JP7312160B2 - エッチング装置及びエッチング方法 - Google Patents
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Description
前記エッチング装置は、チャンバと、ガス供給部と、水蒸気供給部と、制御部と、を具備する。
前記チャンバは、前記シリコン酸化膜を表面に有する基板が配置されることが可能に構成される。
前記ガス供給部は、前記処理ガス又は前記処理ガスの前駆体ガスを前記チャンバに供給することが可能に構成される。
前記水蒸気供給部は、水蒸気を前記チャンバに供給することが可能に構成される。
前記制御部は、エッチング処理時に、前記処理ガス又は前記前駆体ガス、及び前記水蒸気を前記チャンバに供給するように、前記ガス供給部及び前記水蒸気供給部を制御する。
水素を含むガス又は水素ラジカルの少なくとも一方を含む第1の前駆体ガスを前記チャンバに供給することが可能な第1のガス供給ラインと、
フッ素を含むガス又はフッ素ラジカルの少なくとも一方を含む第2の前駆体ガスを前記チャンバに供給することが可能な第2のガス供給ラインと、を有し、
前記フッ化水素は、前記チャンバ内で前記第1の前駆体ガスと前記第2の前駆体ガスとが反応することで生成されてもよい。
前記基板が配置されることが可能な処理室と、
前記ガス供給部に接続されたガス供給室と、
複数の貫通孔を含み、前記ガス供給室と前記処理室との間に配置されたシャワープレートと、を有していてもよい。
前記シリコン酸化膜を表面に有する基板が配置されたチャンバに、前記処理ガス又は前記処理ガスの前駆体ガスが供給される。
水蒸気が前記チャンバに供給される。
前記水蒸気が供給された前記チャンバにおいて、前記処理ガスを用いて前記シリコン酸化膜がエッチングされる。
本発明は、フッ化水素(HF)とアンモニア(NH3)とを含む処理ガスを用いてシリコン酸化膜をエッチングするためのエッチング装置及びエッチング方法に関する。
HF+NH3→NH4F…(1)
これにより、アンモニアフッ化物(NH4F)が生成される。生成されたNH4Fは、基板の表面のシリコン酸化膜と反応する。この反応は、以下の式(2)で表される。
SiO2+6NH4F→(NH4)2SiF6+2H2O+4NH3…(2)
[エッチング装置の構成]
図1は、本発明の第1の実施形態に係るエッチング装置100を示す模式的な断面図である。
図1に示すように、エッチング装置100は、チャンバ10と、ガス供給部20と、水蒸気供給部30と、制御部40と、を備える。エッチング装置100は、HFとNH3とを含む処理ガスを用いてシリコン酸化膜をエッチングするためのドライエッチング装置であって、例えば、チャンバ10の外部でラジカルを生成することが可能なリモートプラズマエッチング装置である。
処理ガスは、上述のように、HFとNH3とを含む反応性のガスである。
前駆体ガスは、処理ガスの前駆体を含むガスである。
ガス供給部20は、HFガスとNH3ガスをチャンバ10に供給してもよい。あるいは、ガス供給部20は、前駆体ガスをチャンバ10に供給してもよい。後者の場合、例えば、ガス供給部20によって供給された前駆体ガスがチャンバ10内で反応することで、処理ガスが生成される。
なお、処理ガス及び前駆体ガスは、通常の気体だけでなく、ラジカル状態の原子を含んでいてもよい。
第2の供給口221は、本実施形態において、ガス供給室15に開口する。第2の供給口221は、例えば、ヘッド本体132のテーパ面136に開口する。第2のガス供給ライン22は、複数の第2の供給口221を含んでいてもよく、これらの第2の供給口221が、第1の供給口212を囲むようにテーパ面136に配置されていてもよい。
第3の配管32には、例えば、液体の水から水蒸気を生成する気化器が接続されていてもよい。
制御部40は、CPU(Central Processing Unit)、RAM(Random Access Memory)、ROM(Read Only Memory)等のコンピュータに用いられるハードウェア要素および必要なソフトウェアにより実現される。制御部40は、少なくともガス供給部20及び水蒸気供給部30を制御できればよいが、エッチング装置100全体を制御するように構成されてもよい。
図2は、本実施形態のエッチング方法を説明するためのフロー図である。
以下、上記構成のエッチング装置100を用いたエッチング方法について説明する。
第1のガス供給ライン21では、例えば、原料ガスとして、NH3ガス及びN2ガスの混合ガスがラジカル生成部211に導入される。ラジカル生成部211では、NH3ガス及びN2ガスの一部がラジカル状態となってH*及びN*が生成される。この結果、第1の前駆体ガスは、例えば、NH3ガス、H*、N2ガス及びN*を含む。
H*+NF3→HF+NF2…(3)
これにより、ガス供給室15では、HFと、第1のガス供給ライン21でラジカル状態とならなかったNH3とを含む処理ガスが生成される。上記反応で生じたHFは、反応性が高い状態である。
HF+NH3→NH4F…(1)
生成されたNH4Fは、例えばシャワープレート131を介して処理室14へ供給される。
SiO2+6NH4F→(NH4)2SiF6+2H2O+4NH3…(2)
ステップS3においては、反応生成物を効率よく生成する観点から、基板Wを-5℃以上50℃以下に維持してもよい。
なお、ステップS3におけるエッチング処理において、チャンバ10内の圧力は、例えば、10Pa以上1000Pa以下とすることができ、さらに10Pa以上500Pa以下とすることもできる。
以下、実施例及び比較例を用いて、本実施形態の作用効果を具体的に説明する。
第1のガス供給ラインに、原料ガスとして、NH3ガス及びN2ガスの混合ガスを導入した。ラジカル生成部におけるマイクロ波の周波数は2.45GHz、放電電力は1800kWとした。
第2のガス供給ラインに、NF3を導入した。
水蒸気供給部に、水蒸気を導入した。
エッチング処理中のチャンバ内の圧力は約500Paに調整した。NH3ガスの分圧は約56Pa、N2ガスの分圧は約430Pa、NF3ガスの分圧は約12Pa、水蒸気の分圧は約2Paとなるように調整した。
エッチング処理中の基板の温度は、約20℃とした。
第1のガス供給ラインと第2のガス供給ラインには、実施例と同一のガスを導入した。ラジカル生成部における放電条件及びエッチング処理中の基板の温度も同一とした。
エッチング処理中のチャンバ内の圧力は約500Paに調整した。NH3ガスの分圧は約56Pa、N2ガスの分圧は約432Pa、NF3ガスの分圧は約12Paとなるように調整した。
それに対し、図3に示すように、水蒸気を供給した実施例のエッチング処理では、比較例の結果と比較して、基板の周縁部におけるエッチング量の変化が抑制されていた。
図5は、本発明の第2の実施形態に係るエッチング装置100Aを示す模式的な断面図である。
同図に示すように、エッチング装置100Aは、第1の実施形態と同様のチャンバ10と、ガス供給部20と、制御部40と、を備えるが、第1の実施形態とは異なる水蒸気供給部30Aを備える。
以下の各実施形態において、上述の第1の実施形態と同様の構成については同一の符号を付して説明を省略し、異なる部分を主に説明する。
図6は、本発明の第3の実施形態に係るエッチング装置100Bを示す模式的な断面図である。
同図に示すように、エッチング装置100Bは、第1の実施形態と同様のチャンバ10と、ガス供給部20と、制御部40と、を備えるが、第1の実施形態とは異なる水蒸気供給部30Bを備える。
図7は、本発明の第4の実施形態に係るエッチング装置100Cを示す模式的な断面図である。
同図に示すように、エッチング装置100Cは、第1の実施形態と同様のチャンバ10と、ガス供給部20と、制御部40と、を備えるが、第1の実施形態とは異なる水蒸気供給部30Cを備える。
図8は、本発明の第5の実施形態に係るエッチング装置100Dを示す模式的な断面図である。
同図に示すように、エッチング装置100Dは、第1の実施形態と同様のチャンバ10と、ガス供給部20と、制御部40と、を備えるが、第1の実施形態とは異なる水蒸気供給部30Dを備える。
図9は、本発明の第6の実施形態に係るエッチング装置100Eを示す模式的な断面図である。
同図に示すように、エッチング装置100Eは、第1の実施形態と同様のチャンバ10と、ガス供給部20と、制御部40と、を備えるが、第1の実施形態とは異なる水蒸気供給部30Eを備える。
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加えることができる。
例えば、ガス供給室15は、支持面121とZ軸方向に対向する配置ではなく、支持面121の側方、すなわちチャンバ10の側壁113に沿って配置されていてもよい。この場合、シャワープレート131は、複数の貫通孔133がX軸方向又はY軸方向に沿って延びるように配置されていてもよい。
あるいは、チャンバ10は、ガスヘッド13を有さず、シャワープレート131のみによって処理室14とガス供給室15とが区画されていてもよい。
また、チャンバ10は、処理室14とガス供給室15とが区画されておらず、チャンバ10の内部全体が処理室14として構成されてもよい。この場合、処理室14の天板、側壁等にガス供給部20が直接接続されていてもよい。
あるいは、ガス供給部20は、処理ガスの前駆体ガスがチャンバ10に供給される構成に限定されず、例えばチャンバ10の外部でHFとNH3とを含む処理ガスが生成され、生成された処理ガスがチャンバ10に供給されてもよい。
10…チャンバ
20…ガス供給部
21…第1のガス供給ライン
22…第2のガス供給ライン
30,30A,30B,30C,30D,30E…水蒸気供給部
40…制御部
Claims (8)
- フッ化水素とアンモニアとを含む処理ガスと、水蒸気とを用いてシリコン酸化膜をエッチングするためのエッチング装置であって、
前記シリコン酸化膜を表面に有する基板が配置されることが可能なチャンバと、
前記処理ガス又は前記処理ガスの前駆体ガスを前記チャンバに供給することが可能なガス供給部と、
水蒸気を前記チャンバ内の前記基板の表面全体に供給することが可能な水蒸気供給部と、
エッチング処理時に、前記処理ガス又は前記前駆体ガス、及び前記水蒸気を前記チャンバに供給するように、前記ガス供給部及び前記水蒸気供給部を制御する制御部と、
を具備し、
前記ガス供給部は、
水素を含むガスから水素ラジカルを生成するラジカル生成部を有し、水素ラジカルを含む第1の前駆体ガスを前記チャンバに供給することが可能な第1のガス供給ラインと、
フッ素を含む第2の前駆体ガスを前記チャンバに供給することが可能な第2のガス供給ラインと、を有し、
前記フッ化水素は、前記チャンバ内で前記第1の前駆体ガスと前記第2の前駆体ガスとが反応することで生成される
エッチング装置。 - 請求項1に記載のエッチング装置であって、
前記制御部は、0.1Pa以上100Pa以下の分圧で水蒸気を前記チャンバに供給するように、前記水蒸気供給部を制御する
エッチング装置。 - 請求項1又は2に記載のエッチング装置であって、
前記チャンバは、
前記基板が配置されることが可能な処理室と、
前記ガス供給部に接続されたガス供給室と、
複数の貫通孔を含み、前記ガス供給室と前記処理室との間に配置されたシャワープレートと、を有する
エッチング装置。 - 請求項3に記載のエッチング装置であって、
前記水蒸気供給部は、前記ガス供給室に接続される
エッチング装置。 - 請求項3に記載のエッチング装置であって、
前記水蒸気供給部は、前記処理室に接続される
エッチング装置。 - 請求項5に記載のエッチング装置であって、
前記基板を支持する支持面を有する基板支持部をさらに具備し、
前記水蒸気供給部は、前記支持面の周縁に沿って配置された複数の水蒸気供給口を有する
エッチング装置。 - フッ化水素とアンモニアとを含む処理ガスと、水蒸気とを用いてシリコン酸化膜をエッチングするためのエッチング方法であって、
前記シリコン酸化膜を表面に有する基板が配置されたチャンバに、前記処理ガス又は前記処理ガスの前駆体ガスを供給し、
水蒸気を前記チャンバ内の前記基板の表面全体に供給し、
前記水蒸気が供給された前記チャンバにおいて、前記処理ガスを用いて前記シリコン酸化膜をエッチングする
エッチング方法であって、
水素ラジカルを含む第1の前駆体ガスを、第1のガス供給ラインから前記チャンバに供給し、
フッ素を含む第2の前駆体ガスを、第2のガス供給ラインから前記チャンバに供給し、
前記チャンバ内で前記第1の前駆体ガスと前記第2の前駆体ガスとを反応させることで、前記フッ化水素を生成する
エッチング方法。 - 請求項7に記載のエッチング方法であって、
0.1Pa以上100Pa以下の分圧で水蒸気を前記チャンバに供給する
エッチング方法。
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