JP7308594B2 - 光学測定用セル及びこれを用いた粒子物性測定装置 - Google Patents
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Description
このような粒子物性測定装置であれば、上述した光学測定用セルと同様の作用効果を得ることができる。
例えば、溶媒のみを収容した光学測定用セル2を保持した第1セルホルダ7と、溶媒及び粒子からなる被検液Xを収容し、光路長が1μmに設定された光学測定用セル2を保持した第2セルホルダ7と、溶媒及び粒子からなる被検液Xを収容し、光路長が3μmに設定された光学測定用セル2を保持した第3セルホルダ7を、スライド部材9上にセットする。その他のセルホルダ7を有するものであってもよい。
そして、第1セルホルダ7の光学測定用セル2を光照射位置に移動させてバックグラウンド測定(透過光測定)を行う。その後、第2セルホルダ7の光学測定用セル2及び第3セルホルダ7の光学測定用セル2を順次光照射位置に移動させて光路長を変えて透過光測定を行う。そして、透過率が85~90%となる光路長を有する光学測定用セル2を決定し、当該光学測定用セル2を用いて粒子径分布測定を行う。
このように構成した本実施形態の粒子物性測定装置100によれば、一対の透光板21、22における一方の対向面21aにスペーサ膜25を形成しているので、一対の透光板21、22を重ね合わせるだけで所定の光路長を有する光学測定用セル2を構成することができ、光学測定用セル2の組み立てを容易にすることができる。また、対向面21aに一体的に形成されるスペーサ膜25の膜厚により光路長を規定することができるので、別体のスペーサを用いた場合に生じるスペーサの変形や破損を考慮する必要がなく、光路長を短くすることができる。さらに、別体のスペーサを用いないので、光学測定用セル2の組み立て誤差を低減することができ、その結果、粒子径分布測定の前に行う光学測定用セル2に対する光軸合わせを容易にすることができる。その他、スペーサ膜25が第1透光板21に一体的に形成されているので、光学測定用セル2を洗浄する場合にその作業を簡単にすることができる。
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
2・・・光学測定用セル
21、22・・・透光板
21a・・・一方の対向面
22a・・・他方の対向面
24・・・反射防止膜
25・・・スペーサ膜
26・・・導入部
27・・・導出部
Claims (6)
- レーザ光の照射により生じる回折/散乱光を検出することによって粒子径分布を測定する粒子径分布測定装置であって、
溶媒及び粒子からなる被検液を収容する光学測定用セルと、
前記光学測定用セル内の前記被検液に前記レーザ光を照射するレーザ装置と、
前記レーザ光の照射により生じる回折/散乱光の光強度を拡がり角に応じて検出する複数の光検出器と、
前記複数の光検出器から出力された光強度信号を受信して前記被検液に含まれる粒子の粒子径分布を算出する演算装置とを備え、
前記光学測定用セルは、互いに対向する対向面を有する一対の透光板を有し、当該一対の透光板における一対の対向面間に前記被検液を収容するものであり、
前記一対の対向面のうち一方の対向面に、他方の対向面に接触して前記一対の対向面間の距離を規定するスペーサ膜が形成されており、
前記一対の透光板を外側から挟み込んで周方向に亘って保持する挟持機構を備え、
前記スペーサ膜が形成された透光板に、前記一対の対向面間に前記被検液を導入する導入部、及び、前記被検液を導出する導出部が設けており、
前記挟持機構は、前記一対の透光板を収容する収容部を有する第1挟持要素と、前記第1挟持要素との間で前記一対の透光板を挟み込む第2挟持要素とを有し、
前記第1挟持要素に対して前記第2挟持要素を螺合させることによって、前記一対の透光板が周方向に亘って挟持される、粒子径分布測定装置。 - 前記スペーサ膜は、前記一方の対向面に形成された蒸着膜、めっき膜、スパッタ膜又は印刷膜である、請求項1記載の粒子径分布測定装置。
- 前記一対の透光板の少なくとも一方に、発熱部となる導電膜が形成されている、請求項1記載の粒子径分布測定装置。
- 前記一対の透光板は板厚が互いに異なる、請求項1記載の粒子径分布測定装置。
- 請求項1乃至4の何れか一項に記載の粒子径分布測定装置を用いた粒子径分布測定方法であって、
前記一対の透光板を前記挟持機構により挟持して前記光学測定用セルを組み立て、その後、前記導入部から前記被検液を前記一対の対向面間に導入する、粒子径分布測定方法。 - 請求項1乃至4の何れか一項に記載の粒子径分布測定装置を用いた粒子径分布測定方法であって、
光路長が互いに異なる複数の前記光学測定用セルそれぞれに前記被検液を収容し、それら複数の前記光学測定用セルを用いて順次透過光測定を行い、透過率が所定範囲となる光路長を有する前記光学測定用セルを決定し、当該決定した前記光学測定用セルを用いて粒子径分布測定を行う、粒子径分布測定方法。
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