JP7316785B2 - 光学式膜厚測定システムの洗浄方法 - Google Patents
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Description
一態様では、前記研磨テーブルを静止させた状態で、前記通孔を構造体で覆いながら、前記通孔にリンス液を供給する。
一態様では、前記研磨テーブルを回転させた状態で、前記通孔を構造体で間欠的に覆いながら、前記通孔にリンス液を供給する。
一態様では、前記構造体はウェーハである。
一態様では、前記研磨テーブル内を延びる液体供給ラインを通じて前記リンス液を前記通孔に供給する。
一態様では、前記研磨パッドの上方に配置された研磨パッド洗浄ノズルの下面に向かって前記リンス液を噴射し、前記研磨パッド洗浄ノズルの下面から落下した前記リンス液を前記通孔に供給する。
一態様では、前記ドレインラインは、前記リンス液を前記通孔から吸引するためのドレインポンプに接続されている。
2 研磨パッド
3 研磨テーブル
5 液体供給ノズル
6 テーブルモータ
7 光学センサヘッド
8 アトマイザ(研磨パッド洗浄ノズル)
9 データ処理部
10 ヘッドシャフト
12 気体供給ライン
13 純水供給ライン
17 連結手段
18 研磨ヘッドモータ
19 ロータリージョイント
31 投光用光ファイバーケーブル
32 受光用光ファイバーケーブル
40 光学的膜厚測定システム
44 光源
47 分光器
50A 第1の孔
50B 第2の孔
51 通孔
53 液体供給ライン
53A 第1並列ライン
53B 第2並列ライン
54 ドレインライン
55 純水供給源
60 ドレインポンプ
65 動作制御部
68 開閉弁
68A 第1開閉弁
68B 第2開閉弁
70 ドレイン弁
73 流量計
Claims (9)
- スラリーを用いた基板の研磨前または後に、研磨テーブル上の研磨パッドに形成された通孔に液体供給ラインを通じてリンス液を供給して、前記通孔の下方に配置された光学センサヘッドを前記リンス液で洗浄し、
前記リンス液を前記通孔からドレインラインを通じて排出し、
前記液体供給ラインを流れる前記リンス液の流量を流量計により測定し、
前記ドレインライン内のスラリーまたは基板の研磨屑に起因して前記流量の測定値がしきい値よりも小さい場合は、動作制御部によりアラーム信号を生成する、方法。 - 前記通孔を構造体で覆いながら、前記通孔にリンス液を供給する、請求項1に記載の方法。
- 前記研磨テーブルを静止させた状態で、前記通孔を構造体で覆いながら、前記通孔にリンス液を供給する、請求項2に記載の方法。
- 前記研磨テーブルを回転させた状態で、前記通孔を構造体で間欠的に覆いながら、前記通孔にリンス液を供給する、請求項2に記載の方法。
- 前記構造体はウェーハである、請求項3または4に記載の方法。
- 前記研磨テーブル内を延びる液体供給ラインを通じて前記リンス液を前記通孔に供給する、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の方法。
- スラリーを用いた基板の研磨前または後に、研磨テーブル上の研磨パッドの上方に配置された研磨パッド洗浄ノズルから、前記研磨パッドに形成された通孔にリンス液を供給して、前記通孔の下方に配置された光学センサヘッドを前記リンス液で洗浄し、
前記リンス液を前記通孔からドレインラインを通じて排出する、方法。 - スラリーを用いた基板の研磨前または後に、研磨テーブル上の研磨パッドの上方に配置された研磨パッド洗浄ノズルの下面に向かってリンス液を噴射し、前記研磨パッド洗浄ノズルの下面から落下した前記リンス液を前記研磨パッドに形成された通孔に供給して、前記通孔の下方に配置された光学センサヘッドを前記リンス液で洗浄し、
前記リンス液を前記通孔からドレインラインを通じて排出する、方法。 - 前記ドレインラインは、前記リンス液を前記通孔から吸引するためのドレインポンプに接続されている、請求項1乃至8のいずれか一項に記載の方法。
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