JP7272036B2 - 超音波デバイス、及び超音波装置 - Google Patents
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- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 47
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 30
- 238000013016 damping Methods 0.000 claims description 14
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 10
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 8
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 13
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 12
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 7
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 4
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 3
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 2
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 2
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000314 transition metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
- B06B1/0644—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element
- B06B1/0662—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element with an electrode on the sensitive surface
- B06B1/0666—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element with an electrode on the sensitive surface used as a diaphragm
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/0207—Driving circuits
- B06B1/0215—Driving circuits for generating pulses, e.g. bursts of oscillations, envelopes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
- B06B1/0644—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element
- B06B1/0662—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element with an electrode on the sensitive surface
- B06B1/0681—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element with an electrode on the sensitive surface and a damping structure
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B3/00—Methods or apparatus specially adapted for transmitting mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
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- G—PHYSICS
- G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
- G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G10K13/00—Cones, diaphragms, or the like, for emitting or receiving sound in general
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
Description
特許文献1に記載の超音波デバイスでは、振動板は、SiO2により構成される膜と、ZrO2により構成される障壁層とが積層されることで構成され、障壁層上にPZT等により構成される圧電層が積層されている。このような構成では、障壁層によって、膜又は膜上に形成される電極層と、圧電層との間の化学的相互作用、つまり、Pbの拡散を防止することができる。また、特許文献1の超音波デバイスでは、障壁層は、膜よりも曲げ剛性が小さくなるように構成されている。
例えば、超音波デバイスの共振周波数が高くなり、所望周波数の超音波の送受信が困難となる。また、共振周波数を低下するべく、開孔の開口幅を大きくすると、振動板の変位効率が低下する。この場合、超音波を送信する場合では、送信超音波の出力が低下し、超音波を受信する場合では、受信感度が低下する。
図1は、本実施形態の超音波装置100の概略構成を示すブロック図である。
図1に示すように、本実施形態の超音波装置100は、超音波デバイス10と、超音波デバイス10を制御する制御部20とを備える。本実施形態の超音波装置100では、制御部20は、駆動回路30を介して超音波デバイス10を制御し、超音波デバイス10から対象物に超音波を送信する。そして、対象物により超音波が反射され、超音波デバイス10により反射波が受信されると、制御部20は、超音波の送信タイミングから超音波の受信タイミングの時間に基づいて、超音波デバイス10から対象物までの距離を算出する。
以下、このような超音波装置100の構成について、具体的に説明する。
図2は、超音波デバイス10を示す概略平面図である。図3は、図2のA-A線で超音波デバイス10を切断した際の断面図である。
超音波デバイス10は、図3に示すように、基材である素子基板11と、振動板12と、圧電素子13と、を備えて構成されている。
素子基板11は、Siにより構成され、振動板12を支持する所定の厚みを有する基板である。素子基板11は、第一面11Aと、第一面11Aとは反対側の第二面11Bとを有する。ここで、以降の説明にあたり、第一面11Aから第二面11Bに向かう方向をZ方向とし、Z方向に直交する方向をX方向とし、X方向及びZ方向に直交する方向をY方向とする。第一面11A及び第二面11Bは、XY平面に平行な面となる。なお、本実施形態では、一例として、Y方向がX方向に対して直交する例を示すが、Y方向がX方向に対して90°以外の角度で傾斜していてもよい。また、以降の説明において、X方向、Y方向、及びZ方向に関し、向きを含まない場合も方向という場合がある。
また、素子基板11の第一面11Aには、振動板12が設けられており、開孔111の-Z側の開口端は、振動板12により閉塞されている。つまり、素子基板11のうち、開孔111が設けられていない部分は、壁部112を構成し、この壁部112上に振動板12が積層されている。
具体的には、振動減衰層14の層厚は、10μmから30μmであり、超音波トランスデューサーTrの共振周波数をfとし、振動減衰層14の層厚をdとした際に、以下の式(1)を満たすように形成されている。
f=α×d+β …(1)
ここで、α、βは、主に、第一層121と、第二層122の構成材料により決定される係数となる。第一層をSiO2とし、第二層をZrO2とした場合、α=-8.12、β=789となる。係数α、βは、有限要素法等の方法により、容易に算出することができる。
振動板12は、上述のように、素子基板11の第一面11Aに設けられている。つまり、振動板12は、壁部112に支持されて、開孔111を閉塞する。ここで、振動板12のうち、開孔111を閉塞する部分である振動部12Aと、振動部12A上に積層される圧電素子13とにより、超音波トランスデューサーTrが構成される。
また、振動板12の厚み寸法は、素子基板11に対して十分小さい厚み寸法となる。
第一層121は、SiO2により構成されている。本実施形態では、素子基板11をSiにより構成されており、この素子基板11の第一面側を熱酸化処理することで、SiO2からなる第一層121が形成される。また、SiO2により構成された第一層121をエッチングストッパーとして、素子基板11を第二面側からエッチング処理することで、開孔111及び壁部112を有する素子基板11が形成される。
第二層122は、PZT等により構成された圧電素子13のPb原子の拡散が抑制する層であり、十分な厚みの第二層122が設けられることで、圧電素子13の圧電特性を維持することが可能となる。
そして、本実施形態において、第二層122は、第一層121に対してヤング率が高く、かつ、第二層122の曲げ剛性は、第一層121の曲げ剛性よりも大きい。
なお、第一層121及び第二層122の曲げ剛性比の詳細な説明については後述する。
圧電素子13は、振動板12の振動部12Aで、素子基板11とは反対側の面に設けられている。
より具体的には、圧電素子13は、図3及び図4に示すように、振動板12上に、第一電極131、圧電膜132、及び第二電極133を順に積層することで構成されている。
また、本実施形態における圧電膜132は、Pbを含有するペロブスカイト型遷移金属酸化物により構成されており、例えば、本実施形態ではPbとZrとTiとを含むPZTである。
また、開孔111から振動部12Aに超音波が入力されると、振動部12Aが振動し、圧電素子13の圧電膜132の上下で電位差が発生する。したがって、第一電極131及び第二電極133の間に発生する電位差を検出することにより、超音波の受信を検出することが可能となる。
本実施形態では、図2に示すように、超音波デバイス10には、X方向及びY方向に沿って複数の超音波トランスデューサーTrがアレイ状に配置されている。
また、本実施形態では、第一電極131は、X方向に沿って直線状に形成され、±X端部に設けられた駆動端子131Pに接続される。つまり、X方向に隣り合う超音波トランスデューサーTrでは、第一電極131が共通となり、1つのチャンネルCHを構成する。また、Y方向に沿って、複数のチャンネルCHが配置される。このため、各チャンネルCHに対応する駆動端子131Pに対して、それぞれ独立した駆動信号を入力することができ、各チャンネルCHを、それぞれ個別に駆動させることが可能となる。
図1に戻り、制御部20について説明する。
制御部20は、超音波デバイス10を駆動させる駆動回路30と、演算部40とを含んで構成されている。また、制御部20には、その他、超音波装置100を制御するための各種データや各種プログラム等を記憶した記憶部を備えていてもよい。
基準電位回路31は、超音波デバイス10の第二電極133の共通端子133Pに接続され、第二電極133に基準電位を印加する。
切替回路32は、駆動端子131Pと、送信回路33と、受信回路34とに接続される。この切替回路32は、スイッチング回路により構成されており、各駆動端子131Pのそれぞれと送信回路33とを接続する送信接続、及び、各駆動端子131Pのそれぞれと受信回路34とを接続する受信接続を切り替える。
すなわち、演算部40は、切替回路32を送信接続に切り替え、送信回路33から超音波デバイス10を駆動させて、超音波の送信処理を実施する。また、演算部40は、超音波を送信した直後に、切替回路32を受信接続に切り替えさせ、対象物で反射された反射波を超音波デバイス10で受信させる。そして、演算部40は、例えば、超音波デバイス10から超音波を送信した送信タイミングから、受信信号が受信されるまでの時間と、空気中における音速とを用いて、ToF(Time of Flight)法により、超音波デバイス10から対象物までの距離を算出する。
次に、振動板12の第一層121と第二層122との曲げ剛性比と、超音波トランスデューサーTrの共振周波数との関係について説明する。
超音波トランスデューサーTrにおいて送受信される超音波の周波数は、超音波トランスデューサーTrの共振周波数と略一致する。超音波トランスデューサーTrの共振周波数を所望の周波数とするためには、素子基板11の開孔111の開口幅、及び振動板12の剛性を適正に設定する必要がある。
超音波トランスデューサーTrでは、圧電素子13に駆動電圧を印加した際に、振動部12Aが振動する。この振動部12Aの振動は、図4に示すように、開孔111の開口幅が100μm以下となる場合、開口幅が増大するほど、振動部12Aの変位量が増大、つまり、変位効率が低下しない。
一方、開孔111の開口幅が100μmを超えると、徐々に変位効率は低下し、200μmを超えると、変位効率は著しく低下する。これは、開孔111の開口幅が100μmを超えることで、振動部12Aに不要な振動モードが発生するためである。つまり、超音波トランスデューサーTrから音圧の高い超音波を出力するには、開孔111の開口端を節、圧電素子13が配置される開孔111の中央部を腹として振動部12Aを振動させることが好ましい。しかしながら、不要な振動モードが発生すると、開孔111を閉塞する振動板12内に、複数の節及び腹が生じ、超音波の音圧が低下する。このため、開孔111の開口幅は、100μm以下とすることが好ましい。
例えば、開孔111の開口幅を100μmとすることで、共振周波数が所望値よりも高くなる場合、振動板12の厚みを薄くし、振動部12Aの剛性を下げる必要がある。
この際、上述したように、第二層122は、圧電素子13に含まれるPb原子の拡散を抑制する層であり、厚みを小さくすると、圧電素子13の圧電特性が劣化するおそれがある。このため、第二層122の厚みは、圧電素子13の圧電特性を維持するため、具体的には、圧電膜132に含まれるPb原子の拡散を抑制するために必要な規定値以上とする必要がある。しかし、第二層122の膜厚を、規定値を超える値とした場合、第二層122と第一層121との間で剥離や、クラック等が発生する確率が高くなるため、圧電素子13が劣化する。例えば、本実施形態では、規定値は400nmである。よって、振動板12の厚みを小さくする場合でも、第二層122は、規定値程度の厚みを維持することが好ましい。
図6は、第二層122の厚みを規定値に固定した際に、超音波トランスデューサーTrの共振周波数を所定の周波数とする場合の、開孔111の開口幅と、第一層121及び第二層122の曲げ剛性比(第一層の曲げ剛性/第二層の曲げ剛性)との関係を示す図である。
図6において、第一周波数f1は、開孔111の開口幅を100μmとし、第二層122の厚みを規定値とし、第一層121と第二層122の曲げ剛性が同じとなるように、第一層121の厚みを設定した場合の、超音波トランスデューサーTrの共振周波数である。つまり、第一周波数f1は、曲げ剛性比が1である場合の共振周波数である。なお、この第一周波数f1は、第一層121、第二層122の形成素材に応じて変化する。
この第二周波数f2は、共振周波数に応じた曲げ剛性比が所定の閾値以下となる場合の超音波トランスデューサーTrである。例えば、図6の例では、開孔111の開口幅が100μmの際に曲げ剛性比が0となる場合、つまり、第一層121が設けられない場合の超音波トランスデューサーTrの共振周波数を第二周波数f2としている。
開孔111の開口幅が100μmである場合、超音波トランスデューサーTrの共振周波数を第二周波数f2未満とする場合、振動板12の厚みのみで共振周波数を制御するためには、第二層122の厚みを小さくする必要がある。この場合、圧電素子13の圧電特性が劣化する。よって、本実施形態では、第二層122の厚みを規定値に維持し、振動減衰層14を設けることで、共振周波数を設定する。
なお、図6では、開口幅が100μmであり、曲げ剛性比が0となる場合の共振周波数を第二周波数f2としているが、これに限定されない。例えば、超音波デバイス10に形成可能な第一層121の厚みには、下限値がある。よって、第一層121の厚みを下限値、第二層122の厚みを規定値とした際の曲げ剛性比を閾値としてもよい。この場合、第二周波数f2は、第一層121の厚みを下限値、第二層122の厚みを規定値とした場合の超音波トランスデューサーTrの共振周波数となる。
振動板12に設ける振動減衰層14の厚みは、超音波トランスデューサーTrの共振周波数、開孔111の開口幅、及び曲げ剛性比に応じた厚みとなる。
本実施形態の超音波装置100は、超音波デバイス10と、超音波デバイス10を制御する制御部20とを備える。超音波デバイス10は、開孔111を有する素子基板11と、開孔111を閉塞する振動板12と、振動板12に配置される圧電素子13とを備える。また、振動板12は、素子基板11に積層される第一層121と、第一層121と圧電素子13との間に設けられ、圧電素子13に含まれる成分であるPb原子の拡散を抑制する第二層122とを備える。そして、第二層122の曲げ剛性は、第一層121の曲げ剛性よりも大きい。つまり、本実施形態では、第一層121の曲げ剛性を第二層122の曲げ剛性で除算した曲げ剛性比が1以下となる。
また、超音波トランスデューサーTrの共振周波数を第一周波数f1よりも小さくする場合、曲げ剛性比が1以上である場合では、第二層122の厚みを薄くしたり、開孔111の開口幅を大きくする必要がある。これに対して、本実施形態では、第二層122を規定値に固定したまま、第一層121の厚みを小さくすればよく、圧電素子13の圧電特性の劣化を抑制でき、開孔111の開口幅を変更する必要もない。
以上に示すように、本実施形態では、所望の駆動特性を有する超音波デバイス10を得ることができる。
このため、振動部12Aにおいて、不要な振動モードが発生する不都合を抑制でき、振動部12Aの変位効率を向上させることができる。
すなわち、本実施形態では、超音波トランスデューサーTrの共振周波数を、第一周波数f1以上とする場合でも、第一周波数f1未満とする場合でも、第二層122の厚みは、規定値以上となっている。これにより、圧電素子13の性能劣化が抑制され、超音波デバイス10の性能維持を図れる。
つまり、超音波トランスデューサーTrの共振周波数を第一周波数f1以下にする場合には、ヤング率の大きい第二層122の厚みを、Pb原子の拡散を抑制可能な規定値とし、ヤング率の小さい第一層121の厚みが、曲げ剛性比が1以下となるように設定される。これにより、第二層122による圧電素子13の圧電特性の劣化を抑制した、所望の共振周波数を有する超音波トランスデューサーTrを得ることができる。
超音波トランスデューサーTrの共振周波数を第二周波数f2未満とする場合には、曲げ剛性比をさらに小さくする必要がある。しかしながら、素子基板11上に形成可能な第一層121の厚みには下限値があり、下限値よりも小さい厚みの第一層121を形成することは困難である。また、振動板12が規定値の厚みの第二層122のみで構成する場合、これ以上、振動板12の厚みを小さくすることはできない。これに対して、本実施形態では、このような場合に、共振周波数に応じた厚みの振動減衰層14を設ける。これにより、第二周波数f2未満の共振周波数を有する超音波トランスデューサーTrを得ることができる。
なお、本発明は上述の各実施形態及び変形例に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良、及び各実施形態を適宜組み合わせる等によって得られる構成は本発明に含まれるものである。
また、圧電膜132として、PZTを例示しているが、Pb原子を含有するペロブスカイト型酸化物などの各種圧電材料を用いることができる。
また、チャンネルCHが、Y方向に沿って複数配置されているが、チャンネルCHが、X方向に沿って複数配置される構成としてもよく、X方向及びY方向に複数配置される構成としてもよい。
さらに、複数の超音波トランスデューサーTrにより、1つのチャンネルCHが構成される例を示しているが、複数の超音波トランスデューサーTrのそれぞれを独立して駆動可能な構成としてもよい。
Claims (4)
- 開孔を有する基材と、
前記基材に設けられ、前記開孔を閉塞する振動板と、
前記振動板に設けられる圧電素子と、を備え、
前記振動板は、前記基材に設けられる第一層と、前記第一層及び前記圧電素子との間に配置される第二層とを備え、
前記第二層の曲げ剛性は、前記第一層の曲げ剛性以上であり、
前記開孔の開口幅は、100μm以下であり、
前記第二層は、前記圧電素子の成分の拡散を抑制して圧電特性を維持する所定の規定値以上の厚みを有し、
前記振動板のうち前記開孔を閉塞する振動部と、前記圧電素子とにより超音波トランスデューサーが構成され、
前記第二層の厚みが前記規定値であり、かつ、前記第一層の曲げ剛性と第二層の曲げ剛性とが同じである場合の前記超音波トランスデューサーの共振周波数を第一周波数とすると、前記超音波トランスデューサーの共振周波数が前記第一周波数より大きい、または、前記超音波トランスデューサーの共振周波数が前記第一周波数よりも小さく、かつ前記第二層の厚みが前記規定値である、
ことを特徴とする超音波デバイス。 - 請求項1に記載の超音波デバイスにおいて、
前記超音波トランスデューサーの共振周波数は前記第一周波数よりも低い第二周波数未満であり、
前記振動板に前記共振周波数に応じた厚みの振動減衰層が設けられる
ことを特徴とする超音波デバイス。 - 請求項1または請求項2に記載の超音波デバイスにおいて、
前記第一層は、SiO2により構成され、
前記第二層は、ZrO2により構成されている
ことを特徴とする超音波デバイス。 - 請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の超音波デバイスと、
超音波デバイスを制御する制御部と、
を備えることを特徴とする超音波装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019054529A JP7272036B2 (ja) | 2019-03-22 | 2019-03-22 | 超音波デバイス、及び超音波装置 |
US16/824,830 US11872592B2 (en) | 2019-03-22 | 2020-03-20 | Ultrasonic device and ultrasonic apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019054529A JP7272036B2 (ja) | 2019-03-22 | 2019-03-22 | 超音波デバイス、及び超音波装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020156015A JP2020156015A (ja) | 2020-09-24 |
JP7272036B2 true JP7272036B2 (ja) | 2023-05-12 |
Family
ID=72515967
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019054529A Active JP7272036B2 (ja) | 2019-03-22 | 2019-03-22 | 超音波デバイス、及び超音波装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11872592B2 (ja) |
JP (1) | JP7272036B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI763270B (zh) * | 2021-01-21 | 2022-05-01 | 茂丞科技股份有限公司 | 陣列式超聲波感測器 |
WO2022254529A1 (ja) * | 2021-05-31 | 2022-12-08 | 株式会社安川電機 | ロボット、駆動機構、減速機、トルクセンサ、トルク検出方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002271897A (ja) | 2001-01-24 | 2002-09-20 | Koninkl Philips Electronics Nv | 超音波変換器のアレイ |
WO2016002971A1 (ja) | 2014-07-04 | 2016-01-07 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波センサー |
US20160033454A1 (en) | 2014-07-31 | 2016-02-04 | Seiko Epson Corporation | Ultrasonic device, method for manufacturing the same, probe, and electronic apparatus |
US20160089111A1 (en) | 2014-09-30 | 2016-03-31 | Seiko Epson Corporation | Ultrasonic sensor as well as probe and electronic apparatus |
JP2017118611A (ja) | 2015-12-21 | 2017-06-29 | セイコーエプソン株式会社 | 振動板構造及び圧電素子応用デバイス |
JP2018029748A (ja) | 2016-08-24 | 2018-03-01 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波デバイス、超音波モジュール、及び超音波測定装置 |
-
2019
- 2019-03-22 JP JP2019054529A patent/JP7272036B2/ja active Active
-
2020
- 2020-03-20 US US16/824,830 patent/US11872592B2/en active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002271897A (ja) | 2001-01-24 | 2002-09-20 | Koninkl Philips Electronics Nv | 超音波変換器のアレイ |
WO2016002971A1 (ja) | 2014-07-04 | 2016-01-07 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波センサー |
US20160033454A1 (en) | 2014-07-31 | 2016-02-04 | Seiko Epson Corporation | Ultrasonic device, method for manufacturing the same, probe, and electronic apparatus |
JP2016033970A (ja) | 2014-07-31 | 2016-03-10 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波デバイスおよびその製造方法並びにプローブおよび電子機器 |
US20160089111A1 (en) | 2014-09-30 | 2016-03-31 | Seiko Epson Corporation | Ultrasonic sensor as well as probe and electronic apparatus |
JP2016072862A (ja) | 2014-09-30 | 2016-05-09 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波センサー並びにプローブおよび電子機器 |
JP2017118611A (ja) | 2015-12-21 | 2017-06-29 | セイコーエプソン株式会社 | 振動板構造及び圧電素子応用デバイス |
JP2018029748A (ja) | 2016-08-24 | 2018-03-01 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波デバイス、超音波モジュール、及び超音波測定装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11872592B2 (en) | 2024-01-16 |
US20200298276A1 (en) | 2020-09-24 |
JP2020156015A (ja) | 2020-09-24 |
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