JP7285728B2 - 電気特性を導出するシステム及び非一時的コンピューター可読媒体 - Google Patents
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- 画像取得ツールと通信可能に構成され、当該画像取得ツールから取得した画像データ、或いは当該画像データから抽出される特徴から半導体ウェハ上に形成された電気回路の欠陥を検出するシステムであって、
前記システムは、コンピューターシステムと、当該コンピューターシステムが実行する演算モジュールを含み、前記コンピューターシステムは、
前記画像取得ツールから、前記半導体ウェハ上に設けられたトランジスタが有する複数のコンタクトに対し、順次ビームを照射することによって得られた画像データを受け付けて、当該受け付けた画像データから当該画像データに含まれる、順次ビームが照射された複数のコンタクトの特徴を抽出、或いは前記画像取得ツールから前記画像データから抽出された、順次ビームが照射された前記複数のコンタクトの特徴を受け付け、
当該複数のコンタクトの特徴を、当該複数のコンタクトの特徴と欠陥の種類と前記複数のコンタクトが順次照射される順番とが関連付けて記憶された関連情報に参照することによって、欠陥の種類を導出し、
前記複数のコンタクトは、ソースコンタクト、ゲートコンタクト、およびドレインコンタクトの内、2以上のコンタクトを含むシステム。 - 請求項1において、
前記複数のコンタクトの特徴は、前記複数のコンタクトに対し、異なるタイミングでビームを照射したときに得られるシステム。 - 請求項1において、
前記複数のコンタクトの特徴は、前記複数のコンタクトに対し、複数の方向に前記画像取得ツールのビーム照射点を移動させたときに得られるシステム。 - 請求項1において、
前記関連情報は、前記トランジスタが有する複数のコンタクトに対し、順次ビームを照射することによって得られる複数の特徴と、欠陥の種類を関連付けて記憶するデータベースであるシステム。 - プロセッサに、
画像取得ツールから、半導体ウェハ上に設けられたトランジスタが有する複数のコンタクトに対し、順次ビームを照射することによって得られた画像データを受け付けさせ、更に当該受け付けた画像データから当該画像データに含まれる、順次ビームが照射された複数のコンタクトの特徴を抽出させ、或いは前記画像取得ツールから前記画像データから抽出された、順次ビームが照射された前記複数のコンタクトの特徴を受け付けさせ、
当該複数のコンタクトの特徴を、当該複数のコンタクトの特徴と欠陥の種類と前記複数のコンタクトが順次照射される順番とが関連付けて記憶された関連情報に参照させることによって、欠陥の種類を導出させる、命令をするように構成されたプログラムを格納する非一時的コンピューター可読媒体であって、
前記複数のコンタクトは、ソースコンタクト、ゲートコンタクト、およびドレインコンタクトの内、2以上のコンタクトを含む、非一時的コンピューター可読媒体。 - 回路素子の電気的特性および端子間の接続情報を含むネットリストと、画像取得ツールから取得した画像データ、或いは当該画像データから抽出される特徴から半導体ウェハ上に形成された電気回路の欠陥を検出するシステムであって、
前記システムは、前記画像取得ツールと通信可能に構成されるとともに、コンピューターシステムと、当該コンピューターシステムが実行する演算モジュールを含み、前記コンピューターシステムは、
前記画像取得ツールから、半導体ウェハ上に設けられたトランジスタが有する複数のコンタクトに対して、順次ビームを照射することによって得られた画像データを受け付けて、当該受け付けた画像データから当該画像データに含まれる複数のコンタクトの特徴を抽出、或いは前記画像取得ツールから前記画像データから抽出された前記複数のコンタクトの特徴を受け付け、
前記半導体ウェハ上に形成された電気回路の等価回路と、欠陥情報との関連が記述された1以上のネットリストであって、前記回路素子の前記電気的特性および前記端子間の前記接続情報を含む1以上のネットリストを、ネットリストデータベースから受け付け、
前記1以上のネットリストから前記複数のコンタクトの特徴を推定、或いは前記画像データに含まれる複数のコンタクトの特徴に基づいて、ネットリストを推定し、
前記ネットリストから推定された複数のコンタクトの特徴と、前記画像データから抽出された複数のコンタクトの特徴とを比較、或いは前記ネットリストデータベースから受け付けたネットリストと、前記画像データに含まれる複数のコンタクトの特徴に基づいて推定されたネットリストとを比較し、
当該比較に基づいて選択されるネットリストに記述された欠陥情報を出力するシステム。 - 請求項6において、
前記コンピューターシステムは、前記ネットリストデータベースから、正常な電気回路の等価回路のネットリストと、欠陥を含む電気回路の等価回路のネットリストを受け付け、
前記正常な電気回路の等価回路のネットリストと、前記欠陥を含む電気回路の等価回路のネットリスト、或いはこれらネットリストから抽出される複数のパターンの特徴と、前記画像データに含まれる複数のパターンの特徴に基づいて推定されるネットリスト、或いは前記画像データから抽出された前記複数のパターンの特徴とを比較し、
当該比較に基づいて、前記半導体ウェハ上に形成された電気回路が正常か欠陥を含むかを判定するシステム。 - 請求項6において、
前記コンピューターシステムは、前記画像取得ツールの複数の画像取得条件で得られた複数のパターンに関する画像取得条件毎の特徴と、前記1以上のネットリストから抽出される特徴とを比較し、
当該比較に基づいて選択されるネットリストに記述された欠陥情報を出力するシステム。 - 請求項6において、
前記コンピューターシステムは、前記半導体ウェハの製造工程毎に、1以上のネットリストが記憶されたネットリストデータベースから受け付けられたネットリスト、或いは当該ネットリストから抽出された複数のパターンの特徴と、前記画像データに含まれる複数のパターンの特徴に基づいて推定されたネットリスト、或いは前記画像データに含まれる複数のパターンの特徴との比較に基づいて、前記欠陥を生じさせた製造工程を判定するシステム。 - プロセッサに、回路素子の電気的特性および端子間の接続情報を含むネットリストから半導体ウェハ上に形成された電気回路の欠陥を検出する、命令をするように構成されたプログラムを格納する非一時的コンピューター可読媒体であって、
前記プログラムは、
画像取得ツールから、前記半導体ウェハ上に設けられたトランジスタが有する複数のコンタクトに対して、順次ビームを照射することによって得られた画像データを受け付けさせ、当該受け付けた画像データから当該画像データに含まれる複数のコンタクトの特徴を抽出させ、或いは当該画像データから抽出される複数のコンタクトの特徴を受け取らせ、
前記半導体ウェハ上に形成された電気回路の等価回路と、欠陥情報との関連が記述された1以上のネットリストであって、前記回路素子の前記電気的特性および前記端子間の前記接続情報を含む1以上のネットリストを、ネットリストデータベースから受け取らせ、
前記1以上のネットリストから前記複数のコンタクトの特徴を推定、或いは前記画像データに含まれる複数のコンタクトの特徴に基づいて、ネットリストを推定させ、
前記ネットリストから推定された複数のコンタクトの特徴と、前記画像データから抽出された複数のコンタクトの特徴とを比較、或いは前記ネットリストデータベースから受け付けたネットリストと、前記画像データに含まれる複数のコンタクトの特徴に基づいて推定されたネットリストとを比較させ、
当該比較に基づいて選択されるネットリストに記述された欠陥情報を出力させる、命令をするように構成される、非一時的コンピューター可読媒体。 - 請求項1において、
前記ゲートコンタクトに電荷が蓄積されることによって、前記トランジスタのゲートが開放される、或いは、前記トランジスタのソースドレイン間が導通するシステム。 - 請求項1において、
前記画像データは、前記画像取得ツールが前記複数のコンタクトが視野内に含まれるようにビーム走査して得られたデータであるシステム。 - 請求項12において、
前記画像データは、前記画像取得ツールが前記複数のコンタクトの配列の方向に沿って、当該配列順にビーム走査して得られたデータであるシステム。 - 請求項12において、
前記画像データは、前記画像取得ツールが前記複数のコンタクトに対して、第1の方向に順次ビーム走査するとともに第2の方向に順次ビーム走査して得られたデータであるシステム。 - 請求項1において、
前記画像データは、電位コントラスト像データであるシステム。 - 請求項6において、
前記欠陥情報は、前記複数のコンタクトが順次照射される順番に基づいて決定される、システム。 - 請求項10において、
前記欠陥情報は、前記複数のコンタクトが順次照射される順番に基づいて決定される、非一時的コンピューター可読媒体。 - 請求項6において、
前記欠陥情報は、前記画像データ内の画像間におけるまたは前記ネットリスト間における一致率に基づいて決定される、システム。 - 請求項10において、
前記欠陥情報は、前記画像データ内の画像間におけるまたは前記ネットリスト間における一致率に基づいて決定される、非一時的コンピューター可読媒体。
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