JP7240971B2 - アンテナ装置及び温度検出方法 - Google Patents
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Description
Claims (9)
- 第1金属層と、
前記第1金属層上に配置された第1誘電体層と、
前記第1誘電体層上に配置された第2金属層であり、前記第2金属層は互いに離隔した第1部分及び第2部分を含む、該第2金属層と、
前記第2金属層上に配置された第2誘電体層と、
前記第2誘電体層上に互いに離隔して配置された第1金属端子及び第2金属端子であり、該第1金属端子及び該第2金属端子は、前記第1部分及び前記第2部分の上方にそれぞれ配置される、該第1金属端子及び該第2金属端子と、
前記第2誘電体層上に配置された温度検出器であり、該温度検出器は、該第1金属端子及び該第2金属端子の各々に電気的に接続された一対の入出力端子を有する、該温度検出器と、
を備え、
前記第1誘電体層は、FR-4樹脂よりも、高い熱伝導率と高い耐熱性とを有する、
アンテナ装置。 - 前記第1誘電体層は、窒化アルミニウムで構成される、
請求項1に記載のアンテナ装置。 - 前記第1誘電体層は、
前記第1金属層上に配置された第1層と、
前記第1層上に配置された第2層と、
前記第2層上に配置された第3層と、
を有し、
前記第1層及び前記第3層は、何れも、SiO2含有ガラスで構成され、
前記第2層は、シリコンで構成される、
請求項1に記載のアンテナ装置。 - 前記第1層及び前記第3層は、石英で構成される、
請求項3に記載のアンテナ装置。 - 前記温度検出器は、弾性表面波により動作可能な無給電の温度センサで構成される、
請求項1~4の何れか一項に記載のアンテナ装置。 - 前記第1金属端子及び前記第2金属端子は、前記第2誘電体層の中央領域に配置される、
請求項1~4の何れか一項に記載のアンテナ装置。 - 前記第1金属端子及び前記第2金属端子は、前記第2誘電体層の表面のエッジ領域に配置される、
請求項1~4の何れか一項に記載のアンテナ装置。 - 請求項1~7の何れか一項に記載のアンテナ装置を備えたウエハの温度を検出する温度検出方法であって、
前記ウエハを、静電チャック上に配置する工程と、
外部アンテナからの第1信号を前記アンテナ装置を介して前記温度検出器で受信する工程であり、該第1信号は、温度を検出するため該温度検出器を励振する、該工程と、
前記第1信号に応じて前記温度検出器から第2信号を出力する工程であり、該第2信号は、該温度検出器によって検出された温度を示す、該工程と、
前記第2信号を前記アンテナ装置から前記外部アンテナに送る工程と、
を有する、
温度検出方法。 - 前記温度検出器は、弾性表面波により動作可能な無給電の温度センサで構成される、
請求項8に記載の温度検出方法。
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