JP7281010B1 - バルブエレメント及びポンプ - Google Patents

Abstract

【課題】組み付け、寸法管理、取り扱い及び締め代管理が容易で、弁部の変形に影響を与えずに十分なシール性を確保する。【解決手段】ポンプは、ポンプヘッドと、ポンプヘッドに接続されるバルブシートと、ポンプヘッドとバルブシートとの間に配置されるバルブエレメントと、バルブシートのポンプヘッドと反対側に液密に接続され、ポンプ室の一部を構成するダイヤフラムと、ダイヤフラムを往復動する駆動機構と、を備え、バルブエレメントは、弁部と、弁部の周囲に間隔を空けて設けられたシール部と、弁部とシール部とを連結する連結部と、を含み、弁部及び連結部が、シール部よりも薄く、ポンプヘッド及びバルブシートのいずれか一方の接続面側には、バルブエレメントのシール部が嵌まる溝状の収容部が形成されている。【選択図】図１

Description

本発明は、バルブエレメント及びポンプに関する。

ダイヤフラムの往復動により移送流体を移送するポンプ（例えば、特許文献１及び２参照）には、例えばポンプヘッド（ヘッドプレート）とバルブシート（ベースプレート、中間プレート）の間に、移送流体の流れ及び微差圧により動作するバルブ（プレート弁、リード弁）が設けられる。このバルブは、ポンプヘッドとバルブシートと共に流入弁及び流出弁を構成する。そして、バルブの周囲は、シールリングや弁ディスクにより形成されるシール領域に取り囲まれている。

特許第５３１２５４５号公報 特許第３６２１７０２号公報

上記特許文献１に開示された従来技術のバルブは、特に小型ポンプ又は超小型ポンプに適用可能とされている。バルブの組み付けに際しては、弁プレートが引張りプレロードされた状態となるように、ベースプレートの収容部に弁ウェブに繋がるアンカエレメントが取り付けられる。その上で、シールリングを溝に嵌め込み、ヘッドプレートとベースプレートを締め付けている。

しかしながら、バルブそのものが小型であるため、ベースプレートへの組み付けが困難となる。また、弁プレートとシールリングが別部品であるため、寸法管理及び取り扱いが煩雑となり部品点数が増えてしまう。更に、引張りプレロードが生じているため、アンカエレメント及び弁ウェブに応力が作用して、弁プレートの変形に影響を及ぼす可能性がある。

上記特許文献２に開示された従来技術のバルブは、弁舌片と弁ディスクがウエブで連結された一体構造を有している。バルブの組み付けに際しては、弁ディスクが弁舌片の外側の緊締領域となるように、ヘッドプレートと中間プレートで締め付けてシールした状態で取り付けられる。これにより、弁舌片の変形に影響を与えない構造としている。

しかしながら、弁舌片、ウエブ及び弁ディスクの厚さが同じであるため、狭いスペース状態下に適用するために厚さを薄くすればするほど、弁舌片の変形に影響を与えずに緊締領域における十分なシール性を確保するための弁ディスクの締め代管理が著しく困難となる。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、組み付け、寸法管理、取り扱い及び締め代管理が容易で、弁部の変形に影響を与えずに十分なシール性を確保することができるバルブエレメント及びポンプを提供することを目的とする。

本発明の一態様に係るバルブエレメントは、弁部と、前記弁部の周囲に間隔を空けて設けられたシール部と、前記弁部と前記シール部とを連結する連結部と、を備え、前記弁部及び前記連結部は、前記シール部よりも薄い。

本発明の一実施形態において、前記弁部、前記シール部及び前記連結部の一方の面は、フラット面を形成する。

本発明の他の実施形態において、前記弁部及び前記連結部の厚さは、前記シール部の厚さの１／３以上１／２以下である。

本発明の更に他の実施形態において、前記シール部は、第１方向に延びる一対の第１平行辺及び前記第１方向と交差する第２方向に延びる一対の第２平行辺を含む環状の外周部と、前記外周部の一対の第１平行辺の中央同士を繋ぐ中央部と、を有し、前記弁部は、前記一対の第２平行辺と前記中央部との間にそれぞれ設けられた複数の円板状の弁体と、前記弁体の外周縁と前記連結部とを連結する複数の結合片と、を有し、前記連結部は、それぞれの一方の端部が前記外周部の一対の第２平行辺と接続されると共に、それぞれの他方の端部が前記中央部に接続されて、前記弁体の前記第２方向の一方の側と他方の側とにそれぞれ配置されたビーム部を有し、前記結合片は、前記弁体と前記弁体の前記第２方向の両側に配置された前記ビーム部とをそれぞれ連結する。

本発明の一態様に係るポンプは、ポンプヘッドと、前記ポンプヘッドに接続されるバルブシートと、前記ポンプヘッドと前記バルブシートとの間に配置されるバルブエレメントと、前記バルブシートの前記ポンプヘッドと反対側に液密に接続されポンプ室の一部を構成するダイヤフラムと、前記ダイヤフラムを往復動する駆動機構と、を備え、前記バルブエレメントは、弁部と、前記弁部の周囲に間隔を空けて設けられたシール部と、前記弁部と前記シール部とを連結する連結部と、を含み、前記弁部及び前記連結部は、前記シール部よりも薄く、前記ポンプヘッド及び前記バルブシートのいずれか一方の接続面側には、前記バルブエレメントの前記シール部が嵌まる溝状の収容部が形成されている。

本発明の一実施形態において、前記ポンプヘッド及び前記バルブシートのいずれか他方の接続面側には、前記収容部に収容された前記シール部を押圧する凸状の押圧部が形成されている。

本発明の他の実施形態において、前記バルブエレメントの前記弁部、前記シール部及び前記連結部の一方の面は、フラット面を形成する。

本発明の更に他の実施形態において、前記バルブエレメントの前記弁部及び前記連結部の厚さは、前記シール部の厚さの１／３以上１／２以下である。

本発明の更に他の実施形態において、前記バルブエレメントの前記シール部は、第１方向に延びる一対の第１平行辺及び前記第１方向と交差する第２方向に延びる一対の第２平行辺を含む環状の外周部と、前記外周部の一対の第１平行辺の中央同士を繋ぐ中央部と、を有し、前記弁部は、前記一対の第２平行辺と前記中央部との間にそれぞれ設けられた複数の円板状の弁体と、前記弁体の外周縁と前記連結部とを連結する複数の結合片と、を有し、前記連結部は、それぞれの一方の端部が前記外周部の一対の第２平行辺と接続されると共に、それぞれの他方の端部が前記中央部に接続されて、前記弁体の前記第２方向の一方の側と他方の側とにそれぞれ配置された複数のビーム部を有し、前記結合片は、前記弁体と前記弁体の前記第２方向の両側に配置された前記ビーム部とをそれぞれ連結し、前記収容部及び前記押圧部は、前記バルブエレメントの前記シール部の前記外周部及び前記中央部の形状に対応した形状で形成されている。

本発明によれば、組み付け、寸法管理、取り扱い及び締め代管理が容易で、弁部の変形に影響を与えずに十分なシール性を確保することができる。

本発明の一実施形態に係るポンプの構成を一部断面で示す側面図である。 図１のＡ－Ａ線拡大断面を一部に示す正面図である。 図１のＢ－Ｂ線拡大断面を一部に示す上面図である。 同ポンプのバルブシートの上面を示す平面図である。 同ポンプのポンプヘッドの底面を示す平面図である。 同ポンプに用いられるバルブエレメントを示す斜視図である。 同ポンプに用いられるバルブエレメントを示す平面図である。 図７のＣ－Ｃ線断面図である。 図７のＤ－Ｄ線断面図である。

以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態に係るバルブエレメント及びポンプを詳細に説明する。ただし、以下の実施形態は、各請求項に係る発明を限定するものではなく、また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。また、以下の実施形態においては、同一又は相当する構成要素には、同一の符号を附して重複した説明を省略する。また、実施形態においては、各構成要素の配置、縮尺及び寸法等が誇張或いは矮小化されて実際のものとは一致しない状態で示されている場合、並びに一部の構成要素につき記載が省略されて示されている場合があるとする。

［ポンプの構成］
図１は、本発明の一実施形態に係るポンプの構成を一部断面で示す側面図である。図２は、図１のＡ－Ａ線拡大断面を一部に示す正面図である。図３は、図１のＢ－Ｂ線拡大断面を一部に示す上面図である。図４は、ポンプのバルブシートの上面を示す平面図である。図５は、ポンプのポンプヘッドの底面を示す平面図である。

図１及び図２に示すように、本発明の一実施形態に係るポンプ１は、例えば小型又は超小型タイプのポンプである。ポンプ１は、ポンプヘッド１０と、バルブシート２０と、ポンプ本体２と、駆動モータ４Ａと、を備える。また、ポンプ１は、バルブエレメント３０と、ダイヤフラム４０と、を備える。ポンプヘッド１０及びバルブシート２０は、例えば樹脂成形品からなる。

ポンプヘッド１０は、移送流体の吸込口１１ａ及び吐出口１２ａを有する。吸込口１１ａ及び吐出口１２ａは、例えば、駆動モータ４Ａのモータシャフト６Ｂと交差する水平方向に直線状に並ぶように配置されている。吸込口１１ａには、図中矢印Ｅで示すように移送流体が流入する。吐出口１２ａからは、図中矢印Ｆで示すように移送流体が流出する。

吸込口１１ａに連通する吸込流路１１は、水平方向に延び、流通路１３に連通する。流通路１３は、垂直方向に延び上方及び下方に開口する。流通路１３の上方の開口は、チャンバー室１７ａに連通している。流通路１３の下方の開口は、ポートＰ１を構成する。ポートＰ１の開口周縁部には、弁座面１３ａが形成されている。流通路１３の下方の開口部には、その中心を通り開口部を二分するリブ１３ｂが設けられている。リブ１３ｂは、高圧時のバルブエレメント３０の変形を防止する。ポートＰ１は、後述するバルブエレメント３０を介してバルブシート２０のバルブ室２１に連通している。吐出口１２ａに連通する吐出流路１２は水平方向に延び、流通路１５に連通する。流通路１５は、垂直方向に延び下方に開口する。流通路１５の開口は、バルブ室１４に連通している。ポンプヘッド１０の上部には、チャンバーダイヤフラム９ｃを介してヘッドカバー１９がボルト９ａにより締結されている。チャンバーダイヤフラム９ｃは、チャンバー室１７ａを上方から液密に覆う。チャンバーダイヤフラム９ｃは、吸込側の移送流体の慣性抵抗を減少させるものである。これにより、吸込側の各配管部の振動を減少させることができる。ヘッドカバー１９の中央部には、ヘッドカバー１９とチャンバーダイヤフラム９ｃに囲まれた空間１７ｂと外部とを上下方向に連通する空気孔１９ａが設けられている。また、ボルト９ａにより、ポンプヘッド１０の下方に、一実施形態に係るバルブエレメント３０を挟んでバルブシート２０が接続された状態で、ポンプヘッド１０が筐体を構成するポンプ本体２に取り付けられている。

バルブシート２０は、バルブ室２１とポンプ室３とを連通し垂直方向に延びる流通路２３を有する。また、バルブシート２０は、ポンプ室３と連通すると共に、バルブエレメント３０を介してバルブ室１４と連通し、垂直方向に延びる流通路２２を有する。流通路２２の上方の開口は、ポートＰ２を構成する。ポートＰ２の開口周縁部には、弁座面２２ａが形成されている。流通路２２の上方の開口部には、その中心を通り開口部を二分するリブ２２ｂが設けられている。リブ２２ｂは、高圧時のバルブエレメント３０の変形を防止する。

なお、ポンプヘッド１０の流通路１３及びバルブシート２０の流通路２３は、吸込側流通路を構成する。また、ポンプヘッド１０の流通路１５及びバルブシート２０の流通路２２は、吐出側流通路を構成する。ポンプ室３は、バルブシート２０の下面側に形成され、バルブシート２０とポンプ本体２との間に液密に張設状態で支持されたダイヤフラム４０によって、ポンプ室３の内部空間が画成されている。

ポンプヘッド１０とバルブシート２０との間には、図３に示すように、バルブエレメント３０が配置されている。バルブエレメント３０は、例えばゴムやエラストマー等の弾性を有する材料からなる。バルブエレメント３０は、ポートＰ１，Ｐ２を開閉する弁部３１と、ポートＰ１，Ｐ２の周囲をそれぞれシールするシール部３２と、弁部３１とシール部３２とを連結する連結部３３と、を有する。なお、バルブエレメント３０は、バルブシート２０の上面側に、弁部３１、シール部３２及び連結部３３のフラット面ＦＳが位置する状態で配置されている。バルブエレメント３０の詳細については後述する。

バルブシート２０の上面側（接続面側）には、図４に示すように、バルブエレメント３０のシール部３２が嵌まる溝状の収容部２９が形成されている。弁部３１が収容されるバルブ室２１には、弁部３１と流通路２３の開口部との間に隙間を作るための複数の突起２１ａが形成されている。一方、ポンプヘッド１０の底面（下面）側（接続面側）には、図５に示すように、上記収容部２９に収容されたバルブエレメント３０のシール部３２を押圧する凸状の押圧部１８が形成されている。弁部３１が収容されるバルブ室１４には、弁部３１と流通路１５の開口部との間に隙間を作るための複数の突起１４ａが形成されている。

収容部２９及び押圧部１８は、いずれか一方がポンプヘッド１０側に設けられ、いずれか他方がバルブシート２０側に設けられていればよい。なお、押圧部１８が凸状であるため、ポンプヘッド１０及びバルブシート２０の位置関係は、正確且つ容易に規定される。また、収容部２９及び押圧部１８は、バルブエレメント３０のシール部３２の形状に対応した形状で形成されている。これにより、図２に示すように、収容部２９に収容されたバルブエレメント３０のシール部３２は、ボルト９ａを締結した際に、押圧部１８の押圧力により所定量（例えば、厚さの１０％～２０％等）潰される。なお、凸状の押圧部１８を形成しない場合であっても、シール部３２の厚さを厚くすることで、シール部３２を所定量潰すことは可能である。

上記のようにシール部３２が潰されることにより、バルブエレメント３０の弁部３１とポートＰ１，Ｐ２の周囲がシールされる。また、ポンプヘッド１０とバルブシート２０との間もシールされる。なお、上記ボルト９ａは、ポンプヘッド１０のボルト穴２８ａ（図５参照）及びバルブシート２０のボルト穴２８（図４参照）を通して、ポンプ本体２に締結される。

ポンプ室３の一部を構成するダイヤフラム４０は、駆動手段４により上下方向に往復動される。駆動手段４は、コンロッド５と、クランクシャフト６Ａと、モータシャフト６Ｂと、を含む。コンロッド５は、ダイヤフラム４０にインサートボルト４９を介して連結されている。クランクシャフト６Ａは、偏心軸をなし、コンロッド５に軸受６を介して連結されている。モータシャフト６Ｂは、クランクシャフト６Ａと一体回転する回転軸であり、駆動モータ４Ａから延びている。

ダイヤフラム４０の駆動機構は、駆動手段４及び駆動モータ４Ａにより構成される。ダイヤフラム４０は、駆動機構によって、駆動モータ４Ａのモータシャフト６Ｂの回転運動がクランクシャフト６Ａ及びコンロッド５を介して往復動に変換されて伝達されることにより、ポンプ室３の容積を変化させるように往復動する。このような駆動機構については既知であるため、ここでは詳細な説明は省略する。

なお、ポンプ本体２の正面側には、モータシャフト６Ｂの軸受６ａを内部に有するカバープレート７がボルト９ｂにより締結されている。このカバープレート７を取り外すことによって、例えばメンテナンス時等に、ポンプ本体２の内部にアクセスすることが可能となる。

［バルブエレメントの構成］
次に、上記ポンプヘッド１０及びバルブシート２０の間に配置されるバルブエレメント３０について説明する。
図６は、ポンプに用いられるバルブエレメントを示す斜視図である。図７は、ポンプに用いられるバルブエレメントを示す平面図である。図８は、図７のＣ－Ｃ線断面図である。図９は、図７のＤ－Ｄ線断面図である。

図６～図９に示すように、バルブエレメント３０は、弁部３１と、シール部３２と、連結部３３と、を有する。バルブエレメント３０は、シール部３２と弁部３１とが、連結部３３により連結されて一体形状に形成された部品である。なお、シール部３２は、弁部３１の周囲に間隔を空けて設けられている。

シール部３２は、図中Ｘ方向（第１方向）に延びる一対の第１平行辺３７ａ及びＸ向と直交するＹ方向（第２方向）に延びる一対の第２平行辺３７ｂを有し、内側角丸部３７ｃを四隅に含む矩形環状の外周部３７を有する。また、シール部３２は、外周部３７の一対の第１平行辺３７ａの中央同士を繋ぐ中央部３８を有する。弁部３１は、円板状の弁体３１ａと、この弁体３１ａの外周縁からシール部３２の中央部３８と平行に延びる一対の結合片３１ｂと、を有する。なお、弁部３１は、シール部３２の一対の第２平行辺３７ｂと中央部３８との間にそれぞれ設けられている。

連結部３３は、シール部３２の外周部３７の一対の第１平行辺３７ａと平行に延びる４つのビーム部３３ａを有している。各ビーム部３３ａは、一方の端部が、シール部３２の一対の第２平行辺３７ｂの端部及び内側角丸部３７ｃの一部と接続されている。また、ビーム部３３ａは、他方の端部が、シール部３２の中央部３８に接続されている。ビーム部３３ａは、このように外周部３７及び中央部３８に接続された状態で、複数の弁部３１のそれぞれＹ方向の両側に配置され、一対の結合片３１ｂの端部にそれぞれ接続されている。

図８及び図９に示すように、バルブエレメント３０は、弁部３１、シール部３２及び連結部３３の一方の面が、上記のようなフラット面ＦＳを形成している。また、バルブエレメント３０は、弁部３１及び連結部３３の厚さＨ２が、例えばシール部３２の厚さＨ１の１／３以上１／２以下となるように形成されるようにしてもよい。弁部３１の一方は、ポートＰ１を開閉する吸込側の逆止弁を構成する。また、弁部３１の他方は、ポートＰ２を開閉する吐出側の逆止弁を構成する。

［バルブエレメント及びポンプの動作］
ポンプヘッド１０及びバルブシート２０の間にバルブエレメント３０が配置されたポンプ１は、次のように動作する。まず、移送流体の吸込動作では、ダイヤフラム４０が下死点位置に到達する動作で、吸込側流通路の途中に配置されたバルブエレメント３０の弁部３１が下方に変位してポートＰ１が開かれる。弁部３１はバルブ室２１の突起２１ａに当接し、下方への動きを規制される。このとき、吐出側流通路の途中に配置されたバルブエレメント３０の弁部３１により、ポートＰ２は閉じられる。そして、移送流体は、吸込口１１ａ、吸込流路１１、流通路１３、ポートＰ１、バルブ室２１及び流通路２３を通って、ポンプ室３内に流入する。

一方、移送流体の吐出動作では、ダイヤフラム４０が上死点位置に到達する動作で、吐出側流通路の途中に配置されたバルブエレメント３０の弁部３１が上方に変位してポートＰ２が開かれる。弁部３１はバルブ室１４の突起１４ａに当接し、上方への動きを規制される。このとき、吸込側流通路の途中に配置されたバルブエレメント３０の弁部３１により、ポートＰ１は閉じられる。そして、移送流体は、ポンプ室３から、流通路２２、ポートＰ２、バルブ室１４、流通路１５及び吐出流路１２を通って、吐出口１２ａから流出する。

［一実施形態のバルブエレメント及びポンプの効果］
このように構成されたバルブエレメント３０を用いたポンプ１によれば、シール部３２の形状に対応する形状でバルブシート２０に形成された収容部２９に、バルブエレメント３０のシール部３２を嵌め込むだけで、シール部３２と一体の複数の弁部３１をポートＰ１，Ｐ２に対応する正規の位置に配置して、バルブエレメント３０をバルブシート２０に組み付けることができる。このため、バルブエレメント３０の組み付けの作業性を向上させ、取り扱い及び組み付け作業を容易にすることができる。

また、バルブエレメント３０は、上記のようにポンプヘッド１０とバルブシート２０との間に配置されてポンプ本体２に組み付けられた際に、シール部３２の形状と対応する形状に形成されたポンプヘッド１０の押圧部１８によって、シール部３２が押圧されて収容部２９内でシール部３２が潰される。一方、シール部３２と離れた弁部３１及びこれらを接続する連結部３３は、ポンプヘッド１０の底面（下面）とバルブシート２０の上面との間で、各弁部３１の弁動作を妨げない状態（非加圧状態）に挟持される。従って、このバルブエレメント３０を適用したポンプ１では、シール部３２の締め代管理が容易となり、各弁部３１の変形（弁動作）に影響を与えずにその周囲を確実にシールすることができる。

すなわち、バルブエレメント３０は、シール部３２が潰されたことの変位による歪みや応力等の影響が、シール部３２と間隔を空けて配置された弁部３１に接続される連結部３３によって吸収される構造を備えている。このため、ポンプ１への組み付け後においても、各弁部３１にシール性を確保するためのこのような影響が及ぶことはなく、各弁部３１の弁動作は設計時の性能を確実に発揮することが可能である。

また、バルブエレメント３０は、弁部３１及び連結部３３が上記のような非加圧状態でポンプヘッド１０とバルブシート２０との間に配置されるので、結合片３１ｂを含む弁部３１の耐久性を向上させることができる。そして、バルブエレメント３０は、シール部３２及び弁部３１が連結部３３により接続されているので、例えばバルブシート２０への組み付けの際に、シール部３２と弁部３１を別々に組み付ける必要はなくなるので、組み付けの作業時間を短縮させることができる。

更に、バルブエレメント３０を用いたポンプ１では、バルブエレメント３０、バルブシート２０の収容部２９及びポンプヘッド１０の押圧部１８が、バルブエレメント３０のシール部３２の形状を基準とした形状、寸法で形成されているため、薄い弁部３１の寸法を基準として締め代管理を行う必要が無く、結果としてシール性を確保するための各部の寸法管理が容易となる。

以上、本発明の実施の形態を説明したが、この実施の形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。この新規な実施の形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施の形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると共に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

１ ポンプ
２ ポンプ本体
３ ポンプ室
４ 駆動手段
４Ａ 駆動モータ
１０ ポンプヘッド
１１ａ 吸込口
１２ａ 吐出口
１８ 押圧部
２０ バルブシート
２９ 収容部
３０ バルブエレメント
３１ 弁部
３１ａ 弁体
３１ｂ 結合片
３３ 連結部
３２ シール部
３７ 外周部
３７ｃ 内側角丸部
３８ 中央部
４０ ダイヤフラム
Ｐ１，Ｐ２ ポート

Claims (9)

1. 弁部と、
   前記弁部の周囲に間隔を空けて設けられたシール部と、
   前記弁部と前記シール部とを連結する連結部と、を備え、
   前記弁部及び前記連結部は、前記シール部よりも薄く、
   前記シール部は、環状の外周部と、前記外周部の中央を繋ぐ中央部と、を有し、
   前記弁部は、前記外周部と前記中央部との間にそれぞれ設けられた複数の円板状の弁体と、前記弁体の外周縁と前記連結部とを連結する複数の結合片と、を有し、
   前記連結部は、それぞれの一方の端部が前記外周部と接続されると共に、それぞれの他方の端部が前記中央部に接続されて、前記弁体に間隔を空けてそれぞれ配置された複数のビーム部を有し、
   前記結合片は、前記弁体と前記ビーム部とをそれぞれ連結する
   バルブエレメント。
2. 前記弁部、前記シール部及び前記連結部の一方の面は、フラット面を形成する
   請求項１記載のバルブエレメント。
3. 前記弁部及び前記連結部の厚さは、前記シール部の厚さの１／３以上１／２以下である
   請求項１又は２記載のバルブエレメント。
4. 前記外周部は、第１方向に延びる一対の第１平行辺及び前記第１方向と交差する第２方向に延びる一対の第２平行辺を含み、
   前記中央部は、前記外周部の一対の第１平行辺の中央同士を繋ぎ、
   前記弁体は、前記一対の第２平行辺と前記中央部との間にそれぞれ設けられ、
   前記ビーム部は、前記一方の端部が前記外周部の一対の第２平行辺と接続されると共に、前記他方の端部が前記中央部に接続されて、前記弁体の前記第２方向の一方の側と他方の側とにそれぞれ配置され、
   前記結合片は、前記弁体と前記弁体の前記第２方向の両側に配置された前記ビーム部とをそれぞれ連結する
   請求項１又は２記載のバルブエレメント。
5. ポンプヘッドと、
   前記ポンプヘッドに接続されるバルブシートと、
   前記ポンプヘッドと前記バルブシートとの間に配置されるバルブエレメントと、
   前記バルブシートの前記ポンプヘッドと反対側に液密に接続され、ポンプ室の一部を構成するダイヤフラムと、
   前記ダイヤフラムを往復動する駆動機構と、を備え、
   前記バルブエレメントは、弁部と、前記弁部の周囲に間隔を空けて設けられたシール部と、前記弁部と前記シール部とを連結する連結部と、を含み、前記弁部及び連結部が、前記シール部よりも薄く、
   前記シール部は、環状の外周部と、前記外周部の中央を繋ぐ中央部と、を有し、
   前記弁部は、前記外周部と前記中央部との間にそれぞれ設けられた複数の円板状の弁体と、前記弁体の外周縁と前記連結部とを連結する複数の結合片と、を有し、
   前記連結部は、それぞれの一方の端部が前記外周部と接続されると共に、それぞれの他方の端部が前記中央部に接続されて、前記弁体に間隔を空けてそれぞれ配置された複数のビーム部を有し、
   前記結合片は、前記弁体と前記ビーム部とをそれぞれ連結し、
   前記ポンプヘッド及び前記バルブシートのいずれか一方の接続面側には、前記バルブエレメントの前記シール部が嵌まる溝状の収容部が形成されている
   ポンプ。
6. 前記ポンプヘッド及び前記バルブシートのいずれか他方の接続面側には、前記収容部に収容された前記シール部を押圧する凸状の押圧部が形成されている
   請求項５記載のポンプ。
7. 前記バルブエレメントの前記弁部、前記シール部及び前記連結部の一方の面は、フラット面を形成する
   請求項５又は６記載のポンプ。
8. 前記バルブエレメントの前記弁部及び前記連結部の厚さは、前記シール部の厚さの１／３以上１／２以下である
   請求項５又は６記載のポンプ。
9. 前記バルブエレメントの前記シール部の前記外周部は、第１方向に延びる一対の第１平行辺及び前記第１方向と交差する第２方向に延びる一対の第２平行辺を含み、
   前記中央部は、前記外周部の一対の第１平行辺の中央同士を繋ぎ、
   前記弁体は、前記一対の第２平行辺と前記中央部との間にそれぞれ設けられ、
   前記ビーム部は、前記一方の端部が前記外周部の一対の第２平行辺と接続されると共に、前記他方の端部が前記中央部に接続されて、前記弁体の前記第２方向の一方の側と他方の側とにそれぞれ配置され、
   前記結合片は、前記弁体と前記弁体の前記第２方向の両側に配置された前記ビーム部とをそれぞれ連結し、
   前記収容部及び前記押圧部は、前記バルブエレメントの前記シール部の前記外周部及び前記中央部の形状に対応した形状で形成されている
   請求項６記載のポンプ。

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