｈは、コイル部品１１ｉの上主面に実装されている。これにより、コイル部品１１ｈのコイル導体１８ｆとコイル部品１１ｉのコイル導体１８ａとが半田により電気的に接続されている。

これにより、コイル部品１１ｇは、コイル部品１１ｈのコイルＬ１とコイル部品１１ｉのコイルＬ２とが直列に接続された構造を有するようになる。その結果、コイル部品１１ｇでは、コイルＬのインダクタンス値が大きくなる。

（その他の実施形態）
本発明に係るコイル部品は、コイル部品１１，１１ａ～１１ｇに限らず、その要旨の範囲内において変更可能である。なお、コイル部品１１，１１ａ～１１ｇの構成を任意に組み合わせてもよい。

なお、コイルＬは、複数の渦巻状のコイル導体が接続された構造を有している。しかしながら、コイルＬが螺旋形状を有していれば、複数のコイル導体の周回数は１周以下であってもよい。

なお、駆動モジュール１０において、磁石５０の左部がＳ極であり、磁石５０の右部がＮ極であってもよい。なお、磁石５０は、永久磁石であってもよいし、電磁石であってもよい。

なお、樹脂層１５ａ～１５ｆの材料は、磁性体材料であってもよい。

なお、樹脂層１５ａ～１５ｆの材料は、熱可塑性樹脂以外の樹脂であってもよい。

なお、樹脂層１５ａの上に更に樹脂層が積層されてもよい。樹脂層１５ｆの下に更に樹脂層が積層されてもよい。

なお、下方向が第１方向ＤＩＲ１であり、上方向が第２方向ＤＩＲ２であってもよい。

なお、第１ボトム部Ｓ１の線幅方向の幅Ｗ１は、第２ボトム部Ｓ３の線幅方向の幅Ｗ３以上であってもよい。

なお、線幅方向に隣り合うコイル導体１８ａ（第１コイル導体）同士の間隔は、線幅方向に隣り合うコイル導体１８ｂ～１８ｅ（第２コイル導体）同士の間隔以上であってもよい。

なお、コイル部品１１，１１ａ～１１ｃ，１１ｆ，１１ｇにおいて、第３割合Ｐ３は、第２割合Ｐ２以上であってもよい。

なお、コイル部品１１，１１ａ～１１ｃ，１１ｆ，１１ｇにおいて、第３ボトム部Ｓ５の線幅方向の幅Ｗ５は、第２ボトム部Ｓ３の線幅方向の幅Ｗ３以上であってもよい。

なお、コイル部品１１，１１ａ～１１ｃ，１１ｆ，１１ｇにおいて、線幅方向に隣り合うコイル導体１８ｆ（第３コイル導体）同士の間隔は、線幅方向に隣り合うコイル導体１８ｂ～１８ｅ（第２コイル導体）同士の間隔以上であってもよい。

なお、コイル部品１１ｄ，１１ｅにおいて、第１割合Ｐ１は、第３割合Ｐ３以上であってもよい。

なお、コイル部品１１，１１ａ～１１ｆは、駆動モジュールに適用されている。しかしながら、コイル部品１１，１１ａ～１１ｆは、駆動モジュール以外の用途に用いられてもよい。コイル部品１１，１１ａ～１１ｆは、例えば、アンテナ素子として用いられてもよい。この場合、コイルＬは、通信用のアンテナ又はワイヤレス給電用のアンテナとして機能する。

１０：駆動モジュール
１１，１１ａ～１１ｉ：コイル部品
１２：積層体
１５ａ～１５ｆ：樹脂層
１６ａ，１６ｂ：保護層
１８ａ～１８ｆ：コイル導体
２０ａ，２０ｂ：引き出し導体
５０：磁石
１８１ａ，１８１ｆ：ベース導体
１８２ａ，１８２ｆ：メッキ層
Ａｘ１：中心軸線
Ｌ：コイル
Ｌ１：コイル
Ｌ２：コイル
Ｓ１：第１ボトム部
Ｓ２：第１トップ部
Ｓ３：第２ボトム部
Ｓ４：第２トップ部
Ｓ５：第３ボトム部
Ｓ６：第３トップ部
ｖ１～ｖ６：層間接続導体

Claims (11)

1. 上下方向の一方の方向が第１方向であり、上下方向の他方の方向が第２方向であり、
   複数の樹脂層が上下方向に積層された構造を有する積層体と、
   上下方向に見て線形状を有する複数のコイル導体を含んでいるコイルであって、上下方向に延びる中心軸線の周囲を周回する螺旋形状を有しているコイルであって、前記複数のコイル導体は、前記第２方向にこの順に並ぶ第１コイル導体、第２コイル導体及び第３コイル導体を含んでいる、コイルと、
   を備えており、
   前記第１コイル導体は、前記複数のコイル導体の中で最も前記第１方向に位置しており、
   上下方向に見て、前記第１コイル導体、前記第２コイル導体及び前記第３コイル導体のそれぞれが延びる方向に直交する方向は、線幅方向であり、
   前記第１コイル導体の外縁は、前記第１コイル導体の外縁において最も前記第２方向に位置する平面である第１ボトム部、及び、前記第１コイル導体の外縁において最も前記第１方向に位置する平面である第１トップ部を有しており、
   前記第１トップ部の前記線幅方向の幅は、前記第１ボトム部の前記線幅方向の幅より小さく、
   前記第２コイル導体の外縁は、前記第１コイル導体の外縁において最も前記第２方向に位置する平面である第２ボトム部、及び、前記第２コイル導体の外縁において最も前記第１方向に位置する平面である第２トップ部を有しており、
   前記第２トップ部の前記線幅方向の幅は、前記第２ボトム部の前記線幅方向の幅より小さく、
   前記第１トップ部と前記第１ボトム部との最短距離は、前記第２トップ部と前記第２ボトム部との最短距離より長く、
   前記第１トップ部の前記線幅方向の幅を前記第１ボトム部の前記線幅方向の幅で割って得られる第１割合は、前記第２トップ部の前記線幅方向の幅を前記第２ボトム部の前記線幅方向の幅で割って得られる第２割合より小さい、
   コイル部品。
2. 前記第１ボトム部の前記線幅方向の幅は、前記第２ボトム部の前記線幅方向の幅より小さい、
   請求項１に記載のコイル部品。
3. 前記第１ボトム部の前記線幅方向の幅は、前記第２ボトム部の前記線幅方向の幅より大きい、
   請求項１に記載のコイル部品。
4. 前記第１コイル導体、前記第２コイル導体及び前記第３コイル導体のそれぞれは、上下方向に見て、前記中心軸線を中心に１周以上にわたって周回する渦巻形状を有しており、
   前記線幅方向に隣り合う前記第１コイル導体同士の間隔は、前記線幅方向に隣り合う前記第２コイル導体同士の間隔より小さい、
   請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のコイル部品。
5. 前記第３コイル導体は、前記複数のコイル導体の中で最も前記第２方向に位置しており、
   前記第３コイル導体の外縁は、前記第３コイル導体の外縁において最も前記第２方向に位置する平面である第３ボトム部、及び、前記第３コイル導体の外縁において最も前記第１方向に位置する平面である第３トップ部を有しており、
   前記第３トップ部の前記線幅方向の幅は、前記第３ボトム部の前記線幅方向の幅より小さく、
   前記第３トップ部と前記第３ボトム部との最短距離は、前記第２トップ部と前記第２ボトム部との最短距離より長く、
   前記第３トップ部の前記線幅方向の幅を前記第３ボトム部の前記線幅方向の幅で割って得られる第３割合は、前記第２割合より小さい、
   請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のコイル部品。
6. 前記第３ボトム部の前記線幅方向の幅は、前記第２ボトム部の前記線幅方向の幅より小さい、
   請求項５に記載のコイル部品。
7. 前記第３ボトム部の前記線幅方向の幅は、前記第２ボトム部の前記線幅方向の幅より大きい、
   請求項５に記載のコイル部品。
8. 前記第１コイル導体、前記第２コイル導体及び前記第３コイル導体は、上下方向に見て、前記中心軸線を中心に１周以上にわたって周回する渦巻形状を有しており、
   前記線幅方向に隣り合う前記第３コイル導体同士の間隔は、前記線幅方向に隣り合う前記第２コイル導体同士の間隔より小さい、
   請求項５に記載のコイル部品。
9. 前記第３コイル導体の外縁は、前記第３コイル導体の外縁において最も前記第２方向に位置する平面である第３ボトム部、及び、前記第３コイル導体の外縁において最も前記第１方向に位置する平面である第３トップ部を有しており、
   前記第３トップ部の前記線幅方向の幅は、前記第３ボトム部の前記線幅方向の幅より小さく、
   前記第１トップ部と前記第１ボトム部との最短距離は、前記第３トップ部と前記第３ボトム部との最短距離より長く、
   前記第１割合は、前記第３トップ部の前記線幅方向の幅を前記第３ボトム部の前記線幅方向の幅で割って得られる第３割合より小さい、
   請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のコイル部品。
10. 上下方向の一方の方向が第１方向であり、上下方向の他方の方向が第２方向であり、
    複数の樹脂層が上下方向に積層された構造を有する積層体と、
    上下方向に見て線形状を有する複数のコイル導体を含んでいるコイルであって、上下方向に延びる中心軸線の周囲を周回する螺旋形状を有しているコイルであって、前記複数のコイル導体は、前記第２方向にこの順に並ぶ第１コイル導体、第２コイル導体及び第３コイル導体を含んでいる、コイルと、
    を備える、
    コイル部品の製造方法であって、
    前記樹脂層に前記第２コイル導体を形成する第２コイル導体形成工程と、
    前記第２コイル導体形成工程の後に、前記複数の樹脂層を熱圧着する熱圧着工程と、
    前記熱圧着工程の後に、前記熱圧着工程において熱圧着した前記複数の樹脂層の中で最も前記第１方向に位置する前記樹脂層に位置する前記第１コイル導体の上下方向の厚みを大きくする第１コイル導体形成工程と、
    前記熱圧着工程の後に、前記熱圧着工程において熱圧着した前記複数の樹脂層の中で最も前記第２方向に位置する前記樹脂層に位置する前記第３コイル導体の上下方向の厚みを大きくする第３コイル導体形成工程と、
    を備えており、
    上下方向に見て、前記第１コイル導体、前記第２コイル導体及び前記第３コイル導体のそれぞれが延びる方向に直交する方向は、線幅方向であり、
    前記第１コイル導体の外縁は、前記第１コイル導体の外縁において最も前記第２方向に位置する平面である第１ボトム部、及び、前記第１コイル導体の外縁において最も前記第１方向に位置する平面である第１トップ部を有しており、
    前記第１トップ部の前記線幅方向の幅は、前記第１ボトム部の前記線幅方向の幅より小さく、
    前記第２コイル導体の外縁は、前記第２コイル導体の外縁において最も前記第２方向に位置する平面である第２ボトム部、及び、前記第２コイル導体の外縁において最も前記第１方向に位置する平面である第２トップ部を有しており、
    前記第２トップ部の前記線幅方向の幅は、前記第２ボトム部の前記線幅方向の幅より小さく、
    前記第１トップ部と前記第１ボトム部との最短距離は、前記第２トップ部と前記第２ボトム部との最短距離より長く、
    前記第１トップ部の前記線幅方向の幅を前記第１ボトム部の前記線幅方向の幅で割って得られる第１割合は、前記第２トップ部の前記線幅方向の幅を前記第２ボトム部の前記線幅方向の幅で割って得られる第２割合より小さい、
    コイル部品の製造方法。
11. 上下方向の一方の方向が第１方向であり、上下方向の他方の方向が第２方向であり、
    複数の樹脂層が上下方向に積層された構造を有する積層体と、
    上下方向に見て線形状を有する複数のコイル導体を含んでいるコイルであって、上下方向に延びる中心軸線の周囲を周回する螺旋形状を有しているコイルであって、前記複数のコイル導体は、前記第２方向にこの順に並ぶ第１コイル導体、第２コイル導体及び第３コイル導体を含んでいる、コイルと、
    を備える、
    コイル部品の製造方法であって、
    前記樹脂層に前記第２コイル導体を形成する第２コイル導体形成工程と、
    前記樹脂層に前記第３コイル導体を形成する第３コイル導体形成工程と、
    前記第２コイル導体形成工程及び前記第３コイル導体形成工程の後に、前記第２コイル導体及び前記第３コイル導体が前記第２方向にこの順に並ぶように前記複数の樹脂層を熱圧着する熱圧着工程と、
    前記熱圧着工程の後に、前記熱圧着工程において熱圧着した前記複数の樹脂層の中で最も前記第１方向に位置する前記樹脂層に位置する前記第１コイル導体の上下方向の厚みを大きくする第１コイル導体形成工程と、
    を備えており、
    上下方向に見て、前記第１コイル導体、前記第２コイル導体及び前記第３コイル導体のそれぞれが延びる方向に直交する方向は、線幅方向であり、
    前記第１コイル導体の外縁は、前記第１コイル導体の外縁において最も前記第２方向に位置する平面である第１ボトム部、及び、前記第１コイル導体の外縁において最も前記第１方向に位置する平面である第１トップ部を有しており、
    前記第１トップ部の前記線幅方向の幅は、前記第１ボトム部の前記線幅方向の幅より小さく、
    前記第２コイル導体の外縁は、前記第２コイル導体の外縁において最も前記第２方向に位置する平面である第２ボトム部、及び、前記第２コイル導体の外縁において最も前記第１方向に位置する平面である第２トップ部を有しており、
    前記第２トップ部の前記線幅方向の幅は、前記第２ボトム部の前記線幅方向の幅より小さく、
    前記第１トップ部と前記第１ボトム部との最短距離は、前記第２トップ部と前記第２ボトム部との最短距離より長く、
    前記第１トップ部の前記線幅方向の幅を前記第１ボトム部の前記線幅方向の幅で割って得られる第１割合は、前記第２トップ部の前記線幅方向の幅を前記第２ボトム部の前記線幅方向の幅で割って得られる第２割合より小さい、
    コイル部品の製造方法。

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