JP7310717B2 - 表面分析装置 - Google Patents
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Description
x=r-y=r-r・cosθ=r・(1-cosθ)
の式により求められる。
以上のように、本実施形態は以下のような開示を含む。
試料表面を分析する表面分析装置であって、測定部と、試料を載置する試料台と、上記測定部と上記試料台とを相対的に変位させる移動機構とを備え、上記移動機構は、第1ブロック、上記試料台を保持する第2ブロック、ならびに上記第1ブロックおよび上記第2ブロックに軸支されるリンク部材を含むリンク機構と、上記第1ブロックを第1方向に往復移動させるスライド機構と、上記第2ブロックまたは上記リンク部材に当接して上記第2ブロックの第2方向の昇降移動をガイドする当接部材とを含み、上記リンク部材は、上記第1方向および上記第2方向に直交する第3方向の回動軸まわりに回動可能となるように上記第1ブロックおよび上記第2ブロックに軸支され、上記第1ブロックが上記当接部材側に移動するときに、上記第2ブロックまたは上記リンク部材が上記当接部材に最初に当接する第1の接触点において、上記当接部材の表面は、上記第1方向に対して0度より大きく90度より小さい角度で交差する斜め上方向の法線ベクトルを有する、表面分析装置。
上記法線ベクトルは、上記第1方向に対して45度以上90度より小さい角度で交差する、構成1に記載の表面分析装置。
試料表面を分析する表面分析装置であって、測定部と、試料を載置する試料台と、上記測定部と上記試料台とを相対的に変位させる移動機構とを備え、上記移動機構は、第1ブロック、上記試料台を保持する第2ブロック、ならびに上記第1ブロックおよび上記第2ブロックに軸支されるリンク部材を含むリンク機構と、上記第1ブロックを第1方向に往復移動させるスライド機構と、上記第2ブロックまたは上記リンク部材に当接して上記第2ブロックの第2方向の昇降移動をガイドする当接部材とを含み、上記リンク部材は、上記第1方向および上記第2方向に直交する第3方向の回動軸まわりに回動可能となるように上記第1ブロックおよび上記第2ブロックに軸支され、上記当接部材は、上記第3方向から見て円形の断面を有し、上記第1ブロックが上記当接部材側に移動するときに、上記円形の断面の中心軸に対して斜め上方に位置する第1の接触点において、上記第2ブロックまたは上記リンク部材が上記当接部材に最初に当接する、表面分析装置。
上記第1の接触点は、上記第1方向に対して上記円形の断面の周方向に45度以上90度より小さい角度だけ離れた位置にある、構成3に記載の表面分析装置。
上記第2ブロックは、上記当接部材側に位置する端部を有し、上記端部の一部に上記当接部材側に突出する突出部が設けられ、上記第1ブロックが上記当接部材側に移動するときに、上記第2ブロックにおける上記突出部が上記当接部材に最初に当接する、構成1から構成4のいずれかに記載の表面分析装置。
上記第2ブロックの上記当接部材側の端面は、上記突出部の下方に連なる曲面を含み、上記曲面は、該曲面に当接する上記当接部材の曲率半径よりも大きな曲率半径を有する円弧面を含む、構成5に記載の表面分析装置。
上記第2ブロックの上記当接部材側の端面は、上記突出部よりも下方に位置し、上記第2方向に延在する平面を含み、上記試料台が上記測定部に対向する位置にあるとき、上記当接部材は上記平面に当接する、構成5または構成6に記載の表面分析装置。
上記当接部材は、上記リンク部材の上記第3方向の上記回動軸と平行な回転軸まわりに回転可能なローラを含む、構成1から構成7のいずれかに記載の表面分析装置。
Claims (8)
- 試料表面を分析する表面分析装置であって、
測定部と、
試料を載置する試料台と、
前記測定部と前記試料台とを相対的に変位させる移動機構とを備え、
前記移動機構は、
第1ブロック、前記試料台を保持する第2ブロック、ならびに前記第1ブロックおよび前記第2ブロックに軸支されるリンク部材を含むリンク機構と、
前記第1ブロックを第1方向に往復移動させるスライド機構と、
前記第2ブロックまたは前記リンク部材に当接して前記第2ブロックの第2方向の昇降移動をガイドする当接部材とを含み、
前記リンク部材は、前記第1方向および前記第2方向に直交する第3方向の回動軸まわりに回動可能となるように前記第1ブロックおよび前記第2ブロックに軸支され、
前記第1ブロックが前記当接部材側に移動するときに、前記第2ブロックまたは前記リンク部材が前記当接部材に最初に当接する第1の接触点において、前記当接部材の表面は、前記第1方向に対して0度より大きく90度より小さい角度で交差する斜め上方向の法線ベクトルを有する、表面分析装置。 - 前記法線ベクトルは、前記第1方向に対して45度以上90度より小さい角度で交差する、請求項1に記載の表面分析装置。
- 試料表面を分析する表面分析装置であって、
測定部と、
試料を載置する試料台と、
前記測定部と前記試料台とを相対的に変位させる移動機構とを備え、
前記移動機構は、
第1ブロック、前記試料台を保持する第2ブロック、ならびに前記第1ブロックおよび前記第2ブロックに軸支されるリンク部材を含むリンク機構と、
前記第1ブロックを第1方向に往復移動させるスライド機構と、
前記第2ブロックまたは前記リンク部材に当接して前記第2ブロックの第2方向の昇降移動をガイドする当接部材とを含み、
前記リンク部材は、前記第1方向および前記第2方向に直交する第3方向の回動軸まわりに回動可能となるように前記第1ブロックおよび前記第2ブロックに軸支され、
前記当接部材は、前記第3方向から見て円形の断面を有し、
前記第1ブロックが前記当接部材側に移動するときに、前記円形の断面の中心軸に対して斜め上方に位置する第1の接触点において、前記第2ブロックまたは前記リンク部材が前記当接部材に最初に当接する、表面分析装置。 - 前記第1の接触点は、前記第1方向に対して前記円形の断面の周方向に45度以上90度より小さい角度だけ離れた位置にある、請求項3に記載の表面分析装置。
- 前記第2ブロックは、前記当接部材側に位置する端部を有し、
前記端部の一部に前記当接部材側に突出する突出部が設けられ、
前記第1ブロックが前記当接部材側に移動するときに、前記第2ブロックにおける前記突出部が前記当接部材に最初に当接する、請求項1から請求項4のいずれかに記載の表面分析装置。 - 前記第2ブロックの前記当接部材側の端面は、前記突出部の下方に連なる曲面を含み、
前記曲面は、該曲面に当接する前記当接部材の曲率半径よりも大きな曲率半径を有する円弧面を含む、請求項5に記載の表面分析装置。 - 前記第2ブロックの前記当接部材側の端面は、前記突出部よりも下方に位置し、前記第2方向に延在する平面を含み、
前記試料台が前記測定部に対向する位置にあるとき、前記当接部材は前記平面に当接する、請求項5または請求項6に記載の表面分析装置。 - 前記当接部材は、前記リンク部材の前記第3方向の前記回動軸と平行な回転軸まわりに回転可能なローラを含む、請求項1から請求項7のいずれかに記載の表面分析装置。
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