JP7313449B2 - 基板処理装置、ノズル検査方法、及び、記憶媒体 - Google Patents
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Description
まず、図1~図3に示される塗布・現像装置1の構成の概要について説明する。塗布・現像装置1は、露光装置E1による露光処理の前に、ウエハ(基板)Wの表面Waにレジスト材料を塗布してレジスト膜を形成する処理を行う。塗布・現像装置1は、露光装置E1による露光処理の後に、ウエハWの表面Waに形成されたレジスト膜の現像処理を行う。本実施形態において、ウエハWは円板状を呈するが、円形の一部が切り欠かれている形状であってもよく、また、多角形などの円形以外の形状を呈するウエハを用いてもよい。
制御装置CUは、一つ又は複数の制御用コンピュータにより構成される。例えば制御装置100は、図5に示される回路120を有する。回路120は、一つ又は複数のプロセッサ121と、メモリ122と、ストレージ123と、入出力ポート124とを有する。ストレージ123は、例えばハードディスク等、コンピュータによって読み取り可能な記憶媒体を有する。記憶媒体は、後述のプロセス処理手順を制御装置CUに実行させるためのプログラムを記憶している。記憶媒体は、不揮発性の半導体メモリ、磁気ディスク及び光ディスク等の取り出し可能な媒体であってもよい。メモリ122は、ストレージ123の記憶媒体からロードしたプログラム及びプロセッサ121による演算結果を一時的に記憶する。プロセッサ121は、メモリ122と協働して上記プログラムを実行することで、上述した各機能モジュールを構成する。入出力ポート124は、プロセッサ121からの指令に従って、制御対象の部材との間で電気信号の入出力を行う。
次に、塗布・現像装置1の動作の概要について説明する。まず、キャリア11がキャリアステーション12に設置される。このとき、キャリア11の一方の側面11aは、搬入・搬出部13の開閉扉13aに向けられる。続いて、キャリア11の開閉扉と、搬入・搬出部13の開閉扉13aとが共に開放され、受け渡しアームA1により、キャリア11内のウエハWが取り出され、処理ブロックS2の棚ユニットU10のうちいずれかのセルに順次搬送される。
次に、現像処理ユニット(基板処理装置)U1について、さらに詳しく説明する。現像処理ユニットU1は、ウエハWの表面Waに処理液を吐出する吐出処理を、複数のウエハWについて一つずつ順次実行する。現像処理ユニットU1は、図4に示されるように、回転保持部20と、昇降装置22と、処理液供給部24とを備える。
次に、図9~図16を参照しながら、現像処理ユニットU1における液ノズルNの吐出口Naの検査方法の手順について説明する。図9は、検査方法に係る一連の手順を説明するフロー図である。また、図10及び図13は画像処理及び付着状態の評価に係る手順を説明するフロー図であり、図11,12,14-16は、上記の手順を実施する際に用いる画像の例を説明する図である。
次に、図10~図12を参照しながら、液ノズルNの吐出口Na近傍の異常の有無を判定する際の具体的な手順について説明する。ここで説明する手順は図9におけるステップS03~ステップS06の具体的な手順の一つの手法である。
図12(c)に示したように、基準画像と検査画像との差分画像では、液ノズルNの吐出口Naの下端の輪郭を特定することができる。すなわち、図14(a)に示すように、差分画像から液ノズルNの吐出口Naの下端の輪郭、すなわち、下端面の内壁との境界部と、外壁との境界部と、を特定することができる。なお、ノズル形状情報は、差分画像から取得することに代えて、予め制御装置CUの記憶部CU1において対応する情報を保持しておく態様としてもよい。撮像部26により撮像される液ノズルNの吐出口Na近傍の画像は、上記のように撮像位置が基本的に決まっているものである。したがって、検査画像における液ノズルNの吐出口Naの下端の位置は基本的に変わらないものとして、予め検査画像に含まれる液ノズルNの吐出口Naのノズル形状情報を保持しておくこととしてもできる。
上記の現像処理ユニット(基板処理装置)U1及びノズル検査方法によれば、液ノズルNの吐出口Naの近傍に係る全周を撮像した検査画像に基づいて、液ノズルNの吐出口Naへの付着物の付着状態の評価が行われる。また、より詳細には、液ノズルNに付着した付着物を撮像した領域が推定され、その結果に基づいて異常の有無が判定される。このように、液ノズルNの吐出口Naの近傍に係る全周を撮像した画像に基づいた評価が行われ、その一態様として、異常の有無が判定される。したがって、付着物が付着した状態で液ノズルNが動作する可能性を低減させることができるため、ノズルの吐出口Na付近における付着物の付着状態をより適切に評価することができる。
Claims (12)
- 下方の基板に対して吐出口から処理液を吐出する液ノズルと、
前記液ノズルの前記吐出口の近傍に係る全周を撮像する撮像部と、
制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記撮像部において撮像された前記液ノズルの吐出口近傍に係る全周の検査画像を取得する画像取得制御と、
前記液ノズルの吐出口近傍に係る全周の検査画像から、前記液ノズルの吐出口への付着物の付着状態の評価を行う評価制御と、
前記評価制御での評価結果に基づいて、前記液ノズルに対して実行すべき動作を判定する判定制御と、を実行し、
前記画像取得制御において、前記検査画像と、前記付着物が付着してない状態での前記吐出口近傍の全周の画像である基準画像との差分画像を算出し、
前記評価制御において、前記差分画像における輝度値の平均値を算出し、
前記判定制御において、前記平均値が閾値以上であるか否かに基づいて、前記液ノズルに対して実行すべき動作を判定する、基板処理装置。 - 前記制御部は、
前記評価制御において、前記ノズルの形状を特定するノズル形状情報と、前記差分画像における輝度値とに基づいて、前記ノズルにおいて前記付着物が付着した領域を推定し、
前記判定制御において、前記付着物が付着した領域の推定結果に更に基づいて、前記液ノズルに対して実行すべき動作を判定する、請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記制御部は、前記評価制御において、前記ノズル形状情報を用いて、前記付着物が付着した領域が前記液ノズルの内壁側の領域を含むか否かと、前記付着物が付着した領域が前記液ノズルの外壁側の領域を含むか否かとを推定する、請求項2に記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、前記付着物が付着した領域が前記液ノズルの内壁側の領域を含むか否かの推定結果と、前記付着物が付着した領域が前記液ノズルの外壁側の領域を含むか否かの推定結果とに基づいて、前記液ノズルに対して実行すべき動作として、前記液ノズルの洗浄方法を選択する、請求項3に記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、前記評価制御において、前記差分画像に二値化処理を行い、前記二値化処理を行った前記差分画像に基づいて、前記付着物が付着した領域を推定する、請求項2に記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、
前記評価制御において、前記検査画像から推定された前記液ノズルに付着した付着物を撮像した領域の外形または大きさに基づいて、前記液ノズルに付着した付着物が液体であるか固体であるかを推定し、
前記判定制御において、前記付着物が液体であるか固体であるかを推定した結果に更に基づいて、前記液ノズルに対して実行すべき動作を判定する、請求項1~5のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記撮像部は、複数のカメラを有し、
前記複数のカメラは、前記ノズルの前記吐出口近傍において周方向に均等に配置されている、請求項1~6のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記撮像部は、カメラと、ミラーと、を有し、
前記ミラーは、前記ノズルの前記吐出口の下方に配置され、
前記カメラは、前記ミラーの反射面と対向するように配置されている、請求項1~6のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記ノズルの前記吐出口の下方に配置され、前記基板を支持するための支持部を更に備え、
前記撮像部は、カメラを有し、
前記カメラは、前記支持部に支持された前記基板の前記吐出口側の表面と対向するように配置されている、請求項1~6のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記撮像部は、カメラと、ミラーと、前記吐出口及び前記基板が対向する方向と垂直な方向に延在するアームと、を有し、
前記カメラは、前記アームの一端に接続され、
前記ノズルは、前記アームの他端に接続され、
前記ミラーは、前記カメラに対して死角となる前記ノズルの側面の外壁が写るように配置されている、請求項1~6のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 下方の基板に対して吐出口から処理液を吐出する液ノズルを有する基板処理装置に係るノズル検査方法であって、
前記液ノズルの前記吐出口の近傍に係る全周を撮像した検査画像を取得し、
前記液ノズルの前記吐出口の近傍に係る全周の検査画像から、前記液ノズルの吐出口への付着物の付着状態の評価を行い、
前記付着状態の評価の結果に基づいて、前記液ノズルに対して実行すべき動作を判定し、
前記検査画像を取得することにおいて、前記検査画像と、前記付着物が付着してない状態での前記吐出口の近傍の全周の画像である基準画像との差分画像を算出し、
前記付着状態の評価を行うことにおいて、前記差分画像における輝度値の平均値を算出し、
前記液ノズルに対して実行すべき動作を判定することにおいて、前記平均値が閾値以上であるか否かに基づいて、前記液ノズルに対して実行すべき動作を判定する、ノズル検査方法。 - 請求項11に記載のノズル検査方法を装置に実行させるためのプログラムを記憶した、コンピュータ読み取り可能な記憶媒体。
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