JP7238581B2 - 圧電駆動装置の制御方法、圧電駆動装置およびロボット - Google Patents
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Description
駆動用圧電素子を有し、前記駆動用圧電素子に周期信号を含む駆動信号が印加されることにより振動する振動体と、
前記振動体の振動により駆動される被駆動部と、
目標パルスデューティー比に基づいて生成されるパルス信号を用いて前記駆動信号を生成する駆動信号生成部と、を有し、
前記駆動信号生成部は、前記駆動用圧電素子に生じる電圧振幅を検出し、前記電圧振幅に基づいて前記目標パルスデューティー比を生成する圧電駆動装置の制御方法であって、
前記駆動信号は、前記周期信号を出力する出力期間と、前記周期信号の出力を中断する中断期間と、で構成されている間欠信号を含み、
前記出力期間における前記電圧振幅を出力期間電圧振幅とし、前記中断期間における前記電圧振幅を中断期間電圧振幅とするとき、
前記駆動信号生成部は、前記出力期間電圧振幅を検出し、前記中断期間電圧振幅を検出しないことを特徴とする。
まず、第1実施形態に係る圧電駆動装置について説明する。
図14に示すように、第1駆動信号48を間欠にすると、第1駆動信号48の振幅の平均値を下げることができる。図14では、説明の便宜のため、正弦波のような周期信号PSの波形が連続する連続信号48Aと、周期信号PSが間欠になっている間欠信号48Bと、を含む第1駆動信号48について図示している。つまり、図14は、連続信号48Aが途中から間欠信号48Bへと変化している例である。
図18に示す第1電圧検出部752は、電圧値抽出部7522と、平均化処理部7524と、を有している。電圧値抽出部7522は、A/Dコンバーターの機能を有しており、図19に示す一定のサンプリング間隔tで出力期間電圧振幅484に含まれた電圧値をサンプリングする。
なお、固定値Fは、0であっても、0以外であってもよい。
なお、第1電圧検出部752、第2電圧検出部832および第3電圧検出部1192の制御方法は、いずれも略同じである。以下では、第1電圧検出部752の制御方法について説明し、第2電圧検出部832および第3電圧検出部1192の制御方法については、その説明を省略する。
次に、圧電モーターを備えるロボットの実施形態について説明する。
図22に示すロボット171は、精密機器やこれを構成する部品の給材、除材、搬送および組立等の作業を行うことができる。ロボット171は、6軸ロボットであり、床や天井に固定されるベース172と、ベース172に回動自在に連結された第1アーム173と、第1アーム173に回動自在に連結された第2アーム174と、第2アーム174に回動自在に連結された第3アーム175と、を有する。さらに、ロボット171は、第3アーム175に回動自在に連結された第4アーム176と、第4アーム176に回動自在に連結された第5アーム177と、第5アーム177に回動自在に連結された第6アーム178と、これら第1アーム173~第6アーム178の駆動を制御する制御装置181と、を有する。
次に、圧電モーターを備えるプリンターの実施形態について説明する。
図23に示すプリンター191は、装置本体192と、装置本体192の内部に設けられている印刷機構193、給紙機構194及び制御装置195と、を備えている。また、装置本体192には、記録用紙196を設置するトレイ197と、記録用紙196を排出する排紙口198と、液晶ディスプレイ等の操作パネル201とが設けられている。
このように、プリンター191は、前述した圧電モーター1を有する。
Claims (10)
- 駆動用圧電素子を有し、前記駆動用圧電素子に周期信号を含む駆動信号が印加されることにより振動する振動体と、
前記振動体の振動により駆動される被駆動部と、
目標パルスデューティー比に基づいて生成されるパルス信号を用いて前記駆動信号を生成する駆動信号生成部と、を有し、
前記駆動信号生成部は、前記駆動用圧電素子に生じる電圧振幅を検出し、前記電圧振幅に基づいて前記目標パルスデューティー比を生成する圧電駆動装置の制御方法であって、
前記駆動信号は、前記周期信号を出力する出力期間と、前記周期信号の出力を中断する中断期間と、で構成されている間欠信号を含み、
前記出力期間における前記電圧振幅を出力期間電圧振幅とし、前記中断期間における前記電圧振幅を中断期間電圧振幅とするとき、
前記駆動信号生成部は、前記出力期間電圧振幅を検出し、前記中断期間電圧振幅を検出しないことを特徴とする圧電駆動装置の制御方法。 - 前記駆動用圧電素子は、前記振動体を伸縮振動させる伸縮圧電素子、および、前記振動体を屈曲振動させる屈曲圧電素子、を含み、
前記駆動信号生成部は、前記屈曲圧電素子に生じる前記中断期間電圧振幅を検出しない請求項1に記載の圧電駆動装置の制御方法。 - 前記駆動用圧電素子は、前記振動体を伸縮振動させる伸縮圧電素子、および、前記振動体を屈曲振動させる屈曲圧電素子、を含み、
前記駆動信号生成部は、前記伸縮圧電素子に生じる前記中断期間電圧振幅を検出しない請求項1に記載の圧電駆動装置の制御方法。 - 前記駆動信号生成部は、前記出力期間と前記中断期間との合計に対する前記出力期間の比により、前記被駆動部の駆動速度を制御する請求項1ないし3のいずれか1項に記載の圧電駆動装置の制御方法。
- 前記駆動信号生成部は、前記出力期間電圧振幅を検出する時間間隔を、前記周期信号の1周期より小さくする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の圧電駆動装置の制御方法。
- 前記駆動信号生成部は、
前記中断期間電圧振幅を固定値とし、
前記出力期間電圧振幅と、前記固定値と、を合算した値を時間で平均化する処理を施し、
前記処理の結果に基づいて前記目標パルスデューティー比を生成する請求項1ないし5のいずれか1項に記載の圧電駆動装置の制御方法。 - 前記駆動信号生成部は、前記固定値を0とする請求項6に記載の圧電駆動装置の制御方法。
- 前記駆動信号生成部は、前記固定値を0以外とする請求項6に記載の圧電駆動装置の制御方法。
- 駆動用圧電素子を有し、前記駆動用圧電素子に周期信号を含む駆動信号が印加されることにより振動する振動体と、
前記振動体の振動により駆動される被駆動部と、
目標パルスデューティー比に基づいて生成されるパルス信号を用いて、前記周期信号を出力する出力期間と、前記周期信号の出力を中断する中断期間と、で構成されている間欠信号を含む前記駆動信号を生成する駆動信号生成部と、を有し、
前記駆動信号生成部は、前記中断期間において前記駆動用圧電素子に生じる中断期間電圧振幅を検出せず、前記出力期間において前記駆動用圧電素子に生じる出力期間電圧振幅を検出し、検出した前記出力期間電圧振幅に基づいて前記目標パルスデューティー比を生成することを特徴とする圧電駆動装置。 - 第1アームと、
関節部において前記第1アームと接続している第2アームと、
前記関節部に配置されている請求項9に記載の圧電駆動装置と、
を備えることを特徴とするロボット。
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002233175A (ja) | 2001-02-02 | 2002-08-16 | Minolta Co Ltd | アクチュエータ及びその駆動方法 |
US20110037346A1 (en) | 2007-05-07 | 2011-02-17 | Walter Haussecker | Piezoelectric drive system, and method for the operation thereof |
JP2016082834A (ja) | 2014-10-22 | 2016-05-16 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置及びその駆動方法、ロボット及びその駆動方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2986654B2 (ja) * | 1993-07-13 | 1999-12-06 | シャープ株式会社 | 圧電体振動制御装置 |
JPH11168888A (ja) * | 1997-12-03 | 1999-06-22 | Canon Inc | 振動型駆動装置の制御装置、振動装置の制御装置およびこれらを備えた装置 |
JP2000032783A (ja) * | 1998-07-14 | 2000-01-28 | Canon Inc | 振動波装置の駆動制御装置および振動波モータ装置 |
JP4438278B2 (ja) * | 2002-10-17 | 2010-03-24 | セイコーエプソン株式会社 | 振動体駆動制御装置、駆動体駆動制御装置および振動体駆動制御方法 |
US20070040471A1 (en) * | 2005-08-17 | 2007-02-22 | Nokia Corporation | Load adaptive class de driving amplifier for piezoelectric actuators |
JP4894308B2 (ja) * | 2006-03-13 | 2012-03-14 | コニカミノルタオプト株式会社 | 駆動装置 |
JP2009131117A (ja) * | 2007-11-27 | 2009-06-11 | Canon Inc | 振動波アクチュエータの駆動装置、及びその制御方法 |
JP5893307B2 (ja) | 2011-09-13 | 2016-03-23 | キヤノン株式会社 | 振動型アクチュエータの駆動装置 |
JP6164044B2 (ja) * | 2013-10-30 | 2017-07-19 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電モーター、ロボットハンド、ロボット、指アシスト装置、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、送液ポンプ、印刷装置、電子時計、投影装置 |
JP6572645B2 (ja) * | 2015-07-01 | 2019-09-11 | セイコーエプソン株式会社 | 液体吐出装置 |
JP2017143602A (ja) * | 2016-02-08 | 2017-08-17 | キヤノン株式会社 | 振動型アクチュエータの制御方法、振動型駆動装置及び電子機器 |
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JP2002233175A (ja) | 2001-02-02 | 2002-08-16 | Minolta Co Ltd | アクチュエータ及びその駆動方法 |
US20110037346A1 (en) | 2007-05-07 | 2011-02-17 | Walter Haussecker | Piezoelectric drive system, and method for the operation thereof |
JP2016082834A (ja) | 2014-10-22 | 2016-05-16 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置及びその駆動方法、ロボット及びその駆動方法 |
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