JP7262137B2 - electric valve - Google Patents

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Description

本発明は、電動弁に関し、特に、弁体の位置を検出することが可能な電動弁に関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to an electrically operated valve, and more particularly to an electrically operated valve capable of detecting the position of a valve body.

電動弁の弁開度を検出するために角度センサを用いることが知られている。 It is known to use an angle sensor to detect the valve opening of an electrically operated valve.

関連する技術として、特許文献1には、電動弁の弁開度検出装置が開示されている。特許文献1に記載の弁開度検出装置は、回転軸に固定したN極およびS極を円周上に等分割に着磁した磁気ドラムと、該NS極に相対するキヤン外側の円周上に設けた回転角検出用磁気センサと、回転軸の端部に設けた磁石と、磁石に相対するキヤン外側に設けた、上下位置検出用磁気センサと、回転角検出用磁気センサおよび上下位置検出用磁気センサの検出値から弁開度を演算する弁開度演算手段と、を備える。 As a related technology, Patent Document 1 discloses a valve opening degree detection device for an electric valve. The valve opening degree detection device described in Patent Document 1 includes a magnetic drum that is fixed to a rotating shaft and has N and S poles magnetized in equal division on the circumference, and a magnetic drum on the outside of the can that faces the N and S poles. a magnetic sensor for detecting the rotation angle provided at the end of the rotating shaft, a magnet provided at the end of the rotating shaft, a magnetic sensor for detecting the vertical position provided outside the can facing the magnet, a magnetic sensor for detecting the rotation angle, and a vertical position detection a valve opening calculation means for calculating the valve opening from the detected value of the magnetic sensor for the magnetic sensor.

また、特許文献2には、ステッピングモータを用いた電動弁が開示されている。特許文献2に記載の電動弁は、ステータと、ステータによって回転駆動されるロータと、ロータの回転位置を検出する検出ロータと、検出ロータの外側に配置されるホールICとを備える。特許文献2に記載の電動弁では、検出ロータの外側に配置されるホールICによって検出される出力信号に基づいてロータの回転位置が検出される。 Further, Patent Document 2 discloses an electrically operated valve using a stepping motor. The motor-operated valve described in Patent Document 2 includes a stator, a rotor that is rotationally driven by the stator, a detection rotor that detects the rotational position of the rotor, and a Hall IC arranged outside the detection rotor. In the electric valve disclosed in Patent Document 2, the rotational position of the rotor is detected based on the output signal detected by the Hall IC arranged outside the detection rotor.

特開2001-12633号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-12633 特開2014-161152号公報JP 2014-161152 A

特許文献1、2に記載の電動弁では、ロータ等の回転体の径外方向に配置された磁気センサによって回転体の回転角度を検出する。しかし、回転体の径外方向に配置された磁気センサによって回転体の回転角度を検出する場合、回転体の径外方向に多数の磁気センサを配置しなければ、回転体の回転角度を精密に検出することが困難である。多数の磁気センサを配置する場合には、コストが増加する。また、多数の磁気センサを配置するためのスペースを確保する必要があるし、多数の磁気センサを支持するための支持機構が複雑化するおそれもある。また、磁気センサが、ホール電流の増減により回転角度を検出する場合には、電源がOFFになった時に回転角度情報が失われ、再び電源がONになった時に、回転体の絶対的な回転角度がわからなくなるおそれがある。 In the electric valves disclosed in Patent Documents 1 and 2, the rotation angle of the rotating body such as a rotor is detected by a magnetic sensor arranged radially outward of the rotating body. However, when the rotation angle of the rotor is detected by a magnetic sensor arranged in the radial direction of the rotor, the rotation angle of the rotor must be precisely detected unless a large number of magnetic sensors are arranged in the radial direction of the rotor. Difficult to detect. The cost increases when a large number of magnetic sensors are arranged. In addition, it is necessary to secure a space for arranging a large number of magnetic sensors, and there is a possibility that the support mechanism for supporting a large number of magnetic sensors may become complicated. Further, when the magnetic sensor detects the rotation angle by increasing or decreasing the hall current, the rotation angle information is lost when the power is turned off, and when the power is turned on again, the absolute rotation of the rotating body is detected. You may lose track of your angle.

そこで、本発明の目的は、回転シャフトの回転角をより正確に検出することによって、弁体の位置をより正確に検出することが可能な電動弁を提供することである。 SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a motor-operated valve capable of more accurately detecting the position of a valve body by more accurately detecting the rotation angle of a rotating shaft.

上記目的を達成するために、本発明による電動弁は、弁体と、前記弁体を第1軸に沿って移動させるドライバと、前記ドライバを前記第1軸まわりに回転させる回転シャフトと、前記回転シャフトに配置され、前記回転シャフトとともに回転する永久磁石部材と、前記永久磁石部材に含まれる永久磁石の回転角度を検出する角度センサと、前記永久磁石部材を収容するケースと、を具備し、前記角度センサは、前記ケースの外側に配置され、前記角度センサは、前記回転シャフトの回転動作を制御する制御基板に支持されており、前記制御基板は、閉空間である収容空間内に収容されているTo achieve the above objects, the present invention provides an electrically operated valve comprising a valve body, a driver for moving the valve body along a first axis, a rotating shaft for rotating the driver around the first axis, and the a permanent magnet member arranged on a rotating shaft and rotating together with the rotating shaft; an angle sensor for detecting a rotation angle of the permanent magnet included in the permanent magnet member; and a case accommodating the permanent magnet member; The angle sensor is arranged outside the case, the angle sensor is supported by a control board that controls the rotational movement of the rotating shaft, and the control board is housed in a closed housing space. are

いくつかの実施形態における電動弁において、前記収容空間を形成するハウジングを備え、前記制御基板は、前記ハウジングによって支持されているIn some embodiments, the motor-operated valve includes a housing that forms the accommodation space, and the control board is supported by the housing .

本発明により、弁体の位置をより正確に検出することが可能な電動弁を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide an electrically operated valve capable of detecting the position of the valve body more accurately.

図1は、第1の実施形態における電動弁の概要を示す概略断面図である。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an overview of an electrically operated valve according to the first embodiment. 図2は、第2の実施形態における電動弁の概略断面図である。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of an electrically operated valve according to a second embodiment. 図3は、第2の実施形態における電動弁の一部の概略拡大断面図である。FIG. 3 is a schematic enlarged cross-sectional view of part of the motor-operated valve in the second embodiment. 図4は、図3の一部分を更に拡大した図である。FIG. 4 is a further enlarged view of a portion of FIG. 図5は、第3の実施形態における電動弁の一部の概略拡大断面図である。FIG. 5 is a schematic enlarged cross-sectional view of part of the motor-operated valve according to the third embodiment. 図6は、図5におけるA-A矢視断面図である。6 is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 5. FIG. 図7は、図5の一部分を更に拡大した図である。FIG. 7 is a further enlarged view of a portion of FIG. 図8は、図5におけるB-B矢視断面図である。8 is a cross-sectional view taken along the line BB in FIG. 5. FIG. 図9は、永久磁石と角度センサとの配置関係を模式的に示す図である。FIG. 9 is a diagram schematically showing the arrangement relationship between permanent magnets and angle sensors. 図10は、永久磁石と角度センサとの配置関係を模式的に示す図である。FIG. 10 is a diagram schematically showing the arrangement relationship between permanent magnets and angle sensors. 図11は、永久磁石と角度センサとの配置関係を模式的に示す図である。FIG. 11 is a diagram schematically showing the arrangement relationship between permanent magnets and angle sensors. 図12は、永久磁石と角度センサとの配置関係を模式的に示す図である。FIG. 12 is a diagram schematically showing the arrangement relationship between permanent magnets and angle sensors. 図13は、電動弁の作動異常の有無を判定する演算装置の機能を模式的に示す機能ブロック図である。FIG. 13 is a functional block diagram schematically showing functions of an arithmetic device for determining whether or not there is an operational abnormality in the motor-operated valve.

以下、図面を参照して、実施形態における電動弁について説明する。なお、以下の実施形態の説明において、同一の機能を有する部位、部材については同一の符号を付し、同一の符号が付された部位、部材についての繰り返しとなる説明は省略する。 A motor-operated valve according to an embodiment will be described below with reference to the drawings. In the following description of the embodiments, portions and members having the same functions are denoted by the same reference numerals, and repeated descriptions of the portions and members denoted by the same reference numerals are omitted.

(第1の実施形態)
図1を参照して、第1の実施形態における電動弁Aについて説明する。図1は、第1の実施形態における電動弁Aの概要を示す概略断面図である。なお、図1において、図面の複雑化を避けるため、電動弁Aの一部の記載は省略されている。
(First embodiment)
A motor-operated valve A according to the first embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an outline of an electrically operated valve A according to the first embodiment. In addition, in FIG. 1, a part of the motor-operated valve A is omitted in order to avoid complication of the drawing.

電動弁Aは、弁体10と、ドライバ30と、回転シャフト50と、回転シャフト50に動力を伝達する動力源60と、永久磁石72を含む永久磁石部材70と、永久磁石72の回転角度を検出する角度センサ80とを備える。 The electric valve A includes a valve body 10, a driver 30, a rotating shaft 50, a power source 60 for transmitting power to the rotating shaft 50, a permanent magnet member 70 including a permanent magnet 72, and a rotation angle of the permanent magnet 72. and an angle sensor 80 for detecting.

弁体10は、弁座20と接触することにより流路を閉鎖し、弁座20から離間することにより流路を開放する。 The valve body 10 closes the flow path by contacting the valve seat 20 and opens the flow path by separating from the valve seat 20 .

ドライバ30は、弁体10を第1軸Zに沿って移動させる部材である。図1に記載の例では、ドライバ30の外周面には雄ねじ31が設けられている。雄ねじ31は、ドライバを案内する案内部材40に設けられた雌ねじ41に螺合している。ドライバ30が、案内部材40に対して回転することにより、ドライバ30は、第1軸Zに沿って移動する。ドライバ30と弁体10とは、機械的に接続されている。このため、ドライバ30が第1軸Zに沿って移動すると、弁体10も第1軸Zに沿って移動する。なお、ドライバ30と弁体10とは、一体に形成されてもよいし、別体として形成されてもよい。 The driver 30 is a member that moves the valve body 10 along the first axis Z. As shown in FIG. In the example shown in FIG. 1, a male screw 31 is provided on the outer peripheral surface of the driver 30 . The male thread 31 is screwed into a female thread 41 provided in a guide member 40 that guides the driver. The driver 30 moves along the first axis Z by rotating the driver 30 with respect to the guide member 40 . The driver 30 and the valve body 10 are mechanically connected. Therefore, when the driver 30 moves along the first Z-axis, the valve body 10 also moves along the first Z-axis. The driver 30 and the valve body 10 may be formed integrally or may be formed separately.

回転シャフト50は、ドライバ30を第1軸Zまわりに回転させる部材である。回転シャフト50は、動力源60から動力を受け取り、第1軸Zまわりを回転する。回転シャフト50とドライバ30とは、機械的に接続されている。このため、回転シャフト50が第1軸Zまわりに回転すると、ドライバ30も第1軸Zまわりに回転する。なお、回転シャフト50と、ドライバ30とは、一体に形成されてもよいし、別体として形成されてもよい。 The rotating shaft 50 is a member that rotates the driver 30 around the first Z axis. The rotating shaft 50 receives power from the power source 60 and rotates around the first axis Z. As shown in FIG. The rotating shaft 50 and the driver 30 are mechanically connected. Therefore, when the rotating shaft 50 rotates around the first Z-axis, the driver 30 also rotates around the first Z-axis. The rotary shaft 50 and the driver 30 may be formed integrally or may be formed separately.

図1に記載の例では、弁体10と、ドライバ30と、回転シャフト50とが、一直線上(第1軸Z上)に配置されている。このため、回転シャフト50の回転運動を弁体10の軸方向運動に変換する運動変換機構が単純化される。なお、実施形態は、弁体10と、ドライバ30と、回転シャフト50とが、一直線上に配置されることに限定されない。 In the example shown in FIG. 1, the valve body 10, the driver 30, and the rotating shaft 50 are arranged on a straight line (on the first axis Z). Therefore, the motion conversion mechanism for converting the rotational motion of the rotating shaft 50 into the axial motion of the valve body 10 is simplified. In addition, embodiment is not limited to arrange|positioning the valve body 10, the driver 30, and the rotating shaft 50 on a straight line.

永久磁石部材70は、回転シャフト50とともに、第1軸Zまわりを回転する。永久磁石部材70は永久磁石72を含み、永久磁石72は、第1軸Zに垂直な断面において、N極とS極とを含む。永久磁石部材70は回転シャフト50に固着されていてもよい。代替的に、後述の第3の実施形態に示されるように、永久磁石部材70は、回転シャフト50に対して相対回転不能かつ、回転シャフト50に対して第1軸Z方向に相対移動自在であってもよい。 The permanent magnet member 70 rotates around the first axis Z together with the rotating shaft 50 . The permanent magnet member 70 includes a permanent magnet 72, and the permanent magnet 72 includes a north pole and a south pole in a cross section perpendicular to the first axis Z. As shown in FIG. Permanent magnet member 70 may be fixed to rotating shaft 50 . Alternatively, as shown in a third embodiment described later, the permanent magnet member 70 is relatively non-rotatable with respect to the rotating shaft 50 and relatively movable with respect to the rotating shaft 50 in the first axis Z direction. There may be.

角度センサ80は、永久磁石部材70に含まれる永久磁石72の回転角度を検出する。角度センサ80は、永久磁石72の上方に配置される。角度センサ80は、永久磁石72の回転角度を検出するセンサであるため、永久磁石72を含む回転体からは、離間配置されている。角度センサ80は、磁束密度等を検出する磁気検出素子82を含む。永久磁石72が、第1軸Zのまわりを回転すると、磁気検出素子82を通過する磁束が変化する。こうして、磁気検出素子82(角度センサ80)は、永久磁石72の第1軸Zまわりの回転角度を検出する。 Angle sensor 80 detects the rotation angle of permanent magnet 72 included in permanent magnet member 70 . Angle sensor 80 is arranged above permanent magnet 72 . Since the angle sensor 80 is a sensor that detects the rotation angle of the permanent magnet 72 , the angle sensor 80 is spaced apart from the rotating body including the permanent magnet 72 . The angle sensor 80 includes a magnetic detection element 82 that detects magnetic flux density and the like. As the permanent magnet 72 rotates about the first axis Z, the magnetic flux passing through the magnetic sensing element 82 changes. Thus, the magnetic detection element 82 (angle sensor 80) detects the rotation angle of the permanent magnet 72 around the first axis Z. As shown in FIG.

永久磁石72が、第1軸Zのまわりを回転すると、永久磁石の上方に配置された磁気検出素子82を通過する磁束の角度は連続的に変化する。よって、磁気検出素子82(角度センサ80)は、永久磁石72の第1軸Zまわりの回転角度を連続的に検出することができる。なお、図1に記載の例において、永久磁石72の第1軸Zまわりの回転角度の変化は、弁体10の第1軸Zに沿う方向の位置変化に比例する。よって、角度センサ80が、永久磁石72の第1軸Zまわりの回転角度を検出することによって、弁体10の第1軸Zに沿う方向の位置、すなわち、弁の開度を算出することができる。電動弁Aは、角度センサ80が出力する角度データを、弁体10の第1軸Zに沿う方向の位置データ、すなわち、弁の開度データに変換する演算装置を備えていてもよい。演算装置は、制御基板90上に配置されていてもよい。 As the permanent magnet 72 rotates about the first axis Z, the angle of the magnetic flux passing through the magnetic sensing element 82 arranged above the permanent magnet continuously changes. Therefore, the magnetic detection element 82 (angle sensor 80) can continuously detect the rotation angle of the permanent magnet 72 about the first axis Z. FIG. In the example shown in FIG. 1, the change in the rotation angle of the permanent magnet 72 about the first axis Z is proportional to the positional change in the direction along the first axis Z of the valve body 10 . Therefore, by detecting the rotation angle of the permanent magnet 72 about the first axis Z, the angle sensor 80 can calculate the position of the valve body 10 in the direction along the first axis Z, that is, the degree of opening of the valve. can. The electric valve A may include an arithmetic device that converts the angle data output by the angle sensor 80 into position data of the valve body 10 in the direction along the first axis Z, that is, valve opening data. The computing device may be arranged on the control board 90 .

本明細書において、回転シャフト50の弁体10側の端部を第2端部と呼び、回転シャフト50の弁体とは反対側の端部を第1端部と呼ぶ。また、本明細書において、「上方」は、第2端部から第1端部に向かう方向と定義される。よって、実際には、第2端部が第1端部よりも下方にある場合であっても、本明細書においては、第2端部から第1端部に向かう方向が、「上方」である。なお、本明細書では、上方と反対の方向、すなわち、第1端部から第2端部に向かう方向が「下方」である。また、角度センサ80は、回転シャフト50の回転軸と中心を一致させた配置に限られず、その測定感度に応じて取付位置を変えてもよい。 In this specification, the end of the rotating shaft 50 on the valve body 10 side is called the second end, and the end of the rotating shaft 50 opposite to the valve body is called the first end. Also, as used herein, "upper" is defined as the direction from the second end toward the first end. Therefore, even if the second end is actually located below the first end, in this specification, the direction from the second end to the first end is "upward." be. In this specification, the direction opposite to the upward direction, that is, the direction from the first end to the second end is "downward". Moreover, the angle sensor 80 is not limited to being arranged so as to be centered on the rotation axis of the rotary shaft 50, and the mounting position may be changed according to its measurement sensitivity.

(任意付加的な構成例1)
第1の実施形態において採用可能な任意付加的な構成例について説明する。構成例1では、弁体10と、回転シャフト50と、永久磁石72と、角度センサ80とが一直線上に配置されている。弁体10と、回転シャフト50と、永久磁石72と、角度センサ80とが一直線上に配置されることにより、弁体の駆動機構と、永久磁石の回転角度検出機構(換言すれば、弁体の位置検出機構)とを含む電動弁Aの全体をコンパクトにすることが可能である。
(Optional additional configuration example 1)
An optional additional configuration example that can be employed in the first embodiment will be described. In configuration example 1, the valve body 10, the rotating shaft 50, the permanent magnet 72, and the angle sensor 80 are arranged on a straight line. By arranging the valve body 10, the rotary shaft 50, the permanent magnet 72, and the angle sensor 80 on a straight line, the valve body drive mechanism and the permanent magnet rotation angle detection mechanism (in other words, the valve body position detection mechanism) can be made compact.

(任意付加的な構成例2)
構成例2では、角度センサ80は、回転シャフト50の回転動作を制御する制御基板90に支持されている。このため、角度センサ80を支持する支持部材を別途用意する必要がない。このため、電動弁Aの構造が単純化され、電動弁Aの小型化が可能となる。なお、制御基板90は、動力源60に制御信号を送信し、動力源の動作を制御する。
(Arbitrary additional configuration example 2)
In configuration example 2, the angle sensor 80 is supported by a control board 90 that controls the rotational motion of the rotating shaft 50 . Therefore, it is not necessary to separately prepare a supporting member for supporting the angle sensor 80 . Therefore, the structure of the motor-operated valve A is simplified, and the size of the motor-operated valve A can be reduced. The control board 90 transmits control signals to the power source 60 to control the operation of the power source.

(任意付加的な構成例3)
構成例3では、電動弁Aは、永久磁石72を収容するケース(例えば、金属製のキャン100)を備える。そして、ケースの端壁102は、角度センサ80と、永久磁石部材70との間に配置されている。換言すれば、角度センサ80と永久磁石部材70とは、ケースの端壁102を介して対向配置される。なお、ケースは、第1軸Zまわりを回転する回転体ではない。よって、電動弁Aが作動する時には、永久磁石72は、静止状態にあるケースに対して相対回転する。永久磁石72等の回転体がケース内で回転するとき、回転体の振動がケースに伝わる可能性がある。図1に記載の例では、角度センサ80が、ケースに離間配置されているため、回転体の振動が角度センサ80に伝達されることが抑制される。よって、角度センサ80による永久磁石の角度検出精度が向上する。
(Optional additional configuration example 3)
In configuration example 3, the motor-operated valve A includes a case (for example, a metal can 100) that houses the permanent magnet 72. As shown in FIG. The end wall 102 of the case is arranged between the angle sensor 80 and the permanent magnet member 70 . In other words, the angle sensor 80 and the permanent magnet member 70 are arranged to face each other through the end wall 102 of the case. Note that the case is not a rotating body that rotates around the first axis Z. Therefore, when the motor-operated valve A operates, the permanent magnet 72 rotates relative to the stationary case. When a rotating body such as the permanent magnet 72 rotates within the case, vibration of the rotating body may be transmitted to the case. In the example shown in FIG. 1, since the angle sensor 80 is spaced from the case, transmission of the vibration of the rotating body to the angle sensor 80 is suppressed. Therefore, the angle detection accuracy of the permanent magnet by the angle sensor 80 is improved.

図1に記載の例では、ケースの端壁102は、永久磁石部材70の上面を覆っている。また、図1に記載の例では、端壁102は、上側に凸であるドーム形状を有する。そして、ケースの端壁102からは、円筒状の側壁104が下方に向かって延びている。 In the example shown in FIG. 1, the case end wall 102 covers the upper surface of the permanent magnet member 70 . Also, in the example shown in FIG. 1, the end wall 102 has a dome shape that is convex upward. A cylindrical side wall 104 extends downward from the end wall 102 of the case.

なお、第1の実施形態において、構成例1乃至構成例3を組み合わせて採用することも可能である。例えば、第1の実施形態において、構成例1および構成例2、構成例2および構成例3、あるいは、構成例1乃至3が採用されてもよい。また、構成例1~3は、後述の実施形態(第2の実施形態、第3の実施形態)において採用されてもよい。 In addition, in the first embodiment, it is also possible to employ a combination of Configuration Examples 1 to 3. FIG. For example, configuration examples 1 and 2, configuration examples 2 and 3, or configuration examples 1 to 3 may be employed in the first embodiment. Further, configuration examples 1 to 3 may be employed in embodiments (second embodiment, third embodiment) described later.

(第2の実施形態)
図2乃至図4を参照して、第2の実施形態における電動弁Bについて説明する。図2は、第2の実施形態における電動弁Bの概略断面図である。図3は、第2の実施形態における電動弁Bの一部の概略拡大断面図である。また、図4は、図3の一部分を更に拡大した図である。
(Second embodiment)
A motor operated valve B according to a second embodiment will be described with reference to FIGS. 2 to 4. FIG. FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of the motor-operated valve B in the second embodiment. FIG. 3 is a schematic enlarged cross-sectional view of part of the motor-operated valve B in the second embodiment. Moreover, FIG. 4 is the figure which further expanded a part of FIG.

電動弁Bは、弁体10と、弁座20と、ドライバ30と、回転シャフト50と、回転シャフト50に動力を伝達する動力源60と、永久磁石72を含む永久磁石部材70と、永久磁石72の回転角度を検出する角度センサ80とを備える。 The electrically operated valve B includes a valve body 10, a valve seat 20, a driver 30, a rotating shaft 50, a power source 60 for transmitting power to the rotating shaft 50, a permanent magnet member 70 including a permanent magnet 72, and a permanent magnet. and an angle sensor 80 for detecting the rotation angle of 72 .

電動弁Bは、第1流路112と、第2流路114とを備える。弁体10と弁座20とが離間しているとき、換言すれば、弁体10が上方位置にあるとき、流体が、第1流路112を介して弁室113内に流入し、弁室113内の流体が、第2流路114を介して排出される。他方、弁体10と弁座20とが接触しているとき、換言すれば、弁体10が下方位置にあるとき、第1流路112と第2流路114とは互いに非連通状態となる。 Motor operated valve B includes a first flow path 112 and a second flow path 114 . When the valve body 10 and the valve seat 20 are separated from each other, in other words, when the valve body 10 is in the upper position, the fluid flows into the valve chamber 113 through the first flow path 112 and flows into the valve chamber 113 . Fluid in 113 is discharged through second channel 114 . On the other hand, when the valve body 10 and the valve seat 20 are in contact, in other words, when the valve body 10 is in the lower position, the first flow path 112 and the second flow path 114 are out of communication with each other. .

なお、図2に記載の例では、第1流路112と、弁座20と、第2流路114とが、下側ベース部材2に設けられている。 In addition, in the example illustrated in FIG. 2 , the first flow path 112 , the valve seat 20 and the second flow path 114 are provided in the lower base member 2 .

図2に記載の例において、電動弁Bは、動力源60と動力伝達機構120とを備える。動力源60は、コイル620を含むステータ部材62と、ロータ部材64とを備える。コイル620には、電源に接続された電線630からパルス信号が入力される。そして、コイル620にパルス信号が入力されると、ロータ部材64は、パルス信号のパルス数に対応する回転角度だけ回転する。すなわち、図2に記載の例では、ステータ部材62と、ロータ部材64とにより、ステッピングモータが構成されている。 In the example shown in FIG. 2 , the electrically operated valve B includes a power source 60 and a power transmission mechanism 120 . The power source 60 comprises a stator member 62 containing coils 620 and a rotor member 64 . A pulse signal is input to the coil 620 from an electric wire 630 connected to a power supply. Then, when a pulse signal is input to the coil 620, the rotor member 64 rotates by a rotation angle corresponding to the number of pulses of the pulse signal. That is, in the example shown in FIG. 2, the stepping motor is configured by the stator member 62 and the rotor member 64 .

動力伝達機構120は、ロータ部材64と回転シャフト50との間を動力伝達可能に接続する部材である。動力伝達機構120は、複数の歯車を含む。動力伝達機構120は、遊星歯車機構を備えていてもよい。遊星歯車機構の詳細は、後述される。 The power transmission mechanism 120 is a member that connects the rotor member 64 and the rotating shaft 50 so that power can be transmitted. Power transmission mechanism 120 includes a plurality of gears. The power transmission mechanism 120 may include a planetary gear mechanism. Details of the planetary gear mechanism will be described later.

図2に記載の例では、電動弁Bは、ハウジング部材4を備える。ハウジング部材4内には、収容空間SP(例えば、液密な閉空間)が形成され、収容空間SP内には、上述のステータ部材62、キャン100、制御基板90等が収容される。 In the example shown in FIG. 2 , the electrically operated valve B comprises a housing member 4 . An accommodation space SP (for example, a liquid-tight closed space) is formed in the housing member 4, and the above-described stator member 62, can 100, control board 90, and the like are accommodated in the accommodation space SP.

図2に記載の例では、制御基板90が、ハウジング部材4によって支持されている。より具体的には、ハウジング部材4は、側壁を構成する筒状部材4aと、カバー部材4bとを備え、制御基板90は、カバー部材4bによって支持されている。 In the example shown in FIG. 2, the control board 90 is supported by the housing member 4. As shown in FIG. More specifically, the housing member 4 includes a cylindrical member 4a forming a side wall and a cover member 4b, and the control board 90 is supported by the cover member 4b.

制御基板90(より具体的には制御基板上の回路)は、コイル620に供給されるパルス数を制御する。コイル620に、所定のパルス数が供給されると、ロータ部材64は、パルス数に対応する回転角度だけ回転する。ロータ部材64と、回転シャフト50とは、動力伝達機構120を介して動力伝達可能に接続されている。このため、ロータ部材64が回転すると、回転シャフト50は、ロータ部材64の回転角度に比例する回転角度だけ回転する。 Control board 90 (more specifically, circuitry on the control board) controls the number of pulses supplied to coil 620 . When a predetermined number of pulses are supplied to the coil 620, the rotor member 64 rotates by a rotation angle corresponding to the number of pulses. The rotor member 64 and the rotating shaft 50 are connected via a power transmission mechanism 120 so as to be able to transmit power. Therefore, when the rotor member 64 rotates, the rotary shaft 50 rotates by a rotation angle proportional to the rotation angle of the rotor member 64 .

回転シャフト50は、ドライバ30を回転させる。図2に記載の例では、回転シャフト50の第2端部52(すなわち、シャフト側係合部材)と、ドライバ30の上端部34(すなわち、ドライバ側係合部材)とが、互いに相対回転不能に、機械的に接続されている。また、回転シャフト50の第2端部52と、ドライバ30の上端部34とは、第1軸Zに沿って、互いに相対移動可能である。このため、回転シャフト50は、回転シャフト50自身の上下位置を変化させることなく、ドライバ30を上下動させることが可能である。 A rotating shaft 50 rotates the driver 30 . In the example shown in FIG. 2, the second end 52 of the rotating shaft 50 (ie, the shaft-side engagement member) and the upper end 34 of the driver 30 (ie, the driver-side engagement member) are non-rotatable relative to each other. is mechanically connected to Also, the second end 52 of the rotary shaft 50 and the upper end 34 of the driver 30 are movable along the first axis Z relative to each other. Therefore, the rotating shaft 50 can vertically move the driver 30 without changing the vertical position of the rotating shaft 50 itself.

回転シャフト50の第1端部54には、上述の永久磁石部材70が配置されている。図2に記載の例では、回転シャフト50の回転動作によって、回転シャフト50の上下方向の位置が変化しない。このため、永久磁石部材70も、回転シャフト50の回転動作によって、上下方向位置が変化しない。よって、電動弁Bの動作中に、永久磁石部材70と、角度センサ80との間の距離が、一定に維持される。 The permanent magnet member 70 described above is arranged at the first end portion 54 of the rotary shaft 50 . In the example shown in FIG. 2, the rotational movement of the rotating shaft 50 does not change the vertical position of the rotating shaft 50 . Therefore, the permanent magnet member 70 also does not change its vertical position due to the rotation of the rotating shaft 50 . Therefore, the distance between the permanent magnet member 70 and the angle sensor 80 is kept constant during the operation of the electric valve B.

すなわち、第2の実施形態では、回転シャフト50とドライバ30とが別体であり、かつ、回転シャフト50とドライバ30とが、第1軸Zに沿って、互いに相対移動可能であるため、回転シャフト50に配置された永久磁石部材70と角度センサ80との間の距離を一定に維持することが可能である。その結果、角度センサ80による永久磁石72の回転角度の検出の精度が向上する。ドライバ30の上下動に伴い、回転シャフト50および永久磁石72が上下動する場合、角度センサ80による永久磁石72の回転角度の検出精度が低下するおそれがある。これに対し、第2の実施形態では、ドライバ30が上下動しても、回転シャフト50および永久磁石72が上下動しないようにしている点で画期的である。 That is, in the second embodiment, the rotating shaft 50 and the driver 30 are separate bodies, and the rotating shaft 50 and the driver 30 are movable relative to each other along the first axis Z. It is possible to keep the distance between the permanent magnet member 70 arranged on the shaft 50 and the angle sensor 80 constant. As a result, the accuracy of detection of the rotation angle of the permanent magnet 72 by the angle sensor 80 is improved. When the rotating shaft 50 and the permanent magnet 72 move up and down as the driver 30 moves up and down, there is a possibility that the accuracy of detection of the rotation angle of the permanent magnet 72 by the angle sensor 80 may deteriorate. In contrast, the second embodiment is epoch-making in that even if the driver 30 moves up and down, the rotary shaft 50 and the permanent magnet 72 do not move up and down.

図2に記載の例では、回転シャフト50自体が、永久磁石72と角度センサ80との間の距離を一定に維持する永久磁石位置決め部材として機能しているということもできる。
第2の実施形態において、回転シャフト50と永久磁石部材70との間の連結は、回転シャフト50と永久磁石部材70とが相対移動不能となるように、直接的または間接的に連結されていれば、どのような連結であっても構わない。しかし、相対移動の防止をより確実にする観点からは、回転シャフト50と永久磁石部材70とが直接的に固着されていることが好ましい。
In the example shown in FIG. 2, it can also be said that the rotating shaft 50 itself functions as a permanent magnet positioning member that keeps the distance between the permanent magnet 72 and the angle sensor 80 constant.
In the second embodiment, the connection between the rotating shaft 50 and the permanent magnet member 70 may be directly or indirectly such that the rotating shaft 50 and the permanent magnet member 70 are immovable relative to each other. For example, any connection may be used. However, from the viewpoint of ensuring prevention of relative movement, it is preferable that the rotating shaft 50 and the permanent magnet member 70 are directly fixed.

図2に記載の例では、キャン100の内部に、キャンの内部を上部空間と下部空間とに仕切る仕切り部材130が配置されている。そして、仕切り部材130によって形成された上部空間、すなわち、仕切り部材130とキャン100の端壁102(上壁)との間の空間に、永久磁石部材70が配置されている。このため、永久磁石部材70に欠け等が生じた場合であっても、磁粉等が、下部空間内に入り込むおそれがない。なお、仕切り部材130は、キャン100に対して、回転シャフト50を回転自在に支持する軸受部材であってもよい。仕切り部材130が軸受部材である場合には、仕切り部材130は、永久磁石部材70が配置される上部空間と、ロータ部材64等が配置される下部空間との間を仕切る仕切りとしての機能と、軸受としての機能の両方の機能を備えることとなる。なお、仕切り部材130の形状は、例えば、円板形状である。 In the example shown in FIG. 2, a partition member 130 is arranged inside the can 100 to divide the inside of the can into an upper space and a lower space. A permanent magnet member 70 is arranged in the upper space formed by the partition member 130 , that is, the space between the partition member 130 and the end wall 102 (upper wall) of the can 100 . Therefore, even if the permanent magnet member 70 is chipped or the like, there is no possibility that magnetic particles or the like will enter the lower space. The partition member 130 may be a bearing member that rotatably supports the rotary shaft 50 with respect to the can 100 . When the partition member 130 is a bearing member, the partition member 130 functions as a partition that separates an upper space in which the permanent magnet member 70 is arranged and a lower space in which the rotor member 64 and the like are arranged; It has both functions as a bearing. In addition, the shape of the partition member 130 is, for example, a disc shape.

仕切り部材130の材質について説明する。本実施形態の仕切り部材130は、例えば、樹脂製(例えばPPS:ポリフェニレンサルファイド樹脂)である。代替的に、仕切り部材130を、軟磁性材料で形成してもよい。軟磁性材料としては、鉄、ケイ素鋼、又は磁性を有する樹脂等が例示される。キャンの内部を上部空間と下部空間とに仕切る部材を軟磁性材料で構成することで永久磁石部材70の磁気と、他の磁気(例えば、ロータ部材64の磁気)との干渉を防ぐことができる。具体的には、永久磁石部材70は周方向に2極に着磁されており、ロータ部材64は周方向に4極以上(例えば8極)の磁極が交互に入れ替わるように着磁されている。そのため、永久磁石部材70の磁気とロータ部材64の磁気の干渉を防ぐことで、角度センサ80で測定される角度のずれやロータ部材64の回転の僅かなトルク変動を防止できる。もちろん、後述する第3の実施形態の仕切り部材130を軟磁性材料で形成してもよい。 The material of the partition member 130 will be described. The partition member 130 of the present embodiment is, for example, made of resin (for example, PPS: polyphenylene sulfide resin). Alternatively, partition member 130 may be formed of a soft magnetic material. Examples of soft magnetic materials include iron, silicon steel, and magnetic resins. Interference between the magnetism of the permanent magnet member 70 and other magnetism (for example, the magnetism of the rotor member 64) can be prevented by forming the member that divides the interior of the can into an upper space and a lower space from a soft magnetic material. . Specifically, the permanent magnet member 70 is magnetized to have two poles in the circumferential direction, and the rotor member 64 is magnetized so that four or more (e.g., eight) magnetic poles alternate in the circumferential direction. . Therefore, by preventing the magnetism of the permanent magnet member 70 and the magnetism of the rotor member 64 from interfering with each other, deviation of the angle measured by the angle sensor 80 and slight torque fluctuation of the rotation of the rotor member 64 can be prevented. Of course, the partition member 130 of the third embodiment, which will be described later, may be made of a soft magnetic material.

(動力伝達機構)
図3を参照して、動力源60から、弁体10に動力を伝達する機構の一例について、詳細に説明する。図3は、第2の実施形態における電動弁Bの一部の概略拡大断面図である。
(power transmission mechanism)
An example of a mechanism for transmitting power from the power source 60 to the valve body 10 will be described in detail with reference to FIG. FIG. 3 is a schematic enlarged cross-sectional view of part of the motor-operated valve B in the second embodiment.

図3に記載の例では、動力源60の一部を構成するステータ部材62は、キャン100の側壁104に固着されている。ステータ部材62は、ボビン622と、ボビンに巻き付けられたコイル620とを備える。 In the example shown in FIG. 3, the stator member 62 forming part of the power source 60 is fixed to the side wall 104 of the can 100. As shown in FIG. Stator member 62 includes a bobbin 622 and a coil 620 wound on the bobbin.

図3に記載の例では、動力源60の一部を構成するロータ部材64は、キャン100の側壁104の内側に、キャン100に対して回転自在に配置されている。ロータ部材64は、磁性材料によって形成される。ロータ部材64は、動力伝達機構120、例えば、太陽ギヤ部材121に連結される(固着される)。 In the example shown in FIG. 3, the rotor member 64 forming part of the power source 60 is arranged inside the side wall 104 of the can 100 so as to be rotatable with respect to the can 100 . The rotor member 64 is made of a magnetic material. The rotor member 64 is coupled (fixedly attached) to a power transmission mechanism 120 , eg, a sun gear member 121 .

太陽ギヤ部材121は、ロータ部材64に連結される連結部1211と、太陽ギヤ1212とを備える。連結部1211は、径方向(第1軸Zと垂直な方向)に沿って延びており、太陽ギヤ1212は、第1軸Zに沿って延びている。太陽ギヤ1212の軸孔には、回転シャフト50が、太陽ギヤの内壁に対して相対回転自在に配置されている。 The sun gear member 121 includes a connecting portion 1211 connected to the rotor member 64 and a sun gear 1212 . The connecting portion 1211 extends along the radial direction (perpendicular to the first Z axis), and the sun gear 1212 extends along the first Z axis. A rotary shaft 50 is arranged in the shaft hole of the sun gear 1212 so as to be relatively rotatable with respect to the inner wall of the sun gear.

太陽ギヤ1212の外歯は、複数の遊星ギヤ122と噛み合う。各遊星ギヤ122は、キャリア123によって支持されたシャフト124に回転自在に支持されている。各遊星ギヤ122の外歯は、環状のリングギヤ125(内歯固定ギヤ)と噛み合う。 The external teeth of the sun gear 1212 mesh with the planetary gears 122 . Each planetary gear 122 is rotatably supported on a shaft 124 supported by a carrier 123 . The external teeth of each planetary gear 122 mesh with an annular ring gear 125 (internal fixed gear).

リングギヤ125は、キャン100に対して相対回転不能な部材である。図3に記載の例では、リングギヤ125は、円筒状の支持部材126を介して後述のホルダ150に支持されている。 The ring gear 125 is a member that cannot rotate relative to the can 100 . In the example shown in FIG. 3, the ring gear 125 is supported by a holder 150, which will be described later, via a cylindrical support member 126. As shown in FIG.

また、遊星ギヤ122は、環状の第2リングギヤ127(内歯可動ギヤ)とも噛み合っている。図3に記載の例では、第2リングギヤ127が回転シャフト50に固着される出力ギヤとして機能している。代替的に、第2リングギヤ127とは異なる出力ギヤを回転シャフト50に固着し、第2リングギヤ127からの動力を、出力ギヤを介して、回転シャフト50に伝達してもよい。なお、出力ギヤに対する回転シャフト50の固着は、出力ギヤに対して回転シャフト50を圧入することにより行われてもよい。 The planetary gear 122 also meshes with an annular second ring gear 127 (internal movable gear). In the example shown in FIG. 3 , the second ring gear 127 functions as an output gear fixed to the rotating shaft 50 . Alternatively, an output gear different from the second ring gear 127 may be fixed to the rotating shaft 50, and power from the second ring gear 127 may be transmitted to the rotating shaft 50 via the output gear. Note that the fixation of the rotating shaft 50 to the output gear may be performed by press-fitting the rotating shaft 50 to the output gear.

上述の歯車構成(太陽ギヤ、遊星ギヤ、内歯固定ギヤ、および、内歯可動ギヤ)は、いわゆる不思議遊星歯車機構を構成している。不思議遊星歯車機構を用いた減速装置においては、第2リングギヤ127の歯数を、リングギヤ125の歯数とわずかに異なる歯数とすることにより、太陽ギヤ1212の回転数を大きな減速比で減速して、第2リングギヤ127に伝達することができる。 The gear configuration described above (sun gear, planetary gear, internal fixed gear, and internal movable gear) constitutes a so-called paradox planetary gear mechanism. In a reduction gear using a paradox planetary gear mechanism, the number of teeth of the second ring gear 127 is slightly different from the number of teeth of the ring gear 125, thereby reducing the rotation speed of the sun gear 1212 with a large reduction ratio. can be transmitted to the second ring gear 127 .

なお、図3に記載の例では、動力伝達機構120として、不思議遊星歯車機構が採用されている。しかし、実施形態では、ロータ部材64と回転シャフト50との間の動力伝達機構として、任意の動力伝達機構を採用することが可能である。動力伝達機構120として、不思議遊星歯車機構以外の遊星歯車機構が採用されてもよい。 In addition, in the example shown in FIG. 3, a paradox planetary gear mechanism is employed as the power transmission mechanism 120 . However, in embodiments, any power transmission mechanism can be employed as the power transmission mechanism between the rotor member 64 and the rotating shaft 50 . A planetary gear mechanism other than the paradox planetary gear mechanism may be employed as the power transmission mechanism 120 .

図3に示されるように、回転シャフト50は、第1端部54と第2端部52とを備える。図3に記載の例では、回転シャフト50は、第1端部54を含む回転シャフト本体と、第2端部52を含むシャフト側係合部材とを備える。そして、回転シャフト本体とシャフト側係合部材とは、例えば溶接等によって固着されている。シャフト側係合部材は、ドライバ30の上端部34によって構成されたドライバ側係合部材に対して、相対回転不能、かつ、第1軸Z方向に沿って相対移動自在に係合している。 As shown in FIG. 3, rotatable shaft 50 includes a first end 54 and a second end 52 . In the example illustrated in FIG. 3 , the rotating shaft 50 includes a rotating shaft body including a first end 54 and a shaft-side engaging member including a second end 52 . The rotating shaft main body and the shaft-side engaging member are fixed by welding or the like, for example. The shaft-side engaging member engages with the driver-side engaging member formed by the upper end portion 34 of the driver 30 so as to be relatively non-rotatable and relatively movable along the first axis Z direction.

ドライバ30の外周面には雄ねじ31が設けられている。雄ねじ31は、ドライバを案内する案内部材40に設けられた雌ねじ41に螺合している。このため、回転シャフト50およびドライバ30が第1軸Zまわりに回転すると、ドライバ30は、案内部材40によって案内されつつ上下動する。これに対して、回転シャフト50は、太陽ギヤ1212あるいは案内部材40等のシャフト受け部材によって回転自在に支持され、かつ、第1軸Z方向には移動不能である。 A male screw 31 is provided on the outer peripheral surface of the driver 30 . The male thread 31 is screwed into a female thread 41 provided in a guide member 40 that guides the driver. Therefore, when the rotary shaft 50 and the driver 30 rotate around the first axis Z, the driver 30 moves up and down while being guided by the guide member 40 . On the other hand, the rotary shaft 50 is rotatably supported by the sun gear 1212 or a shaft receiving member such as the guide member 40, and is immovable in the first axis Z direction.

なお、図3に記載の例において、ドライバ30を案内する案内部材40は、後述のホルダ150によって支持されている。 In addition, in the example shown in FIG. 3, the guide member 40 that guides the driver 30 is supported by a holder 150 which will be described later.

ドライバ30の下端部32は、弁体10の上端部12と、ボール160等を介して回転可能に接続されている。図3に記載の例では、ドライバ30が第1軸Zまわりに回転しながら下方に移動すると、弁体10は、第1軸Zまわりに回転することなく下方に移動する。また、ドライバ30が第1軸Zまわりに回転しながら上方に移動すると、弁体10は、第1軸Zまわりに回転することなく上方に移動する。 The lower end portion 32 of the driver 30 is rotatably connected to the upper end portion 12 of the valve body 10 via a ball 160 or the like. In the example shown in FIG. 3, when the driver 30 moves downward while rotating around the first axis Z, the valve body 10 moves downward without rotating around the first axis Z. As shown in FIG. Further, when the driver 30 moves upward while rotating around the first Z-axis, the valve body 10 moves upward without rotating around the first Z-axis.

弁体10の下方への移動は、弁体10がドライバ30に押されることにより行われる。また、弁体10の上方への移動は、ドライバ30が上方に移動している状態で、弁体10が、コイルばね等のばね部材170によって上方に押されることにより行われる。すなわち、図3に記載の例では、ばね受け部材172と弁体10との間に配置されたばね部材170によって、弁体10が、常時、上方に付勢されている。代替的に、あるいは、付加的に、弁体10と、ドライバ30とが、第1軸Zに沿う方向に相対移動不能となるように、ボールジョイント等の回転継手によって連結されていてもよい。この場合、ばね部材170が省略されてもよい。 The downward movement of the valve body 10 is performed by the valve body 10 being pushed by the driver 30 . The upward movement of the valve body 10 is performed by pushing the valve body 10 upward by a spring member 170 such as a coil spring while the driver 30 is moving upward. That is, in the example shown in FIG. 3, the valve body 10 is always urged upward by the spring member 170 arranged between the spring receiving member 172 and the valve body 10 . Alternatively or additionally, the valve body 10 and the driver 30 may be connected by a rotary joint such as a ball joint so that they cannot move relative to each other in the direction along the first axis Z. In this case, the spring member 170 may be omitted.

以上の構成により、動力源60からの動力を用いて、弁体10を駆動させることが可能である。弁体10の第1軸Zに沿う方向の移動量は、回転シャフト50および永久磁石72の回転量に比例する。このため、第2の実施形態では、永久磁石72の第1軸Zまわりの回転角度を角度センサ80によって測定することにより、弁体10の第1軸Zに沿う方向の位置を正確に求めることが可能である。なお、電動弁Bは、角度センサ80が出力する角度データを、弁体10の第1軸Zに沿う方向の位置データ、すなわち、弁の開度データに変換する演算装置を備えていてもよい。 With the configuration described above, the power from the power source 60 can be used to drive the valve body 10 . The amount of movement of the valve body 10 in the direction along the first axis Z is proportional to the amount of rotation of the rotating shaft 50 and the permanent magnet 72 . Therefore, in the second embodiment, by measuring the rotation angle of the permanent magnet 72 about the first axis Z with the angle sensor 80, the position of the valve body 10 in the direction along the first axis Z can be obtained accurately. is possible. The motor-operated valve B may include an arithmetic device that converts the angle data output by the angle sensor 80 into positional data of the valve body 10 in the direction along the first axis Z, that is, valve opening data. .

第2の実施形態では、回転シャフト50および永久磁石72が、角度センサ80に対して上下動しない。換言すれば、電動弁Bの作動時に、永久磁石72と角度センサ80との間の距離が一定距離に維持される。このため、第2の実施形態では、角度センサ80を用いて、永久磁石72の回転角度、および、弁体10の第1軸Zに沿う方向の位置を正確に算出することが可能である。 In the second embodiment, rotating shaft 50 and permanent magnet 72 do not move up and down with respect to angle sensor 80 . In other words, the distance between the permanent magnet 72 and the angle sensor 80 is maintained at a constant distance when the electric valve B is actuated. Therefore, in the second embodiment, it is possible to accurately calculate the rotation angle of the permanent magnet 72 and the position of the valve body 10 along the first axis Z using the angle sensor 80 .

なお、図3に記載の例において、ホルダ150は、下側ベース部材2の凹部内に配置されている。また、ホルダ150と下側ベース部材2との間には、Oリング等の第1シール部材152が配置されている。また、ホルダ150は、弁体10の上端部12が移動可能な内部空間を規定している。よって、ホルダ150は、ステータ部材62等が配置される空間内に液体が浸入することを防止するシール機能に加えて、弁体10の上端部12を収容する機能を有する。 Note that in the example shown in FIG. 3 , the holder 150 is arranged inside the recess of the lower base member 2 . A first sealing member 152 such as an O-ring is arranged between the holder 150 and the lower base member 2 . Further, the holder 150 defines an internal space in which the upper end portion 12 of the valve body 10 can move. Therefore, the holder 150 has a function of accommodating the upper end portion 12 of the valve body 10 in addition to a sealing function of preventing liquid from entering the space where the stator member 62 and the like are arranged.

また、ホルダ150は、上述のように、円筒状の支持部材126、および、案内部材40のうちの少なくとも一方を支持する機能を有していてもよい。 The holder 150 may also have the function of supporting at least one of the cylindrical support member 126 and the guide member 40 as described above.

さらに、図3に記載の例では、ホルダ150が、ハウジング部材4の側壁部に接するように配置されている。そして、ホルダ150とハウジング部材4の側壁部との間には、Oリング等の第2シール部材154が配置されている。このため、ホルダ150は、ステータ部材62等が配置される空間内に液体が浸入することを、更に、防止することが可能である。 Furthermore, in the example shown in FIG. 3, the holder 150 is arranged so as to contact the side wall of the housing member 4 . A second sealing member 154 such as an O-ring is arranged between the holder 150 and the side wall of the housing member 4 . Therefore, the holder 150 can further prevent liquid from entering the space where the stator member 62 and the like are arranged.

なお、第2の実施形態における電動弁Bの各構成は、図1に記載の第1の実施形態における電動弁Aにおいて採用されてもよい。 Each configuration of the motor-operated valve B in the second embodiment may be employed in the motor-operated valve A in the first embodiment shown in FIG.

(第3の実施形態)
図5乃至図8を参照して、第3の実施形態における電動弁Cについて説明する。図5は、第3の実施形態における電動弁Bの一部の概略拡大断面図である。図6は、図5におけるA-A矢視断面図である。図7は、図5の一部分を更に拡大した図である。図8は、図5におけるB-B矢視断面図である。
(Third Embodiment)
A motor operated valve C according to a third embodiment will be described with reference to FIGS. 5 to 8. FIG. FIG. 5 is a schematic enlarged cross-sectional view of part of the motor-operated valve B in the third embodiment. 6 is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 5. FIG. FIG. 7 is a further enlarged view of a portion of FIG. 8 is a cross-sectional view taken along the line BB in FIG. 5. FIG.

第3の実施形態における電動弁Cは、回転シャフト50aの構成、および、永久磁石部材70の支持機構が、第1、2の実施形態における回転シャフトの構成、および、永久磁石部材の支持機構と異なる。このため、第3の実施形態では、回転シャフト50aの構成、および、永久磁石部材70の支持機構を中心に説明し、その他の構成についての繰り返しとなる説明は省略する。 In the electric valve C of the third embodiment, the configuration of the rotating shaft 50a and the support mechanism of the permanent magnet member 70 are the same as the configuration of the rotation shaft and the support mechanism of the permanent magnet member in the first and second embodiments. different. Therefore, in the third embodiment, the configuration of the rotating shaft 50a and the support mechanism of the permanent magnet member 70 will be mainly described, and repeated descriptions of other configurations will be omitted.

第2の実施形態では、回転シャフト50は、キャン100に対して、上下動しない部材であるのに対し、第3の実施形態では、回転シャフト50aは、キャン100および永久磁石部材70に対して、上下動する部材である。なお、第3の実施形態では、第2の実施形態と同様に、永久磁石部材70は、キャン100に対して、上下動しない部材である。 In the second embodiment, the rotary shaft 50 is a member that does not move up and down with respect to the can 100, whereas in the third embodiment, the rotary shaft 50a is arranged relative to the can 100 and the permanent magnet member 70. , which are members that move up and down. Note that, in the third embodiment, the permanent magnet member 70 is a member that does not move up and down with respect to the can 100, as in the second embodiment.

図6を参照して、回転シャフト50aを、永久磁石部材70に対して、相対移動可能にするための機構の一例について説明する。図6に示されるように、永久磁石部材70は、回転シャフト50aの第1係合部53に係合する第2係合部73を有する。第1係合部53と第2係合部73とは、回転シャフト50aが第1軸Zまわりに回転する時に、互いに係合する(互いに接触する)。他方、第1係合部53と第2係合部73とは、第1軸Zに沿う方向には互いに係合しない。このため、回転シャフト50aは、永久磁石部材70に対して相対回転不能、かつ、永久磁石部材70に対して上下動可能である。 An example of a mechanism for making the rotating shaft 50a relatively movable with respect to the permanent magnet member 70 will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 6, the permanent magnet member 70 has a second engaging portion 73 that engages the first engaging portion 53 of the rotating shaft 50a. The first engaging portion 53 and the second engaging portion 73 engage with each other (contact each other) when the rotating shaft 50a rotates around the first axis Z. As shown in FIG. On the other hand, the first engaging portion 53 and the second engaging portion 73 do not engage with each other in the direction along the first axis Z. As shown in FIG. Therefore, the rotary shaft 50 a is not rotatable relative to the permanent magnet member 70 and is vertically movable with respect to the permanent magnet member 70 .

図6に示されるように、永久磁石部材70は、貫通穴または非貫通穴である穴部76を備えていてもよい。穴部76の第1軸Zに垂直な断面形状は、非円形形状(例えば、D字形状)である。回転シャフト50aのうち、穴部76内に進入する部分の断面形状は、穴部76の内面を規定する壁面に相補的な形状であり、非円形形状(例えば、D字形状)である。 As shown in FIG. 6, the permanent magnet member 70 may have holes 76 which may be through holes or non-through holes. A cross-sectional shape of the hole portion 76 perpendicular to the first axis Z is a non-circular shape (for example, a D shape). The cross-sectional shape of the portion of the rotary shaft 50a that enters the hole 76 is complementary to the wall surface that defines the inner surface of the hole 76, and is non-circular (for example, D-shaped).

図6に記載の例では、永久磁石部材70は、永久磁石72と、永久磁石72に固着されたカラー部材74とを備える。カラー部材74は、永久磁石72の内側(径内方向側)に配置されている。そして、カラー部材74に上述の第2係合部73が設けられている。 In the example shown in FIG. 6, permanent magnet member 70 comprises a permanent magnet 72 and a collar member 74 secured to permanent magnet 72 . The collar member 74 is arranged inside (diametrically inward direction side) of the permanent magnet 72 . The collar member 74 is provided with the above-described second engaging portion 73 .

図6に記載の例では、回転シャフト50aに接触するのは、永久磁石72ではなく、カラー部材74である。よって、回転シャフト50aと永久磁石72とが接触することにより永久磁石72が摩耗することがない。なお、カラー部材74の材質は、例えば、SUS304である。 In the example shown in FIG. 6, it is the collar member 74, rather than the permanent magnet 72, that contacts the rotating shaft 50a. Therefore, the permanent magnets 72 do not wear due to contact between the rotary shaft 50a and the permanent magnets 72. FIG. The material of the collar member 74 is, for example, SUS304.

次に、図7を参照して、永久磁石72と角度センサ80との間の距離を一定に維持する永久磁石位置決め部材180について説明する。永久磁石位置決め部材180は、ケースであるキャン100の内部に配置されている。図7に記載の例では、永久磁石位置決め部材180は、軸受部材として機能するボール184と、板ばね182とを含む。換言すれば、永久磁石位置決め部材180は、永久磁石部材70を挟むように配置されたボール184と板ばね182である。 Next, the permanent magnet positioning member 180 that keeps the distance between the permanent magnet 72 and the angle sensor 80 constant will be described with reference to FIG. The permanent magnet positioning member 180 is arranged inside the can 100 which is a case. In the example shown in FIG. 7, the permanent magnet positioning member 180 includes a ball 184 that functions as a bearing member and a leaf spring 182 . In other words, the permanent magnet positioning member 180 is a ball 184 and a leaf spring 182 arranged to sandwich the permanent magnet member 70 .

ボール184は、キャン100の端壁102と永久磁石部材70との間に配置される。ボール184は、永久磁石部材70に対する軸受として機能するとともに、永久磁石部材70の上下方向位置を規定する位置決め部材として機能する。 Ball 184 is positioned between end wall 102 of can 100 and permanent magnet member 70 . The ball 184 functions as a bearing for the permanent magnet member 70 and as a positioning member that defines the vertical position of the permanent magnet member 70 .

図7に記載の例では、板ばね182は、仕切り部材130(軸受部材)と、永久磁石部材70との間に配置されている。板ばね182は、永久磁石部材70を、キャン100の端壁102に向けて付勢する。なお、電動弁Cの組み立て誤差を吸収するために、仕切り部材130(軸受部材)を、キャン100に対して、微小距離だけ上下動可能に配置する場合がある。仕切り部材がキャン100に対して上下動可能な場合であっても、板ばね182が永久磁石部材70を端壁102に対して付勢するため、永久磁石部材70の上下方向位置が好適に維持される。 In the example illustrated in FIG. 7 , the leaf spring 182 is arranged between the partition member 130 (bearing member) and the permanent magnet member 70 . Leaf spring 182 biases permanent magnet member 70 toward end wall 102 of can 100 . In order to absorb the assembly error of the electric valve C, the partition member 130 (bearing member) may be arranged so as to be vertically movable by a very small distance with respect to the can 100 . Even when the partition member is vertically movable with respect to the can 100, the leaf spring 182 biases the permanent magnet member 70 against the end wall 102, so that the vertical position of the permanent magnet member 70 is preferably maintained. be done.

なお、ボール184とは異なる任意の軸受部材を、キャン100の端壁102と永久磁石部材70との間に配置してもよい。また、板ばね182に代えて、任意の軸受部材を仕切り部材130と永久磁石部材70との間に配置してもよい。この場合であっても、任意の軸受部材により、永久磁石72と角度センサ80との間の距離が一定に維持される。 Any bearing member other than balls 184 may be disposed between end wall 102 of can 100 and permanent magnet member 70 . Also, any bearing member may be arranged between the partition member 130 and the permanent magnet member 70 instead of the plate spring 182 . Even in this case, the distance between the permanent magnet 72 and the angle sensor 80 is kept constant by the optional bearing member.

図5乃至図7に記載の例では、回転シャフト50a自体が上下動可能である。このため、回転シャフト50a自体を、ドライバ30として利用することが可能である。すなわち、回転シャフト50aが、永久磁石部材70を回転させる機能と、弁体10を弁座20に向けて移動させるドライバとしての機能の両方を備える。 In the examples shown in FIGS. 5 to 7, the rotating shaft 50a itself can move up and down. Therefore, it is possible to use the rotating shaft 50 a itself as the driver 30 . That is, the rotating shaft 50 a has both a function of rotating the permanent magnet member 70 and a function of a driver for moving the valve element 10 toward the valve seat 20 .

第1、2の実施形態では、出力ギヤに、回転シャフト50が固着される例が説明された。これに対し、第3の実施形態では、出力ギヤ129と回転シャフト50aとは、互いに固着されていない。代わりに、出力ギヤ129と回転シャフト50aとは、第1軸Zまわりに互いに相対回転不能に係合する。 In the first and second embodiments, the example in which the rotating shaft 50 is fixed to the output gear has been described. In contrast, in the third embodiment, the output gear 129 and the rotating shaft 50a are not fixed to each other. Instead, the output gear 129 and the rotary shaft 50a engage with each other around the first axis Z so as not to rotate relative to each other.

図8を参照して、出力ギヤ129と回転シャフト50aとを相対回転不能に係合させる係合機構の一例について説明する。図8は、図5におけるB-B矢視断面図である。 An example of an engagement mechanism that engages the output gear 129 and the rotary shaft 50a so that they cannot rotate relative to each other will be described with reference to FIG. 8 is a cross-sectional view taken along the line BB in FIG. 5. FIG.

図8に示されるように、出力ギヤ129は、回転シャフト50aの第3係合部55に係合する第4係合部1290を有する。第3係合部55と第4係合部1290とは、回転シャフト50aが第1軸Zまわりに回転する時に、互いに係合する(互いに接触する)。他方、第3係合部55と第4係合部1290とは、第1軸Zに沿う方向には互いに係合しない。このため、回転シャフト50aは、出力ギヤ129に対して相対回転不能、かつ、出力ギヤ129に対して上下動可能である。 As shown in FIG. 8, the output gear 129 has a fourth engagement portion 1290 that engages with the third engagement portion 55 of the rotary shaft 50a. The third engaging portion 55 and the fourth engaging portion 1290 engage with each other (contact each other) when the rotating shaft 50a rotates around the first axis Z. As shown in FIG. On the other hand, the third engaging portion 55 and the fourth engaging portion 1290 do not engage with each other in the direction along the first axis Z. Therefore, the rotating shaft 50 a is not rotatable relative to the output gear 129 and is vertically movable with respect to the output gear 129 .

図8に示されるように、出力ギヤ129は、穴部またはスリット等の回転シャフト受容部1291を備えている。回転シャフト受容部1291の断面形状は、非円形形状(例えば、長方形形状)である。回転シャフト50aのうち、回転シャフト受容部1291内に進入する部分の断面形状は、回転シャフト受容部1291の内面を規定する壁面に相補的な形状であり、非円形形状(例えば、長方形形状)である。 As shown in FIG. 8, the output gear 129 includes a rotating shaft receiving portion 1291, such as a hole or slit. The cross-sectional shape of the rotating shaft receiving portion 1291 is non-circular (for example, rectangular). The cross-sectional shape of the portion of the rotating shaft 50a that enters the rotating shaft receiving portion 1291 is a shape complementary to the wall surface that defines the inner surface of the rotating shaft receiving portion 1291, and is a non-circular shape (for example, a rectangular shape). be.

図7に示されるように、出力ギヤ129は、案内部材40等の支持部材によって、第1軸Zまわりに回転可能に支持される。 As shown in FIG. 7, the output gear 129 is rotatably supported around the first axis Z by a support member such as a guide member 40. As shown in FIG.

第3の実施形態において、動力源60からの動力により出力ギヤ129が回転する。なお、動力源60から出力ギヤ129までの動力伝達機構としては、第2の実施形態において説明された遊星ギヤ機構等の動力伝達機構が採用されてもよい。 In the third embodiment, power from the power source 60 rotates the output gear 129 . As a power transmission mechanism from the power source 60 to the output gear 129, a power transmission mechanism such as the planetary gear mechanism described in the second embodiment may be employed.

出力ギヤ129が回転すると、回転シャフト50aが回転する。第3の実施形態では、回転シャフト50aとドライバ30とが一体に形成された一つの部材であるか、あるいは、互いに固着されて一体化された部材である。また、ドライバ30の外周面には雄ねじ31が設けられており、雄ねじ31は、ドライバを案内する案内部材40に設けられた雌ねじ41に螺合している。 When the output gear 129 rotates, the rotary shaft 50a rotates. In the third embodiment, the rotating shaft 50a and the driver 30 are one integrally formed member, or are integrally fixed members. A male thread 31 is provided on the outer peripheral surface of the driver 30, and the male thread 31 is screwed into a female thread 41 provided on a guide member 40 for guiding the driver.

このため、回転シャフト50aが回転すると、回転シャフト50a(ドライバを含む回転シャフト50a)は、第1軸Zに沿って移動する。回転シャフト50aと弁体10とは、機械的に接続されている。このため、回転シャフト50aが第1軸Zに沿って移動すると、弁体10も第1軸Zに沿って移動する。 Therefore, the rotating shaft 50a (the rotating shaft 50a including the driver) moves along the first axis Z when the rotating shaft 50a rotates. The rotary shaft 50a and the valve body 10 are mechanically connected. Therefore, when the rotating shaft 50a moves along the first axis Z, the valve body 10 also moves along the first axis Z. As shown in FIG.

以上の構成により、動力源60からの動力を用いて、弁体10を駆動させることが可能である。弁体10の第1軸Zに沿う方向の移動量は、回転シャフト50aおよび永久磁石72の回転量に比例する。このため、第3の実施形態では、永久磁石72の第1軸Zまわりの回転角度を角度センサ80によって測定することにより、弁体10の第1軸Zに沿う方向の位置を正確に求めることが可能である。なお、電動弁Cは、角度センサ80が出力する角度データを、弁体10の第1軸Zに沿う方向の位置データ、すなわち、弁の開度データに変換する演算装置を備えていてもよい。 With the configuration described above, the power from the power source 60 can be used to drive the valve body 10 . The amount of movement of the valve body 10 in the direction along the first axis Z is proportional to the amount of rotation of the rotating shaft 50 a and the permanent magnet 72 . Therefore, in the third embodiment, by measuring the rotation angle of the permanent magnet 72 about the first axis Z with the angle sensor 80, the position of the valve body 10 in the direction along the first axis Z can be obtained accurately. is possible. The motor-operated valve C may include an arithmetic device that converts the angle data output by the angle sensor 80 into position data of the valve body 10 in the direction along the first axis Z, that is, valve opening data. .

第3の実施形態では、回転シャフト50aに、永久磁石部材70を固着する必要がない。また、回転シャフト50aを出力ギヤに固着させる必要がない。このため、電動弁Cの組立を効率的に行うことが可能である。 In the third embodiment, it is not necessary to fix the permanent magnet member 70 to the rotating shaft 50a. Also, there is no need to fix the rotary shaft 50a to the output gear. Therefore, the motor-operated valve C can be assembled efficiently.

(角度センサの一例)
図9乃至図12を参照して、各実施形態における角度センサ80の一例について説明する。図9乃至図12は、永久磁石72と角度センサ80との配置関係を模式的に示す図であり、上側には底面図が記載され、下側には一部切り欠き斜視図が記載されている。
(An example of an angle sensor)
An example of the angle sensor 80 in each embodiment will be described with reference to FIGS. 9 to 12 . 9 to 12 are diagrams schematically showing the arrangement relationship between the permanent magnet 72 and the angle sensor 80, with a bottom view shown on the upper side and a partially cutaway perspective view shown on the lower side. there is

図9に示されるように、永久磁石72は、上面視で、N極およびS極を備えている。図9に記載の例では、上面視で、永久磁石72のN極の数は1個であり、永久磁石72のS極の数は1個である。代替的に、上面視で、永久磁石のN極の数、永久磁石のS極の数が、それぞれ、2個以上であってもよい。図9に記載の例では、永久磁石72は、N極とS極との境界面78を備え、当該境界面78は、回転シャフト(50;50a)の中心軸に一致する第1軸Zをとおり第1軸Zに垂直な面である。そして、境界面78の一方側にN極が配置され、境界面78の他方側にS極が配置されている。なお、永久磁石72は、例えば、円板形状を有するマグネットである。また、永久磁石72は、磁粉と樹脂バインダとを混合して成型することにより得られるプラスチックマグネットであってもよい。 As shown in FIG. 9, the permanent magnet 72 has north and south poles when viewed from above. In the example shown in FIG. 9, the permanent magnet 72 has one N pole and one S pole when viewed from above. Alternatively, the number of N poles of the permanent magnets and the number of S poles of the permanent magnets may each be two or more when viewed from above. In the example shown in FIG. 9, the permanent magnet 72 comprises a north-south pole boundary surface 78 which defines a first axis Z which coincides with the central axis of the rotating shaft (50; 50a). is a plane perpendicular to the first axis Z as shown. An N pole is arranged on one side of the boundary surface 78 and an S pole is arranged on the other side of the boundary surface 78 . In addition, the permanent magnet 72 is, for example, a magnet having a disc shape. Alternatively, the permanent magnet 72 may be a plastic magnet obtained by molding a mixture of magnetic powder and a resin binder.

角度センサ80は、永久磁石72の上方に配置されている。図9に記載の例では、角度センサ80は、回転シャフト(50;50a)の延長線上、すなわち、第1軸Z上に位置している。角度センサ80は、少なくとも1つの磁気検出素子82(例えば、ホール素子、磁気抵抗素子等)を含み、より好ましくは、2個以上あるいは3個以上の磁気検出素子を含む。 Angle sensor 80 is arranged above permanent magnet 72 . In the example shown in FIG. 9, the angle sensor 80 is positioned on the extension line of the rotating shaft (50; 50a), ie, on the first axis Z. As shown in FIG. The angle sensor 80 includes at least one magnetic detection element 82 (eg, Hall element, magnetoresistive element, etc.), more preferably two or more or three or more magnetic detection elements.

図9に記載の例では、角度センサ80は、4個の磁気検出素子(82a乃至82d)を備える。磁気検出素子(82a乃至82d)は、磁束の第1軸Zに沿う方向の成分を検出する素子であってもよい。図9において、磁気検出素子82aおよび磁気検出素子82dが+Z方向の磁束成分を検出し、磁気検出素子82bおよび磁気検出素子82cが-Z方向の磁束成分を検出する。磁気検出素子82a(または磁気検出素子82b)によって検出される磁束の大きさと、磁気検出素子82d(または磁気検出素子82c)によって検出される磁束の大きさとが等しいとき、境界面78は、X軸に垂直である。このとき、角度センサ80は、永久磁石72の回転角度が、例えば、0度であると判断する。 In the example shown in FIG. 9, the angle sensor 80 comprises four magnetic sensing elements (82a-82d). The magnetic sensing elements (82a to 82d) may be elements that detect a component of the magnetic flux in the direction along the first Z axis. In FIG. 9, magnetic detection elements 82a and 82d detect magnetic flux components in the +Z direction, and magnetic detection elements 82b and 82c detect magnetic flux components in the -Z direction. When the magnitude of the magnetic flux detected by the magnetic detection element 82a (or the magnetic detection element 82b) is equal to the magnitude of the magnetic flux detected by the magnetic detection element 82d (or the magnetic detection element 82c), the boundary surface 78 is along the X axis. is perpendicular to At this time, the angle sensor 80 determines that the rotation angle of the permanent magnet 72 is, for example, 0 degrees.

図10に示されるように、永久磁石72がR方向に回転することを想定する。図10において、磁気検出素子82aおよび磁気検出素子82dが+Z方向の磁束成分を検出し、磁気検出素子82bおよび磁気検出素子82cが-Z方向の磁束成分を検出する。図9に記載の状態から図10に記載の状態に移行するにつれて、磁気検出素子82bおよび磁気検出素子82dによって検出される磁束の大きさは増加し、磁気検出素子82aおよび磁気検出素子82cによって検出される磁束の大きさは減少する。例えば、磁気検出素子82aによって検出される磁束の大きさと、磁気検出素子82dによって検出される磁束の大きさとの比、および、磁気検出素子82aによって検出される磁束の大きさと、磁気検出素子82bによって検出される磁束の大きさとの比に基づいて、角度センサ80は、磁力線のX軸に対する傾き、すなわち、永久磁石72の回転角度を求めることができる。 Assume that the permanent magnet 72 rotates in the R direction, as shown in FIG. In FIG. 10, magnetic detection elements 82a and 82d detect magnetic flux components in the +Z direction, and magnetic detection elements 82b and 82c detect magnetic flux components in the -Z direction. As the state shown in FIG. 9 shifts to the state shown in FIG. 10, the magnitude of the magnetic flux detected by the magnetic detection elements 82b and 82d increases, and is detected by the magnetic detection elements 82a and 82c. The magnitude of the applied magnetic flux is reduced. For example, the ratio between the magnitude of the magnetic flux detected by the magnetic detection element 82a and the magnitude of the magnetic flux detected by the magnetic detection element 82d, and the magnitude of the magnetic flux detected by the magnetic detection element 82a and the magnitude of the magnetic flux detected by the magnetic detection element 82b The angle sensor 80 can determine the inclination of the magnetic lines of force with respect to the X-axis, that is, the rotation angle of the permanent magnet 72, based on the ratio to the magnitude of the detected magnetic flux.

図11に示されるように、永久磁石72が更にR方向に回転することを想定する。図11において、磁気検出素子82dが+Z方向の磁束成分を検出し、磁気検出素子82bが-Z方向の磁束成分を検出する。図10に記載の状態から図11に記載の状態に移行するにつれて、磁気検出素子82bおよび磁気検出素子82dによって検出される磁束の大きさは減少する。また、磁気検出素子82aおよび磁気検出素子82cによって検出される磁束の大きさは減少する。例えば、磁気検出素子82aによって検出される磁束の大きさと、磁気検出素子82dによって検出される磁束の大きさとの比、および、磁気検出素子82aによって検出される磁束の大きさと、磁気検出素子82bによって検出される磁束の大きさとの比に基づいて、角度センサ80は、磁力線のX軸に対する傾き、すなわち、永久磁石72の回転角度を求めることができる。 Assume that the permanent magnet 72 rotates further in the R direction, as shown in FIG. In FIG. 11, the magnetic detection element 82d detects a magnetic flux component in the +Z direction, and the magnetic detection element 82b detects a magnetic flux component in the -Z direction. As the state shown in FIG. 10 shifts to the state shown in FIG. 11, the magnitude of the magnetic flux detected by the magnetic detection elements 82b and 82d decreases. Also, the magnitude of the magnetic flux detected by the magnetic detection elements 82a and 82c decreases. For example, the ratio between the magnitude of the magnetic flux detected by the magnetic detection element 82a and the magnitude of the magnetic flux detected by the magnetic detection element 82d, and the magnitude of the magnetic flux detected by the magnetic detection element 82a and the magnitude of the magnetic flux detected by the magnetic detection element 82b The angle sensor 80 can determine the inclination of the magnetic lines of force with respect to the X-axis, that is, the rotation angle of the permanent magnet 72, based on the ratio to the magnitude of the detected magnetic flux.

図12に示されるように、永久磁石72が更にR方向に回転することを想定する。図12において、磁気検出素子82cおよび磁気検出素子82dが+Z方向の磁束成分を検出し、磁気検出素子82aおよび磁気検出素子82bが-Z方向の磁束成分を検出する。図11に記載の状態から図12に記載の状態に移行するにつれて、磁気検出素子82aおよび磁気検出素子82cによって検出される磁束の大きさは増加し、磁気検出素子82bおよび磁気検出素子82dによって検出される磁束の大きさは減少する。例えば、磁気検出素子82aによって検出される磁束の大きさと、磁気検出素子82dによって検出される磁束の大きさとの比、および、磁気検出素子82aによって検出される磁束の大きさと、磁気検出素子82bによって検出される磁束の大きさとの比に基づいて、角度センサ80は、磁力線のX軸に対する傾き、すなわち、永久磁石72の回転角度を求めることができる。 Assume that the permanent magnet 72 rotates further in the R direction, as shown in FIG. In FIG. 12, magnetic detection elements 82c and 82d detect magnetic flux components in the +Z direction, and magnetic detection elements 82a and 82b detect magnetic flux components in the -Z direction. As the state shown in FIG. 11 shifts to the state shown in FIG. 12, the magnitude of the magnetic flux detected by the magnetic detection elements 82a and 82c increases and is detected by the magnetic detection elements 82b and 82d. The magnitude of the applied magnetic flux is reduced. For example, the ratio between the magnitude of the magnetic flux detected by the magnetic detection element 82a and the magnitude of the magnetic flux detected by the magnetic detection element 82d, and the magnitude of the magnetic flux detected by the magnetic detection element 82a and the magnitude of the magnetic flux detected by the magnetic detection element 82b The angle sensor 80 can determine the inclination of the magnetic lines of force with respect to the X-axis, that is, the rotation angle of the permanent magnet 72, based on the ratio to the magnitude of the detected magnetic flux.

図9乃至図12から把握されるように、角度センサ80は、永久磁石72のX軸に対する傾き、すなわち、永久磁石72の絶対的な回転角度を検出可能である。すなわち、永久磁石72が回転移動していない時でも、角度センサ80は、永久磁石72のX軸に対する傾き(すなわち、回転角度)を算出することができる。当該回転角度の算出は、例えば、少なくとも3つの磁気検出素子82を通過する磁束の向きと、少なくとも3つの磁気検出素子82を通過する磁束の大きさとに基づいて行われる。 9 to 12, the angle sensor 80 can detect the tilt of the permanent magnet 72 with respect to the X-axis, that is, the absolute rotation angle of the permanent magnet 72. FIG. That is, even when the permanent magnet 72 is not rotating, the angle sensor 80 can calculate the inclination (that is, the rotation angle) of the permanent magnet 72 with respect to the X-axis. The rotation angle is calculated, for example, based on the direction of the magnetic flux passing through the at least three magnetic detection elements 82 and the magnitude of the magnetic flux passing through the at least three magnetic detection elements 82 .

図9乃至図12に記載の例では、角度センサ80は、永久磁石72の絶対的な回転角度を検出可能である。このため、電動弁の電源がOFFになり、かつ、永久磁石72の回転角度情報が失われた場合であっても、再び電源がONになった時に、角度センサ80は、直ちに、永久磁石72の回転角度を求めること(出力すること)ができる。 9 to 12, the angle sensor 80 can detect the absolute rotation angle of the permanent magnet 72. In the example shown in FIGS. Therefore, even if the power of the motor-operated valve is turned off and the rotation angle information of the permanent magnet 72 is lost, the angle sensor 80 will immediately detect the permanent magnet 72 when the power is turned on again. It is possible to obtain (output) the rotation angle of .

図9乃至図12に記載の例では、各磁気検出素子が、第1軸(Z軸)に沿う方向の磁束成分を検出する例について説明された。代替的に、各磁気検出素子が、X軸に沿う方向の磁束成分、および/または、X軸およびZ軸の両者に垂直なY軸に沿う方向の磁束成分を検出するようにしてもよい。 In the examples shown in FIGS. 9 to 12, each magnetic detection element detects the magnetic flux component in the direction along the first axis (Z-axis). Alternatively, each magnetic sensing element may sense a magnetic flux component along the X-axis and/or a magnetic flux component along the Y-axis perpendicular to both the X- and Z-axes.

なお、図9乃至図12を参照しつつ説明された永久磁石72および角度センサ80の各々は、第1、2の実施形態における電動弁あるいは第3の実施形態における電動弁において採用可能である。 Each of the permanent magnet 72 and the angle sensor 80 described with reference to FIGS. 9 to 12 can be employed in the motor-operated valve in the first and second embodiments or the motor-operated valve in the third embodiment.

(電動弁の作動異常の有無を判定する演算装置)
図13を参照して、電動弁の作動異常の有無を判定する演算装置200について説明する。図13は、電動弁の作動異常の有無を判定する演算装置200の機能を模式的に示す機能ブロック図である。
(Arithmetic device for determining the presence or absence of malfunction of the motor-operated valve)
A computing device 200 for determining the presence or absence of malfunction of the motor-operated valve will be described with reference to FIG. 13 . FIG. 13 is a functional block diagram that schematically shows the functions of the arithmetic device 200 that determines the presence or absence of malfunction of the motor-operated valve.

電動弁は、演算装置200を含む。演算装置200は、例えば、ハードウェアプロセッサと記憶装置202と含み、出力装置220と情報伝達可能に接続されている。電動弁は、演算装置200(あるいは、演算装置および出力装置220)を含む電動弁システムであるということもできる。 The motor operated valve includes an arithmetic device 200 . Arithmetic device 200 includes, for example, a hardware processor and storage device 202 , and is communicatively connected to output device 220 . The motor-operated valve can also be said to be a motor-operated valve system including the computing device 200 (or the computing device and the output device 220).

電動弁B、C(電動弁システム)は、第2の実施形態または第3の実施形態において説明されたように、コイル620を含むステータ部材62と、ロータ部材64とを含む。ロータ部材64の回転角度、および、ロータ部材64の回転角度に比例する弁体10の位置(弁座20からの高さ)は、コイル620に入力される入力パルス数に比例する。このため、コイル620に入力される入力パルス数をモニタリングすることにより、弁体10の位置(弁座20からの高さ)を算出することが可能である。 Motorized valves B, C (motorized valve system) include a stator member 62 including coils 620 and a rotor member 64 as described in the second or third embodiment. The rotation angle of the rotor member 64 and the position of the valve body 10 (height from the valve seat 20 ) proportional to the rotation angle of the rotor member 64 are proportional to the number of input pulses input to the coil 620 . Therefore, by monitoring the number of input pulses input to the coil 620, it is possible to calculate the position of the valve element 10 (the height from the valve seat 20).

他方、弁体10の位置(弁座20からの高さ)は、永久磁石72の回転角度にも比例する。このため、永久磁石72の回転角度をモニタリングすることにより、弁体10の位置(弁座20からの高さ)を算出することが可能である。原理的には、コイル620への入力パルス数から算出される弁体10の位置と、永久磁石72の回転角度から算出される弁体10の位置とは一致する。そこで、演算装置200は、コイル620への入力パルス数から算出される弁体10の位置と、永久磁石72の回転角度から算出される弁体10の位置とが異なる時に、電動弁B、C(電動弁システム)に何らかの異常があると判定する。すなわち、電動弁B、C(電動弁システム)は、自身の異常の有無を検出する自己診断機能を備える。 On the other hand, the position of the valve body 10 (the height from the valve seat 20) is proportional to the rotation angle of the permanent magnet 72 as well. Therefore, by monitoring the rotation angle of the permanent magnet 72, it is possible to calculate the position of the valve element 10 (the height from the valve seat 20). In principle, the position of the valve body 10 calculated from the number of input pulses to the coil 620 and the position of the valve body 10 calculated from the rotation angle of the permanent magnet 72 match. Therefore, when the position of the valve body 10 calculated from the number of input pulses to the coil 620 is different from the position of the valve body 10 calculated from the rotation angle of the permanent magnet 72, the arithmetic unit 200 determines whether the motor-operated valves B, C It is determined that there is some abnormality in the (motorized valve system). That is, the motor-operated valves B and C (motor-operated valve system) have a self-diagnostic function for detecting the presence or absence of an abnormality in themselves.

なお、弁体10の位置と回転シャフト50(50a)の回転角度とは比例関係にあり、弁体10の位置と永久磁石72の回転角度とは比例関係にあり、弁体10の位置と出力ギヤの回転角度とは比例関係にある。このため、本明細書において、弁体10の位置を算出することと、回転シャフト50の回転角度を算出することとは等価であり、弁体10の位置を算出することと、永久磁石72の回転角度を算出することとは等価であり、弁体10の位置を算出することと、出力ギヤの回転角度を算出することとは等価である。 The position of the valve body 10 and the rotation angle of the rotary shaft 50 (50a) are in a proportional relationship, and the position of the valve body 10 and the rotation angle of the permanent magnet 72 are in a proportional relationship. It is proportional to the rotation angle of the gear. Therefore, in this specification, calculation of the position of the valve body 10 and calculation of the rotation angle of the rotary shaft 50 are equivalent, and calculation of the position of the valve body 10 and calculation of the permanent magnet 72 are equivalent. Calculating the rotation angle is equivalent, and calculating the position of the valve body 10 is equivalent to calculating the rotation angle of the output gear.

図13を参照して、演算装置200についてより具体的に説明する。演算装置200は、有線あるいは無線を介して、角度センサ80から永久磁石の回転角度データを受け取る。また、演算装置200は、有線あるいは無線を介して、上述の制御基板90等からコイル620への入力パルス数のデータを受け取る。演算装置200は、受け取った回転角度データおよび入力パルス数のデータを記憶装置202に記憶する。 The arithmetic device 200 will be described more specifically with reference to FIG. 13 . The computing device 200 receives the rotation angle data of the permanent magnet from the angle sensor 80 via wire or wireless. Further, the arithmetic device 200 receives data on the number of input pulses to the coil 620 from the above-described control board 90 or the like via wire or radio. Arithmetic device 200 stores the received rotation angle data and input pulse number data in storage device 202 .

演算装置200の記憶装置202には、永久磁石の回転角度データから弁体10の位置αを算出する第1の弁***置算出プログラムが記憶されている。なお、本明細書において、弁体10の位置αには、弁体10の位置自体の他に、回転シャフト50の回転角度、永久磁石の回転角度、あるいは、出力ギヤの回転角度のように弁体10の位置に比例する物理量が包含される。演算装置200は、第1の弁***置算出プログラムを実行することにより、永久磁石の回転角度データから弁体10の位置αを算出する。 The storage device 202 of the computing device 200 stores a first valve body position calculation program for calculating the position α of the valve body 10 from the rotation angle data of the permanent magnet. In this specification, the position .alpha. A physical quantity proportional to the position of the body 10 is included. The computing device 200 calculates the position α of the valve body 10 from the rotation angle data of the permanent magnet by executing the first valve body position calculation program.

また、演算装置200の記憶装置202には、入力パルス数のデータから弁体10の位置βを算出する第2の弁***置算出プログラムが記憶されている。なお、本明細書において、弁体10の位置βには、弁体10の位置自体の他に、回転シャフト50の回転角度、永久磁石の回転角度、あるいは、出力ギヤの回転角度のように弁体10の位置に比例する物理量が包含される。演算装置200は、第2の弁***置算出プログラムを実行することにより、コイル620への入力パルス数のデータから弁体10の位置βを算出する。 The storage device 202 of the computing device 200 also stores a second valve body position calculation program for calculating the position β of the valve body 10 from data on the number of input pulses. In this specification, the position β of the valve body 10 includes not only the position of the valve body 10 itself but also the rotation angle of the rotary shaft 50, the rotation angle of the permanent magnet, or the rotation angle of the output gear. A physical quantity proportional to the position of the body 10 is included. The computing device 200 calculates the position β of the valve body 10 from the data of the number of input pulses to the coil 620 by executing the second valve body position calculation program.

さらに、演算装置200の記憶装置202には、弁体の位置αと、弁体の位置βとを比較して、比較結果に基づき、電動弁(電動弁システム)の作動異常の有無を判定する判定プログラムが記憶されている。演算装置200は、判定プログラムを実行することにより、電動弁(電動弁システム)の作動異常の有無を判定する。例えば、演算装置200は、判定プログラムを実行することにより、弁体の位置αと弁体の位置βとの差が、予め設定された閾値以上であるか否かを判定する。そして、演算装置200は、判定プログラムを実行することにより、弁体の位置αと弁体の位置βとの差が、予め設定された閾値以上である時に、電動弁(電動弁システム)の作動異常があると判定してもよい。演算装置200は、判定プログラムを実行することにより、電動弁(電動弁システム)の作動異常があると判定した場合、作動異常を伝える信号をディスプレイ、警報装置等の出力装置220に送信してもよい。代替的に、あるいは、付加的に、演算装置200は、判定プログラムを実行することにより、電動弁(電動弁システム)の作動異常があると判定した場合、当該判定結果を、記憶装置202に記憶してもよい。この場合、電動弁(電動弁システム)の作動異常が、ログデータとして、記憶装置202に記憶されることとなる。 Furthermore, in the storage device 202 of the computing device 200, the valve body position α is compared with the valve body position β, and based on the comparison result, it is determined whether or not there is an operational abnormality in the motor-operated valve (motor-operated valve system). A determination program is stored. Arithmetic device 200 determines whether or not there is an operational abnormality in the motor-operated valve (motor-operated valve system) by executing a determination program. For example, the arithmetic device 200 determines whether or not the difference between the valve body position α and the valve body position β is equal to or greater than a preset threshold value by executing a determination program. By executing the determination program, the arithmetic device 200 operates the motor-operated valve (motor-operated valve system) when the difference between the valve body position α and the valve body position β is equal to or greater than a preset threshold value. It may be determined that there is an abnormality. When the arithmetic device 200 determines that there is an operational abnormality in the motor operated valve (motor operated valve system) by executing the determination program, the arithmetic device 200 may transmit a signal indicating the operation abnormality to the output device 220 such as a display or an alarm device. good. Alternatively or additionally, when arithmetic device 200 determines that there is an operational abnormality in the motor-operated valve (motor-operated valve system) by executing a determination program, the determination result is stored in storage device 202. You may In this case, the malfunction of the motor-operated valve (the motor-operated valve system) is stored in the storage device 202 as log data.

電動弁(電動弁システム)が、上述の演算装置200を備える場合、コイル620への入力パルス数、および、角度センサによって測定された永久磁石の回転角度の両方を用いて、弁体10の位置をダブルチェックすることが可能となる。その結果、電動弁(電動弁システム)の信頼性が飛躍的に向上する。 When the motor-operated valve (motor-operated valve system) includes the arithmetic device 200 described above, the position of the valve body 10 is determined using both the number of input pulses to the coil 620 and the rotation angle of the permanent magnet measured by the angle sensor. can be double-checked. As a result, the reliability of the motor-operated valve (motor-operated valve system) is dramatically improved.

なお、上述の演算装置200において、第1の弁***置算出プログラム、第2の弁***置算出プログラム、判定プログラム等のプログラムを用いる代わりに、第1の弁***置算出、第2の弁***置算出、および、電動弁(電動弁システム)の作動異常の有無の判定を、電子回路によってハード的に行ってもよい。また、当該電子回路あるいは演算装置200のハードウェアプロセッサが、制御基板90に搭載されてもよい。 In addition, in the arithmetic unit 200 described above, instead of using programs such as the first valve body position calculation program, the second valve body position calculation program, and the determination program, the first valve body position calculation, the second valve body position calculation, and the second valve body position calculation program The position calculation and the determination of the presence/absence of malfunction of the motor-operated valve (motor-operated valve system) may be performed in hardware by an electronic circuit. Also, the electronic circuit or the hardware processor of the arithmetic device 200 may be mounted on the control board 90 .

図13を用いて説明された演算装置200等の構成は、第2の実施形態における電動弁Bあるいは第3の実施形態における電動弁Cにおいて採用されてもよい。図1に示される第1の実施形態における電動弁Aに、少なくとも、コイルを含むステータ部材と、回転シャフトに動力伝達可能に連結されるロータ部材とが付加される場合には、図13を用いて説明された演算装置200等の構成は、図1に示される実施形態における電動弁Aにおいて採用されてもよい。 The configuration of the arithmetic device 200 and the like described with reference to FIG. 13 may be employed in the motor operated valve B in the second embodiment or the motor operated valve C in the third embodiment. When at least a stator member including a coil and a rotor member coupled to the rotating shaft so as to be able to transmit power are added to the motor operated valve A in the first embodiment shown in FIG. The configuration of the computing device 200 and the like described above may be employed in the electrically operated valve A in the embodiment shown in FIG.

なお、本発明は、上述の実施形態に限定されない。本発明の範囲内において、上述の各実施の形態の自由な組み合わせ、あるいは各実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは各実施の形態において任意の構成要素の省略が可能である。 It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiments. Within the scope of the present invention, it is possible to freely combine each of the above-described embodiments, modify any component of each embodiment, or omit any component from each embodiment.

A、B、C:電動弁
2 :下側ベース部材
4 :ハウジング部材
4a :筒状部材
4b :カバー部材
10 :弁体
12 :上端部
20 :弁座
30 :ドライバ
31 :雄ねじ
32 :下端部
34 :上端部
40 :案内部材
41 :雌ねじ
50 :回転シャフト
50a :回転シャフト
52 :第2端部
53 :第1係合部
54 :第1端部
55 :第3係合部
60 :動力源
62 :ステータ部材
64 :ロータ部材
70 :永久磁石部材
72 :永久磁石
73 :第2係合部
74 :カラー部材
76 :穴部
78 :境界面
80 :角度センサ
82 :磁気検出素子
82a~82d:磁気検出素子
90 :制御基板
100 :キャン
102 :端壁
104 :側壁
112 :第1流路
113 :弁室
114 :第2流路
120 :動力伝達機構
121 :太陽ギヤ部材
122 :遊星ギヤ
123 :キャリア
124 :シャフト
125 :リングギヤ
126 :支持部材
127 :第2リングギヤ
129 :出力ギヤ
130 :仕切り部材
150 :ホルダ
152 :第1シール部材
154 :第2シール部材
160 :ボール
170 :ばね部材
172 :ばね受け部材
180 :永久磁石位置決め部材
182 :板ばね
184 :ボール
200 :演算装置
202 :記憶装置
220 :出力装置
620 :コイル
622 :ボビン
630 :電線
1211 :連結部
1212 :太陽ギヤ
1290 :第4係合部
1291 :回転シャフト受容部

A, B, C: Electric valve 2 : Lower base member 4 : Housing member 4a : Cylindrical member 4b : Cover member 10 : Valve body 12 : Upper end 20 : Valve seat 30 : Driver 31 : External thread 32 : Lower end 34 : Upper end 40 : Guide member 41 : Internal thread 50 : Rotating shaft 50a : Rotating shaft 52 : Second end 53 : First engaging part 54 : First end 55 : Third engaging part 60 : Power source 62 : Stator member 64 : Rotor member 70 : Permanent magnet member 72 : Permanent magnet 73 : Second engaging portion 74 : Collar member 76 : Hole portion 78 : Boundary surface 80 : Angle sensor 82 : Magnetic detection elements 82a to 82d: Magnetic detection elements 90 : Control board 100 : Can 102 : End wall 104 : Side wall 112 : First channel 113 : Valve chamber 114 : Second channel 120 : Power transmission mechanism 121 : Sun gear member 122 : Planetary gear 123 : Carrier 124 : Shaft 125: Ring gear 126: Support member 127: Second ring gear 129: Output gear 130: Partition member 150: Holder 152: First seal member 154: Second seal member 160: Ball 170: Spring member 172: Spring receiving member 180: Permanent Magnet positioning member 182 : Leaf spring 184 : Ball 200 : Arithmetic device 202 : Storage device 220 : Output device 620 : Coil 622 : Bobbin 630 : Electric wire 1211 : Connecting portion 1212 : Sun gear 1290 : Fourth engaging portion 1291 : Rotating shaft receptor

Claims (2)

弁体と、
前記弁体を第1軸に沿って移動させるドライバと、
前記ドライバを前記第1軸まわりに回転させる回転シャフトと、
前記回転シャフトに配置され、前記回転シャフトとともに回転する永久磁石部材と、
前記永久磁石部材に含まれる永久磁石の回転角度を検出する角度センサと、
前記永久磁石部材を収容するケースと、を具備し、
前記角度センサは、前記ケースの外側に配置され、
前記角度センサは、前記回転シャフトの回転動作を制御する制御基板に支持されており、
前記制御基板は、閉空間である収容空間内に収容されている電動弁。
a valve body;
a driver for moving the valve body along a first axis;
a rotating shaft that rotates the driver about the first axis;
a permanent magnet member disposed on the rotating shaft and rotating with the rotating shaft;
an angle sensor for detecting a rotation angle of the permanent magnet included in the permanent magnet member;
and a case that houses the permanent magnet member,
The angle sensor is arranged outside the case,
The angle sensor is supported by a control board that controls the rotational movement of the rotating shaft,
A motor-operated valve in which the control board is housed in a housing space that is a closed space .
前記収容空間を形成するハウジングを備え、
前記制御基板は、前記ハウジングによって支持されている請求項1に記載の電動弁。
A housing that forms the accommodation space,
2. The motor-operated valve according to claim 1 , wherein said control board is supported by said housing .
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023149146A1 (en) * 2022-02-04 2023-08-10 株式会社不二工機 Motorized valve control device and motorized valve device

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001012633A (en) 1999-06-29 2001-01-16 Fuji Koki Corp Device for detecting valve opening of motor-driven valve and device for controlling opening of motor-driven valve
JP2010139065A (en) 2008-11-12 2010-06-24 Rinnai Corp Flow control valve
JP2012122506A (en) 2010-12-06 2012-06-28 Rinnai Corp Flow control valve

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54148578A (en) * 1978-04-18 1979-11-20 Nec Corp Rotating direction detector

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001012633A (en) 1999-06-29 2001-01-16 Fuji Koki Corp Device for detecting valve opening of motor-driven valve and device for controlling opening of motor-driven valve
JP2010139065A (en) 2008-11-12 2010-06-24 Rinnai Corp Flow control valve
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