JP7345377B2 - アライメント測定システム、情報処理装置、アライメント測定方法及びプログラム - Google Patents

Description

本発明は、アライメント測定システム、情報処理装置、アライメント測定方法及びプログラムに関する。

人工衛星の開発では、センサ、アンテナ等の搭載機器が設計通りに取り付けられているか否かを確かめるため、搭載機器が取り付けられた位置及び姿勢の測定、所謂アライメント測定が行われる。

特許文献１には、人工衛星のスラスタノズルに取り付けるスラスタノズルアライメント治具を用いた測定装置が開示されている。特許文献１に記載の測定装置は、スラスタノズルアライメント治具に設けられた平面ミラー部に保持された球面ミラー部の中心座標位置を異なる位置に配置された２つのセオドライトを用いて測定することで、スラスタノズルの開口面の角度及び中心座標を測定している。

特開平９－２６４７１１号公報

特許文献１に記載の測定装置は、測定者がセオドライトからの照明光を確認しながら手動でセオドライトを搭載するスタンドの高さ、位置及び傾きを調整し、平面ミラー部においてコリメーションが可能となる位置にセオドライトを設置する必要がある。この結果、特許文献１に記載の測定装置は、セオドライトの調整に基づく測定精度が測定者の熟練度に大きく依存してしまう問題があり、測定者によっては精度良く測定を行うためにセオドライトの調整を繰り返すことで測定時間が長期化する虞がある。

本発明は、上述の事情に鑑みてなされたものであり、測定精度を維持しつつ測定時間を短縮することを目的とする。

上記の目的を達成するため、本発明に係るアライメント測定システムは、製造物に取り付けられた被測定物の取付位置及び取付角度を測定するアライメント測定システムであって、レーザー測定器と、非測定物取付反射体と、製造物取付反射体と、位置姿勢算出部と、記憶部と、差分値算出部と、視準位置算出部と、取付位置測定用反射体と、取付角度測定用反射体と、取付位置算出部と、取付角度算出部とを備える。レーザー測定器は、反射体の位置を測定する。非測定物取付反射体は、測定場所に設けられた非測定物であって製造物とは異なる非測定物に取り付けられた反射体である。製造物取付反射体は、製造物に取り付けられた反射体である。位置姿勢算出部は、レーザー測定器によって測定された非測定物取付反射体の位置と製造物取付反射体の位置とに基づいてレーザー測定器の位置及び姿勢と製造物の位置及び姿勢とを算出する。記憶部は、被測定物を測定する前に製造物及びレーザー測定器が設置されたときのレーザー測定器の位置及び姿勢と製造物の位置及び姿勢とを示す位置姿勢情報を記憶する。差分値算出部は、記憶部が記憶している位置姿勢情報によって示されるレーザー測定器の位置及び姿勢を示す値と、被測定物を測定するために製造物及びレーザー測定器が設置されたときに位置姿勢算出部が算出したレーザー測定器の位置及び姿勢を示す値との測定器用差分値を算出するとともに、位置姿勢情報によって示される製造物の位置及び姿勢を示す値と、被測定物を測定するために製造物及びレーザー測定器が設置されたときに位置姿勢算出部が算出した製造物の位置及び姿勢を示す値との製造物用差分値を算出する。視準位置算出部は、差分値算出部が算出した測定器用差分値と製造物用差分値とに基づいてレーザー測定器に被測定物を視準させる視準位置を算出する。取付位置測定用反射体は、被測定物に取り付けられた反射体であって、被測定物の取付位置を示す。取付角度測定用反射体は、被測定物に取り付けられた反射体であって、被測定物の取付角度を示す。取付位置算出部は、視準位置算出部が算出した視準位置に設置されたレーザー測定器によって測定された取付位置測定用反射体の位置に基づいて被測定物の取付位置を算出する。取付角度算出部は、視準位置算出部が算出した視準位置に設置されたレーザー測定器によって測定された取付角度測定用反射体の位置に基づいて被測定物の取付角度を算出する。

本発明に係るアライメント測定システムは、被測定物を測定する前に設置されたときのレーザー測定器の位置及び姿勢を示す値と、被測定物を測定するために設置されたときに算出したレーザー測定器の位置及び姿勢を示す値との測定器用差分値に基づいて視準位置を算出する。そして、本発明に係るアライメント測定システムは、算出された視準位置に設置されたレーザー測定器によって測定された取付位置測定用反射体の位置及び取付角度測定用反射体の位置に基づいて被測定物の取付位置及び取付角度を算出する。このため、本発明によれば、測定器用差分値に基づいて視準位置を算出しないアライメント測定システムよりもレーザー測定器を視準位置に精度良く設置することができ、製造物に取り付けられた被測定物の取付位置及び取付角度を精度良く測定できる。また、本発明によれば、速やかにレーザー測定器を視準位置に設置することができ、測定器用差分値に基づいて視準位置を算出しないアライメント測定システムよりも測定時間を短縮することができる。これらの結果、測定精度を維持しつつ測定時間を短縮できる。

本発明の実施の形態１に係るアライメント測定システムの説明図 実施の形態１に係るアライメント測定システムの機能構成を示す図 実施の形態１に係る情報処理装置のハードウェア構成を示すブロック図 実施の形態１に係る位置姿勢情報の例を示す図 実施の形態１に係る測定結果画面の表示例を示す図 実施の形態１に係るアライメント測定処理の流れを示すフローチャート 本発明の実施の形態２に係るアライメント測定システムの説明図 実施の形態２に係るアライメント測定システムの機能構成を示す図 実施の形態２に係るアライメント測定処理の流れを示すフローチャート 変更例１に係るアライメント測定処理の流れを示すフローチャート 変更例２に係るアライメント測定処理の流れを示すフローチャート

［実施の形態１］
以下、本発明の実施の形態１に係るアライメント測定システムについて、図１～図６を参照しながら詳細に説明する。

図１は本発明の実施の形態１に係るアライメント測定システムの説明図である。図１に示すように、実施の形態１に係るアライメント測定システム１００は、製造物２００に取り付けられた被測定物２０１の取付位置及び取付角度を測定するシステムである。なお、製造物２００は、例えば、人工衛星であり、被測定物２０１は、例えば、人工衛星に取り付けられたセンサ、アンテナ等の搭載機器である。被測定物２０１は、製造物２００の異なる位置に複数取り付けられている。

アライメント測定システム１００は、製造物２００が設置されるロータリーテーブル１１０、被測定物２０１に取り付けられた取付位置測定用反射体１２０及び取付角度測定用反射体１３０、非測定物に取り付けられた非測定物取付反射体１４０を備える。また、アライメント測定システム１００は、反射体１２０、１３０、１４０を測定するレーザー測定器１５０、レーザー測定器１５０を設置するキャリッジ１６０、キャリッジ１６０を支持するツーリングバー１７０を備える。また、アライメント測定システム１００は、ロータリーテーブル１１０、レーザー測定器１５０、キャリッジ１６０、ツーリングバー１７０と電気的に接続されてこれらを制御可能な情報処理装置１８０を備える。

ロータリーテーブル１１０は、床面に支持されており、製造物２００が設置された状態で中央部に設けられた図示しない回転機構によって鉛直方向に延びる回転軸を回転中心として回転可能である。よって、製造物２００は、ロータリーテーブル１１０の回転によって回転角度が調整されることで、レーザー測定器１５０と対向する方向が調整される。

取付位置測定用反射体１２０は、例えば、互いに直行する３枚の鏡を用いたレトロリフレクターであり、レーザー測定器１５０から照射されて入射したレーザー光を入射方向に関わらず平行且つ反対方向に反射可能である。よって、取付位置測定用反射体１２０は、レーザー測定器１５０から照射されたレーザー光を反対方向に反射することで取り付けられた被測定物２０１の取付位置を示すことができる。

取付角度測定用反射体１３０は、例えば、キューブミラーであり、キューブミラーが有する指向面が被測定物２０１の取付方向を示している。なお、取付方向とは、例えば、被測定物２０１としてのアンテナが機能する方向、すなわち、アンテナ方向である。よって、取付角度測定用反射体１３０は、正対しているレーザー測定器１５０からのレーザー光を指向面が反対方向に反射したときに取り付けられた被測定物２０１の取付角度を示すことができる。

非測定物取付反射体１４０は、取付位置測定用反射体１２０と同様の反射体であり、例えば、上述したレトロリフレクターである。非測定物取付反射体１４０は、非測定物の一例としての製造物２００の被測定物２０１以外の部分に取り付けられた製造物取付反射体１４１と、非測定物の一例としての建屋の壁面に取り付けられてレーザー測定器１５０の設置時の位置の算出に用いる３個以上の測定器位置算出用反射体１４２とを備える。製造物取付反射体１４１は、回転する製造物２００の基準となる基準座標系の構築に用いる第１基準座標構築用反射体１４３、第２基準座標構築用反射体１４４、第３基準座標構築用反射体１４５を備える。また、製造物取付反射体１４１は、製造物２００の設置時の位置の算出に用いる３個以上の製造物位置算出用反射体１４６を備える。

図１に示すように、第１基準座標構築用反射体１４３、第２基準座標構築用反射体１４４、第３基準座標構築用反射体１４５は、製造物２００の下端部に設けられた円筒部２０２の外周面に間隔を空けて取り付けられている。なお、座標系を構築するためには、製造物２００が静止した状態で少なくとも３個以上の基準座標構築用反射体をレーザー測定器１５０で測定できる必要がある。このため、図示は省略するが、第１基準座標構築用反射体１４３、第２基準座標構築用反射体１４４、第３基準座標構築用反射体１４５とは異なる座標構築用反射体が円筒部２０２の外周面に間隔を空けて複数設けられている。この結果、製造物２００の回転によってレーザー測定器１５０と対向する方向がどのような方向となったかに関わらず、レーザー測定器１５０が３個以上の座標構築用反射体を測定できる。

また、測定器位置算出用反射体１４２は、第１基準座標構築用反射体１４３、第２基準座標構築用反射体１４４、第３基準座標構築用反射体１４５と同様に、アライメント測定システム１００の後述するモデリング座標系を構築するために用いられる。このため、測定器位置算出用反射体１４２は、レーザー測定器１５０で測定できる位置に少なくとも３個以上取り付けられている必要がある。

レーザー測定器１５０は、例えば、レーザートラッカーである。レーザー測定器１５０は、ターゲットである反射体１２０、１３０、１４０にレーザー光を照射して反射した光を捕捉することで反射体１２０、１３０、１４０までの距離及び角度を測定し、反射体１２０、１３０、１４０の３次元位置を測定する。レーザー測定器１５０は、レーザー光を照射して反射された光を受光する図示しないヘッド部を備える。ヘッド部は、図示しない回転機構によって鉛直方向に延びる鉛直軸、又は、鉛直軸と直交する直交軸とを回転中心として回転可能である。よって、ヘッド部は、回転機構によってレーザー光を照射する方向が調整される。

キャリッジ１６０は、レーザー測定器１５０が設置された状態で図示しない移動機構によって水平平面上で互いに直行する２軸に沿ってスライド移動可能である。また、キャリッジ１６０は、レーザー測定器１５０が設置された状態で図示しない回転機構によって上述した２軸の何れか１軸を回転中心として回転可能である。よって、レーザー測定器１５０は、キャリッジ１６０のスライド移動によって設置された水平平面上の位置が調整されるとともに、キャリッジ１６０の回転によって製造物２００と対向する方向が調整される。

ツーリングバー１７０は、キャリッジ１６０にレーザー測定器１５０が設置された状態で図示しない移動機構によってキャリッジ１６０を鉛直方向に延びる軸に沿ってスライド移動させることが可能である。よって、レーザー測定器１５０は、キャリッジ１６０のスライド移動によって設置された高さが調整される。

図２は実施の形態１に係るアライメント測定システムの機能構成を示す図である。情報処理装置１８０は、例えば、パーソナルコンピュータである。図２に示すように、情報処理装置１８０は、位置及び姿勢を算出する位置姿勢算出部１８１、情報を記憶する記憶部１８２、位置及び姿勢の差分値を算出する差分値算出部１８３を備える。また、情報処理装置１８０は、視準可能な位置を算出する視準位置算出部１８４、視準可能な姿勢を算出する視準姿勢算出部１８５、位置を変更する位置変更部１８６、姿勢を変更する姿勢変更部１８７を備える。また、情報処理装置１８０は、被測定物２０１の取付位置を算出する取付位置算出部１８８、被測定物２０１の取付角度を算出する取付角度算出部１８９を備える。また、情報処理装置１８０は、測定者の指示を示す情報が入力される指示情報入力部１９０、測定結果を表示する測定結果表示部１９１を備える。

位置姿勢算出部１８１は、レーザー測定器１５０によって測定された測定器位置算出用反射体１４２の位置に基づいてレーザー測定器１５０の位置及び姿勢を算出する。また、位置姿勢算出部１８１は、レーザー測定器１５０によって測定された第１基準座標構築用反射体１４３、第２基準座標構築用反射体１４４、第３基準座標構築用反射体１４５及び製造物位置算出用反射体１４６の位置に基づいて製造物２００の位置及び姿勢を算出する。なお、位置姿勢算出部１８１は、本実施の形態のように製造物２００に被測定物２０１が複数取り付けられていれば被測定物２０１の測定後にレーザー測定器１５０の現在の位置及び姿勢と、製造物２００の姿勢とを算出する。

具体的には、まず、位置姿勢算出部１８１は、レーザー測定器１５０によって測定された３個以上の測定器位置算出用反射体１４２の位置の測定結果に基づいてアライメント測定システム１００のモデリング座標系を構築する。また、位置姿勢算出部１８１は、３個以上の測定器位置算出用反射体１４２の位置の測定結果から構築したモデリング座標系におけるレーザー測定器１５０の位置及び姿勢を算出する。このとき、位置姿勢算出部１８１は、レーザー測定器１５０の姿勢として、モデリング座標系におけるレーザー測定器１５０のヘッド部の回転角度を算出する。

なお、モデリング座標系の構築には、例えば、まず、同一の高さに取り付けられた３個の測定器位置算出用反射体１４２を測定することで描かれる水平平面を算出する。次に、算出した平面上の１点を原点とし、平面上の原点とは異なるもう１点と原点とを結ぶ線分でＸ軸を算出し、Ｘ軸の平面上の法線ベクトルからＹ軸を算出し、Ｘ軸とＹ軸との外積からＺ軸を算出することでモデリング座標系を構築できる。

また、位置姿勢算出部１８１は、レーザー測定器１５０によって測定された第１基準座標構築用反射体１４３、第２基準座標構築用反射体１４４、第３基準座標構築用反射体１４５の位置の測定結果からモデリング座標系における製造物２００の位置及び姿勢を算出する。このとき、位置姿勢算出部１８１は、製造物２００の姿勢として、モデリング座標系における製造物２００が設置された回転角度を算出する。また、位置姿勢算出部１８１は、第１基準座標構築用反射体１４３、第２基準座標構築用反射体１４４、第３基準座標構築用反射体１４５の位置の測定結果に基づいて回転する製造物２００の基準座標系を構築する。

なお、基準座標系の構築には、例えば、まず、同じ高さに取り付けられた３個の測定器位置算出用反射体１４２を測定することで描かれる水平平面上の円を算出する。次に、算出した円の中心点を原点とし、中心点から重力方向に延びるＺ軸を算出し、モデリング座標系のＸ軸上に設置されている座標構築用反射体の位置と原点とを結ぶ線分でＹ軸を算出し、Ｙ軸とＺ軸との外積からＸ軸を算出することで基準座標系を構築できる。

記憶部１８２は、被測定物２０１を測定する前に製造物２００及びレーザー測定器１５０が設置されたときの反射体１２０、１３０、１４０の位置と製造物２００の位置及び姿勢とレーザー測定器１５０の位置及び姿勢とを示す情報を含む位置姿勢情報、所謂モデリングデータを記憶する。位置姿勢情報は、建屋内にロータリーテーブル１１０、測定器位置算出用反射体１４２、キャリッジ１６０、ツーリングバー１７０については設置状況が変化しない前提で、製造物２００及びレーザー測定器１５０が実際に設置されたときの状況と一致する状況でアライメント測定システム１００全体のモデリングを行ったときのデータである。また、モデリングは、設計時に作成した製造物２００のモデルデータ、ロータリーテーブル１１０、非測定物取付反射体１４０、キャリッジ１６０及びツーリングバー１７０の位置データなどを用いて行われる。なお、モデリングは、製造物２００及びレーザー測定器１５０が実際に設置されたときの状況で行われるため、位置姿勢算出部１８１と同様にモデリング座標系を構築することになる。よって、位置姿勢算出部１８１が構築するモデリング座標系と記憶部１８２が記憶している位置姿勢情報において定義しているモデリング座標系とは一致することになる。

図４は実施の形態１に係る位置姿勢情報の例を示す図である。図２に示す記憶部１８２は、位置姿勢情報を、例えば、図４に示すテーブルの形式で記憶する。位置姿勢情報には、少なくともレーザー測定器１５０の設置時の位置及び姿勢を示す値、レーザー測定器１５０の測定時の位置を示す値が含まれる。なお、本実施の形態では、製造物２００に被測定物２０１が取り付けられているため、レーザー測定器１５０の測定時の位置を示す値は、被測定物２０１毎に記憶されている。また、位置姿勢情報には、少なくとも製造物２００の設置時の位置及び姿勢を示す値、製造物２００の測定時の姿勢を示す値が含まれる。なお、本実施の形態では、製造物２００に被測定物２０１が複数取り付けられているため、製造物２００の測定時の姿勢を示す値は、被測定物２０１毎に記憶されている。

また、位置姿勢情報には、少なくとも取付位置測定用反射体１２０及び取付角度測定用反射体１３０の測定時の位置を示す値が含まれる。なお、本実施の形態では、製造物２００に被測定物２０１が複数取り付けられているため、取付位置測定用反射体１２０及び取付角度測定用反射体１３０の測定時の位置を示す値は、被測定物２０１毎に記憶されている。また、位置姿勢情報には、少なくとも第１基準座標構築用反射体１４３、第２基準座標構築用反射体１４４、第３基準座標構築用反射体１４５、製造物位置算出用反射体１４６、測定器位置算出用反射体１４２の設置時の位置を示す値が含まれる。

例えば、レーザー測定器１５０の設置時の位置及び姿勢を示す値は、（ＬＴｍ（ｘ），ＬＴｍ（ｙ），ＬＴｍ（ｚ），ＬＴｍθｘ，ＬＴｍθｙ，ＬＴｍθｚ）である。また、レーザー測定器１５０の１個目の被測定物２０１の測定時の位置を示す値は、（Ｐ（ｘ），Ｐ（ｙ），Ｐ（ｚ））である。また、製造物２００の設置時の位置及び姿勢を示す値は、（ＡＳｍ（ｘ），ＡＳｍ（ｙ），ＡＳｍ（ｚ），ＡＳｍθｘ，ＡＳｍθｙ，ＡＳｍθｚ）である。また、製造物２００の１個目の被測定物２０１の測定時の姿勢を示す値は、（Ｑθｘ，Ｑθｙ，Ｑθｚ）である。また、１個目の被測定物２０１に取り付けられた取付位置測定用反射体１２０の測定時の位置を示す値は、（Ｒ（ｘ），Ｒ（ｙ），Ｒ（ｚ））である。また、１個目の被測定物２０１に取り付けられた取付角度測定用反射体１３０の設置時の位置を示す値は、（Ｃ（ｘ），Ｃ（ｙ），Ｃ（ｚ））である。また、第１基準座標構築用反射体１４３の設置時の位置を示す値は、（ＢＲ１（ｘ），ＢＲ１（ｙ），ＢＲ１（ｚ））である。また、１個目の製造物位置算出用反射体１４６の設置時の位置を示す値は、（ＡＲ１（ｘ），ＡＲ１（ｙ），ＡＲ１（ｚ））、１個目の測定器位置算出用反射体１４２の設置時の位置を示す値は、（ＬＲ１（ｘ），ＬＲ１（ｙ），ＬＲ１（ｚ））である。

差分値算出部１８３は、記憶部１８２が記憶している位置姿勢情報が示すレーザー測定器１５０の設置時の位置及び姿勢を示す値と、位置姿勢算出部１８１が算出したレーザー測定器１５０の現在の位置及び姿勢を示す値との差分値である測定器用差分値を算出する。また、本実施の形態では、製造物２００に被測定物２０１が取り付けられているため、２個目以降の被測定物２０１の測定時には、差分値算出部１８３は、記憶部１８２が記憶している位置姿勢情報が示すレーザー測定器１５０の測定時の位置及び姿勢を示す値と、レーザー測定器１５０の現在の位置及び姿勢を示す値との測定器用差分値を算出する。また、差分値算出部１８３は、記憶部１８２が記憶している位置姿勢情報が示す製造物２００の設置時の位置及び姿勢を示す値と、位置姿勢算出部１８１が算出した製造物の現在の位置及び姿勢を示す値との差分値である製造物用差分値を算出する。また、本実施の形態では、製造物２００に被測定物２０１が取り付けられているため、２個目以降の被測定物２０１の測定時には、差分値算出部１８３は、記憶部１８２が記憶している位置姿勢情報が示す製造物２００の測定時の位置及び姿勢を示す値と、位置姿勢算出部１８１が算出した製造物の現在の位置及び姿勢を示す値との製造物用差分値を算出する。

具体的には、位置姿勢算出部１８１が算出したレーザー測定器１５０の現在の位置及び姿勢を示す値を（ＬＴｒ（ｘ），ＬＴｒ（ｙ），ＬＴｒ（ｚ），ＬＴｒθｘ，ＬＴｒθｙ，ＬＴｒθｚ）とする。また、測定器用差分値を（Δｘ，Δｙ，Δｚ，Δθｘ，Δθｙ，Δθｚ）とする。このとき、差分値算出部１８３は、以下の数式に基づいて１個目の被測定物２０１を測定するときの測定器用差分値（Δｘ，Δｙ，Δｚ，Δθｘ，Δθｙ，Δθｚ）を算出する。
Δｘ＝ＬＴｒ（ｘ）－ＬＴｍ（ｘ）
Δｙ＝ＬＴｒ（ｙ）－ＬＴｍ（ｙ）
Δｚ＝ＬＴｒ（ｚ）－ＬＴｍ（ｚ）
Δθｘ＝ＬＴｒθｘ－ＬＴｍθｘ
Δθｙ＝ＬＴｒθｙ－ＬＴｍθｙ
Δθｚ＝ＬＴｒθｚ－ＬＴｍθｚ
なお、差分値算出部１８３は、２個目以降の被測定物２０１の測定時の測定器用差分値についても同様に算出するが、冗長な記載となるため、詳細な説明を省略する。

また、位置姿勢算出部１８１が算出した製造物２００の設置時の位置及び姿勢を示す値を（ＡＳｒ（ｘ），ＡＳｒ（ｙ），ＡＳｒ（ｚ），ＡＳｒθｘ，ＡＳｒθｙ，ＡＳｒθｚ）とする。また、製造物用差分値を（ΔＸ，ΔＹ，ΔＺ，ΔθＸ，ΔθＹ，ΔθＺ）とする。このとき、差分値算出部１８３は、以下の数式に基づいて１個目の被測定物２０１を測定するときの製造物用差分値（ΔＸ，ΔＹ，ΔＺ，ΔθＸ，ΔθＹ，ΔθＺ）を算出する。
ΔＸ＝ＡＳｒ（ｘ）－ＡＳｍ（ｘ）
ΔＹ＝ＡＳｒ（ｙ）－ＡＳｍ（ｙ）
ΔＺ＝ＡＳｒ（ｚ）－ＡＳｍ（ｚ）
ΔθＸ＝ＡＳｒθｘ－ＡＳｍθｘ
ΔθＹ＝ＡＳｒθｙ－ＡＳｍθｙ
ΔθＺ＝ＡＳｒθｚ－ＡＳｍθｚ
なお、差分値算出部１８３は、２個目以降の被測定物２０１の測定時の製造物用差分値についても同様に算出するが、冗長な記載となるため、詳細な説明を省略する。

視準位置算出部１８４は、差分値算出部１８３が算出した測定器用差分値及び製造物用差分値に基づいてレーザー測定器１５０が被測定物２０１を視準する視準位置を算出する。なお、視準位置算出部１８４は、本実施の形態のように製造物２００に被測定物２０１が複数取り付けられていれば測定前に被測定物２０１の視準位置を算出する。視準位置算出部１８４は、測定器用差分値（Δｘ，Δｙ，Δｚ，Δθｘ，Δθｙ，Δθｚ）に基づいて記憶部１８２に記憶されている位置姿勢情報に含まれるレーザー測定器１５０の測定時の位置を示す値を補正演算する。また、視準位置算出部１８４は、製造物用差分値（ΔＸ，ΔＹ，ΔＺ，ΔθＸ，ΔθＹ，ΔθＺ）のうちの製造物２００の位置を示す値の差分値（ΔＸ，ΔＹ，ΔＺ）をオフセットの値として、レーザー測定器１５０の測定時の補正位置を示す値を減算することで、レーザー測定器１５０の視準位置を補正演算する。

具体的には、レーザー測定器１５０の測定時の補正位置を示す値を（ｘ_ｏｕｔ，ｙ_ｏｕｔ，ｚ_ｏｕｔ）とする。このとき、視準位置算出部１８４は、以下の数１に示す数式を用いてレーザー測定器１５０の１個目の被測定物２０１の測定時の補正位置を示す値（ｘ_ｏｕｔ，ｙ_ｏｕｔ，ｚ_ｏｕｔ）を算出し、レーザー測定器１５０の視準位置を示す値として（ｘ_ｏｕｔ－ΔＸ，ｙ_ｏｕｔ－ΔＹ，ｚ_ｏｕｔ－ΔＺ）を算出する。

なお、視準位置算出部１８４は、２個目以降の被測定物２０１の測定時の補正位置を示す値（ｘ_ｏｕｔ－ΔＸ，ｙ_ｏｕｔ－ΔＹ，ｚ_ｏｕｔ－ΔＺ）についても同様に算出するが、冗長な記載となるため、詳細な説明を省略する。

視準姿勢算出部１８５は、差分値算出部１８３が算出した製造物用差分値に基づいてレーザー測定器１５０が被測定物２０１を視準するときのレーザー測定器１５０及び製造物２００の姿勢を算出する。視準姿勢算出部１８５は、製造物用差分値（ΔＸ，ΔＹ，ΔＺ，ΔθＸ，ΔθＹ，ΔθＺ）のうちの製造物２００の姿勢を示す値の差分値（ΔθＸ，ΔθＹ，ΔθＺ）をオフセットの値として、記憶部１８２に記憶されている位置姿勢情報に含まれるレーザー測定器１５０の測定時の姿勢を示す値及び製造物２００の測定時の姿勢を示す値を減算することで、これらの姿勢を算出する。

具体的には、視準姿勢算出部１８５は、レーザー測定器１５０の姿勢のＸＹ成分を示す値（ＬＴｒθｘ，ＬＴｒθｙ）からオフセットの値（ΔθＸ、ΔθＹ）を減算した値（ＬＴｒθｘ－ΔθＸ，ＬＴｒθｙ－ΔθＹ）に補正演算する。また、視準姿勢算出部１８５は、製造物２００の測定時の姿勢のＺ成分を示す値Ｑθｚからオフセットの値ΔθＺを減算した値Ｑθｚ－ΔθＺに補正演算する。
なお、視準姿勢算出部１８５は、２個目以降の被測定物２０１の測定時の姿勢を示す値（ＬＴｒθｘ－ΔθＸ，ＬＴｒθｙ－ΔθＹ），Ｑθｚ－ΔθＺについても同様に算出するが、冗長な記載となるため、詳細な説明を省略する。

位置変更部１８６は、キャリッジ１６０及びツーリングバー１７０の上述した移動機構を制御してレーザー測定器１５０の位置を変更する。位置変更部１８６は、レーザー測定器１５０の位置を視準位置算出部１８４が算出した視準位置に変更する。なお、位置変更部１８６は、本実施の形態のように製造物２００に被測定物２０１が複数取り付けられていれば被測定物２０１の測定前にレーザー測定器１５０の位置を変更する。

具体的には、位置変更部１８６は、位置姿勢算出部１８１が算出したレーザー測定器１５０の位置を示す値（ＬＴｒ（ｘ），ＬＴｒ（ｙ），ＬＴｒ（ｚ））から、視準位置を示す値（ｘ_ｏｕｔ－ΔＸ，ｙ_ｏｕｔ－ΔＹ，ｚ_ｏｕｔ－ΔＺ）までレーザー測定器１５０の位置を変更する。

姿勢変更部１８７は、ロータリーテーブル１１０及びキャリッジ１６０の上述した回転機構を制御してレーザー測定器１５０及び製造物２００の姿勢を変更する。姿勢変更部１８７は、レーザー測定器１５０及び製造物２００の姿勢を視準姿勢算出部１８５が算出した姿勢に変更する。なお、姿勢変更部１８７は、本実施の形態のように製造物２００に被測定物２０１が複数取り付けられていれば被測定物２０１の測定前にレーザー測定器１５０及び製造物２００の姿勢を変更する。

具体的には、姿勢変更部１８７は、位置姿勢算出部１８１が算出したレーザー測定器１５０の姿勢のＸＹ成分を示す値（ＬＴｒθｘ，ＬＴｒθｙ）がオフセットの値（ΔθＸ、ΔθＹ）を減算した値（ＬＴｒθｘ－ΔθＸ，ＬＴｒθｙ－ΔθＹ）となるまでレーザー測定器１５０の姿勢を変更する。また、姿勢変更部１８７は、位置姿勢算出部１８１が算出した製造物２００の姿勢のＺ成分を示す値がＡＳｒθｚから補正演算した値Ｑθｚ－ΔθＺとなるまでレーザー測定器１５０の位置を変更する。

取付位置算出部１８８は、レーザー測定器１５０によって測定された取付位置測定用反射体１２０の位置に基づいて被測定物２０１の取付位置を算出する。取付位置算出部１８８は、本実施の形態のように製造物２００に被測定物２０１が複数取り付けられていれば被測定物２０１の取付位置を算出する。取付位置算出部１８８は、被測定物２０１の取付位置をモデリング座標系の値から基準座標系の値に変換する。

取付角度算出部１８９は、レーザー測定器１５０によって測定された取付角度測定用反射体１３０の位置に基づいて被測定物２０１の取付角度を算出する。取付角度算出部１８９は、本実施の形態のように製造物２００に被測定物２０１が取り付けられていれば被測定物２０１の取付角度を算出する。取付角度算出部１８９は、被測定物２０１の取付角度をモデリング座標系の値から基準座標系の値に変換する。

指示情報入力部１９０は、測定者からの指示を示す情報である指示情報を入力する。指示情報は、例えば、後述するアライメント測定処理を開始する旨の指示を示す情報、レーザー測定器１５０の位置及び姿勢を微調整する指示を示す情報、製造物の姿勢を微調整する指示を示す情報である。

測定結果表示部１９１は、レーザー測定器１５０が測定した測定結果を表示する。測定結果表示部１９１は、取付位置算出部１８８が算出した基準座標系における被測定物２０１の取付位置を表示するとともに、取付角度算出部１８９が算出した基準座標系における被測定物２０１の取付角度を表示する。測定結果表示部１９１は、被測定物２０１の取付位置及び取付角度を表示する。

図５は実施の形態１に係る測定結果画面の表示例を示す図である。測定結果表示部１９１は、例えば、図５に示す測定結果画面を表示する。図５に示すように、測定結果画面は、被測定物２０１の名称と、被測定物２０１の取付位置を示す値と、被測定物２０１の取付角度を示す値との文字画像を含む画面である。例えば、１個目の被測定物２０１の文字画像は、名称「搭載機器１」、取付位置を示す値「（ｘ１，ｙ１，ｚ１）」、取付角度を示す値「（θｘ１，θｙ１，θｚ１）」を含んでいる。また、例えば、ｎ個目の被測定物２０１が測定不能であった場合、ｎ個目の被測定物２０１の文字画像は、名称「搭載機器ｎ」、取付位置を示す値「ＥＲＲＯＲ」、取付角度を示す値「ＥＲＲＯＲ」を含んでいる。この場合、測定者が指示情報入力部１９０を操作してレーザー測定器１５０の位置及び姿勢を微調整する指示を示す情報、製造物の姿勢を微調整する指示を示す情報を入力する。このようにすることで、測定可能となるまで位置変更部１８６及び姿勢変更部１８７によってレーザー測定器１５０の位置及び姿勢及び製造物の姿勢を微調整できる。

図３は実施の形態１に係る情報処理装置のハードウェア構成を示すブロック図である。図１、図２に示す情報処理装置１８０は、図３に示すハードウェアによって構成されている。図３に示すように、情報処理装置１８０は、制御プログラム５９に従って処理を実行する制御部５１を備える。制御部５１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）を備える。制御部５１は、制御プログラム５９に従って、情報処理装置１８０が備える位置姿勢算出部１８１、差分値算出部１８３、視準位置算出部１８４、視準姿勢算出部１８５、位置変更部１８６、姿勢変更部１８７、取付位置算出部１８８、取付角度算出部１８９として機能する。例えば、制御部５１は、位置姿勢算出部１８１が行う位置姿勢算出ステップ、差分値算出部１８３が行う差分値算出ステップ、視準位置算出部１８４が行う視準位置算出ステップ、視準姿勢算出部１８５が行う視準姿勢算出ステップ、位置変更部１８６が行う位置変更ステップ、姿勢変更部１８７が行う姿勢変更ステップ、取付位置算出部１８８が行う取付位置算出ステップ、取付角度算出部１８９が行う取付角度算出ステップを実行する。

また、情報処理装置１８０は、制御プログラム５９をロードし、制御部５１の作業領域として用いられる主記憶部５２を備える。主記憶部５２は、ＲＡＭ（Random-Access Memory）を備える。

また、情報処理装置１８０は、制御プログラム５９を予め記憶する外部記憶部５３を備える。外部記憶部５３は、制御部５１の指示に従って、このプログラムが記憶するデータを制御部５１に供給し、制御部５１から供給されたデータを記憶する。外部記憶部５３は、フラッシュメモリ、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）、ＳＳＤ（Solid State Dive）、ＤＶＤ（Digital Versatile Disc）－ＲＡＭ等の不揮発性メモリを備える。外部記憶部５３は記憶部１８２として機能する。

また、情報処理装置１８０は、測定者に操作される操作部５４を備える。操作部５４を介して、入力された情報が制御部５１に供給される。操作部５４は、キーボード、マウス、タッチパネル、操作ボタン等の情報入力部品を備える。操作部５４は、指示情報入力部１９０として機能する。

また、情報処理装置１８０は、操作部５４を介して入力された情報、制御部５１が出力した情報等を表示する表示部５５を備える。表示部５５は、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）ディスプレイ等の表示装置を備える。表示部５５は、測定結果表示部１９１として機能する。

また、情報処理装置１８０は、情報を送受信する送受信部５６を備える。送受信部５６は、ネットワークに接続する網終端装置、無線通信装置等の情報通信部品を備える。

情報処理装置１８０では、主記憶部５２、外部記憶部５３、操作部５４、表示部５５及び送受信部５６はいずれも内部バス５０を介して制御部５１に接続されている。
図１、図２に示す情報処理装置１８０は、制御部５１が主記憶部５２、外部記憶部５３、操作部５４、表示部５５及び送受信部５６等を資源として用いることによって、位置姿勢算出部１８１、記憶部１８２、差分値算出部１８３、視準位置算出部１８４、視準姿勢算出部１８５、位置変更部１８６、姿勢変更部１８７、取付位置算出部１８８、取付角度算出部１８９、指示情報入力部１９０、測定結果表示部１９１の機能を実現する。

図６は実施の形態１に係るアライメント測定処理の流れを示すフローチャートである。次に、図６に示すフローチャートを参照して、情報処理装置１８０が実行するアライメント測定処理について説明する。アライメント測定処理は、製造物２００に取り付けられた被測定物２０１の取付位置及び取付角度を測定する処理である。情報処理装置１８０は、測定者が製造物２００及びレーザー測定器１５０を設置した後にアライメント測定処理を開始する旨の指示を示す情報を入力する操作を指示情報入力部１９０が受け付けたことに応答して、アライメント測定処理を開始する。

アライメント測定処理を開始すると、まず、位置姿勢算出部１８１は、レーザー測定器１５０によって測定された３個以上の測定器位置算出用反射体１４２の位置の測定結果に基づいてモデリング座標系を構築し、構築したモデリング座標系におけるレーザー測定器１５０の位置及び姿勢を算出する（ステップＳ１０１）。例えば、位置姿勢算出部１８１は、上述した方法でモデリング座標系を構築し、レーザー測定器１５０の設置時の位置及び姿勢を示す値（ＬＴｍ（ｘ），ＬＴｍ（ｙ），ＬＴｍ（ｚ），ＬＴｍθｘ，ＬＴｍθｙ，ＬＴｍθｚ）を算出する。

位置及び姿勢算出後、位置姿勢算出部１８１は、レーザー測定器１５０によって測定された３個以上の座標構築用反射体の位置の測定結果からモデリング座標系における製造物２００の位置及び姿勢を算出し、製造物２００の基準座標系も構築する（ステップＳ１０２）。例えば、位置姿勢算出部１８１は、製造物２００の設置時の位置及び姿勢を示す値（ＡＳｒ（ｘ），ＡＳｒ（ｙ），ＡＳｒ（ｚ），ＡＳｒθｘ，ＡＳｒθｙ，ＡＳｒθｚ）を算出し、上述した方法で基準座標系を構築する。

基準座標系構築後、差分値算出部１８３は、記憶部１８２が記憶している位置姿勢情報が示すレーザー測定器１５０の現在の位置及び姿勢を示す値と、算出されたレーザー測定器１５０の現在の位置及び姿勢を示す値との測定器用差分値を算出する（ステップＳ１０３）。例えば、差分値算出部１８３は、上述した値（ＬＴｍ（ｘ），ＬＴｍ（ｙ），ＬＴｍ（ｚ），ＬＴｍθｘ，ＬＴｍθｙ，ＬＴｍθｚ）、（ＬＴｍ（ｘ），ＬＴｍ（ｙ），ＬＴｍ（ｚ），ＬＴｍθｘ，ＬＴｍθｙ，ＬＴｍθｚ）の差分値（Δｘ，Δｙ，Δｚ，Δθｘ，Δθｙ，Δθｚ）を算出する。

測定器用差分値算出後、差分値算出部１８３は、記憶部１８２が記憶している位置姿勢情報が示す製造物２００の位置及び姿勢を示す値と、算出された製造物の現在の位置及び姿勢を示す値との製造物用差分値を算出する（ステップＳ１０４）。例えば、差分値算出部１８３は、上述した値（ＡＳｍ（ｘ），ＡＳｍ（ｙ），ＡＳｍ（ｚ），ＡＳｍθｘ，ＡＳｍθｙ，ＡＳｍθｚ）、（ＡＳｒ（ｘ），ＡＳｒ（ｙ），ＡＳｒ（ｚ），ＡＳｒθｘ，ＡＳｒθｙ，ＡＳｒθｚ）の差分値（ΔＸ，ΔＹ，ΔＺ，ΔθＸ，ΔθＹ，ΔθＺ）を算出する。

製造物用差分値算出後、視準位置算出部１８４は、差分値算出部１８３が算出した測定器用差分値及び製造物用差分値に基づいてレーザー測定器１５０の視準位置を算出し、視準姿勢算出部１８５は、製造物用差分値に基づいてレーザー測定器１５０及び製造物２００の姿勢を算出する（ステップＳ１０５）。例えば、視準位置算出部１８４は、レーザー測定器１５０の測定時の補正位置を示す値（ｘ_ｏｕｔ，ｙ_ｏｕｔ，ｚ_ｏｕｔ）を算出し、視準姿勢算出部１８５は、レーザー測定器１５０の姿勢を示す値（ＬＴｒθｘ－ΔθＸ，ＬＴｒθｙ－ΔθＹ）と製造物２００の姿勢を示す値Ｑθｚ－ΔθＺとを算出する。

補正位置算出後、姿勢変更部１８７は、ロータリーテーブル１１０及びキャリッジ１６０の上述した回転機構を制御してレーザー測定器１５０及び製造物２００の姿勢を製造物用差分値に基づいて視準姿勢算出部１８５が算出した姿勢に変更する（ステップＳ１０６）。姿勢変更後、位置変更部１８６は、キャリッジ１６０及びツーリングバー１７０の上述した移動機構を制御してレーザー測定器１５０の位置を視準位置算出部１８４が算出した視準位置に変更する（ステップＳ１０７）。例えば、姿勢変更部１８７は、レーザー測定器１５０の姿勢を示す値が（ＬＴｒθｘ－ΔθＸ，ＬＴｒθｙ－ΔθＹ）となるまでレーザー測定器１５０を回転させ、製造物２００の姿勢を示す値がＱθｚ－ΔθＺとなるまで製造物２００を回転させる。また、位置変更部１８６は、レーザー測定器１５０の位置を示す値が（ｘ_ｏｕｔ－ΔＸ，ｙ_ｏｕｔ－ΔＹ，ｚ_ｏｕｔ－ΔＺ）となるまでレーザー測定器１５０を移動させる。

位置及び姿勢変更後、取付位置算出部１８８は、レーザー測定器１５０によって測定された取付位置測定用反射体１２０の位置に基づいて被測定物２０１の取付位置を算出する（ステップＳ１０８）。また、取付角度算出部１８９は、レーザー測定器１５０によって測定された取付角度測定用反射体１３０の位置に基づいて被測定物２０１の取付角度を算出する（ステップＳ１０９）。

取付位置及び取付角度算出後、取付位置算出部１８８及び取付角度算出部１８９は、算出された被測定物２０１の取付位置及び取付角度をモデリング座標系からに変換し、測定結果表示部１９１は、変換後の基準座標系における被測定物２０１の取付位置及び取付角度を測定結果表示画面に表示する（ステップＳ１１０）。取付位置及び取付角度表示後、情報処理装置１８０は、測定結果表示画面において記憶部１８２に記憶された全ての被測定物２０１の取付位置及び取付角度を表示したか否かを判定する（ステップＳ１１１）。情報処理装置１８０は、全ての被測定物２０１の取付位置及び取付角度を表示していない場合（ステップＳ１１１；Ｎ）、全ての被測定物２０１の取付位置及び取付角度を表示するまでステップＳ１０３～Ｓ１１０の処理を繰り返し、全ての被測定物２０１の取付位置及び取付角度を表示した場合（ステップＳ１１１；Ｙ）、アライメント測定処理を終了する。

以上説明したように、本実施の形態に係るアライメント測定システム１００によれば、差分値算出部１８３は、記憶部１８２が記憶している位置姿勢情報が示すレーザー測定器１５０の位置及び姿勢を示す値と、位置姿勢算出部１８１が算出したレーザー測定器１５０の現在の位置及び姿勢を示す値との測定器用差分値を算出する。また、視準位置算出部１８４は、差分値算出部１８３が算出した測定器用差分値に基づいてレーザー測定器１５０の視準位置を算出する。また、取付位置算出部１８８は、レーザー測定器１５０によって測定された取付位置測定用反射体１２０の位置に基づいて被測定物２０１の取付位置を算出する。そして、取付角度算出部１８９は、レーザー測定器１５０によって測定された取付角度測定用反射体１３０の位置に基づいて被測定物２０１の取付角度を算出する。

このようにすることで、測定器用差分値に基づいて視準位置を算出しないアライメント測定システムよりもレーザー測定器１５０を視準位置に精度良く移動させることができる。このため、例えば、被測定物２０１を新たに測定する度に製造物２００及びレーザー測定器１５０の設置と撤収とを繰り返すことでモデリングを行ったときの製造物２００及びレーザー測定器１５０の位置、姿勢とのズレがあったとしても、被測定物２０１の取付位置及び取付角度を精度良く測定できる。また、このようにすることで、速やかにレーザー測定器１５０を視準位置に移動させることができ、測定器用差分値に基づいて視準位置を算出しないアライメント測定システムよりも測定時間を短縮することができる。これらの結果、測定精度を維持しつつ測定時間を短縮できる。

また、本実施の形態に係るアライメント測定システム１００によれば、差分値算出部１８３は、位置姿勢情報が示す製造物２００の設置時の位置及び姿勢を示す値と、位置姿勢算出部１８１が算出した製造物の現在の位置及び姿勢を示す値との製造物用差分値を算出する。また、視準位置算出部１８４は、差分値算出部１８３が算出した測定器用差分値及び製造物用差分値に基づいてレーザー測定器１５０の視準位置を算出する。

このようにすることで、製造物用差分値に基づいて視準位置を算出しないアライメント測定システムよりもレーザー測定器１５０を視準位置に精度良く移動させることができる。このため、例えば、被測定物２０１を新たに測定するために製造物２００及びレーザー測定器１５０を設置したときにモデリングを行ったときとの位置、姿勢のズレが発生しても、被測定物２０１の取付位置及び取付角度を精度良く測定できる。また、このようにすることで、速やかにレーザー測定器１５０を視準位置に移動させることができ、製造物用差分値に基づいて視準位置を算出しないアライメント測定システムよりも測定時間を短縮することができる。これらの結果、測定精度を維持しつつ測定時間を短縮できる。

また、本実施の形態に係るアライメント測定システム１００によれば、視準姿勢算出部１８５は、差分値算出部１８３が算出した製造物用差分値に基づいてレーザー測定器１５０及び製造物２００の姿勢を算出する。また、取付位置算出部１８８は、算出された姿勢で製造物２００が設置されたときの取付位置測定用反射体１２０の位置に基づいて被測定物２０１の取付位置を算出する。そして、取付角度算出部１８９は、算出された姿勢で製造物２００が設置されたときの取付角度測定用反射体１３０の位置に基づいて被測定物２０１の取付角度を算出する。

このようにすることで、製造物用差分値に基づいて製造物２００の姿勢を算出しないアライメント測定システムよりも製造物２００の姿勢を精度良く変更できる。このため、例えば、被測定物２０１を新たに測定するために製造物２００及びレーザー測定器１５０を設置したときにモデリングを行ったときとの位置、姿勢のズレが発生しても、被測定物２０１の取付位置及び取付角度を精度良く測定できる。また、このようにすることで、速やかに製造物２００の姿勢を変更でき、製造物用差分値に基づいて製造物２００の姿勢を算出しないアライメント測定システムよりも測定時間を短縮することができる。これらの結果、測定精度を維持しつつ測定時間を短縮できる。

また、本実施の形態に係るアライメント測定システム１００によれば、位置変更部１８６は、キャリッジ１６０及びツーリングバー１７０の上述した移動機構を制御してレーザー測定器１５０の位置を視準位置算出部１８４が算出した視準位置に変更する。

このようにすることで、レーザー測定器１５０の位置の変更を自動化しないアライメント測定システムよりもレーザー測定器１５０を視準位置に精度良く移動させることができる。このため、例えば、被測定物２０１を新たに測定するために製造物２００及びレーザー測定器１５０を設置したときにモデリングを行ったときとの位置、姿勢のズレが発生しても、被測定物２０１の取付位置及び取付角度を精度良く測定できる。また、このようにすることで、レーザー測定器１５０の位置の変更を自動化することができ、レーザー測定器１５０の位置の変更を自動化しないアライメント測定システムよりも測定時間を短縮することができる。これらの結果、測定精度を維持しつつ測定時間を短縮できる。

また、本実施の形態に係るアライメント測定システム１００によれば、姿勢変更部１８７は、ロータリーテーブル１１０及びキャリッジ１６０の上述した回転機構を制御してレーザー測定器１５０及び製造物２００の姿勢を変更する。

このようにすることで、レーザー測定器１５０及び製造物２００の姿勢の変更を自動化しないアライメント測定システムよりもレーザー測定器１５０及び製造物２００の姿勢を精度良く変更できる。このため、例えば、被測定物２０１を新たに測定するために製造物２００及びレーザー測定器１５０を設置したときにモデリングを行ったときとの位置、姿勢のズレがあったとしても、被測定物２０１の取付位置及び取付角度を精度良く測定できる。また、このようにすることで、レーザー測定器１５０及び製造物２００の姿勢の変更を自動化することができ、レーザー測定器１５０及び製造物２００の姿勢の変更を自動化しないアライメント測定システムよりも測定時間を短縮することができる。これらの結果、測定精度を維持しつつ測定時間を短縮できる。

［実施の形態２］
実施の形態１では、差分値算出部１８３が算出した測定器用差分値及び製造物用差分値に基づいてレーザー測定器１５０の視準位置を算出した。しかしながら、本発明は、これに限定されず、例えば、レーザー測定器とは異なる測定器によって実際に測定された取付位置測定用反射体１２０及び取付角度測定用反射体１３０の位置に基づいてレーザー測定器１５０の視準位置を算出してもよい。
以下、本発明の実施の形態２に係るアライメント測定システムについて、図７～図９を参照しながら詳細に説明する。

図７は本発明の実施の形態２に係るアライメント測定システムの説明図である。図８は実施の形態２に係るアライメント測定システムの機能構成を示す図である。図７に示すように、実施の形態２に係るアライメント測定システム１００は、キャリッジ１６０にレーザー測定器１５０と反射体形状測定器１５１とが設置されている。

図７、図８に示す反射体形状測定器１５１は、例えば、３次元スキャナである。反射体形状測定器１５１は、測定範囲に設置された取付位置測定用反射体１２０及び取付角度測定用反射体１３０の形状を測定する。

図８に示す位置姿勢算出部１８１は、反射体形状測定器１５１によって測定された取付位置測定用反射体１２０の形状及び取付角度測定用反射体１３０の形状に基づいてこれらの位置を算出する。

具体的には、姿勢変更部１８７によってレーザー測定器１５０及び製造物２００の姿勢が変更され、取付位置測定用反射体１２０及び取付角度測定用反射体１３０が反射体形状測定器１５１の測定範囲に設置された状態になる。この状態で、位置姿勢算出部１８１は、反射体形状測定器１５１によって測定された取付位置測定用反射体１２０の形状及び取付角度測定用反射体１３０の形状情報を取得し、取付位置測定用反射体１２０の形状及び取付角度測定用反射体１３０の設計情報に基づいて取得した形状情報をモデリング座標系に関連付けすることで取付位置測定用反射体１２０及び取付角度測定用反射体１３０の位置を算出する。このとき、位置姿勢算出部１８１は、取付角度測定用反射体１３０であるキューブミラーの指向面の方向を算出する。

視準位置算出部１８４は、位置姿勢算出部１８１が算出した取付位置測定用反射体１２０の位置及び取付角度測定用反射体１３０の位置に基づいてレーザー測定器１５０の視準位置を算出する。

具体的には、視準位置算出部１８４は、実施の形態１と同様に視準位置を算出した後、位置姿勢算出部１８１が算出した取付位置測定用反射体１２０の位置及び取付角度測定用反射体１３０の位置に基づいて視準位置を調整する。例えば、視準位置算出部１８４は、位置姿勢算出部１８１が算出した取付角度測定用反射体１３０の一例としてのキューブミラーの指向面の位置及び方向に基づいて、レーザー測定器１５０のヘッダ部がキューブミラーの指向面と正対できる位置、すなわち、視準可能な位置に視準位置を調整する。

視準姿勢算出部１８５は、位置姿勢算出部１８１が算出した取付位置測定用反射体１２０の位置及び取付角度測定用反射体１３０の位置に基づいて製造物の姿勢を算出する。例えば、視準姿勢算出部１８５は、位置姿勢算出部１８１が算出した取付角度測定用反射体１３０の一例としてのキューブミラーの指向面の位置及び方向に基づいて、キューブミラーの指向面がレーザー測定器１５０のヘッダ部と正対できる姿勢、すなわち、ヘッダ部が視準可能な回転角度となるまで製造物２００の姿勢を示す値を調整する。

図９は実施の形態２に係るアライメント測定処理の流れを示すフローチャートである。次に、図９に示すフローチャートを参照して、情報処理装置１８０が実行するアライメント測定処理について説明する。アライメント測定処理を開始すると、まず、実施の形態１と同様にステップＳ１０１～１０４の処理が行われて測定器用差分値及び製造物用差分値が算出された後、ステップＳ１０６の処理が行われてレーザー測定器１５０及び製造物２００の姿勢が変更される。

姿勢変更後、位置姿勢算出部１８１は、反射体形状測定器１５１に取付位置測定用反射体１２０の形状及び取付角度測定用反射体１３０の形状を測定させる制御信号を出力する（ステップＳ２０１）。測定後、位置姿勢算出部１８１は、取得した取付位置測定用反射体１２０の形状及び取付角度測定用反射体１３０の形状情報から取付位置測定用反射体１２０及び取付角度測定用反射体１３０の位置を算出する（ステップＳ２０２）。

位置算出後、視準位置算出部１８４は、位置姿勢算出部１８１が算出したこれらの位置に基づいてレーザー測定器１５０の視準位置を算出し、視準姿勢算出部１８５は、位置に基づいて製造物の姿勢を算出する。（ステップＳ２０３）。位置及び姿勢算出後、姿勢変更部１８７は、ロータリーテーブル１１０及びキャリッジ１６０の上述した回転機構を制御してレーザー測定器１５０及び製造物２００の姿勢を製造物用差分値に基づいて視準姿勢算出部１８５が算出した姿勢に変更する（ステップＳ２０４）。

姿勢変更後、実施の形態１と同様にステップＳ１０７～１１１の処理が行われてレーザー測定器１５０が視準位置に移動し、被測定物２０１について算出された取付位置及び取付角度の測定結果が表示され、上述した処理が全ての被測定物２０１について行われる。

以上説明したように、本実施の形態に係るアライメント測定システム１００によれば、位置姿勢算出部１８１は、反射体形状測定器１５１によって測定された取付位置測定用反射体１２０の形状及び取付角度測定用反射体１３０の形状情報を取得する。また、位置姿勢算出部１８１は、取得した取付位置測定用反射体１２０及び取付角度測定用反射体１３０の形状から取付位置測定用反射体１２０及び取付角度測定用反射体１３０の位置を算出する。また、視準位置算出部１８４は、位置姿勢算出部１８１が算出した位置に基づいてレーザー測定器１５０の視準位置を算出する。

このようにすることで、反射体１２０、１３０の実際の位置に基づいて視準位置を算出することができる。よって、例えば、反射体１２０、１３０の実際の位置がモデリングを行ったときと異なる位置に設けられていても、実際の位置に基づいて算出した視準位置にレーザー測定器１５０を設置することで被測定物２０１の取付位置及び取付角度を測定できる。また、このようにすることで、反射体１２０、１３０の位置に基づいて視準位置を算出しないアライメント測定システムよりもレーザー測定器１５０を視準位置に精度良く移動させることができ、被測定物２０１の取付位置及び取付角度を精度良く測定できる。また、このようにすることで、速やかにレーザー測定器１５０を視準位置に移動させることができ、取付位置測定用反射体１２０及び取付角度測定用反射体１３０の位置に基づいて視準位置を算出しないアライメント測定システムよりも測定時間を短縮することができる。これらの結果、測定精度を維持しつつ測定時間を短縮できる。

また、本実施の形態に係るアライメント測定システム１００によれば、視準姿勢算出部１８５は、位置姿勢算出部１８１が算出した取付位置測定用反射体１２０の位置及び取付角度測定用反射体１３０の位置に基づいて製造物の姿勢を算出する。

このようにすることで、反射体１２０、１３０の実際の位置に基づいて製造物２００の測定時の姿勢を算出することができる。よって、例えば、反射体１２０、１３０の実際の位置がモデリングを行ったときと異なる位置に設けられていても、実際の位置に基づいて算出された姿勢で製造物２００を設置することで被測定物２０１の取付位置及び取付角度を測定できる。また、このようにすることで、レーザー測定器１５０及び製造物２００の姿勢を精度良く変更でき、製造物２００に取り付けられた被測定物２０１の取付位置及び取付角度を精度良く測定できる。また、このようにすることで、レーザー測定器１５０及び製造物２００の姿勢の変更を自動化することができ、レーザー測定器１５０及び製造物２００の姿勢の変更を自動化しないアライメント測定システムよりも測定時間を短縮することができる。これらの結果、測定精度を維持しつつ測定時間を短縮できる。

なお、本発明は、上記の実施の形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲での種々の変形および応用が可能である。

［変更例１］
上記の実施の形態２において、反射体形状測定器の一例としての３次元スキャナで取付位置測定用反射体１２０及び取付角度測定用反射体１３０の位置を測定した。しかしながら、本発明は、これに限定されず、例えば、反射体形状測定器の一例としての２次元スキャナで取付位置測定用反射体１２０及び取付角度測定用反射体１３０の位置を測定してもよい。２次元スキャナは、直線状のレーザー光を照射して製造物２００の直線上の形状を測定できる。

このため、反射体形状測定器１５１によって取付位置測定用反射体１２０及び取付角度測定用反射体１３０の３次元の形状を測定するためには、例えば、反射体形状測定器１５１又は製造物２００をスライド移動させたり、製造物２００を回転させたりする必要がある。よって、例えば、姿勢変更部１８７は、ロータリーテーブル１１０の上述した回転機構を制御して製造物２００の姿勢を、直線状のレーザー光を走査して取付位置測定用反射体１２０及び取付角度測定用反射体１３０の形状を測定可能な回転角度の範囲で変更してもよい。このとき、回転角度の範囲は、例えば、±１０℃の回転角度の範囲で変更してもよい。

図１０は変更例１に係るアライメント測定処理の流れを示すフローチャートである。具体的には、図１０に示すように、アライメント測定処理を開始したときに、まず、実施の形態１、２と同様にステップＳ１０１～１０４，Ｓ１０６の処理が行われてレーザー測定器１５０及び製造物２００の姿勢が変更された後、位置姿勢算出部１８１は、反射体形状測定器１５１の一例としての２次元スキャナに取付位置測定用反射体１２０の形状及び取付角度測定用反射体１３０の形状を測定させる制御信号を出力する（ステップＳ３０１）。

制御信号出力後、位置姿勢算出部１８１は、ロータリーテーブル１１０に製造物２００を±１０℃の回転角度の範囲で回転させる制御信号を出力する（ステップＳ３０２）。そして、形状測定後、実施の形態２と同様にステップＳ２０２～Ｓ２０４、１０７～１１１の処理が行われて反射体１２０、１３０の形状から位置が算出され、算出された位置に基づいて製造物２００の姿勢が変更される。また、レーザー測定器１５０が視準位置に移動し、被測定物２０１について算出された取付位置及び取付角度の測定結果が表示され、上述した処理が全ての被測定物２０１について行われる。

このようにすることで、２次元スキャナでも反射体１２０、１３０の形状を測定でき、反射体１２０、１３０の実際の位置に基づいて視準位置を算出することができる。よって、例えば、反射体１２０、１３０の実際の位置がモデリングを行ったときと異なる位置に設けられていても、実際の位置に基づいて算出した視準位置にレーザー測定器１５０を設置することで被測定物２０１の取付位置及び取付角度を測定できる。

なお、変更例１において、２次元スキャナからの形状情報に基づいても反射体１２０、１３０の位置を精度良く算出するために、記憶部１８２が記憶している位置姿勢情報には、反射体形状測定器１５１の測定時の位置及び姿勢を示す値が含まれていてもよい。この場合、本実施の形態では、製造物２００に被測定物２０１が取り付けられているため、反射体形状測定器１５１の測定時の位置及び姿勢を示す値は、被測定物２０１毎に記憶されている必要がある。

［変更例２］
上記の実施の形態１、２では、位置変更部１８６がレーザー測定器１５０の位置を変更した。しかしながら、本発明は、これに限定されず、位置変更部１８６が製造物２００の位置を変更してもよい。この場合、ロータリーテーブル１１０にキャリッジ１６０及びツーリングバー１７０の移動機構と同様の移動機構を設けることで、ロータリーテーブル１１０に設置された製造物２００をＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向にスライド移動可能としてもよい。

この場合、例えば、視準位置算出部１８４は、記憶部１８２が記憶している位置姿勢情報が示す製造物２００の測定時の位置を示す値が（Ｑ（ｘ），Ｑ（ｙ），Ｑ（ｚ））としたときに、製造物２００の位置を示す値の差分値（ΔＸ，ΔＹ，ΔＺ）をオフセットの値として、製造物２００の測定時の位置を示す値を減算した値（Ｑ（ｘ）－ΔＸ，Ｑ（ｙ）－ΔＹ，Ｑ（ｚ）－ΔＺ）を補正位置として算出してもよい。この場合、位置変更部１８６は、位置姿勢算出部１８１が算出した製造物２００の位置を示す値（ＡＳｒ（ｘ），ＡＳｒ（ｙ），ＡＳｒ（ｚ））が補正位置を示す値（Ｑ（ｘ）－ΔＸ，Ｑ（ｙ）－ΔＹ，Ｑ（ｚ）－ΔＺ）となるまで製造物２００の位置を変更する。なお、この場合、位置変更部１８６は、レーザー測定器１５０の位置を示す値が視準位置を示す値（ｘ_ｏｕｔ，ｙ_ｏｕｔ，ｚ_ｏｕｔ）となるまでレーザー測定器１５０を移動させる必要がある。

図１１は変更例２に係るアライメント測定処理の流れを示すフローチャートである。具体的には、図１１に示すように、アライメント測定処理を開始したときに、まず、実施の形態１と同様にステップＳ１０１～Ｓ１０５の処理が行われてレーザー測定器１５０の視準位置及びレーザー測定器１５０の製造物２００の姿勢が算出される。

位置及び姿勢算出後、視準位置算出部１８４は、差分値算出部１８３が算出した製造物用差分値に基づい製造物２００の測定時の補正位置を算出する（ステップＳ４０１）。位置算出後、実施の形態１と同様にステップＳ１０６の処理が行われて製造物２００の姿勢が変更された後、位置変更部１８６は、ロータリーテーブル１１０の上述した移動機構を制御して製造物２００の位置を視準位置算出部１８４が算出した補正位置に変更する（ステップＳ４０２）。

そして、姿勢変更後、実施の形態１と同様にステップＳ１０７～１１１の処理が行われてレーザー測定器１５０が視準位置に移動し、被測定物２０１について算出された取付位置及び取付角度の測定結果が表示され、上述した処理が全ての被測定物２０１について行われる。

このようにすることで、製造物用差分値に基づいて補正位置を算出しないアライメント測定システムよりも製造物２００を補正位置に精度良く移動させることができる。このため、例えば、被測定物２０１を新たに測定する度に製造物２００及びレーザー測定器１５０の設置と撤収とを繰り返すことでモデリングを行ったときの製造物２００及びレーザー測定器１５０の位置、姿勢とのズレがあったとしても、被測定物２０１の取付位置及び取付角度を精度良く測定できる。また、このようにすることで、速やかにレーザー測定器１５０を視準位置に移動させることができ、製造物用差分値に基づいて補正位置を算出しないアライメント測定システムよりも測定時間を短縮することができる。これらの結果、測定精度を維持しつつ測定時間を短縮できる。

なお、上記の実施の形態１、２では、製造物２００として人工衛星を例示したが、本発明は、これに限定されず、例えば、製造物２００は、飛行機、電車、自動車等であってもよい。

なお、上記の実施の形態１、２では、取付位置及び取付角度が測定不能な被測定物２０１があるか否かに関わらず測定結果画面において測定結果を表示したが、取付位置及び取付角度が測定不能な被測定物２０１があれば測定結果を表示しなくてもよい。この場合、例えば、測定エラー画面を表示して取付位置及び取付角度が測定不能な被測定物２０１がある旨を表示し、アライメント測定処理を中断してもよい。また、この場合、測定者が指示情報入力部１９０を操作して測定可能となるまで位置変更部１８６及び姿勢変更部１８７によってレーザー測定器１５０の位置及び姿勢及び製造物の姿勢を微調整した後、アライメント測定処理を再開してもよい。

なお、上記の実施の形態において、制御部５１のＣＰＵが実行するプログラムは、あらかじめ外部記憶部５３に記憶されていた。しかしながら、本発明は、これに限定されず、上記の種処理を実行させるための動作プログラムを、既存の汎用コンピュータ、フレームワーク、ワークステーション等に実装することにより、上記の実施の形態に係る情報処理装置１８０に相当する装置として機能させてもよい。

このようなプログラムの提供方法は任意であり、例えば、コンピュータが読取可能な記録媒体（フレキシブルディスク、ＣＤ（Compact Disc）－ＲＯＭ、ＤＶＤ（Digital Versatile Disc）－ＲＯＭ）等に格納して配布してもよいし、インターネットをはじめとするネットワーク上のストレージにプログラムを格納しておき、これをダウンロードさせることにより提供してもよい。

また、上記の処理をＯＳ（Operating System）とアプリケーションプログラムとの分担、または、ＯＳとアプリケーションプログラムとの協働によって実行する場合には、アプリケーションプログラムのみを記録媒体、ストレージ等に格納してもよい。また、搬送波にプログラムを重畳し、ネットワークを介して配信することも可能である。例えば、ネットワーク上の掲示板（Bulletin Board System：BBS）に上記プログラムを掲示し、ネットワークを介してプログラムを配信してもよい。そして、このプログラムを起動し、ＯＳの制御下で、他のアプリケーションプログラムと同様に実行することにより、上記の処理を実行するべく設計してもよい。

５０…内部バス、５１…制御部、５２…主記憶部、５３…外部記憶部、５４…操作部、５５…表示部、５６…送受信部、５９…制御プログラム、１００…アライメント測定システム、１１０…ロータリーテーブル、１２０…取付位置測定用反射体、１３０…取付角度測定用反射体、１４０…非測定物取付反射体、１４１…製造物取付反射体、１４２…測定器位置算出用反射体、１４３…第１基準座標構築用反射体、１４４…第２基準座標構築用反射体、１４５…第３基準座標構築用反射体、１４６…製造物位置算出用反射体、１５０…レーザー測定器、１５１…反射体形状測定器、１６０…キャリッジ、１７０…ツーリングバー、１８０…情報処理装置、１８１…位置姿勢算出部、１８２…記憶部、１８３…差分値算出部、１８４…視準位置算出部、１８５…視準姿勢算出部、１８６…位置変更部、１８７…姿勢変更部、１８８…取付位置算出部、１８９…取付角度算出部、１９０…指示情報入力部、１９１…測定結果表示部、２００…製造物、２０１…被測定物、２０２…円筒部。

Claims (10)

1. 製造物に取り付けられた被測定物の取付位置及び取付角度を測定するアライメント測定システムであって、
   反射体の位置を測定するレーザー測定器と、
   測定場所に設けられた非測定物であって前記製造物とは異なる前記非測定物に取り付けられた前記反射体である非測定物取付反射体と、
   前記製造物に取り付けられた前記反射体である製造物取付反射体と、
   前記レーザー測定器によって測定された前記非測定物取付反射体の位置と前記製造物取付反射体の位置とに基づいて前記レーザー測定器の位置及び姿勢と前記製造物の位置及び姿勢とを算出する位置姿勢算出部と、
   前記被測定物を測定する前に前記製造物及び前記レーザー測定器が設置されたときの前記レーザー測定器の位置及び姿勢と前記製造物の位置及び姿勢とを示す位置姿勢情報を記憶する記憶部と、
   前記記憶部が記憶している前記位置姿勢情報によって示される前記レーザー測定器の位置及び姿勢を示す値と、前記被測定物を測定するために前記製造物及び前記レーザー測定器が設置されたときに前記位置姿勢算出部が算出した前記レーザー測定器の位置及び姿勢を示す値との測定器用差分値を算出するとともに、前記位置姿勢情報によって示される前記製造物の位置及び姿勢を示す値と、前記被測定物を測定するために前記製造物及び前記レーザー測定器が設置されたときに前記位置姿勢算出部が算出した前記製造物の位置及び姿勢を示す値との製造物用差分値を算出する差分値算出部と、
   前記差分値算出部が算出した前記測定器用差分値と前記製造物用差分値とに基づいて前記レーザー測定器が前記被測定物を視準する視準位置を算出する視準位置算出部と、
   前記被測定物に取り付けられた前記反射体であって、前記被測定物の取付位置を示す取付位置測定用反射体と、
   前記被測定物に取り付けられた前記反射体であって、前記被測定物の取付角度を示す取付角度測定用反射体と、
   前記視準位置算出部が算出した前記視準位置に設置された前記レーザー測定器によって測定された前記取付位置測定用反射体の位置に基づいて前記被測定物の取付位置を算出する取付位置算出部と、
   前記視準位置算出部が算出した前記視準位置に設置された前記レーザー測定器によって測定された前記取付角度測定用反射体の位置に基づいて前記被測定物の取付角度を算出する取付角度算出部と、
   を備えるアライメント測定システム。
2. 前記差分値算出部が算出した前記測定器用差分値及び前記製造物用差分値に基づいて前記レーザー測定器が前記被測定物を視準するときの前記製造物の姿勢を算出する視準姿勢算出部を更に備え、
   前記取付位置算出部は、前記視準姿勢算出部が算出した姿勢で前記製造物が設置されたときの前記取付位置測定用反射体の位置に基づいて前記被測定物の取付位置を算出し、
   前記取付角度算出部は、前記視準姿勢算出部が算出した姿勢で前記製造物が設置されたときの前記取付角度測定用反射体の位置に基づいて前記被測定物の取付角度を算出する、
   請求項１に記載のアライメント測定システム。
3. 前記取付位置測定用反射体の形状及び前記取付角度測定用反射体の形状を測定可能な反射体形状測定器を更に備え、
   前記位置姿勢算出部は、前記反射体形状測定器によって測定された前記取付位置測定用反射体の形状及び前記取付角度測定用反射体の形状に基づいて前記取付位置測定用反射体の位置及び前記取付角度測定用反射体の位置を算出し、
   前記視準姿勢算出部は、前記位置姿勢算出部が算出した前記取付位置測定用反射体の位置及び前記取付角度測定用反射体の位置に基づいて前記レーザー測定器が前記被測定物を視準するときの前記製造物の姿勢を算出する、
   請求項２に記載のアライメント測定システム。
4. 前記視準位置算出部は、前記位置姿勢算出部が算出した前記取付位置測定用反射体の位置及び前記取付角度測定用反射体の位置に基づいて前記視準位置を算出する、
   請求項３に記載のアライメント測定システム。
5. 前記レーザー測定器の位置を変更可能な移動機構を制御して前記レーザー測定器の位置を前記視準位置算出部が算出した前記視準位置に変更する位置変更部を更に備える、
   請求項１から４の何れか１項に記載のアライメント測定システム。
6. 前記製造物の位置を変更可能な移動機構を制御して前記製造物の位置を前記差分値算出部が算出した前記製造物用差分値に基づいて変更する位置変更部を更に備える、
   請求項１から４の何れか１項に記載のアライメント測定システム。
7. 前記製造物の姿勢を変更可能な回転機構を制御して前記製造物の姿勢を前記差分値算出部が算出した前記製造物用差分値に基づいて変更する姿勢変更部を更に備える、
   請求項１から４の何れか１項に記載のアライメント測定システム。
8. 測定場所に設けられた非測定物であって製造物とは異なる前記非測定物に取り付けられた反射体と前記製造物に取り付けられた反射体とがレーザー測定器によって測定された位置に基づいて前記レーザー測定器の位置及び姿勢と前記製造物の位置及び姿勢とを算出する位置姿勢算出部と、
   前記製造物に取り付けられた被測定物を測定する前に前記製造物及び前記レーザー測定器が設置されたときの前記レーザー測定器の位置及び姿勢を示す値と、前記被測定物を測定するために前記製造物及び前記レーザー測定器が設置されたときに前記位置姿勢算出部が算出した前記レーザー測定器の位置及び姿勢を示す値との測定器用差分値を算出するとともに、前記被測定物を測定する前に前記製造物及び前記レーザー測定器が設置されたときの前記製造物の位置及び姿勢を示す値と、前記被測定物を測定するために前記製造物及び前記レーザー測定器が設置されたときに前記位置姿勢算出部が算出した前記製造物の位置及び姿勢を示す値との製造物用差分値を算出する差分値算出部と、
   前記差分値算出部が算出した前記測定器用差分値と前記製造物用差分値とに基づいて前記レーザー測定器が前記被測定物を視準する視準位置を算出する視準位置算出部と、
   を備える情報処理装置。
9. 製造物に取り付けられた被測定物の取付位置及び取付角度を測定するアライメント測定方法であって、
   測定場所に設けられた非測定物であって製造物とは異なる前記非測定物に取り付けられた反射体である非測定物取付反射体と前記製造物に取り付けられた反射体である製造物取付反射体とがレーザー測定器によって測定された位置に基づいて前記レーザー測定器の位置及び姿勢と前記製造物の位置及び姿勢とを算出する位置姿勢算出ステップと、
   前記被測定物を測定する前に前記製造物及び前記レーザー測定器が設置されたときの前記レーザー測定器の位置及び姿勢を示す値と、前記被測定物を測定するために前記製造物及び前記レーザー測定器が設置されたときに前記位置姿勢算出ステップで算出された前記レーザー測定器の位置及び姿勢を示す値との測定器用差分値を算出するとともに、前記被測定物を測定する前に前記製造物及び前記レーザー測定器が設置されたときの前記製造物の位置及び姿勢を示す値と、前記被測定物を測定するために前記製造物及び前記レーザー測定器が設置されたときに前記位置姿勢算出ステップで算出された前記製造物の位置及び姿勢を示す値との製造物用差分値を算出する差分値算出ステップと、
   前記差分値算出ステップで算出された前記測定器用差分値と前記製造物用差分値とに基づいて前記レーザー測定器が前記被測定物を視準する視準位置を算出する視準位置算出ステップと、
   前記被測定物に取り付けられた前記反射体であって前記被測定物の取付位置を示す取付位置測定用反射体が前記視準位置算出ステップで算出された前記視準位置に設置された前記レーザー測定器によって測定された位置に基づいて前記被測定物の取付位置を算出する取付位置算出ステップと、
   前記被測定物に取り付けられた前記反射体であって前記被測定物の取付角度を示す取付角度測定用反射体が前記視準位置算出ステップで算出された前記視準位置に設置された前記レーザー測定器によって測定された位置に基づいて前記被測定物の取付角度を算出する取付角度算出ステップと、
   を含むアライメント測定方法。
10. コンピュータを、
    測定場所に設けられた非測定物であって製造物とは異なる前記非測定物に取り付けられた反射体と前記製造物に取り付けられた反射体とがレーザー測定器によって測定された位置に基づいて前記レーザー測定器の位置及び姿勢と前記製造物の位置及び姿勢とを算出する位置姿勢算出部、
    前記製造物に取り付けられた被測定物を測定する前に前記製造物及び前記レーザー測定器が設置されたときの前記レーザー測定器の位置及び姿勢を示す値と、前記被測定物を測定するために前記製造物及び前記レーザー測定器が設置されたときに前記位置姿勢算出部が算出した前記レーザー測定器の位置及び姿勢を示す値との測定器用差分値を算出するとともに、前記被測定物を測定する前に前記製造物及び前記レーザー測定器が設置されたときの前記製造物の位置及び姿勢を示す値と、前記被測定物を測定するために前記製造物及び前記レーザー測定器が設置されたときに前記位置姿勢算出部が算出した前記製造物の位置及び姿勢を示す値との製造物用差分値を算出する差分値算出部、
    前記差分値算出部が算出した前記測定器用差分値と前記製造物用差分値とに基づいて前記レーザー測定器が前記被測定物を視準する視準位置を算出する視準位置算出部、
    として機能させるプログラム。

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