JP7303342B2 - 荷電粒子源モジュール - Google Patents
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Description
第1の剛性枠部と、第2の剛性枠部と、第1の枠部と第2の枠部との間に配置されこれらに剛的に接続された1つ以上の剛性支持部材とを含む枠と、
荷電粒子ビームを生成する荷電粒子源配置であって第2の枠部に配置された荷電粒子源配置と、
第1の枠部に配置された電源接続アセンブリと、
を備えており、
荷電粒子源配置は電気配線を介して電源接続アセンブリに電気的に接続されている。
第1の枠部と、第2の枠部と、第1の枠部と第2の枠部との間に配置された1つ以上の剛性支持部材とを含む枠と、
荷電粒子ビームを生成する荷電粒子源配置であって第2の枠部に配置された荷電粒子源配置と、
第1の枠部に配置された電源接続アセンブリと、
を備えており、
荷電粒子源配置は電気配線を介して電源接続アセンブリに電気的に接続されており、
電気配線はサービスループを有する1つ以上の線を備えている。
本発明の第1の態様又は本発明の第2の態様による、荷電粒子ビームを生成及び放出する荷電粒子源モジュールと、
荷電粒子源モジュールによって生成及び放出された荷電粒子ビームを受け取って、荷電粒子ビームを表面又はターゲットの方に向けるように構成された、荷電粒子光学配置と、
を備えており、
枠の第2の枠部は荷電粒子光学配置に配置されている。
荷電粒子を放出するように構成されたエミッタ配置と、
エミッタ配置によって放出された荷電粒子から荷電粒子ビームを形成する電極と、
エミッタ配置及び電極によって定義される光軸に実質的に平行に配向された1つ以上の非導電性のサポートであって、1つ以上のサポートの各々はエミッタ配置の外周及び電極の外周と接続されており、1つ以上のサポートはエミッタ配置及び電極の互いに対する配向及び/又は位置を維持する、サポートと、
を備えており、
電極は、フレクシャ接続によって1つ以上のサポートと接続されており、
電極及び/又はエミッタ配置は、電気配線の接続のために1つ以上の電線接続を備えており、
1つ以上の電線接続のうち少なくとも1つは、フレクシャ接続に配置されている。
荷電粒子源モジュール又は荷電粒子源配置の下流にウェーハを設置するステップと、
荷電粒子源モジュール又は荷電粒子源配置によって生成及び放出された荷電粒子ビームによってウェーハ上に画像又はパターンを投影することを含む、ウェーハを処理するステップと、
処理されたウェーハによって半導体デバイスを生成するために後続のステップを実施するステップと、
を備える。
荷電粒子源モジュール又は荷電粒子源配置の下流にターゲットを位置決めするステップと、
荷電粒子源モジュール又は荷電粒子源配置によって生成及び放出された荷電粒子ビームをターゲットの方に向けるステップと、
ターゲットの方に向けられた荷電粒子ビームに応答してターゲットによって伝達され、放出され、及び/又は反射された荷電粒子を検出するステップと、
荷電粒子を検出するステップからのデータによってターゲットを検査するために後続のステップを実施するステップと、
を備える。
Claims (15)
- 荷電粒子ビームを生成する荷電粒子源配置であって、
荷電粒子を放出するように構成されたエミッタ配置と、
前記エミッタ配置によって放出された前記荷電粒子から荷電粒子ビームを形成する電極と、
前記エミッタ配置及び前記電極によって定義される光軸に平行に配向された1つ以上の非導電性のサポートであって、前記1つ以上のサポートの各々は前記エミッタ配置の外周及び前記電極の外周と接続されており、前記1つ以上のサポートは前記エミッタ配置及び前記電極の互いに対する配向及び/又は位置を維持する、サポートと、
を備えており、
前記電極は、フレクシャ接続によって前記1つ以上のサポートと接続されており、
前記電極及び/又は前記エミッタ配置は、電気配線の接続のために1つ以上の電線接続を備えており、前記1つ以上の電線接続のうち少なくとも1つは、前記フレクシャ接続に配置されている、荷電粒子源配置。 - 前記1つ以上の電線接続は、前記フレクシャ接続の、前記サポートに対して前記フレクシャ接続の位置及び/又は配向が固定される部分に位置している、請求項1に記載の荷電粒子源配置。
- 前記電極は、ビーム開口を備えた板状の電極体を備えており、前記ビーム開口は前記光軸に対してセンタリングされる、請求項1又は2に記載の荷電粒子源配置。
- 前記フレクシャ接続は前記板状の電極体の外周に設けられた接続リップを備える、請求項3に記載の荷電粒子源配置。
- 前記接続リップは前記接続リップと前記板状の電極体との間にスリットを画定する、請求項4に記載の荷電粒子源配置。
- 前記1つ以上の電線接続のうち前記少なくとも1つは、前記フレクシャ接続の前記接続リップの先端に配置されている、請求項4又は5に記載の荷電粒子源配置。
- 前記板状の電極体は、前記板状の電極体の周囲に設けられた複数のフレクシャ接続を備える、請求項3から6のいずれかに記載の荷電粒子源配置。
- 前記板状の電極体は、前記板状の電極体の周囲に設けられた複数のフレクシャ接続を備え、前記複数のフレクシャ接続の各々は前記接続リップを備えており、前記接続リップは、前記板状の電極体の外周にわたって均等に分布している、請求項4から6のいずれかに記載の荷電粒子源配置。
- 前記接続リップの各々は、第1リップ部と第2リップ部とを有しており、前記第1リップ部は、一端において前記板状の電極体に接続され、他端において前記第2リップ部に接続される、請求項8に記載の荷電粒子源配置。
- 前記荷電粒子源配置は、前記エミッタ配置によって放出された前記荷電粒子から荷電粒子ビームを形成する2つ以上の電極を備えており、前記2つ以上の電極のうち少なくとも1つは前記1つ以上のサポートに剛的に接続される、請求項1から9のいずれかに記載の荷電粒子源配置。
- 前記2つ以上の電極のうち最も下流の電極が前記1つ以上のサポートに剛的に接続される、請求項10に記載の荷電粒子源配置。
- 前記エミッタ配置は前記荷電粒子を放出するカソードを備えており、前記カソードは、フレクシャ接続によって前記1つ以上のサポートに接続されたカソード搬送要素内に収容される、請求項1から11のいずれかに記載の荷電粒子源配置。
- 前記カソード搬送要素は、前記カソードの少なくとも一部を収容するカソード開口を備えた板状の搬送体を備える、請求項12に記載の荷電粒子源配置。
- 前記フレクシャ接続は前記板状の搬送体の外周に設けられた接続リップを備え、前記接続リップは前記接続リップと前記板状の搬送体との間にスリットを画定する、請求項13に記載の荷電粒子源配置。
- 第1の枠部と、第2の枠部と、前記第1の枠部と前記第2の枠部との間に配置された1つ以上の剛性支持部材とを含む枠と、前記第1の枠部に配置された電源接続アセンブリと、を更に備えており、前記荷電粒子源配置は、前記第2の枠部に配置されるとともに、電気配線を介して前記電源接続アセンブリに電気的に接続されている、請求項1から14のいずれか一項に記載の荷電粒子源配置。
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