JP7340180B2 - Ozone detection system and ozone generator - Google Patents

Ozone detection system and ozone generator Download PDF

Info

Publication number
JP7340180B2
JP7340180B2 JP2021091140A JP2021091140A JP7340180B2 JP 7340180 B2 JP7340180 B2 JP 7340180B2 JP 2021091140 A JP2021091140 A JP 2021091140A JP 2021091140 A JP2021091140 A JP 2021091140A JP 7340180 B2 JP7340180 B2 JP 7340180B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ozone
external space
concentration
humidity
detection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2021091140A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2022183698A (en
Inventor
秀一 西村
真一郎 鬼頭
昌幸 瀬川
崇広 横山
潤哉 今泉
由希 水溪
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
National Hospital Organization
Niterra Co Ltd
Original Assignee
NGK Spark Plug Co Ltd
National Hospital Organization
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NGK Spark Plug Co Ltd, National Hospital Organization filed Critical NGK Spark Plug Co Ltd
Priority to JP2021091140A priority Critical patent/JP7340180B2/en
Publication of JP2022183698A publication Critical patent/JP2022183698A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP7340180B2 publication Critical patent/JP7340180B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)

Description

本発明は、オゾン検知システム及びオゾン発生器に関するものである。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to an ozone detection system and an ozone generator.

特許文献１には、オゾン発生装置の一例が開示されている。特許文献１に開示されるオゾン発生装置は、オゾン濃度計を有し、正常オゾン濃度値より低い値のオゾン濃度値をオゾン濃度基準値として設定する。更に、このオゾン発生装置は、オゾン濃度計で測定したオゾン濃度がオゾン濃度基準値以下となった時にオゾン発生器の異常として判別する。 Patent Document 1 discloses an example of an ozone generator. The ozone generator disclosed in Patent Document 1 includes an ozone concentration meter, and sets an ozone concentration value lower than a normal ozone concentration value as an ozone concentration reference value. Furthermore, this ozone generator determines that there is an abnormality in the ozone generator when the ozone concentration measured by the ozone concentration meter becomes less than the ozone concentration reference value.

特開２０１０－４７４２９号公報Japanese Patent Application Publication No. 2010-47429

特許文献１のオゾン発生装置を含め、従来のオゾン発生器は、オゾン濃度を検知する機能などが付加され得る。しかし、この種のオゾン発生器では、オゾンと関連する指標をオゾン発生器内で評価することまでは想定されていない。 Conventional ozone generators, including the ozone generator of Patent Document 1, may be added with a function of detecting ozone concentration. However, in this type of ozone generator, it is not assumed that indicators related to ozone are evaluated within the ozone generator.

本発明は、上述した課題の少なくとも一つを解決するためになされたものであり、オゾン濃度と関連性の高い指標を評価し得る技術を実現することを目的とする。 The present invention has been made to solve at least one of the above-mentioned problems, and aims to realize a technology that can evaluate an index highly related to ozone concentration.

本発明の一つであるオゾン検知システムは、
外部空間へオゾンを供給するオゾン供給部と、前記オゾン供給部を制御する制御部と、を備えたオゾン検知システムであって、
前記外部空間の湿度に応じた第１検出値を生成する第１検知部と、
電気化学方式により前記外部空間のオゾン濃度に応じた第２検出値を生成する第２検知部と、を備え、
前記制御部は、オゾン濃度の適正範囲を湿度毎に定めた情報を含む適正範囲情報と前記第１検出値と前記第２検出値とに基づき、前記外部空間のオゾン濃度を当該外部空間の湿度に対応する前記適正範囲内とするように、前記オゾン供給部による前記外部空間へのオゾン供給動作を制御する。 The ozone detection system, which is one of the inventions, is
An ozone detection system comprising an ozone supply unit that supplies ozone to an external space, and a control unit that controls the ozone supply unit,
a first detection unit that generates a first detection value according to the humidity of the external space;
a second detection unit that generates a second detection value according to the ozone concentration in the external space by an electrochemical method,
The control unit adjusts the ozone concentration of the external space to the humidity of the external space based on appropriate range information including information defining an appropriate range of ozone concentration for each humidity, the first detected value, and the second detected value. The operation of supplying ozone to the external space by the ozone supply unit is controlled so that the supply of ozone to the external space is within the appropriate range corresponding to the ozone supply unit.

上記のオゾン発生検知システムは、オゾン濃度の適正範囲を湿度毎に定めておくことができる。そして、このオゾン発生検知システムは、外部空間のオゾン濃度を調整する場合、外部空間の湿度及びオゾン濃度に応じた値（第１検出値及び第２検出値）を実際に取得した上で、調整時の外部空間の湿度に対応する適正範囲に収めるようにオゾン濃度を調整することができる。 The above ozone generation detection system can determine the appropriate range of ozone concentration for each humidity. When adjusting the ozone concentration in the external space, this ozone generation detection system first obtains values (first detection value and second detection value) corresponding to the humidity and ozone concentration in the external space, and then adjusts the ozone concentration in the external space. The ozone concentration can be adjusted to fall within an appropriate range corresponding to the humidity of the external space at the time.

上記のオゾン検知システムは、上記外部空間を加湿する加湿部を備えていてもよい。そして、上記制御部は、上記適正範囲情報と上記第１検出値と上記第２検出値とに基づき、上記外部空間のオゾン濃度を当該外部空間の湿度に対応する上記適正範囲内とするように、上記オゾン供給部による上記外部空間へのオゾン供給動作及び上記加湿部による上記外部空間の加湿動作を制御してもよい。 The ozone detection system described above may include a humidifier that humidifies the external space. The control unit controls the ozone concentration in the external space to be within the appropriate range corresponding to the humidity of the external space based on the appropriate range information, the first detected value, and the second detected value. The ozone supply operation by the ozone supply section to the external space and the humidification operation of the external space by the humidification section may be controlled.

上記のオゾン検知システムは、外部空間のオゾン濃度を適正範囲内に収めるように調整する場合に、オゾン供給動作を制御して調整することもでき、加湿動作を制御して調整することもできる。よって、外部空間のオゾン濃度を調整する上で、自由度が高い。 When adjusting the ozone concentration in the external space to fall within an appropriate range, the ozone detection system described above can also control and adjust the ozone supply operation, and can also control and adjust the humidification operation. Therefore, there is a high degree of freedom in adjusting the ozone concentration in the external space.

上記のオゾン検知システムは、上記外部空間を加湿する加湿部を備えていてもよい。上記適正範囲情報は湿度の許容範囲を定めた情報を含んでいてもよい。上記制御部は、上記外部空間の湿度が上記許容範囲内に収まるように上記加湿部による上記外部空間の加湿動作を制御してもよい。 The ozone detection system described above may include a humidifier that humidifies the external space. The appropriate range information may include information that defines an allowable humidity range. The control unit may control a humidifying operation of the external space by the humidifying unit so that the humidity of the external space falls within the permissible range.

上記のオゾン検知システムは、外部空間の湿度を許容範囲内にするように調整することができる。そして、このように調整された湿度に対応する適正範囲に収めるようにオゾン濃度を調整することができる。 The ozone sensing system described above can be adjusted to bring the humidity of the external space within an acceptable range. Then, the ozone concentration can be adjusted to fall within an appropriate range corresponding to the humidity thus adjusted.

上記のオゾン検知システムにおいて、上記制御部は、上記オゾン供給部による上記外部空間へのオゾン供給動作を、上記第１検出値及び上記第２検出値に基づいて制御してもよい。 In the ozone detection system described above, the control unit may control an operation of supplying ozone to the external space by the ozone supply unit based on the first detection value and the second detection value.

上記のオゾン検知システムは、外部空間のオゾン濃度だけでなく外部空間の湿度も反映してオゾン供給動作を制御することができる。 The ozone detection system described above can control the ozone supply operation by reflecting not only the ozone concentration in the external space but also the humidity in the external space.

上記のオゾン検知システムは、上記外部空間を加湿する加湿部を備えていてもよい。上記制御部は、上記加湿部による上記外部空間の加湿動作を、上記第１検出値に基づいて制御してもよい。 The ozone detection system described above may include a humidifier that humidifies the external space. The control unit may control a humidification operation of the external space by the humidification unit based on the first detection value.

用途によっては、オゾン濃度の適正範囲を湿度に応じて変化させるべき場合があり、このような用途では、オゾン濃度と湿度の両方を調整できれば有用である。 Depending on the application, the appropriate range of ozone concentration may need to be changed depending on humidity, and in such applications, it is useful if both ozone concentration and humidity can be adjusted.

上記のオゾン検知システムは、湿度とオゾン濃度の組み合わせ毎に適正度合いを定めた評価基準情報と、上記第１検出値と、上記第２検出値と、に基づいて、上記外部空間における湿度とオゾン濃度の組み合わせの適正度合いを評価する評価部と、上記評価部による評価結果を出力する出力部と、を有していてもよい。 The ozone detection system detects the humidity and ozone concentration in the external space based on the evaluation standard information that defines the degree of appropriateness for each combination of humidity and ozone concentration, the first detection value, and the second detection value. The image forming apparatus may include an evaluation section that evaluates the appropriateness of the combination of concentrations, and an output section that outputs the evaluation result by the evaluation section.

上記のオゾン検知システムは、外部空間の調整動作によって外部空間がどのような状態になっているかを、予め定められた評価基準に従って評価することができ、その評価結果を外部に知らしめることができる。 The ozone detection system described above can evaluate the state of the external space by adjusting the external space according to predetermined evaluation criteria, and can make the evaluation results known to the outside. .

上記のオゾン検知システムにおいて、上記第１検知部は、電気化学方式によりガスの濃度を検知する第１検知素子を有していてもよい。上記第２検知部は、電気化学方式によりガスの濃度を検知する第２検知素子を有していてもよい。上記のオゾン検知システムは、更に、上記第１検知素子を格納する内部空間が自身の内部に構成され、自身の外側に上記外部空間が構成される第１格納部と、上記第１格納部に設けられ、上記外部空間と上記内部空間との間において気体が通過する経路をなす第１導入口と、上記第１導入口に設けられ、上記外部空間から上記内部空間への水蒸気の透過を許容し、上記外部空間から上記内部空間へのオゾンの透過を実質的に遮断する水蒸気透過フィルタと、を備えていてもよい。そして、上記第２検知素子は、上記外部空間から水蒸気及びオゾンが入り込む空間に配置されてもよい。 In the ozone detection system described above, the first detection section may include a first detection element that detects the concentration of gas using an electrochemical method. The second detection section may include a second detection element that detects the concentration of gas using an electrochemical method. The ozone detection system further includes a first storage part in which an internal space for storing the first detection element is configured inside the ozone detection system, and an external space outside the ozone detection system; a first inlet that is provided and forms a path for gas to pass between the external space and the internal space; and a first inlet that is provided at the first inlet to allow water vapor to permeate from the external space to the internal space. However, it may also include a water vapor permeable filter that substantially blocks ozone from permeating from the external space to the internal space. The second sensing element may be arranged in a space into which water vapor and ozone enter from the external space.

電気化学式ガスセンサでは、素子内部と素子外部の水蒸気量に差が生じると水蒸気量の差に起因する起電力が生じ、水蒸気量の差に起因する電流が流れるという懸念がある。上記のオゾン検知システムでは、第１検知素子が、対象気体から被検知ガスを実質的に除いた状態で被検知ガスの濃度を検知するため、水蒸気量の差に起因する電流の影響を評価することができる。一方、第２検知素子は、水蒸気と被検知ガスとを含んだ成分を対象として濃度を検知することができる。つまり、上記のオゾン検知システムは、第１検知素子による検知結果（水蒸気量の差に起因する電流の影響を評価した結果）を、第２検知素子による被検知ガスの濃度検知に利用することができるため、被検知ガスの濃度が低い対象気体において被検知ガスの濃度を正確に検知する上で有利である。しかも、このような有用な構成が、より簡易に実現される。 In an electrochemical gas sensor, there is a concern that if there is a difference in the amount of water vapor inside the element and outside the element, an electromotive force will be generated due to the difference in the amount of water vapor, and a current will flow due to the difference in the amount of water vapor. In the above ozone detection system, the first detection element detects the concentration of the detected gas in a state where the detected gas is substantially removed from the target gas, so the influence of the current caused by the difference in the amount of water vapor is evaluated. be able to. On the other hand, the second sensing element can detect the concentration of a component containing water vapor and a gas to be detected. In other words, in the ozone detection system described above, the detection result by the first detection element (the result of evaluating the influence of the current caused by the difference in the amount of water vapor) can be used to detect the concentration of the detected gas by the second detection element. This is advantageous in accurately detecting the concentration of the gas to be detected in a target gas where the concentration of the gas to be detected is low. Moreover, such a useful configuration can be realized more easily.

本発明の一つであるオゾン発生器は、上記オゾン検知システムを備えたオゾン発生器であって、上記オゾン供給部が、自身の外側の上記外部空間へオゾンを供給する。 An ozone generator according to one aspect of the present invention is an ozone generator equipped with the ozone detection system described above, in which the ozone supply section supplies ozone to the external space outside itself.

上記のオゾン発生器は、オゾン供給部の外側の外部空間の湿度及びオゾン濃度に応じた値（第１検出値及び第２検出値）を実際に取得した上で、調整時の外部空間の湿度に対応する適正範囲に収めるようにオゾン濃度を調整することができる。 The above ozone generator is configured to measure the humidity of the external space at the time of adjustment after actually obtaining values (first detection value and second detection value) corresponding to the humidity and ozone concentration of the external space outside the ozone supply unit. ozone concentration can be adjusted to fall within an appropriate range corresponding to

上記のオゾン発生器は、自身の外側の上記外部空間を加湿する加湿部を備えていてもよい。 The ozone generator may include a humidifier that humidifies the external space outside itself.

上記のオゾン発生器は、適正範囲に収めるようにオゾン濃度を調整する上で、オゾンの供給だけでなく、加湿も併用して調整を行うことができる。 The above ozone generator can adjust the ozone concentration to within an appropriate range by not only supplying ozone but also humidifying the ozone concentration.

本発明は、オゾンを供給する空間のオゾン濃度だけでなく、オゾン濃度と関連性の高い指標である湿度も評価することができる。 The present invention can evaluate not only the ozone concentration in a space to which ozone is supplied, but also the humidity, which is an index highly related to the ozone concentration.

図１は、第１実施形態のオゾン発生器に用いられる電気化学式ガスセンサの電気的構成を簡略的に示す回路図である。FIG. 1 is a circuit diagram schematically showing the electrical configuration of an electrochemical gas sensor used in the ozone generator of the first embodiment. 図２は、図１の電気化学式ガスセンサの素子部を例示する断面概略図である。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view illustrating an element portion of the electrochemical gas sensor of FIG. 1. FIG. 図３は、図１の電気化学式ガスセンサにおける感度及び感度補正の概念を説明するための説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram for explaining the concept of sensitivity and sensitivity correction in the electrochemical gas sensor of FIG. 1. 図４は、実験１の実験結果を説明するためのグラフである。FIG. 4 is a graph for explaining the experimental results of Experiment 1. 図５は、実験２の実験結果を説明するためのグラフである。FIG. 5 is a graph for explaining the experimental results of Experiment 2. 図６は、第１実施形態のオゾン発生器を例示する説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram illustrating the ozone generator of the first embodiment. 図７は、相対湿度毎のオゾン濃度の適正範囲を例示する説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram illustrating the appropriate range of ozone concentration for each relative humidity. 図８は、評価結果の表示例を示す説明図である。FIG. 8 is an explanatory diagram showing a display example of evaluation results.

１．第１実施形態
１－１．電気化学式ガスセンサの構成
図１に示される電気化学式ガスセンサ１０は、対象気体に含まれる被検知ガスの濃度を検知するガスセンサである。電気化学式ガスセンサ１０は、単にガスセンサ１０とも称される。以下で説明される電気化学式ガスセンサ１０の代表例では、被検知ガスがオゾン（オゾンガス）である。つまり、図１に示されるガスセンサ１０は、オゾンガスの濃度を検知するオゾンガスセンサとして機能する。ガスセンサ１０は、主に、検知部１２と、制御部１４と、を備える。検知部１２は、素子部２０と出力回路部１６とを備える。 1. First embodiment 1-1. Configuration of Electrochemical Gas Sensor The electrochemical gas sensor 10 shown in FIG. 1 is a gas sensor that detects the concentration of a gas to be detected contained in a target gas. The electrochemical gas sensor 10 is also simply referred to as a gas sensor 10. In a typical example of the electrochemical gas sensor 10 described below, the detected gas is ozone (ozone gas). That is, the gas sensor 10 shown in FIG. 1 functions as an ozone gas sensor that detects the concentration of ozone gas. The gas sensor 10 mainly includes a detection section 12 and a control section 14. The detection section 12 includes an element section 20 and an output circuit section 16.

素子部２０は、上述された「水蒸気量の差に起因する電流」を評価する信号である第１信号Ｖ１と、上記対象気体に含まれる被検知ガスの濃度に応じた信号である第２信号Ｖ２とを生成する部分である。図２に示されるように、素子部２０は、第１検知素子２１と、第２検知素子２２と、第１格納部３１と、第２格納部３２と、第１導入口３１Ａと、第２導入口３２Ａと、水蒸気透過フィルタ２４と、第１防水フィルタ２７と、第２防水フィルタ２８と、ケース３０とを備える。 The element section 20 generates a first signal V1, which is a signal for evaluating the above-mentioned "current caused by the difference in the amount of water vapor", and a second signal, which is a signal corresponding to the concentration of the detected gas contained in the target gas. This is the part that generates V2. As shown in FIG. 2, the element section 20 includes a first detection element 21, a second detection element 22, a first storage section 31, a second storage section 32, a first introduction port 31A, and a second detection element 22. It includes an inlet 32A, a water vapor permeable filter 24, a first waterproof filter 27, a second waterproof filter 28, and a case 30.

ケース３０は、第１格納部３１、第２格納部３２、第１検知素子２１、第２検知素子２２などを収容する収容部である。ケース３０には、ケース３０の外側の空間９０とケース３０の内側の空間９２とを連通する開口部３０Ａが設けられている。図２には、開口部３０Ａの一例が示されているが、ケース３０の外側の空間９０に存在する気体をケース３０の内側の空間９２に導入し得る構成であれば、開口部３０Ａの構成は限定されない。また、図２の例では、第１導入口３１Ａ及び第２導入口３２Ａがケース３０内に存在するが、第１導入口３１Ａ及び第２導入口３２Ａがケース３０外の空間９０に存在してもよい。即ち、空間９０から水蒸気透過フィルタ２４、第１防水フィルタ２７、第２防水フィルタ２８に直接気体が入り込む構成であってもよい。 The case 30 is a housing section that houses a first storage section 31, a second storage section 32, a first sensing element 21, a second sensing element 22, and the like. The case 30 is provided with an opening 30A that communicates a space 90 outside the case 30 with a space 92 inside the case 30. Although an example of the opening 30A is shown in FIG. 2, the configuration of the opening 30A may be any configuration that can introduce the gas present in the space 90 outside the case 30 into the space 92 inside the case 30. is not limited. Further, in the example of FIG. 2, the first introduction port 31A and the second introduction port 32A exist inside the case 30, but the first introduction port 31A and the second introduction port 32A exist in the space 90 outside the case 30. Good too. That is, a configuration may be adopted in which gas directly enters the water vapor permeable filter 24, the first waterproof filter 27, and the second waterproof filter 28 from the space 90.

第１実施形態において、ガスセンサ１０が被検知ガスの濃度を検知する「対象気体」とは、ケース３０の外側の空間９０に存在する気体であり、ケース３０に形成された開口部３０Ａを介して、内側の空間９２に入り込む気体である。図２の例では、空間９０，９２に存在する気体が「対象気体」の一例に相当する。空間９０，９２は、第１格納部３１の外側の外部空間の一例に相当する。 In the first embodiment, the “target gas” for which the gas sensor 10 detects the concentration of the gas to be detected is the gas that exists in the space 90 outside the case 30. , gas that enters the inner space 92. In the example of FIG. 2, the gases existing in spaces 90 and 92 correspond to an example of "target gas." The spaces 90 and 92 correspond to an example of an external space outside the first storage section 31.

ケース３０の内部には、第１格納部３１及び第２格納部３２が設けられている。第１格納部３１は、自身の内部に第１検知素子２１を格納する部分である。第１格納部３１は、第１検知素子２１を格納する内部空間９３が自身の内部に構成される。第１格納部３１は、第１検知素子２１の周囲を囲む側壁部３１Ｂと第１検知素子２１の下側を塞ぐ底壁部３１Ｃとを有し、上部に開口部（第１導入口３１Ａ）が設けられた箱状の形態をなす。具体的には上壁部３１Ｄと底壁部３１Ｃとが上下に対向し、上壁部３１Ｄが側壁部３１Ｂの上端部に連結され、底壁部３１Ｃが側壁部３１Ｂの下端部に連結され、上壁部３１Ｄに上記開口部（第１導入口３１Ａ）が形成されている。図２の例では、後述される水蒸気透過フィルタ２４の厚さ方向が上下方向である。第１格納部３１において、上壁部３１Ｄ側（第１導入口３１Ａが設けられた側）が上側であり、底壁部３１Ｃ側が下側である。 Inside the case 30, a first storage section 31 and a second storage section 32 are provided. The first storage section 31 is a section that stores the first sensing element 21 therein. The first storage section 31 has an internal space 93 that stores the first sensing element 21 therein. The first storage section 31 has a side wall section 31B that surrounds the first sensing element 21, a bottom wall section 31C that closes the lower side of the first sensing element 21, and an opening (first introduction port 31A) at the top. It has a box-like shape. Specifically, the top wall 31D and the bottom wall 31C face each other vertically, the top wall 31D is connected to the top end of the side wall 31B, and the bottom wall 31C is connected to the bottom end of the side wall 31B. The opening (first introduction port 31A) is formed in the upper wall portion 31D. In the example of FIG. 2, the thickness direction of the water vapor permeable filter 24, which will be described later, is the vertical direction. In the first storage section 31, the upper wall 31D side (the side where the first introduction port 31A is provided) is the upper side, and the bottom wall 31C side is the lower side.

第１導入口３１Ａは、第１格納部３１に形成された開口部である。第１導入口３１Ａは、気体を導入するように機能し得る流路である。第１導入口３１Ａは、第１格納部３１の一部をなす上壁部３１Ｄにおいて、上下に貫通した形態で設けられている。第１導入口３１Ａは、第１格納部３１の外側の外部空間（空間９０，９２）と第１格納部３１の内側の内部空間９３との間において気体が通過する経路をなす。 The first introduction port 31A is an opening formed in the first storage section 31. The first introduction port 31A is a flow path that can function to introduce gas. The first introduction port 31A is provided in an upper wall portion 31D that forms a part of the first storage portion 31 so as to vertically penetrate through the upper wall portion 31D. The first introduction port 31A forms a path through which gas passes between the external space (spaces 90, 92) outside the first storage section 31 and the internal space 93 inside the first storage section 31.

水蒸気透過フィルタ２４は、第１導入口３１Ａに設けられるフィルタである。水蒸気透過フィルタ２４は、外部空間（空間９０，９２）から内部空間９３への水蒸気の透過を許容し、上記外部空間（空間９０，９２）から内部空間９３へのオゾン（オゾンガス）の透過を実質的に遮断する。水蒸気透過フィルタ２４では、体積ベースで、オゾンガスの透過量が水蒸気の透過量の５０分の１以下である。水蒸気透過フィルタ２４は、第１導入口３１Ａを塞ぐ構成で設けられている。従って、外部空間（空間９０，９２）から内部空間９３へ入り込む気体は、水蒸気透過フィルタ２４を通過して内部空間９３に入り込む。 The water vapor permeation filter 24 is a filter provided at the first introduction port 31A. The water vapor permeable filter 24 allows the permeation of water vapor from the external space (spaces 90, 92) to the internal space 93, and substantially prevents the permeation of ozone (ozone gas) from the external space (spaces 90, 92) to the internal space 93. to block the target. In the water vapor permeable filter 24, the amount of ozone gas permeated is 1/50 or less of the amount of water vapor permeated on a volume basis. The water vapor permeation filter 24 is provided in a configuration that blocks the first introduction port 31A. Therefore, gas entering the internal space 93 from the external space (spaces 90, 92) passes through the water vapor permeable filter 24 and enters the internal space 93.

水蒸気透過フィルタ２４の厚さは、０μｍより大きく６０μｍ以下であることが望ましい。水蒸気透過フィルタ２４の厚さが６０μｍ以下であると、応答性の面で有利である。より望ましくは、水蒸気透過フィルタ２４の厚さが３０μｍ以下であるとよい。水蒸気透過フィルタ２４の厚さが３０μｍ以下であれば、応答性の面でより一層有利である。一方で、水蒸気透過フィルタ２４の厚さが１μｍ以上であることが、より望ましい。水蒸気透過フィルタ２４の厚さが１μｍ以上とされれば、製造上の観点から有利である。より望ましくは、水蒸気透過フィルタ２４の厚さが５μｍ以上であるとよい。水蒸気透過フィルタ２４の厚さが５μｍ以上であれば、製造面でより一層有利である。例えば、水蒸気透過フィルタ２４の厚さが１μｍ以上であって且つ３０μｍ以下であると、製造面と応答性の面でバランスのとれたものとなる。 The thickness of the water vapor permeable filter 24 is preferably greater than 0 μm and less than 60 μm. It is advantageous in terms of responsiveness that the thickness of the water vapor permeable filter 24 is 60 μm or less. More preferably, the thickness of the water vapor permeable filter 24 is 30 μm or less. If the thickness of the water vapor permeable filter 24 is 30 μm or less, it is even more advantageous in terms of responsiveness. On the other hand, it is more desirable that the thickness of the water vapor permeable filter 24 is 1 μm or more. It is advantageous from a manufacturing standpoint if the water vapor permeable filter 24 has a thickness of 1 μm or more. More preferably, the thickness of the water vapor permeable filter 24 is 5 μm or more. If the thickness of the water vapor permeable filter 24 is 5 μm or more, it is even more advantageous in terms of manufacturing. For example, if the thickness of the water vapor permeable filter 24 is 1 μm or more and 30 μm or less, it is well-balanced in terms of manufacturing and responsiveness.

第１防水フィルタ２７は、水蒸気やオゾンなどの気体の通過を許容し、液体の通過を実質的に遮断するフィルタである。第１防水フィルタ２７では、体積ベースで、液体の透過量が気体の透過量の５０分の１以下である。第１防水フィルタ２７は、第１導入口３１Ａを塞ぐ構成で設けられている。従って、外部空間（空間９０，９２）から内部空間９３へ入り込む気体は、第１防水フィルタ２７を通過して内部空間９３に入り込む。 The first waterproof filter 27 is a filter that allows gases such as water vapor and ozone to pass through, and substantially blocks the passage of liquids. In the first waterproof filter 27, the amount of liquid permeated is 1/50 or less of the amount of gas permeated on a volume basis. The first waterproof filter 27 is provided to block the first introduction port 31A. Therefore, gas entering the internal space 93 from the external space (spaces 90, 92) passes through the first waterproof filter 27 and enters the internal space 93.

第２格納部３２は、自身の内部に第２検知素子２２を格納する部分である。第２格納部３２は、第２検知素子２２を格納する内部空間９４が自身の内部に構成される。第２格納部３２は、第２検知素子２２の周囲を囲む側壁部３２Ｂと第２検知素子２２の下側を塞ぐ底壁部３２Ｃとを有し、上部に開口部（第２導入口３２Ａ）が設けられた箱状の形態をなす。具体的には上壁部３２Ｄと底壁部３２Ｃとが上下に対向し、上壁部３２Ｄが側壁部３２Ｂの上端部に連結され、底壁部３２Ｃが側壁部３２Ｂの下端部に連結され、上壁部３２Ｄに上記開口部（第２導入口３２Ａ）が形成されている。第２格納部３２において、上壁部３２Ｄ側（第２導入口３２Ａが設けられた側）が上側であり、底壁部３２Ｃ側が下側である。 The second storage section 32 is a section that stores the second sensing element 22 therein. The second storage section 32 has an internal space 94 that stores the second sensing element 22 therein. The second storage section 32 has a side wall section 32B surrounding the second sensing element 22 and a bottom wall section 32C that closes the lower side of the second sensing element 22, and has an opening (second introduction port 32A) at the top. It has a box-like shape. Specifically, the top wall 32D and the bottom wall 32C face each other vertically, the top wall 32D is connected to the top end of the side wall 32B, and the bottom wall 32C is connected to the bottom end of the side wall 32B. The opening (second introduction port 32A) is formed in the upper wall portion 32D. In the second storage section 32, the upper wall 32D side (the side where the second inlet 32A is provided) is the upper side, and the bottom wall 32C side is the lower side.

第２導入口３２Ａは、第２格納部３２に形成された開口部である。第２導入口３２Ａは、気体を導入するように機能し得る流路である。第２導入口３２Ａは、第２格納部３２の一部をなす上壁部３２Ｄにおいて、上下に貫通した形態で設けられている。第２導入口３２Ａは、第２格納部３２の外側の外部空間（空間９０又は空間９２）と第２格納部３２の内側の内部空間９４との間において気体が通過する経路をなす。 The second introduction port 32A is an opening formed in the second storage section 32. The second introduction port 32A is a flow path that can function to introduce gas. The second introduction port 32A is provided in an upper wall portion 32D that forms a part of the second storage portion 32 so as to vertically penetrate through the upper wall portion 32D. The second introduction port 32A forms a path through which gas passes between the external space (space 90 or space 92) outside the second storage section 32 and the internal space 94 inside the second storage section 32.

第２防水フィルタ２８は、水蒸気やオゾンなどの気体の通過を許容し、液体の通過を実質的に遮断するフィルタである。第２防水フィルタ２８では、体積ベースで、液体の透過量が気体の透過量の５０分の１以下である。第２防水フィルタ２８は、第２導入口３２Ａを塞ぐ構成で設けられている。従って、外部空間（空間９０，９２）から内部空間９４へ入り込む気体は、第２防水フィルタ２８を通過して内部空間９４に入り込む。 The second waterproof filter 28 is a filter that allows gases such as water vapor and ozone to pass through, but substantially blocks the passage of liquids. In the second waterproof filter 28, the amount of liquid permeated is 1/50 or less of the amount of gas permeated on a volume basis. The second waterproof filter 28 is provided to block the second introduction port 32A. Therefore, gas entering the internal space 94 from the external space (spaces 90, 92) passes through the second waterproof filter 28 and enters the internal space 94.

第１検知素子２１及び第２検知素子２２はいずれも、電気化学方式によりオゾン（オゾンガス）の濃度に応じた電流が流れる素子である。但し、第１検知素子２１及び第２検知素子２２はいずれも、素子内と素子外の水蒸気量の差に応じた起電力が発生する素子でもある。第１検知素子２１は、第２検知素子２２と同一の構成をなす。第１検知素子２１及び第２検知素子２２はいずれも、自身の周囲の空間にオゾンガスが存在すると、自身の検知電極（図示省略）において還元反応が生じ、自身の対向電極（図示省略）においては酸化反応が生じるため、このような反応によってオゾンガス濃度に応じた電流を流す。但し、第１検知素子２１及び第２検知素子２２はいずれも、オゾンガス濃度に応じた電流に加えて、「水蒸気量の差に起因する電流」も流す。具体的には、第１検知素子２１及び第２検知素子２２はいずれも、空間９２から流入する気体の水蒸気量と素子内部（素子内部の空間又は素子内部の電解液）の水蒸気量に差が生じると、この差に応じた電流を発生させる。 Both the first sensing element 21 and the second sensing element 22 are elements through which a current flows according to the concentration of ozone (ozone gas) using an electrochemical method. However, both the first sensing element 21 and the second sensing element 22 are elements that generate an electromotive force according to the difference in the amount of water vapor inside and outside the element. The first sensing element 21 has the same configuration as the second sensing element 22. In both the first sensing element 21 and the second sensing element 22, when ozone gas exists in the space around them, a reduction reaction occurs at their sensing electrodes (not shown), and at their counter electrodes (not shown). Since an oxidation reaction occurs, a current corresponding to the ozone gas concentration is caused by such a reaction. However, both the first sensing element 21 and the second sensing element 22 flow "a current caused by the difference in the amount of water vapor" in addition to the current according to the ozone gas concentration. Specifically, both the first sensing element 21 and the second sensing element 22 have a difference in the amount of water vapor in the gas flowing from the space 92 and the amount of water vapor inside the element (the space inside the element or the electrolyte inside the element). When this occurs, a current is generated according to this difference.

例えば、第１検知素子２１の検知電極と対向電極との間には、内部空間９３のオゾンガス濃度に応じた電流と、第１検知素子２１の内外の水蒸気量の差に起因する電流とが流れる。具体的には、内部空間９３を介して第１検知素子２１に供給されるオゾンガスによって第１検知素子２１内の電解液において上述の反応が生じることでオゾンガス濃度に応じた電流が流れ、この電流に加えて、第１検知素子２１の内外の水蒸気量の差に起因する電流が流れる。内部空間９３のオゾンガス濃度と、第１検知素子２１で生じる「オゾンガス濃度に応じた電流」との関係は、予め定められた演算式で特定される関係であり、内部空間９３のオゾンガス濃度が大きくなるほど第１検知素子２１で生じる「オゾンガス濃度に応じた電流」は大きくなる。但し、水蒸気透過フィルタ２４によって内部空間９３へのオゾンガスの流入は実質的に遮断されるため、第１検知素子２１では、オゾンガス濃度に応じた電流は流れないか、流れたとしても極めて微少である。 For example, a current depending on the ozone gas concentration in the internal space 93 and a current due to the difference in the amount of water vapor inside and outside the first sensing element 21 flow between the sensing electrode and the counter electrode of the first sensing element 21. . Specifically, the ozone gas supplied to the first sensing element 21 through the internal space 93 causes the above-mentioned reaction in the electrolyte in the first sensing element 21, causing a current corresponding to the ozone gas concentration to flow, and this current In addition to this, a current flows due to the difference in the amount of water vapor inside and outside the first sensing element 21 . The relationship between the ozone gas concentration in the internal space 93 and the "current according to the ozone gas concentration" generated in the first sensing element 21 is a relationship specified by a predetermined calculation formula, and the ozone gas concentration in the internal space 93 is large. Indeed, the "current according to the ozone gas concentration" generated in the first sensing element 21 becomes large. However, since the flow of ozone gas into the internal space 93 is substantially blocked by the water vapor permeable filter 24, the current corresponding to the ozone gas concentration does not flow in the first detection element 21, or even if it does, it is extremely small. .

同様に、第２検知素子２２の検知電極と対向電極との間には、内部空間９４のオゾンガス濃度に応じた電流と、第２検知素子２２の内外の水蒸気量の差に起因する電流とが流れる。具体的には、内部空間９４を介して第２検知素子２２に供給されるオゾンガスによって第２検知素子２２内の電解液において上述の反応が生じることでオゾンガス濃度に応じた電流が流れ、この電流に加えて、第２検知素子２２の内外の水蒸気量の差に起因する電流が流れる。内部空間９４のオゾンガス濃度と、第２検知素子２２で生じる「オゾンガス濃度に応じた電流」との関係は、予め定められた演算式で特定される関係であり、内部空間９４のオゾンガス濃度が大きくなるほど第２検知素子２２で生じる「オゾンガス濃度に応じた電流」は大きくなる。第１検知素子２１の内外での水蒸気量の差と、第２検知素子２２の内外での水蒸気量の差とが同程度であれば、第２検知素子２２で生じる「水蒸気量の差に起因する電流」と、第１検知素子２１で生じる「水蒸気量の差に起因する電流」とが同程度となる。 Similarly, a current depending on the ozone gas concentration in the internal space 94 and a current due to the difference in the amount of water vapor inside and outside the second sensing element 22 are generated between the sensing electrode and the counter electrode of the second sensing element 22. flows. Specifically, the ozone gas supplied to the second sensing element 22 through the internal space 94 causes the above-mentioned reaction in the electrolyte in the second sensing element 22, causing a current corresponding to the ozone gas concentration to flow, and this current In addition to this, a current flows due to the difference in the amount of water vapor inside and outside the second sensing element 22. The relationship between the ozone gas concentration in the internal space 94 and the "current according to the ozone gas concentration" generated in the second sensing element 22 is a relationship specified by a predetermined calculation formula, and the ozone gas concentration in the internal space 94 is large. Indeed, the "current according to the ozone gas concentration" generated in the second sensing element 22 becomes large. If the difference in the amount of water vapor inside and outside the first sensing element 21 and the difference in the amount of water vapor inside and outside the second sensing element 22 are about the same, then The current caused by the difference in the amount of water vapor generated in the first sensing element 21 is approximately the same as the current caused by the difference in the amount of water vapor.

出力回路部１６は、第１出力回路１６Ａと第２出力回路１６Ｂとを備える。第１出力回路１６Ａは、抵抗Ｒ１１，Ｒ１２及びオペアンプＯＰ１を有する。抵抗Ｒ１１の抵抗値はＲａであり、抵抗Ｒ１２の抵抗値はＲｂである。第１出力回路１６Ａは、第１検知素子２１で生じる電流Ｉａを電圧Ｖａに変換し、この電圧Ｖａを所定の増幅率（Ｒｂ／Ｒａ）で増幅した電圧Ｖ１を出力する回路である。第１出力回路１６Ａでは、第１検知素子２１で生じる電流Ｉａが抵抗Ｒ１１に流れ、電流Ｉａに応じた電圧Ｖａ（Ｖａ＝Ｉａ×Ｒａ）が抵抗Ｒ１１の両端に生じる。電圧Ｖａと、第１出力回路１６Ａが制御部１４に出力する電圧Ｖ１と、第１検知素子２１で生じる電流Ｉａとの関係は、Ｖ１＝Ｖａ×Ｒｂ／Ｒａ＝Ｉａ×Ｒｂである。 The output circuit section 16 includes a first output circuit 16A and a second output circuit 16B. The first output circuit 16A includes resistors R11, R12 and an operational amplifier OP1. The resistance value of the resistor R11 is Ra, and the resistance value of the resistor R12 is Rb. The first output circuit 16A is a circuit that converts the current Ia generated in the first sensing element 21 into a voltage Va, and outputs a voltage V1 obtained by amplifying this voltage Va by a predetermined amplification factor (Rb/Ra). In the first output circuit 16A, the current Ia generated in the first sensing element 21 flows through the resistor R11, and a voltage Va (Va=Ia×Ra) corresponding to the current Ia is generated across the resistor R11. The relationship between the voltage Va, the voltage V1 outputted by the first output circuit 16A to the control unit 14, and the current Ia generated in the first sensing element 21 is V1=Va×Rb/Ra=Ia×Rb.

同様に、第２出力回路１６Ｂは、抵抗Ｒ２１，Ｒ２２及びオペアンプＯＰ２を有する。抵抗Ｒ２１の抵抗値はＲｃであり、抵抗Ｒ２２の抵抗値はＲｄである。第２出力回路１６Ｂは、第２検知素子２２で生じる電流Ｉｂを電圧Ｖｂに変換し、この電圧Ｖｂを所定の増幅率（Ｒｄ／Ｒｃ）で増幅した電圧Ｖ２を出力する回路である。第２出力回路１６Ｂでは、第２検知素子２２で生じる電流Ｉｂが抵抗Ｒ２１に流れ、電流Ｉｂに応じた電圧Ｖｂ（Ｖｂ＝Ｉｂ×Ｒｃ）が抵抗Ｒ２１の両端に生じる。電圧Ｖｂと、第２出力回路１６Ｂが制御部１４に出力する電圧Ｖ２と、第２検知素子２２で生じる電流Ｉｂとの関係は、Ｖ２＝Ｖｂ×Ｒｄ／Ｒｃ＝Ｉｂ×Ｒｄである。 Similarly, the second output circuit 16B includes resistors R21 and R22 and an operational amplifier OP2. The resistance value of the resistor R21 is Rc, and the resistance value of the resistor R22 is Rd. The second output circuit 16B is a circuit that converts the current Ib generated in the second sensing element 22 into a voltage Vb, and outputs a voltage V2 obtained by amplifying this voltage Vb by a predetermined amplification factor (Rd/Rc). In the second output circuit 16B, the current Ib generated in the second sensing element 22 flows through the resistor R21, and a voltage Vb (Vb=Ib×Rc) corresponding to the current Ib is generated across the resistor R21. The relationship between the voltage Vb, the voltage V2 outputted by the second output circuit 16B to the control unit 14, and the current Ib generated in the second sensing element 22 is V2=Vb×Rd/Rc=Ib×Rd.

湿度センサ１５は、例えば、空間９０の絶対湿度を検知する公知構成の絶対湿度センサとして構成されている。なお、湿度センサ１５は、相対湿度センサとして構成されていてもよい。湿度センサ１５は、省略されてもよい。 The humidity sensor 15 is configured, for example, as an absolute humidity sensor with a known configuration that detects the absolute humidity of the space 90. Note that the humidity sensor 15 may be configured as a relative humidity sensor. Humidity sensor 15 may be omitted.

制御部１４は、演算機能、情報処理機能、制御機能などを有する情報処理装置として構成されている。制御部１４は、ＡＤ変換器やＭＣＵ（Micro Controller Unit）などを備える。制御部１４には、第１出力回路１６Ａから電圧Ｖ１が入力され、第２出力回路１６Ｂから電圧Ｖ２が入力される。制御部１４は、電圧Ｖ１，Ｖ２をデジタル信号に変換することができ、電圧Ｖ１，Ｖ２を用いた演算を行い得る。 The control unit 14 is configured as an information processing device having a calculation function, an information processing function, a control function, and the like. The control unit 14 includes an AD converter, an MCU (Micro Controller Unit), and the like. The control unit 14 receives the voltage V1 from the first output circuit 16A and the voltage V2 from the second output circuit 16B. The control unit 14 can convert the voltages V1 and V2 into digital signals, and can perform calculations using the voltages V1 and V2.

１－２．オゾンガス濃度の算出方法
本実施形態のガスセンサ１０は、例えば、Ｒａ＝Ｒｃ且つＲｂ＝Ｒｄであり、第１出力回路１６Ａでの増幅率と第２出力回路１６Ｂでの増幅率とが同一とされている。そして、第１検知素子２１と第２検知素子２２とが同一の素子であり、第１検知素子２１では水蒸気量の差に起因する電流（第１検知素子２１内外の水蒸気量の差に応じた電流）が流れ、第２検知素子２２では水蒸気量の差に起因する電流（第２検知素子２２内外の水蒸気量の差に応じた電流）に加え、外部空間９２のオゾン濃度に応じた電流が重畳されて流れるように構成されている。従って、Ｖ２－Ｖ１の値は、第１検知素子２１及び第２検知素子２２で生じる「水蒸気量の差に起因する電流」の影響をキャンセルした値であり、空間９２のオゾンガス濃度に応じた電圧値である。 1-2. Method for calculating ozone gas concentration In the gas sensor 10 of this embodiment, for example, Ra=Rc and Rb=Rd, and the amplification factor in the first output circuit 16A and the amplification factor in the second output circuit 16B are the same. There is. The first sensing element 21 and the second sensing element 22 are the same element, and the first sensing element 21 generates a current due to the difference in the amount of water vapor (a current that is generated according to the difference in the amount of water vapor inside and outside the first sensing element 21). In addition to the current caused by the difference in the amount of water vapor inside and outside the second sensing element 22 (current corresponding to the difference in the amount of water vapor inside and outside the second sensing element 22), a current corresponding to the ozone concentration in the external space 92 flows. They are arranged so that they overlap and flow. Therefore, the value of V2-V1 is a value that cancels the influence of "current caused by the difference in the amount of water vapor" generated in the first sensing element 21 and the second sensing element 22, and is a voltage corresponding to the ozone gas concentration in the space 92. It is a value.

検知部１２では、空間９２のオゾンガス濃度Ｙ１が大きいほど、Ｖ２－Ｖ１の値が大きくなるように、Ｖ２－Ｖ１の値とオゾンガス濃度Ｙ１との間には、相関関係がある。この相関関係は、例えば、Ｙ１＝β（Ｖ２－Ｖ１）＋Ｂの関係式（直線式）で表すことができる。この関係式では、Ｂの値は、予め定められた固定値（定数）である。βの値は、予め定められた固定値（定数）であってもよいが、絶対湿度に基づいて定まる変数であってもよい。つまり、上記関係式（直線式）における傾きβの値は、絶対湿度に応じて補正されてもよい。 In the detection unit 12, there is a correlation between the value of V2-V1 and the ozone gas concentration Y1 such that the value of V2-V1 increases as the ozone gas concentration Y1 of the space 92 increases. This correlation can be expressed, for example, by a relational expression (linear expression): Y1=β(V2−V1)+B. In this relational expression, the value of B is a predetermined fixed value (constant). The value of β may be a predetermined fixed value (constant), or may be a variable determined based on absolute humidity. That is, the value of the slope β in the above relational expression (linear expression) may be corrected according to the absolute humidity.

以下で説明される代表例では、β＝ｍ×α＋ｎの補正式によってβを求める。この補正式において、ｍ、ｎは、予め定められた固定値である。αは、対象気体の絶対湿度である。具体的には、例えば、湿度センサ１５が検知した空間９０，９２の絶対湿度がαである。βは、上記関係式（Ｙ１＝β（Ｖ２－Ｖ１）＋Ｂ）の傾きに相当するため、βの値を調整することで、Ｙ１とＶ２－Ｖ１との関係を補正することができる。例えば、βの値がβ１のときの関係式が図３で示される直線Ｌ１のようになる場合、βの値をβ２、β３に調整することで、関係式を直線Ｌ２、Ｌ３のように調整することができる。 In the representative example described below, β is determined by the correction formula β=m×α+n. In this correction formula, m and n are predetermined fixed values. α is the absolute humidity of the target gas. Specifically, for example, the absolute humidity of the spaces 90 and 92 detected by the humidity sensor 15 is α. Since β corresponds to the slope of the above relational expression (Y1=β(V2-V1)+B), the relationship between Y1 and V2-V1 can be corrected by adjusting the value of β. For example, if the relational expression when the value of β is β1 becomes the straight line L1 shown in Figure 3, by adjusting the value of β to β2 and β3, the relational expression is adjusted to become the straight line L2 and L3 can do.

上述された例では、βの値が感度の一例に相当する。そして、制御部１４が感度設定部の一例に相当し、湿度センサ１５が検知する対象気体の絶対湿度αに基づいて感度βを設定する。そして、制御部１４が濃度特性部の一例に相当し、第１検知素子２１の出力Ｉａと、第２検知素子２２の出力Ｉｂと、感度βと、に基づき、上記関係式及び上記補正式により、オゾンガス（被検知ガス）の濃度Ｙ１を算出する。 In the example described above, the value of β corresponds to an example of sensitivity. The control unit 14 corresponds to an example of a sensitivity setting unit, and sets the sensitivity β based on the absolute humidity α of the target gas detected by the humidity sensor 15. The control unit 14 corresponds to an example of a concentration characteristic unit, and based on the output Ia of the first detection element 21, the output Ib of the second detection element 22, and the sensitivity β, the above relational expression and the above correction expression are used. , the concentration Y1 of ozone gas (detected gas) is calculated.

なお、オゾンガスの濃度は、算出された濃度Ｙ１をそのまま採用してもよいが、応答遅れを想定すると、移動平均を適用することが望ましい。例えば、所定の時間間隔でオゾンガスの濃度Ｙ１を周期的に繰り返し検出する場合には、直近のｎ個のデータ（濃度Ｙ１）の平均を求めるように単純移動平均を算出し、その値をオゾンガス濃度として採用してもよい。 Note that the calculated concentration Y1 may be used as is for the concentration of ozone gas, but assuming a response delay, it is desirable to apply a moving average. For example, when detecting the ozone gas concentration Y1 periodically and repeatedly at predetermined time intervals, a simple moving average is calculated to find the average of the latest n data (concentration Y1), and the value is used as the ozone gas concentration It may be adopted as

このように、ガスセンサ１０は、水蒸気の影響をキャンセルしてオゾンガス濃度Ｙ１を求めることができるため、０以上且つ１ｐｐｍ以下の低濃度のオゾンガスが検知可能である。より具体的には、ガスセンサ１０は、０以上かつ１００ｐｐｂ以下の極めて低い濃度のオゾンガスが検知可能である。 In this way, the gas sensor 10 can calculate the ozone gas concentration Y1 by canceling the influence of water vapor, and therefore can detect ozone gas at a low concentration of 0 or more and 1 ppm or less. More specifically, the gas sensor 10 can detect ozone gas at an extremely low concentration of 0 or more and 100 ppb or less.

１－３．実験結果
（実験１）
次の説明は、ガスセンサ１０の効果を評価するための実験１に関する。
実験１では、図１及び図２と同等の構成を有するガスセンサ１０が用意され、エアーコンディショナーによって湿度や温度が調整される室内に、そのガスセンサ１０の素子部２０が配置された。そして、実験１では、ガスセンサ１０により、上述された第１実施形態の方法でオゾンガスの濃度Ｙ１が検知された。実験１での濃度Ｙ１の検知結果は、図４において破線Ｓ３で示される。図４において、横軸は経過時間（ｍｉｎ（分））であり、縦軸（第１軸）は濃度（ｐｐｍ）である。 1-3. Experimental results (Experiment 1)
The following description relates to Experiment 1 for evaluating the effectiveness of the gas sensor 10.
In Experiment 1, a gas sensor 10 having a configuration similar to that shown in FIGS. 1 and 2 was prepared, and the element section 20 of the gas sensor 10 was placed in a room where humidity and temperature were adjusted by an air conditioner. In Experiment 1, the ozone gas concentration Y1 was detected by the gas sensor 10 using the method of the first embodiment described above. The detection result of the concentration Y1 in Experiment 1 is shown by a broken line S3 in FIG. In FIG. 4, the horizontal axis is the elapsed time (min (minutes)), and the vertical axis (first axis) is the concentration (ppm).

実験１では、濃度Ｙ１の検知結果と比較するために、上記濃度Ｙ１の検知と並行して、対象空間（濃度Ｙ１を検知する空間である室内）のオゾンガス濃度が、分析計（荏原製作所 ＥＧ３０００Ｆ）によって検知された。上記対象空間のオゾンガス濃度を上記分析計によって検知した結果は、図４において太線Ｓ２で示される。太線Ｓ２の検知結果は、左側の第１軸と横軸とに対応する。 In Experiment 1, in parallel with the detection of the concentration Y1, the ozone gas concentration in the target space (the room where the concentration Y1 is detected) was measured using an analyzer (Ebara Corporation EG3000F) in order to compare it with the detection result of the concentration Y1. detected by. The result of detecting the ozone gas concentration in the target space by the analyzer is shown by a thick line S2 in FIG. The detection result indicated by the thick line S2 corresponds to the first axis on the left side and the horizontal axis.

実験１では、絶対湿度の影響（即ち、空間に存在する水蒸気量の影響）を評価するために、上記濃度Ｙ１の検知と並行して、上記対象空間の絶対湿度の検知が行われた。上記対象空間の絶対湿度を検知した結果は、図４において点線Ｓ１で示される。点線Ｓ１の検知結果は、右側の第２軸と横軸とに対応する。第２軸は、絶対湿度（ｇ／ｍ３）である。 In Experiment 1, in order to evaluate the influence of absolute humidity (that is, the influence of the amount of water vapor present in the space), the absolute humidity of the target space was detected in parallel with the detection of the concentration Y1. The result of detecting the absolute humidity in the target space is indicated by a dotted line S1 in FIG. The detection result indicated by the dotted line S1 corresponds to the second axis on the right side and the horizontal axis. The second axis is absolute humidity (g/m3).

実験１では、電圧Ｖ１を用いない場合（水蒸気の影響をキャンセルしない場合）の測定結果を評価するために、上記濃度Ｙ１の検知と並行して、上記対象空間のオゾンガス濃度を電圧Ｖ２のみによって検知した場合（第２検知素子２２のみによって検知した場合）の測定結果を得た。電圧Ｖ２のみによってオゾンガス濃度を検知した場合の測定結果は、図４において実線Ｓ４で示される。実線Ｓ４の検知結果は、左側の第１軸と横軸とに対応する。 In Experiment 1, in order to evaluate the measurement results when the voltage V1 is not used (when the influence of water vapor is not canceled), the ozone gas concentration in the target space is detected using only the voltage V2 in parallel with the detection of the concentration Y1. The measurement results were obtained for the case in which the detection was performed using only the second sensing element 22. The measurement result when the ozone gas concentration is detected using only the voltage V2 is shown by a solid line S4 in FIG. The detection result indicated by the solid line S4 corresponds to the first axis on the left side and the horizontal axis.

実験１の実験結果によると、電圧Ｖ２のみによってオゾンガス濃度を検知した場合、絶対湿度の変化の影響（即ち、水蒸気量の変化の影響）を大きく受け、特に、絶対湿度が大きく変動した場合には、オゾンガス濃度の検知結果が、分析計によるオゾンガス濃度の検知結果から大きくずれてしまう。これに対し、ガスセンサ１０によって濃度Ｙ１を検知した場合、絶対湿度が大きく変動しても分析計が検出するオゾンガス濃度から大きくずれないため、絶対湿度の影響が抑えられていることがわかる。 According to the experimental results of Experiment 1, when ozone gas concentration is detected only by voltage V2, it is greatly affected by changes in absolute humidity (that is, changes in water vapor amount), especially when absolute humidity fluctuates greatly. , the detection result of the ozone gas concentration deviates significantly from the detection result of the ozone gas concentration by the analyzer. On the other hand, when the concentration Y1 is detected by the gas sensor 10, it does not deviate greatly from the ozone gas concentration detected by the analyzer even if the absolute humidity varies greatly, so it can be seen that the influence of the absolute humidity is suppressed.

（実験２）
実験２では、図１及び図２と同等の構成を有するガスセンサ１０が２種類用意された。２種類のガスセンサ１０の相違点は、水蒸気透過フィルタ２４の厚さ（膜厚）のみである。一方のガスセンサ１０は、水蒸気透過フィルタ２４の厚さが６０μｍである。他方のガスセンサ１０は、水蒸気透過フィルタ２４の厚さが１２μｍである。実験２では、エアーコンディショナーによって湿度や温度が調整される室内に、２種類のガスセンサ１０の素子部２０がそれぞれ配置された。そして、２種類のガスセンサ１０の各々により、上述された第１実施形態の方法でオゾンガスの濃度Ｙ１がそれぞれ検知された。厚さ１２μｍの水蒸気透過フィルタ２４を用いたガスセンサ１０による濃度Ｙ１の検知結果は、図５において一点鎖線Ｓ５で示される。厚さ６０μｍの水蒸気透過フィルタ２４を用いたガスセンサ１０による濃度Ｙ１の検知結果は、図５において実線Ｓ６で示される。図５において、横軸は経過時間（ｍｉｎ（分））であり、縦軸は濃度（ｐｐｍ）である。 (Experiment 2)
In Experiment 2, two types of gas sensors 10 having the same configuration as those in FIGS. 1 and 2 were prepared. The only difference between the two types of gas sensors 10 is the thickness (film thickness) of the water vapor permeable filter 24. In one gas sensor 10, the water vapor permeable filter 24 has a thickness of 60 μm. In the other gas sensor 10, the water vapor permeable filter 24 has a thickness of 12 μm. In Experiment 2, the element sections 20 of two types of gas sensors 10 were placed in a room where humidity and temperature were adjusted by an air conditioner. Then, the ozone gas concentration Y1 was detected by each of the two types of gas sensors 10 using the method of the first embodiment described above. The detection result of the concentration Y1 by the gas sensor 10 using the water vapor permeable filter 24 with a thickness of 12 μm is indicated by a dashed line S5 in FIG. The detection result of the concentration Y1 by the gas sensor 10 using the water vapor permeable filter 24 with a thickness of 60 μm is indicated by a solid line S6 in FIG. In FIG. 5, the horizontal axis is the elapsed time (min (minutes)), and the vertical axis is the concentration (ppm).

実験２では、両ガスセンサ１０による濃度Ｙ１の検知結果と比較するために、両ガスセンサ１０による検知と並行して、対象空間（濃度Ｙ１を検知する空間である室内）のオゾンガス濃度が、分析計（荏原製作所 ＥＧ２０００）によって検知された。上記対象空間のオゾンガス濃度を上記分析計によって検知した結果は、図５において太線Ｓ７で示される。 In Experiment 2, in parallel with the detection by both gas sensors 10, the ozone gas concentration in the target space (the room where the concentration Y1 is detected) was measured using an analyzer ( Detected by Ebara Corporation EG2000). The result of detecting the ozone gas concentration in the target space by the analyzer is shown by a thick line S7 in FIG.

実験２では、電圧Ｖ１を用いない場合（水蒸気の影響をキャンセルしない場合）の測定結果を評価するために、上記濃度Ｙ１の検知と並行して、上記対象空間のオゾンガス濃度を電圧Ｖ２のみによって検知した場合（第２検知素子２２のみによって検知した場合）の測定結果を得た。電圧Ｖ２のみによってオゾンガス濃度を検知した場合の測定結果は、図５において二点鎖線Ｓ８で示される。 In Experiment 2, in order to evaluate the measurement results when the voltage V1 is not used (when the influence of water vapor is not canceled), in parallel with the detection of the concentration Y1, the ozone gas concentration in the target space was detected using only the voltage V2. The measurement results were obtained for the case in which the detection was performed using only the second sensing element 22. The measurement result when the ozone gas concentration is detected only by the voltage V2 is shown by a two-dot chain line S8 in FIG.

図５における期間Ｔ１のように、分析計によって検知されるオゾンガス濃度が大きく変化していないにもかかわらず、二点鎖線Ｓ８の測定結果（水蒸気の影響をキャンセルしない場合の測定結果）が大きく変化する場合、その期間Ｔ１は、オゾンガス濃度の大きな変化がなく、絶対湿度が急に変化した時間帯（即ち、空間の水蒸気量が急に変化した時間帯）であると言える。実験２の実験結果によると、このように絶対湿度が急に変化した時間帯において、実線Ｓ６の検知結果よりも一点鎖線Ｓ５の検知結果のほうが、太線Ｓ７の検知結果（分析計による検知結果）に対するずれが小さくなっている。つまり、水蒸気透過フィルタ２４の厚さが相対的に小さいガスセンサ１０のほうが、絶対湿度の急激な変化が生じても、絶対湿度の影響を応答性よくキャンセルできている。 As shown in period T1 in Fig. 5, the measurement result indicated by the two-dot chain line S8 (the measurement result when the influence of water vapor is not canceled) changes significantly even though the ozone gas concentration detected by the analyzer does not change significantly. In this case, it can be said that the period T1 is a time period in which there is no large change in the ozone gas concentration and the absolute humidity suddenly changes (that is, a time period in which the amount of water vapor in the space suddenly changes). According to the experimental results of Experiment 2, in the time period when the absolute humidity suddenly changes like this, the detection result of the dashed-dotted line S5 is higher than the detection result of the solid line S6 (the detection result of the thick line S7) (the detection result by the analyzer) The deviation is smaller. In other words, the gas sensor 10 in which the water vapor permeable filter 24 has a relatively small thickness is able to cancel out the influence of absolute humidity with better responsiveness even if a sudden change in absolute humidity occurs.

１－４．ガスセンサによる効果の例
電気化学式ガスセンサでは、素子内部と素子外部の水蒸気量に差が生じると水蒸気量の差に起因する起電力が生じ、水蒸気量の差に起因する電流が流れるという懸念がある。そして、被検知ガス（例えば、オゾンガス）の濃度が１ｐｐｍ以下であるような低濃度の対象気体では、被検知ガスの濃度を検知する上で、水蒸気量の差に起因する電流の影響が大きくなりやすい。この点に関し、ガスセンサ１０では、第１検知素子２１が、対象気体から被検知ガスを実質的に除いた状態で被検知ガスの濃度を検知するため、水蒸気量の差に起因する電流の影響を評価することができる。一方、第２検知素子２２は、水蒸気と被検知ガスとを含んだ成分を対象として濃度を検知することができる。つまり、ガスセンサ１０は、第１検知素子２１による検知結果（水蒸気量の差に起因する電流の影響を評価した結果）を、第２検知素子２２による被検知ガスの濃度検知に利用することができるため、被検知ガスの濃度が低い対象気体において被検知ガスの濃度を正確に検知する上で有利である。ゆえに、ガスセンサ１０は、対象気体に含まれる被検知ガスの濃度が１ｐｐｍ以下の低濃度であっても、被検知ガスの濃度をより正確に検知することができる。 1-4. Examples of effects of gas sensors In electrochemical gas sensors, there is a concern that if there is a difference in the amount of water vapor inside and outside the element, an electromotive force will be generated due to the difference in the amount of water vapor, and a current will flow due to the difference in the amount of water vapor. In the case of a low-concentration target gas (for example, ozone gas) with a concentration of 1 ppm or less, the influence of the current due to the difference in the amount of water vapor becomes large in detecting the concentration of the target gas. Cheap. In this regard, in the gas sensor 10, the first detection element 21 detects the concentration of the gas to be detected in a state where the gas to be detected is substantially removed from the target gas, so the influence of current caused by the difference in the amount of water vapor is eliminated. can be evaluated. On the other hand, the second detection element 22 can detect the concentration of a component containing water vapor and a gas to be detected. In other words, the gas sensor 10 can use the detection result by the first detection element 21 (the result of evaluating the influence of the current caused by the difference in the amount of water vapor) to detect the concentration of the gas to be detected by the second detection element 22. Therefore, it is advantageous in accurately detecting the concentration of the gas to be detected in a target gas where the concentration of the gas to be detected is low. Therefore, the gas sensor 10 can more accurately detect the concentration of the gas to be detected even if the concentration of the gas to be detected contained in the target gas is as low as 1 ppm or less.

また、ガスセンサ１０のように、水蒸気透過フィルタ２４が６０μｍ以下の厚さで構成されれば、第１検知素子２１によって検知を行う上で、湿度変化に対する応答性の低下がより抑えられる。 Further, if the water vapor permeable filter 24 is configured to have a thickness of 60 μm or less, as in the gas sensor 10, the decrease in responsiveness to humidity changes can be further suppressed when the first sensing element 21 performs detection.

ガスセンサ１０は、より具体的には、０以上かつ１００ｐｐｂ以下の濃度の被検知ガスを検知可能とされている。被検知ガスの濃度が１００ｐｐｂ以下であるような極めて低濃度の対象気体では、被検知ガスの濃度を検知する上で、「水蒸気量の差に起因する電流」の影響が一層大きくなりやすい。この点に関し、ガスセンサ１０は、「水蒸気量の差に起因する電流」の影響を正確に評価し、その評価結果を反映して被検知ガスの濃度を検知することができるため、被検知ガスの濃度が１００ｐｐｂ以下の気体を対象とする場合に、非常に有用である。 More specifically, the gas sensor 10 is capable of detecting a gas having a concentration of 0 or more and 100 ppb or less. When the target gas has an extremely low concentration such as 100 ppb or less, the influence of "current caused by the difference in the amount of water vapor" tends to be even greater in detecting the concentration of the gas to be detected. In this regard, the gas sensor 10 can accurately evaluate the influence of "current caused by the difference in the amount of water vapor" and detect the concentration of the detected gas by reflecting the evaluation result. It is very useful when targeting gases with a concentration of 100 ppb or less.

ガスセンサ１０は、濃度特定部の一例に相当する制御部１４を有し、第１検知素子２１及び第２検知素子２２の出力と感度βとに基づいて被検知ガス（オゾンガス）の濃度を特定することができる。しかも、ガスセンサ１０は、実測された対象気体の湿度に基づいて感度βを調整することができるため、検知時の対象気体の湿度に合わせて感度βの適正化を図ることができる。 The gas sensor 10 includes a control unit 14 that corresponds to an example of a concentration specifying unit, and specifies the concentration of the detected gas (ozone gas) based on the outputs of the first detection element 21 and the second detection element 22 and the sensitivity β. be able to. Moreover, since the gas sensor 10 can adjust the sensitivity β based on the actually measured humidity of the target gas, it is possible to optimize the sensitivity β in accordance with the humidity of the target gas at the time of detection.

ガスセンサ１０は、被検知ガスがオゾン（オゾンガス）とされている。ガスセンサ１０によってオゾンの濃度を検知する場合、水蒸気がノイズとなってオゾン濃度の正確な検知が阻害される懸念がある。特に、オゾンの濃度が低い気体を対象とする場合、「水蒸気量の差に起因する電流」の影響が相対的に大きくなるため、このような問題がより顕著になる。しかし、ガスセンサ１０は、「水蒸気量の差に起因する電流」の影響を正確に評価し、オゾンの濃度を検知するために利用することができるため、オゾン濃度が低い対象気体においてオゾン濃度を正確に検知する上で、極めて有利である。 The gas to be detected in the gas sensor 10 is ozone (ozone gas). When detecting the ozone concentration using the gas sensor 10, there is a concern that water vapor becomes noise and hinders accurate detection of the ozone concentration. In particular, when a gas with a low concentration of ozone is targeted, the influence of "current caused by the difference in water vapor content" becomes relatively large, and this problem becomes more pronounced. However, the gas sensor 10 can accurately evaluate the influence of "current caused by the difference in the amount of water vapor" and can be used to detect the ozone concentration, so it can accurately measure the ozone concentration in target gases with low ozone concentrations. This is extremely advantageous for detection.

１－５．オゾン発生器
図６には、上述されたガスセンサ１０を備えたオゾン発生器１００が示される。オゾン発生器１００は、加湿機能付きのオゾン発生器１００である。オゾン発生器１００は、オゾン検知システムの一例に相当する。オゾン発生器１００は、加湿器の一例に相当する。 1-5. Ozone Generator FIG. 6 shows an ozone generator 100 including the gas sensor 10 described above. The ozone generator 100 is an ozone generator 100 with a humidifying function. Ozone generator 100 corresponds to an example of an ozone detection system. Ozone generator 100 corresponds to an example of a humidifier.

オゾン発生器１００は、ガスセンサ１０と、オゾン発生装置１０２と、ファン１０４と、加湿装置１１２と、ファン１１４と、ケース１２０とを備える。オゾン発生器１００に組み込まれるガスセンサ１０は、上述された検知部１２及び制御部１４以外に、通信部１７、表示部１８、記憶部１９なども有している。 The ozone generator 100 includes a gas sensor 10, an ozone generator 102, a fan 104, a humidifier 112, a fan 114, and a case 120. The gas sensor 10 incorporated into the ozone generator 100 also includes a communication section 17, a display section 18, a storage section 19, etc. in addition to the detection section 12 and control section 14 described above.

オゾン発生器１００では、ケース１２０に開口部１２２が設けられており、オゾン発生器１００の外部に存在する気体が、開口部１２２を介して検知部１２内に導入され得る構成となっている。つまり、オゾン発生器１００の外部の空間９０と素子部２０の空間９２は連通しており、相互に気体が出入りする構成となっている。 In the ozone generator 100, an opening 122 is provided in the case 120, and the gas present outside the ozone generator 100 can be introduced into the detection unit 12 through the opening 122. That is, the space 90 outside the ozone generator 100 and the space 92 of the element section 20 are in communication with each other, so that gas can flow in and out of each other.

通信部１７は、ガスセンサ１０の外部に設けられた外部装置と有線通信又は無線通信を行う部分である。通信部１７は、オゾン発生器１００の内部の装置と通信を行い得る構成であってもよく、オゾン発生器１００の外部の装置と通信を行い得る構成であってもよい。 The communication unit 17 is a part that performs wired or wireless communication with an external device provided outside the gas sensor 10. The communication unit 17 may be configured to be able to communicate with a device inside the ozone generator 100, or may be configured to be able to communicate with a device outside the ozone generator 100.

表示部１８は、文字や数字などの記号や絵柄などの画像を表示する部分である。表示部１８は、制御部１４と協働し、様々な情報を表示し得る。記憶部１９は、様々な情報を記憶する装置である。 The display section 18 is a section that displays symbols such as letters and numbers, and images such as pictures. The display unit 18 cooperates with the control unit 14 and can display various information. The storage unit 19 is a device that stores various information.

オゾン発生装置１０２は、オゾンガスを発生させる装置である。オゾン発生装置１０２がオゾン（オゾンガス）を発生させる方式は、公知の様々な方式を採用することができ、例えば、紫外線式、電気分解式、放電式などの公知方式を採用し得る。オゾン発生装置１０２は、自身が発生させたオゾンガスを供給管１０６に送り込む。 The ozone generator 102 is a device that generates ozone gas. The ozone generator 102 may use various known methods to generate ozone (ozone gas), such as an ultraviolet method, an electrolysis method, or a discharge method. The ozone generator 102 sends ozone gas generated by itself into the supply pipe 106.

供給管１０６は、オゾン発生装置１０２にて発生したオゾンガスをオゾン発生器１００の外部の空間９０へ誘導する管である。供給管１０６を流れる気体の流量及び流速は、ファン１０４によって調整される。ファン１０４は、ブロワー（送風機）として構成される。ファン１０４は、例えば複数の羽根を有する回転体（図示省略）と、この回転体を回転する動力部（図示が省略されたモータ等）と、動力部の回転を調整する駆動回路（図示省略）とを有しており、駆動回路は、回転体の回転数を制御部１４から指示された回転数に制御する。ファン１０４を構成する回転体の回転数が大きくなるほど、供給管１０６を流れる気体の流量及び流速は大きくなる。 The supply pipe 106 is a pipe that guides ozone gas generated in the ozone generator 102 to the space 90 outside the ozone generator 100. The flow rate and velocity of the gas flowing through the supply pipe 106 is regulated by the fan 104 . Fan 104 is configured as a blower. The fan 104 includes, for example, a rotating body (not shown) having a plurality of blades, a power unit (such as a motor not shown) that rotates the rotating body, and a drive circuit (not shown) that adjusts the rotation of the power unit. The drive circuit controls the rotation speed of the rotating body to the rotation speed instructed by the control unit 14. The higher the rotational speed of the rotating body constituting the fan 104, the higher the flow rate and velocity of the gas flowing through the supply pipe 106.

オゾン発生装置１０２が一定の発生速度でオゾンガスを発生させる場合、ファン１０４の回転数が大きくなるほど、供給管１０６を介して流れるオゾンガスの流量及び流速は大きくなる。従って、制御部１４は、ファン１０４の回転数を調整することで、オゾンガスの供給速度（単位時間当たりに空間９０に供給されるオゾンガスの量）を調整することができる。 When the ozone generator 102 generates ozone gas at a constant generation rate, the flow rate and velocity of the ozone gas flowing through the supply pipe 106 increase as the rotation speed of the fan 104 increases. Therefore, the control unit 14 can adjust the ozone gas supply rate (the amount of ozone gas supplied to the space 90 per unit time) by adjusting the rotation speed of the fan 104.

加湿装置１１２は、水蒸気又はミストを発生する装置である。加湿装置１１２が水蒸気又はミストを発生させる方式は、公知の様々な方式を採用することができ、例えば、スチーム式、超音波式、気化式、ハイブリッド式などの公知方式を採用し得る。加湿装置１１２は、自身が発生させた水蒸気又はミストを供給管１１６に送り込む。 The humidifier 112 is a device that generates water vapor or mist. The humidifying device 112 may use various known methods to generate water vapor or mist, such as a steam method, an ultrasonic method, a vaporization method, a hybrid method, or the like. The humidifier 112 sends water vapor or mist generated by itself into the supply pipe 116 .

供給管１１６は、加湿装置１１２にて発生した水蒸気又はミストをオゾン発生器１００の外部の空間９０へ誘導する管である。供給管１１６を流れる気体の流量及び流速は、ファン１１４によって調整される。ファン１１４は、ブロワー（送風機）として構成される。ファン１１４は、例えば複数の羽根を有する回転体（図示省略）と、この回転体を回転する動力部（図示が省略されたモータ等）と、動力部の回転を調整する駆動回路（図示省略）とを有しており、駆動回路は、回転体の回転数を制御部１４から指示された回転数に制御する。ファン１１４を構成する回転体の回転数が大きくなるほど、供給管１１６を流れる気体の流量及び流速は大きくなる。 The supply pipe 116 is a pipe that guides water vapor or mist generated in the humidifier 112 to the space 90 outside the ozone generator 100. The flow rate and velocity of gas flowing through supply pipe 116 is regulated by fan 114 . Fan 114 is configured as a blower. The fan 114 includes, for example, a rotating body (not shown) having a plurality of blades, a power unit (such as a motor not shown) that rotates the rotating body, and a drive circuit (not shown) that adjusts the rotation of the power unit. The drive circuit controls the rotation speed of the rotating body to the rotation speed instructed by the control unit 14. The higher the rotational speed of the rotating body constituting the fan 114, the higher the flow rate and velocity of the gas flowing through the supply pipe 116.

加湿装置１１２が一定の発生速度で水蒸気又はミストを発生させる場合、ファン１１４の回転数が大きくなるほど、供給管１１６を介して流れる水蒸気又はミストの流量及び流速は大きくなる。従って、制御部１４は、ファン１１４の回転数を調整することで、水蒸気又はミストの供給速度（単位時間当たりに空間９０に供給される水蒸気又はミストの量）を調整することができる。 When the humidifying device 112 generates steam or mist at a constant generation rate, the higher the rotation speed of the fan 114, the higher the flow rate and flow rate of the steam or mist flowing through the supply pipe 116. Therefore, the control unit 14 can adjust the supply speed of water vapor or mist (the amount of water vapor or mist supplied to the space 90 per unit time) by adjusting the rotation speed of the fan 114.

オゾン発生器１００では、上述された方法でガスセンサ１０が検知したオゾンガス濃度Ｙ１を利用することができる。例えば、制御部１４は、表示部１８と協働し、検知されたオゾンガス濃度Ｙ１（オゾン発生器１００が存在する空間９０のオゾンガス濃度）を数値として表示部１８に表示してもよい。また、制御部１４は、湿度センサ１５によって検知される絶対湿度（オゾン発生器１００が存在する空間９０の絶対湿度）を数値として表示部１８に表示してもよい。湿度センサ１５が相対温度センサとして機能する場合には、制御部１４は、湿度センサ１５によって特定される相対湿度（オゾン発生器１００が存在する空間９０の相対湿度）を表示部１８に表示してもよい。 The ozone generator 100 can utilize the ozone gas concentration Y1 detected by the gas sensor 10 using the method described above. For example, the control unit 14 may cooperate with the display unit 18 to display the detected ozone gas concentration Y1 (the ozone gas concentration in the space 90 where the ozone generator 100 exists) as a numerical value on the display unit 18. Further, the control unit 14 may display the absolute humidity detected by the humidity sensor 15 (absolute humidity of the space 90 where the ozone generator 100 exists) as a numerical value on the display unit 18. When the humidity sensor 15 functions as a relative temperature sensor, the control unit 14 displays the relative humidity specified by the humidity sensor 15 (the relative humidity of the space 90 where the ozone generator 100 is present) on the display unit 18. Good too.

制御部１４は、通信部１７と協働し、検知されたオゾンガス濃度Ｙ１をオゾン発生器１００の外部に設けられた外部装置に送信してもよい。或いは、制御部１４は、通信部１７と協働し、上記絶対湿度や上記相対湿度をオゾン発生器１００の外部に設けられた外部装置に送信してもよい。 The control unit 14 may cooperate with the communication unit 17 and transmit the detected ozone gas concentration Y1 to an external device provided outside the ozone generator 100. Alternatively, the control unit 14 may cooperate with the communication unit 17 to transmit the absolute humidity and the relative humidity to an external device provided outside the ozone generator 100.

１－６．制御の具体例
以下の例では、湿度センサ１５は、絶対湿度だけでなく、相対湿度を検知する機能も有するものである。オゾン発生器１００では、図１における湿度センサ１５が第１検知部の一例に相当し、外部空間９０の相対湿度Ｒ１を検知し、相対湿度Ｒ１の値を第１検出値として生成する。 1-6. Specific Example of Control In the following example, the humidity sensor 15 has a function of detecting not only absolute humidity but also relative humidity. In the ozone generator 100, the humidity sensor 15 in FIG. 1 corresponds to an example of a first detection section, detects the relative humidity R1 of the external space 90, and generates the value of the relative humidity R1 as a first detected value.

オゾン発生器１００では、図１、図２における検知部１２（第１格納部３１、水蒸気透過フィルタ２４、第１検知素子２１、第１出力回路１６Ａ，第２格納部３２、第２検知素子２２、及び第２出力回路１６Ｂ等）が第２検知部の一例に相当する。上述されたように、検知部１２（第２検知部）は、電気化学方式により外部空間９０のオゾン濃度に応じた第２検出値（Ｖ１，Ｖ２）を生成する。第２検出値（Ｖ１，Ｖ２）は、外部空間９０のオゾン濃度Ｙ１を特定するための情報である。 In the ozone generator 100, the detection section 12 (first storage section 31, water vapor transmission filter 24, first detection element 21, first output circuit 16A, second storage section 32, second detection element 22) shown in FIGS. , and the second output circuit 16B, etc.) correspond to an example of the second detection section. As described above, the detection unit 12 (second detection unit) generates the second detection values (V1, V2) according to the ozone concentration in the external space 90 using an electrochemical method. The second detected value (V1, V2) is information for specifying the ozone concentration Y1 in the external space 90.

オゾン発生器１００では、図６におけるオゾン発生装置１０２及びファン１０４がオゾン供給部の一例に相当する。上述されたように、オゾン供給部（オゾン発生装置１０２及びファン１０４）は、自身の外側の外部空間９０（具体的には、オゾン発生器１００の外側の外部空間）へオゾン（オゾンガス）を供給する。 In the ozone generator 100, the ozone generator 102 and fan 104 in FIG. 6 correspond to an example of an ozone supply section. As described above, the ozone supply unit (ozone generator 102 and fan 104) supplies ozone (ozone gas) to the external space 90 outside itself (specifically, the external space outside the ozone generator 100). do.

オゾン発生器１００では、図６における加湿装置１１２及びファン１１４が加湿部の一例に相当する。上述されたように、加湿部（加湿装置１１２及びファン１１４）は、オゾン発生器１００の外側の外部空間９０へ水蒸気又はミストを供給し、外部空間９０を加湿する。 In the ozone generator 100, the humidifier 112 and fan 114 in FIG. 6 correspond to an example of a humidifier. As described above, the humidifier (the humidifier 112 and the fan 114) supplies water vapor or mist to the external space 90 outside the ozone generator 100 to humidify the external space 90.

オゾン発生器１００は、湿度の許容範囲及びオゾン濃度の適正範囲を定めた情報である適正範囲情報を有している。以下で説明される代表例では、湿度の許容範囲は、相対湿度が４０％以上且つ８０％以下の範囲である。相対湿度が８０％を超えると、快適さが低下する懸念があり、カビなどが生じやすくなるため、許容範囲外とされている。相対湿度が４０％未満となると、ウィルスの不活率が低くなるため、許容範囲外とされている。 The ozone generator 100 has appropriate range information that is information that defines an acceptable range of humidity and an appropriate range of ozone concentration. In the representative example described below, the acceptable humidity range is a relative humidity of 40% or more and 80% or less. If the relative humidity exceeds 80%, it is considered to be outside the permissible range, as there is a concern that comfort will decrease and mold will be more likely to grow. If the relative humidity is less than 40%, the inactivation rate of viruses will be low, so it is considered to be outside the permissible range.

また、代表例では、オゾン濃度（オゾンガスの濃度）の適正範囲は、オゾン濃度が０ｐｐｂより大きく１００ｐｐｂ以下の範囲とされている。オゾン濃度が１００ｐｐｂを超えると、人に影響を及ぼす懸念があるため、１００ｐｐｂを超える範囲は適正範囲外とされている。オゾン濃度が０ｐｐｂでは、オゾンガスによるウィルスの不活化が期待できないため、許容範囲外とされている。 Further, in a typical example, the appropriate range of ozone concentration (ozone gas concentration) is a range in which the ozone concentration is greater than 0 ppb and less than 100 ppb. If the ozone concentration exceeds 100 ppb, there is a concern that it may affect humans, so the range exceeding 100 ppb is considered to be outside the appropriate range. An ozone concentration of 0 ppb is considered outside the permissible range because ozone gas cannot be expected to inactivate the virus.

より具体的には、上記適正範囲情報は、図７に示されるように、オゾン濃度の適正範囲を湿度毎（相対湿度毎）に定めた情報を含んでいる。図７の例では、オゾン濃度の適正範囲のうちの一部範囲が最適範囲として定められている。図７の例では、〇又は◎が付された範囲がオゾン濃度の適正範囲であり、その適正範囲のうち、◎が付された範囲が最適範囲である。図７において、×が付された範囲（適正範囲外）は、ウィルスの不活率が低い範囲であり、〇が付された範囲（最適範囲以外の適正範囲）は、ウィルスの不活率が高い範囲であり、◎が付された範囲（最適範囲）はウィルスの不活率が特に高い範囲である。 More specifically, as shown in FIG. 7, the appropriate range information includes information defining the appropriate range of ozone concentration for each humidity (for each relative humidity). In the example of FIG. 7, a partial range of the appropriate range of ozone concentration is determined as the optimal range. In the example of FIG. 7, the range marked with ◎ or ◎ is the appropriate range of ozone concentration, and within the appropriate range, the range marked with ◎ is the optimal range. In Figure 7, the range marked with an x (outside the appropriate range) is the range where the virus inactivation rate is low, and the range marked with an ○ (the proper range other than the optimal range) is the range where the virus inactivation rate is low. The range marked with ◎ (optimal range) is the range in which the virus inactivation rate is particularly high.

例えば、図７の例では、相対湿度２０％でのオゾン濃度の適正範囲は存在しない。また、相対湿度４０％でのオゾン濃度の適正範囲は、８０ｐｐｂ以上且つ１００ｐｐｂ以下である。相対湿度６０％でのオゾン濃度の適正範囲は、４０ｐｐｂ以上且つ１００ｐｐｂ以下であり、そのうちの６０ｐｐｂ以上且つ８０ｐｐｂ以下の範囲が最適範囲とされている。相対湿度８０％でのオゾン濃度の適正範囲は、２０ｐｐｂ以上且つ１００ｐｐｂ以下である。なお、図７では図示が省略されているが、相対湿度の許容範囲（４０％～８０％）におけるその他の相対湿度についても、相対湿度毎にオゾン濃度の適正範囲が定められている。 For example, in the example of FIG. 7, there is no appropriate range of ozone concentration at a relative humidity of 20%. Further, the appropriate range of ozone concentration at a relative humidity of 40% is 80 ppb or more and 100 ppb or less. The appropriate range of ozone concentration at a relative humidity of 60% is 40 ppb or more and 100 ppb or less, of which the optimal range is 60 ppb or more and 80 ppb or less. The appropriate range of ozone concentration at a relative humidity of 80% is 20 ppb or more and 100 ppb or less. Although not shown in FIG. 7, the appropriate range of ozone concentration is determined for each relative humidity for other relative humidity within the permissible relative humidity range (40% to 80%).

なお、図７の例はあくまで一例である。オゾン濃度と相対湿度とが所定の組み合わせになる場合にウィルスが不活化する点に関しては、特開２０１９－１８７６５３やその他の先行技術などに開示がある。従って、相対湿度毎のオゾン濃度の適正範囲（ウィルスの不活率が高くなる範囲）は、既知の技術を利用して定めることができる。 Note that the example in FIG. 7 is just an example. Regarding the point that viruses are inactivated when ozone concentration and relative humidity are in a predetermined combination, there is a disclosure in JP-A-2019-187653 and other prior art. Therefore, the appropriate range of ozone concentration (the range in which the virus inactivation rate is high) for each relative humidity can be determined using known techniques.

制御部１４は、上記適正範囲情報を用いてオゾン供給部及び加湿部を制御する。制御部１４は、オゾン供給部による外部空間９０へのオゾン供給動作を、第１検出値Ｒ１及び第２検出値（Ｖ１，Ｖ２）に基づいて制御する。具体的には、制御部１４は、上記適正範囲情報と第１検出値Ｒ１と第２検出値（Ｖ１，Ｖ２）とに基づき、外部空間９０のオゾン濃度Ｙ１を外部空間９０の相対湿度に対応する適正範囲内とするように、オゾン供給部（オゾン発生装置１０２及びファン１０４）による外部空間９０へのオゾン供給動作及び加湿部による外部空間９０の加湿動作を制御する。 The control unit 14 controls the ozone supply unit and the humidification unit using the appropriate range information. The control unit 14 controls the operation of supplying ozone to the external space 90 by the ozone supply unit based on the first detection value R1 and the second detection value (V1, V2). Specifically, the control unit 14 adjusts the ozone concentration Y1 of the external space 90 to the relative humidity of the external space 90 based on the appropriate range information, the first detected value R1, and the second detected value (V1, V2). The operation of supplying ozone to the external space 90 by the ozone supply unit (ozone generator 102 and fan 104) and the operation of humidifying the external space 90 by the humidifier are controlled so that the ozone supply unit (ozone generator 102 and fan 104) is within the appropriate range.

制御部１４は、湿度センサ１５が外部空間９０の相対湿度Ｒ１を検知した結果に基づき、外部空間９０の相対湿度が上述の許容範囲（４０％～８０％）内に収まるように加湿部（加湿装置１１２及びファン１１４）による外部空間９０の加湿動作を制御する。例えば、制御部１４は、加湿装置１１２を動作させるとともに、上述の方法で検知される外部空間９０の相対湿度Ｒ１と目標湿度（例えば、上記最適範囲となる湿度）との偏差に基づいて外部空間９０の相対湿度を上記目標湿度に近づけるようにフィードバック制御（例えば、公知のＰＩ制御やＰＩＤ制御など）によってファン１１４の回転数を制御（増減）する。このような制御を行えば、外部空間９０の相対湿度Ｒ１は目標湿度付近で維持されやすい。 Based on the result of the relative humidity R1 of the external space 90 detected by the humidity sensor 15, the control unit 14 controls the humidifying unit (humidifying unit) so that the relative humidity of the external space 90 falls within the above-mentioned allowable range (40% to 80%). The humidifying operation of the external space 90 by the device 112 and the fan 114 is controlled. For example, the control unit 14 operates the humidifying device 112 and controls the external space based on the deviation between the relative humidity R1 of the external space 90 detected by the method described above and the target humidity (for example, the humidity in the optimum range). The rotation speed of the fan 114 is controlled (increased or decreased) by feedback control (for example, known PI control or PID control) so that the relative humidity of 90°C approaches the target humidity. If such control is performed, the relative humidity R1 of the external space 90 is likely to be maintained near the target humidity.

制御部１４は、外部空間９０の相対湿度が上述の許容範囲内に維持される場合、上述の方法で検知される外部空間９０の相対湿度Ｒ１と、上述の適正範囲情報とに基づき、当該適正範囲情報において、検知された相対湿度Ｒ１に対応付けて定められているオゾン濃度の適正範囲を特定する。例えば、検知された相対湿度Ｒ１の値がＸ１である場合、適正範囲情報において値Ｘ１に対応付けられた適正範囲を特定する。そして、制御部１４は、第２検出値（Ｖ１，Ｖ２）に基づいて上述の方法で算出されるオゾン濃度Ｙ１が、特定されたオゾン濃度の適正範囲内に収まるようにオゾン供給部（オゾン発生装置１０２及びファン１０４）による外部空間９０へのオゾン供給動作を制御する。例えば、制御部１４は、オゾン発生装置１０２を動作させるとともに、上述の方法で検知（算出）されるオゾン濃度Ｙ１と目標濃度（例えば、上記最適範囲となるいずれかのオゾン濃度）との偏差に基づいて外部空間９０のオゾン濃度Ｙ１を上記目標濃度に近づけるようにフィードバック制御（例えば、公知のＰＩ制御やＰＩＤ制御など）によってファン１０４の回転数を制御（増減）する。このような制御を行えば、外部空間９０のオゾン濃度は目標濃度付近で維持されやすい。 When the relative humidity of the external space 90 is maintained within the above-mentioned allowable range, the control unit 14 controls the relative humidity of the external space 90 to be maintained within the above-mentioned allowable range, based on the relative humidity R1 of the external space 90 detected by the above-mentioned method and the above-mentioned appropriate range information. In the range information, an appropriate range of ozone concentration determined in association with the detected relative humidity R1 is specified. For example, when the detected value of relative humidity R1 is X1, the appropriate range associated with the value X1 in the appropriate range information is specified. Then, the control unit 14 controls the ozone supply unit (ozone generation The operation of supplying ozone to the external space 90 by the device 102 and the fan 104 is controlled. For example, the control unit 14 operates the ozone generator 102 and detects the deviation between the ozone concentration Y1 detected (calculated) by the method described above and the target concentration (for example, any ozone concentration that falls within the optimum range). Based on this, the rotation speed of the fan 104 is controlled (increased or decreased) by feedback control (for example, known PI control or PID control) so that the ozone concentration Y1 in the external space 90 approaches the target concentration. If such control is performed, the ozone concentration in the external space 90 is likely to be maintained near the target concentration.

なお、上述されたオゾン濃度の調整方法はあくまで一例であり、外部空間９０のオゾン濃度を上述の適正範囲内に維持し得る制御であればよい。例えば、オゾン発生装置１０２を動作させつつファン１０４を所定の回転数で回転させる動作状態を継続し、上記動作状態の継続中に外部空間９０のオゾン濃度が適正範囲の上限値に達した場合には、オゾン発生装置１０２の動作を停止させて停止状態を継続し、上記停止状態の継続中に外部空間９０のオゾン濃度が適正範囲の下限値に達した場合には、再び上記動作状態を継続するように、動作状態と停止状態を交互に繰り返してもよい。 Note that the method for adjusting the ozone concentration described above is just an example, and any control that can maintain the ozone concentration in the external space 90 within the above-mentioned appropriate range may be used. For example, if the ozone generator 102 is operated and the fan 104 is rotated at a predetermined rotation speed, the ozone concentration in the external space 90 reaches the upper limit of the appropriate range while the above operating state continues. stops the operation of the ozone generator 102 and continues the stopped state, and if the ozone concentration in the external space 90 reaches the lower limit of the appropriate range while the stopped state continues, the above operating state is continued again. The operating state and the stopped state may be alternately repeated as shown in FIG.

１－７．空間の状態の評価及び評価結果の出力
オゾン発生器１００は、対象空間の状態を評価する評価システムの一例として機能する。本実施形態では、外部空間９０が上記対象空間の一例に相当する。オゾン発生器１００では、上述された湿度センサ１５（第１検出部）が、湿度検出部の一例に相当し、外部空間９０の相対湿度Ｒ１を特定する機能を有する。上記相対湿度Ｒ１は、湿度情報の一例に相当する。 1-7. Evaluation of the state of the space and output of the evaluation result The ozone generator 100 functions as an example of an evaluation system that evaluates the state of the target space. In this embodiment, the external space 90 corresponds to an example of the target space. In the ozone generator 100, the above-described humidity sensor 15 (first detection section) corresponds to an example of a humidity detection section and has a function of specifying the relative humidity R1 of the external space 90. The relative humidity R1 corresponds to an example of humidity information.

オゾン発生器１００では、上述された検知部１２（第２検知部）がオゾン濃度検出部の一例に相当し、外部空間９０のオゾン濃度Ｙ１に応じた電圧Ｖ１,Ｖ２を生成する。Ｖ１，Ｖ２は、オゾン濃度を特定するための情報（濃度情報）であり、具体的には、Ｖ２－Ｖ１の値に基づき、上述の算出方法によってオゾン濃度Ｙ１を特定できる情報である。制御部１４は、情報取得部の一例に相当し、第１検知部から上記湿度情報（相対湿度Ｒ１）を取得し、第２検知部から上記濃度情報（電圧Ｖ１，Ｖ２）を取得する。 In the ozone generator 100, the above-described detection unit 12 (second detection unit) corresponds to an example of an ozone concentration detection unit, and generates voltages V1 and V2 according to the ozone concentration Y1 of the external space 90. V1 and V2 are information (concentration information) for specifying the ozone concentration, and specifically, information that allows the ozone concentration Y1 to be specified by the above calculation method based on the value of V2-V1. The control unit 14 corresponds to an example of an information acquisition unit, and acquires the humidity information (relative humidity R1) from the first detection unit and the concentration information (voltages V1, V2) from the second detection unit.

更に、制御部１４は、評価部の一例に相当する。制御部１４は、第１検出値（相対湿度Ｒ１）と第２検出値（電圧Ｖ１，Ｖ２）と評価基準情報とに基づいて外部空間９０における相対湿度Ｒ１とオゾン濃度Ｙ１の組み合わせの適正度合いを評価する。換言すれば、制御部１４は、上記湿度情報（相対湿度Ｒ１）と上記濃度情報（電圧Ｖ１，Ｖ２）とに基づいて上記適正度合いを評価する。 Furthermore, the control unit 14 corresponds to an example of an evaluation unit. The control unit 14 determines the appropriateness of the combination of the relative humidity R1 and the ozone concentration Y1 in the external space 90 based on the first detected value (relative humidity R1), the second detected value (voltages V1, V2), and evaluation criterion information. evaluate. In other words, the control unit 14 evaluates the degree of appropriateness based on the humidity information (relative humidity R1) and the concentration information (voltages V1, V2).

図７に示される適正範囲情報は、評価基準情報の一例に相当する。評価基準情報は、相対湿度とオゾン濃度の組み合わせ毎に適正度合いを定めた情報である。図７に示される適正範囲情報（評価基準情報）は、適正度合いの高低を区分するレベルが複数定められ、相対湿度とオゾン濃度の組み合わせ毎にレベルを対応付けた情報とされている。図７の例では、適正度合いのレベル（ランク）が最も高いレベルから最も低いレベルまで複数レベル（図７では３つのレベル）に段階分けされ、適正度合いが最も高いレベル（高レベル）の組み合わせが◎で示され、適正度合いが中程度のレベル（中レベル）が○で示され、適正度合いが最も低いレベル（低レベル）が×で示されている。 The appropriate range information shown in FIG. 7 corresponds to an example of evaluation criterion information. The evaluation standard information is information that defines the degree of appropriateness for each combination of relative humidity and ozone concentration. The appropriate range information (evaluation standard information) shown in FIG. 7 is information in which a plurality of levels are determined to classify high and low degrees of appropriateness, and levels are associated with each combination of relative humidity and ozone concentration. In the example in Figure 7, the appropriateness level (rank) is divided into multiple levels (three levels in Figure 7) from the highest level to the lowest, and the combination with the highest appropriateness level (high level) is The level of appropriateness is indicated by ◎, the level at which the degree of appropriateness is medium (middle level) is indicated by ○, and the level at which the degree of appropriateness is the lowest (low level) is indicated by ×.

制御部１４は、上述の湿度情報（相対湿度Ｒ１）によって特定される外部空間９０の相対湿度Ｒ１と、上述の濃度情報（Ｖ１，Ｖ２）によって特定される外部空間９０のオゾン濃度Ｙ１との組み合わせが、上記評価基準情報においてどのレベルに対応付けられているかを特定することで、外部空間９０の上記適正度合いを評価する。 The control unit 14 combines the relative humidity R1 of the external space 90 specified by the above-mentioned humidity information (relative humidity R1) and the ozone concentration Y1 of the external space 90 specified by the above-mentioned concentration information (V1, V2). The degree of suitability of the external space 90 is evaluated by specifying to which level the external space 90 is associated with in the evaluation standard information.

制御部１４及び表示部１８は、出力部の一例に相当する。制御部１４及び表示部１８は、制御部１４（評価部）による適正度合いの評価結果を出力し得る。例えば、制御部１４及び表示部１８は、互いに協働し、適正度合いの評価結果に基づいて、適正度合いを示す評価情報を表示部１８に画像として表示する。評価情報の表示方法としては、様々な方法が採用され得る。例えば、外部空間９０の相対湿度Ｒ１とオゾン濃度Ｙ１の組み合わせに対応付けられたレベルを特定するための情報（記号（文字、数字、その他の記号など）や絵、或いは記号や絵を組み合わせの図柄など）を表示部１８に画像として表示する方法などが挙げられる。図８には、上記「レベルを特定する情報」の表示例が示されている。図８の例は、表示時点又は表示開始直前での外部空間９０の相対湿度Ｒ１とオゾン濃度Ｙ１の組み合わせに対応付けられたレベルが高レベル（適正度合いが最も高いレベル）である場合の表示例であり、高レベルに対応付けられた「レベルを特定する情報」が◎とされている。なお、この例では、中レベルに対応付けられた「レベルを特定する情報」が〇であり、低レベルに対応付けられた「レベルを特定する情報」が×である。従って、表示部１８に「◎」の記号が表示されれば、外部空間９０の相対湿度Ｒ１とオゾン濃度Ｙ１の組み合わせの適正度合いが高レベル（適正度合いが最も良いレベル）であることをユーザに知らしめることができる。 The control section 14 and the display section 18 correspond to an example of an output section. The control unit 14 and the display unit 18 can output the evaluation result of the degree of appropriateness by the control unit 14 (evaluation unit). For example, the control unit 14 and the display unit 18 cooperate with each other to display evaluation information indicating the degree of appropriateness as an image on the display unit 18 based on the evaluation result of the degree of appropriateness. Various methods can be adopted as a method for displaying evaluation information. For example, information (symbols (letters, numbers, other symbols, etc.) and pictures, or a pattern of combinations of symbols and pictures) to specify the level associated with the combination of relative humidity R1 and ozone concentration Y1 of the external space 90. etc.) on the display unit 18 as an image. FIG. 8 shows a display example of the above-mentioned "level identifying information". The example in FIG. 8 is a display example when the level associated with the combination of relative humidity R1 and ozone concentration Y1 of the external space 90 at the time of display or immediately before the start of display is a high level (the level with the highest degree of appropriateness). , and "information that specifies the level" associated with a high level is rated ◎. In this example, the "information for specifying the level" associated with the medium level is 0, and the "information for specifying the level" associated with the low level is ×. Therefore, if the symbol "◎" is displayed on the display unit 18, the user is informed that the degree of appropriateness of the combination of the relative humidity R1 and the ozone concentration Y1 of the external space 90 is at a high level (the level of appropriateness is the best). You can make it known.

上述の例では、「レベルを特定する情報」として、「◎」「〇」「×」などを例示したが「１」「２」「３」・・・などの数値や「高」「中」「低」・・・などの文字であってもよく、各々のレベルに対応付けられた絵であってもよい。 In the above example, "◎", "〇", "×", etc. were exemplified as "information to specify the level", but numerical values such as "1", "2", "3", etc., "high", "medium" etc. It may be text such as "low", etc., or it may be a picture associated with each level.

上述の例では、評価結果の出力方法として、「レベルを特定する情報の画像表示」が例示されたが、この例に限定されない。例えば、制御部１４と図示されないスピーカとが互いに協働して出力部として機能し、外部空間９０の相対湿度Ｒ１とオゾン濃度Ｙ１の組み合わせに対応付けられた「レベルを特定する情報」を音声によって出力してもよい。例えば、「適正度合いは高レベルです」といったメッセージを音声によって発してもよい。或いは、制御部１４と通信部１７とが互いに協働して出力部として機能し、外部空間９０の相対湿度Ｒ１とオゾン濃度Ｙ１の組み合わせに対応付けられた「レベルを特定する情報」をオゾン発生器１００の外部に設けられた外部装置に対して有線通信や無線通信によって送信してもよい。 In the above example, "displaying an image of information specifying the level" was exemplified as the method for outputting the evaluation results, but the method is not limited to this example. For example, the control unit 14 and a speaker (not shown) cooperate with each other to function as an output unit, and output "level identifying information" associated with the combination of the relative humidity R1 and the ozone concentration Y1 of the external space 90 by voice. You can also output it. For example, a message such as "The appropriateness level is high" may be issued by voice. Alternatively, the control unit 14 and the communication unit 17 may cooperate with each other to function as an output unit, and output “level identifying information” associated with the combination of the relative humidity R1 and the ozone concentration Y1 of the external space 90 to the ozone generator. The information may be transmitted to an external device provided outside the device 100 by wired communication or wireless communication.

１－８．オゾン発生器による効果の例
オゾン発生器１００は、オゾン（オゾンガス）を供給する空間のオゾン濃度だけでなく、オゾン濃度と関連性の高い指標である湿度（具体的には相対湿度Ｒ１）も評価することができる。 1-8. Example of the effect of an ozone generator The ozone generator 100 evaluates not only the ozone concentration in the space where ozone (ozone gas) is supplied, but also the humidity (specifically, relative humidity R1), which is an index highly related to the ozone concentration. can do.

そして、オゾン発生器１００は、外部空間９０のオゾン濃度Ｙ１だけでなく外部空間９０の湿度（相対湿度Ｒ１）も反映してオゾン供給動作を制御することができる。 The ozone generator 100 can control the ozone supply operation by reflecting not only the ozone concentration Y1 of the external space 90 but also the humidity (relative humidity R1) of the external space 90.

用途によっては、オゾン濃度の適正範囲を湿度に応じて変化させるべき場合があり、このような用途では、オゾン発生器１００のように、オゾン濃度Ｙ１と湿度（相対湿度Ｒ１）の両方を調整できれば有用である。 Depending on the application, the appropriate range of ozone concentration may need to be changed depending on the humidity. Useful.

オゾン発生器１００は、オゾン濃度の適正範囲を湿度毎に定めておくことができる。そして、外部空間９０のオゾン濃度Ｙ１を調整する場合、調整時の外部空間９０の湿度（相対湿度Ｒ１）に対応する適正範囲に収めるようにオゾン濃度Ｙ１を調整することができる。 The ozone generator 100 can determine the appropriate range of ozone concentration for each humidity. When adjusting the ozone concentration Y1 of the external space 90, the ozone concentration Y1 can be adjusted to fall within an appropriate range corresponding to the humidity (relative humidity R1) of the external space 90 at the time of adjustment.

オゾン発生器１００は、外部空間９０のオゾン濃度Ｙ１を適正範囲内に収めるように調整する場合に、オゾン供給動作を制御して調整することもでき、加湿動作を制御して調整することもできる。よって、外部空間９０のオゾン濃度Ｙ１を調整する上で、自由度が高い。 When adjusting the ozone concentration Y1 in the external space 90 to fall within an appropriate range, the ozone generator 100 can control and adjust the ozone supply operation, and can also control and adjust the humidification operation. . Therefore, there is a high degree of freedom in adjusting the ozone concentration Y1 in the external space 90.

オゾン発生器１００は、外部空間９０の湿度（相対湿度Ｒ１）を許容範囲内にするように調整することができる。そして、このように調整された湿度（相対湿度Ｒ１）に対応する適正範囲に収めるようにオゾン濃度Ｙ１を調整することができる。 The ozone generator 100 can adjust the humidity (relative humidity R1) of the external space 90 to be within a permissible range. Then, the ozone concentration Y1 can be adjusted to fall within an appropriate range corresponding to the humidity (relative humidity R1) adjusted in this way.

オゾン発生器１００は、外部空間９０の調整動作によって外部空間９０がどのような状態になっているかを、予め定められた評価基準に従って評価することができ、その評価結果を外部に知らしめることができる。 The ozone generator 100 can evaluate the state of the external space 90 by adjusting the external space 90 according to predetermined evaluation criteria, and can make the evaluation results known to the outside. can.

＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。また、上述した実施形態や後述する実施形態の様々な特徴は、矛盾しない組み合わせであればどのように組み合わされてもよい。 <Other embodiments>
The present invention is not limited to the embodiments described above and illustrated in the drawings; for example, the following embodiments are also included within the technical scope of the present invention. Further, various features of the embodiments described above and the embodiments described below may be combined in any combination that does not contradict each other.

上述された実施形態では、第１検知部の一例が示されたが、第１検知部は相対湿度又は絶対湿度を検知可能な構成であればよい。具体的には、第１検知部は、第１実施形態で示された第１検知部に代えて、公知の様々な方式の湿度計又は湿度センサが用いられてもよい。 In the embodiments described above, an example of the first detection section is shown, but the first detection section may have any configuration as long as it can detect relative humidity or absolute humidity. Specifically, the first detection section may be a hygrometer or a humidity sensor of various known methods instead of the first detection section shown in the first embodiment.

上述された実施形態では、相対湿度の許容範囲が定められるが、絶対湿度の許容範囲が定められてもよい。また、上述された実施形態では、オゾン濃度の適正範囲が相対湿度毎に定められたが、オゾン濃度の適正範囲が絶対湿度毎に定められてもよい。この場合、制御部１４は、外部空間９０のオゾン濃度を外部空間９０の絶対湿度に対応する適正範囲内とするように、オゾン供給部による外部空間９０へのオゾン供給動作を制御すればよい。 In the embodiments described above, a tolerance range for relative humidity is defined, but a tolerance range for absolute humidity may also be defined. Further, in the embodiments described above, the appropriate range of ozone concentration is determined for each relative humidity, but the appropriate range of ozone concentration may be determined for each absolute humidity. In this case, the control unit 14 may control the ozone supply operation by the ozone supply unit to the external space 90 so that the ozone concentration in the external space 90 is within an appropriate range corresponding to the absolute humidity of the external space 90.

上述された実施形態では、評価部は、外部空間９０における相対湿度とオゾン濃度の組み合わせの適正度合いを評価したが、評価部は、外部空間９０における絶対湿度とオゾン濃度の組み合わせの適正度合いを評価してもよく、出力部は、その評価結果を出力してもよい。 In the embodiment described above, the evaluation unit evaluated the appropriateness of the combination of relative humidity and ozone concentration in the external space 90; however, the evaluation unit evaluated the appropriateness of the combination of absolute humidity and ozone concentration in the external space 90. The output unit may output the evaluation result.

上述された実施形態の説明では、オゾン発生装置１０２と加湿装置１１２とが別体として構成されていたが、これらが一体的に構成されていてもよい。つまり、オゾン発生装置１０２が水蒸気又はミストを放出する加湿機能を有していてもよい。このようにオゾン発生装置１０２が加湿機能を有している場合、ファン１１４を省略し、ファン１０４によってオゾンの供給度合い及び水蒸気又はミストの供給度合いを調整してもよい。 In the description of the embodiment described above, the ozone generator 102 and the humidifier 112 were configured as separate bodies, but they may be configured integrally. That is, the ozone generator 102 may have a humidifying function of emitting water vapor or mist. When the ozone generator 102 has a humidifying function as described above, the fan 114 may be omitted and the degree of supply of ozone and the degree of supply of water vapor or mist may be adjusted by the fan 104.

上述された実施形態の説明では、オゾンガスの供給度合いを調整する方法の一例として、ファンによって流量を調整する例を示したが、この例に限定されない。例えば、オゾン発生器１００において、ファン１０４に代えて、又はファン１０４を併用する構成で、流量調整弁によって流量を調整する方法を採用してもよく、単に開閉弁による流路の開閉によってオゾン供給状態とオゾン供給停止状態とを切り替えるようにしてもよい。或いは、オゾン発生器１００は、ファン１０４を省略し、又はファン１０４と併用し、オゾン発生装置１０２を動作させる状態と、動作を停止させる状態とを切り替えて、オゾン供給を調整してもよい。 In the description of the embodiments described above, an example of adjusting the flow rate using a fan was shown as an example of a method for adjusting the degree of supply of ozone gas, but the method is not limited to this example. For example, in the ozone generator 100, instead of the fan 104 or in combination with the fan 104, a method may be adopted in which the flow rate is adjusted using a flow rate adjustment valve, and ozone is supplied by simply opening and closing the flow path using an on-off valve. The state may be switched between the ozone supply stop state and the ozone supply stop state. Alternatively, the ozone generator 100 may omit the fan 104 or use the fan 104 together, and adjust the ozone supply by switching between operating the ozone generator 102 and stopping the operation.

上述された実施形態の説明では、水蒸気又はミストの供給度合いを調整する方法の一例として、ファンによって流量を調整する例を示したが、この例に限定されない。例えば、オゾン発生器１００において、ファン１１４に代えて、又はファン１１４を併用する構成で、流量調整弁によって流量を調整する方法を採用してもよく、単に開閉弁による流路の開閉によって水蒸気又はミストの供給状態と停止状態とを切り替えるようにしてもよい。或いは、オゾン発生器１００は、ファン１１４を省略し、又はファン１１４と併用し、加湿装置１１２を動作させる状態と、動作を停止させる状態とを切り替えて、水蒸気又はミストの供給を調整してもよい。 In the description of the embodiments described above, an example of adjusting the flow rate using a fan was shown as an example of a method of adjusting the supply level of water vapor or mist, but the method is not limited to this example. For example, in the ozone generator 100, instead of the fan 114 or in combination with the fan 114, a method may be adopted in which the flow rate is adjusted using a flow rate adjustment valve, and the water vapor or The mist supply state and the stop state may be switched. Alternatively, the ozone generator 100 may omit the fan 114 or use it in combination with the fan 114, and adjust the supply of water vapor or mist by switching the humidifying device 112 between an operating state and a non-operating state. good.

上述された実施形態の説明では、オゾン発生器の一例として、加湿機能を有するオゾン発生器１００が例示されたが、この例に限定されない。例えば、加湿機能を有さないオゾン発生器が、ガスセンサ１０を備えていてもよい。その一例としては、図６の構成から、加湿装置１１２及びファン１１４を省略した構成が挙げられる。オゾン発生器１００が加湿機能を有さない場合、相対湿度が低すぎることによってオゾン濃度が適正範囲から外れている状況（相対湿度が上昇すれば、オゾン濃度が適正範囲になる状況）では、制御部１４及び報知部（表示部１８やスピーカなどの発音部）が協働し、ユーザに対し湿度の上昇を促す報知（例えば、メッセージ表示や音声報知など）を行うようにしてもよい。例えば、図７の例において、外部空間９０の相対湿度が４０％であり、オゾン濃度が６０ｐｐｂである場合、相対湿度が６０％以上まで上昇すれば、オゾン濃度が適正範囲になる。このような場合、「湿度を上昇させてください」等のメッセージを表示や音声などによって報知するとよい。また、ガスセンサ１０を備えるオゾン発生器において、ガスセンサ１０以外の構成は、既に例示された構成以外であってもよい。例えば、オゾン発生装置１０２及びファン１０４の部分は、公知の様々なオゾン発生器におけるいずれかのオゾン供給部と同様の構成とされてもよい。 In the description of the embodiments described above, the ozone generator 100 having a humidifying function was illustrated as an example of the ozone generator, but the ozone generator is not limited to this example. For example, an ozone generator that does not have a humidifying function may include the gas sensor 10. One example is a configuration in which the humidifier 112 and fan 114 are omitted from the configuration shown in FIG. If the ozone generator 100 does not have a humidifying function, in a situation where the relative humidity is too low and the ozone concentration is out of the appropriate range (if the relative humidity increases, the ozone concentration will be within the appropriate range), the The unit 14 and the notification unit (the display unit 18, a sounding unit such as a speaker, etc.) may work together to notify the user (for example, by displaying a message or voice notification) to encourage the user to increase the humidity. For example, in the example of FIG. 7, if the relative humidity of the external space 90 is 40% and the ozone concentration is 60 ppb, the ozone concentration will fall within the appropriate range if the relative humidity increases to 60% or more. In such a case, a message such as "Please increase the humidity" may be notified by display or voice. Further, in the ozone generator including the gas sensor 10, the configuration other than the gas sensor 10 may be other than the configurations already exemplified. For example, the ozone generator 102 and fan 104 portions may be configured similarly to any ozone supply section in various known ozone generators.

上述された実施形態では、素子部２０がケース３０を備えていたが、ケース３０を備えていなくてもよい。 In the embodiment described above, the element section 20 was provided with the case 30, but the case 30 may not be provided.

上述された実施形態では、素子部２０は、第１格納部３１と第２格納部３２とがケース３０内に固定された形でこれらが一体的に構成されていたが、第１格納部３１と第２格納部３２とが一体的に構成されずに別々に設けられていてもよい。 In the embodiment described above, the element section 20 is configured such that the first storage section 31 and the second storage section 32 are integrally fixed within the case 30; and the second storage section 32 may not be integrally configured but may be provided separately.

上述された実施形態では、オゾン検知システムの一例として、オゾン供給部と、第１検知部と、第２検知部と、制御部とが一つの製品としてまとまった構成のオゾン発生器１００が例示されたが、この構成に限定されない。オゾン検知システムは、オゾン供給部、第１検知部、第２検知部、制御部がそれぞれ別々の装置として分離していてもよい。或いは、オゾン検知システムは、オゾン供給部、第１検知部、第２検知部、制御部のうちの複数装置が１つの製品としてまとまり、他の１以上の装置が別の製品として分離していてもよい。いずれの場合でも、制御部が第１検出値及び第２検出値を利用でき、制御部がオゾン供給部による外部空間へのオゾン供給動作を制御できればよい。 In the embodiment described above, as an example of the ozone detection system, the ozone generator 100 is illustrated as having a configuration in which an ozone supply section, a first detection section, a second detection section, and a control section are integrated as one product. However, the configuration is not limited to this. In the ozone detection system, the ozone supply section, the first detection section, the second detection section, and the control section may be separated as separate devices. Alternatively, in the ozone detection system, multiple devices of the ozone supply section, first detection section, second detection section, and control section are integrated as one product, and one or more other devices are separated as separate products. Good too. In any case, it is only necessary that the control section can use the first detection value and the second detection value, and that the control section can control the operation of supplying ozone to the external space by the ozone supply section.

なお、今回開示された実施の形態は全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、今回開示された実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示された範囲内又は特許請求の範囲と均等の範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。 It should be noted that the embodiments disclosed herein are illustrative in all respects and should not be considered restrictive. The scope of the present invention is not limited to the embodiments disclosed herein, and includes all modifications within the scope indicated by the claims or within the scope equivalent to the claims. is intended.

１０…電気化学式ガスセンサ
１４…制御部
１６Ａ…第１出力回路（第１検知部）
１６Ｂ…第２出力回路（第２検知部）
２１…第１検知素子（第１検知部）
２２…第２検知素子（第２検知部）
２４…水蒸気透過フィルタ（第１検知部）
３１…第１格納部（第１検知部）
３１Ａ…第１導入口
３２…第２格納部（第２検知部）
１００…オゾン発生器（オゾン検知システム）
１０２…オゾン発生装置（オゾン供給部）
１０４…ファン（オゾン供給部）
１１２…加湿装置（加湿部）
１１４…ファン（加湿部） 10... Electrochemical gas sensor 14... Control section 16A... First output circuit (first detection section)
16B...Second output circuit (second detection section)
21...First detection element (first detection section)
22...Second detection element (second detection section)
24...Water vapor transmission filter (first detection section)
31...First storage section (first detection section)
31A...First introduction port 32...Second storage section (second detection section)
100...Ozone generator (ozone detection system)
102...Ozone generator (ozone supply section)
104...Fan (ozone supply section)
112...humidifier (humidifier)
114...Fan (humidifying section)

Claims (7)

外部空間へオゾンを供給するオゾン供給部と、前記オゾン供給部を制御する制御部と、を備えたオゾン検知システムであって、
前記外部空間の湿度に応じた第１検出値を生成する第１検知部と、
電気化学方式により前記外部空間のオゾン濃度に応じた第２検出値を生成する第２検知部と、を備え、
前記第１検知部は湿度センサであり、
前記制御部は、オゾン濃度の適正範囲を湿度毎に定めた情報を含む適正範囲情報と前記第１検出値と前記第２検出値とに基づき、前記外部空間のオゾン濃度を当該外部空間の湿度に対応する前記適正範囲内とするように、前記オゾン供給部による前記外部空間へのオゾン供給動作を制御し、
湿度とオゾン濃度の組み合わせ毎に適正度合いを定めた評価基準情報と、前記第１検出値と、前記第２検出値と、に基づいて、前記外部空間における湿度とオゾン濃度の組み合わせの適正度合いを評価する評価部と、
前記評価部による評価結果を出力する出力部と、
を有する
オゾン検知システム。 An ozone detection system comprising an ozone supply unit that supplies ozone to an external space, and a control unit that controls the ozone supply unit,
a first detection unit that generates a first detection value according to the humidity of the external space;
a second detection unit that generates a second detection value according to the ozone concentration in the external space by an electrochemical method,
The first detection unit is a humidity sensor,
The control unit adjusts the ozone concentration of the external space to the humidity of the external space based on appropriate range information including information defining an appropriate range of ozone concentration for each humidity, the first detected value, and the second detected value. controlling the operation of supplying ozone to the external space by the ozone supply unit so that it is within the appropriate range corresponding to
The degree of appropriateness of the combination of humidity and ozone concentration in the external space is determined based on evaluation standard information that defines the degree of appropriateness for each combination of humidity and ozone concentration, the first detected value, and the second detected value. An evaluation department that evaluates;
an output unit that outputs the evaluation result by the evaluation unit;
have
Ozone detection system. 前記外部空間を加湿する加湿部を備え、
前記制御部は、前記適正範囲情報と前記第１検出値と前記第２検出値とに基づき、前記外部空間のオゾン濃度を当該外部空間の湿度に対応する前記適正範囲内とするように、前記オゾン供給部による前記外部空間へのオゾン供給動作及び前記加湿部による前記外部空間の加湿動作を制御する
請求項１に記載のオゾン検知システム。 comprising a humidifier that humidifies the external space,
The control unit controls the ozone concentration in the external space to be within the appropriate range corresponding to the humidity of the external space based on the appropriate range information, the first detected value, and the second detected value. The ozone detection system according to claim 1, wherein the ozone supply operation by the ozone supply unit to the external space and the humidification operation of the external space by the humidification unit are controlled. 前記外部空間を加湿する加湿部を備え、
前記適正範囲情報は湿度の許容範囲を定めた情報を含み、
前記制御部は、前記外部空間の湿度が前記許容範囲内に収まるように前記加湿部による前記外部空間の加湿動作を制御する
請求項１又は請求項２に記載のオゾン検知システム。 comprising a humidifier that humidifies the external space,
The appropriate range information includes information defining an allowable humidity range,
The ozone detection system according to claim 1 or 2, wherein the control unit controls the humidification operation of the external space by the humidifying unit so that the humidity of the external space falls within the permissible range. 前記制御部は、前記オゾン供給部による前記外部空間へのオゾン供給動作を、前記第１検出値及び前記第２検出値に基づいて制御する
請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のオゾン検知システム。 The control unit controls the ozone supply operation to the external space by the ozone supply unit based on the first detection value and the second detection value. ozone detection system. 前記外部空間を加湿する加湿部を備え、
前記制御部は、前記加湿部による前記外部空間の加湿動作を、前記第１検出値に基づいて制御する
請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のオゾン検知システム。 comprising a humidifier that humidifies the external space,
The ozone detection system according to any one of claims 1 to 4, wherein the control unit controls the humidification operation of the external space by the humidification unit based on the first detection value. 請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のオゾン検知システムを備えたオゾン発生器であって、
前記オゾン供給部は、自身の外側の前記外部空間へオゾンを供給する、
オゾン発生器。 An ozone generator comprising the ozone detection system according to any one of claims 1 to 5,
The ozone supply unit supplies ozone to the external space outside itself,
ozone generator . 自身の外側の前記外部空間を加湿する加湿部を備える
請求項６に記載のオゾン発生器。 The device includes a humidifying section that humidifies the external space outside itself.
The ozone generator according to claim 6 .
JP2021091140A 2021-05-31 2021-05-31 Ozone detection system and ozone generator Active JP7340180B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021091140A JP7340180B2 (en) 2021-05-31 2021-05-31 Ozone detection system and ozone generator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021091140A JP7340180B2 (en) 2021-05-31 2021-05-31 Ozone detection system and ozone generator

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2022183698A JP2022183698A (en) 2022-12-13
JP7340180B2 true JP7340180B2 (en) 2023-09-07

Family

ID=84437382

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021091140A Active JP7340180B2 (en) 2021-05-31 2021-05-31 Ozone detection system and ozone generator

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP7340180B2 (en)

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001124716A (en) 1999-10-29 2001-05-11 Komyo Rikagaku Kogyo Kk Gas sensor
JP2001286542A (en) 2000-04-06 2001-10-16 Tabai Espec Corp Humidifying and deodorizing device
JP2004093241A (en) 2002-08-30 2004-03-25 Koito Ind Ltd Gas sensor characteristic compensation device and gas concentration measurement device
JP2005231977A (en) 2004-02-23 2005-09-02 Ebara Jitsugyo Co Ltd Control method for ozone generator in ozone fumigation system and ozone generator using the method
CN1683236A (en) 2004-04-14 2005-10-19 新起点(香港)有限公司 Ozone generating and dispensing apparatus
US20080031770A1 (en) 2006-08-02 2008-02-07 Douglas Heselton Apparatus and method for using ozone as a disinfectant
JP2019187653A (en) 2018-04-20 2019-10-31 高砂熱学工業株式会社 Sterilization disinfection apparatus and method
JP2020016593A (en) 2018-07-27 2020-01-30 ウシオ電機株式会社 Ozone sensor and ozone detector
JP2020122731A (en) 2019-01-31 2020-08-13 日本特殊陶業株式会社 Gas sensor

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02285255A (en) * 1989-04-27 1990-11-22 O D S:Kk Ozone detecting/measuring sensor
JPH0623295Y2 (en) * 1991-11-20 1994-06-22 株式会社ゼクセル Ozone deodorant sterilizer
JPH05254804A (en) * 1992-03-06 1993-10-05 Nippon Steel Chem Co Ltd Ozonizer
JPH11281757A (en) * 1998-03-30 1999-10-15 Fujitsu Ltd Atmospheric pollutant measurement system

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001124716A (en) 1999-10-29 2001-05-11 Komyo Rikagaku Kogyo Kk Gas sensor
JP2001286542A (en) 2000-04-06 2001-10-16 Tabai Espec Corp Humidifying and deodorizing device
JP2004093241A (en) 2002-08-30 2004-03-25 Koito Ind Ltd Gas sensor characteristic compensation device and gas concentration measurement device
JP2005231977A (en) 2004-02-23 2005-09-02 Ebara Jitsugyo Co Ltd Control method for ozone generator in ozone fumigation system and ozone generator using the method
CN1683236A (en) 2004-04-14 2005-10-19 新起点(香港)有限公司 Ozone generating and dispensing apparatus
US20080031770A1 (en) 2006-08-02 2008-02-07 Douglas Heselton Apparatus and method for using ozone as a disinfectant
JP2019187653A (en) 2018-04-20 2019-10-31 高砂熱学工業株式会社 Sterilization disinfection apparatus and method
JP2020016593A (en) 2018-07-27 2020-01-30 ウシオ電機株式会社 Ozone sensor and ozone detector
JP2020122731A (en) 2019-01-31 2020-08-13 日本特殊陶業株式会社 Gas sensor

Also Published As

Publication number Publication date
JP2022183698A (en) 2022-12-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10359204B2 (en) Air conditioner and control method thereof
US20220134029A1 (en) Thermistor flow sensor having multiple temperature points
EP1205747B1 (en) Humidity sensor
US9186609B2 (en) Filter clog sensing system and method for compensating in response to blower speed changes
ES2394872T3 (en) Detection of obstructions and interruptions of an aspirated smoke detector (ASD)
CA2686197C (en) Fan air flow measurement system
RU2564926C2 (en) Sterilisation apparatus and method of its control
US10113759B2 (en) Air conditioner and control method thereof
EP2464429A1 (en) Method of controlling a powered air purifying respirator
JP5736455B2 (en) Sensor unit and thermostat using the sensor unit
JP7340180B2 (en) Ozone detection system and ozone generator
EP3045733A1 (en) Motorised impeller assemblies
JP2007159820A (en) Ozone sterilization method and its apparatus
JP2005218925A (en) Cabinet for biohazard measure and method for detecting cabinet filter exchange time
WO2022191163A1 (en) Electrochemical gas sensor, ozone generator, and humidifier
JP7324468B2 (en) Evaluation system, ozone generator, humidifier, electronic signage system, and information provision system
WO2014178368A1 (en) Refrigerator
JP7022865B1 (en) Electrochemical gas sensor, ozone generator, and humidifier
JP2009300119A (en) Gas sensor
AU2020243672A1 (en) A respiratory device for providing bubble CPAP
JP4636803B2 (en) Air purification device
US11998770B2 (en) Respirator assembly and method of using the same
JP5606333B2 (en) Ventilation equipment
JP2011027676A (en) Alcohol concentration detection system
JP2011220807A (en) Ion detector and device having the same

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20220615

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20230420

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20230421

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230613

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20230801

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20230816

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7340180

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150