JP7344671B2

JP7344671B2 - linear motor

Info

Publication number: JP7344671B2
Application number: JP2019089585A
Authority: JP
Inventors: 満大井
Original assignee: NIDEC PRECISION CORPORATION
Current assignee: NIDEC PRECISION CORPORATION
Priority date: 2019-05-10
Filing date: 2019-05-10
Publication date: 2023-09-14
Anticipated expiration: 2039-05-10
Also published as: JP2020185503A; CN212210810U

Description

本発明は、リニアモータに関する。 The present invention relates to a linear motor.

リニアモータは、特許文献１に記載されている。同文献のリニアモータは、コイルを有する静止部と、振動体と、弾性部材と、を有する。静止部は、カバーと、ベースプレートと、基板と、コイルと、を有する。カバーとベースプレートとは、筐体を構成する。振動体は、おもりと、バックヨークと、磁石部と、を有する。弾性部材は、一方向および縦方向に延びて形成される板バネであり、一端をおもりに固定され、他端をカバーに固定される。リニアモータは、コイルに電流を供給することにより、コイルに発生する磁束と磁石部による磁束との相互作用により、振動体が一方向に往復運動する。 A linear motor is described in Patent Document 1. The linear motor disclosed in the same document includes a stationary part having a coil, a vibrating body, and an elastic member. The stationary part includes a cover, a base plate, a substrate, and a coil. The cover and base plate constitute a housing. The vibrating body includes a weight, a back yoke, and a magnet section. The elastic member is a leaf spring extending in one direction and the vertical direction, and has one end fixed to the weight and the other end fixed to the cover. In a linear motor, a vibrating body reciprocates in one direction due to the interaction between the magnetic flux generated in the coil and the magnetic flux generated by the magnet when a current is supplied to the coil.

特開２０１９－３０８５５号公報JP2019-30855A

コイルと磁石部とから構成される磁気駆動機構の磁束がケース（筐体）から外部に漏れると、漏れ磁束がリニアモータを搭載している外部の機器に影響を及ぼす可能性がある。また、磁気駆動機構の磁束がケースから外部に漏れると、磁気駆動機構が発生させる磁気駆動力が低下する可能性がある。 If the magnetic flux of the magnetic drive mechanism composed of a coil and a magnet section leaks to the outside from the case (casing), the leaked magnetic flux may affect external equipment in which the linear motor is mounted. Furthermore, if the magnetic flux of the magnetic drive mechanism leaks to the outside from the case, the magnetic drive force generated by the magnetic drive mechanism may decrease.

ここで、ケースを磁性部材とすれば、磁気駆動機構の磁束が外部に漏れることを防止できる。しかし、ケースを磁性部材とした場合には、ケースと、可動体に搭載したマグネット（振動体の磁石部）と、の間に磁気吸引力が働く。従って、可動体がケースに吸引されて、可動体の移動が阻害されるという問題がある。 Here, if the case is made of a magnetic member, the magnetic flux of the magnetic drive mechanism can be prevented from leaking to the outside. However, when the case is made of a magnetic member, a magnetic attraction force acts between the case and the magnet (magnet part of the vibrating body) mounted on the movable body. Therefore, there is a problem that the movable body is attracted to the case and movement of the movable body is obstructed.

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、可動体の移動を阻害せずにケースからの磁束の漏れを防止或いは抑制できるリニアモータを提供することにある。 In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a linear motor that can prevent or suppress leakage of magnetic flux from a case without inhibiting movement of a movable body.

本発明のリニアモータは、可動体と、前記可動体を所定の移動方向に移動可能に支持する支持機構と、前記可動体を前記移動方向に移動させる磁気駆動機構と、前記可動体、前記支持機構、および前記磁気駆動機構を収容するケースと、を有し、前記ケースは、磁性部材からなり、前記磁気駆動機構は、前記可動体に固定された駆動コイルと、前記移動方向と交差する交差方向で前記駆動コイルに向き合う駆動マグネットと、前記ケースの内壁面に固定されたマグネットホルダを有し、前記マグネットホルダは、前記交差方向に延びる枠部を備え、前記駆動マグネットは、前記枠部の内側に嵌っていることを特徴とする。
The linear motor of the present invention includes a movable body, a support mechanism that supports the movable body so as to be movable in a predetermined movement direction, a magnetic drive mechanism that moves the movable body in the movement direction, the movable body, and the support mechanism. a mechanism, and a case that accommodates the magnetic drive mechanism, the case is made of a magnetic member, and the magnetic drive mechanism includes a drive coil fixed to the movable body, and an intersection that intersects with the moving direction. a drive magnet facing the drive coil in a direction, and a magnet holder fixed to an inner wall surface of the case, the magnet holder including a frame extending in the cross direction, and the drive magnet facing the drive coil. It is characterized by being fitted inside .

本発明は、ケースが磁性部材である。従って、駆動コイルと駆動マグネットとからなる磁気駆動機構の磁束がケースから外部に漏れることを防止或いは抑制できる。よって、漏れ磁束に起因して磁気駆動機構の駆動力が低下することを防止できる。また、可動体には駆動コイルが搭載され、駆動マグネットは搭載されていない。従って、ケースを磁性部材とした場合でも、可動体がケースに吸引されて、可動体の移動が阻害されることはない。 In the present invention, the case is a magnetic member. Therefore, leakage of the magnetic flux of the magnetic drive mechanism including the drive coil and the drive magnet to the outside from the case can be prevented or suppressed. Therefore, it is possible to prevent the driving force of the magnetic drive mechanism from decreasing due to leakage magnetic flux. Further, the movable body is equipped with a drive coil, but not with a drive magnet. Therefore, even if the case is made of a magnetic member, the movable body will not be attracted to the case and the movement of the movable body will not be inhibited.

図１は、リニアモータの外観斜視図である。FIG. 1 is an external perspective view of a linear motor. 図２は、可動体の移動方向に沿って切断したリニアモータの断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of the linear motor taken along the moving direction of the movable body. 図３は、ケースの第２端板を取り除いたリニアモータの平面図である。FIG. 3 is a plan view of the linear motor with the second end plate of the case removed. 図４は、第２端板および可動体を取り除いたリニアモータの斜視図である。FIG. 4 is a perspective view of the linear motor with the second end plate and movable body removed. 図５は、第２端板が位置する側から見た場合の可動体の斜視図である。FIG. 5 is a perspective view of the movable body when viewed from the side where the second end plate is located. 図６は、図５とは反対側から見た場合の可動体の斜視図である。FIG. 6 is a perspective view of the movable body when viewed from the opposite side to FIG. 図７は、可動体の分解斜視図である。FIG. 7 is an exploded perspective view of the movable body.

以下に、図面を参照して、本発明を適用したリニアモータの実施の形態を説明する。 DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of a linear motor to which the present invention is applied will be described below with reference to the drawings.

図１は、リニアモータの外観斜視図である。図２は、リニアモータを可動体の移動方向に沿って切断した断面図である。図３は、ケースの第２端板を取り除いたリニアモータの平面図である。図４は、第２端板および可動体を取り除いたリニアモータの斜視図である。 FIG. 1 is an external perspective view of a linear motor. FIG. 2 is a cross-sectional view of the linear motor taken along the moving direction of the movable body. FIG. 3 is a plan view of the linear motor with the second end plate of the case removed. FIG. 4 is a perspective view of the linear motor with the second end plate and movable body removed.

図１に示すように、リニアモータ１は、全体として直方体形状のケース３を備える。ケース３の短手方向の一方の側面からは、フレキシブルプリント基板４が外部に引き出されている。図２に示すように、ケース３は、互いに平行に延びる第１端板５および第２端板６を備える。第１端板５は、長手方向に延びる長方形形状の端板本体部８と、端板本体部８から短手方向の一方側に突出する基板支持部９と、を備える。基板支持部９には、フレキシブルプリント基板４において、ケース３から引き出された部分が載せられている。第２端板６の平面形状は、第１端板５の端板本体部８と重なる長方形形状である。また、図１に示すように、ケース３は、第１端板５と第２端板６とが向き合う方向に延びて第１端板５の外周縁と第２端板６の外周縁とを接続する枠板７とを備える。 As shown in FIG. 1, the linear motor 1 includes a case 3 having an overall rectangular parallelepiped shape. A flexible printed circuit board 4 is pulled out from one side of the case 3 in the lateral direction. As shown in FIG. 2, the case 3 includes a first end plate 5 and a second end plate 6 that extend parallel to each other. The first end plate 5 includes a rectangular end plate main body part 8 extending in the longitudinal direction, and a substrate support part 9 protruding from the end plate main body part 8 to one side in the transverse direction. A portion of the flexible printed circuit board 4 pulled out from the case 3 is placed on the board support section 9 . The planar shape of the second end plate 6 is a rectangular shape that overlaps the end plate main body portion 8 of the first end plate 5. Further, as shown in FIG. 1, the case 3 extends in the direction in which the first end plate 5 and the second end plate 6 face each other, and connects the outer peripheral edge of the first end plate 5 and the outer peripheral edge of the second end plate 6. A connecting frame plate 7 is provided.

枠板７は、ケース３の長手方向で向き合って短手方向に平行に延びる第１枠板部１１および第２枠板部１２を備える。また、枠板７は、ケース３の短手方向で向き合って長手方向に平行に延びる第３枠板部１３および第４枠板部１４を備える。ケース３は、磁性部材であり、金属製である。ケース３は強磁性体である。 The frame plate 7 includes a first frame plate part 11 and a second frame plate part 12 that face each other in the longitudinal direction of the case 3 and extend in parallel to the transverse direction. The frame plate 7 also includes a third frame plate part 13 and a fourth frame plate part 14, which face each other in the transverse direction of the case 3 and extend in parallel to the longitudinal direction. The case 3 is a magnetic member and made of metal. Case 3 is a ferromagnetic material.

図２に示すように、ケース３は、可動体１５と、可動体１５を所定の移動方向に移動可能に支持する支持機構１６と、可動体１５を移動させる磁気駆動機構１７と、を収容する。磁気駆動機構１７は、可動体１５に固定された駆動コイル１８と、ケース３に固定された駆動マグネット１９と、を備える。駆動マグネット１９は、可動体１５の移動方向と交差する交差方向で駆動コイル１８に向き合う。駆動マグネット１９およびケース３は固定体２０を構成する。 As shown in FIG. 2, the case 3 houses a movable body 15, a support mechanism 16 that supports the movable body 15 so as to be movable in a predetermined movement direction, and a magnetic drive mechanism 17 that moves the movable body 15. . The magnetic drive mechanism 17 includes a drive coil 18 fixed to the movable body 15 and a drive magnet 19 fixed to the case 3. The drive magnet 19 faces the drive coil 18 in a cross direction that intersects the moving direction of the movable body 15. The drive magnet 19 and the case 3 constitute a fixed body 20 .

ここで、以下の説明では、互いに交差する３方向をＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向とする。また、Ｘ方向の一方側を－Ｘ方向、他方側を＋Ｘ方向とする。Ｙ方向の一方側を－Ｙ方向、他方側を＋Ｙ方向とする。Ｚ方向の一方側を－Ｚ方向、他方側を＋Ｚ方向とする。Ｘ方向は、ケース３の長手方向であり、可動体１５が移動する移動方向である。－Ｘ方向は第１枠板部１１が位置する側であり、＋Ｘ方向は第２枠板部１２が位置する側である。Ｙ方向は、ケース３の短手方向である。－Ｙ方向は、第３枠板部１３が位置する側であり、＋Ｙ方向は第４枠板部１４が位置する側である。基板支持部９は端板本体部８から＋Ｙ方向に突出する。フレキシブルプリント基板４は、ケース３から＋Ｙ方向に引き出されている。Ｚ方向は、移動方向と交差する交差方向である。また、Ｚ方向は、駆動コイル１８と駆動マグネット１９と向き合う方向である。－Ｚ方向は、第１端板５が位置する側であり、＋Ｚ方向は、第２端板６が位置する側である。 Here, in the following description, the three directions that intersect with each other are referred to as the X direction, the Y direction, and the Z direction. Also, one side of the X direction is the −X direction, and the other side is the +X direction. One side of the Y direction is the −Y direction, and the other side is the +Y direction. One side of the Z direction is the −Z direction, and the other side is the +Z direction. The X direction is the longitudinal direction of the case 3, and is the direction in which the movable body 15 moves. The -X direction is the side where the first frame plate part 11 is located, and the +X direction is the side where the second frame board part 12 is located. The Y direction is the lateral direction of the case 3. The −Y direction is the side where the third frame plate portion 13 is located, and the +Y direction is the side where the fourth frame plate portion 14 is located. The substrate support portion 9 protrudes from the end plate main body portion 8 in the +Y direction. The flexible printed circuit board 4 is pulled out from the case 3 in the +Y direction. The Z direction is a cross direction that intersects the movement direction. Further, the Z direction is a direction in which the drive coil 18 and the drive magnet 19 face each other. The -Z direction is the side where the first end plate 5 is located, and the +Z direction is the side where the second end plate 6 is located.

図４に示すように、駆動マグネット１９は、ケース３の内壁面に固定されている。すなわち、駆動マグネット１９は、第１端板５の＋Ｚ方向の第１面５ａに固定されている。より詳細には、第１端板５の第１面５ａのＸ方向の中央部分には、マグネットホルダ２２が固定されている。マグネットホルダ２２は、Ｚ方向の延びる枠部２３と、枠部２３の－Ｚ方向の端部分からＸ方向の両側に突出する第１固定部２４および第２固定部２５と、を備える。 As shown in FIG. 4, the drive magnet 19 is fixed to the inner wall surface of the case 3. That is, the drive magnet 19 is fixed to the first surface 5a of the first end plate 5 in the +Z direction. More specifically, a magnet holder 22 is fixed to a central portion of the first surface 5a of the first end plate 5 in the X direction. The magnet holder 22 includes a frame portion 23 extending in the Z direction, and a first fixing portion 24 and a second fixing portion 25 protruding from the -Z direction end portion of the frame portion 23 on both sides in the X direction.

枠部２３をＺ方向から見た場合の形状は矩形である。枠部２３は、Ｘ方向で向かい合いＹ方向に平行に延びる第１枠部部分２６および第２枠部部分２７と、Ｙ方向で向かい合いＸ方向に平行に延びる第３枠部部分２８および第４枠部部分２９と、を備える。第１枠部部分２６は第２枠部部分２７の－Ｘ方向に位置する。第３枠部部分２８は第４枠部部分２９の－Ｙ方向に位置する。第１固定部２４は、第１枠部部分２６から－Ｘ方向に延びる。第２固定部２５は、第２枠部部分２７から＋Ｘ方向に延びる。マグネットホルダ２２は、非磁性金属からなる。マグネットホルダ２２は、第１固定部２４および第２固定部２５が、それぞれ第１端板５に溶接されている。 The frame portion 23 has a rectangular shape when viewed from the Z direction. The frame portion 23 includes a first frame portion 26 and a second frame portion 27 facing each other in the X direction and extending parallel to the Y direction, and a third frame portion 28 and a fourth frame portion facing each other in the Y direction and extending parallel to the X direction. A portion 29 is provided. The first frame portion 26 is located in the -X direction of the second frame portion 27. The third frame portion 28 is located in the -Y direction of the fourth frame portion 29. The first fixing portion 24 extends from the first frame portion 26 in the −X direction. The second fixing portion 25 extends from the second frame portion 27 in the +X direction. The magnet holder 22 is made of nonmagnetic metal. In the magnet holder 22, a first fixing part 24 and a second fixing part 25 are each welded to the first end plate 5.

図２、図４に示すように、駆動マグネット１９は、枠部２３の内側に、嵌っている。また、駆動マグネット１９は、接着剤により第１端板５に固定される。従って、マグネットホルダ２２（枠部２３）と駆動マグネット１９との間、およびケース３の内壁面（第１端板５の第１面５ａ）において枠部２３の内側に位置する内壁面部分と駆動マグネット１９との間には、接着剤層３０が設けられている。 As shown in FIGS. 2 and 4, the drive magnet 19 is fitted inside the frame portion 23. As shown in FIGS. Further, the drive magnet 19 is fixed to the first end plate 5 with an adhesive. Therefore, between the magnet holder 22 (frame part 23) and the drive magnet 19, and between the inner wall surface portion of the case 3 (the first surface 5a of the first end plate 5) located inside the frame part 23, An adhesive layer 30 is provided between the magnet 19 and the magnet 19 .

駆動マグネット１９は、Ｘ方向（移動方向）に沿ってハルバッハ配列された複数のマグネット３１、３２、３３を備える。本例では、駆動マグネット１９は、Ｘ方向の中央に配置された第１マグネット３１と、第１マグネット３１の－Ｘ方向に隣り合う第２マグネット３２と、第１マグネット３１の＋Ｘ方向に隣り合う第３マグネット３３とを備える。第１マグネット３１は、＋Ｚ方向にＮ極を向け、－Ｚ方向にＳ極を向けている。第２マグネット３２は、＋Ｘ方向（第１マグネット３１の側）にＮ極を向け、－Ｘ方向にＳ極を向けている。第３マグネット３３は、－Ｘ方向（第１マグネット３１の側）にＮ極を向け、＋Ｘ方向にＳ極を向けている。なお、駆動マグネット１９を構成するマグネット３１の磁極の向きは、本例に限られるものではない。また、駆動マグネット１９を構成するマグネット３１の数は３に限られるものではない。 The drive magnet 19 includes a plurality of magnets 31, 32, and 33 arranged in a Halbach arrangement along the X direction (movement direction). In this example, the drive magnet 19 includes a first magnet 31 located at the center in the X direction, a second magnet 32 adjacent to the first magnet 31 in the -X direction, and a second magnet 32 adjacent to the first magnet 31 in the +X direction. and a third magnet 33. The first magnet 31 has its north pole facing the +Z direction and its south pole facing the -Z direction. The second magnet 32 has its north pole facing the +X direction (towards the first magnet 31) and its south pole facing the -X direction. The third magnet 33 has its north pole facing the −X direction (towards the first magnet 31) and its south pole facing the +X direction. Note that the direction of the magnetic poles of the magnet 31 constituting the drive magnet 19 is not limited to this example. Furthermore, the number of magnets 31 constituting the drive magnet 19 is not limited to three.

ここで、マグネットホルダ２２の第１枠部部分２６の－Ｘ方向を向く面、および、第２枠部部分２７の＋Ｘ方向を向く面には、それぞれ緩衝部材３５が固定されている。各緩衝部材３５は、一定厚さを備えるシート状の弾性部材である。また、各緩衝部材３５は、多孔質部材である。各緩衝部材３５は、接着剤により枠部２３に貼り付けられている。 Here, a buffer member 35 is fixed to a surface of the first frame portion 26 of the magnet holder 22 facing the −X direction and a surface of the second frame portion 27 facing the +X direction, respectively. Each buffer member 35 is a sheet-like elastic member with a constant thickness. Moreover, each buffer member 35 is a porous member. Each buffer member 35 is attached to the frame portion 23 with an adhesive.

（可動体）
図５は、第２端板６が位置する側から見た場合の可動体１５の斜視図である。図６は、図５とは反対側から見た場合の可動体１５の斜視図である。図７は、可動体１５の分解斜視図である。図５、図６、および図７に示すように、可動体１５は、板状のフレーム４１と、フレーム４１のＸ方向の中央部分にフレキシブルプリント基板４を介して固定された駆動コイル１８と、フレーム４１に固定された錘４２と、を備える。フレーム４１は、非磁性金属である。 (movable body)
FIG. 5 is a perspective view of the movable body 15 when viewed from the side where the second end plate 6 is located. FIG. 6 is a perspective view of the movable body 15 when viewed from the opposite side to FIG. FIG. 7 is an exploded perspective view of the movable body 15. As shown in FIGS. 5, 6, and 7, the movable body 15 includes a plate-shaped frame 41, a drive coil 18 fixed to the center portion of the frame 41 in the X direction via a flexible printed circuit board 4, A weight 42 fixed to a frame 41 is provided. Frame 41 is made of nonmagnetic metal.

図５に示すように、フレーム４１は、Ｘ方向に延びるフレーム本体部４３と、フレーム４１本体の－Ｘ方向の端部分における＋Ｙ方向の端縁から－Ｚ方向に屈曲するフレーム屈曲部４４と、を備える。フレーム本体部４３をＺ方向から見た場合の平面形状は、全体として、Ｘ方向に長い長方形形状をしている。フレーム本体部４３は、Ｘ方向の中央部分に
、Ｙ方向の両側に張り出す張出部分を備える。 As shown in FIG. 5, the frame 41 includes a frame main body part 43 extending in the X direction, a frame bent part 44 bent in the -Z direction from an edge in the +Y direction at an end portion in the -X direction of the main body of the frame 41, Equipped with The overall planar shape of the frame main body portion 43 when viewed from the Z direction is a rectangular shape that is long in the X direction. The frame main body portion 43 includes an overhang portion extending to both sides in the Y direction at the center portion in the X direction.

図６に示すように、駆動コイル１８はＺ方向に中心開口１８ａを向けている。Ｚ方向から見た場合に、駆動コイル１８は、Ｘ方向よりもＹ方向に長い。駆動コイル１８は、Ｘ方向で向かい合いＹ方向に平行に延びる第１コイル部分４５および第２コイル部分４６と、第１コイル部分４５の－Ｙ方向の端部分と第２コイル部分４６の－Ｙ方向の端部分とを接続する第３コイル部分４７と、第１コイル部分４５の＋Ｙ方向の端部分と第２コイル部分４６の＋Ｙ方向の端部分とを接続する第４コイル部分４８とを備える。第１コイル部分４５は第２コイル部分４６の－Ｘ方向に位置する。第３コイル部分４７は第４コイル部分４８の－Ｙ方向に位置する。第１コイル部分４５、第２コイル部分４６、第３コイル部分４７、および第４コイル部分４８によって囲まれた空間は、駆動コイル１８の中心開口１８ａである。駆動コイル１８はフレキシブルプリント基板４に固定されている。また、駆動コイル１８はフレキシブルプリント基板４に電気的に接続されている。 As shown in FIG. 6, the drive coil 18 has a center opening 18a facing the Z direction. When viewed from the Z direction, the drive coil 18 is longer in the Y direction than in the X direction. The drive coil 18 includes a first coil portion 45 and a second coil portion 46 that face each other in the X direction and extend parallel to the Y direction, and an end portion of the first coil portion 45 in the −Y direction and an end portion of the second coil portion 46 in the −Y direction. and a fourth coil portion 48 that connects the end portion of the first coil portion 45 in the +Y direction and the end portion of the second coil portion 46 in the +Y direction. The first coil portion 45 is located in the -X direction of the second coil portion 46. The third coil portion 47 is located in the -Y direction of the fourth coil portion 48. A space surrounded by the first coil portion 45, the second coil portion 46, the third coil portion 47, and the fourth coil portion 48 is the central opening 18a of the drive coil 18. The drive coil 18 is fixed to the flexible printed circuit board 4. Further, the drive coil 18 is electrically connected to the flexible printed circuit board 4.

図７に示すように、フレキシブルプリント基板４は、駆動コイル１８が固定されるコイル固定部分５１と、コイル固定部分５１の＋Ｙ方向の側から－Ｘ方向に延びて＋Ｙ方向に屈曲する屈曲部分５２と、屈曲部分５２のコイル固定部分５１とは反対側の端から－Ｚ方向に折り曲げられた可動体側固定部分５３と、可動体側固定部分５３から引き出された延設部分５４と、を備える。駆動コイル１８は、コイル固定部分５１の－Ｚ方向を向く面に固定されている。また、フレキシブルプリント基板４は、延設部分５４の可動体側固定部分５３とは反対側に連続するケース側固定部分５５と、ケース側固定部分５５の－Ｚ方向の端から＋Ｙ方向に折り曲げられた突出部分５６と、を備える。図１に示すように、突出部分５６はケース３から外側に突出する。突出部分５６は、ケース３の第１端板５の基板支持部９に載せられる。 As shown in FIG. 7, the flexible printed circuit board 4 includes a coil fixing part 51 to which the drive coil 18 is fixed, and a bending part 52 extending in the -X direction from the +Y direction side of the coil fixing part 51 and bending in the +Y direction. , a movable body side fixed portion 53 bent in the −Z direction from the end of the bent portion 52 opposite to the coil fixed portion 51, and an extended portion 54 drawn out from the movable body side fixed portion 53. The drive coil 18 is fixed to a surface of the coil fixing portion 51 facing in the −Z direction. In addition, the flexible printed circuit board 4 has a case-side fixed portion 55 continuous to the side opposite to the movable body-side fixed portion 53 of the extended portion 54, and a case-side fixed portion 55 that is bent in the +Y direction from the -Z direction end. A protruding portion 56. As shown in FIG. 1, the protruding portion 56 protrudes outward from the case 3. The protruding portion 56 is placed on the substrate support portion 9 of the first end plate 5 of the case 3.

図６、図７に示すように、錘４２は、矩形枠状である。錘４２は、非磁性金属である。本例では、錘４２は、タングステン合金製である。錘４２は、Ｘ方向で向かい合いＹ方向に平行に延びる第１錘部６１および第２錘部６２と、第１錘部６１の－Ｙ方向の端部と第２錘部６２の－Ｙ方向の端部とを接続する第１接続部６３と、第１錘部６１の＋Ｙ方向の端部と第２錘部６２の＋Ｙ方向の端部とを接続する第２接続部６４と、を備える。第１錘部６１は第２錘部６２の－Ｘ方向に位置する。第１接続部６３は第２接続部６４の－Ｙ方向に位置する。また、錘４２は、Ｘ方向の中央に、第１錘部６１、第２錘部６２、第１接続部６３および第２接続部６４によって区画された矩形の開口部６５を備える。 As shown in FIGS. 6 and 7, the weight 42 has a rectangular frame shape. Weight 42 is made of non-magnetic metal. In this example, the weight 42 is made of tungsten alloy. The weight 42 has a first weight part 61 and a second weight part 62 facing each other in the X direction and extending parallel to the Y direction, an end of the first weight part 61 in the -Y direction, and an end of the second weight part 62 in the -Y direction. A second connecting portion 64 connects the +Y-direction end of the first weight portion 61 and the +Y-direction end of the second weight portion 62. The first weight portion 61 is located in the −X direction of the second weight portion 62. The first connecting portion 63 is located in the -Y direction of the second connecting portion 64. The weight 42 also includes a rectangular opening 65 defined by the first weight part 61, the second weight part 62, the first connection part 63, and the second connection part 64 at the center in the X direction.

図７に示すように、第１錘部６１の＋Ｚ方向の端面における＋Ｙ方向の端面部分には、溝部６７が設けられている。溝部６７は、－Ｘ方向に延びた後に＋Ｙ方向に屈曲する平面形状である。また、第１接続部６３の＋Ｚ方向の端面には、第１溝部６８が設けられている。第１溝部６８は、第１接続部６３を－Ｙ方向から切り欠いた切欠き溝である。第１溝部６８はＹ方向に延びて開口部６５に連通する。第２接続部６４の＋Ｚ方向の端面には、第２溝部６９が設けられている。第２溝部６９は、第２接続部６４を＋Ｙ方向から切り欠いた切欠き溝である。第２溝部６９は、Ｙ方向に延びて開口部６５に連通する。 As shown in FIG. 7, a groove portion 67 is provided in the +Y direction end surface portion of the +Z direction end surface of the first weight portion 61. As shown in FIG. The groove portion 67 has a planar shape that extends in the −X direction and then bends in the +Y direction. Further, a first groove portion 68 is provided on the end surface of the first connecting portion 63 in the +Z direction. The first groove portion 68 is a notch groove obtained by cutting out the first connecting portion 63 from the -Y direction. The first groove portion 68 extends in the Y direction and communicates with the opening portion 65. A second groove portion 69 is provided on the end surface of the second connecting portion 64 in the +Z direction. The second groove portion 69 is a notch groove obtained by cutting out the second connecting portion 64 from the +Y direction. The second groove portion 69 extends in the Y direction and communicates with the opening portion 65.

フレキシブルプリント基板４は、コイル固定部分５１に駆動コイル１８が固定された状態で、コイル固定部分５１および屈曲部分５２がフレーム本体部４３に固定される。また、フレキシブルプリント基板４は、可動体側固定部分５３が、フレーム屈曲部４４に固定される。 In the flexible printed circuit board 4, the coil fixing portion 51 and the bent portion 52 are fixed to the frame body portion 43, with the drive coil 18 being fixed to the coil fixing portion 51. Further, in the flexible printed circuit board 4, the movable body side fixed portion 53 is fixed to the frame bent portion 44.

錘４２は、＋Ｚ方向の端面がフレーム本体部４３に固定される。この際に、駆動コイル１８の第３コイル部分４７は錘４２の第１溝部６８に配置される。駆動コイル１８の第４コイル部分４８は、錘４２の第２溝部６９に配置される。また、フレキシブルプリント基
板４の屈曲部分５２は、錘４２の溝部６７に配置されて、フレーム４１と第１錘部６１との間に配置される。 The end face of the weight 42 in the +Z direction is fixed to the frame body 43. At this time, the third coil portion 47 of the drive coil 18 is placed in the first groove portion 68 of the weight 42 . The fourth coil portion 48 of the drive coil 18 is arranged in the second groove 69 of the weight 42 . Furthermore, the bent portion 52 of the flexible printed circuit board 4 is arranged in the groove 67 of the weight 42 and between the frame 41 and the first weight 61 .

（支持機構）
図３に示すように、支持機構１６は、可動体１５とケース３との間に架け渡された第１板バネ７１と第２板バネ７２とを備える。第１板バネ７１と第２板バネ７２とは同一の部材である。第１板バネ７１は、ケース３に固定された第１ケース固定部７４と、可動体１５に固定された第１可動体固定部７５と、第１ケース固定部７４と第１可動体固定部７５とを接続する第１変位部７６と、を備える。 (Support mechanism)
As shown in FIG. 3, the support mechanism 16 includes a first leaf spring 71 and a second leaf spring 72, which are bridged between the movable body 15 and the case 3. The first leaf spring 71 and the second leaf spring 72 are the same member. The first plate spring 71 includes a first case fixing part 74 fixed to the case 3, a first movable body fixing part 75 fixed to the movable body 15, a first case fixing part 74 and a first movable body fixing part. 75, a first displacement portion 76 is provided.

第１ケース固定部７４、および、第１可動体固定部７５は、第１板バネ７１の厚み方向をＹ方向に向けて、Ｘ方向に延びる。第１ケース固定部７４は、ケース３の第４枠板部１４に固定されている。第１ケース固定部７４の－Ｙ方向を向く面（可動体１５が位置する側の面）には、シート状のケース側緩衝部材９１が固定されている。第１可動体固定部７５は、第１錘部６１の－Ｙ方向の端面に固定されている。第１可動体固定部７５の－Ｙ方向を向く面（ケース３の第３枠板部１３が位置する側の面）には、シート状の可動体側緩衝部材９２が固定されている。第１変位部７６は、第１ケース固定部７４から、錘４２の－Ｘ方向を迂回して、第１可動体固定部７５に連続する。 The first case fixing part 74 and the first movable body fixing part 75 extend in the X direction with the thickness direction of the first plate spring 71 facing the Y direction. The first case fixing part 74 is fixed to the fourth frame plate part 14 of the case 3. A sheet-shaped case-side buffer member 91 is fixed to the surface of the first case fixing portion 74 facing in the -Y direction (the surface on the side where the movable body 15 is located). The first movable body fixing section 75 is fixed to the end surface of the first weight section 61 in the -Y direction. A sheet-shaped movable body side buffer member 92 is fixed to the surface of the first movable body fixing portion 75 facing in the −Y direction (the surface on the side where the third frame plate portion 13 of the case 3 is located). The first displacement part 76 continues from the first case fixing part 74 to the first movable body fixing part 75, bypassing the -X direction of the weight 42.

第１変位部７６は、第１ケース固定部７４から－Ｘ方向に延びて－Ｙ方向に湾曲する第１湾曲板部分７７と、第１湾曲板部分７７の－Ｙ方向の端から－Ｙ方向に向かって＋Ｘ方向に延びる傾斜板部分７８と、傾斜板部分７８の－Ｙ方向の端から－Ｙ方向に向かって＋Ｘ方向に湾曲する第２湾曲板部分７９と、を備える。第２湾曲板部分７９の＋Ｘ方向の端は、第１可動体固定部７５に連続する。傾斜板部分７８における－Ｙ方向の側の部分には、直方体形状の第１緩衝部材８０が固定されている。第１緩衝部材８０の＋Ｘ方向の端面は、接着剤などにより第１錘部６１に固定されている。傾斜板部分７８は、第１緩衝部材８０をＹ方向で斜めに貫通している。 The first displacement part 76 includes a first curved plate part 77 that extends in the -X direction from the first case fixing part 74 and curves in the -Y direction, and a -Y direction from the -Y direction end of the first curved plate part 77. A second curved plate portion 79 is provided, which is curved in the +X direction from the −Y direction end of the inclined plate portion 78 toward the −Y direction. The end of the second curved plate portion 79 in the +X direction is continuous with the first movable body fixing portion 75 . A rectangular parallelepiped-shaped first buffer member 80 is fixed to a portion of the inclined plate portion 78 on the −Y direction side. The end face of the first buffer member 80 in the +X direction is fixed to the first weight portion 61 with an adhesive or the like. The inclined plate portion 78 extends obliquely through the first buffer member 80 in the Y direction.

第２板バネ７２は、ケース３に固定された第２ケース固定部８１と、可動体１５に固定された第２可動体固定部８２と、第２ケース固定部８１と第２可動体固定部８２とを接続する第２変位部８３と、を備る。第２ケース固定部８１、および、第２可動体固定部８２は、厚み方向をＹ方向に向けて、Ｘ方向に延びる。第２ケース固定部８１は、ケース３の第４枠板部１４に固定されている。第２ケース固定部８１の－Ｙ方向を向く面（可動体１５が位置する側の面）には、シート状のケース側緩衝部材９１が固定されている。第２可動体固定部８２は、第２錘部６２の－Ｙ方向の端面に固定されている。第２可動体固定部８２の－Ｙ方向を向く面（ケース３の第３枠板部１３が位置する側の面）には、シート状の可動体側緩衝部材９２が固定されている。第２変位部８３は、第２ケース固定部８１から、錘４２の＋Ｘ方向を迂回して、第２可動体固定部８２に連続する。 The second leaf spring 72 includes a second case fixing part 81 fixed to the case 3, a second movable body fixing part 82 fixed to the movable body 15, a second case fixing part 81 and a second movable body fixing part. 82. The second case fixing part 81 and the second movable body fixing part 82 extend in the X direction with the thickness direction facing the Y direction. The second case fixing part 81 is fixed to the fourth frame plate part 14 of the case 3. A sheet-shaped case-side buffer member 91 is fixed to the surface of the second case fixing portion 81 facing in the -Y direction (the surface on the side where the movable body 15 is located). The second movable body fixing part 82 is fixed to the end surface of the second weight part 62 in the -Y direction. A sheet-shaped movable body-side buffer member 92 is fixed to the surface of the second movable body fixing portion 82 facing in the −Y direction (the surface on the side where the third frame plate portion 13 of the case 3 is located). The second displacement part 83 continues from the second case fixing part 81 to the second movable body fixing part 82, bypassing the +X direction of the weight 42.

第２変位部８３は、第２ケース固定部８１から＋Ｘ方向に延びて－Ｙ方向に湾曲する第１湾曲板部分７７と、第１湾曲板部分７７の－Ｙ方向の端から－Ｙ方向に向かって－Ｘ方向に延びる傾斜板部分７８と、傾斜板部分７８の－Ｙ方向の端から－Ｙ方向に向かって－Ｘ方向に湾曲する第２湾曲板部分７９と、を備える。第２湾曲板部分７９の－Ｘ方向の端は、第２可動体固定部８２に連続する。傾斜板部分７８における－Ｙ方向の側の部分には、直方体形状の第２緩衝部材８４が固定されている。第２緩衝部材８４の－Ｘ方向の端面は、接着剤などにより第２錘部６２に固定されている。傾斜板部分７８は、第２緩衝部材８４をＹ方向で斜めに貫通している。 The second displacement portion 83 includes a first curved plate portion 77 extending in the +X direction from the second case fixing portion 81 and curving in the −Y direction, and a first curved plate portion 77 extending in the −Y direction from the −Y direction end of the first curved plate portion 77. It includes an inclined plate portion 78 extending in the −X direction toward the front, and a second curved plate portion 79 curved in the −X direction from the −Y direction end of the inclined plate portion 78 toward the −Y direction. The end of the second curved plate portion 79 in the −X direction is continuous with the second movable body fixing portion 82. A rectangular parallelepiped-shaped second buffer member 84 is fixed to a portion of the inclined plate portion 78 on the -Y direction side. The end surface of the second buffer member 84 in the −X direction is fixed to the second weight portion 62 with an adhesive or the like. The inclined plate portion 78 passes through the second buffer member 84 obliquely in the Y direction.

第１板バネ７１および第２板バネ７２を介して可動体１５がケース３に支持されると、図２に示すように、マグネットホルダ２２および駆動マグネット１９は、可動体１５の錘
４２の開口部６５の内側に位置する。駆動マグネット１９と駆動コイル１８とは、Ｚ方向で僅かなギャップを開けて向かい合う。駆動コイル１８は、駆動マグネット１９とケース３の第２端板６との間に位置する。また、マグネットホルダ２２の第１枠部部分２６と錘４２の第１錘部６１とは、Ｘ方向で隙間を開けて向き合う。マグネットホルダ２２の第２枠部部分２７と錘４２の第２錘部６２とは、Ｘ方向で隙間を開けて向き合う。 When the movable body 15 is supported by the case 3 via the first leaf spring 71 and the second leaf spring 72, the magnet holder 22 and the drive magnet 19 are inserted into the opening of the weight 42 of the movable body 15, as shown in FIG. It is located inside the section 65. The drive magnet 19 and the drive coil 18 face each other with a slight gap in the Z direction. The drive coil 18 is located between the drive magnet 19 and the second end plate 6 of the case 3. Further, the first frame portion 26 of the magnet holder 22 and the first weight portion 61 of the weight 42 face each other with a gap in the X direction. The second frame portion 27 of the magnet holder 22 and the second weight portion 62 of the weight 42 face each other with a gap in the X direction.

ここで、錘４２において、マグネットホルダ２２の枠部２３と向き合う第１錘部６１の第１錘側対向面６１ａと、マグネットホルダ２２において錘４２（第１錘部６１）と向き合う枠部２３の第１枠部部分２６の第１枠部側対向面２６ａとは、互いに平行で、Ｙ方向に延びる。また、錘４２において、マグネットホルダ２２の枠部２３と向き合う第２錘部６２の第２錘側対向面６２ａと、マグネットホルダ２２において錘４２（第２錘部６２）と向き合う枠部２３の第２枠部部分２７の第２枠部側対向面２７ａとは、互いに平行で、Ｙ方向に延びる。２つの緩衝部材３５のうち、－Ｘ方向に位置する緩衝部材３５は、第１枠部側対向面２６ａに固定されており、第１錘側対向面６１ａとＸ方向で隙間を開けて向き合う。＋Ｘ方向に位置する緩衝部材３５は、第２枠部側対向面２７ａに固定されており、第２錘側対向面６２ａとＸ方向で隙間を開けて向き合う。 Here, in the weight 42, the first weight side facing surface 61a of the first weight part 61 facing the frame part 23 of the magnet holder 22, and the first weight side facing surface 61a of the first weight part 61 facing the weight 42 (first weight part 61) in the magnet holder 22. The first frame side facing surface 26a of the first frame portion 26 is parallel to each other and extends in the Y direction. In addition, in the weight 42, the second weight side facing surface 62a of the second weight part 62 facing the frame part 23 of the magnet holder 22, and the second weight side facing surface 62a of the second weight part 62 facing the weight 42 (second weight part 62) in the magnet holder 22, The second frame side opposing surfaces 27a of the two frame portions 27 are parallel to each other and extend in the Y direction. Of the two buffer members 35, the buffer member 35 located in the −X direction is fixed to the first frame side facing surface 26a, and faces the first weight side facing surface 61a with a gap in the X direction. The buffer member 35 located in the +X direction is fixed to the second frame side facing surface 27a, and faces the second weight side facing surface 62a with a gap in the X direction.

また、第１板バネ７１および第２板バネ７２を介して可動体１５がケース３に支持されたときに、フレキシブルプリント基板４の延設部分５４は、第１板バネ７１の第１変位部７６に沿って引き回された引き回し部分８５と、引き回し部分８５から＋Ｘ方向に湾曲する湾曲部分８６と、湾曲部分８６の引き回し部分８５とは反対側の端から延びてＸ方向から見た場合に引き回し部分８５と重なる重なり部分８７と、を備える。引き回し部分８５は、第１変位部７６の第１湾曲板部分７７と傾斜板部分７８の＋Ｘ方向の側を、第１湾曲板部分７７および傾斜板部分７８に沿って延びる。湾曲部分８６は、引き回し部分８５の－Ｙ方向端から＋Ｘ方向に湾曲する。重なり部分８７は、引き回し部分８５と＋Ｘ方向に隙間を開けた位置でＹ方向に延びる。 Further, when the movable body 15 is supported by the case 3 via the first leaf spring 71 and the second leaf spring 72, the extended portion 54 of the flexible printed circuit board 4 is connected to the first displacement portion of the first leaf spring 71. 76, a curved portion 86 that curves in the +X direction from the guided portion 85, and a curved portion 86 extending from the opposite end of the curved portion 85 when viewed from the X direction. An overlapping portion 87 that overlaps the routing portion 85 is provided. The routing portion 85 extends along the +X direction side of the first curved plate portion 77 and the inclined plate portion 78 of the first displacement portion 76 . The curved portion 86 curves from the −Y direction end of the routing portion 85 in the +X direction. The overlapping portion 87 extends in the Y direction at a position with a gap in the +X direction from the routing portion 85.

また、フレキシブルプリント基板４の延設部分５４は、引き回し部分８５の湾曲部分８６とは反対側の端から＋Ｙ方向に向かって＋Ｘ方向に湾曲してケース側固定部分５５に連続するケース側湾曲部分８８を備える。さらに、フレキシブルプリント基板４の延設部分５４は、重なり部分８７の湾曲部分８６とは反対側の端から＋Ｙ方向に向かって＋Ｘ方向に湾曲して可動体側固定部分５３に連続する可動体側湾曲部分８９を備える。ここで、フレキシブルプリント基板４のケース側固定部分５５は、ケース側緩衝部材９１および第１板バネ７１の第１ケース固定部７４を介して、ケース３の第４枠板部１４に固定される。 Further, the extended portion 54 of the flexible printed circuit board 4 is a case-side curved portion that curves in the +X direction toward the +Y direction from the end opposite to the curved portion 86 of the lead-out portion 85 and continues to the case-side fixed portion 55. 88. Furthermore, the extended portion 54 of the flexible printed circuit board 4 is a movable body side curved portion that curves in the +X direction toward the +Y direction from the end opposite to the curved portion 86 of the overlapping portion 87 and continues to the movable body side fixed portion 53. Equipped with 89. Here, the case-side fixing portion 55 of the flexible printed circuit board 4 is fixed to the fourth frame plate portion 14 of the case 3 via the case-side buffer member 91 and the first case fixing portion 74 of the first plate spring 71. .

（リニアモータの動作）
駆動コイル１８に電力を供給すると、磁気駆動機構１７が発生させる駆動力により、可動体１５がＸ方向の一方側に移動する。また、駆動コイル１８を流れる電流の向きを反転させると、可動体１５は、Ｘ方向の他方側に移動する。これにより、可動体１５はＸ方向で振動する。 (Operation of linear motor)
When power is supplied to the drive coil 18, the movable body 15 moves to one side in the X direction due to the drive force generated by the magnetic drive mechanism 17. Furthermore, when the direction of the current flowing through the drive coil 18 is reversed, the movable body 15 moves to the other side in the X direction. As a result, the movable body 15 vibrates in the X direction.

（作用効果）
本発明では、磁気駆動機構１７を収容するケ－ス３は磁性部材からなる。従って、駆動コイル１８と駆動マグネット１９とからなる磁気駆動機構１７の磁束がケース３から外部に漏れることを防止或いは抑制できる。よって、漏れ磁束に起因して磁気駆動機構１７の駆動力が低下することを抑制できる。また、可動体１５には駆動コイル１８が搭載され、駆動マグネット１９は搭載されていない。従って、ケース３を磁性部材とした場合でも、可動体１５がケース３に吸引されて、可動体１５の移動が阻害されることはない。 (effect)
In the present invention, the case 3 housing the magnetic drive mechanism 17 is made of a magnetic member. Therefore, leakage of the magnetic flux of the magnetic drive mechanism 17 made up of the drive coil 18 and the drive magnet 19 from the case 3 to the outside can be prevented or suppressed. Therefore, it is possible to suppress a decrease in the driving force of the magnetic drive mechanism 17 due to leakage magnetic flux. Further, the movable body 15 is equipped with a drive coil 18, but is not equipped with a drive magnet 19. Therefore, even if the case 3 is made of a magnetic member, the movable body 15 will not be attracted to the case 3 and the movement of the movable body 15 will not be inhibited.

また、駆動マグネット１９は、ケ－ス３の内壁面に固定されている。従って、ケ－ス３
が駆動マグネット１９のバックヨ－クとして機能する。よって、磁気駆動機構１７の駆動力を確保しやすい。 Further, the drive magnet 19 is fixed to the inner wall surface of the case 3. Therefore, case 3
functions as a back yoke of the drive magnet 19. Therefore, it is easy to ensure the driving force of the magnetic drive mechanism 17.

さらに、ケ－ス３は、Ｘ方向（移動方向）に平行に延びる第１端板５および第２端板６と、Ｚ方向に延びて第１端板５および第２端板６の外周縁を接続する枠板７とを、備える。駆動マグネット１９は、第１端板５に固定されており、駆動コイル１８は、駆動マグネット１９と第２端板６との間に位置する。従って、ケース３から外部への磁束の漏れを確実に防止できる。 Further, the case 3 has a first end plate 5 and a second end plate 6 extending in parallel to the X direction (movement direction), and an outer peripheral edge of the first end plate 5 and second end plate 6 extending in the Z direction. and a frame plate 7 for connecting. The drive magnet 19 is fixed to the first end plate 5 , and the drive coil 18 is located between the drive magnet 19 and the second end plate 6 . Therefore, leakage of magnetic flux from the case 3 to the outside can be reliably prevented.

また、駆動マグネット１９は、複数のマグネット３１、３２、３３をハルバッハ配列したものである。従って、駆動マグネット１９からＺ方向に磁束を飛ばすことができる。一方、駆動コイル１８は、Ｚ方向に中心開口１８ａを向けている。従って、磁気駆動機構１７により、可動体１５をＸ方向に移動させる駆動力を発揮できる。 Further, the drive magnet 19 has a plurality of magnets 31, 32, and 33 arranged in a Halbach arrangement. Therefore, magnetic flux can be emitted from the drive magnet 19 in the Z direction. On the other hand, the drive coil 18 has its center opening 18a directed in the Z direction. Therefore, the magnetic drive mechanism 17 can exert a driving force to move the movable body 15 in the X direction.

次に、本発明は、ケ－ス３の内壁面に固定されたマグネットホルダ２２を有し、マグネットホルダ２２は、Ｚ方向に延びる枠部２３を備える。駆動マグネット１９は、枠部２３の内側に嵌っており、マグネットホルダ２２と駆動マグネット１９との間、およびケ－ス３の内壁面において枠部２３の内側に位置する内壁面部分と記駆動マグネット１９との間には、接着剤層３０が設けられている。かかる構成によれば、駆動マグネット１９は、ケ－ス３に固定されたマグネットホルダ２２に保持される。従って、リニアモ－タ１が落下するなどして衝撃を受けた場合に、ケ－ス３に固定した駆動マグネット１９が脱落することを防止或いは抑制できる。また、リニアモ－タ１が落下するなどして衝撃を受けた場合でも、マグネットホルダ２２がケース３に固定されているので、駆動マグネット１９の位置がずれることがない。さらに、ハルバッハ配列した複数のマグネット３１、３２、３３は、互いに接触した状態でケ－ス３などに固定することが困難であるが、枠部２３の内側に固定すれば、複数のマグネット３１、３２、３３の固定が容易である。 Next, the present invention has a magnet holder 22 fixed to the inner wall surface of the case 3, and the magnet holder 22 includes a frame portion 23 extending in the Z direction. The drive magnet 19 is fitted inside the frame 23 and is located between the magnet holder 22 and the drive magnet 19 and between the inner wall surface portion of the case 3 located inside the frame 23 and the drive magnet. 19, an adhesive layer 30 is provided. According to this configuration, the drive magnet 19 is held by the magnet holder 22 fixed to the case 3. Therefore, when the linear motor 1 is dropped or receives a shock, it is possible to prevent or suppress the drive magnet 19 fixed to the case 3 from falling off. Furthermore, even if the linear motor 1 is dropped or receives a shock, the position of the drive magnet 19 will not shift because the magnet holder 22 is fixed to the case 3. Further, although it is difficult to fix the plurality of magnets 31, 32, and 33 arranged in a Halbach arrangement to the case 3 while in contact with each other, if they are fixed inside the frame 23, the plurality of magnets 31, 32, and 33 32 and 33 are easy to fix.

また、２つの緩衝部材３５のうち、－Ｘ方向の側に位置して第１枠部側対向面２６ａに固定された第１の緩衝部材３５は、錘４２の第１錘側対向面６１ａとＸ方向で隙間を開けて向き合う。さらに、また、２つの緩衝部材３５のうち、＋Ｘ方向の側に位置して第２枠部側対向面２７ａに固定された第２の緩衝部材３５は、錘４２の第２錘側対向面６２ａとＸ方向で隙間を開けて向き合う。従って、リニアモ－タ１が落下するなどして衝撃を受けた場合に、錘４２とマグネットホルダ２２（枠部２３）とが衝突して、異音を発生させることを防止できる。 Further, of the two buffer members 35, the first buffer member 35 located on the -X direction side and fixed to the first frame side opposing surface 26a is connected to the first weight side opposing surface 61a of the weight 42. Face each other with a gap in the X direction. Furthermore, of the two buffer members 35, the second buffer member 35 located on the +X direction side and fixed to the second frame side opposing surface 27a is fixed to the second weight side opposing surface 62a of the weight 42. Face each other with a gap in the X direction. Therefore, when the linear motor 1 receives a shock due to falling, etc., it is possible to prevent the weight 42 and the magnet holder 22 (frame portion 23) from colliding and generating abnormal noise.

さらに、第１錘側対向面６１ａおよび第１枠部側対向面２６ａは、Ｙ方向に平行に延びる。同様に、第２錘側対向面６２ａおよび第２枠部側対向面２７ａは、Ｙ方向に平行に延びる。すなわち、第１錘側対向面６１ａおよび第１枠部側対向面２６ａはＸ方向（移動方向）と垂直であり、第２錘側対向面６２ａおよび第２枠部側対向面２７ａは、はＸ方向（移動方向）と垂直である。従って、第１枠部側対向面２６ａに固定された第１の緩衝部材３５と、第１錘側対向面６１ａとの間の距離を正確に規定できる。また、第２枠部側対向面２７ａに固定された第２の緩衝部材３５と、第２錘側対向面６２ａとの間の距離を正確に規定できる。これにより、可動体１５の振動範囲を規定することが容易となる。 Furthermore, the first weight side facing surface 61a and the first frame side facing surface 26a extend in parallel to the Y direction. Similarly, the second weight side facing surface 62a and the second frame side facing surface 27a extend in parallel to the Y direction. That is, the first weight side facing surface 61a and the first frame side facing surface 26a are perpendicular to the X direction (movement direction), and the second weight side facing surface 62a and the second frame side facing surface 27a are perpendicular to the X direction (movement direction). perpendicular to the direction (direction of movement). Therefore, the distance between the first buffer member 35 fixed to the first frame side facing surface 26a and the first weight side facing surface 61a can be accurately defined. Moreover, the distance between the second buffer member 35 fixed to the second frame side facing surface 27a and the second weight side facing surface 62a can be accurately defined. This makes it easy to define the vibration range of the movable body 15.

また、本発明は、駆動コイル１８に電気的に接続されるとともに、可動体１５からケ－ス３の側に引き出されてケ－ス３に固定されたフレキシブルプリント基板４を有する。第１板バネ７１は、ケ－ス３に固定された第１ケース固定部７４と、可動体１５に固定された第１可動体固定部７５と、第１ケース固定部７４と第１可動体固定部７５とを接続する第１変位部７６と、を備える。フレキシブルプリント基板４は、可動体１５とケ－ス３との間に、第１変位部７６に沿って引き回された引き回し部分８５と、引き回し部分８５か
らＸ方向（移動方向）に湾曲する湾曲部分８６と、湾曲部分８６の引き回し部分８５とは反対側の端から延びてＸ方向（移動方向）から見た場合に当該引き回し部分８５と重なる重なり部分８７と、を備える。かかる構成によれば、可動体１５が移動したときに、フレキシブルプリント基板４は、第１板バネ７１の変位部に沿って撓む。従って、フレキシブルプリント基板４が、第１板バネ７１と可動体１５との間で潰されて塑性変形することを防止或いは抑制できる。また、フレキシブルプリント基板４の変位部は、湾曲部分８６において、引き回し部分８５と、重なり部分８７とに、折り返されている。従って、可動体１５と固定体２０との間に引き出されたフレキシブルプリント基板４の延設部分５４の長さを確保することが容易である。 Further, the present invention includes a flexible printed circuit board 4 which is electrically connected to the drive coil 18, is pulled out from the movable body 15 toward the case 3, and is fixed to the case 3. The first plate spring 71 includes a first case fixing part 74 fixed to the case 3, a first movable body fixing part 75 fixed to the movable body 15, and a first case fixing part 74 and the first movable body. A first displacement part 76 that connects to the fixed part 75 is provided. The flexible printed circuit board 4 has a routing portion 85 that is routed along the first displacement portion 76 between the movable body 15 and the case 3, and a curved portion that curves in the X direction (movement direction) from the routing portion 85. It includes a portion 86 and an overlapping portion 87 extending from the end of the curved portion 86 on the opposite side to the routing portion 85 and overlapping the routing portion 85 when viewed from the X direction (movement direction). According to this configuration, when the movable body 15 moves, the flexible printed circuit board 4 is bent along the displacement portion of the first plate spring 71. Therefore, it is possible to prevent or suppress the flexible printed circuit board 4 from being crushed and plastically deformed between the first leaf spring 71 and the movable body 15. Further, the displaced portion of the flexible printed circuit board 4 is folded back into a routing portion 85 and an overlapping portion 87 at the curved portion 86 . Therefore, it is easy to ensure the length of the extended portion 54 of the flexible printed circuit board 4 drawn out between the movable body 15 and the fixed body 20.

（変形例）
２つの緩衝部材３５のうち、－Ｘ方向の側に位置する第１の緩衝部材３５は、第１錘側対向面６１ａに固定されていてもよい。また、２つの緩衝部材３５のうち、＋Ｘ方向の側に位置する第２の緩衝部材３５は第２錘側対向面６２ａに固定されていてもよい。 (Modified example)
Of the two buffer members 35, the first buffer member 35 located on the -X direction side may be fixed to the first weight side facing surface 61a. Further, of the two buffer members 35, the second buffer member 35 located on the +X direction side may be fixed to the second weight side facing surface 62a.

１…リニアモ－タ、３…ケース、４…フレキシブルプリント基板、５…第１端板、５ａ…第１面、６…第２端板、７…枠板、８…端板本体部、９…基板支持部、１１…第１枠板部、１２…第２枠板部、１３…第３枠板部、１４…第４枠板部、１５…可動体、１６…支持機構、１７…磁気駆動機構、１８…駆動コイル、１８ａ…中心開口、１９…駆動マグネット、２０…固定体、２２…マグネットホルダ、２３…枠部、２４…第１固定部、２５…第２固定部、２６…第１枠部部分、２６ａ…第１枠部側対向面、２７…第２枠部部分、２７ａ…第２枠部側対向面、２８…第３枠部部分、２９…第４枠部部分、３０…接着剤層、３１…第１マグネット、３２…第２マグネット、３３…第３マグネット、３５…緩衝部材、４１…フレーム、４２…錘、４３…フレーム本体部、４４…フレーム屈曲部、４５…第１コイル部分、４６…第２コイル部分、４７…第３コイル部分、４８…第４コイル部分、５１…コイル固定部分、５２…屈曲部分、５３…可動体側固定部分、５４…延設部分、５５…ケース側固定部分、５６…突出部分、６１…第１錘部、６１ａ…第１錘側対向面、６２…第２錘部、６２ａ…第２錘側対向面、６３…第１接続部、６４…第２接続部、６５…開口部、６７…溝部、６８…第１溝部、６９…第２溝部、７１…第１板バネ、７２…第２板バネ、７４…第１ケース固定部、７５…第１可動体固定部、７６…第１変位部、７７…第１湾曲板部分、７８…傾斜板部分、７９…第２湾曲板部分、８０…第１緩衝部材、８１…第２ケース固定部、８２…第２可動体固定部、８３…第２変位部、８４…第２緩衝部材、８５…引き回し部分、８６…湾曲部分、８７…重なり部分、８８…ケース側湾曲部分、８９…可動体側湾曲部分、９１…ケース側緩衝部材、９２…可動体側緩衝部材 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Linear motor, 3... Case, 4... Flexible printed circuit board, 5... First end plate, 5a... First surface, 6... Second end plate, 7... Frame plate, 8... End plate main body part, 9... Board support part, 11... First frame plate part, 12... Second frame plate part, 13... Third frame plate part, 14... Fourth frame plate part, 15... Movable body, 16... Support mechanism, 17... Magnetic drive Mechanism, 18... Drive coil, 18a... Center opening, 19... Drive magnet, 20... Fixed body, 22... Magnet holder, 23... Frame, 24... First fixing part, 25... Second fixing part, 26... First Frame portion, 26a...First frame side facing surface, 27...Second frame portion, 27a...Second frame side opposing surface, 28...Third frame portion, 29...Fourth frame portion, 30... Adhesive layer, 31...first magnet, 32...second magnet, 33...third magnet, 35...buffer member, 41...frame, 42...weight, 43...frame main body part, 44...frame bending part, 45...th 1 coil part, 46... Second coil part, 47... Third coil part, 48... Fourth coil part, 51... Coil fixed part, 52... Bent part, 53... Movable body side fixed part, 54... Extension part, 55 ...Case side fixed part, 56...Protruding part, 61...First weight part, 61a...First weight side opposing surface, 62... Second weight part, 62a... Second weight side opposing surface, 63... First connection part, 64... Second connection part, 65... Opening part, 67... Groove part, 68... First groove part, 69... Second groove part, 71... First plate spring, 72... Second plate spring, 74... First case fixing part, 75... First movable body fixing part, 76... First displacement part, 77... First curved plate part, 78... Slanted plate part, 79... Second curved plate part, 80... First buffer member, 81... Second case Fixed part, 82... Second movable body fixing part, 83... Second displacement part, 84... Second buffer member, 85... Leading part, 86... Curved part, 87... Overlapping part, 88... Case side curved part, 89... Movable body side curved portion, 91...Case side buffer member, 92...Movable body side buffer member

Claims

可動体と、
前記可動体を所定の移動方向に移動可能に支持する支持機構と、
前記可動体を前記移動方向に移動させる磁気駆動機構と、
前記可動体、前記支持機構、および前記磁気駆動機構を収容するケースと、を有し、
前記ケースは、磁性部材からなり、
前記磁気駆動機構は、前記可動体に固定された駆動コイルと、前記移動方向と交差する交差方向で前記駆動コイルに向き合う駆動マグネットと、
前記ケースの内壁面に固定されたマグネットホルダを有し、
前記マグネットホルダは、前記交差方向に延びる枠部を備え、
前記駆動マグネットは、前記枠部の内側に嵌っていることを特徴とするリニアモータ。 A movable body,
a support mechanism that supports the movable body movably in a predetermined movement direction;
a magnetic drive mechanism that moves the movable body in the moving direction;
a case that accommodates the movable body, the support mechanism, and the magnetic drive mechanism;
The case is made of a magnetic member,
The magnetic drive mechanism includes a drive coil fixed to the movable body, and a drive magnet facing the drive coil in a cross direction that intersects the movement direction.
a magnet holder fixed to an inner wall surface of the case;
The magnet holder includes a frame extending in the cross direction,
The linear motor is characterized in that the drive magnet is fitted inside the frame .

前記駆動マグネットは、前記ケースの内壁面に固定されていることを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ。 The linear motor according to claim 1, wherein the drive magnet is fixed to an inner wall surface of the case.

前記交差方向と前記移動方向とは直交しており、
前記駆動コイルは、前記交差方向に中心開口を向けており、
前記駆動マグネットは、前記移動方向に沿ってハルバッハ配列された複数のマグネットを備えることを特徴とする請求項２に記載のリニアモータ。 The crossing direction and the moving direction are orthogonal to each other,
The drive coil has a center opening facing the cross direction,
The linear motor according to claim 2, wherein the drive magnet includes a plurality of magnets arranged in a Halbach array along the movement direction.

前記マグネットホルダと前記駆動マグネットとの間、および前記ケースの内壁面において前記枠部の内側に位置する内壁面部分と前記駆動マグネットとの間には、接着剤層が設けられていることを特徴とする請求項３に記載のリニアモータ。An adhesive layer is provided between the magnet holder and the drive magnet, and between an inner wall surface portion of the case located inside the frame and the drive magnet. The linear motor according to claim 3.

前記可動体は、前記移動方向における前記駆動コイルの一方側に位置する錘を備え、
前記錘は、前記移動方向で前記枠部と向き合う錘側対向面を備え、
前記枠部は、前記移動方向で前記錘側対向面と向き合う枠部側対向面を備え、
前記錘側対向面および前記枠部側対向面の一方には、緩衝部材が固定されていることを特徴とする請求項４に記載のリニアモータ。 The movable body includes a weight located on one side of the drive coil in the moving direction,
The weight includes a weight-side facing surface that faces the frame in the moving direction,
The frame portion includes a frame side facing surface that faces the weight side facing surface in the moving direction,
5. The linear motor according to claim 4, wherein a buffer member is fixed to one of the weight-side facing surface and the frame-side facing surface.

前記錘側対向面および前記枠部側対向面は、前記移動方向と垂直であることを特徴とする請求項５に記載のリニアモータ。 The linear motor according to claim 5, wherein the weight side facing surface and the frame side facing surface are perpendicular to the moving direction.

前記支持機構は、前記可動体と前記ケースとの間に架け渡された板バネであることを特徴とする請求項１から６のうちのいずれか一項に記載のリニアモータ。 7. The linear motor according to claim 1, wherein the support mechanism is a leaf spring suspended between the movable body and the case.

前記駆動コイルに電気的に接続されるとともに、前記可動体から前記ケースの側に引き出されて当該ケースに固定されたフレキシブルプリント基板を有し、
前記板バネは、前記ケースに固定されたケース側固定部と、前記可動体に固定された可動体側固定部と、前記ケース側固定部と前記可動体側固定部とを接続する変位部と、を備え、
前記フレキシブルプリント基板は、前記可動体と前記ケースとの間に、前記変位部に沿って引き回された引き回し部分と、前記引き回し部分から前記移動方向に湾曲する湾曲部分と、前記湾曲部分の前記引き回し部分とは反対側の端から延びて前記移動方向から見た場合に当該引き回し部分と重なる重なり部分と、を備えることを特徴とする請求項７に記載のリニアモータ。 a flexible printed circuit board electrically connected to the drive coil, pulled out from the movable body to the case side, and fixed to the case;
The leaf spring includes a case side fixed part fixed to the case, a movable body side fixed part fixed to the movable body, and a displacement part connecting the case side fixed part and the movable body side fixed part. Prepare,
The flexible printed circuit board is provided between the movable body and the case, including a routed portion routed along the displacement portion, a curved portion curved in the movement direction from the routed portion, and a portion of the curved portion routed along the displacement portion. The linear motor according to claim 7, further comprising an overlapping portion extending from an end opposite to the routing portion and overlapping the routing portion when viewed from the moving direction.

前記ケースは、前記移動方向に平行に延びる第１端板および第２端板と、前記交差方向に延びて前記第１端板および第２端板の外周縁を接続する枠板とを、備え、
前記駆動マグネットは、前記第１端板に固定されており、
前記駆動コイルは、前記駆動マグネットと前記第２端板との間に位置することを特徴とする請求項１から８のうちのいずれか一項に記載のリニアモータ。 The case includes a first end plate and a second end plate extending parallel to the moving direction, and a frame plate extending in the cross direction and connecting outer peripheral edges of the first end plate and the second end plate. ,
The drive magnet is fixed to the first end plate,
9. The linear motor according to claim 1, wherein the drive coil is located between the drive magnet and the second end plate.