JP7253094B1 - 圧電スピーカ - Google Patents
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- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 35
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 26
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims abstract description 22
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 description 2
- -1 polydimethylsiloxane Polymers 0.000 description 2
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IZJSTXINDUKPRP-UHFFFAOYSA-N aluminum lead Chemical compound [Al].[Pb] IZJSTXINDUKPRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 230000005764 inhibitory process Effects 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 229910052755 nonmetal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
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Abstract
【解決手段】圧電スピーカは、基板10と、支持構造20と、第1駆動構造30と、伝動構造40と、仕切り溝50と、を含む。基板にはキャビティ11が穿設されており、支持構造は基板に設けられ、かつ、キャビティを覆う。第1駆動構造は、支持構造に積層される。第1駆動構造は、交互に積み重ねて設けられた第1電極層36及び第1圧電層38を含む。伝動構造は、駆動構造に積層される。仕切り溝は、支持構造及び駆動構造を貫通することにより、第1駆動構造を第1圧電駆動部31と第2圧電駆動部32とに仕切る。伝動構造の剛性は駆動構造の剛性以下であり、第1駆動構造の剛性は支持構造の剛性以下である。
【選択図】図1
Description
前記基板には、キャビティが穿設されており、
前記支持構造は、前記基板に設けられかつ前記キャビティを覆い、
前記第1駆動構造は、前記支持構造に積層され、前記第1駆動構造は、交互に積み重ねて設けられた第1電極層及び第1圧電層を含み、
前記伝動構造は、前記第1駆動構造に積層されており、
前記圧電スピーカは、さらに仕切り溝を含み、前記仕切り溝は、前記支持構造及び前記第1駆動構造を貫通することにより、前記第1駆動構造を第1圧電駆動部と第2圧電駆動部とに仕切り、前記伝動構造の剛性は、前記第1駆動構造の剛性以下であり、前記第1駆動構造の剛性は、前記支持構造の剛性以下である。
20…支持構造
30…第1駆動構造、31…第1圧電駆動部、32…第2圧電駆動部、33…連結梁、34…第2駆動構造、35…第3圧電駆動部、36…第1電極層、37…第2電極層、38…第1圧電層、39…第2圧電層
40…伝動構造
50…仕切り溝
60…スリット
Claims (10)
- 圧電スピーカであって、
基板と、支持構造と、第1駆動構造と、伝動構造とを含み、
前記基板には、キャビティが穿設されており、
前記支持構造は、前記基板に設けられかつ前記キャビティを覆い、
前記第1駆動構造は、前記支持構造に積層され、前記第1駆動構造は、交互に積み重ねて設けられた第1電極層及び第1圧電層を含み、
前記伝動構造は、前記第1駆動構造に積層されており、
前記圧電スピーカは、さらに仕切り溝を含み、前記仕切り溝は、前記支持構造及び前記第1駆動構造を貫通することにより、前記第1駆動構造を第1圧電駆動部と第2圧電駆動部とに仕切り、前記伝動構造の剛性は、前記第1駆動構造の剛性以下であり、前記第1駆動構造の剛性は、前記支持構造の剛性以下であり、
前記第2圧電駆動部は、連結梁により前記第1圧電駆動部又は前記基板に接続されている、ことを特徴とする圧電スピーカ。 - 前記圧電スピーカは、前記支持構造と前記第1駆動構造とを貫通するスリットをさらに含み、前記第1駆動構造は、複数の前記第1圧電駆動部を含み、隣接する前記第1圧電駆動部同士は、前記スリットにより仕切られる、ことを特徴とする請求項1に記載の圧電スピーカ。
- 複数の前記第1圧電駆動部は、前記スリットにより環状に間隔を隔てて前記第2圧電駆動部の外側に設けられている、ことを特徴とする請求項2に記載の圧電スピーカ。
- 前記第1圧電駆動部は、第1電気信号により制御され、前記第2圧電駆動部は、第2電気信号により制御される、ことを特徴とする請求項1に記載の圧電スピーカ。
- 前記第1電気信号と前記第2電気信号とは、位相差が等しく、振幅値の大きさが等しいが、当該振幅値の正負が逆である、ことを特徴とする請求項4に記載の圧電スピーカ。
- 前記第1電気信号と前記第2電気信号とは、振幅値の大きさが等しく且つ当該振幅値の正負が一致するが、位相がnπ異なる、ことを特徴とする請求項4に記載の圧電スピーカ。
- 前記第1電気信号又は前記第2電気信号は、ゼロである、ことを特徴とする請求項4に記載の圧電スピーカ。
- 前記第1圧電駆動部と前記第2圧電駆動部は、いずれも同一の電気信号により駆動される、ことを特徴とする請求項1に記載の圧電スピーカ。
- 圧電スピーカであって、
基板と、支持構造と、第1駆動構造と、伝動構造とを含み、
前記基板には、キャビティが穿設されており、
前記支持構造は、前記基板に設けられかつ前記キャビティを覆い、
前記第1駆動構造は、前記支持構造に積層され、前記第1駆動構造は、交互に積み重ねて設けられた第1電極層及び第1圧電層を含み、
前記伝動構造は、前記第1駆動構造に積層されており、
前記圧電スピーカは、さらに仕切り溝を含み、前記仕切り溝は、前記支持構造及び前記第1駆動構造を貫通することにより、前記第1駆動構造を第1圧電駆動部と第2圧電駆動部とに仕切り、前記伝動構造の剛性は、前記第1駆動構造の剛性以下であり、前記第1駆動構造の剛性は、前記支持構造の剛性以下であり、
前記圧電スピーカは、前記第1駆動構造に積み重ねて設けられた第2駆動構造をさらに含み、前記第2駆動構造は、前記伝動構造の前記第1駆動構造に近接する側に嵌設され、前記第2駆動構造の剛性は、前記伝動構造の剛性以上であり、前記支持構造の剛性は、前記第2駆動構造の剛性以上であり、前記第2駆動構造は、交互に積み重ねて設けられた第2電極層及び第2圧電層を含み、前記仕切り溝の前記伝動構造における正投影は、前記第2駆動構造に位置する、ことを特徴とする圧電スピーカ。 - 前記第2駆動構造と前記第1駆動構造は、いずれも同一の電気信号により駆動することができ、それぞれ異なる電気信号により駆動することもできる、ことを特徴とする請求項9に記載の圧電スピーカ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202210060171.8 | 2022-01-19 | ||
CN202210060171.8A CN114697835A (zh) | 2022-01-19 | 2022-01-19 | 一种压电扬声器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP7253094B1 true JP7253094B1 (ja) | 2023-04-05 |
JP2023105776A JP2023105776A (ja) | 2023-07-31 |
Family
ID=82137161
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022095126A Active JP7253094B1 (ja) | 2022-01-19 | 2022-06-13 | 圧電スピーカ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US12015896B2 (ja) |
JP (1) | JP7253094B1 (ja) |
CN (1) | CN114697835A (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015149368A (ja) | 2014-02-05 | 2015-08-20 | 株式会社東芝 | 振動子及び圧電ポンプ |
WO2021049292A1 (ja) | 2019-09-13 | 2021-03-18 | ローム株式会社 | トランスデューサ |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61150499A (ja) * | 1984-12-24 | 1986-07-09 | Sawafuji Dainameka Kk | 分割形圧電振動板 |
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IT201900007317A1 (it) * | 2019-05-27 | 2020-11-27 | St Microelectronics Srl | Trasduttore acustico microelettromeccanico piezoelettrico avente caratteristiche migliorate e relativo procedimento di fabbricazione |
-
2022
- 2022-01-19 CN CN202210060171.8A patent/CN114697835A/zh active Pending
- 2022-06-13 JP JP2022095126A patent/JP7253094B1/ja active Active
- 2022-08-04 US US17/880,695 patent/US12015896B2/en active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015149368A (ja) | 2014-02-05 | 2015-08-20 | 株式会社東芝 | 振動子及び圧電ポンプ |
WO2021049292A1 (ja) | 2019-09-13 | 2021-03-18 | ローム株式会社 | トランスデューサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN114697835A (zh) | 2022-07-01 |
US12015896B2 (en) | 2024-06-18 |
JP2023105776A (ja) | 2023-07-31 |
US20230232160A1 (en) | 2023-07-20 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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