JP7247618B2 - 光走査装置及び光走査方法 - Google Patents
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Description
図4は、変形例1に係る光走査装置20の側面図である。変形例1に係る光走査装置20は、以下の点を除いて、実施形態に係る光走査装置20と同様である。
図5は、変形例2に係る光走査装置20の側面図である。変形例2に係る光走査装置20は、以下の点を除いて、実施形態に係る光走査装置20と同様である。
20 光走査装置
100 可動反射部
110 枠体
120 可動電極
130 軸部材
140 固定電極
200 光学部材
200a 透光性部材
202a 面
202b 面
202c 面
210 反射層
212 固定反射部
212a 第1固定反射部
212b 第2固定反射部
212c 第3固定反射部
220 透過面
Claims (4)
- 所定の一方の側から前記一方の側の反対の側に向けて延在する回転軸に関して回転可能な可動反射部と、
前記一方の側から前記可動反射部に入射して前記可動反射部による1回目の反射を受けて前記反対の側に向けて反射された光を前記一方の側に向けて反射する第1固定反射部と、
前記第1固定反射部による反射を受けた前記光を前記可動反射部に向けて反射する第2固定反射部と、
を含み、
前記第2固定反射部による反射を受けた光が前記可動反射部による2回目の反射を受け、
前記可動反射部における前記光の前記1回目の反射を受ける位置と、前記可動反射部における前記光の前記2回目の反射を受ける位置と、が互いに異なる、光走査装置。 - 請求項1に記載の光走査装置において、
前記第1固定反射部及び前記第2固定反射部が設けられ、透光面を有する光学部材をさらに含み、
前記光は、前記第1固定反射部及び前記第2固定反射部による反射を受ける前、前記透光面を経由して前記光学部材に入射し、前記第1固定反射部による反射及び前記第2固定反射部による反射の間の少なくとも一部において、前記光学部材内を透過し、前記第1固定反射部及び前記第2固定反射部による反射を受けた後、前記透光面を経由して前記光学部材から出射される、光走査装置。 - 請求項1又は2に記載の光走査装置において、
前記第1固定反射部による反射を受けた前記光を前記第2固定反射部に向けて反射する第3固定反射部をさらに含む、光走査装置。 - 所定の一方の側から前記一方の側の反対の側に向けて延在する回転軸に関して回転可能な可動反射部に前記一方の側から光を入射して前記可動反射部による1回目の反射を前記光に受けさせて前記光を前記反対の側に向けて反射することと、
前記光が前記可動反射部による前記1回目の反射を受けた後、前記光を第1固定反射部によって前記一方の側に向けて反射することと、
前記光が前記第1固定反射部による反射を受けた後、前記光を第2固定反射部によって可動反射部に向けて反射することと、
前記光が前記第2固定反射部による反射を受けた後、前記可動反射部による2回目の反射を前記光に受けさせることと、
を含み、
前記可動反射部における前記光の前記1回目の反射を受ける位置と、前記可動反射部における前記光の前記2回目の反射を受ける位置と、が互いに異なる、光走査方法。
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JP2020126142A JP2020126142A (ja) | 2020-08-20 |
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US20070053035A1 (en) | 2005-09-08 | 2007-03-08 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Mirror package scanning apparatus and method |
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JP2016012102A (ja) | 2014-06-30 | 2016-01-21 | 株式会社東芝 | 光ビーム走査装置 |
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2019
- 2019-02-05 JP JP2019018593A patent/JP7247618B2/ja active Active
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