JP7344047B2 - 基板の位置合わせ方法 - Google Patents
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Description
図1に示したアライナ装置10は、所定ステージ11上の基板Wのエッジ位置情報を取得するために、基板Wのエッジを撮像するカメラ20と、撮像時の光量を確保するための照明30とを備えている。カメラ20は図1に示したように、ステージ11上に保持された基板Wのエッジを撮像するために、装置本体13から所定距離を確保するように起立して設けられたボックス21内に収容されている。カメラ20としては固定焦点カメラが用いられ、開放されたボックス21の下面に位置するレンズ23は基板面が被写界深度内のほぼ中央に位置する程度の焦点距離を有し、レンズ23鏡筒の結像面位置には画像センサ24が配置され、光学系として基板側に所定のワークディスタンス(WD)が設定されている。本実施形態の画像センサ24としては、CMOSリニアイメージセンサ(以下、単に画像センサ24と記す。)が用いられている(図1,図2)。なお、カメラ20と前述した駆動装置とは、ボックス21内の制御部25からの指令により、基板Wの撮像タイミング、撮像間隔と、撮像時の基板Wの回転量とを同期させることができる。
ここで、基板Wの中心位置の位置合わせ、基準マークの角度合わせを行うための基本情報となる基板Wのエッジ位置情報を取得方法と、基板Wの中心位置の位置の算出、基準マークの角度算出の手順について、図3~図5を参照して説明する。
ところで、アライナ装置10では、使用に支障のない程度の反りが生じている基板Wのアライメントを行う場合がある。図7(a)は反りが生じて曲面状になっている基板Wを平面視、2方向から側面視した状態図、同図(b)は、反りの状態を周方向に展開して示した展開図である。このように反りが生じている基板Wのエッジ位置は、反りのない基準位置から上側あるいは下側に滑らかに変化する。なお、図7では、基板Wの反りは90°、270°の位置で反りが上側に最大となるように表示されている。同様に、図6(c)は、図6(a)に示した基板Wのエッジの所定箇所に生じた反りの状態を周方向に展開して示した展開図である。
(分解能の定義)
本発明では、図9に示したような基板側距離の変化によって光学倍率が変化する点に着目して、基準となる基板位置(高さ)での、たとえば水平方向の移動量に対しての画像センサ24上に投影される移動量との対応関係をもとに、画像センサ24上に投影されたエッジ位置の情報から反りの生じた基板Wにおける基板側距離を推定することとした(図10)。
(基準距離での分解能)
基板Wの反りの影響を除去する前提として、基準となるレンズ23と被写体との間の距離(以下、基準距離と記す。)における被写体端部の移動量と、画像センサ24上の撮像面(受光面)に投影される被写体端部の移動量との比を分解能Reとして定義する。すなわち、
Re=B/A(pixel/mm)
A:被写体端部の移動量(ステージの移動量)(mm)
B:画像センサの撮像面に投影される被写体端部の移動量(pixel)
よって、被写体端部をΔ(mm)移動(スライド)したときの画像センサ24上での被写体端部の移動量δ(pixel)は、
δ=Re×Δ(pixel)
となる。
図9各図において、(b)はレンズ23から基準距離にある被写体端部が所定量(Δ)移動した際の画像センサ24上の撮像面に投影された基準値としての被写体端部の移動量(δ0)を、スケールで表示している。このとき基準距離での光学倍率R0は、R0=δ0/Δである。ここで、レンズ23と被写体端部との未知の距離(被写体側距離)で、被写体端部をΔi(mm)移動したときの画像センサ24の撮像面での移動量がδi(pixel)であるとき、この測定値δi(pixel)と基準値δ0(pixel)から次の関係が成り立つ。
δi/δ0>1…被写体は基準距離より近くにある(図9(a))
δi/δ0=1…被写体は基準距離にある(図9(b))
δi/δ0<1…被写体は基準距離より遠くにある(図9(c))
図10(a)は、ステージ11上の平板状の基板W、すなわちレンズ23から基準距離D0にある基板WをY方向に所定量ΔY移動させた場合と、エッジが上側に反って基板側距離DUである基板WをY方向に所定量ΔY移動させた場合とを同時に描いた本発明の光学系説明図である。図10(b)は、同様に基準距離D0にある基板WをY方向に所定量ΔY移動させた場合と、エッジが下側に反って基板側距離DLである基板WをY方向に所定量ΔY移動させた場合とを同時に描いた光学系の説明図である。両図に示したように、エッジが上側に反った基板Wでは画像センサ24の撮像面での移動量δUはδ0より大きく、エッジが下側に反った基板Wでは画像センサ24の撮像面での移動量δLはδ0より小さい。このとき具体的な基準距離D0での光学倍率に対して所定距離だけ離れた距離(DUあるいはDL)での光学倍率との比率Rが分かれば、その逆数(1/R)を移動前の位置データに乗ずることで反りのない状態での位置データに補正することができる。
図11,図12は、アライメント工程において、この関係を利用して周縁に反りの生じた基板Wの全周にわたって位置データを補正し、さらに補正後の位置データを用いて基板中心位置の算出、基準マークの角度算出を行うようにした方法の手順を示したフローチャートである。以下、図11を参照して全体手順について説明する。
補正エッジ位置=(1次エッジ位置×1/R)
11 ステージ
12 回転軸(θ軸)
20 カメラ
23 レンズ
24 画像センサ
30 照明
W 基板
Claims (5)
- 回転軸回りに回転可能なステージ上に載置された基板のエッジ位置に相当する位置情報を基板全周に取得し、前記エッジ位置での位置情報を1次位置データとして保存するステップと、
前記ステージを所定方向に所定量移動させ、前記基板の移動後のエッジ位置に相当する測点情報を基板全周に取得し、前記移動後のエッジ位置での測点情報を2次位置データとして保存するステップと、
前記1次位置データと前記2次位置データの対応する各エッジ位置の差分移動量を算出するステップと、
各差分移動量と前記ステージの移動量との光学倍率比率を算出し、各エッジ位置での光学倍率比率をもとに前記1次位置データの各エッジ位置での位置情報を、補正位置データに更新するステップと、
を含むことを特徴とする基板の位置合わせ方法。 - さらに、前記補正位置データをもとに、前記基板の中心位置、前記基板に設けられた基準マークの角度合わせを行う請求項1に記載の基板の位置合わせ方法。
- 前記エッジ位置は、前記ステージ上に載置保持された前記基板のエッジ位置を撮像した撮像手段の画像センサ上の位置情報として認識される請求項1に記載の基板の位置合わせ方法。
- 前記光学倍率比率は、反りのない平面状の基板における光学倍率に対する、反りの生じた基板における光学倍率との比である請求項1に記載の基板の位置合わせ方法。
- 前記光学倍率比率は、基板に生じた反りの状態に応じて変化し、対応する各エッジ位置において得られた前記1次位置データに前記光学倍率比率の逆数を乗じて前記補正位置データを求める請求項1に記載の基板の位置合わせ方法。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003185419A (ja) | 2001-12-20 | 2003-07-03 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 反り形状計測方法及び装置 |
JP2008196855A (ja) | 2007-02-08 | 2008-08-28 | Yamatake Corp | ウェハの位置決め方法および位置決め装置 |
JP2008203182A (ja) | 2007-02-22 | 2008-09-04 | Yamatake Corp | エッジ検出装置 |
US20170329241A1 (en) | 2016-05-11 | 2017-11-16 | Semiconductor Manufacturing International (Shanghai) Corporation | Alignment method and alignment system thereof |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20070258085A1 (en) * | 2006-05-02 | 2007-11-08 | Robbins Michael D | Substrate illumination and inspection system |
US7505125B2 (en) * | 2004-12-19 | 2009-03-17 | Kla-Tencor Corporation | System and method for signal processing for a workpiece surface inspection system |
JP4309874B2 (ja) * | 2005-08-05 | 2009-08-05 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 露光装置 |
US7508504B2 (en) * | 2006-05-02 | 2009-03-24 | Accretech Usa, Inc. | Automatic wafer edge inspection and review system |
CN103079746A (zh) * | 2010-09-01 | 2013-05-01 | 三菱电机株式会社 | 激光加工装置及基板位置检测方法 |
WO2013162842A1 (en) * | 2012-04-25 | 2013-10-31 | Applied Materials, Inc. | Wafer edge measurement and control |
JP6394220B2 (ja) | 2014-09-17 | 2018-09-26 | 東京エレクトロン株式会社 | アライメント装置及び基板処理装置 |
US10056224B2 (en) * | 2015-08-10 | 2018-08-21 | Kla-Tencor Corporation | Method and system for edge-of-wafer inspection and review |
NL2017860B1 (en) * | 2015-12-07 | 2017-07-27 | Ultratech Inc | Systems and methods of characterizing process-induced wafer shape for process control using cgs interferometry |
-
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003185419A (ja) | 2001-12-20 | 2003-07-03 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 反り形状計測方法及び装置 |
JP2008196855A (ja) | 2007-02-08 | 2008-08-28 | Yamatake Corp | ウェハの位置決め方法および位置決め装置 |
JP2008203182A (ja) | 2007-02-22 | 2008-09-04 | Yamatake Corp | エッジ検出装置 |
US20170329241A1 (en) | 2016-05-11 | 2017-11-16 | Semiconductor Manufacturing International (Shanghai) Corporation | Alignment method and alignment system thereof |
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