JP7323547B2 - ハイブリッドポリマー導波管および同一物を作製する方法 - Google Patents
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Description
本願は、「HYBRID POLYMER WAVEGUIDE AND METHODS FOR MAKING THE SAME」と題され、2018年4月2日に出願された、米国特許仮出願第62/651507号の優先権を主張する。上記に記載される出願は、参照することによってその全体として本明細書に組み込まれる。
導波管であって、該導波管は、
他方の主要表面の反対側に主要表面を有する、光学的透過型コア層と、
主要表面上の光学的透過型補助層であって、ナノフォトニック構造を有する、補助層とを備え、
補助層は、コア層よりも薄く、コア層を形成する材料と異なる材料から形成される、
導波管を備える、
光学デバイス。
スタックされる離間された導波管のセットを備え、導波管のうちの少なくとも1つは、
他方の主要表面の反対側に主要表面を有する、光学的透過型コア層と、
主要表面上の光学的透過型補助層であって、ナノフォトニック構造を有する、補助層とを備え、
補助層は、コア層よりも薄く、コア層を形成する材料と異なる材料から形成される、
光学システム。
画像情報を含有する変調光を導波管に提供するように構成される、空間光変調器をさらに備え、
各導波管は、複数のナノフォトニック構造を備え、ナノフォトニック構造は、
変調光を導波管の中に指向するように構成される、内部結合回折光学要素と、
導波管から内部結合された変調光を抽出するように構成される、外部結合回折光学要素と、
を備える、実施例13-17のいずれかに記載の光学システム。
他方の主要表面の反対側に主要表面を有する、光学的透過型コア層と、
主要表面上の光学的透過型補助層であって、ナノフォトニック構造を有する、補助層とを備え、
補助層は、コア層よりも薄く、コア層を形成する材料と異なる材料から形成される、
実施例13-20のいずれかに記載の光学システム。
導波管を形成するステップであって、該導波管を形成するステップは、
上側および下側インプリント金型を提供するステップであって、インプリント金型は、相互に面する、ステップと、
インプリント金型の間に第1のポリマー材料を提供するステップと、
第1のポリマー材料にわたって、インプリント金型の間に第2のポリマー材料を提供するステップであって、第2のポリマー材料は、液体状態である、ステップと、
第2のポリマー材料を上側インプリント金型と接触させるステップと、
第1のポリマー材料および第2のポリマー材料を硬質化プロセスに暴露するステップであって、第1のポリマー材料は、第1の層を形成し、第2のポリマー材料は、第2の層を形成する、ステップと、
上側インプリント金型を除去するステップと、
を含む、ステップを含む、
方法。
下側インプリント金型と付加的インプリント金型との間に第1のポリマー材料を提供するステップと、
下側インプリント金型と付加的インプリント金型との間で第1のポリマー材料を圧縮するステップと、
下側インプリント金型と付加的インプリント金型との間で第1のポリマー材料を硬質化するステップと、
を含み、
上側および下側インプリント金型を提供するステップは、
付加的インプリント金型を除去するステップと、
第1のポリマー材料にわたって上側インプリント金型を配置するステップと、
を含む、実施例22-25のいずれかに記載の方法。
第3のポリマー材料を第3のポリマー材料金型と接触させるステップと、
第3のポリマー材料を硬質化し、第3のポリマー材料の第3の層を形成するステップと、
第3のポリマー材料金型を除去するステップと、
をさらに含む、実施例22-27のいずれかに記載の方法。
第4のポリマー材料を第4のポリマー材料金型と接触させるステップと、
第4のポリマー材料を硬質化し、第4のポリマー材料から形成される第4の層を形成するステップと、
第4のポリマー材料金型を除去するステップと、
をさらに含む、実施例28に記載の方法。
第5のポリマー材料を第5のポリマー材料金型と接触させるステップと、
第5のポリマー材料を硬質化し、第5のポリマー材料から形成される第5の層を形成するステップと、
第5のポリマー材料金型を除去するステップと、
をさらに含む、実施例29に記載の方法。
ポリマー材料の交互層を備える、導波管を形成するステップであって、交互層のうちの1つおきの層は、突出部およびくぼみのパターンを備える、ステップと、
付加的導波管を導波管に添着するステップであって、付加的導波管および導波管は、間隙によって分離される、ステップと、
をさらに含む、実施例22-33のいずれかに記載の方法。
(例示的ディスプレイシステム)
(例示的ハイブリッド導波管構造)
(ハイブリッド導波管を作製する例示的方法)
本明細書は、例えば、以下の項目も提供する。
(項目1)
光学デバイスであって、前記光学デバイスは、
導波管を備え、前記導波管は、
他方の主要表面の反対側に主要表面を有する光学的透過型コア層と、
前記主要表面上の光学的透過型補助層であって、前記補助層は、ナノフォトニック構造を有する、補助層と
を備え、
前記補助層は、前記コア層よりも薄く、前記コア層を形成する材料と異なる材料から形成される、光学デバイス。
(項目2)
前記ナノフォトニック構造は、光学格子を備える、項目1に記載の光学デバイス。
(項目3)
前記コア層および前記補助層はそれぞれ、ポリマーまたは樹脂から形成される、項目1に記載の光学デバイス。
(項目4)
前記補助層を形成する材料は、前記コア層を形成する材料の屈折率と約0.05以上異なる屈折率を有する、項目1に記載の光学デバイス。
(項目5)
前記コア層は、100~5,000μmの厚さを有し、前記補助層は、0.01~5μmの厚さを有する、項目1に記載の光学デバイス。
(項目6)
前記コア層よりも薄く、前記他方の主要表面に直接隣接する付加的補助層をさらに備える、項目1に記載の光学デバイス。
(項目7)
前記付加的補助層は、光学格子を備える、項目6に記載の光学デバイス。
(項目8)
前記コア層から見て前記補助層の反対側に配置される付加的コア層をさらに備える、項目1に記載の導波管。
(項目9)
前記コア層よりも薄い補助層と交互になる複数のコア層をさらに備え、前記補助層は、前記コア層と異なる材料から形成される、項目1に記載の光学デバイス。
(項目10)
前記コア層は、同一の材料から形成される、項目9に記載の光学デバイス。
(項目11)
前記補助層は、同一の材料から形成される、項目10に記載の光学デバイス。
(項目12)
前記補助層のうちの1つ以上のものは、1つ以上の他の補助層と異なる光学格子を備える、項目9に記載の光学デバイス。
(項目13)
光学システムであって、前記光学システムは、
スタックされる離間された導波管のセットを備え、前記導波管のうちの少なくとも1つは、
他方の主要表面の反対側に主要表面を有する光学的透過型コア層と、
前記主要表面上の光学的透過型補助層であって、前記補助層は、ナノフォトニック構造を有する、補助層と
を備え、
前記補助層は、前記コア層よりも薄く、前記コア層を形成する材料と異なる材料から形成される、光学システム。
(項目14)
各導波管は、空隙によって分離される、項目13に記載の光学システム。
(項目15)
各導波管は、前記導波管の間に配置される1つ以上のスペーサによって離間される、項目13に記載の光学システム。
(項目16)
前記導波管はそれぞれ、コア層と、補助層とを備え、前記1つ以上のスペーサは、前記コア層または補助層のうちの1つと一体的である、項目15に記載の光学システム。
(項目17)
前記導波管はそれぞれ、コア層と、補助層とを備え、各導波管のコア層は、前記スタックされる離間された導波管のセットのうちの他の導波管のコア層と異なる材料から形成される、項目13に記載の光学システム。
(項目18)
前記光学システムは、拡張現実システムであり、
画像情報を含有する変調光を前記導波管に提供するように構成される空間光変調器をさらに備え、
各導波管は、複数のナノフォトニック構造を備え、前記ナノフォトニック構造は、
前記変調光を前記導波管の中に指向するように構成される内部結合回折光学要素と、
前記導波管から内部結合された変調光を抽出するように構成される外部結合回折光学要素と
を備える、項目13に記載の光学システム。
(項目19)
前記空間光変調器は、前記内部結合回折光学要素上に画像を投影するように構成される光投影システムの一部である、項目18に記載の光学システム。
(項目20)
前記空間光変調器は、走査ファイバディスプレイのために光を変調させる、項目18に記載の光学システム。
(項目21)
スタックされる離間された導波管の複数のセットをさらに備え、各導波管は、
他方の主要表面の反対側に主要表面を有する光学的透過型コア層と、
前記主要表面上の光学的透過型補助層であって、前記補助層は、ナノフォトニック構造を有する、補助層と
を備え、
前記補助層は、前記コア層よりも薄く、前記コア層を形成する材料と異なる材料から形成される、項目13に記載の光学システム。
(項目22)
光学デバイスを作製するための方法であって、前記方法は、
導波管を形成することを含み、前記導波管を形成することは、
上側および下側インプリント金型を提供することであって、前記インプリント金型は、相互に面する、ことと、
前記インプリント金型の間に第1のポリマー材料を提供することと、
前記第1のポリマー材料にわたって、前記インプリント金型の間に第2のポリマー材料を提供することであって、前記第2のポリマー材料は、液体状態である、ことと、
前記第2のポリマー材料を前記上側インプリント金型と接触させることと、
前記第1のポリマー材料および前記第2のポリマー材料を硬質化プロセスに暴露することであって、前記第1のポリマー材料は、第1の層を形成し、前記第2のポリマー材料は、第2の層を形成する、ことと、
前記上側インプリント金型を除去することと
を含む、方法。
(項目23)
前記上側インプリント金型は、突出部およびくぼみのパターンを備え、前記第2のポリマー材料を前記上側インプリント金型と接触させることは、突出部およびくぼみの対応するパターンを前記第2のポリマー材料の中に転写する、項目22に記載の方法。
(項目24)
前記下側インプリント金型は、突出部およびくぼみのパターンを備え、前記第1の層は、突出部およびくぼみの合致するパターンを備える、項目22に記載の方法。
(項目25)
前記第1のポリマー材料は、液体状態である、項目22に記載の方法。
(項目26)
前記第1のポリマー材料を提供することは、
前記下側インプリント金型と付加的インプリント金型との間に前記第1のポリマー材料を提供することと、
前記下側インプリント金型と前記付加的インプリント金型との間で前記第1のポリマー材料を圧縮することと、
前記下側インプリント金型と前記付加的インプリント金型との間で前記第1のポリマー材料を硬質化することと
を含み、
上側および下側インプリント金型を提供することは、
前記付加的インプリント金型を除去することと、
前記第1のポリマー材料にわたって前記上側インプリント金型を配置することと
を含む、項目22に記載の方法。
(項目27)
前記第1および第2のポリマー材料を硬質化プロセスに暴露することは、前記第1および第2のポリマー材料を紫外線光に暴露することを含む、項目22に記載の方法。
(項目28)
前記第2のポリマー材料の第2の層上に第3のポリマー材料を堆積させることと、
前記第3のポリマー材料を第3のポリマー材料金型と接触させることと、
前記第3のポリマー材料を硬質化し、前記第3のポリマー材料の第3の層を形成することと、
前記第3のポリマー材料金型を除去することと
をさらに含む、項目22に記載の方法。
(項目29)
前記第3の層上に第4のポリマー材料を堆積させることと、
前記第4のポリマー材料を第4のポリマー材料金型と接触させることと、
前記第4のポリマー材料を硬質化し、前記第4のポリマー材料から形成される第4の層を形成することと、
前記第4のポリマー材料金型を除去することと
をさらに含む、項目28に記載の方法。
(項目30)
前記第4の層上に第5のポリマー材料を堆積させることと、
前記第5のポリマー材料を第5のポリマー材料金型と接触させることと、
前記第5のポリマー材料を硬質化し、前記第5のポリマー材料から形成される第5の層を形成することと、
前記第5のポリマー材料金型を除去することと
をさらに含む、項目29に記載の方法。
(項目31)
前記第1、第3、および第5のポリマー材料は、同一の材料である、項目30に記載の方法。
(項目32)
前記第2および第4のポリマー材料は、同一の材料である、項目31に記載の方法。
(項目33)
前記第1、第3、および第5の層は、回折光学要素を形成する突出部およびくぼみのパターンを備える、項目31に記載の方法。
(項目34)
ポリマー材料の交互層を備える導波管を形成することであって、前記交互層のうちの1つおきの層は、突出部およびくぼみのパターンを備える、ことと、
前記付加的導波管を前記導波管に添着することであって、前記付加的導波管および前記導波管は、間隙によって分離される、ことと
をさらに含む、項目22に記載の方法。
Claims (36)
- 光学デバイスであって、前記光学デバイスは、
導波管を備え、前記導波管は、
他方の主要表面の反対側に主要表面を有する光学的透過型コア層であって、前記コア層は、第1の屈折率を有する第1の材料から形成される、コア層と、
前記主要表面上の光学的透過型補助層であって、前記補助層は、複数のナノフォトニック構造を備え、前記補助層は、第2の屈折率を有する第2の材料から形成される、補助層と
を備え、
前記第2の材料は、前記第1の材料と異なり、
前記第1の屈折率は、前記第2の屈折率と異なり、
前記第1の屈折率および前記第2の屈折率は両方とも、少なくとも1.65であり、
前記補助層は、前記コア層よりも薄い、光学デバイス。 - 前記複数のナノフォトニック構造は、光学格子を備える、請求項1に記載の光学デバイス。
- 前記コア層および前記補助層はそれぞれ、ポリマーまたは樹脂から形成される、請求項1に記載の光学デバイス。
- 前記第2の屈折率は、前記第1の屈折率と0.05以上異なる、請求項1に記載の光学デバイス。
- 前記コア層は、100~5,000μmの厚さを有し、前記補助層は、0.01~5μmの厚さを有する、請求項1に記載の光学デバイス。
- 前記コア層よりも薄く、前記他方の主要表面に直接隣接する付加的補助層をさらに備える、請求項1に記載の光学デバイス。
- 前記付加的補助層は、光学格子を備える、請求項6に記載の光学デバイス。
- 前記コア層から見て前記補助層の反対側に配置される付加的コア層をさらに備える、請求項1に記載の導波管。
- 前記コア層よりも薄い補助層と交互になる複数のコア層をさらに備え、前記補助層は、前記コア層と異なる材料から形成される、請求項1に記載の光学デバイス。
- 前記コア層は、同一の材料から形成される、請求項9に記載の光学デバイス。
- 前記補助層は、同一の材料から形成される、請求項10に記載の光学デバイス。
- 前記補助層のうちの1つ以上のものは、1つ以上の他の補助層と異なる光学格子を備える、請求項9に記載の光学デバイス。
- 光学システムであって、前記光学システムは、
スタックされる離間された導波管のセットを備え、前記導波管のうちの少なくとも1つは、
他方の主要表面の反対側に主要表面を有する光学的透過型コア層であって、前記コア層は、第1の屈折率を有する第1の材料から形成される、コア層と、
前記主要表面上の光学的透過型補助層であって、前記補助層は、複数のナノフォトニック構造を備え、前記補助層は、第2の屈折率を有する第2の材料から形成される、補助層と
を備え、
前記第2の材料は、前記第1の材料と異なり、
前記第1の屈折率は、前記第2の屈折率と異なり、
前記第1の屈折率および前記第2の屈折率は両方とも、少なくとも1.65であり、
前記補助層は、前記コア層よりも薄い、光学システム。 - 各導波管は、空隙によって分離される、請求項13に記載の光学システム。
- 各導波管は、前記導波管の間に配置される1つ以上のスペーサによって離間される、請求項13に記載の光学システム。
- 前記導波管はそれぞれ、コア層と、補助層とを備え、前記1つ以上のスペーサは、前記コア層または補助層のうちの1つと一体的である、請求項15に記載の光学システム。
- 光学システムであって、前記光学システムは、
スタックされる離間された導波管のセットを備え、前記導波管のうちの少なくとも1つは、
他方の主要表面の反対側に主要表面を有する光学的透過型コア層と、
前記主要表面上の光学的透過型補助層であって、前記補助層は、ナノフォトニック構造を備える、補助層と
を備え、
前記補助層は、前記コア層よりも薄く、前記コア層を形成する材料と異なる材料から形成され、
前記導波管はそれぞれ、コア層と、補助層とを備え、各導波管のコア層は、前記スタックされる離間された導波管のセットのうちの他の導波管のコア層と異なる材料から形成される、光学システム。 - 前記光学システムは、拡張現実システムであり、
画像情報を含有する変調光を前記導波管に提供するように構成される空間光変調器をさらに備え、
各導波管は、複数のナノフォトニック構造を備え、前記ナノフォトニック構造は、
前記変調光を前記導波管の中に指向するように構成される内部結合回折光学要素と、
前記導波管から内部結合された変調光を抽出するように構成される外部結合回折光学要素と
を備える、請求項13に記載の光学システム。 - 前記空間光変調器は、前記内部結合回折光学要素上に画像を投影するように構成される光投影システムの一部である、請求項18に記載の光学システム。
- 前記空間光変調器は、走査ファイバディスプレイのために光を変調させる、請求項18に記載の光学システム。
- スタックされる離間された導波管の複数のセットをさらに備え、各導波管は、
他方の主要表面の反対側に主要表面を有する光学的透過型コア層と、
前記主要表面上の光学的透過型補助層であって、前記補助層は、ナノフォトニック構造を備える、補助層と
を備え、
前記補助層は、前記コア層よりも薄く、前記コア層を形成する材料と異なる材料から形成される、請求項13に記載の光学システム。 - 光学デバイスを作製するための方法であって、前記方法は、
導波管を形成することを含み、前記導波管を形成することは、
上側および下側インプリント金型を提供することであって、前記インプリント金型は、相互に面する、ことと、
前記インプリント金型の間に第1のポリマー材料を提供することと、
前記第1のポリマー材料にわたって、前記インプリント金型の間に第2のポリマー材料を提供することであって、前記第2のポリマー材料は、液体状態である、ことと、
前記第2のポリマー材料を前記上側インプリント金型と接触させることと、
前記第1のポリマー材料および前記第2のポリマー材料を硬質化プロセスに暴露することであって、前記第1のポリマー材料は、第1の層を形成し、前記第2のポリマー材料は、第2の層を形成する、ことと、
前記上側インプリント金型を除去することと
を含む、方法。 - 前記上側インプリント金型は、突出部およびくぼみのパターンを備え、前記第2のポリマー材料を前記上側インプリント金型と接触させることは、突出部およびくぼみの対応するパターンを前記第2のポリマー材料の中に転写する、請求項22に記載の方法。
- 前記下側インプリント金型は、突出部およびくぼみのパターンを備え、前記第1の層は、突出部およびくぼみの合致するパターンを備える、請求項22に記載の方法。
- 前記インプリント金型の間に前記第1のポリマー材料を提供することは、
前記インプリント金型の間に液体状態で前記第1のポリマー材料を提供することを含む、請求項22に記載の方法。 - 前記第1のポリマー材料を提供することは、
前記下側インプリント金型と付加的インプリント金型との間に前記第1のポリマー材料を提供することと、
前記下側インプリント金型と前記付加的インプリント金型との間で前記第1のポリマー材料を圧縮することと、
前記下側インプリント金型と前記付加的インプリント金型との間で前記第1のポリマー材料を硬質化することと
を含み、
上側および下側インプリント金型を提供することは、
前記付加的インプリント金型を除去することと、
前記第1のポリマー材料にわたって前記上側インプリント金型を配置することと
を含む、請求項22に記載の方法。 - 前記第1および第2のポリマー材料を硬質化プロセスに暴露することは、前記第1および第2のポリマー材料を紫外線光に暴露することを含む、請求項22に記載の方法。
- 前記第2のポリマー材料の第2の層上に第3のポリマー材料を堆積させることと、
前記第3のポリマー材料を第3のポリマー材料金型と接触させることと、
前記第3のポリマー材料を硬質化し、前記第3のポリマー材料の第3の層を形成することと、
前記第3のポリマー材料金型を除去することと
をさらに含む、請求項22に記載の方法。 - 前記第3の層上に第4のポリマー材料を堆積させることと、
前記第4のポリマー材料を第4のポリマー材料金型と接触させることと、
前記第4のポリマー材料を硬質化し、前記第4のポリマー材料から形成される第4の層を形成することと、
前記第4のポリマー材料金型を除去することと
をさらに含む、請求項28に記載の方法。 - 前記第4の層上に第5のポリマー材料を堆積させることと、
前記第5のポリマー材料を第5のポリマー材料金型と接触させることと、
前記第5のポリマー材料を硬質化し、前記第5のポリマー材料から形成される第5の層を形成することと、
前記第5のポリマー材料金型を除去することと
をさらに含む、請求項29に記載の方法。 - 前記第1、第3、および第5のポリマー材料は、同一の材料である、請求項30に記載の方法。
- 前記第2および第4のポリマー材料は、同一の材料である、請求項31に記載の方法。
- 前記第1、第3、および第5の層は、回折光学要素を形成する突出部およびくぼみのパターンを備える、請求項31に記載の方法。
- ポリマー材料の交互層を備える付加的導波管を形成することであって、前記交互層のうちの1つおきの層は、突出部およびくぼみのパターンを備える、ことと、
前記付加的導波管を前記導波管に添着することであって、前記付加的導波管および前記導波管は、間隙によって分離される、ことと
をさらに含む、請求項22に記載の方法。 - 前記複数のナノフォトニック構造は、前記コア層の中に延在する1つ以上のくぼみを含む、請求項1に記載の光学デバイス。
- 前記複数のナノフォトニック構造は、前記コア層の中に延在する1つ以上のくぼみを含む、請求項13に記載の光学システム。
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